JP2015215276A

JP2015215276A - 検査装置、及び検査方法

Info

Publication number: JP2015215276A
Application number: JP2014099226A
Authority: JP
Inventors: 直得永; Nao Tokunaga
Original assignee: Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Current assignee: Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Priority date: 2014-05-13
Filing date: 2014-05-13
Publication date: 2015-12-03

Abstract

【課題】第１基板の端材部が除去されているか否かを検査することができる検査装置を提供する。【解決手段】検査装置１００は、撮影部１と、制御部２とを備える。撮影部１は、貼り合わせ基板２００の主面に沿った方向において、貼り合わせ基板２００の第１側面２０６を撮影するように構成されている。また、撮影部１は、第２基板２０２にピントを合わせた状態で、第１側面２０６を撮影するように構成されている。制御部２は、撮影部１によって得られた撮影結果に基づき、第１基板２０１にピントが合っているか否かを判断するように構成されている。【選択図】図２

Description

本発明は、検査装置、及び検査方法に関するものである。

一般的に、液晶表示パネルは、２枚の基板を貼り合わせた、いわゆる貼り合わせ基板によって構成される。貼り合わせ基板は、具体的には、互いに貼り合わされた第１基板と第２基板とを有する。第１基板に、カラーフィルタが形成されている。また、第２基板に、液晶を駆動するための薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）及び外部接続のための端子が形成されている。

端子は、外部機器と接続される部分であるため、露出されている必要がある。このため、第１基板において、端子と対向する部分、すなわち、第１基板の端部から端材部を除去する必要がある。第１基板の端材部を除去することによって、第２基板に形成された端子が露出される。

特開２００３−２４１１７３号公報

第１基板の端材部が除去されていないと、後工程において端材部による不具合が発生することがある。このため、第１基板の端材部が確実に除去されていることを検査する必要がある。

本発明の課題は、第１基板の端材部が除去されているか否かを検査することができる検査装置を提供することにある。

本発明の第１側面に係る検査装置は、貼り合わせ基板から端材部が取り除かれたか否かを検査する装置である。貼り合わせ基板は第１基板と第２基板とを有する。端材部は、第１基板の端部から取り除かれる。端材部は、貼り合わせ基板の第１側面の一部を構成する。検査装置は、撮影部と、制御部とを備える。撮影部は、貼り合わせ基板の主面に沿った方向において、貼り合わせ基板の第１側面を撮影するように構成されている。また、撮影部は、第２基板にピントを合わせた状態で、貼り合わせ基板の第１側面を撮影するように構成されている。制御部は、撮影部によって得られた撮影結果に基づき、第１基板にピントが合っているか否かを判断するように構成されている。

本発明の第１側面に係る検査装置によれば、撮影部のピントが第１基板に合っていなければ、制御部は、端材部が取り除かれていると判断することができる。一方、撮影部のピントが第１基板に合っていれば、制御部は、端材部が取り除かれていないと判断することができる。このように、検査装置は、第１基板の端材部が除去されているか否かを検査することができる。

好ましくは、検査装置は、支持部をさらに備える。支持部は、貼り合わせ基板の第１側面が延びる方向に撮影部を移動可能に支持する。この構成によれば、撮影部が適切な箇所を撮影するように、撮影部を手動又は自動で移動させることができる。この構成は、端材部の一部だけが第１基板に残った状態になりやすい場合に有効である。例えば、端材部の中央部が第１基板に残りやすい貼り合わせ基板を検査する場合、撮影部が端材部の中央部を撮影するように撮影部を移動させることができる。また、端材部の端部が第１基板に残りやすい場合、撮影部が端材部の端部を撮影するように撮影部を移動させることができる。

好ましくは、検査装置は、駆動部をさらに備える。駆動部は、貼り合わせ基板の第１側面が延びる方向に、撮影部を移動させるように構成されている。制御部は、貼り合わせ基板の種類に基いて駆動部を制御し、撮影部を移動させる。この構成によれば、貼り合わせ基板の種類が、端材部の中央部が第１基板に残りやすい種類の場合、制御部は、撮影部が端材部の中央部を撮影するように、撮影部を移動させることができる。また、貼り合わせ基板の種類が、端材部の端部が第１基板に残りやすい種類の場合、制御部は、撮影部が端材部の端部を撮影するように、撮影部を移動させることができる。

好ましくは、検査装置は、位置決め部をさらに備える。位置決め部は、主面に沿った方向における貼り合わせ基板の移動を規制するように構成されている。

好ましくは、撮影部は、位置決め部に取り付けられる。この構成によれば、第２基板に撮影部のピントを合わせる作業性が向上する。

好ましくは、位置決め部は、貼り合わせ基板の端縁と当接する。

好ましくは、制御部は、撮影結果に基づきエッジ処理を行う。この構成によれば、エッジ処理の処理結果に基づき、制御部は、第１基板に撮影部のピントが合っているか否か判断することができる。

好ましくは、制御部は、エッジ処理によって取得したエッジ強度に基づき、第１基板に対してピントが合っているか否かを判断する。

本発明の第２側面に係る検査方法は、貼り合わせ基板から端材部が取り除かれたか否かを検査する方法である。貼り合わせ基板は第１基板と第２基板とを有する。端材部は、第１基板の端部から取り除かれる。端材部は、貼り合わせ基板の第１側面の一部を構成する。検査方法は、ステップ（ａ）とステップ（ｂ）とを含む。ステップ（ａ）は、貼り合わせ基板の主面に沿った方向において、第２基板にピントを合わせた状態で、前記貼り合わせ基板の前記第１側面を撮影する。ステップ（ｂ）は、ステップ（ａ）において得られた撮影結果に基づき、第１基板にピントが合っているか否かを判断する。

本発明に係る検査装置及び検査方法によれば、第１基板の端材部が除去されているか否かを検査することができる。

貼り合わせ基板の斜視図。検査装置の概略平面図。検査装置の概略側面図。制御部の動作を示すフローチャート。変形例に係る検査装置の概略平面図。変形例に係る検査装置の概略平面図。

以下、本発明に係る検査装置及び検査方法の実施形態について図面を参照しつつ説明する。まず、検査装置によって検査される貼り合わせ基板２００について説明する。

図１は、貼り合わせ基板２００を示す斜視図である。図１に示すように、貼り合わせ基板２００は、第１基板２０１と第２基板２０２とを有する。第１基板２０１と第２基板２０２とは、互いに貼り合わされている。

第１基板２０１と第２基板２０２とは、シール材（図示省略）によって貼り合わされている。例えば、第１基板２０１と第２基板２０２との間で液晶層が形成される。また、液晶層はシール部材によって囲まれている。例えば、この貼り合わせ基板２００は、マザー基板を分断することによって得られた複数の単位基板のうちの一つである。

例えば、第１基板２０１は複数のカラーフィルタが形成された基板である。第２基板２０２は複数のＴＦＴ及び端子Ｔが形成された基板である。端子Ｔを介して、ＴＦＴと外部機器とが電気的に接続される。このため、端子Ｔを外部に露出させる必要がある。

端子Ｔを外部に露出できるよう、第１基板２０１には端材部２０３が形成されている。この端材部２０３は、第２基板２０２に形成された端子Ｔと対向している。この端材部２０３を取り除くことによって、端子Ｔが露出される。端材部２０３は、第１基板２０１の端部に配置されている。端材部２０３は、貼り合わせ基板２００の第１側面２０６の一部を構成している。

図２は検査装置１００を示す概略平面図、図３は検査装置１００を示す概略側面図である。なお、図３では、位置決め部は記載が省略されている。検査装置１００は、貼り合わせ基板２００の第１基板２０１から端材部２０３が取り除かれたか否かを検査するように構成されている。

図２及び図３に示すように、検査装置１００は、撮影部１と、制御部２と、を備えている。また、検査装置１００は、位置決め部３、及びテーブル４をさらに備えている。

テーブル４に、検査対象の貼り合わせ基板２００が載置される。なお、貼り合わせ基板２００は、第１側面２０６が撮影部１と対向するような状態で、テーブル４上に配置される。このテーブル４に配置された貼り合わせ基板２００に対して、検査装置１００は、第１基板２０１の端材部２０３が取り除かれているか否かを検査する。

位置決め部３は、貼り合わせ基板２００の主面に沿った方向における貼り合わせ基板の移動を規制するように構成されている。位置決め部３は、特に、撮影方向における貼り合わせ基板２００の移動を規制するように構成されている。なお、貼り合わせ基板２００の主面とは、貼り合わせ基板２００の表面又は裏面を示す。

位置決め部３は、貼り合わせ基板２００の端縁と当接する。位置決め部３は、水平方向に移動可能であり、貼り合わせ基板２００の寸法に合わせて配置可能である。詳細には、位置決め部３は、上方に延びる複数の位置決めピン３１によって構成されている。なお、この複数の位置決めピン３１のいずれかに撮影部１が取り付けられていてもよい。

撮影部１は、貼り合わせ基板２００の主面に沿った方向において、貼り合わせ基板２００の第１側面２０６を撮影する。撮影部１は、貼り合わせ基板２００の第１側面２０６と対向するように配置されている。詳細には、撮影部１の撮影方向と、第１側面２０６が向く方向とは、実質的に同一である。また、撮影部１の撮影方向と、貼り合わせ基板２００の第１側面２０６が延びる方向とは、平面視において実質的に垂直である。

撮影部１は、第２基板２０２にピントを合わせた状態でセットされている。詳細には、撮影部１は、第２基板２０２の第２側面２０４にピントを合わせた状態でセットされている。なお、第２基板２０２の第２側面２０４は、貼り合わせ基板２００の第１側面２０６の一部を構成している。

撮影部１は、貼り合わせ基板２００を撮影して画像データを生成する。この画像データは、制御部２に出力される。撮影部１と制御部２とは、無線接続であってもよいし有線接続であってもよい。なお、撮影部１は、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラ、又はＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）カメラなどである。

制御部２は、撮影部１によって得られた撮影結果に基づき、第１基板２０１にピントが合っているか否かを判断する。詳細には、制御部２は、第１基板２０１の第３側面２０５にピントが合っているか否かを判断する。なお、第１基板２０１の第３側面２０５は、第２基板２０２の第２側面２０４と平行に延びている。また、第３側面２０５は、撮影部１と対向している。すなわち、第３側面２０５が向く方向と、撮影部１の撮影方向とは、実質的に同一である。

図４は、制御部２の動作を示すフローチャートである。図４に示すように、制御部２は、撮影部１から画像データを取得する（ステップＳ１）。

次に、制御部２は、ステップＳ１において取得した画像データに対してエッジ処理を行う（ステップＳ２）。詳細には、制御部２は、画像データにおいて第１基板２０１を示す画像のエッジ強度を検出する。

制御部２は、ステップＳ２によって得られた第１基板２０１を示す画像のエッジ強度に基づき、第１基板２０１に対して撮影部１のピントが合っているか否かを判断する。詳細には、制御部２は、第１基板２０１を示す画像のエッジ強度が予め設定された所定値より大きいか否か判断する（ステップＳ３）。

制御部２は、第１基板２０１を示す画像のエッジ強度が予め設定された所定値よりも大きいと判断すると（ステップＳ３のＹｅｓ）、第１基板２０１に対して撮影部１のピントが合っていると判断する。すなわち、制御部２は、端材部２０３が第１基板２０１から取り除かれていないと判断する。そして、制御部２は、端材部２０３が取り除かれていない旨を報知する（ステップＳ４）。例えば、制御部２は、警告音を発して、端材部２０３が取り除かれていない旨をオペレータに報知する。

制御部２は、第１基板２０１を示す画像のエッジ強度が予め設定された所定値以下であると判断すると（ステップＳ３のＮｏ）、第１基板２０１に対して撮影部１のピントが合っていないと判断する。すなわち、制御部２は、端材部２０３が第１基板２０１から取り除かれていると判断する。このように、端材部２０３が取り除かれていると判断された貼り合わせ基板２００は、次の工程に送られる。

上述した検査装置１００によれば、撮影部１のピントが第１基板２０１に合っていなければ、制御部２は、端材部２０３が取り除かれていると判断することができる。一方、撮影部１のピントが第１基板２０１に合っていれば、制御部２は、端材部２０３が取り除かれていないと判断することができる。このように、検査装置１００は、第１基板２０１の端材部２０３が除去されているか否かを検査することができる。

［変形例］
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。

変形例１
撮影部１は、位置決め部３に固定されていなくてもよい。例えば、図５に示すように、検査装置１００は、支持部５をさらに備えている。支持部５は、撮影部１を移動可能に支持する。撮影部１は、貼り合わせ基板２００の第１側面２０６が延びる方向（図５の上下方向）に移動可能である。例えば、支持部５は、端材部２０３が延びる方向と実質的に平行に延びている。

検査装置１００は、撮影部１を移動させるための駆動部６をさらに備えていてもよい。駆動部６は、貼り合わせ基板２００の第１側面２０６が延びる方向に、撮影部１を移動させるように構成されている。例えば駆動部６はモータである。

制御部２は、駆動部６を制御することによって、撮影部１を移動させる。詳細には、制御部２は、貼り合わせ基板２００の種類に基づき、駆動部６を制御して、撮影部１を移動させる。

例えば、貼り合わせ基板２００の種類が、端材部２０３の中央部が第１基板２０１に残りやすい種類の場合、制御部２は、第１側面２０６の中央部を撮影部１が撮影するように、駆動部６を制御して撮影部１を移動させる。また、貼り合わせ基板２００の種類が、端材部２０３の端部が第１基板２０１に残りやすい種類の場合、制御部２は、第１側面２０６の端部を撮影部１が撮影するように、駆動部６を制御して撮影部１を移動させる。なお、このような貼り合わせ基板２００の種類に関する情報は、例えばオペレータによって検査装置１００に入力される。

変形例２
撮影部１の数は、特に限定されない。例えば、検査装置１００は、複数の撮影部１を有していてもよい。例えば、貼り合わせ基板２００が端材部２０３とは別の端材部を有する場合、図６に示すように、検査装置１００は、別の撮影部７を有していてもよい。別の撮影部７は、貼り合わせ基板２００の第４側面２０７を撮影する。この撮影部７によって生成された画像データが制御部２に出力される。制御部２は、上述と同様の方法によって、別の端材部が取り除かれているか否か判断する。なお、別の端材部は、第４側面２０７の一部を構成する。

１撮影部
２制御部
３位置決め部
５支持部
６駆動部
１００検査装置
２００貼り合わせ基板
２０１第１基板
２０２第２基板
２０３端材部
２０６第１側面

Claims

第１及び第２基板を有する貼り合わせ基板の前記第１基板の端部から、前記貼り合わせ基板の第１側面の一部を構成する端材部が取り除かれたか否かを検査する検査装置であって、
前記貼り合わせ基板の主面に沿った方向において、前記第２基板にピントを合わせた状態で、前記貼り合わせ基板の前記第１側面を撮影するように構成された撮影部と、
前記撮影部によって得られた撮影結果に基づき、前記第１基板にピントが合っているか否かを判断するように構成された制御部と、
を備える、検査装置。
前記貼り合わせ基板の前記第１側面が延びる方向に前記撮影部を移動可能に支持する支持部をさらに備える、
請求項１に記載の検査装置。
前記貼り合わせ基板の前記第１側面が延びる方向に前記撮影部を移動させるように構成された駆動部をさらに備え、
前記制御部は、前記貼り合わせ基板の種類に基いて前記駆動部を制御し、前記撮影部を移動させる、
請求項１又は２に記載の検査装置。
前記主面に沿った方向における前記貼り合わせ基板の移動を規制するように構成された位置決め部をさらに備える、
請求項１から３のいずれかに記載の検査装置。
前記撮影部は、前記位置決め部に取り付けられる、
請求項１に従属する請求項４に記載の検査装置。
前記位置決め部は、前記貼り合わせ基板の端縁と当接する、
請求項４又は５に記載の検査装置。
前記制御部は、前記撮影結果に基づきエッジ処理を行う、
請求項１から６のいずれかに記載の検査装置。
前記制御部は、前記エッジ処理によって取得したエッジ強度に基づき、前記第１基板に対してピントが合っているか否かを判断する、
請求項１から７のいずれかに記載の検査装置。
第１及び第２基板を有する貼り合わせ基板の前記第１基板の端部から、前記貼り合わせ基板の第１側面の一部を構成する端材部が取り除かれたか否かを検査する検査方法であって、
（ａ）前記貼り合わせ基板の主面に沿った方向において、前記第２基板にピントを合わせた状態で、前記貼り合わせ基板の前記第１側面を撮影するステップと、
（ｂ）前記ステップ（ａ）において得られた撮影結果に基づき、前記第１基板にピントが合っているか否かを判断するステップと、
を含む、検査方法。