JP2015222331A - カラーフィルタならびにこれを使用する発光装置および表示装置 - Google Patents
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Abstract
Description
対し直接作用することがなく、金属ワイヤを移動自在な状態としつつ連結部を介して支持することができる。また、少なくとも一方の支持部がアクチュエータの可動部(進退方向に駆動される部分)に連結されることにより、当該支持部の進退によって金属ワイヤ間の間隙を接近または離間させるように作動し得ることとなる。
の形態について、図面に基づいて説明する。
図1は、カラーフィルタにかかる発明の実施形態の概略を示す図である。この図に示すように、本実施形態のカラーフィルタの概略は、サブ波長格子1と、このサブ波長格子1を支持する支持部2,3と、この支持部2,3のうちの片方を進退可能に作動するアクチュエータ4とで構成されている。
成しているのである。
で支持されるとともに、個々の金属ワイヤ11〜15が連結部16a〜19bにより連続され、一体的に構成されたものである。従って、一方の支持部2が進退方向に移動するとき、金属ワイヤ11〜15の間隙を変化させ、サブ波長格子1の格子周期を変更させることができるのである。この状態を図3に示す。
上述のような構成とするカラーフィルタの製造方法を簡単に説明する。図4および図5に、ガラス基板上にカラーフィルタを作製する工程の概略を示す。
照)。これにより、裏面側には、シリコン酸化膜201が除去された領域について、シリコン基板200が露出することとなる。その後、当該領域におけるシリコン基板200を裏面側から深掘り反応性イオンエッチング(Deep−RIE)により適宜深さまで深掘りする。このとき、エッチングレートを予測して、当該領域の基板200における表面までの肉厚が1/10〜1/30程度で残余するように調整している(図6(c)参照)。
次に、受光装置にかかる実施形態について図8を参照しつつ説明する。なお、図8には受光素子としてフォトダイオード301を例示し、符号302,303は電極を示す。この図に示すように、受光装置としては、基板300に予めフォトダイオード301などの受光素子を形成し、その受光面に、前記カラーフィルタCFを設置するものが想定される。本実施形態では、ガラス基板上にサブ波長格子を形成する作製方法(図4および図5参照)により作成したカラーフィルタCFを貼り合わせによって、受光素子301の受光面に設置したものを示している。また、表面プラズモンの励起のための光源Lが備えられている。光源Lから照射される光によってカラーフィルタCFにおいて表面プラズモンが励起され、サブ波長格子の格子周期を調整することにより、特定波長の透過光がフォトダイオード301の受光面に到達することとなる。
また、表示装置としては、図9に示すように、バックライト400および導光板500とともにカラーフィルタ基板600によって構成されるものである。ここで使用されるカラーフィルタ基板600は、前記サブ波長格子がアレイ化されたものであり、画素ごとに透過光波長を調整することにより、同じ構成で作製されたものでありながら、異なる色彩を表示することができる。なお、カラーフィルタ基板600の表面にはガラス基板700が設けられ、透過光はガラス基板700を介して視認することができるようになっている
。
前記カラーフィルタによる透過波長特性を得るため、アルミニウムによるサブ波長格子を作製し白色光を照射したときの透過波長特性を解析した。使用したサブ波長格子は、幅寸法が250nmで肉厚(高さ寸法)が100nmのアルミニウムワイヤを使用し、間隙を150nm(格子周期400nm)、200nm(格子周期450nm)、250nm(格子周期500nm)、300nm(格子周期550nm)および350nm(格子周期600nmに変化させた場合の各波長の透過率を解析した。なお、解析実験のため、前記ワイヤ間の間隙は、可動式ではなく、前記間隙(格子周期)の各寸法に合致させた固定のサブ波長格子を作製した。また、サブ波長格子が基部から浮上する場合を再現するために、サブ波長格子の下部は空間を形成した。実験に使用したサブ波長格子を図10に示す。図中のアルミニウムワイヤの幅寸法は、250nmの前後20nmを許容範囲とし、格子周期は所望周期の前後10nmとなるものを使用した。上記実験による解析結果を図11に示す。
知のとおり、TE偏光の場合には表面波が存在できないことから、TM偏光の場合にのみ表面プラズモンが励起され得る。従って、上記透過波長のピークの変化は、表面プラズモンの励起に起因するものと判断される。
2,3 支持部
4 アクチュエータ
11,12,13,15 金属ワイヤ(アルミニウムワイヤ)
11a,11b 第一列目の金属ワイヤの両端
12a,12b 第二列目の金属ワイヤの両端
13a,13b 第三列目の金属ワイヤの両端
16a,16b,17a,17b,19a,19b 連結部
20a,20b,30a,30b 連結部
41 アクチュエータの可動部
42 アクチュエータの固定部
43,44 アクチュエータの電極
45a,45b サスペンション
46a,46b サスペンションの先端
100 ガラス基板
101 遮光膜
102 犠牲層
103 レジスト
104 金属材料
200 シリコン基板
201 シリコン酸化膜
202 レジスト
203 レジスト
204 金属材料
300 基板
301 フォトダイオード
302,203 電極
400 バックライト
500 導光板
600 カラーフィルタ基板
700 ガラス基板
A 基部
Aa 基部表面
CF カラーフィルタ
G 金属ワイヤ間の間隙
W 金属ワイヤの幅寸法
Λ 格子周期
Claims (7)
- 微細な金属ワイヤを平行かつ周期的に配置し、各々の金属ワイヤの周期を光波長よりも狭くしてなり、各々の金属ワイヤによる各周期を同時に拡張方向または収縮方向へ適宜変化させることにより、光の透過波長帯域を変化させることを特徴とするカラーフィルタ。
- 複数の微細な金属ワイヤを相互に適宜間隔を有しつつ軸線を平行にして整列させ、各金属ワイヤの隣接する両端を弾性変形可能な連結部によって相互に連結してなるサブ波長格子と、
前記サブ波長格子を基部表面から浮上させた状態で支持する支持部と、
前記金属ワイヤの軸線方向に対して直交方向における前記サブ波長格子の両側のうち、少なくとも片方を該直交方向へ進退させるアクチュエータとを備え、前記サブ波長格子の金属ワイヤによって形成される各周期を同時に拡張方向または収縮方向へ適宜変化させることにより、光の透過波長帯域を変化させることを特徴とするカラーフィルタ。 - 前記金属ワイヤは、アルミニウムによって構成されている請求項1または2に記載のカラーフィルタ。
- 前記金属ワイヤは、金属層と絶縁体層とでMIM構造が形成されている請求項1または2に記載のカラーフィルタ。
- 前記支持部は、前記サブ波長格子の両側に位置する前記金属ワイヤの両端との間で前記連結部によって連結されており、少なくとも一方がアクチュエータによって進退可能となっている請求項1ないし4のいずれかに記載のカラーフィルタ。
- 請求項1ないし5のいずれかに記載のカラーフィルタを使用する受光装置であって、
受光素子が作製された基板の表面に、該基板表面から浮上させた状態で前記サブ波長格子が形成されていることを特徴とする受光装置。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載のカラーフィルタを使用する表示装置であって、
前記カラーフィルタを形成する前記サブ波長格子をアレイ化してなるカラーフィルタ基板と、該カラーフィルタ基板に対して白色光を照射する光源とを備えることを特徴とする表示装置。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016133658A (ja) * | 2015-01-20 | 2016-07-25 | 富士電機株式会社 | 光学フィルタ |
CN106784056A (zh) * | 2016-12-22 | 2017-05-31 | 东南大学 | 一种响应光谱可调节的光电探测器 |
JP2018013365A (ja) * | 2016-07-20 | 2018-01-25 | 富士電機株式会社 | 光学フィルタ |
JP2021005042A (ja) * | 2019-06-27 | 2021-01-14 | 国立大学法人東京農工大学 | 光位相変調器 |
TWI755099B (zh) * | 2019-12-19 | 2022-02-11 | 凌巨科技股份有限公司 | 電控式彩色濾光片及顯示裝置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109599647A (zh) * | 2017-09-30 | 2019-04-09 | 中国计量大学 | 基于马赫曾德尔干涉仪人工表面等离子体滤波器 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005202013A (ja) * | 2004-01-14 | 2005-07-28 | Mitsubishi Electric Corp | 周期可変回折格子 |
JP2006308981A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Canon Inc | 光変調器、該光変調器を備えた空間光変調器 |
JP2009168469A (ja) * | 2008-01-10 | 2009-07-30 | Univ Of Tokyo | Sprセンサチップ及びこれを用いたsprセンサ |
JP2011099936A (ja) * | 2009-11-04 | 2011-05-19 | Toyohashi Univ Of Technology | サブ波長格子及び表示装置 |
JP2013525863A (ja) * | 2010-04-27 | 2013-06-20 | ザ リージェンツ オブ ユニバーシティー オブ ミシガン | プラズモン・カラー・フィルタ及び光起電力能力を有するディスプレイ・デバイス |
JP2013178498A (ja) * | 2012-02-08 | 2013-09-09 | Kagawa Univ | プラズモンチップ |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005202013A (ja) * | 2004-01-14 | 2005-07-28 | Mitsubishi Electric Corp | 周期可変回折格子 |
JP2006308981A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Canon Inc | 光変調器、該光変調器を備えた空間光変調器 |
JP2009168469A (ja) * | 2008-01-10 | 2009-07-30 | Univ Of Tokyo | Sprセンサチップ及びこれを用いたsprセンサ |
JP2011099936A (ja) * | 2009-11-04 | 2011-05-19 | Toyohashi Univ Of Technology | サブ波長格子及び表示装置 |
JP2013525863A (ja) * | 2010-04-27 | 2013-06-20 | ザ リージェンツ オブ ユニバーシティー オブ ミシガン | プラズモン・カラー・フィルタ及び光起電力能力を有するディスプレイ・デバイス |
JP2013178498A (ja) * | 2012-02-08 | 2013-09-09 | Kagawa Univ | プラズモンチップ |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016133658A (ja) * | 2015-01-20 | 2016-07-25 | 富士電機株式会社 | 光学フィルタ |
JP2018013365A (ja) * | 2016-07-20 | 2018-01-25 | 富士電機株式会社 | 光学フィルタ |
CN106784056A (zh) * | 2016-12-22 | 2017-05-31 | 东南大学 | 一种响应光谱可调节的光电探测器 |
JP2021005042A (ja) * | 2019-06-27 | 2021-01-14 | 国立大学法人東京農工大学 | 光位相変調器 |
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