JP2015503188A - イオン注入装置およびイオンを注入する方法 - Google Patents
イオン注入装置およびイオンを注入する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015503188A JP2015503188A JP2014542376A JP2014542376A JP2015503188A JP 2015503188 A JP2015503188 A JP 2015503188A JP 2014542376 A JP2014542376 A JP 2014542376A JP 2014542376 A JP2014542376 A JP 2014542376A JP 2015503188 A JP2015503188 A JP 2015503188A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion
- ions
- implantation
- scanning
- path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/48—Ion implantation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/147—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
- H01J37/1472—Deflecting along given lines
- H01J37/1474—Scanning means
- H01J37/1475—Scanning means magnetic
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/317—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation
- H01J37/3171—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation for ion implantation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/15—Means for deflecting or directing discharge
- H01J2237/152—Magnetic means
- H01J2237/1523—Prisms
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
- H01J2237/202—Movement
- H01J2237/20214—Rotation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
ドラムタイプの走査ホイールを用いるイオン注入装置は、60?未満の全体の円錐角でウェハを保持する。たとえばH+といったイオンのコリメートされた走査ビームが、走査ホイールの回転軸に対して少なくとも45?の角度である最終ビーム路に沿って方向付けされる。走査または質量分析される前に、イオンが源から抽出され、線形加速路に沿って(500keVを超える)高注入エネルギーまで加速される。質量分析器は、回転軸の近くに配置され得、望まれないイオンが、走査ホイール上に搭載され得る環状ビームダンプに方向付けされる。
Description
関連出願への相互参照
本願は、2011年11月15日に出願された米国特許出願番号第13/296,436号の利益を請求する。
本願は、2011年11月15日に出願された米国特許出願番号第13/296,436号の利益を請求する。
記載
発明の背景
光起電技術を用いる再生可能エネルギーについての要求が増加している。特に、光電池は一般的に、従来シリコンインゴットをスライスすることにより得られる結晶シリコンウェハ上に形成される。典型的に115μmよりも厚いシリコンウェハを産出するこのプロセスでは、シリコン本体の50%までカーフロスで消費することにより相当な量のシリコンが無駄になっている。結果得られるウェハはまた、有用な光起電装置に必要とされるよりもはるかに厚い。
光起電技術を用いる再生可能エネルギーについての要求が増加している。特に、光電池は一般的に、従来シリコンインゴットをスライスすることにより得られる結晶シリコンウェハ上に形成される。典型的に115μmよりも厚いシリコンウェハを産出するこのプロセスでは、シリコン本体の50%までカーフロスで消費することにより相当な量のシリコンが無駄になっている。結果得られるウェハはまた、有用な光起電装置に必要とされるよりもはるかに厚い。
より薄いシリコン薄層は、典型的にはH+イオンによる高ドーズのイオン注入の後で加熱することによる膜の剥離によって作製される。しかしながら、光起電用途のために剥離によって有用なシリコン薄層を作製するためには、脆弱層を十分な深さに作製するようイオンを高エネルギーで注入する必要がある。
さらに、相対的に高い生産性を提供するために、高いビーム電流を使用することが望ましい。イオン電流が100mAであるとともにエネルギーが1MeVである注入ビームがここで考慮される。注入される基板に送達される有効なビームパワーは、100kW以上のオーダであり得る。このような高い注入ビームパワーによって基板が過剰な温度まで加熱されることを防止する必要性はかなりの困難を提示する。
公知のタイプのイオン注入具では、注入されるイオンのビームは、プロセスホイールの周辺部の周りに一群で搭載される基板(典型的にはシリコンウェハ)に方向付けられる。プロセスホイールまたは回転走査アセンブリは、ホイール上のウェハが順々にイオンビームを通過するように軸周りの回転のために搭載される。これにより、イオンビームのパワーは、プロセスホイール上で一群になっているウェハ同士の間で共有され得る。これらのウェハは、プロセスホイール上の基板ホルダ上に搭載される。基板ホルダは、ウェハを支持するための熱シンク表面を含む。熱シンク表面の強制冷却は典型的に水冷構造によって提供される。
ウェハと熱シンク支持表面との間の接触は、回転軸に向かうよう内方へ支持表面を傾けることにより維持され、これにより、ウェハは、プロセスホイールが回転すると、遠心力により支持表面に対して押圧される。
回転走査アセンブリを用いるこのような注入装置におけるウェハの冷却の有効性は、その下に存在する熱シンク表面にウェハが押圧される力に依存し得る。ドラムの形態にある回転走査アセンブリを提供する公知のイオン注入装置が存在しており、ドラムの内面の周りに実質的に回転軸に面してウェハが搭載される。この構成は、ウェハに対する遠心力の効果を最大化して、注入プロセスの間にウェハの冷却を最適化する。
回転ドラムタイプのイオン注入装置は、物理的に非常に大きくなり得る。回転ドラム自体の直径は、ドラムの周辺部が、一群で処理されるべき所要数の基板ウェハを収容することができるように、十分に大きくなければならない。回転ドラム上に搭載された基板ウェハは実質的にドラムの回転軸に面するので、イオンビームは、ドラムの回転軸に対して相対的に大きい角度で、ドラムの内周辺部の周りの基板に方向付けされなければならない。イオン注入器のビームライン構造に関する先行技術は典型的に、すべてがドラムの周辺部の外に位置するイオン源と、分析器磁石と、ビーム加速部とを含むビームラインの要素を必要とする。これにより、ビームは、ドラムの直径に亘るドリフト路に沿った直線に方向付けられ得る。この典型的な構造によって、ドラムタイプのイオン注入器が半導体作製設備のフロア上で相対的に大きい設置面積を占有するだけでなく、いくつかの適用例では、当該ドラムの直径に亘るイオンビームの長いドリフト路の長さによって困難さが引き起こされる。
概要
回転軸および周辺部を有する回転走査アセンブリを含むイオン注入装置が提供される。複数の基板ホルダが周辺部の周りに分散される。これらの基板ホルダは、回転軸の周りに全体の円錐角を規定するようそれぞれの平面基板を60°未満の共通基板傾斜角度で保持するように構成される。
回転軸および周辺部を有する回転走査アセンブリを含むイオン注入装置が提供される。複数の基板ホルダが周辺部の周りに分散される。これらの基板ホルダは、回転軸の周りに全体の円錐角を規定するようそれぞれの平面基板を60°未満の共通基板傾斜角度で保持するように構成される。
基板傾斜角度は、基板の中心を通り回転走査アセンブリの周辺部に対して接線方向である軸の周りの、軸走査アセンブリの回転軸と平行であるとともに当該接線軸を含む面に対する基板の面の回転角度として規定される。
回転走査アセンブリ上に搭載される平面基板の全体の円錐角は、当該技術の当業者には公知である技術用語である。回転走査アセンブリの基板ホルダ上に搭載された平面基板の、上で規定されたような共通基板傾斜角度がαであれば、全体の円錐角は2αである。したがって、回転走査アセンブリ上のホルダ上に搭載された平面基板によって形成される全体の円錐角が60°未満になるために、これらの基板の共通傾斜角度は30°未満であるべきということが分かり得る。
イオン注入装置は、基板ホルダ上の平面基板における注入のためにイオンのビームを提供するビームラインアセンブリをさらに含む。ビームラインアセンブリは、回転軸に対して少なくとも45°の角度である最終ビーム路に沿った所定のイオン注入方向にビームを方向付けするよう構成される。
装置の動作において、回転走査アセンブリが回転すると、基板ホルダ上の平面基板は、移動方向において連続的に最終ビーム路を遮る。
ビームラインアセンブリはさらに、イオン源と、イオン加速器と、ビーム湾曲磁石とをイオンビーム方向において連続して含む。イオン加速器は、少なくとも500keVの所望の注入エネルギーを有する加速ビームを作り出すよう、イオン源からのイオンを加速するために有効である。ビーム湾曲磁石は、加速ビームを受け取るようビーム入口を有する。イオン源と、加速器と、ビーム入口とは、イオン源からビーム湾曲磁石のビーム入口まで線形であるビーム加速路を規定する。
平面基板にイオンを注入する方法も提供される。平面基板は回転走査アセンブリの周辺部の周りに分散される基板ホルダ上に搭載される。回転走査アセンブリ上の基板ホルダは、回転軸の周りに全体の円錐角を規定するようそれぞれの平面基板を60°未満の共通基板傾斜角度で保持する。
本発明の方法は、
a)注入に望ましいイオンを含むイオンの源を生成するステップと、
b)源からのイオンを抽出し、線形加速路に沿って加速して少なくとも500keVのエネルギーを有する加速イオンビームを作り出すステップと、
c)回転軸に対して少なくとも45°の角度である最終ビーム路に沿った所定の注入方向に、注入に望ましいイオンの加速ビームを方向付けするよう加速ビームを湾曲するステップと、
d)基板が移動方向において連続的にビーム路を遮るように回転走査アセンブリを回転するステップとを含む。
a)注入に望ましいイオンを含むイオンの源を生成するステップと、
b)源からのイオンを抽出し、線形加速路に沿って加速して少なくとも500keVのエネルギーを有する加速イオンビームを作り出すステップと、
c)回転軸に対して少なくとも45°の角度である最終ビーム路に沿った所定の注入方向に、注入に望ましいイオンの加速ビームを方向付けするよう加速ビームを湾曲するステップと、
d)基板が移動方向において連続的にビーム路を遮るように回転走査アセンブリを回転するステップとを含む。
発明の詳細な説明
イオン注入装置の一実施例では、ビームラインアセンブリは、ビーム加速路の後に位置するとともに、加速ビームにおいて異なる質量/電荷比(m/e)のイオン同士の間に角度分離部を作り出すよう動作する分析器磁石を含む。
イオン注入装置の一実施例では、ビームラインアセンブリは、ビーム加速路の後に位置するとともに、加速ビームにおいて異なる質量/電荷比(m/e)のイオン同士の間に角度分離部を作り出すよう動作する分析器磁石を含む。
ある実施例では、分析器磁石は、注入に望ましいm/eを有するイオンを、最終ビーム路に沿って所定のイオン注入方向に方向付けするよう動作する。この実施例では、イオン注入装置はさらに、回転走査アセンブリ上に搭載され、かつ回転走査アセンブリとともに回転する環状ビームダンプ領域を形成するイオンビームダンプを含む。分析器磁石は、望ましいm/eよりも大きなm/eを有するイオンを環状ビームダンプ領域に向かうように方向付けするよう動作する。
さらに別の実施例では、ビーム湾曲磁石は、加速ビームをある範囲の偏向角度によりある繰返し率で偏向して、最終ビーム路が基板ホルダの移動方向に対して横断方向に走査されるように走査ビームを作り出すよう動作するビーム走査磁石である。この実施例では、ビームラインアセンブリは、上記範囲の偏向角度に亘るビーム走査磁石からの走査ビームを受け取るよう配置される分析器磁石を含んでもよい。次いで、分析器磁石は、異なる質量/電荷比(m/e)のビームイオン同士の間に角度分離部を作り出すよう動作する。
ある例では、分析器磁石は、コリメートされた走査ビームでの注入に望ましいm/eを有するイオンを、ビーム路に沿った所定のイオン注入方向に方向付けするよう動作し得る。
実施例は、回転走査アセンブリ上に搭載され、かつ回転走査アセンブリとともに回転される環状ビームダンプ領域を形成するイオンビームダンプをさらに含み得る。分析器磁石は、当該望ましいm/eよりも大きなm/eを有する加速ビームのイオンを環状ビームダンプ領域に向かうように方向付けするよう動作する。
一実施例では、最終ビーム路は、回転走査アセンブリの周辺部の直径よりも小さい合計イオンドリフト距離を有する。たとえば合計ドリフト距離は、周辺部の直径の半分よりも小さくてもよい。
さらに実施例では、上記の加速路は、回転走査アセンブリの回転軸と整列している。
イオン注入装置および方法の具体的な適用例は、シリコンのような結晶半導体材料の薄層の生産を含む。このようなシリコン薄層は光電池の生産に使用され得る。記載された装置および方法のこのような適用例において、注入されるべきイオンは典型的にΗ+イオンである。
イオン注入装置および方法の具体的な適用例は、シリコンのような結晶半導体材料の薄層の生産を含む。このようなシリコン薄層は光電池の生産に使用され得る。記載された装置および方法のこのような適用例において、注入されるべきイオンは典型的にΗ+イオンである。
イオン注入装置1が図1に示される。イオン注入装置1は、注入装置のプロセスチャンバを形成する真空容器12内における回転軸11周りの回転のために搭載される回転走査アセンブリ10を含む。
回転走査アセンブリ10が概略的に示される。回転走査アセンブリ10は、駆動モータにより回転軸11の周りの高速度での回転を可能にするよう回転軸受上に搭載される。回転軸受および駆動モータは、単純さのために図面に示されない。回転走査アセンブリ10は、回転走査アセンブリ10の周辺部14の周りに分散される基板ホルダ13を有する走査ホイール2を含む。基板ホルダ13は、ウェハとも称されるそれぞれの平面基板15を保持するよう配される。典型的に、平面基板15は、注入のためのシリコンのウェハである。イオン注入装置1の一例では、ウェハは、約156mm2であり、丸くされた角部を有する。回転走査アセンブリ10の周辺部14は、約3100mmの直径を規定するので、約60個のウェハが、重なることなく当該周辺部の周りに収容され得る。
基板ホルダ13は平面基板またはウェハ15を保持するので、露出面は回転軸11に向かうよう内方に方向付けられる。図1に示されるように、基板ホルダ13は、ウェハ15を傾斜角度αにて支持する。傾斜角度αは、ウェハ15の面が回転走査アセンブリ10の周辺部14に対して接線方向である軸の周りを、接線軸を含む回転軸11と平行な面に対して回転する角度として規定される。図1では、ウェハ15が回転される接線軸は、示されるウェハ15の位置にて紙面から直接的に外方に延在する。ウェハ15についての傾斜角度αは、ウェハ15の面の整列を示す第1のライン16と、回転軸11に平行に引かれている第2のライン17との間の角度によって示される。
回転走査アセンブリ10の周辺部14の周りに分散される各基板ホルダ13は、同じ傾斜角度αにてそれぞれのウェハ15を保持するよう構成される。単純さのため、図1には、ただ1つの基板ホルダ13aが示される。この基板ホルダ13aは、最初に言及した基板ホルダ13と、回転走査アセンブリ10上のウェハ15と直径方向において反対に配置される。上記のように、基板ホルダ13aは、ウェハ15aの面における第1のライン18と、回転軸11に平行に整列された第2のライン19との間の角度として傾斜角度αでウェハ15aを保持する。
図1において分かり得るように、第1のライン16および18は、当該図において左に連続しており、その交点は回転軸11上に存在する。回転走査アセンブリ10の周辺部14の周りに支持される他のウェハ15の面における対応するラインはさらに、回転軸11上の同じ点にて交わる。これらのラインのすべては、回転軸11上に円錐軸を有するとともに全体の円錐角2αを有する円錐の表面上に存在する。
円錐角は、回転走査アセンブリ上のウェハが回転軸に向かうよう傾斜される角度を説明するよう用いられる、イオン注入の技術において公知の用語である。全体の円錐角が相対的に小さいイオン注入装置における回転走査アセンブリは、ドラムタイプの走査アセンブリと称され得る。なぜならば、低い円錐角の場合、ウェハは、ドラムの内表面の周りに分散されるとみなされ得るからである。本実施例は、基板支持部の合計の円錐角が60°未満であるドラムタイプの回転走査アセンブリを用いるイオン注入装置を提供する。
このような構造により、ドラムホイール10とも称される回転走査アセンブリ10が十分に高速度で回転されると、ウェハ15は、遠心力だけによりドラムホイール10の周辺部14の周りで、基板ホルダ13上に支持され得る。約60°未満の円錐角を用い、したがって各ウェハの傾斜角度αが約30°であることにより、ウェハ15と基板ホルダ13のその下に存在する支持表面との間に十分な摩擦が存在し得、これにより処理の間にウェハ15が基板ホルダ13から滑り落ちるのが防止される。さらに、低い円錐角では、ウェハ15と基板ホルダ13のその下に存在する支持表面との間の良好な熱接触を確実にする遠心力の効果が最大化される。これは、注入プロセスの間に高パワーのイオンビームが用いられる場合には重要であるので、ウェハ15に届けられたビームパワーによる熱が、基板ホルダ13の熱シンク特性により、十分に除去され得る。典型的に、基板ホルダ13は水冷される。
図1に示される例示的な装置1はさらに、イオン源20と、イオン加速器21と、ビーム湾曲磁石22とを含むビームラインアセンブリ3を含む。イオン源20は、注入に望ましいイオンを含むイオンの源を提供する。一例では、イオン源20はΗ+イオンの源であってもよい。イオン加速器21は、イオン源からのイオンを抽出し加速して、所望の注入エネルギーを有する加速イオンビームを作り出すのに有効である。イオン加速器21は、少なくとも500keVのエネルギーを有する加速イオンビームを作り出すのに有効である。一例では、500keVを超えるエネルギーのΗ+イオンを含むイオンビームが、脆弱面を作り出すよう、シリコンウェハへの注入のために用いられ得、これにより注入されたウェハの表面からシリコンの薄い薄層が剥離されることが可能になる。このような薄層は、光起電性の太陽電池の製造に有用である。他の例では、イオン加速器21は、1MeV以上までの注入エネルギーを有する加速ビームを作り出し得る。
図1に示される例では、ビーム湾曲磁石22は、加速ビームをある繰返し率である範囲の偏向角度により偏向するよう動作するビーム走査磁石である。走査ビームが作り出され、当該ビームは図1において23で示される。走査イオンビームを作り出すビーム走査磁石は、当業者には周知である。
図1に示される例では、ビームラインアセンブリ3は、角度のある走査ビーム23をビーム湾曲磁石22から受け取るよう配置された分析器磁石24を付加的に含む。分析器磁石24は、全偏向角度範囲に亘って、角度のある走査ビーム23を収容するのに十分な入口開口部を有するので、当該角度のある走査ビーム23の全体が、分析器磁石24を通過する。分析器磁石24は、異なる質量/電荷比(m/e)のビームイオンの間に角度分離部を作り出すよう構成および動作する。イオンビームを質量分析するための分析器磁石は、イオン注入の分野において周知である。分析器磁石における均質の磁界を通過する個々のイオンの飛行経路の曲率は、同じエネルギーを有するイオンの場合、当該ビームにおけるイオンのm/eの関数である。当業者には周知のように、m/eがより高いイオンの飛行経路は、より曲率半径が大きくなる。
本例では、分析器磁石24は、注入に望ましいm/eを有するイオンを、コリメートされた走査ビーム25として分析器から出るように、方向付けするように動作する。したがって、分析器磁石24は、ビーム湾曲磁石22からの角度のある走査ビーム23における異なる偏向角度のイオンが、分析器磁石24を通過する際に、さらなる角度の偏向の量をちょうど受けて、図1においてライン26により示される最終ビーム路に沿った所定のイオン注入方向に平行なコリメートされた走査ビーム25として、分析器磁石24から発生するように形状決めされる。
示される特定の例では、Η+イオンを注入する場合に、イオン源20は、ある割合のH2 +イオンを作り出し得る。H2 +イオンの各陽子のエネルギーはH+イオンからの陽子のエネルギーの半分になるので、これらのH2 +イオンが望ましいΗ+イオンとともにウェハ15に注入されるのは望ましくない。結果として、H2 +イオンの陽子は、注入の際、ウェハにおいて半分だけの深さに入り込み得る。ビーム湾曲磁石22からの角度のある走査ビーム23におけるH2 +イオンは、分析器磁石24におけるΗ+イオンの曲率半径の2倍である当該磁石における曲率半径を有することになるので、H2 +がΗ+イオンから角度をなして分離される。
分析器磁石24は、磁石の分離面(図1における紙面)において十分に大きい、磁石を通過するビームのための出口開口部を有するよう設計されており、これによりΗ+イオンのコリメートされた走査ビーム25が、図1に示されるようにコリメートされたビームとして発生するだけでなく、H2 +イオンの別個の走査ビームがビーム27にて示されるように分析器磁石24から発生することが可能になる。これにより、H2 +は、角度のある走査ビーム23から分離され、最終ビーム路26に沿って分析器磁石24によって方向付けされるコリメートされた走査ビーム25の部分を形成しない。分析器磁石24によって分離される望まれないイオンは、さらに以下に詳細に記載されるビームダンプに方向付けられる。
要約すると、イオン源20と、イオン加速器21と、ビーム湾曲磁石22と、分析器磁石24とを含むビームラインアセンブリ3は、最終ビーム路26に沿った所定のイオン注入方向に所望のイオンのコリメートされた走査ビーム25を方向付けするよう構成される。最終ビーム路26は、回転走査アセンブリ10の回転軸11に対して少なくとも45°の角度にある。実際には、回転軸11とのこの角度はこれよりも大きくてもよく、典型的には約70°を超えており、一例では約78°である。
最終ビーム路26は、回転軸11に対して若干傾斜し得るので、最終ビーム路26の後方への延長部分を形成する直線は回転軸11と交わらない。この場合、最終ビーム路26と回転軸11との間の角度は、この特許の目的について、回転軸11と、回転軸11および回転走査アセンブリ10の周辺部14に対する最終ビーム路26の交点を含む面への最終ビーム路26の投射影との間の角度として規定される。したがって、最終ビーム路26と回転軸11との間の角度は、図1の紙面に現れる際には、回転軸11と、最終ビーム路26の後方への延長部分を形成する破線37との間の角度36であるということが示される。
ビーム湾曲磁石22は、イオン加速器21からの加速イオンビーム31を受け取るよう入口30を有する。図1に示されるように、イオン源20からイオン加速器21を介してビーム湾曲磁石22の入口30へのビーム加速路は線形である。実際、これは、イオン源20から抽出された実質上すべてのイオンがイオン加速器21を通過し、したがって所望の注入エネルギーにまで加速されることを意味する。これにより、イオン源から抽出されるイオンビームが質量分析される場合、記載された実施例のビームラインは、典型的な先行技術のビームラインと区別され、必要とされるイオンをビーム加速器へと通過させて必要とされるイオンを所望の注入エネルギーにする前に、注入に必要とされるイオンのみ選択する。
一実施例では、イオン加速器21は静電加速器であるので、イオン源20は、必要とされる注入ビームエネルギーに対応する高電位である。たとえば、必要とされる注入ビームエネルギーが500keVである場合、イオン源20は、通常はグラウンド電位である注入チャンバの真空容器12に対して+500kVである。イオン源20、イオン加速器21を含み、ビーム湾曲磁石22の入口30までの直線路を提供することにより、イオン源20の電位に近い高電位に分析器磁石24を定める必要がなくなる。これは、適切な静電絶縁性能を達成しつつイオン加速器21の物理的サイズを制限するためにイオン源20およびイオン加速器21はSF6のような絶縁性ガスを含むチャンバ32に封入され得るので、重要な利点である。
イオン加速器21は、イオンビームの通過のための真空気密内部空間を提供する加速器カラムを含む。ビーム湾曲磁石22は、回転走査アセンブリ10を含む真空容器12の内部と連通する真空チャンバ部33に配置される。次いで、真空チャンバ部33は、SF6チャンバ32の端壁における開口部を通じてイオン加速器21のカラムの内部に連通しているので、イオン源自体および加速器カラムは、真空チャンバ部33との接続により効果的に真空にされる。
図1に示される例では、磁気四極子アセンブリ34が、SF6チャンバ32においてイオン加速器21の高エネルギー端にて間に配置される。磁気四極子アセンブリ34は、最終ビーム路26を通る基板ウェハ15上の所望のビーム面積を提供するために、必要に応じて、加速ビームの形状を修正するよう動作する。
SF6のような絶縁性ガスの筐体におけるイオン源およびイオン加速器アセンブリのさらなる詳細は、2010年12月8日に出願された、この出願の同じ譲受人に譲受された同時係属出願番号第12/962,723号から得られ得る。この同時係属出願の開示は、すべての目的について本願明細書において全文参照により援用される。
上述したように、分析器磁石24は、望ましいm/eを有するビーム湾曲磁石22からの走査ビームにおけるイオンを、より高い値のm/eを有するイオンから分離するのに有効である。この例では、望ましいイオンは、H+イオンであり、これらは分析器磁石24によって、コリメートされた走査ビーム25において最終ビーム路26に沿うように方向付けされ、回転走査アセンブリ10の周辺部14の周りの基板ホルダ13上の基板ウェハ15に注入される。
この例では、望ましくないイオン種は主としてH2 +イオンであり、ビームダンプ40に衝突するよう分析器磁石24からビーム27に沿って生じる。図2および図3は、回転走査アセンブリ10上のイオンビームダンプ40をより詳細に示す。イオンビームダンプ40は、回転走査アセンブリ10に搭載されており、回転走査アセンブリ10とともに回転する環状ビームダンプ領域41を形成する。
図2にもっともよく示されるように、ビーム湾曲磁石22(図2に示さず)からの角度のある走査ビーム23が分析器磁石24に入る。分析器磁石24における磁界により、回転走査アセンブリ10の周辺部14と交わるよう最終ビーム路26に沿って方向付けされるコリメートされた走査ビーム25が作り出される。動作において、回転走査アセンブリ10は、周辺部14の周りの基板ホルダ13上に搭載される基板ウェハ15がコリメートされた走査ビーム25を連続的に遮るように、たとえば矢印42の方向に高速度で回転される。ビームは、コリメートされた走査ビーム25が一例では約153mmであるウェハ15の幅に亘って均一に延在するように、ビーム湾曲磁石22によって十分に走査される。
この例では、コリメートされた走査ビーム25は実質的にΗ+イオンのみを含む。H2 +イオンは、ビームダンプ40の環状ビームダンプ領域41に方向付けられるビーム27に沿って分析器磁石24から出現する。イオン源20からのすべてのイオンが所望の注入エネルギー(500KeVを超え典型的には1MeV)に加速されているので、H2 +イオンのビーム27は相当量のビームパワーをビームダンプ40に送達し得る。たとえば、イオン注入装置1は、エネルギーが約1MeVでありビーム電流が少なくとも100mAであるΗ+イオンのビームを、注入されるウェハに送達するよう設計されてもよい。したがって、注入ビーム25によって送達されるパワーは100kWを超え得る。イオン源20から抽出されるビームの10%のみがH2 +イオンを含んでいても、ビームダンプ40に衝突するH2 +イオンのビーム27は、ビームダンプ40に10kWを超えるパワーを送達し得る。
回転走査アセンブリ10とともに回転する環状ビームダンプ領域41を有するようビームダンプ40を構成することにより、このビームパワーは、ビームダンプ40の全環状表面に亘って分散し得る。一実施例では、ビームダンプ40は、ビーム27によって送達されるパワーが除去され得るように水冷される。
再び図1を参照して、示されるイオン注入装置1の構造は、有意な利点を提供する多くの特徴を有する。分析器磁石24は、回転走査アセンブリ10またはドラムホイール10の軸方向プロファイル内に配置される。結果として、分析器磁石24の出口とドラムホイール10の周辺部14との間のコリメートされた走査ビーム25の最終ビーム路26は相対的に短くなり得る。この最終ビーム路26に亘って、イオンビームは概して、ゼロ電界またはゼロ磁界の領域にある。電磁界のない領域におけるビーム路の長さは、イオンドリフト距離と称される。ドリフト距離上でイオンビームを制御する問題を最小化するようイオンビームのドリフト距離を可能な限り短く保つことが一般に望ましい。本例では、最終ビーム路26のドリフト距離は、ドラムホイール10の直径よりも小さい。示される例において、より特定的には、分析器磁石24はドラムホイール10の回転軸11の近くに配置されるので、最終ビーム路26のドリフト距離はドラムホイール10の半径よりも小さい。
また、示される例において、イオン源20からビーム湾曲磁石22の入口30までのビーム加速路は、ドラムホイール10の回転軸11と実質的に平行に整列される。この例では、加速イオンビーム31の路も回転軸11の近くに配置される。結果として、イオン源20、イオン加速器21、磁気四極子アセンブリ34、ビーム湾曲磁石22、および分析器磁石24を含む全ビームラインアセンブリは、イオン注入装置1のドラムホイール10の軸方向プロファイル内に物理的に含まれる。これにより、イオン注入装置1の空間的な占有面積を最小に保つことが可能になり、作製設備の製造フロア上のスペースを節約する。
上記の実施例は、光電池の製造における使用のためのシリコンの薄い薄層を剥離する目的で、シリコンウェハにおけるH+イオンの注入を特に参照して記載された。しかしながら、添付の特許請求の範囲に記載される特徴は、イオン注入の分野においてより一般的な用途を有する。
一実施例では、基板ウェハ15がドラムホイール10の周辺部14の周りに支持される傾斜角度αは約10°であり、最終ビーム路26は、ドラムホイール10の回転軸11に対して約78°の角度を有する。しかしながら、本発明の利益を得つつ、他の傾斜角度も考慮され得る。
イオン注入装置はさらに、次の特徴の組合せを有することが開示される。
A)イオン注入装置であって、回転軸、および直径を規定する周辺部を有する回転走査アセンブリと、周辺部の周りに分散され、回転走査アセンブリが軸の周りを回転する際に周辺部の周りを移動する複数の基板ホルダとを含み、基板ホルダは回転軸の周りに全体の円錐角を規定するようそれぞれの平面基板を60°未満の共通基板傾斜角度で保持するように構成されており、イオン注入装置はさらに、基板ホルダ上の平面基板における注入のためにイオンのビームを提供するビームラインアセンブリを含み、ビームラインアセンブリは、合計ドリフト距離を有する最終ビーム路に沿った所定のイオン注入方向にビームを方向付けするよう構成されており、最終ビーム路は回転軸に対して少なくとも45°の角度であり、ドリフト距離は直径未満であり、基板ホルダ上の平面基板は、回転走査アセンブリが回転すると、移動方向において最終ビーム路を連続的に遮り、ビームラインは、最終ビーム路が基板ホルダの移動方向に対して横断方向に繰返し率で走査されるようにある繰返し率でビームを偏向するビーム走査部を含む、イオン注入装置。
A)イオン注入装置であって、回転軸、および直径を規定する周辺部を有する回転走査アセンブリと、周辺部の周りに分散され、回転走査アセンブリが軸の周りを回転する際に周辺部の周りを移動する複数の基板ホルダとを含み、基板ホルダは回転軸の周りに全体の円錐角を規定するようそれぞれの平面基板を60°未満の共通基板傾斜角度で保持するように構成されており、イオン注入装置はさらに、基板ホルダ上の平面基板における注入のためにイオンのビームを提供するビームラインアセンブリを含み、ビームラインアセンブリは、合計ドリフト距離を有する最終ビーム路に沿った所定のイオン注入方向にビームを方向付けするよう構成されており、最終ビーム路は回転軸に対して少なくとも45°の角度であり、ドリフト距離は直径未満であり、基板ホルダ上の平面基板は、回転走査アセンブリが回転すると、移動方向において最終ビーム路を連続的に遮り、ビームラインは、最終ビーム路が基板ホルダの移動方向に対して横断方向に繰返し率で走査されるようにある繰返し率でビームを偏向するビーム走査部を含む、イオン注入装置。
B)イオン注入装置であって、回転軸および周辺部を有する回転走査アセンブリと、周辺部の周りに分散され、回転走査アセンブリが軸の周りを回転する際に周辺部の周りを移動する複数の基板ホルダとを含み、基板ホルダは回転軸の周りに全体の円錐角を規定するようそれぞれの平面基板を60°未満の共通基板傾斜角度で保持するように構成されており、イオン注入装置はさらに、基板ホルダ上の平面基板における注入のためにイオンのビームを提供するビームラインアセンブリを含み、ビームラインアセンブリは、最終ビーム路に沿った所定のイオン注入方向にビームを方向付けするよう構成されており、基板ホルダ上の平面基板は、回転走査アセンブリが回転すると、最終ビーム路を連続的に遮り、ビームラインアセンブリは、異なる質量/電荷比(m/e)のビームイオン同士の間に角度分離部を作り出し、かつ最終ビーム路に沿った所定のイオン注入方向に、望ましいm/eを有するイオンを方向付けするよう動作する分析器磁石を含んでおり、イオンビームダンプが、回転走査アセンブリ上に搭載され、回転走査アセンブリとともに回転する環状ビームダンプ領域を形成しており、分析器磁石は、望ましいm/eよりも大きいm/eを有するイオンを環状ビームダンプ領域に向かうように方向付けするよう動作する。
明瞭さおよび完全さのために複数の実施例が提供された。この明細書によって情報が与えられた場合に、当業者には本発明の他の実施例が明らかであろう。注入装置および注入方法について詳細な構成およびパラメータの範囲が本願明細書において記載されたが、添付の特許請求の範囲の範囲以内に該当する他の構成およびパラメータ設定が用いられ得る。
前述の詳細な説明は、この発明が取り得る多くの形態のいくつかのみを記載している。このため、詳細な説明は、限定目的ではなく例示目的であることが意図される。本発明の範囲を定義するように意図されるのは、すべての等価物を含む添付の特許請求の範囲である。
Claims (20)
- イオン注入装置であって、
回転軸および周辺部を有する回転走査アセンブリと、
前記周辺部の周りに分散される複数の基板ホルダとを含み、前記基板ホルダは前記回転軸の周りに全体の円錐角を規定するようそれぞれの平面基板を60°未満の共通基板傾斜角度で保持するように構成されており、前記イオン注入装置はさらに、
前記基板ホルダ上の前記平面基板における注入のためにイオンのビームを提供するビームラインアセンブリを含み、前記ビームラインアセンブリは、イオン源と、少なくとも500keVの所望の注入エネルギーを有する加速ビームを作り出すよう前記イオン源からのイオンを加速させるのに有効なイオン加速器と、前記加速ビームを受け取るようビーム入口を有するビーム湾曲磁石とをイオンビーム方向に連続して含み、前記イオン源、前記加速器および前記ビーム入口は、前記イオン源から前記ビーム湾曲磁石の前記ビーム入口まで線形であるビーム加速路を規定しており、
前記ビームラインアセンブリは、前記回転軸に対して少なくとも45°の角度である最終ビーム路に沿った所定のイオン注入方向に前記ビームを方向付けするよう構成されており、
前記基板ホルダ上の前記平面基板は、前記回転走査アセンブリが回転すると、移動方向において前記最終ビーム路を連続的に遮る、イオン注入装置。 - 前記ビームラインアセンブリは、前記ビーム加速路の後に配置され、かつ前記加速ビームにおいて異なる質量/電荷比(m/e)のイオン同士の間に角度分離部を作り出すよう動作する分析器磁石を含む、請求項1に記載のイオン注入装置。
- 前記分析器磁石は、前記最終ビーム路に沿った前記所定のイオン注入方向に、注入に望ましいm/eを有するイオンを方向付けするよう動作し、
前記注入装置はさらに、前記回転走査アセンブリ上に搭載され、かつ前記回転走査アセンブリとともに回転する環状ビームダンプ領域を形成するイオンビームダンプを含み、
前記分析器磁石は、前記望ましいm/eよりも大きいm/eを有するイオンを前記環状ビームダンプ領域に向かうように方向付けするよう動作する、請求項2に記載のイオン注入装置。 - 前記ビーム湾曲磁石は、ある範囲の偏向角度によりある繰返し率で前記加速ビームを偏向して、前記最終ビーム路が前記基板ホルダの前記移動方向に対して横断方向に走査されるように走査ビームを作り出すよう動作するビーム走査磁石である、請求項1に記載のイオン注入装置。
- 前記ビームラインアセンブリは、前記範囲の偏向角度に亘って前記ビーム走査磁石からの前記走査ビームを受け取るよう配置されるとともに、異なる質量/電荷比(m/e)のビームイオン同士の間に角度分離部を作り出すよう動作する分析器磁石を含む、4に記載のイオン注入装置。
- 前記分析器磁石は、コリメートされた走査ビームにおける、注入に望ましいm/eを有するイオンを前記最終ビーム路に沿った前記所定のイオン注入方向に方向付けするよう動作する、5に記載のイオン注入装置。
- 前記回転走査アセンブリ上に搭載され、かつ前記回転走査アセンブリとともに回転する環状ビームダンプ領域を形成するイオンビームダンプをさらに含み、前記分析器磁石は、前記望ましいm/eよりも大きいm/eを有する前記加速ビームのイオンを前記環状ビームダンプ領域に向かうように方向付けするよう動作する、請求項6に記載のイオン注入装置。
- 前記最終ビーム路は、前記回転走査アセンブリの前記周辺部の直径よりも小さい合計イオンドリフト距離を有する、請求項1に記載のイオン注入装置。
- 前記合計ドリフト距離は前記直径の半分未満である、請求項8に記載のイオン注入装置。
- 前記加速路は、前記回転走査アセンブリの前記回転軸に整列する、請求項1に記載のイオン注入装置。
- 回転走査アセンブリの周辺部の周りに分散される基板ホルダ上に搭載される平面基板にイオンを注入する方法であって、前記基板ホルダは、前記回転走査アセンブリの前記回転軸の周りに全体の円錐角を規定するよう前記平面基板を60°未満の共通基板傾斜角度で保持しており、前記方法は、
a)注入に望ましいイオンを含むイオンの源を生成するステップと、
b)前記源からの前記イオンを抽出し、線形加速路に沿って加速して少なくとも500keVのエネルギーを有する加速イオンビームを作り出すステップと、
c)前記回転軸に対して少なくとも45°の角度である最終ビーム路に沿った所定の注入方向に、注入に望ましい前記イオンの加速ビームを方向付けするよう前記加速ビームを湾曲するステップと、
d)前記基板が移動方向において連続的に前記ビーム路を遮るように前記回転走査アセンブリを回転するステップとを含む、方法。 - 異なる質量/電荷比(m/e)のイオン同士の間に角度分離部を提供するよう分析器磁石を用いて前記加速ビームを分析するステップをさらに含む、請求項11に記載のイオンを注入する方法。
- 前記分析器磁石は前記最終ビーム路に沿った前記所定のイオン注入方向に、注入に望ましいm/eを有するイオンを方向付けし、
前記分析器磁石は、前記望ましいm/eよりも大きいm/eを有するイオンをビームダンプの環状ビームダンプ領域に向かうよう方向付けする、請求項12に記載のイオンを注入する方法。 - ある範囲の偏向角度によりある繰返し率で前記加速ビームを偏向して、前記最終ビーム路が前記基板の前記移動方向に対して横断方向に走査されるように走査ビームを作り出すステップをさらに含む、請求項11に記載のイオンを注入する方法。
- 分析器磁石において前記範囲の偏向角度に亘って前記走査ビームを受け取るステップと、
異なる質量/電荷比(m/e)のビームイオン同士の間に角度分離部を作り出すよう前記分析器磁石を用いて前記走査ビームを分析するステップとをさらに含む、請求項14に記載のイオンを注入する方法。 - 前記分析器磁石は、コリメートされた走査ビームにおける、注入に望ましいm/eを有するイオンを前記最終ビーム路に沿った前記所定のイオン注入方向に方向付ける、請求項15に記載のイオンを注入する方法。
- 前記分析器磁石は、前記望ましいm/eよりも大きいm/eを有するイオンを、前記回転走査アセンブリ上に搭載されるイオンビームダンプの環状ビームダンプ領域に向かうように方向付けする、請求項16に記載のイオンを注入する方法。
- 注入されるべきイオンは、前記回転走査アセンブリの前記周辺部の直径よりも小さい合計イオンドリフト距離に亘って、前記最終ビーム路に沿ってドリフトする、請求項11に記載のイオンを注入する方法。
- 前記合計イオンドリフト距離は、前記直径の半分未満である、請求項18に記載のイオンを注入する方法。
- 前記線形加速路は、前記回転走査アセンブリの前記回転軸に整列する、請求項11に記載のイオンを注入する方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US13/296,436 | 2011-11-15 | ||
US13/296,436 US8633458B2 (en) | 2011-11-15 | 2011-11-15 | Ion implant apparatus and a method of implanting ions |
PCT/US2012/064829 WO2013074523A1 (en) | 2011-11-15 | 2012-11-13 | Ion implant apparatus and a method of implanting ions |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015503188A true JP2015503188A (ja) | 2015-01-29 |
Family
ID=48279698
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014542376A Pending JP2015503188A (ja) | 2011-11-15 | 2012-11-13 | イオン注入装置およびイオンを注入する方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8633458B2 (ja) |
EP (1) | EP2786396A4 (ja) |
JP (1) | JP2015503188A (ja) |
KR (1) | KR20140099903A (ja) |
CN (1) | CN104054155A (ja) |
EA (1) | EA201490978A1 (ja) |
WO (1) | WO2013074523A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10096459B2 (en) | 2014-10-08 | 2018-10-09 | Dh Technologies Development Pte. Ltd. | Mass filtering of ions using a rotating field |
EP3456159B1 (en) * | 2016-05-12 | 2023-04-26 | Neutron Therapeutics Inc. | Ion beam filter for a neutron generator |
US10804068B2 (en) * | 2018-11-20 | 2020-10-13 | Applied Materials, Inc. | Electostatic filter and method for controlling ion beam properties using electrostatic filter |
US10937624B2 (en) | 2018-11-20 | 2021-03-02 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for controlling ion beam using electrostatic filter |
US10886098B2 (en) | 2018-11-20 | 2021-01-05 | Applied Materials, Inc. | Electrostatic filter and ion implanter having asymmetric electrostatic configuration |
US10790116B2 (en) * | 2018-11-20 | 2020-09-29 | Applied Materials, Inc. | Electostatic filter and method for controlling ion beam using electostatic filter |
CN115537749A (zh) * | 2022-09-08 | 2022-12-30 | 核工业西南物理研究院 | 一种用于连续人工磁通钉扎制备的离子辐照装置 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH607836A5 (ja) | 1976-12-27 | 1978-11-15 | Balzers Hochvakuum | |
EP0217616A3 (en) * | 1985-09-23 | 1989-01-25 | Vg Instruments Group Limited | Substrate processing apparatus |
FR2660106B1 (fr) | 1990-03-23 | 1994-05-13 | Commissariat A Energie Atomique | Dispositif pour rendre homogene l'implantation d'ions sur la surface d'echantillons plans. |
US5981961A (en) * | 1996-03-15 | 1999-11-09 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for improved scanning efficiency in an ion implanter |
JP3139378B2 (ja) | 1996-07-03 | 2001-02-26 | 株式会社日立製作所 | イオン注入装置 |
WO1999006110A1 (en) | 1997-07-29 | 1999-02-11 | Silicon Genesis Corporation | Cluster tool method and apparatus using plasma immersion ion implantation |
US6297510B1 (en) | 1999-04-19 | 2001-10-02 | Applied Materials, Inc. | Ion implant dose control |
JP2005183458A (ja) * | 2003-12-16 | 2005-07-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法及びその製造装置 |
WO2009028065A1 (ja) | 2007-08-30 | 2009-03-05 | Fujitsu Microelectronics Limited | イオン注入装置、基板クランプ機構、及びイオン注入方法 |
US7897945B2 (en) | 2008-09-25 | 2011-03-01 | Twin Creeks Technologies, Inc. | Hydrogen ion implanter using a broad beam source |
US8044374B2 (en) * | 2009-06-30 | 2011-10-25 | Twin Creeks Technologies, Inc. | Ion implantation apparatus |
CN102804328B (zh) | 2009-06-30 | 2015-09-16 | 特温克里克技术公司 | 离子植入装置和方法 |
US8426829B2 (en) * | 2009-09-29 | 2013-04-23 | Gtat Corporation | Ion implantation apparatus |
-
2011
- 2011-11-15 US US13/296,436 patent/US8633458B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-11-13 EP EP20120849766 patent/EP2786396A4/en not_active Withdrawn
- 2012-11-13 CN CN201280067098.1A patent/CN104054155A/zh active Pending
- 2012-11-13 KR KR1020147016227A patent/KR20140099903A/ko not_active Application Discontinuation
- 2012-11-13 JP JP2014542376A patent/JP2015503188A/ja active Pending
- 2012-11-13 EA EA201490978A patent/EA201490978A1/ru unknown
- 2012-11-13 WO PCT/US2012/064829 patent/WO2013074523A1/en active Application Filing
-
2014
- 2014-01-16 US US14/157,480 patent/US8759803B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20130119263A1 (en) | 2013-05-16 |
EP2786396A1 (en) | 2014-10-08 |
US20140130741A1 (en) | 2014-05-15 |
KR20140099903A (ko) | 2014-08-13 |
US8633458B2 (en) | 2014-01-21 |
CN104054155A (zh) | 2014-09-17 |
EA201490978A1 (ru) | 2014-10-30 |
EP2786396A4 (en) | 2015-04-29 |
WO2013074523A1 (en) | 2013-05-23 |
US8759803B2 (en) | 2014-06-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8759803B2 (en) | Ion implant apparatus and a method of implanting ions | |
US7897945B2 (en) | Hydrogen ion implanter using a broad beam source | |
US8481959B2 (en) | Apparatus and method for multi-directionally scanning a beam of charged particles | |
US8242468B2 (en) | Ion implanter for photovoltaic cell fabrication | |
JP2008522431A (ja) | ビーム利用率の最適化 | |
JP2000505234A (ja) | 大電流リボンビーム注入装置 | |
KR20110040864A (ko) | 빔 상보성 개구 형상을 빔 형상에 맞춤으로써 오염 및 미립자를 감소시키기 위한 시스템 및 방법 | |
JPH10162770A (ja) | ドーピング装置およびドーピング処理方法 | |
Rose et al. | Concepts and designs of ion implantation equipment for semiconductor processing | |
JP2010003647A (ja) | イオン注入装置 | |
US8039821B2 (en) | Ion implantation systems | |
TW201419365A (zh) | 離子植入裝置及植入離子的方法 | |
US11120970B2 (en) | Ion implantation system | |
KR20080082263A (ko) | 페러데이 시스템 및 그가 채용되는 이온주입설비 | |
EP0066175B1 (en) | Ion implanter | |
US12002649B2 (en) | Spinning disk with electrostatic clamped platens for ion implantation | |
Ryding et al. | A 1.2 MeV, 100 mA proton implanter | |
KR100664375B1 (ko) | 이온 주입 장치 | |
JP2002175771A (ja) | イオン注入装置 | |
KR20080010094A (ko) | 이온주입설비 | |
JP2000294515A (ja) | イオン注入装置及びイオン注入方法 | |
JP2021022676A (ja) | イオン注入方法及びイオン注入装置 | |
KR20050078719A (ko) | 웨이퍼 홀더 및 이를 포함하는 이온 주입 장치 | |
JPH10321181A (ja) | イオン注入装置 | |
JPH06150872A (ja) | イオン注入方法及びイオン注入装置 |