JP2015507369A - ステージシステム及びリソグラフィ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
オブジェクトを支持するように構成されたショートストローク部と、ショートストローク部を支持するように構成されたロングストローク部と、を備え、ショートストローク部がロングストローク部に対して第1移動範囲にわたって移動可能であり、ロングストローク部がロングストローク部を支持するように配置されたベース支持体に対して第2移動範囲にわたって移動可能であり、第2移動範囲が第1移動範囲よりも実質的に大きく、
ショートストローク部とロングストローク部との間に配置され、ロングストローク部とショートストローク部との間の空間内の、ロングストローク部の移動及び/又は変形によって引き起こされる圧力変動に対してショートストローク部を遮蔽するように構成された遮蔽要素と、
遮蔽要素の位置関連量を制御する位置制御システムであって、位置制御システムが、遮蔽要素とショートストローク部との間の実質的に一定の距離を維持するように構成され、位置制御システムが、ショートストローク部に対する遮蔽要素の位置関連量を決定するセンサと、決定された位置関連量に基づいて制御信号を提供するコントローラと、制御信号に基づいて遮蔽要素を駆動する少なくとも1つのアクチュエータと、を備え、アクチュエータが遮蔽要素とロングストローク部との間、又は遮蔽要素とベース支持体との間に配置された位置制御システムとを備える可動ステージシステムが提供される。
放射ビームを調節するように構成された照明システムと、
放射ビームの断面にパターンを付与してパターン付放射ビームを形成することができるパターニングデバイスを支持するように構築された支持体と、
基板を保持するように構築された基板支持体と、
パターン付放射ビームを基板上のターゲット部分上に投影するように構成された投影システムと、を備え、リソグラフィ装置が、オブジェクトを支持するように構成された可動ステージシステムを備え、ステージシステムが、
オブジェクトを支持するように構成されたショートストローク部と、
ショートストローク部を支持するように構成されたロングストローク部であって、ショートストローク部がロングストローク部に対して第1移動範囲にわたって移動可能で、ロングストローク部がロングストローク部を支持するように配置されたベース支持体に対して第2移動範囲にわたって移動可能であり、第2移動範囲が第1移動範囲よりもかなり大きいロングストローク部と、
ショートストローク部とロングストローク部との間に配置され、ロングストローク部とショートストローク部との間の空間内のロングストローク部の移動及び/又は変形によって引き起こされる圧力変動に対してショートストローク部を遮蔽する遮蔽要素と、
遮蔽要素の位置関連量を制御する位置制御システムであって、位置制御システムが、遮蔽要素とショートストローク部との間の実質的に一定の距離を維持するように構成され、位置制御システムが、ショートストローク部に対する遮蔽要素の位置関連量を決定するセンサと、決定された位置関連量に基づいて制御信号を提供するコントローラと、制御信号に基づいて遮蔽要素を駆動する少なくとも1つのアクチュエータとを備え、アクチュエータが、遮蔽要素とロングストローク部との間、又は遮蔽要素とベース支持体との間に配置された位置制御システムと、を備え、
ステージシステムがパターニングデバイス支持体又は基板支持体である、リソグラフィ装置が提供される。
放射ビームを調節するように構成された照明システムと、
放射ビームの断面にパターンを付与してパターン付放射ビームを形成することができるパターニングデバイスを支持するように構築された支持体と、
基板を保持するように構築された基板支持体と、
パターン付放射ビームを基板のターゲット部分上に投影するように構成された投影システムと、を備え、
第1オブジェクトと、
第2オブジェクトと、
第1オブジェクトと第2オブジェクトとの間に配置され、第1オブジェクトと第2オブジェクトとの間の空間内の、第1オブジェクトの移動及び/又は変形によって引き起こされる圧力変動に対して第2オブジェクトを遮蔽するように構成された遮蔽要素と、
遮蔽要素の位置関連量を制御する位置制御システムであって、位置制御システムが、遮蔽要素と第2オブジェクトとの間の実質的に一定の距離を維持するように構成され、第2オブジェクトに対する遮蔽要素の位置関連量を決定するセンサと、決定された位置関連量に基づいて制御信号を提供するコントローラと、制御信号に基づいて遮蔽要素を駆動する少なくとも1つのアクチュエータとを備える位置制御システムと、をさらに備えるリソグラフィ装置が提供される。
Claims (15)
- オブジェクトを支持する可動ステージシステムであって、前記ステージシステムは、
前記オブジェクトを支持するショートストローク部と、
前記ショートストローク部を支持するロングストローク部であって、前記ショートストローク部が前記ロングストローク部に対して第1移動範囲にわたって移動可能であり、前記ロングストローク部が、前記ロングストローク部を支持するベース支持体に対して第2移動範囲にわたって移動可能であり、前記第2移動範囲が前記第1移動範囲よりも実質的に大きい、ロングストローク部と、
前記ショートストローク部と前記ロングストローク部との間に配置された遮蔽要素であって、前記ロングストローク部と前記ショートストローク部との間の空間内の、前記ロングストローク部の移動及び/又は変形によって引き起こされる圧力変動に対して前記ショートストローク部を遮蔽する遮蔽要素と、
前記遮蔽要素の位置関連量を制御する位置制御システムであって、前記位置制御システムが、前記遮蔽要素と前記ショートストローク部との間の実質的に一定の距離を維持し、前記位置制御システムが、前記ショートストローク部に対する前記遮蔽要素の位置関連量を決定するセンサと、決定された前記位置関連量に基づいて制御信号を提供するコントローラと、前記制御信号に基づいて前記遮蔽要素を駆動する少なくとも1つのアクチュエータと、を備え、前記アクチュエータが前記遮蔽要素と前記ロングストローク部との間又は前記遮蔽要素と前記ベース支持体との間に配置される、位置制御システムと、を備える可動ステージシステム。 - 前記遮蔽要素の位置関連量が第1方向に制御され、前記遮蔽要素が前記第1方向の突起部において前記ショートストローク部及び前記ロングストローク部の重なり合う面に実質的に広がる、請求項1に記載のステージシステム。
- 前記センサは前記ショートストローク部上に配置される、請求項1に記載のステージシステム。
- 前記位置関連量が、前記ショートストローク部に対する前記遮蔽要素の位置、速度又は加速度である、請求項1に記載のステージシステム。
- 前記遮蔽要素が、前記ステージシステムの移動の主方向に前記遮蔽要素を安定化させる1つ以上のキネマティックカップリングを有する前記ロングストローク部上に搭載され、前記位置制御システムが、前記移動の主方向に対して実質的に垂直の方向に、前記ショートストローク部と前記ロングストローク部との間の一定の距離を維持する、請求項1に記載のステージシステム。
- 前記位置制御システムが、3つの垂直方向の前記ショートストローク部に対して前記遮蔽要素の位置関連量を決定する1つ以上のセンサと、前記センサ信号に基づいて前記3つの方向に前記遮蔽要素を駆動して前記ショートストローク部に対する前記遮蔽要素の実質的に一定の位置を維持する少なくとも3つのアクチュエータと、を備える、請求項1に記載のステージシステム。
- 前記遮蔽要素が板状の要素である、請求項1に記載のステージシステム。
- 前記遮蔽要素が、前記ショートストローク部に対向する前記ロングストローク部の少なくとも側面で前記ロングストローク部を実質的に閉鎖する、請求項1に記載のステージシステム。
- 前記遮蔽要素が、前記ショートストローク部に対向する前記ショートストローク部の少なくとも側面で前記ショートストローク部を実質的に閉鎖する、請求項1に記載のステージシステム。
- 前記位置制御システムが前記遮蔽要素の形状を制御する、請求項1に記載のステージシステム。
- 前記位置制御システムが、前記遮蔽要素の形状を決定する複数のセンサと、前記遮蔽要素の形状を制御するように前記遮蔽要素の複数の場所に搭載された複数のアクチュエータと、を備える、請求項10に記載のステージシステム。
- 前記遮蔽要素が、能動的若しくは受動的な冷却システム、及び/又は、熱吸収材料若しくは反射材料、及び/又は、電磁吸収材料若しくは反射材料、及び/又は、電場吸収材料若しくは反射材料を含む、請求項1に記載のステージシステム。
- 前記遮蔽要素が、前記ロングストローク部と前記ショートストローク部との間に敷設されたケーブル束を保持するケーブル束ホルダを支持する、請求項1に記載のステージシステム。
- リソグラフィ装置であって、
放射ビームを調節する照明システムと、
放射ビームの断面にパターンを付与してパターン付放射ビームを形成することができるパターニングデバイスを支持する支持体と、
基板を保持する基板支持体と、
パターン付放射ビームを基板上のターゲット部分上に投影する投影システムと、を備え、
前記リソグラフィ装置が、請求項1に記載の可動ステージシステムを備え、前記ステージシステムがパターニングデバイス支持体又は基板支持体である、リソグラフィ装置。 - リソグラフィ装置であって、
放射ビームを調節する照明システムと、
放射ビームの断面にパターンを付与してパターン付放射ビームを形成することができるパターニングデバイスを支持する支持体と、
基板を保持する基板支持体と、
パターン付放射ビームを基板のターゲット部分上に投影する投影システムと、
第1オブジェクトと、
第2オブジェクトと、
前記第1オブジェクトと前記第2オブジェクトとの間に配置され、前記第1オブジェクトと前記第2オブジェクトとの間の空間内の、前記第1オブジェクトの移動及び/又は変形によって引き起こされる圧力変動に対して前記第2オブジェクトを遮蔽する遮蔽要素と、
前記遮蔽要素の位置関連量を制御する位置制御システムであって、前記位置制御システムが、前記遮蔽要素と前記第2オブジェクトとの間の実質的に一定の距離を維持し、前記位置制御システムが、前記第2オブジェクトに対する前記遮蔽要素の位置関連量を決定するセンサと、前記決定された位置関連量に基づいて制御信号を提供するコントローラと、前記制御信号に基づいて前記遮蔽要素を駆動する少なくとも1つのアクチュエータと、を備える位置制御システムと、を備えるリソグラフィ装置。
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