JP2015219421A - 波長変換素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ベース基板1と、ベース基板1上に設けられ、分極反転構造を有する2次非線形光学結晶からなるリッジ型の光導波路2と、光導波路2上に形成され、導波方向にn個(n≧2)の領域に分割されたオーバークラッド層3とを備え、オーバークラッド層3の任意の領域を紫外線照射して、位相整合条件を満たすようにオーバークラッド層3の屈折率を調整する。オーバークラッド層3、はGeO2を添加した石英ガラスから構成され、0.5μm以上の厚さである。オーバークラッド層はGeO2を添加した石英ガラスに代えてSiONガラスを用いてもよい。
【選択図】図3
Description
2 光導波路
3、3a、3b オーバークラッド層
10 分割マスク
11 穴
12 遮蔽マスク
Claims (6)
- ベース基板と、該ベース基板上に設けられ、分極反転構造を有する2次非線形光学結晶からなるリッジ型の光導波路と、該光導波路上に形成され、導波方向にn個(n≧2)の領域に分割されたオーバークラッド層とを備え、該オーバークラッド層の任意の領域を紫外線照射して、位相整合条件を満たすように当該オーバークラッド層の屈折率を調整することを特徴とする波長変換素子。
- 前記オーバークラッド層はGeO2を添加した石英ガラスから構成され、該オーバークラッド層のGeO2添加量は9mol%以上であることを特徴とする請求項1に記載の波長変換素子。
- 前記光導波路は、LiNbO3 、KNbO3 、LiTaO3 、LiNb(x) Ta(1−x) O3 (0≦x≦1)もしくはKTiOPO4 、または、これらにMg、Zn、Sc、もしくはInから選ばれた少なくとも一種を添加物として含有した材料から構成され、
前記オーバークラッド層はGeO2を添加した石英ガラスから構成され、0.5μm以上の厚さであることを特徴とする請求項1または2に記載の波長変換素子。 - 前記光導波路は、LiNbO3 、KNbO3 、LiTaO3 、LiNb(x) Ta(1−x) O3 (0≦x≦1)もしくはKTiOPO4 、または、これらにMg、Zn、Sc、もしくはInから選ばれた少なくとも一種を添加物として含有した材料から構成され、
前記オーバークラッド層はSiONガラスから構成され、0.5μm以上の厚さであることを特徴とする請求項1に記載の波長変換素子。 - 前記ベース基板は、LiNbO3、KNbO3、LiTaO3、LiNb(x)Ta(1−x)O3(0≦x≦1)もしくはKTiOPO4、または、これらにMg、Zn、Sc、もしくはInから選ばれた少なくとも一種を添加物として含有する材料、石英、または酸化珪素を主成分とする高融点材料から構成されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の波長変換素子。
- 前記オーバークラッド層の領域数nは4以上であることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の波長変換素子。
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