JP2005123391A - 太陽電池及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】絶縁膜が不要でステンレス等の金属製フレキシブル基板を用いることが可能な薄膜太陽電池モジュールを提供する。
【解決手段】直列接続された2以上のユニットセルを導電性基板上(10)に形成する集積型薄膜太陽電池であって、前記基板上に第1の電極膜(11)とpn接合を含む半導体膜(12)及び第2の電極膜(13)を順次積層され、さらに第2の電極膜側を樹脂材(14)とガラス板(15)によって封止した構造であり、前記半導体膜(12)がストライプ状の溝(12a)に分割され、さらに半導体膜が分割された溝(12a)と平行でかつどちらか一方側に第2の電極膜がストライプ状の溝(13a)で分割され、半導体膜が分割された溝(12a)と平行でかつ第2の電極膜を分割したストライプ溝(13a)とは対極に基板側から基板と裏面電極が分割された溝(11a)で、太陽電池モジュールを構成している。
【選択図】 図1
【解決手段】直列接続された2以上のユニットセルを導電性基板上(10)に形成する集積型薄膜太陽電池であって、前記基板上に第1の電極膜(11)とpn接合を含む半導体膜(12)及び第2の電極膜(13)を順次積層され、さらに第2の電極膜側を樹脂材(14)とガラス板(15)によって封止した構造であり、前記半導体膜(12)がストライプ状の溝(12a)に分割され、さらに半導体膜が分割された溝(12a)と平行でかつどちらか一方側に第2の電極膜がストライプ状の溝(13a)で分割され、半導体膜が分割された溝(12a)と平行でかつ第2の電極膜を分割したストライプ溝(13a)とは対極に基板側から基板と裏面電極が分割された溝(11a)で、太陽電池モジュールを構成している。
【選択図】 図1
Description
本発明は、薄膜太陽電池及びその製造方法に関する。
従来から、Ib族元素、IIIb族元素及びVIb族元素からなる化合物半導体薄膜(カルコパイライト構造半導体薄膜)であるCuInSe2(CIS)、またはこれにGaを固溶したCu(In,Ga)Se2(CIGS)、あるいはCuInS2を光吸収層に用いた薄膜太陽電池モジュールの構造及び製造方法について、報告がなされている(例えば、下記非特許文献1参照)。このようなCIS系太陽電池では、基板上に複数のユニットセルを直列接続した集積型構造が一般的である。
CIS系太陽電池の従来の製造方法について、図3(a)〜(e)を参照しながら一例を説明する。まず、図3(a)に示すように、ガラスなどの絶縁性基板1上に第1の電極膜2をスパッタリング法によって形成した後、連続発振しているレーザビームを照射することによって、第1の電極膜2の一部をストライプ状に除去し、短冊状に分割された第1の電極膜2を形成する。その後、図3(b)に示すように、第1の電極膜2上に、p型Cu(In,Ga)Se2薄膜とn型CdS薄膜とが積層された半導体膜3を形成する。次に、図3(c)に示すように、メカニカルスクライブ法によって半導体膜3を短冊状に分割する。その後、図3(d)に示すように、第2の電極膜4として透明な導電膜を形成する。最後に、図3(e)に示すように、メカニカルスクライブ法によって、第2の電極膜4を短冊状に分割し、太陽電池を得ることができる。図3(e)に示す太陽電池において、各ユニットセル5における第2の電極膜4は、隣接するユニットセルの第1の電極膜2と接続しており、各ユニットセル5は互いに直列接続していることになる。なお、図3(c)や図3(e)に示す工程において、上述したメカニカルスクライブ法でなく、レーザビームを用いることによって各膜を短冊状に分割することもできる。さらに製品用太陽電池とする場合はガラス基板との間にエチレン酢酸ビニル共重合樹脂(EVA)からなる樹脂封止材を用いて、封止して太陽電池モジュールとする。
このような集積型の薄膜太陽電池では、基板として、ステンレス基板などの可撓性を有する基板を用いることによって汎用性を高くすることができる。また、可撓性を有する基板を用いた場合には、ロール状に巻かれた基板を引き出してその上に太陽電池を連続的に形成することができるため、製造上有利な点が多い。
第13回、ユーロピアン フォトヴォルテック ソーラー カンファレンス(13TH EUROPEAN PHOTOVOLTAIC SOLAR CONFERENCE)1995 P.1451-1455
第13回、ユーロピアン フォトヴォルテック ソーラー カンファレンス(13TH EUROPEAN PHOTOVOLTAIC SOLAR CONFERENCE)1995 P.1451-1455
しかし、ステンレス等の金属製フレキシブル基板などの透明でない基板を用いた場合には、集積型太陽電池を構成するために表面に絶縁性を付与することが必要である。金属製基板に絶縁膜を形成した上で、集積型太陽電池を構成するわけであるが、この絶縁膜にピンホールなどがあり絶縁性が不十分であると、第1の電極膜と金属基板と導通が発生し、直列接続での構成ができなくなる。
また、金属製基板上に形成された絶縁膜と第1の電極膜との密着性が不十分な場合は絶縁性が確保された場合でも、半導体膜を形成する場合の高温に耐えきれず、熱応力によって第1の電極膜が剥離することがある。
本発明は、前記従来の問題を解決するため、絶縁膜が不要でステンレス等の金属製フレキシブル基板を用いることが可能な集積型薄膜太陽電池及びその製造方法を提供することを目的とする。
本発明は、直列接続された2以上のユニットセルを導電性基板上に形成する集積型薄膜太陽電池であって、
前記基板上に第1の電極膜とpn接合を含む半導体膜及び第2の電極膜が順次積層され、
前記第2の電極膜側を樹脂材とガラス板によって封止され、
前記半導体膜がストライプ状の溝に分割され、
前記半導体膜が分割された溝と平行で、かつ少なくとも一方側に前記第2の電極膜がストライプ状の溝に分割され、
前記半導体膜が分割された溝と平行で、前記第2の電極膜を分割したストライプ溝とは対向にかつ隣接して、基板側から基板と裏面電極が分割されていることを特徴とする。
前記基板上に第1の電極膜とpn接合を含む半導体膜及び第2の電極膜が順次積層され、
前記第2の電極膜側を樹脂材とガラス板によって封止され、
前記半導体膜がストライプ状の溝に分割され、
前記半導体膜が分割された溝と平行で、かつ少なくとも一方側に前記第2の電極膜がストライプ状の溝に分割され、
前記半導体膜が分割された溝と平行で、前記第2の電極膜を分割したストライプ溝とは対向にかつ隣接して、基板側から基板と裏面電極が分割されていることを特徴とする。
本発明の集積型薄膜太陽電池の製造方法は、直列接続された2以上のユニットセルを導電性基板上に形成する集積型薄膜太陽電池の製造方法であって、
前記基板上に第1の電極膜を形成し、pn接合を含む半導体膜を形成したのち、
前記半導体膜を短冊状に分割し、前記半導体膜上及び前記半導体膜が除去されて露出した前記第1の電極膜上に第2の電極膜を形成して短冊状に分割し、
前記第2の電極膜側に樹脂材とガラス板によって封止した後、基板側から半導体膜を分割した溝と平行かつ隣側にストライプ状に基板と裏面電極の分割を行うこと特徴とする。
前記基板上に第1の電極膜を形成し、pn接合を含む半導体膜を形成したのち、
前記半導体膜を短冊状に分割し、前記半導体膜上及び前記半導体膜が除去されて露出した前記第1の電極膜上に第2の電極膜を形成して短冊状に分割し、
前記第2の電極膜側に樹脂材とガラス板によって封止した後、基板側から半導体膜を分割した溝と平行かつ隣側にストライプ状に基板と裏面電極の分割を行うこと特徴とする。
本発明の太陽電池及び製造方法によれば、絶縁層が不要で製造の際の工程数を減らした低コスト太陽電池モジュールを提供することが可能である。
本発明の集積型薄膜太陽電池において、基板は、例えば厚さ30μm〜2mm程度のステンレスや樹脂等を使用できる。
また、第1の電極膜は、例えば厚さ200nm〜2μm程度のモリブデンやアルミ等を使用できる。
第2の電極膜は、それぞれ例えば厚さ50nm〜1μm程度のZnO膜、ZnO:Al膜、ITO膜等を使用できる。
第2の電極膜は、それぞれ例えば厚さ50nm〜1μm程度のZnO膜、ZnO:Al膜、ITO膜等を使用できる。
また、第2の電極膜側を封止する樹脂材料としては、エチレン酢酸ビニル共重合樹脂(EVA)(使用できる材料)等を使用できる。
前記半導体膜に形成するストライプ状の溝は、幅10〜500μm、深さ1〜3μmの範囲が好ましい。
また、前記第2の電極膜のストライプ状溝は、幅10〜500μm、深さ1〜3μmの範囲が好ましい。
また、分割された半導体膜の大きさは、横2mm〜7mmの範囲が好ましい。
上記集積型太陽電池では、前記基板と裏面電極を、基板裏面側から分割した場合に半導体膜が一部除去されていてもよい。半導体膜を一部除去することにより、並列抵抗が高くなり漏れ電流が低減可能になる。
上記集積型太陽電池では、半導体膜がIb族元素とIIIb族元素とVIb族元素とを含む化合物半導体層を含んでいることが好ましい。
上記集積型太陽電池では前記第1の電極膜が、モリブデンを含んでいることが好ましい。これにより、Ib族元素とIIIb族元素とVIb族元素とを含む化合物半導体層とオーミックが良く、線膨張係数の点からも剥離など心配がない。
上記集積型太陽電池では、前記基板と裏面電極を、基板裏面側から分割する際に、エッチングによって分割を行ってもよい。
上記集積型太陽電池では、基板と裏面電極を、基板裏面側から分割する際に、円盤形状のダイヤモンドブレードを回転させ、加工点に水を掛けながら分割を行ってもよい。
さらに、ダイヤモンドブレードの回転数を検知し、回転に対する抵抗力が変わった時点で分割加工を停止することが好ましい。
さらに、ダイヤモンドブレードの回転数を検知し、回転に対する抵抗力が変わった時点で分割加工を停止することが好ましい。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施形態において、同一の部分については同一の符号を付して重複する説明を省略する。
図1(a)〜(c)は、本発明の実施形態における太陽電池の断面図であり、図2(a)〜(d)は工程図である。図1と図2を用いて概要を説明する。導電性基板10上に第1の電極膜11として例えばMo膜をスパッタリング法によって形成する。このときの膜厚は0.3〜2.0μmである。基板10がステンレスからなる場合、この基板10の厚さは、たとえば20μm〜200μmの範囲内である。
次に、第1の電極膜11上にpn接合を含む半導体膜12を形成する。半導体膜12は、p形の半導体層とn形の半導体層とを含む。p形の半導体としては、たとえば、カルコパイライト構造半導体を用いることができ、具体的には、Ib族元素とIIIb族元素とVIb族元素とを含む半導体を用いることができる。より具体的には、CuInSe2(CIS)、またはこれにGaを固溶したCu(In,Ga)Se2(CIGS)、あるいはこれらのSeの一部を硫黄で置き換えた半導体を用いることができる。これらは、蒸着法またはスパッタリング法によって形成できる。また、n形の半導体としては、たとえば、CdS、ZnO、Zn(O,OH)、Zn(O,S)、Zn(O,OH,S)、ZnMgO等の少なくともII族元素とVIb族元素とを含む化合物を用いることができる。これらは、化学浴析出法やスパッタリング法、蒸着法で形成できる。
半導体膜12の一部をストライプ状に除去して溝12aを形成することによって、半導体膜12を短冊状に分割する。(図2(a)参照)溝12aは、溝13aによって第1の電極膜12の一部が露出するような位置に形成される。半導体膜12の一部の除去は、メカニカルスクライブ法やレーザスクライブ法で行うことができる。
半導体膜12上及び半導体膜12が除去された露出した第1の電極膜11上に第2の電極膜13を形成する。第2の電極膜13は溝12aの部分にも形成され、この溝12aの部分を通じて第1の電極膜11と第2の電極膜13とが電気的に接続される。
さらに、第2の電極膜13の一部をストライプ状に除去して溝13aを形成することによって、第2の電極膜13を短冊状に分割する(図2(b)参照)。この工程では、第2の電極膜13とともに半導体膜12の一部を除去してもよい。第2の電極膜13には、ZnO膜、ZnO:Al膜、ITO膜などの透明導電膜を用いることができ、スパッタリング法やCVD法などによって形成できる。
これら、一連の工程はロール・トゥ・ロール方式で連続形成可能であり、ロール方式で形成した場合は生産性・均一性が向上する。
これらデバイス素子ができあがった上、カバーガラスとの間に樹脂を挟み込んだ形で封止を行い、太陽電池モジュールの形態にする(図2(c)参照)。このときに用いる樹脂としては例えば、エチレン酢酸ビニル共重合樹脂(EVA)などを用いることができる。またカバーガラスとしては、ほう珪酸ガラスなどを用いることができる。
最後に基板裏面から半導体膜12を分割した溝12aに平行かつ隣り合わせで、溝13aと対極側に基板10と第1の電極膜11を分割し、分割溝11aにした(図2(d)参照)。分割の方法としては、例えばグラインダーのように、円盤形状のダイヤモンドブレードを回転させ、加工点に水を掛けながら分割を行ってもよい。また同時に半導体膜12の一部を除去してもかまわない(図1(c)参照)。半導体膜12の一部を除去したほうが、半導体膜12と通じての漏れ電流が軽減される効果もある。なおダイヤモンドブレードを回転させながら、その回転数を検知しておくと、金属基板と裏面電極のMo膜を分割ができ、半導体膜例えばCu(In,Ga)Se2(CIGS)にダイヤモンドブレードが達したときに硬度が変わるため、回転数に変化がおき、そこで加工を停止することで、半導体膜12の一部を除去した形状で製作できる。また基板裏面からの分割は、エッチング等の化学的な方法でも可能である。その場合も反応時間を制御して半導体膜12の一部を除去するところで加工を止めることが望ましい。
なお最終的には、この後に図1(b)に示すように裏面側も封止樹脂又はガラスで封止して、太陽電池モジュールとして設置する方が望ましい。
このようにして、直列接続された2以上のユニットセルを導電性基板上10に形成する際、基板10上に第1の電極膜11とpn接合を含む半導体膜12及び第2の電極膜13を順次積層され、さらに第2の電極膜側を樹脂材14とガラス板15によって封止し、半導体膜12がストライプ状の溝12aに分割され、さらに半導体膜が分割された溝12aと平行でかつどちらか一方側に第2の電極膜がストライプ状の溝13aで分割され、半導体膜が分割された溝12aと平行でかつ第2の電極膜を分割したストライプ溝13aとは対極に基板側から基板と裏面電極が分割された溝11aにより太陽電池モジュールを製造した。
半導体膜に形成したストライプ状の溝は、幅50μm、深さ2μmであった。第2の電極膜のストライプ状の溝は、幅40μm、深さ2μmであった。また、分割された半導体膜の大きさは、横2〜7mmであった。
ステンレス薄板等でロール方式による形成を行った場合にモジュール化する際には絶縁層が必要であるが、本発明の太陽電池モジュールでは絶縁層が不要になる。また、第1の電極の分割を導電性基板の分割と同時に行うことが可能である。
本発明の太陽電池モジュールは大量生産に適して低コスト化が可能である。特にロール方式で大量に生産し、任意の大きさで切り出すことにより、目的にあった電圧の太陽電池モジュールを製作可能である。住宅用として様々な大きさの屋根にも設置可能な太陽電池を低コストで提供できる。
10 導電性基板
11 第1の電極膜
12 半導体膜
13 第2の電極膜
14 封止用樹脂
15 カバーガラス
11a,12a,13a 溝
11 第1の電極膜
12 半導体膜
13 第2の電極膜
14 封止用樹脂
15 カバーガラス
11a,12a,13a 溝
Claims (8)
- 直列接続された2以上のユニットセルを導電性基板上に形成する集積型薄膜太陽電池であって、
前記基板上に第1の電極膜とpn接合を含む半導体膜及び第2の電極膜が順次積層され、
前記第2の電極膜側を樹脂材とガラス板によって封止され、
前記半導体膜がストライプ状の溝に分割され、
前記半導体膜が分割された溝と平行で、かつ少なくとも一方側に前記第2の電極膜がストライプ状の溝に分割され、
前記半導体膜が分割された溝と平行で、前記第2の電極膜を分割したストライプ溝とは対向にかつ隣接して、基板側から基板と裏面電極が分割されていることを特徴とする集積型薄膜太陽電池。 - 前記基板と裏面電極を、基板裏面側から分割した場合に半導体膜が一部除去されている請求項1に記載の集積型薄膜太陽電池。
- 前記半導体膜がIb族元素とIIIb族元素とVIb族元素とを含む化合物半導体層を含んでいる請求項1に記載の集積型薄膜太陽電池。
- 前記第1の電極膜が、モリブデンを含む請求項1に記載の集積型薄膜太陽電池。
- 直列接続された2以上のユニットセルを導電性基板上に形成する集積型薄膜太陽電池の製造方法であって、
前記基板上に第1の電極膜を形成し、pn接合を含む半導体膜を形成したのち、
前記半導体膜を短冊状に分割し、前記半導体膜上及び前記半導体膜が除去されて露出した前記第1の電極膜上に第2の電極膜を形成して短冊状に分割し、
前記第2の電極膜側に樹脂材とガラス板によって封止した後、基板側から半導体膜を分割した溝と平行かつ隣側にストライプ状に基板と裏面電極の分割を行うこと特徴とする集積型薄膜太陽電池の製造方法。 - 前記基板と裏面電極を、基板裏面側から分割する際に、エッチングによって分割する請求項5に記載の集積型薄膜太陽電池の製造方法。
- 前記基板と裏面電極を基板裏面側から分割する際に、円盤形状のダイヤモンドブレードを回転させ、分割する請求項5に記載の集積型薄膜太陽電池の製造方法。
- 前記基板と裏面電極を基板裏面側から分割する場合は、円盤形状のダイヤモンドブレードを回転させ、分割を行う際に、ダイヤモンドブレードの回転数を検知し、回転に対する抵抗力が変わった時点で分割加工を停止する請求項7に記載の集積型薄膜太陽電池の製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003356531A JP2005123391A (ja) | 2003-10-16 | 2003-10-16 | 太陽電池及びその製造方法 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015503844A (ja) * | 2011-12-21 | 2015-02-02 | ダウ グローバル テクノロジーズ エルエルシー | 2つまたはそれ以上の薄膜ベースの相互接続型光起電力セルを製造する改良された方法 |
JP2015050413A (ja) * | 2013-09-04 | 2015-03-16 | アン,ヒョン・ウー | Pcbを利用した太陽電池 |
US9666733B2 (en) | 2013-09-04 | 2017-05-30 | Hyeon Woo AHN | Solar cell using printed circuit board |
-
2003
- 2003-10-16 JP JP2003356531A patent/JP2005123391A/ja not_active Withdrawn
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2015050413A (ja) * | 2013-09-04 | 2015-03-16 | アン,ヒョン・ウー | Pcbを利用した太陽電池 |
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