JP2015227493A - 複合硬質皮膜部材及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
また、上記本発明の一態様に係る複合硬質皮膜部材において、前記酸化珪素膜の膜厚が0.01〜5μmであることが好ましい。0.01〜5μmの範囲とする理由は、酸化珪素膜の膜厚を0.01μm未満とすると、被成膜部材が腐食されやすくなり、酸化珪素膜の膜厚を5μmより厚くすると、複合硬質皮膜部材が剥離しやすくなるためである。
また、上記本発明の一態様に係る複合硬質皮膜部材において、前記第2の炭素含有珪素膜の膜厚が0.01〜5μmであることが好ましい。0.01〜5μmの範囲とする理由は、炭素含有珪素膜の膜厚は厚すぎても薄すぎても(つまり0.01μm未満としても5μmより厚くしても)、複合硬質皮膜部材の密着強度が低下してしまうためである。
図1は、本発明の実施形態1によるプラズマCVD装置を概略的に示す構成図である。このプラズマCVD装置は100kHzの高周波電源を用いて複合硬質皮膜を成膜するための装置である。
図2(A)〜(C)に示す試験片について、塩水噴霧(2時間)→乾燥(4時間)→湿潤(2時間)のサイクルを繰り返す複合サイクル試験を7日間行った。この複合サイクル試験によってDLC複合膜の耐食性を評価したところ、図4に示すような結果を得た。
図5は、実施形態1と同様の方法で、図1のプラズマCVD装置を用いて名刺ケースの表面に複合硬質皮膜を成膜した状態を示す写真である。この複合硬質皮膜は、名刺ケース上に成膜された炭素含有珪素膜、酸化珪素膜、炭素含有珪素膜、DLC膜である。名刺ケースの材質はマグネシウム合金である
2…ワーク
4…基板バイアス電源系
5…ガス系
6…排気系
7…酸化珪素膜
8…炭素含有珪素膜
9…DLC膜
10…炭素含有珪素膜
Claims (7)
- 鉄系金属材料又は非鉄系金属材料からなる被成膜部材と、
前記被成膜部材の表面に形成された第1の炭素含有珪素膜と、
前記第1の炭素含有珪素膜上に形成された酸化珪素膜と、
前記酸化珪素膜上に形成された第2の炭素含有珪素膜と、
前記第2の炭素含有珪素膜上に形成されたダイヤモンドライクカーボン膜と、
を具備することを特徴とする複合硬質皮膜部材。 - 請求項1において、
前記鉄系金属材料は、鉄又は鉄を主成分とする鉄基合金であり、
前記非鉄系金属材料は、アルミニウム、アルミニウムを主成分とするアルミニウム合金、マグネシウム、マグネシウムを主成分とするマグネシウム合金、チタン、チタンを主成分とするチタン合金、亜鉛、亜鉛主成分とする亜鉛合金、ニッケル及びニッケルを主成分とするニッケル合金からなる群から選択される一の材料であることを特徴とする複合硬質皮膜部材。 - 請求項1又は2において、
前記被成膜部材の表面にはメッキ層が形成されており、
前記第1の炭素含有珪素膜は前記メッキ層上に形成されており、
前記メッキ層は、非鉄系金属材料からなる層であることを特徴とする複合硬質皮膜部材。 - 請求項1乃至3のいずれか一項において、
前記第1の炭素含有珪素膜の膜厚が0.01〜5μmであり、前記酸化珪素膜の膜厚が0.01〜5μmであり、前記第2の炭素含有珪素膜の膜厚が0.01〜5μmであることを特徴とする複合硬質皮膜部材。 - 鉄系金属材料又は非鉄系金属材料からなる被成膜部材の表面にプラズマCVD法により第1の珪素化合物ガスを用いた第1の炭素含有珪素膜を成膜し、
前記第1の炭素含有珪素膜上に第2の珪素化合物ガスと酸素ガスを用いたプラズマCVD法により酸化珪素膜を成膜し、
前記酸化珪素膜上にプラズマCVD法により第3の珪素化合物ガスを用いた第2の炭素含有珪素膜を成膜し、
前記第2の炭素含有珪素膜上にプラズマCVD法によりダイヤモンドライクカーボン膜を成膜することを特徴とする複合硬質皮膜部材の製造方法。 - 請求項5において、
前記被成膜部材の表面にはメッキ層が形成されており、
前記第1の炭素含有珪素膜は前記メッキ層上に成膜されており、
前記メッキ層は、非鉄系金属材料からなる層であることを特徴とする複合硬質皮膜部材の製造方法。 - 請求項5又は6において、
前記第1乃至第3の珪素化合物ガスそれぞれは、ヘキサメチルジシラザン、ヘキサメチルジシロキサン又はテトラメチルシランであることを特徴とする複合硬質皮膜部材の製造方法。
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