JP2015503844A - 2つまたはそれ以上の薄膜ベースの相互接続型光起電力セルを製造する改良された方法 - Google Patents

2つまたはそれ以上の薄膜ベースの相互接続型光起電力セルを製造する改良された方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2015503844A
JP2015503844A JP2014549105A JP2014549105A JP2015503844A JP 2015503844 A JP2015503844 A JP 2015503844A JP 2014549105 A JP2014549105 A JP 2014549105A JP 2014549105 A JP2014549105 A JP 2014549105A JP 2015503844 A JP2015503844 A JP 2015503844A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
channel
layer
channels
active layer
photovoltaic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2014549105A
Other languages
English (en)
Inventor
レベッカ・クリスティン−リグマン・フィースト
マイケル・イー・ミルズ
Original Assignee
ダウ グローバル テクノロジーズ エルエルシー
ダウ グローバル テクノロジーズ エルエルシー
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ダウ グローバル テクノロジーズ エルエルシー, ダウ グローバル テクノロジーズ エルエルシー filed Critical ダウ グローバル テクノロジーズ エルエルシー
Publication of JP2015503844A publication Critical patent/JP2015503844A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/18Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
    • H01L31/1884Manufacture of transparent electrodes, e.g. TCO, ITO
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/04Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
    • H01L31/042PV modules or arrays of single PV cells
    • H01L31/0445PV modules or arrays of single PV cells including thin film solar cells, e.g. single thin film a-Si, CIS or CdTe solar cells
    • H01L31/046PV modules composed of a plurality of thin film solar cells deposited on the same substrate
    • H01L31/0463PV modules composed of a plurality of thin film solar cells deposited on the same substrate characterised by special patterning methods to connect the PV cells in a module, e.g. laser cutting of the conductive or active layers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/04Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
    • H01L31/042PV modules or arrays of single PV cells
    • H01L31/0445PV modules or arrays of single PV cells including thin film solar cells, e.g. single thin film a-Si, CIS or CdTe solar cells
    • H01L31/046PV modules composed of a plurality of thin film solar cells deposited on the same substrate
    • H01L31/0465PV modules composed of a plurality of thin film solar cells deposited on the same substrate comprising particular structures for the electrical interconnection of adjacent PV cells in the module
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy
    • Y02E10/541CuInSe2 material PV cells
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Sustainable Development (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Sustainable Energy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Photovoltaic Devices (AREA)

Abstract

本発明は、2つまたはそれ以上の薄膜ベースの相互接続型光起電力セル(100)を製造する方法を目的とし、方法は、a)可撓性導電基材と、少なくとも1つの光電的活性層と、最上部の透明導電層とを含む光起電力物品を供給する工程と、b)可撓性導電基材を貫通して1つ以上の第1のチャネル(140)を形成し、光電的活性層の一部を露出させる工程と、c)導電基材に絶縁セグメントを施し、1つ以上の第1チャネルをスパンする工程と、d)光電的活性層を貫通して、1つ以上の第1のチャネルからオフセットされる1つ以上の第2のチャネルを形成して、可撓性導電基材の導電表面を露出させる工程と、f)最上部の透明導電層を貫通して光電的活性層に至る、第1のチャネルおよび第2のチャネルの双方からオフセットされる1つ以上の第3のチャネル(170)を形成する工程と、g)導電性材料(180)を最上部の透明導電層の上および第2のチャネル内に施し、これによって2つまたはそれ以上の相互接続型光起電力セルを製造する工程と、を含む。【選択図】図1E

Description

本発明は、薄膜ベースの相互接続型光起電力セルを製造するための改良された方法に関し、より具体的には、可撓性導電基材、少なくとも1つの光電的活性層、および最上部の透明導電層を含む光起電力物品から2つまたはそれ以上の薄膜ベースの相互接続型光起電力セルを製造する改良された方法に関する。
光起電力デバイス、特に薄膜ベースの相互接続型光起電力セルの製造を改善するための努力は、近年の多くの研究および開発の対象であった。特に注目されることは、効率的生産および比較的低い資本投資を維持しつつ、薄膜ベースの相互接続型光起電力セルを様々な形状および寸法で製造するための能力であり、これによって最終製品をより手頃な価格にすることができる。なおいっそう良品を製造すると同時に、最終製品をより手頃な価格にすることに役立ち得るこれらプロセスおよび技術を開発することが、この業界の目標であった。
1つの用途において、これら薄膜ベースの相互接続型光起電力セルは、より大きな光起電力デバイスの電気発生構成要素として使用されている。比較的低コストの薄膜ベースの相互接続型光起電力セルの利用可能な形状および寸法は、より大きな光起電力デバイスおよびデバイスのシステムのデザインを制限する可能性があり、したがってそれらの可能な市場も制限する可能性がある。これを消費者にとって望ましい完全なパッケージにするために、並びに市場で広く受け入れられるために、このシステムは、構築しかつインストールするために安価でなければならない。本発明は、最終的にはエネルギーのより低い発生コストを容易にすることに役立ち、PV技術を発電のその他の手段と比較してより競合的にさせることが可能である。
薄膜ベースの相互接続型光起電力セルの製造のための現行の技術は、例えば、物品組立プロセスの際に、そこに少なくとも1つのスクライブまたはカットが作成される、光起電力物品の完成前に相互接続工程を利用する方法および技術に依存している。
特にこの技術に関連し得る文献としては、以下の文献および米国特許文献が挙げられる:F.Kesslerら著、「Flexible and monolithically integrated CIGS−modules」、MRS 668:H3.6.1−H3.6.6(2001年);米国特許第4,754,544号;同第4,697,041号;同第5,131,954号;同第5,639,314号;同第6,372,538号;同第7,122,398号;および米国特許出願公開第2010/1236490号(これら全ては、全ての目的で、参考により本明細書に援用される)。
本発明は、上記パラグラフにおいて記載された課題の1つ以上を解決するPVデバイスを目的とする。
したがって、本発明の一態様によれば、2つまたはそれ以上の薄膜ベースの相互接続型光起電力セルを製造する方法が意図され、この方法は、a)可撓性導電基材、少なくとも1つの光電的活性層、および最上部の透明導電層を含む光起電力物品を供給する工程と、b)可撓性導電基材を貫通して1つ以上の第1のチャネルを形成し、光電的活性層の一部を露出させる工程と、c)絶縁セグメントをこの導電基材下部層に施し、1つ以上の第1のチャネルをスパンする工程と、d)光電的活性層を貫通して(好ましくは透明導電層も貫通して)1つ以上の第1のチャネルからオフセットしている1つ以上の第2のチャネルを形成し、可撓性導電基材の導電表面を露出させる工程と、f)最上部の透明導電層を貫通して光電的活性層に至る、第1のチャネルおよび第2のチャネルの双方からオフセットしている1つ以上の第3のチャネルを形成する工程と、g)導電材料を最上部の透明導電層の上および第2のチャネル内部に施し、これによって2つまたはそれ以上の相互接続型光起電力セルを製造する工程とを含む。
本発明は、少なくとも1つの第3のオフセットチャネルを電気絶縁材料で少なくとも部分的に充填する工程;電気絶縁材料が、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸化チタン、酸化アルミニウム、非導電性エポキシ、シリコーン、ポリエステル、ポリフルオレン、ポリオレフィン、ポリイミド、ポリアミド、ポリエチレンまたはこれらの組み合わせなどを含むこと;絶縁セグメントが、ポリエステル、ポリオレフィン、ポリイミド、ポリアミド、ポリエチレンを含むこと;形成工程が、スクライビング、切削加工、アブレーティング、またはこれらの組み合わせによって実行されること;光起電力物品電池がロール形状であること;電気絶縁材料が底部キャリア膜として機能すること;形成工程(f)の第3のオフセットチャネルは、光電的活性層を少なくとも部分的に通り抜けること;並びに形成工程のチャネルの幅が、10〜500ミクロンの間であることなど、本明細書に記載されている特徴の1つまたはこれらの組み合わせなどで更に特徴付けることが可能である。
本明細書に説明されかつ記載されるように、その他のものが本発明の範囲内に存在するために、上記で参照した態様および例は非限定的であることを理解されたい。
光起電力物品の層を示す図である。 第1のチャネルを備える光起電力物品の層を示す図である。 第1のチャネルおよび絶縁層を有する光起電力物品の層を示す図である。 第1のチャネル、第2のチャネル、第3のチャネルおよび絶縁層を備える光起電力物品の層を示す図である。 第1のチャネル、その内部に導電材を有する第2のチャネル、第3のチャネルおよび絶縁層を備える光起電力物品の層を示す図である。 光起電力物品の層の代替実施形態を示す図である。
本発明は、可撓性導電基材、少なくとも1つの光電的活性槽、および最上部の透明導電層を含む光起電力物品から2つまたはそれ以上の薄膜ベースの相互接続型光起電力セルを製造する改良された方法に関する。本発明は、本質的に既に組み立てられている光起電力物品から光起電力セル(例えば、2つまたはそれ以上)の構築および相互接続を可能にするユニークな製造ソリューションを提供すると考えられる。本発明は、ユニークな形状および寸法を備えた薄膜ベースの相互接続型光起電力セルが、比較的低い資本投資で、光起電力物品製造ライン内で専用機器またはプロセスを必要とすることなく製造されることを可能にすることができる。本開示内で教示することは、発明の方法、並びに本発明のプロセスへの投入として使用することが可能である典型的な光起電力物品のいくつかの構造の説明である。本明細書で説明されている開示される光起電力物品は、本発明の方法に限定的であるとみなされるべきではなく、その他の可能性のあるベース光起電力物品も企図される。
方法
本発明の方法は、ベース光起電力物品10を取得し、ベース物品の製造とは独立して、それを相互接続型光起電力セル100に変換するために機能する。図1Aは、物品10および本発明の方法の代表的な例である。本発明の方法は、少なくともa)可撓性導電基材110、少なくとも1つの光電的活性層120、および最上部の透明導電層130を含む光起電力物品10を供給する工程と、b)可撓性導電基材110を貫通して、1つ以上の第1のチャネル140を形成し、光電的活性層120の一部を露出させる工程と、c)絶縁セグメント150を導電基材110に施し、1つ以上の第1のチャネル140をスパンする工程と、d)1つ以上の第1のチャネル140からオフセットしている1つ以上の第2のチャネル160を、光電的活性層を貫通して形成し、可撓性導電基材110の導電表面を露出させる工程と、f)第1のチャネル140と第2のチャネル150の双方からオフセットしている1つ以上の第3のチャネル170を、最上部の透明導電層130を貫通して光電的活性層120にまで形成する工程と、g)電導性材料180を、最上部の透明導電層の上および第2のチャネルの内部に施し、これによって2つまたはそれ以上の相互接続型光起電力セルを製造する工程とを含む。任意の工程として、以下の1つ以上を含むことが可能である:少なくとも1つの第3のオフセットチャネルを電気絶縁材料で少なくとも部分的に充填する工程;キャリア膜最上部層を供給する工程;このキャリアフィルム最上部層を除去し、これによって最上部接触層を露出させる工程;保護層でパッケージングする工程;外部の電気デバイスへの相互接続を形成する工程;モジュールフォーマット(例えば、シングル)内にパッケージングする工程;または米国特許出願公開第2011/0100436号に記載されているように光起電力セルの部品として使用する工程。
光起電力物品10
光起電力物品10は、本発明の方法/プロセスの開始時に供給されることが意図される。物品10は、本発明の方法/プロセスを通しての多数の相互接続型光起電力セル100の構築のための土台である。この物品は、少なくとも3つの層(物品の底部から最上部に向かって列挙する);可撓性導電基材110、少なくとも1つの光電的活性層120、および最上部の透明導電層130から構成されるべきである。本出願内に開示されている基材または層は、単一層を含むことが可能であるが、これらのいずれかは、独立して、所望により多数のサブ層から形成され得ると考えられる。公知のものとしてまたは今後開発されるものとして、光起電力物品で通常使用される追加の層も供給されてもよい。本発明で使用されるための公知の光起電力物品としては、グループIB−IIIBのカルコゲナイド型電池(例えば、セレン化銅インジウムガリウム、セレン化銅インジウム、硫化銅インジウムガリウム、硫化銅インジウム、硫化セレン化銅インジウムガリウムなど)、非晶質ケイ素、III−V(すなわち、GaAs)、II−IV(すなわち、CdTe)、硫化銅亜鉛スズ、有機太陽電池、ナノ粒子太陽電池、色素増感太陽電池、およびこれらの組み合わせが挙げられる。
追加の任意の層(図示せず)は、様々な層の間の接着を強化することを支援するために、現在公知のまたは今後開発される慣用的な方式に従って、物品10で使用されてもよい。更に、デバイス10を環境から隔離することを支援するために、および/またはデバイス10を電気的に隔離することを支援するために、可撓性導電基材110の背面上に、1つ以上のバリア層(図示せず)を供給してもよい。
1つの好ましい実施形態において、本発明の方法/プロセスにおいて使用されるベースとして供給される光起電力物品10は、グループIB−IIIBカルコゲナイドデバイスのものである。図2は、本発明のプロセスにおいて使用され得る光起電力物品10の一実施形態を示している。以下に記載される層において、層22および24は、共に可撓性導電基材を含み、層20は、少なくとも1つの光電的活性層の一部であり、層30は、最上部透明導電層の一部であることが想定される。この物品10は、支持体22、背面電気的接触部24、およびカルコゲナイド吸収体20を組み込んでいる基材を含む。物品10は、硫化カドミウム系材料などのn型カルコゲナイド組成物を含むバッファ領域28を更に含有する。このバッファ領域は、15〜200nmの厚さを有することが好ましい。この物品は、任意の前面の電気接触窓領域26も含んでもよい。この窓領域は、その後の透明導電領域30の形成時にバッファを保護する。この窓は、亜鉛、インジウム、カドミウム、またはスズの透明な酸化物から形成されることが好ましく、典型的には、少なくともいくらか抵抗性であることが考慮される。この層の厚さは、10〜200nmであることが好ましい。この物品は、透明導電領域30を更に含む。これら構成部分のそれぞれは、単一層を含むものとしてではあるが、これらのいずれかは、独立して、所望により多数のサブ層から形成され得るものとして、図2に示されている。公知のものとしてまたは今後開発されるものとして、光起電力セルで通常使用される追加の層(図示せず)もまた供給されてもよい。場合により本明細書で使用されるとき、セルの最上部12は、入射光16を受光する側であるとみなされる。吸収体上に硫化カドミウム系の層を形成する方法もまた、タンデム型セル構造において用いることが可能であり、ここでは2つのセルがそれぞれの最上部に構築され、それぞれが異なる波長で放射を吸収する吸収体を備える。
可撓性導電基材
光起電力物品10は、物品がその上に構築される、少なくとも可撓性導電基材110を有することが意図される。これはその上に物品の他の層が配設されるベースを提供するよう機能する。これはまた、電気接触部を提供するようにも機能する。基材は単一層(例えばステンレス鋼)であってもよく、または導電性および非導電性層の双方の多くの材料の多層複合材料であってもよいことが想定される。導電性材料の例としては、金属(例えば、Cu、Mo、Ag、Au、Al、Cr、Ni、Ti、Ta、Nb、およびW)、導電性ポリマー、およびこれらの組み合わせなどが挙げられる。1つの好ましい実施形態において、この基材は、約10μmと200μmの間である厚さを有するステンレス鋼から構成される。この基材はまた、可撓性であることが好ましく、「可撓性」とは、1メートルの直径の円筒を性能の低下または決定的な損傷無く曲げることができる「可撓性」の物品、要素、または層(本発明に関して使用可能な厚さでの)として定義される。
図2に示すデバイスにおいて、可撓性導電基材は、層22および24を含む。支持体22は、可撓性基材であり得る。支持体22は、多種多様な材料から形成されてもよい。これらとしては、金属、金属合金、金属間組成物、プラスチック、紙、織布または不織布、およびこれらの組み合わせなどが挙げられる。ステンレス鋼が好ましい。可撓性基材は、薄膜吸収体およびその他の層の可撓性を最大限に発揮させることが可能であることが好ましい。
背面電気接触部24は、電気的に接続する物品10を永続的な回路にするために好都合な方法を提供する。接触部24は、Cu、Mo、Ag、Al、Cr、Ni、Ti、Ta、Nb、W、およびこれらの組み合わせなどの1つ以上を含める多種多様な導電性材料から形成され得る。Moを組み込んでいる導電性組成物が好ましい。背面電気接触部24はまた、支持構成成分の吸収体20への移動を最小限に留めるために、支持体22から吸収体20を隔離するよう役立つことも可能である。例えば、背面電気接触部24は、ステンレス鋼支持体22のFeおよびNi構成成分の吸収体20への移動をブロックするよう働くことが可能である。背面電気接触部24はまた、Seが吸収体20の形成で使用される場合、Seに対して保護することによってなど、支持体22を保護することも可能である。
光電的活性層120
光起電力物品は、少なくとも光電的活性層120を有することが意図される。この層は、一般的に可撓性導電基材110の上および最上部透明導電層130の下に配設される。この層は、入射光16からの入力を取得し、これを電気に変換するよう機能する。この層は材料の単一層であってもよく、または多くの材料の多層複合材料であってもよいことが想定され、この層の組成は、光起電力物品10のタイプ(例えば、銅カルコゲナイド型電池、非晶質ケイ素、III−V(すなわち、GaAs)、II−IV(すなわちCdTe)、硫化銅亜鉛スズ、有機太陽電池、ナノ粒子太陽電池、色素増感太陽電池、およびこれらの組み合わせなど)に依存する。
グループIB−IIIBカルコゲナイド(例えば、銅カルコゲナイド)セルが好ましい。この場合、吸収体は、銅、インジウム、アルミニウム、および/またはガリウムの少なくとも1つを含むセレン化物、硫化物、テルル化物、および/またはこれらの組み合わせを含む。より典型的には、Cu、In、GaおよびAlの少なくとも2つまたは更に少なくとも3つが存在する。硫化物および/またはセレン化物が好ましい。いくつかの実施形態は、銅およびインジウムの硫化物またはセレン化物を含む。更なる実施形態は、銅、インジウム、およびガリウムのセレン化物または硫化物を含む。アルミニウムが、典型的には、いくつかのガリウムまたは全てのガリウムに置き換わって、追加のまたは代替金属として使用されてもよい。特定の例としては、セレン化銅インジウム、セレン化銅インジウムガリウム、セレン化銅ガリウム、硫化銅インジウム、硫化銅インジウムガリウム、硫化銅ガリウム、セレン化硫化銅インジウム、セレン化硫化銅ガリウム、硫化銅インジウムアルミニウム、セレン化銅インジウムアルミニウム、セレン化硫化銅インジウムアルミニウム、硫化銅インジウムアルミニウムガリウム、セレン化銅インジウムアルミニウムガリウム、セレン化硫化銅インジウムアルミニウムガリウム、およびセレン化硫化銅インジウムガリウムが挙げられるが、これらに限定されない。吸収体材料はまた、性能を向上させるために、Na、Liなどのその他の材料でドープされてもよい。加えて、多くのカルコゲナイド材料は、電子特性に重大な悪影響を及ぼすことなく少量の不純物として少なくともいくつかの酸素を組み込むことが可能である。この層は、スパッタリング、蒸着または任意のその他の既知の方法によって形成され得る。この層の厚さは、0.5〜3ミクロンであることが好ましい。
銅カルコゲナイドセルにおいて、任意のバッファおよび窓層は、チャネルがどんな層で形成されるかを理解する目的で、活性層120または透明導電層130のいずれかの一部であると想定され得る。しかしながら、好ましくは、バッファ層は活性層120の一部とみなされ、窓層は透明導電層130の一部であるとみなされる。
最上部透明導電層130
光起電力物品10は、少なくとも最上部透明導電層130を有することが意図される。この層は、一般的に光電的活性層120の上に配設され、物品の最も外側の表面を表す(一般的に、入射光16を最初に受光する表面)。この層は、透明であるか、または少なくとも透明であることが好ましく、光の所望の波長を光電的活性層120に到達させる。この層は、材料の単一層であってもよく、または多くの材料の多層複合材料であってもよいことが想定され、この組成は、光起電力物品10のタイプ(例えば、銅カルコゲナイド型電池(例えば、セレン化銅インジウムガリウム、セレン化銅インジウム、硫化銅インジウムガリウム、硫化銅インジウム、硫化セレン化銅インジウムガリウムなど)、非晶質ケイ素、III−V(すなわち、GaAs)、II−IV(すなわちCdTe)、硫化銅亜鉛スズ、有機太陽電池、ナノ粒子太陽電池、色素増感太陽電池、およびこれらの組み合わせなど)に依存する。しかしながら、好ましくは、透明導電層130は、非常に薄い金属膜(これが、光に対して少なくともいくらか透明であるように)または透明導電性酸化物Aの多種多様な透明導電性酸化物;非常に薄い導電性透明金属膜;またはこれらの組み合わせを使用することが可能であるが、透明導電性酸化物が好ましい。このようなTCOの例としては、フッ素ドープ酸化スズ、酸化スズ、酸化インジウム、酸化インジウムスズ(ITO)、アルミニウムドープ酸化亜鉛(AZO)、酸化亜鉛、これらの組み合わせなどが挙げられる。TCO層は、スパッタリングまたはその他の適切な蒸着技術を介して好都合に形成される。この透明導電層は、好ましくは10〜1500nmの厚さ、より好ましくは100〜300nmの厚さを有する。
チャネル
多数のチャネルは、2つまたはそれ以上の薄膜相互接続型光起電力セルを製造するためのプロセスにおいて、物品10に「形成される」ことが意図される。これらのチャネルは、物品を個々のセルに分離するよう機能し、多くの形状および寸法であることが可能である。チャネルは、多くのプロセスを介して、例えば、機械的スクライブ、レーザーアブレーション、エッチング(湿式または乾式)、フォトリソグラフィ、または基材から材料を選択的に除去するために業界で一般的であるその他の方法を介して、形成することが可能であることが意図される。このチャネルは、何が望まれているか、またはどのチャネルが形成されるか(例えば、第1、第2、または第3のチャネル)に応じて、様々な幅、深さ、および断面形であり得る。このチャネルは、下記の順序で(例えば、好ましくは、第1のチャネルがまず初めに、第2のチャネルが2番目に、第3のチャネルが3番目に)または、それが望ましい場合は任意のその他の順序で、物品に導入されることが可能であることが意図される。
第1のチャネル140
第1のチャネル140は、可撓性導電基材110(およびこの基材の上または下に存在し得るいずれかの追加の層)を貫通して、光電的活性層の少なくとも一部が露出する深さまで形成されることを意図する。第1のチャネルは、物品(背面)の2つの部分を互いに物理的および電気的の双方で隔離するよう機能する。好ましい実施形態において、第1のチャネルは、光電的活性層の一部分を少なくとも露出させ、光電的活性層に入ることができるが、これを完全には貫通しない深さを有する。第1のチャネルは、完成したセルがチャネルをふさぐことなく屈曲することを可能にする幅を有することも好ましい。1つの好ましい実施形態において、第1のチャネルは、約1μm〜500μmであり得る幅FCを有する。この幅は、好ましくは、約10μmを超え、より好ましくは約25μmを超え、最も好ましくは約50μmを超え、約400μm未満の幅であることが好ましく、より好ましくは約300μm未満の幅であり、最も好ましくは約200μm未満の幅である。
第2のチャネル160
第2のチャネル160は、光電的活性層120(およびこの上または下に存在し得るいずれかの追加の層)を貫通して、可撓性導電基材の少なくとも一部(例えば、その少なくとも導電性部分)が露出されるような深さまで形成されるよう意図する。この第2のチャネルは、少なくとも2つの薄膜ベースの相互接続型光起電力セルを電気的に相互接続させる物理的パスとして機能する(例えば、導電性材料を施す工程を参照)。幾何学的には、第1および第2のチャネルは互いにオフセットされ、これによって第1および第2のチャネルが合わさって貫通穴になる機会を最小化することを意図する。好ましい実施形態において、オフセットFSは、約1μm〜500μmであり得る。このオフセットは、約10μmを超え、より好ましくは約25μmを超え、最も好ましくは約50μmを超えることが好ましく、好ましくは、オフセットは約400μm未満であり、より好ましくは約300μm未満であり、最も好ましくは約200μm未満である。好ましい実施形態において、第2のチャネルは、可撓性導電基材の一部を少なくとも露出させ、可撓性導電基材に入ることができるが、これを完全には貫通しない深さを有し、最も重要なことは、導電材料を露出させることである(導電性材料を施す工程を参照)。第2のチャネルは、完成した電池がチャネルをふさぐことなく屈曲することを可能にする幅を有することも好ましい。1つの好ましい実施形態において、第2のチャネルは、約1μm〜500μmであり得る幅SCを有する。この幅は、好ましくは約10μmを超え、より好ましくは約25μmを超え、最も好ましくは約50μmを超え、好ましくは約400μm未満の幅、より好ましくは約300μm未満の幅、最も好ましくは約200μm未満の幅である。
第3のチャネル170
第3のチャネル170は、最上部透明導電層130(およびこの層の上または下に存在することが可能である任意の追加の層)を貫通して光電的活性層まで、光電的活性層の少なくとも一部が露出する深さまで形成されることが考えられる。第3のチャネルは、物品(前面)の2つの部分を互いに物理的かつ電気的に隔離するよう機能する。幾何学的には、第3のチャネルは、第1および第2のチャネルからオフセットされていることが考えられる。好ましい実施形態において、オフセットTFSは、約1μm〜500μmであり得る。幅は約10μmを超えることが好ましく、より好ましくは25μmを超え、最も好ましくは50μmを超え、好ましくは約400μm未満の幅、より好ましくは約300μm未満の幅、最も好ましくは約200μm未満の幅である。好ましい実施形態では、第3のチャネルは、光電的活性層の一部を少なくとも露出させ、光電的活性層に入るが、これを完全には貫通しない深さを有する。第3のチャネルは、完成したセルがチャネルをふさぐことなく屈曲することを可能にする幅を有することも好ましい。1つの好ましい実施形態において、第3のチャネルは、約1μm〜500μmであり得る幅TCを有する。この幅は好ましくは約10μmを超え、より好ましくは約25μmを超え、最も好ましくは約50μmを超え、好ましくは約400μm未満の幅、より好ましくは約300μm未満の幅、最も好ましくは約200μm未満の幅である。
チャネルの形成
物品10の様々な層の「形成」は、例えば、「チャネル」のパラグラフにおいて上述されたような多数の方法を介して達成され得ることが意図される。1つの好ましい実施形態において、機械的スクライブが、「カット」を作成するために用いられる。例えば、機械的スクライビングを使用して、ダイヤモンドの先端のスタイラスまたは刃をデバイスに接触して配置し、下にある材料をスタイラスの経路内で物理的に断裂しながら、デバイスの表面上で引きずることが可能である。
ダイヤモンドの先端のスタイラスまたは適切な刃の使用を伴う機械的スクライビングは、CdTe、ジセレン化銅インジウムガリウム(CIGS)、およびa−Si:Hなどのより軟質の半導体材料に使用することが可能である。膜の破断は、低粘着性を有する酸化亜鉛(ZnO)などの膜について特に問題であると考えられている。ガラス上のモリブデンなどのより硬質の膜の機械的スクライビングは、常にガラスの摩損につながり、これが今度は、後続のプロセスにおける破損のリスクの増大に寄与する。
機械的スクライビングで発生する問題のほとんどが、レーザースクライビングでは起こらないとも考えられている。CdTe系およびCIS系PVモジュールで使用される薄膜材料に適用された、最近行われたレーザーシステムの調査において(http://www。laserfocusworld.com/articles/print/volume−36/issue−1/features/photovoltaics−laser−scribing−creates−monolithic−thin−film−arrays.htmlを参照、これは参考として組み込まれている)、良好なスクライブがNd:YAGレーザー(ランプ励起、ダイオード励起、Qスイッチ、およびモードロックレーザー)、銅蒸気レーザー、および塩化キセノンレーザー並びにフッ化クリプトンエキシマレーザーなどの多種多様なパルスレーザーを使用して得ることが可能であることを見出した。レーザーを選択する場合、太陽電池で使用される膜の特定の材料特性(吸収係数、融解温度、温度拡散率など)に注意を払うことが重要であり得ると考えられている。
絶縁セグメント/層150
絶縁層150は、完成した電池100の底部にまたは底部の近くに配設され得ると考えられる。この層の1つの機能は、汚れ、水分などを入れずに、この層によって覆われた部分に保護的バリア(例えば環境的および/または電気的な)を提供することであり得る。これはまた、2つの隣接するセルを一緒に「テーピングする」ことに類似して、セル100を一緒に保持することも可能である。この層150は、セル100の底部のほぼ全体にかかることができるか、またはチャネル140の領域の周りに直に局所的にかかることができる。好ましい実施形態において、絶縁層150は、約100nm〜1000μmの厚さILを有することが可能である。この厚さは、好ましくは約1μmを超え、より好ましくは、約25μmを超え、最も好ましくは約75μmを超え、好ましくは約500μm未満の厚さであり、より好ましくは約200μm未満の厚さ、最も好ましくは約100μm未満の厚さである。
この絶縁層は、上記の通りに保護を提供するために好適である多くの材料を含むことが可能である。好ましい材料としては、エポキシ、シリコーン、ポリエステル、ポリフルオレン、ポリオレフィン、ポリイミド、ポリアミド、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、フルオロポリマー、パリレン、ウレタン、エチレン酢酸ビニル、またはこれらの組み合わせなどが挙げられる。
物品またはセルの最上部に提供される絶縁層に類似した層(少なくとも可能な類似の材料)も考えられる。この層は、物品および/または電池を移動させるまたはパッケージングする上で補助することが可能であるキャリア層として機能し得る。キャリア層が供給される場合、カット(例えば、チャネルの形成)が作成され得るように、または完成したセルがより大きなPVデバイス内にインストールされ得るように、これは、容易に着脱可能であるべきである。
キャリア層は、上記の通りの機能性を提供するために好適である多くの材料を含むことが可能である。好ましい材料としては、絶縁層について列挙した材料が挙げられる。
電気的絶縁材料(セルの最上部)
必要に応じて、いくつかの電気的絶縁材料が第3のチャネル内に配設され得ると考えられる(図示せず)。この材料は、汚れ、水分などを入れずに、この材料によって覆われた部分に、保護的バリア(例えば、環境的におよび/または電気的に)を提供する。この電気的絶縁材料は、上記のような保護を提供するために好適である多くの材料を含むことが可能である。好ましい材料としては、酸化ケイ素、窒化ケイ素、炭化ケイ素、酸化チタン、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化ホウ素、窒化ホウ素、炭化ホウ素、ダイヤモンド様炭素、エポキシ、シリコーン、ポリエステル、ポリフルオレン、ポリオレフィン、ポリイミド、ポリアミド、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、フルオロポリマー、パリレン、ウレタン、エチレン酢酸ビニル、またはこれらの組み合わせなどが挙げられる。
導電性材料180
導電性材料180は、光起電力セル100を相互接続させるためのプロセスにおいて使用されることが意図される。本発明において、この材料は、第2のチャネルと併せて使用され、可撓性導電基材110と最上部透明導電層130の最上部の導電性部分と接触しているべきである。この導電性材料は、導電性を提供するために好適である多くの材料を含むことができるが、好ましい材料としては、次のものが挙げられる(導電性材料は、ニッケル、銅、銀、アルミニウム、スズなど、および/またはこれらの組み合わせなどの導電性金属を少なくとも含むことが望ましい)。1つの好ましい実施形態において、導電性材料は銀を含む。業界で周知である導電性接着剤(ECA)もこのような導電性材料であると考えられる。このようなECAは、多くの場合、導電性ポリマーを有する熱硬化性ポリマーマトリックスを含む組成物である。このような熱硬化性ポリマーとしては、エポキシ、シアネートエステル、マレイミド、フェノール樹脂、無水物、ビニル、アリルまたはアミノ官能基またはこれらの組み合わせを有する熱硬化性材料が挙げられるが、これらに限定されない。導電性充填材粒子は、例えば、銀、金、銅、ニッケル、アルミニウム、カーボンナノチューブ、グラファイト、スズ、スズ合金、ビスマスまたはこれらの組み合わせであり得る。銀粒子を有するエポキシ系ECAが好ましい。導電性材料領域は、スクリーン印刷、インクジェット印刷、グラビア印刷、電気メッキ、スパッタリング、蒸着などを含むがこれらに限定されないいくつかの既知の方法の1つによって形成され得る。
この方法によって形成された相互接続型セルは、保護材(封入材、接着剤、ガラス、プラスチック膜、またはシートなど)の内部に封入またはパッケージングされることができ、電気的に相互接続され、または電力変換器またはその他の電気機器類に電気的に接続可能に作成され、発電し送電するためにフィールド内または構造上にインストールされ得る光起電力モジュールを形成することが可能である。
特に断らない限り、本明細書に示されている様々な構造の寸法および幾何形状は、本明細書を制限するよう意図しておらず、他の寸法または幾何形状が可能である。複数の構造部分は、単一の統合構造を用いることが可能である。あるいは、単一の統合構造が、別個の複数の構成部分に分割されてもよい。加えて、本発明の形態が、例示の実施形態の1つのみの説明で記載されたが、このような形態は、いずれかの所定の適用に、その他の実施形態の1つ以上の他の形態と組み合わされてもよい。上記より、本明細書のユニークな構造の組立ておよびそれらの作用もまた、本発明に応じて、方法を構成することを理解されたい。
本明細書の要素、成分、構成部分または工程の組み合わせを説明している用語「含む、comprising」または「含有する、including」の使用もまた、要素、成分、構成成分または工程から本質的になる実施形態を意図するものである。
複数の要素、成分、構成部分または工程は、単一の統合された要素、成分、構成部分または工程を用いることが可能である。あるいは、単一の統合された要素、成分、構成部分または工程が、別個の複数の要素、成分、構成部分または工程に分割されてもよい。要素、成分、構成部分または工程を説明するための「a」または「one」の開示は、追加的な要素、成分、構成部分または工程を排除するよう意図するものではない。元素または特定の族に属する金属に関する全ての参照は、CRC Press,Inc.によって1989年に公表され、CRC Press,Inc.が版権を有する元素周期律表を指す。族(複数可)に関する全ての参照は、族の番号付けのためのIUPACシステムを使用するこの元素周期律表で反映されている族(複数可)であるべきである。

Claims (10)

  1. 2つまたはそれ以上の薄膜ベースの相互接続型光起電力セルを製造する方法であって、
    a)可撓性導電基材と、少なくとも1つの光電的活性層と、最上部の透明導電層とを含む光起電力物品を供給する工程と、
    b)前記可撓性導電基材を貫通して1つ以上の第1のチャネルを形成し、前記光電的活性層の一部を露出させる工程と、
    c)前記導電基材に絶縁セグメントを施し、前記1つ以上の第1チャネルをスパンする工程と、
    d)前記光電的活性層を貫通して、前記1つ以上の第1のチャネルからオフセットされる1つ以上の第2のチャネルを形成し、前記可撓性導電基材の導電表面を露出させる工程と、
    f)前記最上部の透明導電層を貫通して前記光電的活性層に至る、前記第1のチャネルおよび前記第2のチャネルの双方からオフセットする1つ以上の第3のチャネルを形成する工程と、
    g)導電性材料を前記最上部の透明導電層の上および前記第2のチャネル内に施し、これによって2つまたはそれ以上の相互接続型光起電力セルを製造する工程と、
    を含む方法。
  2. 前記少なくとも1つの第3のオフセットチャネルを、電気絶縁材料で少なくとも部分的に充填する工程を更に含む、請求項1に記載の方法。
  3. 前記電気絶縁材料が、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸化チタン、酸化アルミニウム、非導電性エポキシ、シリコーン、ポリエステル、ポリフルオレン、ポリオレフィン、ポリイミド、ポリアミド、ポリエチレンまたはこれらの組み合わせを含む、請求項2に記載の方法。
  4. 前記絶縁材層が、ポリエステル、ポリオレフィン、ポリイミド、ポリアミド、ポリエチレンを含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
  5. 前記形成工程が、スクライビング、切削加工、アブレーティング、またはこれらの組み合わせによって実行される、請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
  6. 前記光起電力物品が、ロール形状である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法。
  7. 前記電気絶縁材料が、底部キャリア膜として機能する請求項1〜6のいずれか一項に記載の方法。
  8. 前記形成工程(f)の前記第3のオフセットチャネルが、光電的活性層に少なくとも部分的に入る、請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。
  9. 前記形成工程の前記チャネルの前記幅が、10〜500ミクロンである、請求項1〜8のいずれか一項に記載の方法。
  10. 請求項1〜9のいずれか一項に記載されている前記方法によって形成される光起電力物品。
JP2014549105A 2011-12-21 2012-12-11 2つまたはそれ以上の薄膜ベースの相互接続型光起電力セルを製造する改良された方法 Pending JP2015503844A (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201161578300P 2011-12-21 2011-12-21
US61/578,300 2011-12-21
PCT/US2012/068864 WO2013095984A1 (en) 2011-12-21 2012-12-11 Improved method of producing two or more thn-film-based interconnected photovoltaic cells

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2015503844A true JP2015503844A (ja) 2015-02-02

Family

ID=47505321

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014549105A Pending JP2015503844A (ja) 2011-12-21 2012-12-11 2つまたはそれ以上の薄膜ベースの相互接続型光起電力セルを製造する改良された方法

Country Status (9)

Country Link
US (1) US20140345669A1 (ja)
EP (1) EP2795676A1 (ja)
JP (1) JP2015503844A (ja)
KR (1) KR20140105019A (ja)
CN (1) CN104011877A (ja)
BR (1) BR112014015069A2 (ja)
IN (1) IN2014CN04529A (ja)
MX (1) MX336866B (ja)
WO (1) WO2013095984A1 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20150101761A1 (en) * 2013-05-12 2015-04-16 Solexel, Inc. Solar photovoltaic blinds and curtains for residential and commercial buildings
EP3410494B1 (de) * 2017-05-29 2019-10-09 Sefar AG Photovoltaische zelle und module sowie verfahren zu deren herstellung
EP3435424A1 (en) * 2017-07-27 2019-01-30 Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO A photovoltaic panel and method of manufacturing the same

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61234082A (ja) * 1985-01-30 1986-10-18 エナージー・コンバーション・デバイセス・インコーポレーテッド 太陽電池のアレイを製造する方法
JP2005123391A (ja) * 2003-10-16 2005-05-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd 太陽電池及びその製造方法
US7122398B1 (en) * 2004-03-25 2006-10-17 Nanosolar, Inc. Manufacturing of optoelectronic devices
WO2011048352A1 (en) * 2009-10-22 2011-04-28 M-Solv Limited Method and apparatus for dividing thin film device into separate cells

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1236490A (en) 1916-11-15 1917-08-14 Ralph Dean Shirey Cushion-tire.
US4754544A (en) * 1985-01-30 1988-07-05 Energy Conversion Devices, Inc. Extremely lightweight, flexible semiconductor device arrays
US4697041A (en) 1985-02-15 1987-09-29 Teijin Limited Integrated solar cells
AU8872891A (en) 1990-10-15 1992-05-20 United Solar Systems Corporation Monolithic solar cell array and method for its manufacture
US5639314A (en) 1993-06-29 1997-06-17 Sanyo Electric Co., Ltd. Photovoltaic device including plural interconnected photoelectric cells, and method of making the same
US5385848A (en) * 1993-09-20 1995-01-31 Iowa Thin Film Technologies, Inc Method for fabricating an interconnected array of semiconductor devices
US6372538B1 (en) 2000-03-16 2002-04-16 University Of Delaware Fabrication of thin-film, flexible photovoltaic module
US20070079866A1 (en) * 2005-10-07 2007-04-12 Applied Materials, Inc. System and method for making an improved thin film solar cell interconnect
KR101170984B1 (ko) 2008-05-05 2012-08-07 다우 글로벌 테크놀로지스 엘엘씨 구조물에 광발전 디바이스 조립체를 건축하는 방법
WO2010136919A1 (en) * 2009-05-27 2010-12-02 Koninklijke Philips Electronics N.V. Occupancy sensor
TWI394285B (zh) * 2009-06-08 2013-04-21 Univ Tatung 光電轉換裝置及其製法
DE102009031592A1 (de) * 2009-07-03 2011-01-13 Forschungszentrum Jülich GmbH Verfahren zur Herstellung und Serienverschaltung von streifenförmigen Elementen auf einem Substrat
US8865569B2 (en) * 2009-10-22 2014-10-21 M-Solv Ltd. Method and apparatus for dividing thin film device into separate cells
CN101937948B (zh) * 2010-09-16 2012-02-01 普尼太阳能(杭州)有限公司 一种用于制备聚光薄膜电池的接收器的掩模板

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61234082A (ja) * 1985-01-30 1986-10-18 エナージー・コンバーション・デバイセス・インコーポレーテッド 太陽電池のアレイを製造する方法
JP2005123391A (ja) * 2003-10-16 2005-05-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd 太陽電池及びその製造方法
US7122398B1 (en) * 2004-03-25 2006-10-17 Nanosolar, Inc. Manufacturing of optoelectronic devices
WO2011048352A1 (en) * 2009-10-22 2011-04-28 M-Solv Limited Method and apparatus for dividing thin film device into separate cells

Also Published As

Publication number Publication date
WO2013095984A1 (en) 2013-06-27
CN104011877A (zh) 2014-08-27
BR112014015069A2 (pt) 2017-06-13
IN2014CN04529A (ja) 2015-09-11
US20140345669A1 (en) 2014-11-27
KR20140105019A (ko) 2014-08-29
EP2795676A1 (en) 2014-10-29
MX336866B (es) 2016-02-04
MX2014007656A (es) 2014-07-30
WO2013095984A8 (en) 2014-06-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6640174B2 (ja) 太陽電池及びその製造方法
US9385254B2 (en) Integrated thin film solar cell interconnection
EP1928027B1 (en) Solar cell module
CN107710419B (zh) 太阳能电池和太阳能电池模块
JP5901656B2 (ja) 太陽電池およびその製造方法{solarcellandmanufacturingmethodofthesame}
JP2009531871A (ja) 光起電力モジュールを製造するための技術
JP2013508945A (ja) 太陽光発電装置及びその製造方法
TWI720959B (zh) 太陽能電池及其製造方法、用以形成太陽能電池的非導電性區域的漿料
JP2015506587A (ja) 2つ又はそれ以上の薄膜ベースの相互接続型光起電力セルを製造する改良法
JP6034791B2 (ja) 太陽光発電装置
JP2014057059A (ja) 太陽電池モジュールおよび太陽電池モジュールの製造方法
JP2015503844A (ja) 2つまたはそれ以上の薄膜ベースの相互接続型光起電力セルを製造する改良された方法
JP2013532911A (ja) 太陽光発電装置及びその製造方法
EP3001461A1 (en) Solar cell, solar cell module, method for manufacturing solar cell, and method for manufacturing solar cell module
KR101550927B1 (ko) 태양전지 및 이의 제조방법
JP5274432B2 (ja) 光電変換装置
CN103988315B (zh) 太阳能电池装置及其制造方法
KR101251841B1 (ko) 태양광 발전장치 및 이의 제조방법
EP2695201B1 (en) Solar cell
CN114868256A (zh) 太阳能电池的对准金属化
US9972728B2 (en) Solar cell, solar cell module, and method for manufacturing solar cell
JP2013536996A (ja) 太陽光発電装置及びその製造方法
KR101765922B1 (ko) 태양전지 및 이의 제조방법
EP2251909A2 (en) Solar cell structure and manufacturing method thereof
JP6191995B2 (ja) 太陽電池モジュール

Legal Events

Date Code Title Description
RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20150122

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20151102

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160831

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160913

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20170404