JP2015207745A - Print wiring plate - Google Patents
Print wiring plate Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015207745A JP2015207745A JP2014089333A JP2014089333A JP2015207745A JP 2015207745 A JP2015207745 A JP 2015207745A JP 2014089333 A JP2014089333 A JP 2014089333A JP 2014089333 A JP2014089333 A JP 2014089333A JP 2015207745 A JP2015207745 A JP 2015207745A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- interlayer resin
- resin insulation
- insulation layer
- layer
- wiring board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 366
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 238
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 238
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims abstract description 189
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 179
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 65
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 65
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 151
- 239000012784 inorganic fiber Substances 0.000 claims description 53
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims description 51
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims description 4
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 2
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 claims description 2
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000001629 suppression Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 53
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 34
- 238000000034 method Methods 0.000 description 34
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 23
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 18
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 17
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 10
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 10
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 5
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 4
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000011162 core material Substances 0.000 description 3
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 239000012779 reinforcing material Substances 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 2
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 2
- HBGPNLPABVUVKZ-POTXQNELSA-N (1r,3as,4s,5ar,5br,7r,7ar,11ar,11br,13as,13br)-4,7-dihydroxy-3a,5a,5b,8,8,11a-hexamethyl-1-prop-1-en-2-yl-2,3,4,5,6,7,7a,10,11,11b,12,13,13a,13b-tetradecahydro-1h-cyclopenta[a]chrysen-9-one Chemical compound C([C@@]12C)CC(=O)C(C)(C)[C@@H]1[C@H](O)C[C@]([C@]1(C)C[C@@H]3O)(C)[C@@H]2CC[C@H]1[C@@H]1[C@]3(C)CC[C@H]1C(=C)C HBGPNLPABVUVKZ-POTXQNELSA-N 0.000 description 1
- JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-triazine Chemical compound C1=CN=NN=C1 JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XQUPVDVFXZDTLT-UHFFFAOYSA-N 1-[4-[[4-(2,5-dioxopyrrol-1-yl)phenyl]methyl]phenyl]pyrrole-2,5-dione Chemical compound O=C1C=CC(=O)N1C(C=C1)=CC=C1CC1=CC=C(N2C(C=CC2=O)=O)C=C1 XQUPVDVFXZDTLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PFRGGOIBYLYVKM-UHFFFAOYSA-N 15alpha-hydroxylup-20(29)-en-3-one Natural products CC(=C)C1CCC2(C)CC(O)C3(C)C(CCC4C5(C)CCC(=O)C(C)(C)C5CCC34C)C12 PFRGGOIBYLYVKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OMIHGPLIXGGMJB-UHFFFAOYSA-N 7-oxabicyclo[4.1.0]hepta-1,3,5-triene Chemical compound C1=CC=C2OC2=C1 OMIHGPLIXGGMJB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- SOKRNBGSNZXYIO-UHFFFAOYSA-N Resinone Natural products CC(=C)C1CCC2(C)C(O)CC3(C)C(CCC4C5(C)CCC(=O)C(C)(C)C5CCC34C)C12 SOKRNBGSNZXYIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 150000003949 imides Chemical class 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229920003192 poly(bis maleimide) Polymers 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Abstract
Description
本発明は、プリント配線板に関し、特に、導体配線層の一部が層間樹脂絶縁層内に埋め込まれるプリント配線板に関する。 The present invention relates to a printed wiring board, and more particularly to a printed wiring board in which a part of a conductor wiring layer is embedded in an interlayer resin insulating layer.
近年、薄型の電子機器の需要が高まっており、それに伴い、電子機器に用いられる配線板にも、より薄いものが求められている。薄型化の要求に応えるものとして、従来から、支持体(キャリア)の一方の側だけに絶縁層と導体層とが順に積層された配線板が提案されている。このような構造によれば、積層方向の中央などに適度な剛性を備える絶縁材(コア基板)が設けられる必要が無く、また、支持体は用済み後製造工程中で除去され得るので、薄い配線板が形成される。たとえば、特許文献1には、樹脂フィルムの片面に金属層が貼り付けられ、この金属層が所定のパターンにパターニングされた後、この金属層上に絶縁性シートが圧着されることにより金属層が絶縁性シート内に埋め込まれ、その後、樹脂フィルムが絶縁性シートから引き剥がされる配線板の製造方法が開示されている。 In recent years, the demand for thin electronic devices has increased, and accordingly, wiring boards used in electronic devices are also required to be thinner. Conventionally, a wiring board in which an insulating layer and a conductor layer are sequentially laminated only on one side of a support (carrier) has been proposed as a response to the demand for thinning. According to such a structure, it is not necessary to provide an insulating material (core substrate) having appropriate rigidity at the center in the stacking direction, and the support can be removed in the manufacturing process after use, so that it is thin. A wiring board is formed. For example, in Patent Document 1, a metal layer is attached to one side of a resin film, and after the metal layer is patterned into a predetermined pattern, an insulating sheet is pressure-bonded onto the metal layer, whereby the metal layer is formed. A method of manufacturing a wiring board is disclosed in which the resin film is embedded in an insulating sheet and then the resin film is peeled off from the insulating sheet.
また、特許文献2には、銅箔上に設けられた剥離層上に導体パターンが形成され、この導体パターンが絶縁材の表面付近に埋め込まれ、絶縁材の反対側の面にも導体パターンが形成された後に、または、絶縁材と金属層の積層およびパターニングがさらに所定回数繰り返された後に、銅箔が除去されて完成する配線板が開示されている。 In Patent Document 2, a conductor pattern is formed on a release layer provided on a copper foil, the conductor pattern is embedded in the vicinity of the surface of the insulating material, and a conductor pattern is also formed on the surface opposite to the insulating material. A wiring board is disclosed in which a copper foil is removed and completed after being formed or after the lamination and patterning of an insulating material and a metal layer are further repeated a predetermined number of times.
特許文献1や特許文献2に開示される配線板は、コア基板の両側に導体層および絶縁層が積層されて形成される配線板と異なり、絶縁層の一方の側に導体層が埋め込まれ、絶縁層の他方の側だけに他の導体層および絶縁層が積層されて形成される(以下、このように形成される配線板は、単にコアレス基板とも称される)。このため、配線板の両側が非対称な構造になり易く、プリント配線板に反りが生じ易い。プリント配線板に反りが生じると、プリント配線板と電子部品との間に接続不良が生じたり、接続信頼性が低下したりすることがある。特許文献2に開示される配線基板では、補強材を絶縁材に貼り付けることにより反りの抑制が図られているが、このような補強材を使用すると、プリント配線板の材料費および加工費が高くなる。 Unlike the wiring board formed by laminating a conductor layer and an insulating layer on both sides of the core substrate, the wiring board disclosed in Patent Document 1 and Patent Document 2 has a conductor layer embedded in one side of the insulating layer, Other conductor layers and insulating layers are laminated only on the other side of the insulating layer (hereinafter, the wiring board formed in this way is also simply referred to as a coreless substrate). For this reason, both sides of the wiring board are likely to have an asymmetric structure, and the printed wiring board is likely to be warped. If the printed wiring board is warped, connection failure may occur between the printed wiring board and the electronic component, or connection reliability may be reduced. In the wiring board disclosed in Patent Document 2, warping is suppressed by attaching a reinforcing material to an insulating material. However, when such a reinforcing material is used, the material cost and processing cost of the printed wiring board are reduced. Get higher.
本発明の目的は、一方の側に導体パターンが埋め込まれる構造であっても、温度変化による反りが抑制されるプリント配線板を提供することである。そして、そのような反りが抑制されることにより、補強材や工程の追加を必要とすることなく、電子部品との接続不良が抑制されると共に、電子部品との高い接続信頼性が得られるプリント配線板を提供することである。 An object of the present invention is to provide a printed wiring board in which warpage due to a temperature change is suppressed even when a conductor pattern is embedded on one side. And by suppressing such warpage, it is possible to suppress poor connection with electronic components without requiring additional reinforcing materials and processes, and to obtain high connection reliability with electronic components. It is to provide a wiring board.
本発明のプリント配線板は、第1面と該第1面と反対側の第2面とを有する第1層間樹脂絶縁層と、前記第1面側の第1層間樹脂絶縁層内に埋め込まれ、最上面が露出される第1導体層と、前記第2面側の第1層間樹脂絶縁層上に形成される第2導体層と、前記第1層間樹脂絶縁層を貫通して設けられ、前記第1導体層と前記第2導体層とを電気的に接続する第1ビア導体と、前記第2面側の第1層間樹脂絶縁層および前記第2導体層上に積層される第2層間樹脂絶縁層と、前記第2層間樹脂絶縁層上に形成される第3導体層と、前記第2層間樹脂絶縁層を貫通して設けられ、前記第2導体層と前記第3導体層とを電気的に接続する金属を充填してなる第2ビア導体と、を備えた、層間樹脂絶縁層と導体層とが交互に積層されている。そして、前記第1層間樹脂絶縁層の熱膨張率は、前記第2層間樹脂絶縁層の熱膨張率より大きい。 The printed wiring board of the present invention is embedded in a first interlayer resin insulation layer having a first surface and a second surface opposite to the first surface, and the first interlayer resin insulation layer on the first surface side. The first conductor layer exposed at the top surface, the second conductor layer formed on the first interlayer resin insulation layer on the second surface side, and the first interlayer resin insulation layer, A first via conductor that electrically connects the first conductor layer and the second conductor layer; a first interlayer resin insulating layer on the second surface side; and a second interlayer laminated on the second conductor layer A resin insulation layer; a third conductor layer formed on the second interlayer resin insulation layer; and the second interlayer resin insulation layer, the second conductor layer and the third conductor layer provided through the second interlayer resin insulation layer. Interlayer resin insulation layers and conductor layers, which are provided with second via conductors filled with electrically connecting metals, are alternately laminated. The thermal expansion coefficient of the first interlayer resin insulation layer is greater than the thermal expansion coefficient of the second interlayer resin insulation layer.
本発明のプリント配線板によれば、加熱時や冷却時の第1導体層側の伸縮と第2導体層側の伸縮との間のプリント配線板の反りに対する作用の不均衡が緩和され、温度変化によるプリント配線板の反りが抑制される。その結果、電子部品との接続不良が抑制されると共に、接続信頼性が高まる。 According to the printed wiring board of the present invention, the imbalance of the action on the warp of the printed wiring board between the expansion and contraction on the first conductor layer side and the expansion and contraction on the second conductor layer side during heating and cooling is alleviated, and the temperature Warpage of the printed wiring board due to changes is suppressed. As a result, connection failures with electronic components are suppressed and connection reliability is increased.
つぎに、本発明の一実施形態のプリント配線板が、図面を参照しながら説明される。本発明の一実施形態のプリント配線板10(以下、プリント配線板は単に配線板とも称される)は、図1に示されるように、第1面F1と第1面F1と反対側の第2面F2とを有する第1層間樹脂絶縁層20と、第1面F1側の第1層間樹脂絶縁層20内に埋め込まれ、最上面が露出される第1導体層30と、第1層間樹脂絶縁層20の第2面F2上に形成されている第2導体層50と、第1層間樹脂絶縁層20の第2面F2上および第2導体層50上に積層される第2層間樹脂絶縁層40と、第2層間樹脂絶縁層40上に形成されている第3導体層60とを備えている。また、本実施形態の配線板10は、第1層間樹脂絶縁層20を貫通して設けられ、第1導体層30と第2導体層50とを電気的に接続する第1ビア導体25aと、第2層間樹脂絶縁層40を貫通して設けられ、第2導体層50と第3導体層60とを電気的に接続する第2ビア導体45aとを備えている。
Next, a printed wiring board according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, a printed
本実施形態の配線板10では、第1層間樹脂絶縁層20の熱膨張率が第2層間樹脂絶縁層40の熱膨張率より大きくなるように構成される点に特徴がある。その作用が以下に説明される。図6Aには、従来技術のコアレス基板の構造に形成されたプリント配線板90が示されている。一方の側に導体層92aが埋め込まれている絶縁層91aの他方の側に、導体層92b、絶縁層91bおよび導体層92cが順次積層されて形成され、導体層92a、92cの表面上にソルダーレジスト94a、94bがそれぞれ形成されている。絶縁層91aおよび絶縁層91bは、それぞれ、ガラス繊維のような無機繊維911および無機繊維911に含浸される絶縁性樹脂912からなる同じ材料で、略同じ厚さに形成されている。なお、ビア導体93aは導体層92aと導体層92bとを接続し、ビア導体93bは導体層92bと導体層92cとを接続している。
The
図6Aに示されるプリント配線板90は、導体層92a、92cが絶縁層91a、91b内に埋め込まれているか否かの違いなどにより、プリント配線板の両側が非対称な構造になり易く、製造中の熱によるひずみも蓄積され易い。たとえば、後の記載に詳述するように、導体層92aが絶縁層91a内に埋め込まれているのに対して、導体層92cは絶縁層91bの表面上に形成されているので、ソルダーレジスト94bは、ソルダーレジスト94aよりも厚く形成される。さらに、導体層92aのような絶縁層内に埋め込まれた導体層の露出面には、一般的に狭ピッチで大型の電子部品(たとえば、半導体装置など)が接続されることが多くあり、そのような電子部品が実装される部分のソルダーレジスト94aには、図6Aに示されるような大きな開口部95が設けられるため、ソルダーレジスト94aの面積は、ソルダーレジスト94bの面積よりも小さくされ易い。このため、ソルダーレジスト94aの体積が、ソルダーレジスト94bの体積よりも小さくなる傾向にある。このため、プリント配線板90が加熱または冷却されるときの熱膨張または熱収縮は、導体層92a側よりも導体層92c側の方が大きくなり、導体層92c側の膨張/収縮の方がプリント配線板90の屈曲に対して強く作用することになる。このため、たとえば、プリント配線板90が電子部品の実装時などに加熱されると、図6Bに示されるように、導体層92c側に凸となる反りが生じ易い。
The printed
プリント配線板90に反りが生じると、図6Bに示されるように、プリント配線板90に実装される電子部品100の電極110と、電極110が接続される導体層92aの導体パターン921との間の一部が、はんだ120などの接合材を介しても、接触しないことがある。また、プリント配線板90が冷却されると、逆向きの、すなわち、導体層92a側に凸となる反りが生じるため、使用時の温度変化により電子部品100とプリント配線板90との接続部に応力が反復的に生じ、その結果、接続信頼性が低下することがある。
When the printed
本実施形態の配線板10では、前述のように、第1層間樹脂絶縁層20の熱膨張率が第2層間樹脂絶縁層40の熱膨張率より大きくなるように構成されるので、周囲の温度変化により生じる配線板10の反りが抑制される。すなわち、本実施形態の配線板10では、前述のように、加熱または冷却されるときに第3導体層60側の伸縮よりも第1導体層30側の伸縮の方が配線板10の屈曲に強く作用する構造であっても、第1層間樹脂絶縁層20の熱膨張率が第2層間樹脂絶縁層40の熱膨張率より大きいため、第3導体層60側よりも第1導体層30側において、加熱時または冷却時の伸び縮みの量そのものが大きくなり、第1導体層30側と第3導体層60側との配線板10の反りに対する作用の不均衡が緩和される。その結果、温度変化による配線板10の反りが抑制される。そして、その結果、配線板10と電子部品88(図5H参照)との接続不良が抑制されると共に、電子部品88との接続信頼性が高まる。
As described above, the
図1に示されるように、本実施形態の配線板10には、第1導体層30の一部である第1パターン30aの表面上、および、第1導体層30が埋め込まれている側の第1層間樹脂絶縁層20の一部の表面上に第1ソルダーレジスト35が形成されている。また、第3導体層60の表面上、および、第2層間樹脂絶縁層40の表面の第3導体層60が形成されていない部分上に第2ソルダーレジスト55が形成されている。
As shown in FIG. 1, the
一般的に、ソルダーレジストは、絶縁層の表面上に露出する導体層の表面の絶縁性の確保などを目的として設けられる。このため、図1に示される配線板10では、第1ソルダーレジスト35は第1導体層30の表面上において、また、第2ソルダーレジスト55は第3導体層60の表面上において、それぞれ所定の厚さになるように形成される。その結果、図1に示されるように、第1導体層30が埋め込まれている第1層間樹脂絶縁層20の表面上に設けられる第1ソルダーレジスト35の方が、第3導体層60が表面上に形成される第2層間樹脂絶縁層40の表面上に形成される第2ソルダーレジスト55よりも薄くなっている。このため、配線板10の周囲の温度が変化すると、第1ソルダーレジスト35の伸縮よりも第2ソルダーレジスト55の伸縮の方が配線板10の屈曲に対して強く作用する。また、図1に示されるように、本実施形態では、第1導体層30の第2パターン30bの表面上および第2パターン30bの周囲の第1層間樹脂絶縁層20の表面上は、電子部品88(図5H参照)の実装領域にあたるため、第1ソルダーレジスト35が形成されていない。このため、配線板10の周囲の温度が変化すると、第2ソルダーレジスト55の方が、第1ソルダーレジスト35よりも多く伸び縮みする。しかしながら、本実施形態では、第1層間樹脂絶縁層20の熱膨張率が第2層間樹脂絶縁層40の熱膨張率より大きいため、前述の緩和作用と同様に、第1および第2ソルダーレジスト35、55の伸縮による配線板10の反りに対する作用の不均衡が緩和されると共に、両者の伸縮量の相違も相殺され得る。その結果、温度変化による配線板10の反りが抑制される。そして、その結果、配線板10と電子部品88(図5H参照)との接続不良が抑制されると共に、電子部品88との接続信頼性が高まる。
Generally, the solder resist is provided for the purpose of ensuring the insulation of the surface of the conductor layer exposed on the surface of the insulating layer. For this reason, in the
本実施形態では、第1層間樹脂絶縁層20は、図1に示されるように、無機繊維21と無機繊維21に含浸される絶縁性樹脂22とを含んでいる。同様に、第2層間樹脂絶縁層40は、無機繊維41と無機繊維41に含浸される絶縁性樹脂42とを含んでいる。無機繊維21、41の材料は特に限定されないが、絶縁性樹脂22、42よりも熱膨張率の小さい材料が好ましく、たとえばガラスクロスが用いられる。また、絶縁性樹脂22、42の材料も特に限定されず、たとえば、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ビスマレイミドトリアジン樹脂(BT樹脂)、イミド樹脂(ポリイミド)、フェノール樹脂、およびアリル化フェニレンエーテル樹脂(A−PPE樹脂)などから選択され、好ましくはエポキシ樹脂が用いられる。
In the present embodiment, the first interlayer
絶縁性樹脂22、42には、前述のような樹脂材料による主材の他に粒子状のフィラーなどの副材(図示せず)が添加されていてもよい。フィラーの材料は、たとえば、シリカ、アルミナおよび窒化ケイ素などから選択され、好ましくは、シリカが用いられる。しかしながら、フィラーの材料はこれらに限定されず、他の材料が用いられてもよい。このようにフィラーが添加され、その添加量が調整されることにより、第1および第2層間樹脂絶縁層20、40の熱膨張率が調整されてもよい。 Insulating resins 22 and 42 may be added with a sub-material (not shown) such as a particulate filler in addition to the main material of the resin material as described above. The filler material is selected from, for example, silica, alumina, silicon nitride, and the like, and preferably silica is used. However, the filler material is not limited to these, and other materials may be used. Thus, the thermal expansion coefficient of the 1st and 2nd interlayer resin insulation layers 20 and 40 may be adjusted by adding a filler and adjusting the addition amount.
また、第1および第2層間樹脂絶縁層20、40は、無機繊維21、41を含んでいなくてもよい。
The first and second interlayer resin insulation layers 20 and 40 may not include the
図1に示される本実施形態の一実施例では、第1層間樹脂絶縁層20に含まれる絶縁性樹脂22の量が、第2層間樹脂絶縁層40に含まれる絶縁性樹脂42の量よりも多くされている。すなわち、第1層間樹脂絶縁層20全体に対する無機繊維21の重量比が、第2層間樹脂絶縁層40全体に対する無機繊維41の重量比よりも小さくされている。また、その結果、第1層間樹脂絶縁層20が第2層間樹脂絶縁層40よりも厚くされている。無機繊維21、41が絶縁性樹脂22、42よりも熱膨張率の低い材料から形成されていると、このように、無機繊維21の第1層間樹脂絶縁層20全体に対する重量比が無機繊維41の第2層間樹脂絶縁層40全体に対する重量比よりも小さくされることにより、第1層間樹脂絶縁層20の熱膨張率が第2層間樹脂絶縁層40の熱膨張率より大きくなり得る。
In one example of the present embodiment shown in FIG. 1, the amount of the insulating
図1に示される例では、第1層間樹脂絶縁層20を構成する無機繊維21と第2層間樹脂絶縁層40を構成する無機繊維41とは、同じ材料で構成されてもよく、異なる材料で構成されてもよい。同様に絶縁性樹脂22と絶縁性樹脂42とは、同じ材料で構成されてもよく、異なる材料で構成されてもよい。たとえば、絶縁性樹脂42の材料よりも熱膨張率の小さい材料で絶縁性樹脂22が構成される場合でも、無機繊維21の第1層間樹脂絶縁層20全体に対する重量比が、無機繊維41の第2層間樹脂絶縁層40全体に対する重量比よりも、なおいっそう小さくされて、第1層間樹脂絶縁層20の熱膨張率が第2層間樹脂絶縁層40の熱膨張率よりも大きくなるように構成されればよい。
In the example shown in FIG. 1, the
無機繊維21、41に含浸される絶縁性樹脂22、42の量は、第1および第2層間樹脂絶縁層20、40の製造時に、たとえば、無機繊維21、41が、絶縁性樹脂22、42の溶液が入れられた槽に浸漬される時間により調整され得る。無機繊維21、41が、絶縁性樹脂22、42の溶液が入れられた槽に長く浸漬されるほど、無機繊維21、41に含浸される絶縁性樹脂22、42の量が増加する。無機繊維21、41への絶縁性樹脂22、42の含浸方法および含浸量の調整方法は、これに限定されず、他の方法が用いられてもよい。たとえば、絶縁性樹脂22、42が無機繊維21、41に含浸された後に一次乾燥され、その後、さらに1回または複数回、絶縁性樹脂が含浸されることにより、含浸量を多くされてもよい。
The amount of the insulating
第1層間樹脂絶縁層20の熱膨張率が第2層間樹脂絶縁層40の熱膨張率よりも大きくされる方法としては、前述のように、単に無機繊維21、41に含浸される絶縁性樹脂22、42の量が調整される方法が、第1および第2層間樹脂絶縁層20、40の構成材料として多種の無機繊維および絶縁性樹脂材料を準備することが必要とされない点で好ましい。しかしながら、このような方法に限定されず、あらゆる方法を用いて、第1層間樹脂絶縁層20および/または第2層間樹脂絶縁層40の熱膨張率が調整されてもよい。以下に、幾つかの例が示される。
In order to make the thermal expansion coefficient of the first interlayer
図2には、本実施形態の他の実施例の配線板10が示されている。図2に示される配線板10では、第1層間樹脂絶縁層20の無機繊維21が、第2層間樹脂絶縁層40の無機繊維41と同じ材料で、しかしながら、無機繊維41よりも少ない量で形成されている。また、図2に示される例では、第1層間樹脂絶縁層20と第2層間樹脂絶縁層40の厚さが同じ厚さに形成されている。こうすることにより、図1に示される例と同様に、第1層間樹脂絶縁層20全体に対する無機繊維21の重量比が、第2層間樹脂絶縁層40全体に対する無機繊維41の重量比よりも小さくなる。このため、無機繊維21、41が絶縁性樹脂22、42よりも熱膨張率の低い材料から形成されていると、第1層間樹脂絶縁層20の熱膨張率が第2層間樹脂絶縁層40の熱膨張率よりも大きくなる。
FIG. 2 shows a
また、無機繊維21の量と無機繊維41の量との差が適切に調整されることにより、第1層間樹脂絶縁層20が、図2に示されるように第2層間樹脂絶縁層40と同じ厚さにされることも可能である。さらに、第1層間樹脂絶縁層20が第2層間樹脂絶縁層40よりも薄くされながら、第1層間樹脂絶縁層20の熱膨張率が第2層間樹脂絶縁層40よりも大きくされることも可能である。なお、第1層間樹脂絶縁層20の方が第2層間樹脂絶縁層40よりも厚く形成されてもよいことはいうまでもない。
Further, by appropriately adjusting the difference between the amount of the
図2に示される本実施形態の配線板10の他の実施例の説明では、第1層間樹脂絶縁層20の無機繊維21が、第2層間樹脂絶縁層40の無機繊維41と同じ材料であることが前提とされたが、第1および第2層間樹脂絶縁層20、40を構成する材料は、このような条件に限定されず、あらゆる材料が用いられてよい。たとえば、無機繊維41の材料よりも熱膨張率の小さい材料で無機繊維21が構成される場合でも、無機繊維21の量が無機繊維41の量よりも、なおいっそう少なくされて、第1層間樹脂絶縁層20の熱膨張率が第2層間樹脂絶縁層40の熱膨張率よりも大きくなるように構成されればよい。
In the description of another example of the
図3には、本実施形態のさらに別の実施例の配線板10が示されている。図3に示される配線板10では、第1層間樹脂絶縁層20の絶縁性樹脂22aが、第2層間樹脂絶縁層40の絶縁性樹脂42aよりも熱膨張率の大きい材料で構成されている。このため、第1層間樹脂絶縁層20の熱膨張率が、第2層間樹脂絶縁層40の熱膨張率よりも大きくなり得る。図3に示される配線板10では、第1層間樹脂絶縁層20と第2層間樹脂絶縁層40とが同じ厚さに形成されているが、第1層間樹脂絶縁層20と第2層間樹脂絶縁層40とは、異なる厚さに形成されていてもよい。
FIG. 3 shows a
なお、図3に示される例では、第1層間樹脂絶縁層20の絶縁性樹脂22aが第2層間樹脂絶縁層40の絶縁性樹脂42aよりも熱膨張率が大きい材料で構成されているが、絶縁性樹脂22a、42aに代えて、または、これらに加えて、第1層間樹脂絶縁層20の無機繊維21が第2層間樹脂絶縁層40の無機繊維41の材料よりも熱膨張率の高い材料で構成されてもよい。
In the example shown in FIG. 3, the insulating
第1層間樹脂絶縁層20の熱膨張率が第2層間樹脂絶縁層40の熱膨張率よりも大きくされる方法は、前述の図1〜図3に例示される方法に限定されず、あらゆる方法が用いられ得る。
The method for making the coefficient of thermal expansion of the first interlayer
本実施形態の配線板10の第1導体層30は、あらゆる導電性材料から形成され得る。好ましくは、短い時間で厚い膜が形成され得る電気めっきにより形成される銅電気めっき膜である。また、第2および第3導体層50、60も、同様に、あらゆる導電性材料から形成され得る。好ましくは、第2および第3導体層50、60は銅から形成され、銅箔、無電解めっきにより形成される無電解めっき膜、および、電気めっきにより形成される電気めっき膜(いずれも図示せず)の3層から構成される。しかしながら、第2および第3導体層50、60は、このような構成に限定されず、単層もしくは4層以上で構成されてもよく、めっき以外の方法、たとえば、スパッタリング法などにより形成されるスパッタ膜が含まれていてもよく、ニッケル箔などが含まれていてもよい。
The
本実施形態では、図1に示されるように、第1および第2ビア導体25a、45aは、それぞれ、第1および第2層間樹脂絶縁層20、40にそれぞれ設けられる導通用孔25b、45bの内面に形成される金属膜により構成されている。図1に示される例では、導通用孔25b、45bが金属膜により完全に埋められているが、これに限定されず、導通用孔25b、45bは完全に埋められていなくてもよい。
In the present embodiment, as shown in FIG. 1, the first and second via
本実施形態では、図1に示されるように、第1および第2ビア導体25a、45aは、それぞれ、第3導体層60側から第1導体層30側に向かってビア径が小さくなっており、このため、第1および第2ビア導体25a、45aの配線板10の積層方向に直交する断面の大きさが、第1層間樹脂絶縁層20の第1面F1に向って小さくなっている。配線板10が、たとえば、コアレス基板の場合、第1層間樹脂絶縁層20の第1導体層30が埋め込まれる側と反対側の面だけに導体層と絶縁層とが順次積層され、第3導体層60が形成される側から、たとえば、CO2レーザーなどが照射されることにより導通用孔25b、45bが設けられるため、第1および第2ビア導体25a、45aは、図1に示される形状になり易い。しかしながら、第1および第2ビア導体25a、45aの形状は、これに限定されず、たとえば、第1導体層30側と第3導体層60側で同じ大きさであってもよく、または、第3導体層60側から第1導体層30側に向かって拡径していてもよい。
In the present embodiment, as shown in FIG. 1, the first and second via
本実施形態では、図1に示されるように、第3導体層60の表面は、第2ビア導体45a上の部分を除いて第2ソルダーレジスト55に覆われている。しかしながら、これに限定されず、第3導体層60のより多くの部分が第2ソルダーレジスト55に覆われないで露出していてもよい。同様に、第1導体層30側においても、第2パターン30bだけでなく、第1パターン30aを含む全ての第1導体層30の表面が、第1ソルダーレジスト35から露出していてもよい。
In the present embodiment, as shown in FIG. 1, the surface of the
第1および第2ソルダーレジスト35、55の材料は、はんだ耐熱性や絶縁性が良好なものであれば特に限定されないが、好ましくは、エポキシ樹脂やアクリル樹脂などにより形成され、たとえば、エポキシ樹脂に40〜70重量%の無機フィラー、たとえばSiO2などが含有された材料により形成される。なお、第1ソルダーレジスト35と第2ソルダーレジスト55とは、異なる材料で形成されてもよい。 The materials of the first and second solder resists 35 and 55 are not particularly limited as long as they have good solder heat resistance and insulating properties, but are preferably formed of an epoxy resin or an acrylic resin. It is formed of a material containing 40 to 70% by weight of an inorganic filler such as SiO 2 . Note that the first solder resist 35 and the second solder resist 55 may be formed of different materials.
つぎに、本発明の他の実施形態のプリント配線板が、図4を参照しながら説明される。なお、前述の本発明の一実施形態と同じ構成要素には、図1に付したものと同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。本発明の他の実施形態のプリント配線板11は、図4に示されるように、第2導体層50と第2層間樹脂絶縁層40との間に、第3層間樹脂絶縁層70および第4導体層75が設けられる点で、前述の図1に示される一実施形態の配線板10と異なる。本実施形態の配線板11には、第3層間樹脂絶縁層70を貫通し、第1および第2ビア導体25a、45aと協働して第1導体層30と第3導体層60とを電気的に接続する第3ビア導体78も備えられている。
Next, a printed wiring board according to another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The same components as those of the embodiment of the present invention described above are denoted by the same reference numerals as those shown in FIG. 1, and detailed description thereof is omitted. As shown in FIG. 4, the printed
本実施形態の配線板11のその他の部分は、前述の一実施形態の配線板10と同様に構成される。すなわち、本実施形態の配線板11においても、第1層間樹脂絶縁層20は第2層間樹脂絶縁層40よりも熱膨張率が大きくなるように構成される。そのため、一実施形態の配線板10と同様に、周囲温度が変化した時の第1導体層30側と第3導体層60側との配線板11の反りに対する作用の不均衡が緩和される。その結果、温度変化による配線板11の反りが抑制される。そして、その結果、配線板11と電子部品88(図5H参照)との接続不良が抑制されると共に、電子部品88との接続信頼性が高まる。
The other part of the
本実施形態の配線板11の第1および第2層間樹脂絶縁層20、40の熱膨張率を調整する方法は、前述の一実施例と同様に、あらゆる方法が用いられ得る。すなわち、図1〜3に示されるように、絶縁性樹脂22、42の無機繊維21、41への含浸量が調整されてもよく、無機繊維21、41の量が加減されてもよい。或いは、無機繊維21と無機繊維41とが熱膨張率の異なる材料で形成されてもよく、および/または、絶縁性樹脂22と絶縁性樹脂42とが熱膨張率の異なる材料で形成されてもよい。従って、第1層間樹脂絶縁層20の厚さと第2層間樹脂絶縁層40の厚さが同じでも、いずれか一方が他方より厚くてもよい。
As a method for adjusting the coefficient of thermal expansion of the first and second interlayer resin insulation layers 20 and 40 of the
第3層間樹脂絶縁層70の熱膨張率、厚さ、および、無機繊維71や絶縁性樹脂72などの構成材料は特に限定されない。要は、周囲温度の変化による配線板11の反りが、第1層間樹脂絶縁層20の熱膨張率が第2層間樹脂絶縁層40の熱膨張率よりも大きくされることにより抑制されるものであればよい。しかしながら、第1層間樹脂絶縁層20の熱膨張率と第2層間樹脂絶縁層40の熱膨張率との違いが、配線板11の反りの抑制に効果的に寄与し得る点で、第3層間樹脂絶縁層70の熱膨張率は、第1層間樹脂絶縁層20の熱膨張率と第2層間樹脂絶縁層40の熱膨張率との間の大きさであることが好ましい。なお、第4導体層75の材料は、第2および第3導体層50、60と同様の材料および方法で形成され得る。
The coefficient of thermal expansion and thickness of the third interlayer
なお、図4には、第3層間樹脂絶縁層70および第4導体層75が、第2導体層50と第2層間樹脂絶縁層40との間に、第2導体層50側から順に積層されるように示されている。しかしながら、第3層間樹脂絶縁層70および第4導体層75は、第1層間樹脂絶縁層20と第2導体層50との間に、第1層間樹脂絶縁層20側から第4導体層75、次いで第3層間樹脂絶縁層70の順に積層されてもよい。また、第3層間樹脂絶縁層70および第4導体層75に加えて、さらに一組または複数組の層間樹脂絶縁層と導体層との組が、第2導体層50と第2層間樹脂絶縁層40との間、および/または、第1層間樹脂絶縁層20と第2導体層50との間に設けられてもよい。
In FIG. 4, the third interlayer
つぎに、本発明の一実施形態の配線板10の製造方法が、図5A〜5Hを参照して説明される。なお、図5A〜5Hでは、配線板10の製造工程が理解され易いように、図1に示される向きから図面に垂直な方向の回転軸で180°回転された向きで、配線板10の製造工程途上の状態が示されている。
Next, a method for manufacturing the
一実施形態の配線板10の製造方法では、まず、図5Aに示されるように、出発材料として、キャリア80とキャリア銅箔80a付き第1金属箔81とが用意され、キャリア80の両面に、キャリア銅箔80a付き第1金属箔81がキャリア銅箔80a側をキャリア80側に向けて積層され、加圧および加熱されて接合される。キャリア80には、好ましくは、ガラス繊維などの芯材にエポキシなどの絶縁性樹脂を含浸させた材料などからなる半硬化状態のプリプレグ材などが用いられるが、これに限定されず、他の材料が用いられてもよい。第1金属箔81の材料は、表面上に、後述の第1導体層30(図5B参照)が形成され得るものであれば特に限定されないが、好ましくは銅箔またはニッケル箔が用いられる。また、第1金属箔81は、たとえば、2〜6μm、好ましくは5μmの厚さの金属箔が用いられる。また、キャリア銅箔80aは、たとえば、15〜30μm、好ましくは18μmの厚さの銅箔が用いられる。しかしながら、第1金属箔81およびキャリア銅箔80aの厚さは、これらに限定されず、他の厚さにされてもよい。
In the method of manufacturing the
キャリア銅箔80aと第1金属箔81とは、たとえば、貼り付け面の略全面において図示されない熱可塑性の接着剤により接着されている。しかしながら、これに限定されず、キャリア銅箔80aと第1金属箔81とは、後述の第1導体層30(図5B参照)の導体パターンが設けられない外周付近の余白部において、接着剤または超音波接続により接合されてもよい。
The
図5Aに示される例では、既にキャリア銅箔80aが接着された第1金属箔81が、単独のプリプレグ材からなるキャリア80に接合される例が示されているが、このような構成に限定されず、たとえば、キャリア80に両面銅張積層板が用いられ、両面に接合されている銅箔それぞれの上に単体の第1金属箔81が接着材などで接合されてもよい。
In the example shown in FIG. 5A, an example is shown in which the
なお、図5A〜5Dには、キャリア80の両側の面に第1金属箔81が接着され、それぞれの面において配線板10が形成される製造方法の例が示されている。このようにキャリア80の両側で配線板10が形成されれば、一度に2つの配線板10が作製されるという点で好ましい。しかしながら、キャリア80の一方の面だけに配線板10が形成されてもよく、また、両側で互いに異なる回路パターンの配線板が形成されてもよい。配線板10の製造方法についての以下の説明は、両面に同じ回路パターンが形成される例が示される図5A〜5Fを参照して説明されるため、一方の面だけについて説明され、他面側に関しての説明、および、各図面における他面側の符号は省略される。
5A to 5D show an example of a manufacturing method in which the
つぎに、図5Bに示されるように、第1金属箔81上に第1導体層30が形成される。第1導体層30の形成方法は特に限定されないが、たとえば、電気めっき法が用いられる。具体的には、まず、第1金属箔81上に、後述の第1および第2パターン30a、30b(図5H参照)が形成される部分以外の所定の領域にめっきレジスト膜(図示せず)が形成される。続いて、めっきレジスト膜が形成されていない第1金属箔81上に、たとえば、第1金属箔81をシード層として電気めっきにより、電気めっき膜が形成される。その後、めっきレジスト膜が除去される。その結果、図5Bに示されるように、第1金属箔81上に第1導体層30が形成される。第1導体層30は、好ましくは銅からなる電気めっき膜である。
Next, as shown in FIG. 5B, the
つぎに、図5Cに示されるように、第1金属箔81上および第1導体層30上に、半硬化状態の第1層間樹脂絶縁層20が積層され、さらに第1層間樹脂絶縁層20上に第2金属箔501が積層される。その後、第2金属箔501および第1層間樹脂絶縁層20は、キャリア80側に向かってプレスされ、さらに加熱される。この結果、第1層間樹脂絶縁層20が完全に硬化され、同時に、第1金属箔81および第1導体層30、ならびに第2金属箔501と接合される。なお、図5Cにおいて、第1層間樹脂絶縁層20は、無機繊維21と絶縁性樹脂22とで構成されているが、第1層間樹脂絶縁層20は、無機繊維21を含まずに絶縁性樹脂22だけで構成されていてもよい。
Next, as shown in FIG. 5C, a semi-cured first interlayer
つぎに、図5Dに示されるように、第2金属箔501および第1層間樹脂絶縁層20を貫通し、第1導体層30を露出させる導通用孔25bが形成される。具体的には、第2金属箔501の表面側から、第2金属箔501上の所定の位置にCO2レーザーを用いてレーザー光が照射される。この結果、図5Dに示されるように導通用孔25bが形成される。導通用孔25bの形成後、好ましくは、導通用孔25bについてデスミアが行われる。また、レーザー光の吸収効率が高まるように、レーザー光の照射の前に第2金属箔501の表面が黒化処理されてもよい。
Next, as shown in FIG. 5D, a
つぎに、図5Eに示されるように、第2金属箔501上および導通用孔25b内に第1金属膜502が形成される。第1金属膜502は、好ましくは、無電解めっきにより形成される。無電解めっきにより形成される場合、第1金属膜502は、好ましくは0.3〜1μmの厚さに形成される。第1金属膜502は、他の好ましい例において、スパッタリング法により形成される。スパッタリング法により形成される場合、第1金属膜502は、好ましくは、0.05〜0.2μmの厚さに形成される。第1金属膜502の材料は特に限定されないが、好ましくは銅からなる。しかしながら、第1金属膜502の形成方法および材料は、これらに限定されず、他の方法および材料が用いられてもよい。
Next, as shown in FIG. 5E, a
続いて、第1金属膜502上に第2金属膜503が形成される。第2金属膜503の形成方法は特に限定されないが、短い時間で厚い膜が形成され得る点で、電気めっき法により形成されるのが好ましい。電気めっき法により形成される場合、まず、第1金属膜502にめっきレジスト膜82が形成される。めっきレジスト膜82は、導通用孔25bと第2導体層50(図5F参照)の所定のパターンが設けられる部分とを少なくとも除く領域の第1金属膜502上に形成される。続いて、めっきレジスト膜82に覆われていない第1金属膜502上に、電気めっきにより第2金属膜503が形成される。その結果、導通用孔25bに、図5Eに示されるように、第2金属膜503が充填され、第1および第2金属膜502、503からなる第1ビア導体25aが形成される。
Subsequently, a
つぎに、めっきレジスト膜82に覆われている第1金属膜502、および第2金属箔501の一部が除去される。具体的には、まず、めっきレジスト膜82が剥離される。続いて、めっきレジスト膜82の剥離により露出する第1金属膜502、および、その下方の第2金属箔501が除去される。この結果、図5Fに示されるように、第1導体層30が埋め込まれていない側の第1層間樹脂絶縁層20の表面に、第2金属箔501、第1金属膜502、第2金属膜503からなるパターン50aを有する第2導体層50が形成される。
Next, a part of the
つぎに、図5Gに示されるように、第2導体層50上および第1層間樹脂絶縁層20上に、第2層間樹脂絶縁層40と第3導体層60とが順に形成され、さらに第2ビア導体45aが第2層間樹脂絶縁層40に形成される。第2層間樹脂絶縁層40、第3導体層60および第2ビア導体45aは、図5C〜図5Fに示される工程を繰り返すことにより、第1層間樹脂絶縁層20、第2導体層50および第1ビア導体25aと同様に、それぞれ形成され得る。
Next, as shown in FIG. 5G, a second interlayer
続いて、キャリア80、キャリア銅箔80aおよび第1金属箔81が除去される。具体的には、まず、たとえば、途中工程の配線板10が加熱され、キャリア銅箔80aと第1金属箔81とを接合している図示しない熱可塑性接着剤が軟化している状態で、両者が分離される。或いは、前述のように、両者が外周付近の余白部において接着剤または超音波接続により接合されている場合は、接合箇所よりも内周側で、キャリア銅箔80a、第1金属箔81、およびキャリア80が第1層間樹脂絶縁層20などと共に切断され、接合箇所が切除されることによりキャリア銅箔80aおよびキャリア80と第1金属箔81とが分離されてもよい。その後、第1金属箔81は、たとえばエッチングなどにより除去される。
Subsequently, the
なお、図5C〜図5Fに示される工程をさらに1回または複数回繰り返すことにより、図4に示される他の実施形態の配線板11のような、3個以上の層間樹脂絶縁層と4個以上の導体層と各層間樹脂絶縁層を貫通するビア導体とを有する配線板が形成され得る。
5C to 5F are repeated one or more times to obtain three or more interlayer resin insulation layers and four like the
つぎに、図5Hに示されるように、第1導体層30の一部の表面上、および、第1導体層30側の第1層間樹脂絶縁層20の表面の一部の上に、第1ソルダーレジスト35が形成される。また、第3導体層60の表面上、および、第2層間樹脂絶縁層40の表面の第3導体層60が形成されていない部分上に第2ソルダーレジスト55が形成される。なお、図5Hには、完成状態を示す図1と整合するように、図5Gに示される配線板10の工程途上品が図面に垂直な軸で180°回転された状態で、完成状態の配線板10が示されている。
Next, as shown in FIG. 5H, on the surface of a part of the
第1および第2ソルダーレジスト35、55は、たとえば、感光性のエポキシ材などからなる層が第1層間樹脂絶縁層20の第1導体層30側の全面、および第2層間樹脂絶縁層40の第3導体層60側の全面に形成された後、第1および第2ソルダーレジスト35、55が設けられる所定の箇所の上部のエポキシ材などからなる層が露光され、露光されない部分のエポキシ材が現像により除去されて形成される。しかしながら、これに限定されず、第1および第2ソルダーレジスト35、55は、第1および第2ソルダーレジスト35、55が設けられる箇所に対応する部分が開口されたマスクを用いるスクリーン印刷などの他の方法で設けられてもよい。また、第1および第2ソルダーレジスト35、55は、たとえば、非感光性のエポキシ材などからなる層が、第1層間樹脂絶縁層20の第1導体層30側の全面、および第2層間樹脂絶縁層40の第3導体層60側の全面に形成された後、ソルダーレジストの形成が不要な部分がレーザーで除去されることにより形成されてもよい。
The first and second solder resists 35 and 55 are, for example, a layer made of a photosensitive epoxy material or the like on the entire surface of the first interlayer
図5Hに示されるように、第1導体層30に形成されるパターンのうち、配線板10に実装される電子部品88の電極が接続される第2パターン30bが、第1ソルダーレジスト35に覆われず、第1ソルダーレジスト35に形成された開口部に露出している。一方、第3導体層60の表面は、第2ビア導体45a上の部分を除いて第2ソルダーレジスト55に覆われている。しかしながら、第2パターン30b以外の第1導体層30のパターン、たとえば第1パターン30a、および、第1パターン30aの周囲の第1層間樹脂絶縁層20の表面などが第1ソルダーレジスト35に覆われずに露出していてもよい。また、第3導体層60の表面のより多くの部分が第2ソルダーレジスト55に覆われずに露出していてもよい。
As shown in FIG. 5H, among the patterns formed on the
また、ソルダーレジスト35および第2ソルダーレジスト55に覆われないで露出している第1および第3導体層30、60の表面上に、たとえばNi/Au、Ni/Pd/AuまたはSnなどからなる耐食層(図示せず)が形成されてもよい。また、液状の保護材料内への浸漬や保護材料の吹付けなどにより有機保護膜(OSP)からなる耐食層が形成されてもよく、或いは、はんだコート層(図示せず)が形成されてもよい。 Further, the surface of the first and third conductor layers 30 and 60 exposed without being covered with the solder resist 35 and the second solder resist 55 is made of, for example, Ni / Au, Ni / Pd / Au, or Sn. A corrosion resistant layer (not shown) may be formed. Further, a corrosion-resistant layer made of an organic protective film (OSP) may be formed by immersion in a liquid protective material or spraying of the protective material, or a solder coat layer (not shown) may be formed. Good.
図5A〜図5Hに示される工程を経ることにより、図1に示される一実施形態の配線板10が完成する。完成した配線板10には、図5Hに示されるように、たとえば、第1層間樹脂絶縁層20の第1面F1側に埋め込まれている第1導体層30に電子部品88が搭載されてもよい。
The
一実施形態の配線板10の製造方法は、図5A〜5Hを参照して説明された方法に限定されず、その条件や順序などは任意に変更され得る。また、特定の工程が省略されてもよく、別の工程が追加されてもよい。
The manufacturing method of the
10、11 プリント配線板
20 第1層間樹脂絶縁層
21 無機繊維
22、22a 絶縁性樹脂
25a 第1ビア導体
30 第1導体層
30a 第1パターン
30b 第2パターン
35 第1ソルダーレジスト
40 第2層間樹脂絶縁層
41 無機繊維
42、42a 絶縁性樹脂
45a 第2ビア導体
50 第2導体層
55 第2ソルダーレジスト
60 第3導体層
70 第3層間樹脂絶縁層
75 第4導体層
F1 第1層間樹脂絶縁層の第1面
F2 第1層間樹脂絶縁層の第2面
10, 11 Printed
Claims (7)
前記第1面側の第1層間樹脂絶縁層内に埋め込まれ、最上面が露出される第1導体層と、
前記第2面側の第1層間樹脂絶縁層上に形成される第2導体層と、
前記第1層間樹脂絶縁層を貫通して設けられ、前記第1導体層と前記第2導体層とを電気的に接続する第1ビア導体と、
前記第2面側の第1層間樹脂絶縁層および前記第2導体層上に積層される第2層間樹脂絶縁層と、
前記第2層間樹脂絶縁層上に形成される第3導体層と、
前記第2層間樹脂絶縁層を貫通して設けられ、前記第2導体層と前記第3導体層とを電気的に接続する金属を充填してなる第2ビア導体と、
を備えた、層間樹脂絶縁層と導体層とが交互に積層されてなるプリント配線板であって、
前記第1層間樹脂絶縁層の熱膨張率は、前記第2層間樹脂絶縁層の熱膨張率より大きい。 A first interlayer resin insulation layer having a first surface and a second surface opposite to the first surface;
A first conductor layer embedded in the first interlayer resin insulation layer on the first surface side and having the uppermost surface exposed;
A second conductor layer formed on the first interlayer resin insulation layer on the second surface side;
A first via conductor provided through the first interlayer resin insulation layer and electrically connecting the first conductor layer and the second conductor layer;
A second interlayer resin insulation layer laminated on the first interlayer resin insulation layer on the second surface side and the second conductor layer;
A third conductor layer formed on the second interlayer resin insulation layer;
A second via conductor that is provided through the second interlayer resin insulation layer and is filled with a metal that electrically connects the second conductor layer and the third conductor layer;
A printed wiring board comprising an interlayer resin insulation layer and a conductor layer alternately laminated,
The thermal expansion coefficient of the first interlayer resin insulation layer is greater than the thermal expansion coefficient of the second interlayer resin insulation layer.
前記第1層間樹脂絶縁層の厚さは、前記第2層間樹脂絶縁層の厚さより厚い。 The printed wiring board according to claim 1,
The thickness of the first interlayer resin insulation layer is greater than the thickness of the second interlayer resin insulation layer.
前記第1および第2層間樹脂絶縁層は、無機繊維と該無機繊維に含浸されている樹脂とを少なくとも含んでおり、
前記第1層間樹脂絶縁層全体に対する前記第1層間樹脂絶縁層に含まれる前記無機繊維の重量比は、前記第2層間樹脂絶縁層全体に対する前記第2層間樹脂絶縁層に含まれる前記無機繊維の重量比より小さい。 The printed wiring board according to claim 1 or 2,
The first and second interlayer resin insulation layers include at least inorganic fibers and a resin impregnated in the inorganic fibers,
The weight ratio of the inorganic fibers contained in the first interlayer resin insulation layer to the whole first interlayer resin insulation layer is the weight ratio of the inorganic fibers contained in the second interlayer resin insulation layer to the whole second interlayer resin insulation layer. Less than weight ratio.
前記第1導体層上および前記第1層間樹脂絶縁層上に形成される第1ソルダーレジストと、前記第3導体層上および前記第3層間樹脂絶縁層上に形成される第2ソルダーレジストとを備え、前記第1ソルダーレジストの厚さは、前記第2ソルダーレジストの厚さより薄い。 The printed wiring board according to claim 1, further comprising:
A first solder resist formed on the first conductor layer and the first interlayer resin insulation layer; and a second solder resist formed on the third conductor layer and the third interlayer resin insulation layer. And the thickness of the first solder resist is smaller than the thickness of the second solder resist.
前記第1および第2ソルダーレジストは、エポキシ樹脂に40〜70重量%の 無機フィラーが含有されて形成されている。 The printed wiring board according to claim 4,
The first and second solder resists are formed by containing 40 to 70% by weight of an inorganic filler in an epoxy resin.
前記第1および第2ビア導体の断面の大きさは、前記第1層間樹脂絶縁層の前記第1面に向って小さくなる。 The printed wiring board according to any one of claims 1 to 5,
The cross-sectional size of the first and second via conductors decreases toward the first surface of the first interlayer resin insulation layer.
前記第1層間樹脂絶縁層の前記第1面側に電子部品が搭載される。 The printed wiring board according to any one of claims 1 to 6,
An electronic component is mounted on the first surface side of the first interlayer resin insulation layer.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014089333A JP6386252B2 (en) | 2014-04-23 | 2014-04-23 | Printed wiring board |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014089333A JP6386252B2 (en) | 2014-04-23 | 2014-04-23 | Printed wiring board |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015207745A true JP2015207745A (en) | 2015-11-19 |
JP6386252B2 JP6386252B2 (en) | 2018-09-05 |
Family
ID=54604311
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014089333A Active JP6386252B2 (en) | 2014-04-23 | 2014-04-23 | Printed wiring board |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6386252B2 (en) |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005238520A (en) * | 2004-02-24 | 2005-09-08 | Matsushita Electric Works Ltd | Prepreg and multilayered printed wiring board |
JP2006278993A (en) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | Wiring board |
JP2009135162A (en) * | 2007-11-29 | 2009-06-18 | Shinko Electric Ind Co Ltd | Wiring board and electronic component device |
JP2009231222A (en) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Ajinomoto Co Inc | Insulating resin sheet |
JP2009260123A (en) * | 2008-04-18 | 2009-11-05 | Panasonic Corp | Multilayer wiring board |
JP2011090159A (en) * | 2009-10-22 | 2011-05-06 | Sekisui Chem Co Ltd | Photosensitive composition and printed wiring board |
JP2013168689A (en) * | 2007-10-12 | 2013-08-29 | Shinko Electric Ind Co Ltd | Wiring board |
JP2013247333A (en) * | 2012-05-29 | 2013-12-09 | Kyocer Slc Technologies Corp | Wiring board and manufacturing method of the same |
-
2014
- 2014-04-23 JP JP2014089333A patent/JP6386252B2/en active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005238520A (en) * | 2004-02-24 | 2005-09-08 | Matsushita Electric Works Ltd | Prepreg and multilayered printed wiring board |
JP2006278993A (en) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | Wiring board |
JP2013168689A (en) * | 2007-10-12 | 2013-08-29 | Shinko Electric Ind Co Ltd | Wiring board |
JP2009135162A (en) * | 2007-11-29 | 2009-06-18 | Shinko Electric Ind Co Ltd | Wiring board and electronic component device |
JP2009231222A (en) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Ajinomoto Co Inc | Insulating resin sheet |
JP2009260123A (en) * | 2008-04-18 | 2009-11-05 | Panasonic Corp | Multilayer wiring board |
JP2011090159A (en) * | 2009-10-22 | 2011-05-06 | Sekisui Chem Co Ltd | Photosensitive composition and printed wiring board |
JP2013247333A (en) * | 2012-05-29 | 2013-12-09 | Kyocer Slc Technologies Corp | Wiring board and manufacturing method of the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6386252B2 (en) | 2018-09-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4072176B2 (en) | Manufacturing method of multilayer wiring board | |
US10745819B2 (en) | Printed wiring board, semiconductor package and method for manufacturing printed wiring board | |
US9713267B2 (en) | Method for manufacturing printed wiring board with conductive post and printed wiring board with conductive post | |
JP2008311426A (en) | Multilayer wiring board, and manufacturing method of multilayer wiring board | |
JP2010212652A (en) | Wiring board and method for manufacturing the same | |
JP2014175485A (en) | Wiring board and manufacturing method of the same | |
JP2016063130A (en) | Printed wiring board and semiconductor package | |
JP2014168007A (en) | Wiring board and manufacturing method of the same | |
JP2018018936A (en) | Wiring board | |
JP2015225895A (en) | Printed wiring board, semiconductor package and printed wiring board manufacturing method | |
JP2014082441A (en) | Multi-layer type coreless substrate and method of manufacturing the same | |
TWI595811B (en) | Printed circuit board and method for manufacturing the same | |
JP2018032661A (en) | Printed wiring board and method for manufacturing the same | |
KR101205464B1 (en) | Method for manufacturing a printed circuit board | |
JP6386252B2 (en) | Printed wiring board | |
JP2013080823A (en) | Printed wiring board and manufacturing method of the same | |
JP5223973B1 (en) | Printed wiring board and printed wiring board manufacturing method | |
JP2020004930A (en) | Printed-wiring board | |
JP2008060119A (en) | Printed wiring board | |
JP2005159201A (en) | Wiring board and its manufacturing method | |
JP7288339B2 (en) | Wiring board and method for manufacturing wiring board | |
KR101108816B1 (en) | Multilayer printed circuit substrate and method of manufacturing the same | |
JP2010123799A (en) | Circuit board and multilayer circuit board | |
JP2022119655A (en) | Wiring substrate | |
JP2021012956A (en) | Printed wiring board |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170222 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20171117 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171219 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180214 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180724 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180809 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6386252 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |