JP2015230766A - カーボンヒータ、ヒータユニット、焼成炉及び珪素含有多孔質セラミック焼成体の製造方法 - Google Patents
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- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 252
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 236
- 238000010304 firing Methods 0.000 title claims abstract description 104
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 44
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 40
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 40
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 40
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 31
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 14
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 17
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 16
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 9
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 abstract description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 23
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 12
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 8
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 7
- 238000009694 cold isostatic pressing Methods 0.000 description 7
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 4
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 4
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 description 3
- 239000002585 base Substances 0.000 description 3
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 3
- 210000002421 cell wall Anatomy 0.000 description 3
- 239000000571 coke Substances 0.000 description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 description 2
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 2
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- -1 light Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052574 oxide ceramic Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011224 oxide ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000505 Al2TiO5 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007088 Archimedes method Methods 0.000 description 1
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910026551 ZrC Inorganic materials 0.000 description 1
- OTCHGXYCWNXDOA-UHFFFAOYSA-N [C].[Zr] Chemical compound [C].[Zr] OTCHGXYCWNXDOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 1
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005593 dissociations Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 229910021397 glassy carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005087 graphitization Methods 0.000 description 1
- 239000003779 heat-resistant material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NFFIWVVINABMKP-UHFFFAOYSA-N methylidynetantalum Chemical compound [Ta]#C NFFIWVVINABMKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 229910021426 porous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- AABBHSMFGKYLKE-SNAWJCMRSA-N propan-2-yl (e)-but-2-enoate Chemical compound C\C=C\C(=O)OC(C)C AABBHSMFGKYLKE-SNAWJCMRSA-N 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 239000004071 soot Substances 0.000 description 1
- 229910003468 tantalcarbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 1
- MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N trimethyl(1,1,2,2,2-pentafluoroethyl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)C(F)(F)C(F)(F)F MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N tungsten carbide Chemical compound [W+]#[C-] UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
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- F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
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- F27B9/08—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity heated without contact between combustion gases and charge; electrically heated heated through chamber walls
- F27B9/082—Muffle furnaces
- F27B9/088—Series of separate muffles conveyed through the furnace
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
- F27B9/14—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment
- F27B9/20—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path tunnel furnace
- F27B9/26—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path tunnel furnace on or in trucks, sleds, or containers
- F27B9/262—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path tunnel furnace on or in trucks, sleds, or containers on or in trucks
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F27D99/0001—Heating elements or systems
- F27D99/0006—Electric heating elements or system
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F27D99/0001—Heating elements or systems
- F27D99/0006—Electric heating elements or system
- F27D2099/0008—Resistor heating
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Abstract
【解決手段】 珪素含有物を非酸化性雰囲気下で焼成する際に使用するカーボンヒータであって、上記カーボンヒータの断面形状が、略n角形であり、上記nは3〜8であることを特徴とするカーボンヒータ。
【選択図】 図1
Description
また、折損に至らない場合であっても、ヒータの断面積が減少することにより、焼成炉内の温度を一定に保つことが難しくなるという問題もあった。
一つ目のメカニズムでは、SiOガスに熱電子が付着することにより、SiOガスがイオン化される。そして、イオン化されたSiO−イオンがヒータの電位に引き寄せられ、カーボンと反応することで、ヒータの表面が珪化する。
また、二つ目のメカニズムでは、熱電子が持つエネルギー(E)がSiOガスに付与され、SiOがSi−とOに分子解離する(下記式(I))。その後、分子解離したSiに熱電子が持つエネルギー(E)が付与されることによりSi+イオンが発生する(下記式(II))。そして、Si+イオンがヒータに引き寄せられ、カーボンと反応することで、ヒータの表面が珪化する。
SiO+E→Si−+O・・・(I)
Si+E→Si++e−・・・(II)
カーボンヒータの表面積が増加することによって、以下に示す理由から、カーボンヒータからの熱電子の放出を抑制することができる。
Q=eσSt(T4−Ts4)・・・(III)
[ここで、Qはカーボンヒータが輻射する熱量[J]、eは放射効率で、カーボンの場合約0.9、σはシュテファン・ボルツマン定数[5.67×10−8W・m−2・K−4]、Sはカーボンヒータの表面積[m2]、tは輻射時間[t]、Tはカーボンヒータ表面の温度[K]、Tsは周囲の温度[K]である]
I=AT2exp(−φ/kT)・・・(IV)
[ここで、Iは熱電子の電流密度[A/cm2]、Tはカーボンヒータ表面の温度[K]、Aは放出定数(リチャードソン定数)、φは仕事関数、kはボルツマン定数[8.62×10−5eV・K−1]である。]
上記式(IV)から明らかなように、カーボンヒータの表面積を増加させることで、熱電子の放出が抑制される。その結果、SiOガスがイオン化しにくくなり、カーボンヒータ表面が珪化することを抑制することができる。
上記nが小さくなるほど、カーボンヒータの断面積を一定にした場合の表面積が大きくなる。すなわち、上記nが小さいほど、より熱電子の放出を抑制することができる。
上記nが8を超える場合、カーボンヒータの表面積が小さくなり、熱電子の放出を充分に抑制することができない。
なお、本願明細書において略n角形とは、正n角形及びn角形、並びに、これらの1以上の角部に直線部又は曲線部が形成されるよう面取りを施した形状を含む。
本発明のカーボンヒータの断面形状は、正n角形、n角形、又は、これらの1以上の角部に直線部及び/若しくは曲線部が形成されるよう面取りが施された形状であることが好ましい。
また、正n角形及びn角形の角部に対して直線部を形成するよう面取りを施す場合、その直線部の長さは1〜10mmであり、曲線部を形成するよう面取りを施す場合、曲線部の曲率半径は1〜10mmである。面取りを施す際の直線部及び曲線部の長さが上記範囲よりも長い場合、カーボンヒータの表面積が小さくなりすぎてしまう。
なお、曲線部の曲率半径とは、面取りによって形成された曲線部を円に近似した際の近似円の半径である。
カーボンヒータに面取りが施されていることにより、カーボンヒータの機械的強度、加工性を向上させ、さらに面取りによって角部の角度を緩やかにするか又は角部に丸みを帯びさせることによって、電気力線の集中を緩和させてカーボンヒータによる放電を防止させることができる。
なお、本願明細書においては、カーボンヒータの断面形状について、面取りにより発生した面及び曲面を考慮に入れず、面取りがなかったものとして記載する。すなわち、例えば、断面形状が略四角形であるカーボンヒータの4つの角を全て面取りしたものも、略四角形である。
カーボンヒータの長手方向に垂直な断面形状の角部に形成された曲線部の曲率半径が1mm未満であると、機械的強度の向上や加工性の向上が不充分であるとともに、カーボンヒータによる放電を充分に防止することができない。また、カーボンヒータの長手方向に垂直な断面形状の角部に形成された曲線部の曲率半径が10mmを超えると、カーボンヒータの表面積が小さくなり、熱電子の放出を充分に抑制することができない。
カーボンヒータの長手方向に垂直な断面形状の角部に形成された直線部の長さが1mm未満であると、機械的強度の向上や加工性の向上が不充分であるとともに、カーボンヒータによる放電を充分に防止することができない。また、カーボンヒータの長手方向に垂直な断面形状の角部に形成された直線部の長さが10mmを超えると、カーボンヒータの表面積が小さくなり、熱電子の放出を充分に抑制することができない。
カーボンヒータの断面積が300mm2未満であると、相対的にカーボンヒータの電気抵抗値が大きくなる。従って、カーボンヒータに電流が充分に流れないため、カーボンヒータを充分に加熱できないという問題がある。また、3000mm2を超えると、相対的にカーボンヒータの電気抵抗値が低くなる。従って、加熱に必要な電力が大きくなりすぎてしまうという問題がある。
カーボンヒータの密度が1.50g/cm3未満であると、カーボンヒータの機械的強度が不足することがあり、2.00g/cm3を超えると、製造コストが増大する。
カーボンヒータの気孔率が5%未満であると、その製造方法上の理由から、製品歩留まりの低下を招くおそれがある。また、気孔率が30%を超える場合、高温ガスによる表面侵食が促進され易く、カーボンヒータが短期間で溶損し使用不能となるおそれがある。
断面形状が略n角形であり、nが3〜8であるカーボンヒータを使用することにより、珪素含有化合物を焼成する際に、カーボンヒータの消耗を抑制することができ、カーボンヒータのライフが長い。
本発明のヒータユニットを構成するカーボンヒータの断面形状は、正n角形、n角形、又は、これらの1以上の角部に直線部及び/若しくは曲線部が形成されるよう面取りが施された形状であることが好ましい。
本発明の焼成炉は、断面形状が略n角形であり、nが3〜8であるカーボンヒータを使用しているため、カーボンヒータの消耗を抑制することができ、カーボンヒータのライフが長い。
本発明の焼成炉を構成するカーボンヒータの断面形状は、正n角形、n角形、又は、これらの1以上の角部に直線部及び/若しくは曲線部が形成されるよう面取りが施された形状であることが好ましい。
本発明の珪素含有多孔質セラミック焼成体においては、発熱体として用いられるカーボンヒータの断面形状が略n角形となっているため、カーボンヒータの消耗を抑制することができ、カーボンヒータのライフが長い。そのため、カーボンヒータを交換するまでの期間が長くなり、低コストで珪素含有多孔質セラミック焼成体を製造することができる。
本発明の珪素含有多孔質セラミック焼成体の製造方法に用いるカーボンヒータの断面形状は、正n角形、n角形、又は、これらの1以上の角部に直線部及び/若しくは曲線部が形成されるよう面取りが施された形状であることが好ましい。
連続式焼成炉を用いることで、複数の被焼成体を連続的に焼成することができるため、製造効率を向上させやすくなる。
以下、本発明のカーボンヒータについて具体的に説明する。しかしながら、本発明は、以下の構成に限定されるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲において適宜変更して適用することができる。
カーボンヒータの断面形状が略n角形であることによって、ヒータの断面積を同一とした場合に、縁周部の長さ(カーボンヒータの表面積)が、断面形状が円形の場合よりも増加する。カーボンヒータの表面積が増加することによって、カーボンヒータ表面の温度が下がり、熱電子の発生を抑制することができるため、カーボンヒータの表面が珪化することを抑制することができる。
なお、略n角形とは、正n角形及びn角形、並びに、これらの1以上の角部に直線部又は曲線部が形成されるよう面取りを施した形状を含むものである。
本発明のカーボンヒータの断面形状は、正n角形、n角形、又は、これらの1以上の角部に直線部及び/若しくは曲線部が形成されるよう面取りが施された形状であることが好ましい。
図1(a)に示すカーボンヒータ10は、その断面形状が正方形(略4角形)である。
また、図1(b)に示すように、カーボンヒータ10はその角部に面取りが施され、直線部11が形成されている。このように断面形状を正方形としたカーボンヒータは、断面積が同一、かつ、断面形状が円形であるカーボンヒータと比較して、表面積が大きい。そのため、焼成炉内の温度を低下させることなく、カーボンヒータ表面の温度を低下させることができる。カーボンヒータ表面の温度が低下することにより、熱電子の放出を抑制することができるため、SiOガスによりカーボンヒータ表面が珪化することを抑制することができる。
図2(a)に示すカーボンヒータ15は、断面形状が略4角形で、角部に面取りが施され、曲線部12が形成されている。図2(b)に示すカーボンヒータ16は、断面形状が略3角形で、角部に面取りが施され、曲線部13が形成されている。図2(c)に示すカーボンヒータ17は、断面形状が略5角形で、角部に面取りが施され、曲線部14が形成されている。
図2(a)〜図2(c)に示すように、本発明のカーボンヒータには、面取りが施されていることが望ましい。
カーボンヒータに面取りが施されていると、カーボンヒータの機械的強度及び加工性を向上させることができる。
カーボンヒータの長手方向に垂直な断面形状の角部の直線部の長さが1mm未満であると、機械的強度の向上や加工性の向上が不充分であるとともに、カーボンヒータによる放電を充分に防止することができない。また、カーボンヒータの長手方向に垂直な断面形状の角部の直線部の長さが10mmを超えると、断面形状が円形に近づいて縁周部が短くなるため、ヒータの消耗を抑制してライフを向上させる効果が小さくなる。
カーボンヒータの断面積が300mm2未満であると、機械的強度が不充分である。また、3000mm2を超えると、寸法が大きくなり、製造コストの増大になるとともに、カーボンヒータの電気抵抗値が低くなって電流が多く流れるので、電力損失も大きくなるという問題がある。
カーボンヒータの密度が1.50g/cm3未満であると、カーボンヒータの機械的強度が不足することがあり、2.00g/cm3を超えると、製造コストが増大する。
カーボンヒータの気孔率が5%未満であると、その製造方法上の理由から、製品歩留まりの低下を招くおそれがある。また、気孔率が30%を超える場合、高温ガスによる表面侵食が促進され易く、カーボンヒータが短期間で溶損し使用不能となるおそれがある。
なお、カーボンヒータの気孔率は、アルキメデス法を用いて測定することができる。
まず、原料となるコークスを粉砕し、所定値に調整された粒度を有するコークス粉体を形成する。コークス粉体の好ましい最大粒子径は、0.02〜0.05mmである。続いて、コークス粉体にバインダとしてのピッチを添加し混練して、粉体組成物を調製し、粉体組成物から成形体(被焼成体)を製造する。上記成形体は、例えば、押出成形や加圧成形により製造することができるが、複数のカーボンヒータ間での電気抵抗値等の電気的特性のばらつきを抑止するためには、冷間等方圧加圧法(CIP法)により成形することが望ましい。
図3は、冷間等方圧加圧装置の一例を模式的に示す断面図である。
冷間等方圧加圧装置20は、粉体組成物23の封入されたゴム型24と、水等の加圧媒体(流体)21とゴム型24とを収容する圧力容器22と、加圧媒体21を介してゴム型24(及び粉体組成物23)を加圧するためのポンプ25とを備える。ポンプ25によって加圧された加圧媒体21はゴム型24の全表面を均一な圧力で加圧する。これにより、ゴム型24に封入された粉体組成物23が均一な圧力で圧縮されて、ゴム型24によって規定される形状を有する成形体が成形される。加圧の圧力を調節することによって、粉体組成物23の成形体の気孔率を調節することができる。この成形体を焼成することにより製造されたカーボン焼結体においては、カーボン焼結体の結晶粒子を不規則に配向することが容易であり、複数のカーボンヒータ間での電気抵抗値等の電気的特性のばらつきを抑制することができる。また、カーボン焼結体の気孔率を上記の好ましい範囲に収めることが容易である。このような、カーボン焼結体の結晶粒子が不規則に配向したものが、等方性黒鉛である。
上記圧力により粉末組成物が成形されて、成形体(被焼成体)となる。
続いて、この成形体を不活性雰囲気にて比較的高温(第1の温度)で焼成することで、カーボン素材からなる焼結体(カーボン焼結体)が生成される。さらに、このカーボン焼結体を、不活性雰囲気にて上記第1の温度よりも高い温度(第2の温度)で焼成する。これにより、焼結体のカーボンが黒鉛化されて、グラファイトからなる粗グラファイト体が生成される。粗グラファイト体の形状を整えて、本発明のカーボンヒータとなる。
第1の温度及び第2の温度は、例えば、それぞれ約1000℃、約3000℃である。
本発明の焼成炉は、電源と、筐体と、上記筐体内に配置された焼成室と、上記筐体内に配置され、上記電源に接続されたカーボンヒータとを含む焼成炉であって、上記カーボンヒータの断面形状が、略n角形であり、上記nは3〜8であることを特徴とする。
図4に示す焼成炉30では、筐体31と、筐体31内に配置された焼成室32と、筐体31内に配置された複数のカーボンヒータ18とを有する。
ここで、カーボンヒータ18は、既に説明した本発明のカーボンヒータである。
焼成室32内の底部には被焼成体を置く支持台36が載置されている。
筐体31と炉壁34との間には、カーボンファイバ等からなる断熱層35が設けられていることが好ましい。焼成室32の熱によって、筐体31の金属製部品が劣化し、損傷するのを防ぐためである。
焼成室32の上方及び下方に配置されるカーボンヒータ18の数は、特に限定されない。
以上説明したように、本発明の焼成炉は、本発明のカーボンヒータを用いているため、焼成温度が安定し、かつカーボンヒータのライフが長いため、製造コスト、運転コストを削減することができる。
連続式焼成炉を採用することによって、珪素含有多孔質セラミック焼成体の大量生産を行う上で、バッチ式焼成炉と比較した場合に、その生産性を大幅に向上させることができる。
以下、連続焼成炉について説明する。
図5に示す連続焼成炉40を構成する横長の本体フレーム42には、その搬入部45及び搬出部47を除く大部分に、管状であって耐熱材料からなる焼成室43が横向きに支持されており、焼成室43の入口部43a付近には入口パージ室44が設けられている。そして、搬入部45は、入口パージ室44よりも前段側、即ち図5における左側に設けられている。焼成室43の後端部43cには、冷却手段である冷却ジャケット49が設けられている。焼成室43の出口部43b付近には出口パージ室46が設けられている。そして、搬出部47は、出口パージ室46よりも後段側、即ち図5における右側に設けられている。
予備加熱部Pは、被焼成体を室温から1500〜2000℃の予備加熱温度まで昇温させる予備加熱工程を行う部位である。
高温焼成部Hは、被焼成体を予備加熱温度から2000〜2300℃の焼成温度まで昇温させ、さらに、被焼成体の温度を焼成温度で維持する高温焼成工程を行う部位である。
冷却部Cは、高温焼成工程を経た被焼成体を室温まで冷却させる冷却工程を行う部位である。
図6に示す高温焼成部Hでは、断熱層55の中央に焼成室53が設けられ、焼成室53内の底部には搬送機構であるローラ58が2列設けられている。
ローラ58の上には、被焼成体を置く支持台56が載置されている。
ローラ58は連続焼成炉の長手方向(図5に示す横方向)に多数設けられており、ローラ58を駆動させることによって被焼成体と支持台56とを焼成室53内でまとめて搬送できるようになっている。
複数のカーボンヒータ19は、焼成室53の上方及び下方に、すなわち、焼成室53内の被焼成体を挟むように配置されていることが好ましい。
焼成室53の上方及び下方に配置されるカーボンヒータ19の数は、特に限定されない。
本発明の珪素含有多孔質セラミック焼成体の製造方法は、
珪素含有セラミック粉末を含む組成物から被焼成体を作製する工程と、
電源と、筐体と、上記筐体内に配置された焼成室と、上記筐体内に配置され、上記電源に接続されたカーボンヒータとを含む焼成炉であって、上記カーボンヒータの断面形状が、略n角形であり、上記nは3〜8である上記焼成炉を用いて非酸化性雰囲気下で上記被焼成体を焼成する工程とを含むことを特徴とする。
本発明の珪素含有多孔質セラミック焼成体の製造方法では、電源と、筐体と、上記筐体内に配置された焼成室と、上記筐体内に配置され、上記電源に接続されたカーボンヒータとを含む焼成炉であって、上記カーボンヒータの断面形状が略n角形であり、上記nは3〜8である上記焼成炉を用いる。上記カーボンヒータの断面形状が略n角形であるため、カーボンヒータからの熱電子の放出が抑制され、カーボンヒータ表面が珪化することを抑制することができる。そのため、カーボンヒータのライフサイクルが長く、また、カーボンヒータの断面積が変化しにくいため、焼成炉内の温度を一定に保ちやすくなる。
従って、珪素含有多孔質セラミック焼成体の品質が変動しづらく、製造コストを抑えることができる。
上記工程では、平均粒子径の異なる2種以上の珪素含有セラミック粉末、有機バインダ、液状の可塑剤、潤滑剤、水等を混合することにより湿潤混合物を調製する。
続いて、上記湿潤混合物を成型することによって、セラミック成形体を作製する。さらに、セラミック成形体を乾燥させた後に所定の温度で脱脂して成形体中の有機物を加熱除去することによって、被焼成体を作製する。
これらの珪素含有セラミック粉末からなる焼成体を焼成すると、SiOガスが発生する。
被焼成体は、既に説明した焼成炉を用いて焼成される。焼成の条件としては、従来からセラミック焼成体を作製する際に用いられている条件を適用することができる。
ここで、珪素含有多孔質セラミックからなる被焼成体を焼成する際、例えば、アルゴン雰囲気下、2190〜2210℃で0.1〜5時間焼成した場合にSiOガスが発生する。
ハニカム焼成体を製造する場合には被焼成体であるハニカム成形体を作製し、そのハニカム成形体を脱脂、焼成することによりハニカム焼成体を作製する。
製造されたハニカム焼成体は、単独でも使用することができるが、接着剤を介して複数個組み合わせ、所定の形状となるように加工することにより、図8に示すフィルタとして機能するハニカム構造体を製造することができる。
ハニカム焼成体及びハニカム構造体について以下に説明する。
従って、セル壁613がPM等を捕集するためのフィルタとして機能する。
(2)本発明のカーボンヒータは、損耗が少ないため、断面積の変化が小さい。そのため、焼成炉内の温度を安定的に保持することができ、被焼成体の品質のばらつきを抑制することができる。
(3)本発明のヒータユニットは、カーボンヒータの損耗を抑制することができるため、ヒータのライフサイクルが長いヒータユニットを提供することができる。
(4)本発明の焼成炉は、珪素含有化合物存在時の高温環境下であっても、カーボンヒータの損耗を抑制することができる。そのため、珪素含有多孔質セラミック焼成体の製造に適している。
(5)本発明の珪素含有多孔質セラミック焼成体の製造方法は、カーボンヒータの損耗を抑制することができるため、ヒータのライフサイクルが長く、炉内温度の変動が起こりにくい。そのため、製造コストを低下させ、かつ、セラミック焼成体の品質のばらつきを抑制することができる。
(カーボンヒータの製造)
(1)コークス粉砕工程
原料となるコークスを粉砕し、D90が0.35mmであるコークス粉体を得た。
コークス粉体にバインダとしてのピッチを添加し混練して、粉体組成物を調製した。
粉体組成物をCIP法により所定の寸法に成形し、成形体(被焼成体)を得た。成形時の圧力は1000kgf/cm2であった。
成形体を不活性雰囲気下にて850℃で8時間加熱し、焼成体を得た。
焼成体を不活性雰囲気下にて2900℃で6時間加熱し、寸法が300×600×1200mmである等方性黒鉛を得た。
上記等方性黒鉛を44.5×42.5×1050mm(断面形状:44.5×42.5mmの長方形で、4つの角部に曲率半径5mmの曲線部があり、断面積:1871mm2)の角柱状に切削加工し、実施例1に係るカーボンヒータを得た。なお、実施例1に係るカーボンヒータの密度は1.75であり、固有抵抗は約1350μΩcmであり、気孔率は15%であった。
上記(6)加工工程においてカーボンヒータの形状を、直径48.3mmの円柱状としたほかは、実施例1と同様の方法で比較例1に係るカーボンヒータを得た。なお、比較例1に係るカーボンヒータの断面積は1830mm2であり、密度、固有抵抗及び気孔率のパラメータは、実施例1に係るカーボンヒータと同一であった。
図5に記載した連続焼成炉内の高温焼成部Hに配置されたカーボンヒータのうち2本を、実施例1に係るカーボンヒータと交換し、アルゴン雰囲気下で約2200℃まで昇温して104日間連続で稼働させた。連続焼成炉の稼働を停止させ、実施例1に係るカーボンヒータを取り出した後、稼働前後の一辺の長さの変化を測定し、カーボンヒータの損耗率を求めた。
また、図5に記載した連続焼成炉内の高温焼成部Hに配置されたカーボンヒータのうち2本を、比較例1に係るカーボンヒータと交換し、アルゴン雰囲気下で約2200℃まで昇温して74日間連続で稼働させた。連続焼成炉の稼働を停止させ、比較例1に係るカーボンヒータを取り出した後、稼働前後の直径の変化を測定し、カーボンヒータの損耗率を求めた。実施例及び比較例の結果を表1に示す。
なお、損耗率(%)とは、損耗率試験前のカーボンヒータの断面積が、損耗率試験後にどれだけ減少したかを示す値で、下記式(V)により表される。
損耗率(%)=((稼働前の断面積)−(稼働後の断面積))/(稼働前の断面積)×100・・・(V)
損耗率の値が大きいほど、カーボンヒータの消耗が激しいといえる。
11 直線部
12、13、14 曲線部
30 焼成炉
31 筐体
32、43、53 焼成室
40、50 連続式焼成炉
Claims (17)
- 珪素含有物を非酸化性雰囲気下で焼成する際に使用するカーボンヒータであって、
前記カーボンヒータの断面形状が、略n角形であり、
前記nは3〜8であることを特徴とするカーボンヒータ。 - 前記nが3〜6である請求項1に記載のカーボンヒータ。
- 前記nが3又は4である請求項1又は2に記載のカーボンヒータ。
- 前記カーボンヒータの断面形状は、正n角形、n角形、又は、これらの1以上の角部に直線部及び/若しくは曲線部が形成されるよう面取りが施された形状である請求項1〜3に記載のカーボンヒータ。
- 前記面取りは、長手方向に垂直な断面形状の角部に曲率半径が1〜10mmの曲線部が形成されるよう、面取りが施されている請求項4に記載のカーボンヒータ。
- 前記面取りは、長手方向に垂直な断面形状の角部に長さ1〜10mmの直線部が形成されるよう、面取りが施されている請求項4に記載のカーボンヒータ。
- 前記カーボンヒータの電気抵抗値は、0.003〜0.03Ωである請求項1〜6のいずれかに記載のカーボンヒータ。
- 前記カーボンヒータの断面積は、300〜3000mm2である請求項1〜7のいずれかに記載のカーボンヒータ。
- 前記カーボンヒータの密度は1.50〜2.00g/cm3である請求項1〜8のいずれかに記載のカーボンヒータ。
- 前記カーボンヒータの気孔率は5〜30%である請求項1〜8のいずれかに記載のカーボンヒータ。
- 電源と、前記電源に接続されたカーボンヒータとからなる、珪素含有物を非酸化性雰囲気下で焼成する際に使用するヒータユニットであって、
前記カーボンヒータの断面形状が、略n角形であり、前記nは3〜8であることを特徴とするヒータユニット。 - 前記カーボンヒータの断面形状は、正n角形、n角形、又は、これらの1以上の角部に直線部及び/若しくは曲線部が形成されるよう面取りが施された形状である請求項11に記載のヒータユニット。
- 電源と、筐体と、前記筐体内に配置された焼成室と、
前記筐体内に配置され、前記電源に接続されたカーボンヒータからなる、珪素含有物を非酸化性雰囲気下で焼成する際に使用する焼成炉であって、
前記カーボンヒータの断面形状が、略n角形であり、前記nは3〜8であることを特徴とする焼成炉。 - 前記カーボンヒータの断面形状は、正n角形、n角形、又は、これらの1以上の角部に直線部及び/若しくは曲線部が形成されるよう面取りが施された形状である請求項13に記載の焼成炉。
- 珪素含有多孔質セラミック焼成体の製造方法であって、
珪素含有セラミック粉末を含む組成物から被焼成体を作製する工程と、
電源と、筐体と、前記筐体内に配置された焼成室と、
前記筐体内に配置され、前記電源に接続されたカーボンヒータとを含む焼成炉であって、前記カーボンヒータの断面形状が、略n角形であり、前記nは3〜8である前記焼成炉を用いて非酸化性雰囲気下で前記被焼成体を焼成する工程とを含むことを特徴とする珪素含有多孔質セラミック焼成体の製造方法。 - 前記焼成炉は、複数の被焼成体を搬送しながら連続的に焼成する連続式焼成炉である請求項15に記載の珪素含有多孔質セラミック焼成体の製造方法。
- 前記カーボンヒータの断面形状は、正n角形、n角形、又は、これらの1以上の角部に直線部及び/若しくは曲線部が形成されるよう面取りが施された形状である請求項15又は16に記載の珪素含有多孔質セラミック焼成体の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014115128A JP6405122B2 (ja) | 2014-06-03 | 2014-06-03 | カーボンヒータ、ヒータユニット、焼成炉及び珪素含有多孔質セラミック焼成体の製造方法 |
US14/724,821 US20150351159A1 (en) | 2014-06-03 | 2015-05-29 | Carbon heater, heater unit, firing furnace, and method for manufacturing silicon-containing porous ceramic fired body |
EP15170021.8A EP2953421B1 (en) | 2014-06-03 | 2015-06-01 | Carbon heater, heater unit, firing furnace, and method for manufacturing silicon-containing porous ceramic fired body |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014115128A JP6405122B2 (ja) | 2014-06-03 | 2014-06-03 | カーボンヒータ、ヒータユニット、焼成炉及び珪素含有多孔質セラミック焼成体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015230766A true JP2015230766A (ja) | 2015-12-21 |
JP6405122B2 JP6405122B2 (ja) | 2018-10-17 |
Family
ID=53274441
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014115128A Active JP6405122B2 (ja) | 2014-06-03 | 2014-06-03 | カーボンヒータ、ヒータユニット、焼成炉及び珪素含有多孔質セラミック焼成体の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20150351159A1 (ja) |
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JP (1) | JP6405122B2 (ja) |
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JP6405122B2 (ja) | 2018-10-17 |
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