JP2015528892A - 交流磁界誘導装置 - Google Patents

交流磁界誘導装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2015528892A
JP2015528892A JP2015515374A JP2015515374A JP2015528892A JP 2015528892 A JP2015528892 A JP 2015528892A JP 2015515374 A JP2015515374 A JP 2015515374A JP 2015515374 A JP2015515374 A JP 2015515374A JP 2015528892 A JP2015528892 A JP 2015528892A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic field
field induction
induction device
conversion module
force
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2015515374A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6042978B2 (ja
Inventor
ホァン・ジェン
Original Assignee
ネイションズ テクノロジーズ インコーポレーテッド
ネイションズ テクノロジーズ インコーポレーテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ネイションズ テクノロジーズ インコーポレーテッド, ネイションズ テクノロジーズ インコーポレーテッド filed Critical ネイションズ テクノロジーズ インコーポレーテッド
Publication of JP2015528892A publication Critical patent/JP2015528892A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6042978B2 publication Critical patent/JP6042978B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/028Electrodynamic magnetometers
    • G01R33/0286Electrodynamic magnetometers comprising microelectromechanical systems [MEMS]
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/038Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using permanent magnets, e.g. balances, torsion devices
    • G01R33/0385Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using permanent magnets, e.g. balances, torsion devices in relation with magnetic force measurements

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Magnetic Variables (AREA)
  • Hall/Mr Elements (AREA)

Abstract

交流磁界誘導装置であって、少なくとも1つの磁石(1)と、少なくとも1つの力電気変換モジュール(2)と、を含み、前記磁石(1)と前記力電気変換モジュール(2)とが機械的に接続され、前記磁石(1)が交流磁界から受信された磁気信号を機械力に変換して前記力電気変換モジュール(2)に伝達し、前記力電気変換モジュール(2)が前記磁石(1)から提供された機械力を電気信号に変換する。【選択図】図1

Description

本発明は交流磁界誘導装置に関するものであり、交流磁界分野に属する。
近年、従来の交流磁界誘導技術について、例えば、コイルの頻度が高いほど感度が高くなるが、比較的に低い周波数の磁界を誘導しにくいとともに、高周波数の干渉の影響を受けやすくて、弱信号を誘導するにはコイルの体積を大きくする必要がある。ホール素子、磁気抵抗素子は静磁界を誘導するが、静磁界信号がハイパスフィルタによって除去されることができるが、センサー自身にとって、地磁気が存在する環境で、比較的に弱い変化の磁界を誘導するには、非常に大きなダイナミックレンジの必要がある。
従来の交流磁界誘導技術は高周波数の干渉の影響が大きい、感度が低いという不具合に対して、本発明は、感度が高い、高周波数の干渉の影響が小さい交流磁界誘導装置を提供している。
上記の技術的課題を解決するための本発明は以下の通りである。交流磁界誘導装置であって、少なくとも1つの磁石と、少なくとも1つの力電気変換モジュールと、を含み、
前記磁石と前記力電気変換モジュールとが機械的に接続され、前記磁石が交流磁界から受信された磁気信号を機械力に変換して前記力電気変換モジュールに伝達し、
前記力電気変換モジュールが前記磁石から提供された機械力を電気信号に変換する。
本発明の有益な効果は、本発明に係る交流磁界誘導装置は、磁石が交流磁界信号を力に変換し、力電気変換モジュールが力を電気信号を変換する交流磁界と電気信号との変換を実現し、本装置の感度が高くて、静磁界の影響が小さくて、高周波数の干渉の影響が小さい。
上記の発明を基に、本発明は以下のように改善するようにしてよい。
さらに、前記交流磁界誘導装置は、処理モジュールをさらに含み、前記処理モジュールが少なくとも2つの力電気変換モジュールと接続され、前記処理モジュールが2つの力電気変換モジュールの電気信号を受信し比較して干渉信号を算出する。
さらに、前記処理モジュールが除去する干渉は、振動干渉と、加速度干渉と、重力干渉と、を含む。
さらに、前記磁石は永久磁石または電磁石である。
さらに、前記交流磁界誘導装置は電磁石で励磁電流を調節して感度を変化する。さらに、前記力電気変換モジュールは、圧電素子、電気抵抗ひずみ素子、コンデンサ式センサー、光電式センサー、光ファイバ応力センサー、半導体ひずみゲージセンサー、サファイア圧力センサー、またはMEMS圧力や応力センサーなどである。
さらに、前記圧電素子の材料は、
セラミック類材料、または、
クリス晶石、セニエット塩などのような圧電単結晶、または、
チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、ニオブマグネシウム酸鉛などのような、圧電セラミックスとも呼ばれる多結晶圧電セラミックス、または、
ポリビニリデンフルオライド(PVDF)、または、
単結晶シリコン、多結晶シリコンを含む。
さらに、前記セラミック類材料は、セラミック類のチタン酸バリウム、単結晶類の石英、トルマリン、ロッテ塩、タンタル酸塩、ニオブ酸塩など、または薄膜類の酸化亜鉛を含む。
さらに、前記交流磁界誘導装置は、加速度、振動および重力方向の変化を機械力に変換して前記力電気変換モジュールに提供するための非磁性バランスウェイトをさらに含む。
さらに、前記交流磁界誘導装置は、フレームと、フレーム外部に設けられるケースとをさらに含み、前記力電気変換モジュールおよび前記磁石がいずれも前記ケースの内部に設けられ、前記交流磁界誘導装置における力電気変換モジュールがフレームの間に固定され、前記力電気変換モジュールが第1電極と第2電極とを含む。
本発明の具体的な実施例1に係る交流磁界誘導装置の構成を示す図である。 本発明の具体的な実施例2に係る交流磁界誘導装置の構成を示す図である。 本発明の具体的な実施例3に係る交流磁界誘導装置の構成を示す図である。 本発明の具体的な実施例4に係る交流磁界誘導装置の構成を示す図である。 本発明の具体的な実施例5に係る交流磁界誘導装置の構成を示す図である。 本発明の具体的な実施例6に係る交流磁界誘導装置の構成を示す図である。 本発明の具体的な実施例1に係る交流磁界誘導装置の応用を示す図である。
以下、図面を参照して本発明の原理および特徴を説明する。実施例は本発明を解釈するものだけであり、本発明の範囲を限定するものではない。
図1に示すように、本発明の具体的な実施例1に係る交流磁界誘導装置であって、1つの磁石1と、1つの力電気変換モジュール2と、を含み、前記磁石1と前記力電気変換モジュール2とが機械的に接続され、前記磁石1が交流磁界から受信された磁気信号を機械力に変換して前記力電気変換モジュール2に伝達し、前記力電気変換モジュール2が前記磁石1から提供された機械力を電気信号に変換する。
前記機械的な接続は、接着、溶接、または永久磁石材料を力電気変換モジュール2にスパッタリングや蒸着する工程技術手段などであってよい。
前記磁石1は電磁石である。
前記交流磁界誘導装置は電磁石で励磁電流を調節して感度を変化する。
前記力電気変換モジュール2は圧電素子である。
前記圧電素子の材料は陶器類のチタン酸バリウムである。
前記交流磁界誘導装置が装着の際に、力電気変換モジュール2は固定部分である。
図2に示すように、本発明の具体的な実施例2に係る交流磁界誘導装置であって、1つの磁石1と、3つの力電気変換モジュール2と、を含み、前記磁石1はそれぞれ第1力電気変換モジュール25、第2力電気変換モジュール26、および第3力電気変換モジュール27と機械的に接続され、前記磁石1が交流磁界から受信された磁気信号を機械力に変換して前記力電気変換モジュール2に伝達し、前記力電気変換モジュール2が前記磁石1から提供された機械力を電気信号に変換する。
前記磁石1は電磁石である。
前記交流磁界誘導装置は電磁石で励磁電流を調節して感度を変化する。
前記力電気変換モジュール2は電気抵抗ひずみ素子である。
前記交流磁界誘導装置が装着の際に、力電気変換モジュール2は固定部分である。
図3に示すように、本発明の具体的な実施例3に係る交流磁界誘導装置であって、2つの磁石1と、4つの力電気変換モジュール2と、を含み、前記各磁石1と2つの力電気変換モジュール2とが機械的に接続され、前記磁石1が交流磁界から受信された磁気信号を機械力に変換して前記力電気変換モジュール2に伝達し、前記力電気変換モジュール2が前記磁石1から提供された機械力を電気信号に変換する。
前記磁石1は電磁石である。
前記交流磁界誘導装置は電磁石で励磁電流を調節して感度を変化する。
前記力電気変換モジュール2は、電界の変化を介して、容量の変化を反映するエレクトレットコンデンサセンサーまたは静電コンデンサセンサーであるコンデンサ式センサーであり、または発振器の周波数の変化を介して、容量の変化を反映するLC、RC発振器であり、または回路の時定数の変化を介して、容量の変化を反映するRC充放電回路であり、または積分器のスロープを介して、容量の変化を反映する積分器であってもよい。
前記交流磁界誘導装置が装着の際に、力電気変換モジュール2は固定部分である。
図4に示すように、本発明の具体的な実施例4に係る交流磁界誘導装置であって、2つの磁石1と、1つの力電気変換モジュール2と、を含み、前記2つの磁石1と1つの力電気変換モジュール2とが機械的に接続され、前記磁石1が交流磁界から受信された磁気信号を機械力に変換して前記力電気変換モジュール2に伝達し、前記力電気変換モジュール2が前記磁石1から提供された機械力を電気信号に変換する。
前記磁石1は電磁石である。
前記交流磁界誘導装置は電磁石で励磁電流を調節して感度を変化する。
前記力電気変換モジュール2は光ファイバ応力センサーである。前記交流磁界誘導装置が装着の際に、力電気変換モジュール2は固定部分である。
図5に示すように、本発明の具体的な実施例5に係る交流磁界誘導装置であって、1つの磁石1と、1つのバランスウェイト6と、2つの力電気変換モジュール2と、を含み、前記磁石1と第1力電気変換モジュール23とが機械的に接続され、交流磁界信号を磁力に変換して第1力電気変換モジュール23に伝達し、前記バランスウェイト6と第2力電気変換モジュール24とが機械的に接続され、装置の受ける振動および加速度または重力変化を応力に変換して第2力電気変換モジュール24に伝達し、第1、第2力電気変換モジュール23、24はそれぞれ2つの力を電気信号に変換する。
前記交流磁界誘導装置は処理モジュール3をさらに含み、前記処理モジュール3と2つの力電気変換モジュール2とが接続され、時間領域または周波数領域で磁界信号から干渉を除去する。具体的に、磁石1と第1力電気変換モジュール23は有用な磁界信号および振動などの干渉信号を誘導し、バランスウェイト6と第2力電気変換モジュール24は振動などの干渉信号のみを誘導し、処理モジュール3は時間領域または周波数領域で干渉信号を利用して有用な信号における干渉信号を相殺することができ、干渉を除去することができる。
前記処理モジュールが除去する干渉は、振動干渉と、加速度干渉と、重力干渉と、を含む。
前記磁石1は電磁石である。
前記交流磁界誘導装置は電磁石で励磁電流を調節して感度を変化する。
前記力電気変換モジュール2はMEMS圧力や応力センサーである。
前記MEMS圧力や応力センサーが集積電路に設けられている。
前記交流磁界誘導装置が装着の際に、力電気変換モジュール2は固定部分である。
図6に示すように、本発明の具体的な実施例6に係る交流磁界誘導装置であって、1つの磁石1と、2つの力電気変換モジュール2と、1つの処理モジュール3と、を含み、前記磁石1はそれぞれ2つの力電気変換モジュール2とが機械的に接続され、前記磁石1が交流磁界から受信された磁気信号を機械力に変換して前記力電気変換モジュール2に伝達し、前記力電気変換モジュール2が前記磁石1から提供された機械力を電気信号に変換し、前記処理モジュール3は2つの力電気変換モジュール2と接続され、2つの力電気変換モジュール2の電気信号を受信し比較して干渉信号を算出し、処理モジュール3は時間領域または周波数領域で干渉信号を利用して有用な信号における干渉信号を相殺することができ、干渉を除去することができる。
前記処理モジュールが除去する干渉は、振動干渉と、加速度干渉と、重力干渉と、を含む。
前記磁石1は電磁石である。
前記交流磁界誘導装置は電磁石で励磁電流を調節して感度を変化する。
前記力電気変換モジュール2はMEMS圧力や応力センサーである。
前記MEMS圧力や応力センサーが集積電路に設けられている。
前記交流磁界誘導装置が装着の際に、力電気変換モジュール2は固定部分である。
図7に示すように、本発明の具体的な実施例1に係る交流磁界誘導装置は、具体的に使用する際に、フレーム5の間に設けられ、フレーム5と装置の外部にケース4が設けられ、前記交流磁界誘導装置での力電気変換モジュール2がフレーム5の間に固定され、前記磁石1と力電気変換モジュール2とが接続され、前記力電気変換モジュール2は第1電極21と第2電極22とを含み、バランスウェイト6は圧電セラミックを採用する。
上記は、本発明の好ましい実施例にすぎず、本発明の保護範囲を限定するものではない。本発明の精神と原則内で行われる種々の修正、均等置換、改善などは全て本発明の保護範囲内に含まれるべきである。

Claims (10)

  1. 交流磁界誘導装置であって、少なくとも1つの磁石と、少なくとも1つの力電気変換モジュールと、を含み、
    前記磁石と前記力電気変換モジュールとが機械的に接続され、前記磁石が交流磁界から受信された磁気信号を機械力に変換して前記力電気変換モジュールに伝達し、
    前記力電気変換モジュールが前記磁石から提供された機械力を電気信号に変換することを特徴とする交流磁界誘導装置。
  2. 前記交流磁界誘導装置は、処理モジュールをさらに含み、前記処理モジュールが少なくとも2つの力電気変換モジュールと接続され、前記処理モジュールが2つの力電気変換モジュールの電気信号を受信し比較して干渉信号を算出することを特徴とする請求項1に記載の交流磁界誘導装置。
  3. 前記処理モジュールが除去する干渉は、振動干渉と、加速度干渉と、重力干渉とを含むことを特徴とする請求項2に記載の交流磁界誘導装置。
  4. 前記磁石は永久磁石または電磁石であることを特徴とする請求項1に記載の交流磁界誘導装置。
  5. 前記交流磁界誘導装置は電磁石で励磁電流を調節して感度を変化することを特徴とする請求項4に記載の交流磁界誘導装置。
  6. 前記力電気変換モジュールは、圧電素子、電気抵抗ひずみ素子、コンデンサ式センサー、光電式センサー、光ファイバ応力センサー、半導体ひずみゲージセンサー、サファイア圧力センサー、またはMEMS圧力や応力センサーであることを特徴とする請求項1に記載の交流磁界誘導装置。
  7. 前記圧電素子の材料は、
    セラミック類材料、または
    圧電単結晶、または
    多結晶圧電セラミックス、または
    ポリビニリデンフルオライド(PVDF)、または
    単結晶シリコン、多結晶シリコンを含むことを特徴とする請求項6に記載の交流磁界誘導装置。
  8. 前記セラミック類材料は、セラミック類のチタン酸バリウム、単結晶類の石英、トルマリン、ロッテ塩、タンタル酸塩、ニオブ酸塩、薄膜類の酸化亜鉛を含むことを特徴とする請求項7に記載の交流磁界誘導装置。
  9. 前記交流磁界誘導装置は、加速度、振動および重力方向の変化を機械力に変換して前記力電気変換モジュールに提供するための非磁性バランスウェイトをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の交流磁界誘導装置。
  10. 前記交流磁界誘導装置は、フレームと、フレーム外部に設けられるケースとをさらに含み、前記力電気変換モジュールおよび前記磁石がいずれも前記ケースの内部に設けられ、前記交流磁界誘導装置での力電気変換モジュールがフレームの間に固定され、前記力電気変換モジュールは第1電極と第2電極とを含むことを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の交流磁界誘導装置。
JP2015515374A 2012-06-04 2013-04-16 交番磁界誘導装置 Active JP6042978B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210180272.5 2012-06-04
CN201210180272.5A CN103454596B (zh) 2012-06-04 2012-06-04 一种交变磁场感应装置
PCT/CN2013/074230 WO2013181970A1 (zh) 2012-06-04 2013-04-16 一种交变磁场感应装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2015528892A true JP2015528892A (ja) 2015-10-01
JP6042978B2 JP6042978B2 (ja) 2016-12-14

Family

ID=49711344

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015515374A Active JP6042978B2 (ja) 2012-06-04 2013-04-16 交番磁界誘導装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US9606192B2 (ja)
JP (1) JP6042978B2 (ja)
CN (1) CN103454596B (ja)
WO (1) WO2013181970A1 (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103869263A (zh) * 2014-03-27 2014-06-18 华北电力大学(保定) 一种简易磁场检测仪
CN105699917B (zh) * 2016-01-28 2018-10-02 青岛大学 一种基于qcm及磁性微纳米纤维的磁场探测器及制备方法
CN106291408B (zh) * 2016-10-11 2023-06-09 中国计量大学 基于磁致伸缩体和驻极体的磁电转换器
CN111487567B (zh) * 2020-05-14 2022-09-23 上海科技大学 基于洛伦兹力的压电磁传感器及其制备方法

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5276972A (en) * 1975-12-18 1977-06-28 Foner Simon Magnetometer
JPS58122474A (ja) * 1982-01-14 1983-07-21 Toshiba Corp 磁気センサ
JPH01142477A (ja) * 1987-11-30 1989-06-05 Tohoku Tokushuko Kk 磁化検出用加振器
JPH0318712A (ja) * 1989-06-16 1991-01-28 Toshiba Corp 地磁気方位センサ
JPH0526744A (ja) * 1991-07-17 1993-02-02 Kazuhiro Okada 圧電素子を用いた力・加速度・磁気のセンサ
JPH0743226A (ja) * 1993-07-29 1995-02-14 Kazuhiro Okada 圧電素子を用いた力・加速度・磁気のセンサ
JPH11271351A (ja) * 1998-03-19 1999-10-08 Mitsubishi Electric Corp 圧電検出素子
JP2000065908A (ja) * 1998-08-25 2000-03-03 Victor Co Of Japan Ltd 磁気センサ及び磁気検出システム
US6809515B1 (en) * 1998-07-31 2004-10-26 Spinix Corporation Passive solid-state magnetic field sensors and applications therefor
JP2010210622A (ja) * 2009-03-06 2010-09-24 Commissariat A L'energie Atomique & Aux Energies Alternatives 永久磁石を備えた磁場成分の勾配センサ
US20110304325A1 (en) * 2009-01-26 2011-12-15 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Ene Alt Magnetic field sensor with suspended stress gauge

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2188157B (en) * 1986-03-10 1990-07-18 Gec Avionics Magnetic sensor arrangements
US5675252A (en) * 1995-06-19 1997-10-07 Sqm Technology, Inc. Composite structured piezomagnetometer
JP2002340922A (ja) * 2001-01-25 2002-11-27 Nsk Ltd 車輪用回転検出装置
CA2503828A1 (en) * 2002-06-18 2003-12-24 Loyal Port Company Limited Magnetic bridge type current sensor, magnetic bridge type current detecting method, and magnetic bridge for use in that sensor and detecting method
US6984902B1 (en) * 2003-02-03 2006-01-10 Ferro Solutions, Inc. High efficiency vibration energy harvester
CN100561249C (zh) * 2007-10-29 2009-11-18 北京航空航天大学 一种巨磁电阻传感器特性检测装置及方法
CN102735900A (zh) * 2011-04-01 2012-10-17 台达电子工业股份有限公司 无源式交流电流感测器

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5276972A (en) * 1975-12-18 1977-06-28 Foner Simon Magnetometer
JPS58122474A (ja) * 1982-01-14 1983-07-21 Toshiba Corp 磁気センサ
JPH01142477A (ja) * 1987-11-30 1989-06-05 Tohoku Tokushuko Kk 磁化検出用加振器
JPH0318712A (ja) * 1989-06-16 1991-01-28 Toshiba Corp 地磁気方位センサ
JPH0526744A (ja) * 1991-07-17 1993-02-02 Kazuhiro Okada 圧電素子を用いた力・加速度・磁気のセンサ
JPH0743226A (ja) * 1993-07-29 1995-02-14 Kazuhiro Okada 圧電素子を用いた力・加速度・磁気のセンサ
JPH11271351A (ja) * 1998-03-19 1999-10-08 Mitsubishi Electric Corp 圧電検出素子
US6809515B1 (en) * 1998-07-31 2004-10-26 Spinix Corporation Passive solid-state magnetic field sensors and applications therefor
JP2000065908A (ja) * 1998-08-25 2000-03-03 Victor Co Of Japan Ltd 磁気センサ及び磁気検出システム
US20110304325A1 (en) * 2009-01-26 2011-12-15 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Ene Alt Magnetic field sensor with suspended stress gauge
JP2010210622A (ja) * 2009-03-06 2010-09-24 Commissariat A L'energie Atomique & Aux Energies Alternatives 永久磁石を備えた磁場成分の勾配センサ

Also Published As

Publication number Publication date
CN103454596B (zh) 2017-04-12
US9606192B2 (en) 2017-03-28
CN103454596A (zh) 2013-12-18
JP6042978B2 (ja) 2016-12-14
WO2013181970A1 (zh) 2013-12-12
US20150192645A1 (en) 2015-07-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6042978B2 (ja) 交番磁界誘導装置
CN104198963B (zh) 一种磁电声表面波磁场传感器及其制备方法
EP2972417B1 (en) Magnetometer using magnetic materials on accelerometer
Patil et al. Anisotropic self-biased dual-phase low frequency magneto-mechano-electric energy harvesters with giant power densities
CN102177421A (zh) 用于确定和/或监测介质的过程变量的装置
Johari et al. Capacitive bulk acoustic wave silicon disk gyroscopes
Kwon et al. Study on a flexoelectric microphone using barium strontium titanate
Niekiel et al. Highly sensitive MEMS magnetic field sensors with integrated powder-based permanent magnets
CN108375371A (zh) 一种基于模态局部化效应的四自由度弱耦合谐振式加速度计
WO2013125200A1 (ja) 慣性力センサ
CN109307850A (zh) 利用磁通电调控抑制低频噪声的磁传感器及其应用方法
CN109728791A (zh) 相对于温度变化稳定性提高的微机电谐振器系统
JP2019053055A (ja) 自動周波数制御回路用の圧電素子、それを備えた機械振動系および装置
US20160116552A1 (en) Magnetic field measuring device with vibration compensation
JPH04502202A (ja) 角速度を検出するためのセンサー
JP6076684B2 (ja) 無給電センサ及びこれを用いた無線センサネットワーク
Li et al. Terfenol-D/Pb (Zr, Ti) O 3 disk-ring multiferroic heterostructures coupled through normal stresses
CN110286338B (zh) 一种适用于一体式三轴磁传感器的磁场调制结构
Chen et al. Self-clocked dual-resonator micromachined Lorentz force magnetometer based on electromechanical sigma-delta modulation
CN115808647A (zh) 一种交直流两用磁场传感器
JP4302824B2 (ja) 自励振型マイクロフォン
JP2015087257A (ja) 振動片、角速度センサー、電子機器及び移動体並びに振動片の製造方法
JP2012205465A (ja) 振動発電素子
Liu et al. Fabrication and test of an electromagnetic vibrating ring gyroscope based on SOI wafer
RU2010120200A (ru) Микромеханический выбрационный гироскоп

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20151006

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20151117

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160412

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160628

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20161025

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20161110

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6042978

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250