JP2002156348A - 湿度センサの校正方法およびそれを用いた湿度センサ - Google Patents
湿度センサの校正方法およびそれを用いた湿度センサInfo
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Abstract
おいて短時間で簡易に校正がなし得る湿度センサの校正
方法およびそれに用いる湿度センサを提供することを目
的とし、さらに自動的に校正を行う湿度センサを提供す
る。 【解決手段】 湿度検知手段1の検知部1aを該検知部
1aが置かれている雰囲状態に対応した所定温度に加熱
して同検知部1aの相対湿度を実質上0%R.Hとし、
その時の湿度センサSの指示値を0%R.Hに調整する
ことにより零点補正をし、それにより湿度センサの校正
をなすものである。
Description
方法およびそれを用いた湿度センサに関する。さらに詳
しくは、空調機、環境試験機、植物育成室などの湿度制
御、湿度モニターを行なう乾燥機、調理器、掃除機の湿
度検知、あるいは湿度変化の測定記録、認証を行なう気
象観測機、ラジオゾンデ、製品輸送時の状態を記録する
データロガーなどに利用される湿度センサの校正方法お
よびそれを用いた湿度センサに関する。
定期間使用し続ける場合、計測値にズレが生じることは
避けられない。そのため、定期的に湿度センサを校正す
る必要がある。
方法は、既知の湿度空間に湿度センサを設置し、湿度セ
ンサの計測値が正しく指示されるよう調整を施すという
ものである。湿度が既知の空間の実現は、例えば、飽和
塩あるいは濃度既知の不飽和塩溶液を密閉容器内に入れ
て充分時間を経過させ、密閉容器内の雰囲気が安定した
状態とすることによりなされる。この時、密閉容器内
は、使用する飽和塩あるいは不飽和塩溶液によって決定
された湿度が既知の空間となっている。ついで、この密
閉容器内に湿度センサを入れ、湿度センサの指示値を前
記既知の湿度に調整することで湿度センサの校正がなさ
れる。
算出直線の勾配の校正は、複数の種類の飽和塩あるいは
不飽和塩溶液を用い、複数の湿度において校正をするこ
とによりなされる。その場合、温度雰囲気を一定にすれ
ば、さらに厳密な校正がなし得る。
必要があるかは、湿度センサの使用環境や耐環境性によ
って様々である。一般的には、使用期間が長ければ長い
ほどズレは大きくなるので、計測精度を維持する点から
は頻繁に校正する方がよい。しかしながら、校正をする
には計測を中断しなければならないし、前記密閉容器内
の湿度雰囲気が安定するのには時間がかかり(0.5〜
6hr程度)、また校正作業に時間がかかるとともにそ
の作業が煩雑でもある。なお、分流式湿度発生槽や2温
度2圧力法等の大がかりな装置にて基準湿度を発生させ
て校正を行なうこともできるが、そのためにはその設備
のあるところまで湿度センサを搬送しなければならない
という問題がある。
術の課題に鑑みなされたものであって、湿度センサが据
え付けられている計測現場において短時間で簡易に校正
がなし得る湿度センサの校正方法およびそれに用いる湿
度センサを提供することを目的とし、さらに自動的に校
正を行う湿度センサを提供することをも目的とする。
正方法の第1形態は、湿度検知手段の検知部を該検知部
が置かれている雰囲状態に対し所定温度あるいは該所定
温度以上に加熱して同検知部の相対湿度を実質上0%
R.Hとし、その時の湿度センサの指示値を0%R.H
に調整することにより零点補正をし、それにより湿度セ
ンサの校正をなすことを特徴とする。
は、湿度検知手段の検知部を該検知部が置かれている雰
囲状態に対し所定温度あるいはそれ以下に冷却して同検
知部の相対湿度を実質上100%R.Hとし、その時の
湿度センサの指示値を100%R.Hに調整することに
より100%R.H値補正をし、それにより湿度センサ
の校正をなすことを特徴とする。
は、湿度検知手段の検知部を該検知部が置かれている雰
囲状態に対し所定温度あるいは該所定温度以上に加熱し
て同検知部の相対湿度を実質上0%R.Hとし、その時
の湿度センサの指示値を0%R.Hに調整することによ
り零点補正をなし、前記検知部を該検知部が置かれてい
る雰囲状態に対し所定温度あるいはそれ以下に冷却して
同検知部の相対湿度を実質上100%R.Hに調整し、
その時の湿度センサの指示値を100%R.Hに調整す
ることにより100%R.H値補正をなし、前記零点調
整時および100%R.H値調整時における調整値によ
り湿度算出直線の勾配の補正をし、それにより湿度セン
サの校正をなすことを特徴とする。
は、少なくとも温度の異なる3点における湿度を計測
し、それらの計測値により湿度算出直線を導出し、その
湿度算出直線を用いて計測値を補正することにより、湿
度検知手段の検知部による計測値の非線形性を解消する
ことを特徴とする。
検知部を有する湿度検知手段と、前記検知部の温度を検
知する温度検知手段と、前記検知部を加熱する加熱手段
と、少なくとも前記湿度検知手段による計測値を出力す
る出力手段と、校正手段とを備えてなる湿度センサであ
って、前記校正手段により、前記加熱手段に前記検知部
を加熱させて同検知部を該検知部が置かれている雰囲状
態に対し所定温度あるいは該所定温度以上として同検知
部の相対湿度が実質上0%R.Hとされるとともに、そ
の時の湿度センサの指示値が0%R.Hに調整されるこ
とにより零点補正がなされることを特徴とする。
を有する湿度検知手段と、前記検知部の温度を検知する
温度検知手段と、前記検知部を冷却する冷却手段と、少
なくとも前記湿度検知手段による計測値を出力する出力
手段と、校正手段とを備えてなる湿度センサであって、
前記校正手段により、前記冷却手段に前記検知部を冷却
させて同検知部を該検知部が置かれている雰囲状態に対
し所定温度あるいは該所定温度以下として同検知部の相
対湿度が実質上100%R.Hとされるとともに、その
時の湿度センサの指示値が100%R.Hに調整される
ことにより100%R.H値補正がなされることを特徴
とする。
を有する湿度検知手段と、前記検知部の温度を検知する
温度検知手段と、前記検知部を加熱・冷却する加熱・冷
却手段と、少なくとも前記湿度検知手段による計測値を
出力する出力手段と、校正手段とを備えてなる湿度セン
サであって、前記校正手段により、前記加熱・冷却手段
に前記検知部を加熱させて同検知部を該検知部が置かれ
ている雰囲状態に対し所定温度あるいは該所定温度以上
として同検知部の相対湿度が実質上0%R.Hとされる
とともに、その時の湿度センサの指示値が0%R.Hに
調整されることにより零点補正がなされ、前記加熱・冷
却手段に前記検知部を冷却させて同検知部を該検知部が
置かれている雰囲状態に対し所定温度あるいは該所定温
度以下として同検知部の相対湿度が実質上100%R.
Hとされるとともに、その時の湿度センサの指示値が1
00%R.Hに調整されることにより100%R.H値
補正がなされることを特徴とする。
校正手段を備え、前記線形性校正手段により、少なくと
も温度の異なる3点における湿度の計測値を用いて湿度
算出直線が導出され、その湿度算出直線を用いて計測値
が補正されて湿度検知手段の検知部による計測値の非線
形性が解消されてなることを特徴とする。
形態においては、所定時間が経過した場合、または湿度
検知手段の検知部による計測値が所定の温度・湿度プロ
フィルから外れた場合、自動的に校正手段による校正が
なされるように構成されてもよい。
手段を備え、前記故障診断手段により、計測値が閾値を
超えた場合、計測値が所定の温度・湿度プロフィルから
外れた場合、または校正手段による調整値が閾値を超え
た場合、故障と診断されるようにされてもよい。
サは、前記の如く構成されているので、計測現場におい
て簡易・迅速に湿度センサの校正がなし得る。また、本
発明の好ましい形態によれば、湿度センサの校正および
故障診断が自動的になされる。
発明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる
実施形態のみに限定されるものではない。
されている校正機能および故障診断機能を有する湿度セ
ンサ(以下、単に湿度センサという)のブロック図を図
1に示す。この実施形態1の湿度センサSの校正方法
は、湿度検知手段1の検知部1aを加熱あるいは冷却
し、それにより湿度センサの指示値を補正することによ
り湿度センサSの校正をなすとともに、校正が適当にな
されない場合に故障信号を出力するように構成されてな
るものである。つまり、この実施形態1の湿度センサS
の校正方法は、検知部1aを所定温度に加熱していわゆ
る零点補正(零点調整)をする一方、検知部1aを結露
させていわゆる100%R.H値補正(100%R.H
値調整)をし、さらにその零点調整および100%R.
H値調整における調整値により湿度算出直線の勾配を補
正することにより、湿度センサSの校正をなすように構
成されてなるものである。
気中の湿度を検知する検知部1aを有する湿度検知手段
1と、湿度検知手段1の検知部1aあるいはその近傍の
温度を検知する温度検知手段2と、湿度検知手段1の検
知部1aを所定温度まで加熱あるいは所定温度まで冷却
する加熱・冷却手段3と、出力手段4と、制御・演算装
置10とを主要構成要素として備えてなる。
ラミック系や高分子系インピーダンス変化型湿度検知素
子、セラミック系や高分子系容量変化型湿度検知素子な
どとされ、雰囲気中の湿度を検知するものである。
よびサーミスタなどの感温素子、または放射温度計など
とされ、湿度検知手段1の検知部1a裏面に貼り付けら
れ、あるいは湿度検知手段1の検知部1a近傍に配設さ
れて、湿度検知手段1の検知部1aの温度あるいはその
近傍の温度を検知するものである。
ルチェ素子、ヒートパイプなどにより構成されたヒータ
ー/クーラーとされ、湿度検知手段1の検知部1a近傍
に配設されて湿度検知手段1の検知部1aを加熱または
冷却するものである。
ては、この加熱・冷却手段3は、恒温恒湿槽によって湿
度検知手段1の検知部1aの雰囲気中の温度を変化させ
る形式のものとされてもよい。
された湿度および温度検知手段2により計測された温度
を表示するとともに、故障診断手段12により故障と診
断されたときに故障を表示する例えばデジタル表示装置
とされる。あるいは、故障診断手段12により故障と診
断されたときに警報ブザーを吹奏する例えば警報ブザー
付デジタル表示装置とされる。
障診断手段12とを有するものとされ、湿度検知手段
1、温度検知手段2、加熱・冷却手段3および出力手段
4を制御するとともに、校正手段11は湿度検知手段1
により計測された計測値を補正して湿度センサSの校正
を行い、故障診断手段12は校正手段11による校正値
の適否を判定して故障の有無を診断するものである。か
かる機能を有する制御・演算装置10は、例えばマイコ
ンに前記機能に対応したプログラムを格納することによ
り実現される。
Sにおける自動校正および自動故障診断について説明す
る。
所定時間が経過すると、加熱・冷却手段3に予め決めら
れた温度、つまり所定温度へ加熱開始を指示する。
10からの指示により湿度検知手段1の加熱を開始す
る。
2の計測値が所定温度に到達すると、校正手段11に校
正開始を指示するとともに、加熱・冷却手段3にその温
度を維持するように指示する。
からの校正開始の指示により湿度センサSの校正を行
う。校正手段11による校正は、例えば、その時の湿度
検知手段1の計測値を0%R.Hに補正するとともに、
それに応じて制御・演算装置10のメモリに格納されて
いる計測値・湿度換算テーブルのデータを更新すること
によりなされる。あるいは、図2に示すように、湿度検
知手段1の検知回路が可変コンデンサ1bおよび可変抵
抗1cを有している場合には、例えば可変コンデンサ1
bの容量調節をして計測値を0%R.Hに調整すること
によりなされる。これにより、湿度センサSの指示値は
0%R.Hに調整される。つまり、湿度センサSの零点
調整がなされる。この校正が終了すると、制御・演算装
置10は加熱・冷却手段3に加熱の停止を指示する。
段3による加熱停止から所定時間経過後、加熱・冷却手
段3に予め決められた温度、つまり所定温度へ冷却開始
を指示する。
10からの冷却開始の指示により湿度検知手段1の冷却
を開始する。
2の計測値が所定温度に到達すると、校正手段11に校
正開始を指示するとともに、加熱・冷却手段3にその温
度を維持するように指示する。
からの校正開始の指示により湿度センサSの校正を行
う。校正手段11による校正は、例えば、その時の湿度
検知手段1の計測値を100%R.Hに補正するととも
に、それに応じて制御・演算装置10のメモリに格納さ
れている計測値・湿度換算テーブルのデータを前記零点
のデータを固定した状態で更新することによりなされ
る。また、かかる更新をなすことにより、湿度算出直線
の勾配の補正も同時になされる。あるいは、図2に示す
ように、湿度検知手段1の検知回路が可変コンデンサ1
bおよび可変抵抗1cを有している場合には、例えば可
変抵抗1cの抵抗値を調節して計測値を100%R.H
に調整することによりなされる。これにより、湿度セン
サSの指示値は100%R.Hに調整される。つまり、
湿度センサSの100%R.H値調整がなされる。な
お、湿度検知手段1に結露を生じさせると計測値が大幅
に変動を生ずる場合には、結露が生ずる直前あるいは直
後の計測値が用いられる。
よる校正後における湿度検知手段1の計測値が閾値を超
えている場合、湿度検知手段1の計測値が予め設定され
ている温度・湿度プロフィルから外れている場合、また
は校正手段による調整値が閾値を超えている場合、湿度
センサSが故障している旨の警報を出力する。
センサが据え付けられている計測現場で、湿度センサの
校正および故障診断が自動的にしかも短時間でなし得
る。なお、前記説明においては、計測開始から所定時間
経過後に校正がなされるようにされているが、湿度検知
手段1の計測値が予め設定されている温度・湿度プロフ
ィルから外れた時点で校正を開始するようにしてもよ
い。
されている校正機能を有する湿度センサ(以下、単に湿
度センサという)のブロック図を図3に示す。なお、図
3において、図1と同一の符号を付したものは同一また
は類似の構成要素を示す。
法は、湿度センサの使用において、低湿域および高湿域
の計測は正確になし得るが、中湿域においては実際より
高くあるいは低く計測されるなどの計測値の線形性が損
なわれる場合がある。そこで、この実施形態2では、図
3に示すように、制御・演算装置10に線形性校正手段
13を設けて計測値の直線化を図ることにより湿度セン
サS1の校正をなすものである。
くとも3点における湿度の計測値を適宜演算処理するこ
とにより湿度算出直線を導出する機能を有する。例え
ば、図4に示すように、温度t1,t2,t3における湿
度の計測値がU1,U2,U3であったとすると、この3
点の値を適宜演算処理して湿度算出直線を導出するもの
である。この湿度算出直線を導出する演算処理について
は、例えば最小自乗法による導出方法があるが、これに
限定されるものではなく、公知の各種の直線導出手法を
用いることができる。なお、かかる機能を有する線形性
校正手段13は、制御・演算装置10に対応するプログ
ラムを格納することにより実現される。
性校正手段13を設けて所要数の計測値から湿度算出直
線を導出し、その直線を用いて計測値の直線化を図るこ
とにより計測値の非線形性を解消して湿度センサS1の
校正をなしているので、低湿域から高湿域まで精度よく
計測がなし得る。また、その校正も湿度センサS1が据
え付けられている計測現場において、簡易・迅速になし
得る。なお、実施形態1との併用によりより良い結果が
得られる。
されている校正機能を有する湿度センサ(以下、単に湿
度センサという)の概略図を図5に示し、この湿度セン
サS2においては、図5に示すように実施形態1の制御
・演算装置10に代えてマニュアル操作により校正をな
す校正器(校正手段)20が設けられ、そして温度検知
手段2は温度計2Aとされるとともに、加熱・冷却手段
3はヒータ/クーラ3Aとされている。また、湿度検知
手段1は検知部1aの相当静電容量に並列に可変コンデ
ンサ1bを接続するとともに、検知部1aの相当回路に
直列に可変抵抗1cを接続してなるものとされている。
示部21、温度表示部22、ヒータオン・オフスイッチ
23、クーラオン・オフスイッチ24、可変容量調節ダ
イヤル25、可変抵抗調節ダイヤル26、制御・演算部
27および電源スイッチ28を有するものとされる。な
お、電源スイッチ28は公知の各種スイッチとすること
ができる。
(表示)するように構成された、例えば液晶パネルとさ
れる。
(表示)するように構成された、例えば液晶パネルとさ
れる。
ラオン・オフスイッチ24は、例えば押しボタンスイッ
チとされる。なお、明瞭には図示されていないが、ヒー
タオン・オフスイッチ23およびクーラオン・オフスイ
ッチ24は同時にオンしないように調整されている。
回転させることにより、可変コンデンサ1bの容量調整
がメカニカル的になし得るようにされている公知のダイ
ヤルとされる。
回転させることにより可変抵抗1cの抵抗値の調整がメ
カニカル的になし得るようにされている公知のダイヤル
とされる。
マイコンとされて、湿度表示部21の表示制御、温度表
示部22の表示制御、ヒータオン・オフスイッチ23の
オン・オフによるヒータ/クーラ3Aのヒータのオン・
オフ制御、クーラオン・オフスイッチ24のオン・オフ
によるヒータ/クーラ3Aのクーラのオン・オフ制御を
なすようにされている。また、勾配補正手段27aは、
零点調整時における調整値および100%R.H値調整
時における調整値に基づいて、湿度算出直線の勾配補正
をなすものである。なお、かかる制御・演算部27の機
能および勾配補正手段27aの機能は、それらに対応し
たプログラムをワンチップ・マイコンに格納することに
より実現される。また、ワンチップ・マイコンには後述
する校正処理に必要な処理をなすためのプログラムも格
納されている。
S2の校正について説明する。
度、冷却所定温度などが記載されている校正マニュアル
を用いてなされる。
示部21に指示された湿度、および温度表示部22に指
示された温度により加熱温度および冷却温度を選定す
る。
ンしてヒータ/クーラ3Aのヒータを起動して検知部1
aを加熱する。
値)が所定温度(所定値)になった時点で可変容量調節
ダイヤル(または可変抵抗調節ダイヤル26)25を操
作し、湿度表示部21の指示値を0%R.Hに調整す
る。つまり、零点調整をする。この間、制御・演算部2
7は加熱温度が所定温度に維持されるようにヒータの加
熱量を制御する。
フしてヒータによる加熱を停止する。
温度に復帰した時点で、クーラオン・オフスイッチ24
をオンしてヒータ/クーラ3Aのクーラを起動して検知
部1aを冷却する。
度になった時点で可変抵抗調節ダイヤル(または可変容
量調節ダイヤル25)26を操作し、湿度表示部21の
指示値を100%R.Hに調整する。つまり、100%
R.H値調整をする。この間、制御・演算部27は、冷
却温度が所定温度に維持されるようにクーラの冷却量を
制御する。
フしてクーラによる冷却を停止する。
における調整値および100%R.H値調整時における
調整値に基づいて湿度算出直線の勾配を補正する。
直線の勾配の補正が完了すると、校正完了が湿度表示2
1に表示される。
イッチ28をオフする。
センサS2が据え付けられている計測現場において、簡
易・迅速に湿度センサS2の校正がなし得る。
り具体的に説明する。
合の零点補正(零点調整)について説明する。そのとき
の水蒸気分圧は、54974.6Paである。
ば水の臨界温度370.946℃まで検知部1aを加熱
する。その場合の飽和水蒸気圧は、22064kPaで
ある。したがって、370.946℃まで加熱したとき
の検知部1aの相対湿度は0.25%R.Hとなる。こ
の0.25%の誤差は通常の計測においては問題となら
ないので、検知部1aを370.946℃まで加熱する
と相対湿度は実質上0%R.Hとすることができる。そ
こで、検知部1aを水の臨界温度である370.946
℃まで加熱した時の湿度センサSの指示値を、0%R.
Hとする調整をなすことにより、前記雰囲気に対する湿
度センサSの零点補正(零点調整)がなし得る。つま
り、指示値のオフセットを解消して湿度センサSの校正
がなし得る。
合の100%R.H値補正(100%R.H値調整)に
ついて説明する。なお、そのときの水蒸気分圧は、36
8.4Paである。
検知部1aを結露が生ずる温度、例えば−40℃まで冷
却する。その温度における検知部1aの飽和蒸気圧は1
2.84Paである。そのため、検知部1aを前記温度
まで冷却すれば確実に結露が生じて、検知部1aの相対
湿度は100%R.Hとなる。そこで、検知部1aを−
40℃まで冷却した時の湿度センサSの指示値を100
%R.Hとする調整をなすことにより、前記雰囲気に対
する湿度センサSの100%R.H値補正(100%
R.H値調整)がなし得る。つまり、指示値のオフセッ
トを解消して湿度センサSの校正がなし得る。
づいて説明してきたが、本発明はかかる実施形態および
実施例に限定されるものではなく、種々改変が可能であ
る。例えば、実施形態1においては、制御・演算装置に
故障診断手段が設けられているが、この故障診断手段は
必要に応じて設けられればよく、そのため必ずしも設け
られる必要はない。また、実施形態1においては、加熱
・冷却手段が設けられているが、校正目的に応じて加熱
手段のみ、あるいは冷却手段のみが設けられてもよい。
湿度センサの校正が、それが据え付けられている計測現
場にて簡易・迅速になし得るという優れた効果が得られ
る。
度センサの校正が、それが据え付けられている計測現場
にて自動的になされるという優れた効果が得られる。
ば、湿度センサの故障診断が、それが据え付けられてい
る計測現場にて自動的にさなれるという優れた効果が得
られる。
ている湿度センサのブロック図である。
図である。
ている湿度センサのブロック図である。
る。
ている湿度センサのブロック図である。
Claims (10)
- 【請求項1】 湿度検知手段の検知部を該検知部が置か
れている雰囲状態に対し所定温度または該所定温度以上
に加熱して同検知部の相対湿度を実質上0%R.Hと
し、その時の湿度センサの指示値を0%R.Hに調整す
ることにより零点補正をし、それにより湿度センサの校
正をなすことを特徴とする湿度センサの校正方法。 - 【請求項2】 湿度検知手段の検知部を該検知部が置か
れている雰囲状態に対し所定温度または該所定温度以下
に冷却して同検知部の相対湿度を実質上100%R.H
とし、その時の湿度センサの指示値を100%R.Hに
調整することにより100%R.H値補正をし、それに
より湿度センサの校正をなすことを特徴とする湿度セン
サの校正方法。 - 【請求項3】 湿度検知手段の検知部を該検知部が置か
れている雰囲状態に対し所定温度または該所定温度以上
に加熱して同検知部の相対湿度を実質上0%R.Hと
し、その時の湿度センサの指示値を0%R.Hに調整す
ることにより零点補正をなし、 前記検知部を該検知部が置かれている雰囲状態に対し所
定温度または該所定温度以下に冷却して同検知部の相対
湿度を実質上100%R.Hに調整し、その時の湿度セ
ンサの指示値を100%R.Hに調整することにより1
00%R.H値補正をなし、 前記零点調整時における調整値および100%R.H値
調整時における調整値により湿度算出直線の勾配の補正
をし、それにより湿度センサの校正をなすことを特徴と
する湿度センサの校正方法。 - 【請求項4】 少なくとも温度の異なる3点における湿
度を計測し、それらの計測値により湿度算出直線を導出
し、その湿度算出直線を用いて計測値を補正することに
より、湿度検知手段の検知部による計測値の非線形性を
解消することを特徴とする湿度センサの校正方法。 - 【請求項5】 検知部を有する湿度検知手段と、前記検
知部の温度を検知する温度検知手段と、前記検知部を加
熱する加熱手段と、少なくとも前記湿度検知手段による
計測値を出力する出力手段と、校正手段とを備えてなる
湿度センサであって、 前記校正手段により、前記加熱手段に前記検知部を加熱
させて同検知部を該検知部が置かれている雰囲状態に対
し所定温度または該所定温度以上として同検知部の相対
湿度が実質上0%R.Hとされるとともに、その時の湿
度センサの指示値が0%R.Hに調整されることにより
零点補正がなされることを特徴とする湿度センサ。 - 【請求項6】 検知部を有する湿度検知手段と、前記検
知部の温度を検知する温度検知手段と、前記検知部を冷
却する冷却手段と、少なくとも前記湿度検知手段による
計測値を出力する出力手段と、校正手段とを備えてなる
湿度センサであって、 前記校正手段により、前記冷却手段に前記検知部を冷却
させて同検知部を該検知部が置かれている雰囲状態に対
し所定温度または該所定温度以下として同検知部の相対
湿度が実質上100%R.Hとされるとともに、その時
の湿度センサの指示値が100%R.Hに調整されるこ
とにより100%R.H値補正がなされることを特徴と
する湿度センサ。 - 【請求項7】 検知部を有する湿度検知手段と、前記検
知部の温度を検知する温度検知手段と、前記検知部を加
熱・冷却する加熱・冷却手段と、少なくとも前記湿度検
知手段による計測値を出力する出力手段と、校正手段と
を備えてなる湿度センサであって、 前記校正手段により、前記加熱・冷却手段に前記検知部
を加熱させて同検知部を該検知部が置かれている雰囲状
態に対し所定温度または該所定温度以上として同検知部
の相対湿度が実質上0%R.Hとされるとともに、その
時の湿度センサの指示値が0%R.Hに調整されること
により零点補正がなされ、前記加熱・冷却手段に前記検
知部を冷却させて同検知部を該検知部が置かれている雰
囲状態に対し所定温度または該所定温度以下として同検
知部の相対湿度が実質上100%R.Hとされるとも
に、その時の湿度センサの指示値が100%R.Hに調
整されることにより100%R.H値補正がなされるこ
とを特徴とする湿度センサ。 - 【請求項8】 所定時間が経過した場合、または湿度検
知手段の検知部による計測値が所定の温度・湿度プロフ
ィルから外れた場合、自動的に校正手段による校正がな
されるように構成されてなることを特徴とする請求項
5、6または7記載の湿度センサ。 - 【請求項9】 線形性校正手段を備え、 前記線形性校正手段により、少なくとも温度の異なる3
点における湿度の計測値を用いて湿度算出直線が導出さ
れ、その湿度算出直線を用いて計測値が補正されて湿度
検知手段の検知部による計測値の非線形性が解消されて
なることを特徴とする湿度センサ。 - 【請求項10】 故障診断手段を備え、 前記故障診断手段により、計測値が閾値を超えた場合、
計測値が所定の温度・湿度プロフィルから外れた場合、
または校正手段による調整値が閾値を超えた場合、故障
と診断されることを特徴とする請求項5、6、7、8ま
たは9記載の湿度センサ。
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Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006010545A (ja) * | 2004-06-28 | 2006-01-12 | Honda Motor Co Ltd | ガス検出装置 |
JP2006234576A (ja) * | 2005-02-24 | 2006-09-07 | Denso Corp | 湿度センサ装置及びその自己診断方法 |
JP2006250579A (ja) * | 2005-03-08 | 2006-09-21 | Denso Corp | 湿度センサの検査装置及び特性調整方法 |
JP2008057985A (ja) * | 2006-08-29 | 2008-03-13 | Kasuga Electric Works Ltd | 距離補正付き静電気測定器 |
US7481107B2 (en) | 2005-12-08 | 2009-01-27 | Denso Corporation | Humidity sensor with setting member for setting maximum amount of moisture in humidity sensitive member |
JP2009509164A (ja) * | 2005-09-23 | 2009-03-05 | ローレンス ケーツ | 建材内の湿度を検知する方法および装置 |
JP2010008122A (ja) * | 2008-06-25 | 2010-01-14 | Panasonic Electric Works Co Ltd | ガスセンサ |
JP2010008323A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Yamatake Corp | 湿度計測装置 |
JP2010237128A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Yamatake Corp | 湿度センサの劣化診断方法 |
JP2011094979A (ja) * | 2009-10-27 | 2011-05-12 | Chino Corp | 容量式湿度センサー |
JP2013257348A (ja) * | 2008-04-15 | 2013-12-26 | Panasonic Corp | 微粒子測定装置および微粒子測定方法 |
JP2016003965A (ja) * | 2014-06-17 | 2016-01-12 | 新日本無線株式会社 | 湿度センサ検査装置 |
WO2016111253A1 (ja) * | 2015-01-08 | 2016-07-14 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 湿度測定装置 |
JP2018124070A (ja) * | 2017-01-30 | 2018-08-09 | アズビル株式会社 | チャンバ装置 |
WO2019052037A1 (zh) * | 2017-09-12 | 2019-03-21 | 深圳市国华光电科技有限公司 | 一种电容式传感器及其制备方法 |
WO2020095619A1 (ja) * | 2018-11-08 | 2020-05-14 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式湿度測定装置 |
WO2021090669A1 (ja) * | 2019-11-08 | 2021-05-14 | 日立Astemo株式会社 | 湿度センサ診断装置 |
CN114235267A (zh) * | 2021-12-17 | 2022-03-25 | 江苏创芯海微科技有限公司 | 集成温湿度传感器的皮拉尼真空计及制备方法 |
JP2022091728A (ja) * | 2020-12-09 | 2022-06-21 | ヴァイサラ・オーワイジェイ | 高速湿度センサ、および高速湿度センサを較正するための方法 |
-
2000
- 2000-11-17 JP JP2000351683A patent/JP3617032B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006010545A (ja) * | 2004-06-28 | 2006-01-12 | Honda Motor Co Ltd | ガス検出装置 |
JP2006234576A (ja) * | 2005-02-24 | 2006-09-07 | Denso Corp | 湿度センサ装置及びその自己診断方法 |
JP4566784B2 (ja) * | 2005-02-24 | 2010-10-20 | 株式会社デンソー | 湿度センサ装置 |
JP2006250579A (ja) * | 2005-03-08 | 2006-09-21 | Denso Corp | 湿度センサの検査装置及び特性調整方法 |
JP2009509164A (ja) * | 2005-09-23 | 2009-03-05 | ローレンス ケーツ | 建材内の湿度を検知する方法および装置 |
US7481107B2 (en) | 2005-12-08 | 2009-01-27 | Denso Corporation | Humidity sensor with setting member for setting maximum amount of moisture in humidity sensitive member |
JP2008057985A (ja) * | 2006-08-29 | 2008-03-13 | Kasuga Electric Works Ltd | 距離補正付き静電気測定器 |
JP2013257348A (ja) * | 2008-04-15 | 2013-12-26 | Panasonic Corp | 微粒子測定装置および微粒子測定方法 |
JP2010008122A (ja) * | 2008-06-25 | 2010-01-14 | Panasonic Electric Works Co Ltd | ガスセンサ |
JP2010008323A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Yamatake Corp | 湿度計測装置 |
JP2010237128A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Yamatake Corp | 湿度センサの劣化診断方法 |
JP2011094979A (ja) * | 2009-10-27 | 2011-05-12 | Chino Corp | 容量式湿度センサー |
JP2016003965A (ja) * | 2014-06-17 | 2016-01-12 | 新日本無線株式会社 | 湿度センサ検査装置 |
WO2016111253A1 (ja) * | 2015-01-08 | 2016-07-14 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 湿度測定装置 |
JPWO2016111253A1 (ja) * | 2015-01-08 | 2017-06-08 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 湿度測定装置 |
US10401314B2 (en) | 2015-01-08 | 2019-09-03 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Humidity measuring device |
JP2018124070A (ja) * | 2017-01-30 | 2018-08-09 | アズビル株式会社 | チャンバ装置 |
WO2019052037A1 (zh) * | 2017-09-12 | 2019-03-21 | 深圳市国华光电科技有限公司 | 一种电容式传感器及其制备方法 |
WO2020095619A1 (ja) * | 2018-11-08 | 2020-05-14 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式湿度測定装置 |
WO2021090669A1 (ja) * | 2019-11-08 | 2021-05-14 | 日立Astemo株式会社 | 湿度センサ診断装置 |
JP2022091728A (ja) * | 2020-12-09 | 2022-06-21 | ヴァイサラ・オーワイジェイ | 高速湿度センサ、および高速湿度センサを較正するための方法 |
JP7356486B2 (ja) | 2020-12-09 | 2023-10-04 | ヴァイサラ・オーワイジェイ | 高速湿度センサ、および高速湿度センサを較正するための方法 |
US12007349B2 (en) | 2020-12-09 | 2024-06-11 | Vaisala Oyj | Fast humidity sensor and a method for calibrating the fast humidity sensor |
CN114235267A (zh) * | 2021-12-17 | 2022-03-25 | 江苏创芯海微科技有限公司 | 集成温湿度传感器的皮拉尼真空计及制备方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3617032B2 (ja) | 2005-02-02 |
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