JP2016003947A - エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置 - Google Patents

エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2016003947A
JP2016003947A JP2014124132A JP2014124132A JP2016003947A JP 2016003947 A JP2016003947 A JP 2016003947A JP 2014124132 A JP2014124132 A JP 2014124132A JP 2014124132 A JP2014124132 A JP 2014124132A JP 2016003947 A JP2016003947 A JP 2016003947A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pattern
light
scale
encoder
shaft
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2014124132A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2016003947A5 (enExample
Inventor
康 大野
Yasushi Ono
康 大野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP2014124132A priority Critical patent/JP2016003947A/ja
Publication of JP2016003947A publication Critical patent/JP2016003947A/ja
Publication of JP2016003947A5 publication Critical patent/JP2016003947A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Optical Transform (AREA)
  • Manipulator (AREA)
JP2014124132A 2014-06-17 2014-06-17 エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置 Pending JP2016003947A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014124132A JP2016003947A (ja) 2014-06-17 2014-06-17 エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014124132A JP2016003947A (ja) 2014-06-17 2014-06-17 エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016003947A true JP2016003947A (ja) 2016-01-12
JP2016003947A5 JP2016003947A5 (enExample) 2017-05-25

Family

ID=55223316

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014124132A Pending JP2016003947A (ja) 2014-06-17 2014-06-17 エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2016003947A (enExample)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108638096A (zh) * 2018-08-14 2018-10-12 深圳市零差云控科技有限公司 双码盘编码器及应用该双码盘编码器的伺服关节
CN108713129A (zh) * 2016-04-25 2018-10-26 株式会社尼康 编码器装置、驱动装置、载台装置及机械手装置
JP2019045450A (ja) * 2017-09-07 2019-03-22 株式会社ニコン エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置
KR20190091255A (ko) * 2016-08-02 2019-08-05 세르보센스 (에스엠씨) 엘티디. 고해상도 앱솔루트 인코더
WO2019198525A1 (ja) * 2018-04-10 2019-10-17 東京ロボティクス株式会社 関節ユニット、ロボットアーム及びロボット
DE112022000314T5 (de) 2021-01-28 2024-02-08 Fanuc Corporation Sensor zur erfassung von verschiebungen, steuervorrichtung und steuersystem

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63237616A (ja) * 1987-03-26 1988-10-04 Sony Corp 光学式多回転絶対値エンコ−ダ
JPH04297817A (ja) * 1991-03-27 1992-10-21 Mitsutoyo Corp アブソリュートエンコーダ装置
JPH11132792A (ja) * 1997-10-31 1999-05-21 Yaskawa Electric Corp 多回転型アブソリュートエンコーダ
WO2012050130A1 (ja) * 2010-10-12 2012-04-19 株式会社ニコン エンコーダ、駆動装置及びロボット装置
WO2013146371A1 (ja) * 2012-03-30 2013-10-03 株式会社デンソーウェーブ エンコーダ、エンコーダの取り付け方法、トルク制限機構、駆動装置及びロボット装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63237616A (ja) * 1987-03-26 1988-10-04 Sony Corp 光学式多回転絶対値エンコ−ダ
JPH04297817A (ja) * 1991-03-27 1992-10-21 Mitsutoyo Corp アブソリュートエンコーダ装置
JPH11132792A (ja) * 1997-10-31 1999-05-21 Yaskawa Electric Corp 多回転型アブソリュートエンコーダ
WO2012050130A1 (ja) * 2010-10-12 2012-04-19 株式会社ニコン エンコーダ、駆動装置及びロボット装置
WO2013146371A1 (ja) * 2012-03-30 2013-10-03 株式会社デンソーウェーブ エンコーダ、エンコーダの取り付け方法、トルク制限機構、駆動装置及びロボット装置

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108713129B (zh) * 2016-04-25 2021-03-12 株式会社尼康 编码器装置、驱动装置、载台装置及机械手装置
CN108713129A (zh) * 2016-04-25 2018-10-26 株式会社尼康 编码器装置、驱动装置、载台装置及机械手装置
KR20190091255A (ko) * 2016-08-02 2019-08-05 세르보센스 (에스엠씨) 엘티디. 고해상도 앱솔루트 인코더
KR102530408B1 (ko) * 2016-08-02 2023-05-09 세르보센스 (에스엠씨) 엘티디. 고해상도 앱솔루트 인코더
JP2019045450A (ja) * 2017-09-07 2019-03-22 株式会社ニコン エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置
JP7047287B2 (ja) 2017-09-07 2022-04-05 株式会社ニコン エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置
WO2019198525A1 (ja) * 2018-04-10 2019-10-17 東京ロボティクス株式会社 関節ユニット、ロボットアーム及びロボット
JP2019181623A (ja) * 2018-04-10 2019-10-24 東京ロボティクス株式会社 関節ユニット、ロボットアーム及びロボット
US11919158B2 (en) 2018-04-10 2024-03-05 Tokyo Robotics Inc. Joint unit, robot arm and robot
CN108638096A (zh) * 2018-08-14 2018-10-12 深圳市零差云控科技有限公司 双码盘编码器及应用该双码盘编码器的伺服关节
CN108638096B (zh) * 2018-08-14 2025-03-21 深圳市零差云控科技有限公司 双码盘编码器及应用该双码盘编码器的伺服关节
DE112022000314T5 (de) 2021-01-28 2024-02-08 Fanuc Corporation Sensor zur erfassung von verschiebungen, steuervorrichtung und steuersystem
US12480788B2 (en) 2021-01-28 2025-11-25 Fanuc Corporation Displacement detecting sensor, control device, and control system

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2016003947A (ja) エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置
US11002355B2 (en) Actuator with sensor on output flange
KR102471820B1 (ko) 스트레인 웨이브 기어
JP6817841B2 (ja) 電動機付き減速機
US20180363754A1 (en) Driving apparatus
US20070281824A1 (en) Reduction gear unit with rotational position sensor
CN111936276A (zh) 关节单元、机械臂以及机器人
KR101234511B1 (ko) 자기 엔코더로 로봇의 위치제어를 실시하는 로봇 엑츄에이터
JP2016161088A (ja) モーターを有する減速機
CN111482950A (zh) 机器人
JP2016003947A5 (enExample)
US11260546B2 (en) Robot
KR20190017353A (ko) 통합구동장치 및 이를 가지는 산업용 로봇
JP2015206747A (ja) エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置
JP2016057215A (ja) エンコーダ、駆動装置、及びロボット装置
JP2018051675A (ja) エンコーダ装置、ロボット
JP2012209747A (ja) 非接触通信装置、通信方法及びロボット装置
CN105322713A (zh) 带电动机的减速机
CN111520456A (zh) 一种智能减速机
KR20200000044U (ko) 자기센서를 이용한 일체형 액추에이터
JP5130184B2 (ja) 回転検出器付き減速装置
JP2012154923A (ja) 角度測定装置
CN115870958A (zh) 驱动单元及机器人
JP2010074253A (ja) 双方向光通信装置
JP2019150914A (ja) ロボットの手首ユニット

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20170322

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20170406

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20180129

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180213

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20180807