JP2009231222A - Insulating resin sheet - Google Patents

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Eiichi Hayashi
栄一 林
Seiichiro Ohashi
成一郎 大橋
Fumi Yasuda
文美 安田
Tomoko Miyagawa
朋子 宮川
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an insulating resin sheet in which a sheetlike fiber base material included in a prepreg is not exposed on the surface of an insulating layer concerning to the insulating resin sheet formed by the prepreg in order to form the insulating layer of a multilayer printed wire board. <P>SOLUTION: The insulating resin sheet includes a cured prepreg layer, and a thermosetting resin composition layer formed on both sides of the cured prepreg layer. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、シート状繊維基材に熱硬化性樹脂組成物を含浸したプリプレグより調製される絶縁樹脂シート、及び該絶縁樹脂シートを用いた多層プリント配線板の製造方法に関する。   The present invention relates to an insulating resin sheet prepared from a prepreg obtained by impregnating a sheet-like fiber base material with a thermosetting resin composition, and a method for producing a multilayer printed wiring board using the insulating resin sheet.

従来、多層プリント配線板の製造技術として、コア基板上に絶縁層と導体層とを交互に積み重ねるビルトアップ方式による製造方法が知られている。この製造方法によれば、絶縁層形成には、専らプラスチックフィルム上に熱硬化性樹脂層が形成された接着フィルムが使用され、この接着フィルムを内層回路基板にラミネート(積層)し、プラスチックフィルムを剥離した後、熱硬化性樹脂を熱硬化することにより、絶縁層が形成される。一方、近年の、電子機器や電子部品の小型化のニーズにより、多層プリント配線板においては、例えば、コア基板の薄型化や省略化が要求されるなど、ますます薄型化される傾向にある。このように多層プリント配線板の薄型化が図られる中で、多層プリント配線板の機械強度を維持するためには、層間絶縁層を形成する材料としてプリプレグの適用が有効と考えられる。   Conventionally, as a manufacturing technique of a multilayer printed wiring board, a manufacturing method by a built-up method in which insulating layers and conductor layers are alternately stacked on a core substrate is known. According to this manufacturing method, for the formation of the insulating layer, an adhesive film in which a thermosetting resin layer is formed exclusively on a plastic film is used. This adhesive film is laminated (laminated) on the inner circuit board, and the plastic film is laminated. After peeling, the insulating layer is formed by thermosetting the thermosetting resin. On the other hand, due to recent needs for miniaturization of electronic devices and electronic parts, multilayer printed wiring boards tend to be made thinner and thinner, for example, requiring a thinner or omitted core substrate. Thus, in order to reduce the thickness of a multilayer printed wiring board, in order to maintain the mechanical strength of the multilayer printed wiring board, it is considered effective to apply a prepreg as a material for forming an interlayer insulating layer.

例えば、特許文献1には、ガラスクロスプリプレグと銅箔とを真空加圧式ラミネーターで枚葉することにより、回路基板上に絶縁層を形成する方法が開示されている。しかしながら、近年の電子機器の小型化、薄型化の傾向により、多層構造のプリント配線板においても、微細配線化の要求が高まっており、その要求に応えるためには、銅箔で導体層を形成するよりも、セミアディティブ法により、めっきで導体層を形成する方が有利である。   For example, Patent Document 1 discloses a method of forming an insulating layer on a circuit board by sheet-feeding glass cloth prepreg and copper foil with a vacuum pressure laminator. However, due to the recent trend toward smaller and thinner electronic devices, there is an increasing demand for fine wiring even in multilayer printed wiring boards. To meet these demands, a conductor layer is formed from copper foil. Instead, it is advantageous to form the conductor layer by plating by a semi-additive method.

多層プリント配線板の層間絶縁層を形成するためのプリプレグとしては、特許文献2及び3に、プリプレグ上に熱硬化樹脂組成物層を形成した絶縁樹脂シートが開示されている。   As prepregs for forming an interlayer insulating layer of a multilayer printed wiring board, Patent Documents 2 and 3 disclose insulating resin sheets in which a thermosetting resin composition layer is formed on the prepreg.

特開2003−0332740公報JP 2003-0332740 A 特開2003−249764号公報JP 2003-249664 A 特開2003−313324号公報JP 2003-313324 A

接着フィルムを用いたビルトアップ方式による多層プリント配線板の製造方法においては、真空ラミネーターを使用して熱硬化性樹脂組成物層をラミネートし、その後、該層を熱硬化して絶縁層が形成される。かかる絶縁層形成後はセミアディティブ法により、めっきで導体層形成が可能である。一方、プリプレグにおいては、プリプレグを内層回路基板の回路凹凸に追従させ、回路凹凸を十分に埋め込めるように、プリプレグに含浸される熱硬化性樹脂組成物の流動性を確保した場合、真空ラミネート後の熱硬化工程において、樹脂の流動性が大きくなりすぎるため、樹脂の染み出しが起こり、絶縁層表面にガラスクロス等の繊維基材が露出するなど、絶縁層形成に支障をきたすという問題がある。   In the manufacturing method of a multilayer printed wiring board by a built-up method using an adhesive film, a thermosetting resin composition layer is laminated using a vacuum laminator, and then the insulating layer is formed by thermosetting the layer. The After such an insulating layer is formed, a conductor layer can be formed by plating by a semi-additive method. On the other hand, in the case of the prepreg, if the prepreg is made to follow the circuit irregularities of the inner layer circuit board and the fluidity of the thermosetting resin composition impregnated in the prepreg is secured so that the circuit irregularities can be sufficiently embedded, In the thermosetting process, the fluidity of the resin becomes too high, so that the resin oozes out and the fiber base material such as glass cloth is exposed on the surface of the insulating layer, which causes problems in the formation of the insulating layer. .

そこで、プリプレグを内層回路基板の回路凹凸に追従させ、樹脂組成物を回路凹凸に十分に埋め込む手段として、特許文献2及び3のように、プリプレグにさらに熱硬化性樹脂組成物層を設ける方法が有効であると考えられる。本発明者らが、プリプレグ両面に熱硬化性樹脂組成物を積層した絶縁樹脂シートを、真空ラミネーターによりラミネートしたところ、内層回路基板の回路凹凸に、絶縁樹脂シートが十分に追従し、回路凹凸の埋め込み性も良好であることが見出された。一方、ラミネートされた絶縁樹脂シートは、回路凹凸を反映して表面が凹凸状になる。そこで絶縁樹脂シート表面を平滑化するため、常圧下で、金属板により接着シートを加熱及び加圧したところ、絶縁樹脂シート表面の熱硬化性樹脂組成物層が流動するため、回路の凹凸を反映して、一部の熱硬化性樹脂組成物層の厚みが薄くなる現象が見出された。また、絶縁樹脂シートを熱硬化して絶縁層を形成した後に、絶縁層表面を粗化してめっきにより導体層を形成した場合に、熱硬化性樹脂組成物層の厚みが薄くなった部分よりプリプレグの繊維状シート基材が露出し、導体層形成に不具合が生じる現象が見出された。   Therefore, as a means for causing the prepreg to follow the circuit irregularities of the inner circuit board and sufficiently embedding the resin composition in the circuit irregularities, there is a method of further providing a thermosetting resin composition layer on the prepreg as in Patent Documents 2 and 3. It is considered effective. When the inventors laminated an insulating resin sheet having a thermosetting resin composition laminated on both surfaces of a prepreg with a vacuum laminator, the insulating resin sheet sufficiently followed the circuit irregularities of the inner circuit board, and the circuit irregularities were It was found that the embeddability was also good. On the other hand, the laminated insulating resin sheet has an uneven surface reflecting the circuit unevenness. Therefore, in order to smooth the surface of the insulating resin sheet, when the adhesive sheet is heated and pressurized with a metal plate under normal pressure, the thermosetting resin composition layer on the surface of the insulating resin sheet flows, so that the unevenness of the circuit is reflected. Thus, a phenomenon has been found in which the thickness of some of the thermosetting resin composition layers is reduced. In addition, when the insulating resin sheet is thermally cured to form an insulating layer, and then the surface of the insulating layer is roughened and a conductor layer is formed by plating, the prepreg is formed from the portion where the thickness of the thermosetting resin composition layer is reduced. A phenomenon was found in which the fibrous sheet base material was exposed and problems occurred in the formation of the conductor layer.

従って、本願発明の課題は、繊維状シート基材を有する絶縁樹脂シートにより多層プリント配線板を製造する場合に、上記のように繊維状シート基材が露出することのない絶縁樹脂シートを提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide an insulating resin sheet in which the fibrous sheet base material is not exposed as described above when a multilayer printed wiring board is produced from the insulating resin sheet having the fibrous sheet base material. There is.

本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意研究した結果、硬化プリプレグ層及び該硬化プリプレグ層の両面に形成された硬化樹脂組成物層からなる絶縁樹脂シートを、多層プリント配線板の製造に用いることにより、形成された絶縁層表面を粗化した場合でも、上述した繊維状シート基材の露出を抑制することが出来ることを見出し、本発明を完成させた。   As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have produced an insulating resin sheet comprising a cured prepreg layer and a cured resin composition layer formed on both surfaces of the cured prepreg layer, to produce a multilayer printed wiring board. As a result, it was found that the exposure of the fibrous sheet base material described above can be suppressed even when the surface of the formed insulating layer is roughened, and the present invention has been completed.

すなわち、本発明は以下の内容を含むものである。
[1]硬化プリプレグ層、及び該硬化プリプレグ層の両面に形成された熱硬化性樹脂組成物層からなる絶縁樹脂シート。
[2]前記硬化プリプレグが、シート状繊維基材に熱硬化性樹脂組成物を含浸したプリプレグを熱硬化したものである、上記[1]記載の絶縁樹脂シート。
[3]前記絶縁樹脂シートが、(1)絶縁樹脂シートを熱硬化性樹脂組成物層が内層回路基板の両面又は片面に接するように内層回路基板に配置し、減圧下で、弾性材を介して加熱及び加圧することにより、内層回路基板上に積層するラミネート工程、(2)積層された絶縁樹脂シートを、金属板又は金属ロールにより加熱及び加圧することにより、絶縁樹脂シートを平滑化する平滑化工程、及び(3)平滑化された絶縁樹脂シートを熱硬化することにより、絶縁層を形成する熱硬化工程を備える多層プリント配線板の製造方法に用いられる、上記[1]又は[2]記載の絶縁樹脂シート。
[4]前記ラミネート工程の温度及び平滑化工程の温度の何れか高い方をP℃とした場合、前記硬化プリプレグのガラス転移温度が、(P−18)以上である、上記[3]記載の絶縁樹脂シート。
[5]前記ラミネート工程の温度及び平滑化工程の温度の何れか高い方をP℃とした場合、前記硬化プリプレグのガラス転移温度が、(P−12)以上である、上記[3]記載の絶縁樹脂シート。
[6]前記ラミネート工程の温度及び平滑化工程の温度の何れか高い方をP℃とした場合、前記硬化プリプレグのガラス転移温度が、(P−10)以上である、上記[3]記載の絶縁樹脂シート。
[7]前記熱硬化性樹脂組成物層の片面又は両面に保護フィルムが形成された、上記[1]〜[6]のいずれかに記載の絶縁樹脂シート。
[8]前記保護フィルムがポリエチレンテレフタレートフィルムである、上記[7]記載の絶縁樹脂シート。
[9]上記[1]〜[8]のいずれかに記載の絶縁樹脂シートにより絶縁層が形成された、多層プリント配線板。
[10](1)上記[1]〜[8]のいずれかに記載の絶縁樹脂シートを、熱硬化性樹脂組成物層が内層回路基板の両面又は片面に接するように内層回路基板に配置し、減圧下で、弾性材を介して加熱及び加圧することにより、内層回路基板上に積層するラミネート工程、(2)積層された絶縁樹脂シートを、金属板又は金属ロールにより加熱及び加圧することにより、絶縁樹脂シートを平滑化する平滑化工程、及び(3)平滑化された絶縁樹脂シートを熱硬化することにより、絶縁層を形成する熱硬化工程を備える、多層プリント配線板の製造方法。
[11]前記ラミネート工程及び平滑化工程における絶縁樹脂シートの加熱及び加圧が保護フィルム上から行われる、上記[10]記載の製造方法。
[12]絶縁層に穴あけする穴あけ工程、該絶縁層を粗化処理する粗化工程、粗化された絶縁層表面にめっきにより導体層を形成するめっき工程、及び導体層に回路を形成する回路形成工程をさらに含む、上記[10]又は[11]に記載の製造方法。
That is, the present invention includes the following contents.
[1] An insulating resin sheet comprising a cured prepreg layer and a thermosetting resin composition layer formed on both surfaces of the cured prepreg layer.
[2] The insulating resin sheet according to [1], wherein the cured prepreg is obtained by thermosetting a prepreg obtained by impregnating a sheet-like fiber base material with a thermosetting resin composition.
[3] The insulating resin sheet is arranged on the inner circuit board so that the thermosetting resin composition layer is in contact with both surfaces or one surface of the inner circuit board, and the insulating resin sheet is placed under the reduced pressure through the elastic material. Laminating step of laminating on the inner layer circuit board by heating and pressurizing, (2) Smoothing smoothing the insulating resin sheet by heating and pressurizing the laminated insulating resin sheet with a metal plate or metal roll And (3) the above-mentioned [1] or [2] used in a method for producing a multilayer printed wiring board comprising a thermosetting step of forming an insulating layer by thermosetting a smoothed insulating resin sheet The insulating resin sheet as described.
[4] The above-mentioned [3], wherein the glass transition temperature of the cured prepreg is (P-18) or higher when the higher one of the temperature of the laminating step and the temperature of the smoothing step is P ° C. Insulating resin sheet.
[5] The above-mentioned [3], wherein the glass transition temperature of the cured prepreg is (P-12) or higher when the higher one of the temperature in the laminating step and the temperature in the smoothing step is P ° C. Insulating resin sheet.
[6] The above-mentioned [3], wherein the glass transition temperature of the cured prepreg is (P-10) or higher when the higher one of the temperature of the laminating step and the temperature of the smoothing step is P ° C. Insulating resin sheet.
[7] The insulating resin sheet according to any one of [1] to [6], wherein a protective film is formed on one side or both sides of the thermosetting resin composition layer.
[8] The insulating resin sheet according to the above [7], wherein the protective film is a polyethylene terephthalate film.
[9] A multilayer printed wiring board in which an insulating layer is formed of the insulating resin sheet according to any one of [1] to [8].
[10] (1) The insulating resin sheet according to any one of the above [1] to [8] is disposed on the inner circuit board so that the thermosetting resin composition layer is in contact with both surfaces or one surface of the inner circuit board. , By laminating on the inner circuit board by heating and pressurizing through an elastic material under reduced pressure, (2) by heating and pressurizing the laminated insulating resin sheet with a metal plate or a metal roll A method for producing a multilayer printed wiring board, comprising: a smoothing step of smoothing the insulating resin sheet; and (3) a thermosetting step of forming an insulating layer by thermosetting the smoothed insulating resin sheet.
[11] The method according to [10], wherein the insulating resin sheet is heated and pressed from above the protective film in the laminating step and the smoothing step.
[12] Drilling step for drilling in the insulating layer, roughening step for roughening the insulating layer, plating step for forming a conductor layer by plating on the surface of the roughened insulating layer, and circuit for forming a circuit in the conductor layer The production method according to the above [10] or [11], further comprising a forming step.

真空ラミネーターにより内層回路基板にラミネートした場合でも、内層回路基板の回路凹凸に、絶縁樹脂シートが十分に追従し、回路凹凸の埋め込み性も良好である。また、ラミネート後に、絶縁樹脂シート表面を平滑化した場合でも、回路凹凸を反映して樹脂組成物層の厚みが薄くなる現象を抑制することができる。よって、本発明によれば、熱硬化により絶縁層が形成された後、絶縁層表面を粗化しても、プリプレグの繊維基材が露出することがなく、めっきによる導体層形成を良好に行うことができ、信頼性の高い多層プリント配線板を製造することが可能となる。   Even when laminated on the inner layer circuit board by a vacuum laminator, the insulating resin sheet sufficiently follows the circuit irregularities of the inner layer circuit board, and the embedding property of the circuit irregularities is also good. Further, even when the surface of the insulating resin sheet is smoothed after lamination, the phenomenon that the thickness of the resin composition layer is reduced reflecting circuit irregularities can be suppressed. Therefore, according to the present invention, after the insulating layer is formed by thermosetting, even if the surface of the insulating layer is roughened, the fiber base material of the prepreg is not exposed, and the conductor layer can be satisfactorily formed by plating. And a highly reliable multilayer printed wiring board can be manufactured.

以下、本発明を好適な実施形態に即して説明する。   Hereinafter, the present invention will be described with reference to preferred embodiments.

本発明における「硬化プリプレグ」とは、シート状繊維基材に熱硬化性樹脂組成物を含浸したプリプレグを熱硬化したものである。熱硬化性樹脂組成物は必ずしも完全に熱硬化されている必要はなく、本発明の効果が発揮される程度に硬化されていればよい。プリント配線板等の絶縁層形成に用いられる一般のプリプレグは、通常、内層回路基板へ積層されるラミネート工程等において、接着性が維持されている必要がある。そのため、一般のプリプレグに含浸された熱硬化性樹脂組成物は、流動性(フロー性)を有する。従って、このような一般のプリプレグは、例えば、Bステージであっても、含浸された熱硬化性樹脂組成物の反応度が硬化プリプレグに比べて著しく低く、そのガラス転移温度は、通常、測定不可能である。また、測定可能である場合でも、そのガラス転移温度は、少なくとも室温以下である。   The “cured prepreg” in the present invention is obtained by thermosetting a prepreg obtained by impregnating a sheet-like fiber base material with a thermosetting resin composition. The thermosetting resin composition does not necessarily need to be completely thermoset, and may be cured to such an extent that the effects of the present invention are exhibited. A general prepreg used for forming an insulating layer such as a printed wiring board usually needs to maintain adhesion in a laminating process or the like laminated on an inner circuit board. Therefore, the thermosetting resin composition impregnated in a general prepreg has fluidity (flowability). Therefore, even if such a general prepreg is, for example, the B stage, the reactivity of the impregnated thermosetting resin composition is significantly lower than that of the cured prepreg, and its glass transition temperature is usually not measured. Is possible. Moreover, even when it is measurable, the glass transition temperature is at least room temperature or lower.

本発明の絶縁樹脂シートを用いて多層プリント配線板を製造する場合、一般に、(1)絶縁樹脂シートを熱硬化性樹脂組成物層が内層回路基板の両面又は片面に接するように内層回路基板に配置し、減圧下で、弾性材を介して加熱及び加圧することにより、内層回路基板上に積層するラミネート工程、(2)積層された絶縁樹脂シートを、金属板又は金属ロールにより加熱及び加圧する平滑化工程、及び、(3)平滑化された絶縁樹脂シートを熱硬化することにより、絶縁層を形成する熱硬化工程を経て製造される。この際、硬化プリプレグのガラス転移温度が低すぎると、ラミネート工程及び/又は平滑化工程において、シート状繊維基材の硬化物による保持能力が低下し、シート状繊維基材の膨張による該基材の露出の問題が顕在化する傾向にある。したがって、硬化プリプレグの硬化は、ラミネート工程及び平滑化工程において、シート状繊維基材の膨張による露出が起こらないよう、十分に高いガラス転移温度を有するようになるまで硬化するのが好ましい。適切なガラス転移温度は、ラミネート工程及び平滑化工程の温度によっても異なるが、好ましくはラミネート工程の温度及び平滑化工程の温度の何れか高い方をP℃とした場合、(P−18)℃以上であり、より好ましくは(P−12)℃以上であり、最も好ましくは(P−10)℃以上である。なお、本願でいう「ラミネート工程の温度」及び「平滑化工程の温度」とは、より詳細には、それぞれラミネート工程おいて加熱する際の最高温度、及び平滑化工程おいて加熱する際の最高温度をいう。例えば、ラミネート工程及び平滑化工程がいずれも120℃で行われた場合、熱硬化性樹脂組成物のガラス転移温度は、少なくとも102℃以上とする必要がある。一般に、ラミネート工程及び平滑化工程は少なくとも70℃以上で行われるので、具体的には、ガラス転移温度は少なくとも52℃以上である必要がある。ガラス転移温度の上限は特に限定されないが、一般に硬化した熱硬化性樹脂組成物のガラス転移温度は300℃以下となることが多く、これを一般的な上限値とすることができる。
なお、例えば、上記のように、52℃以上のガラス転移温度が観測される程度までプリプレグを硬化した場合、そのプリプレグに含浸されている熱硬化性樹脂組成物は、ラミネート工程で実質的に流動性を有しないか、あるいは、ほとんど流動せず、接着性もない。そのため、この硬化プリプレグ(例えば、52℃以上のガラス転移温度が観測される程度まで硬化したプリプレグ)を、その両面に熱硬化性樹脂組成物層を形成することなく単独で、内層回路基板に積層し、回路の埋め込みを行い、絶縁層を形成させることは不可能である。この点において、硬化プリプレグは、プリント配線板等の絶縁層形成に用いられる一般のプリプレグと明確に区別される。
When producing a multilayer printed wiring board using the insulating resin sheet of the present invention, generally, (1) the insulating resin sheet is applied to the inner layer circuit board so that the thermosetting resin composition layer is in contact with both surfaces or one surface of the inner circuit board. Laminating step of laminating and laminating on the inner circuit board by placing and heating and pressurizing through an elastic material under reduced pressure, (2) heating and pressurizing the laminated insulating resin sheet with a metal plate or a metal roll It is manufactured through a smoothing step and (3) a thermosetting step of forming an insulating layer by thermosetting the smoothed insulating resin sheet. At this time, if the glass transition temperature of the cured prepreg is too low, in the laminating step and / or smoothing step, the holding ability of the sheet-like fiber substrate by the cured product is lowered, and the substrate is caused by the expansion of the sheet-like fiber substrate. There is a tendency for exposure problems to become apparent. Therefore, the cured prepreg is preferably cured until it has a sufficiently high glass transition temperature so that exposure due to expansion of the sheet-like fiber substrate does not occur in the laminating step and the smoothing step. The appropriate glass transition temperature varies depending on the temperature of the laminating step and the smoothing step, but preferably (P-18) ° C. when the higher one of the temperature of the laminating step and the temperature of the smoothing step is P ° C. It is above, More preferably, it is (P-12) degree C or more, Most preferably, it is (P-10) degree C or more. In addition, the “temperature of the laminating process” and the “temperature of the smoothing process” in the present application are more specifically the maximum temperature when heating in the laminating process and the maximum temperature when heating in the smoothing process, respectively. Refers to temperature. For example, when the laminating step and the smoothing step are both performed at 120 ° C., the glass transition temperature of the thermosetting resin composition needs to be at least 102 ° C. or higher. In general, since the laminating step and the smoothing step are performed at least at 70 ° C. or higher, specifically, the glass transition temperature needs to be at least 52 ° C. or higher. The upper limit of the glass transition temperature is not particularly limited, but the glass transition temperature of a generally cured thermosetting resin composition is often 300 ° C. or less, and this can be set as a general upper limit.
For example, as described above, when the prepreg is cured to such an extent that a glass transition temperature of 52 ° C. or higher is observed, the thermosetting resin composition impregnated in the prepreg substantially flows in the laminating step. Or has little or no adhesion. Therefore, this cured prepreg (for example, a prepreg cured to such an extent that a glass transition temperature of 52 ° C. or higher is observed) is laminated on the inner circuit board alone without forming a thermosetting resin composition layer on both sides. However, it is impossible to form an insulating layer by embedding a circuit. In this respect, the cured prepreg is clearly distinguished from a general prepreg used for forming an insulating layer such as a printed wiring board.

本願でいう「ガラス転移温度」とは、耐熱性を示す値であり、JIS K 7179に記載の方法にしたがって決定され、具体的には、熱機械分析(TMA)、動的機械分析(DMA)などを用いて測定される。熱機械分析(TMA)としては、例えば、TMA−SS6100(セイコーインスツルメンツ社製)、TMA−8310(リガク株式会社製)などが挙げられ、動的機械分析(DMA)としては、例えば、DMS−6100(セイコーインスツルメンツ社製)などが挙げられる。また、ガラス転移温度が分解温度よりも高く、実際にはガラス転移温度が観測されない場合には、分解温度を本願におけるガラス転移温度とみなすことができる。なお、ここでいう分解温度とは、JIS K 7120に記載の方法にしたがって測定したときの質量減少率が5%となる温度で定義される。   The “glass transition temperature” as used in the present application is a value indicating heat resistance, and is determined according to the method described in JIS K 7179. Specifically, thermomechanical analysis (TMA), dynamic mechanical analysis (DMA) It is measured using etc. Examples of thermomechanical analysis (TMA) include TMA-SS6100 (manufactured by Seiko Instruments Inc.), TMA-8310 (manufactured by Rigaku Corporation), and the like. Examples of dynamic mechanical analysis (DMA) include DMS-6100. (Manufactured by Seiko Instruments Inc.). Further, when the glass transition temperature is higher than the decomposition temperature and the glass transition temperature is not actually observed, the decomposition temperature can be regarded as the glass transition temperature in the present application. The decomposition temperature here is defined as a temperature at which the mass reduction rate is 5% when measured according to the method described in JIS K 7120.

シート状繊維基材としては、例えばガラスクロス、アラミド不織布、液晶ポリマー不織布等のプリプレグ用基材として常用されているものを用いることができる。特に、多層プリント配線板の絶縁層形成に用いる場合には、厚さが30μm以下の薄型のものが好適に用いられ、特に10〜30μmのものが好ましい。シート状繊維基材の具体的な例としては、ガラスクロス基材として、例えば、旭シュエーベル社(株)製スタイル1027MS(経糸密度75本/25mm、緯糸密度75本/25mm、布重量20g/m、厚さ19μm)、旭シュエーベル社(株)製スタイル1037MS(経糸密度70本/25mm、緯糸密度73本/25mm、布重量24g/m、厚さ28μm)、(株)有沢製作所製1037NS(経糸密度72本/25mm、緯糸密度69本/25mm、布重量23g/m、厚さ21μm)、(株)有沢製作所製1027NS(経糸密度75本/25mm、緯糸密度75本/25mm、布重量19.5g/m、厚さ16μm)、(株)有沢製作所製1015NS(経糸密度95本/25mm、緯糸密度95本/25mm、布重量17.5g/m、厚さ15μm)、(株)有沢製作所製1000NS(経糸密度85本/25mm、緯糸密度85本/25mm、布重量11g/m、厚さ10μm)などが挙げられる。また液晶ポリマー不織布として、(株)クラレ製の芳香族ポリエステル不織布のメルトブロー法によるベクルス(目付け量6〜15g/m)やベクトランなどが挙げられる。
シート状繊維基材としては、ガラスクロスが汎用されている。多層プリント配線板に使用するガラスクロスは、一般に、ガラスフィラメントを数十〜数百本束ねたヤーンを自動織機等により織り込むことにより製造され、通常、ヤーンを束ねる際にヤーンのほつれ・ケバを防止するために撚りがかけられる。そのため、プリプレグにおいて、一部のガラスファイバーが均等に配列せず、重なる場所が局所的に存在するようになる。このガラスファイバーが重なった場所は、それ以外の場所に比較して、ガラスクロスの厚みが大きい。また、プリプレグ製造工程において、ガラスクロスのたるみ等により、ガラスクロスがプリプレグの中心ではなく、表面近傍に存在することがある。一般に、絶縁樹脂シートにおけるシート状繊維基材の露出は、このようにシート状繊維基材の厚さが局所的に大きい部分や、シート状繊維基材の一部が表面近傍にある箇所で特に顕著に現れやすい。
As a sheet-like fiber base material, what is conventionally used as a base material for prepregs, such as a glass cloth, an aramid nonwoven fabric, a liquid crystal polymer nonwoven fabric, can be used, for example. In particular, when it is used for forming an insulating layer of a multilayer printed wiring board, a thin one having a thickness of 30 μm or less is preferably used, and particularly preferably 10 to 30 μm. As a specific example of the sheet-like fiber base material, as a glass cloth base material, for example, Asahi Sebel Co., Ltd. Style 1027MS (warp density 75/25 mm, weft density 75/25 mm, fabric weight 20 g / m 2 , thickness 19 μm), Asahi Sebel Co., Ltd. style 1037MS (warp density 70/25 mm, weft density 73/25 mm, fabric weight 24 g / m 2 , thickness 28 μm), Arisawa Seisakusho 1037 NS (War density: 72/25 mm, Weft density: 69/25 mm, Fabric weight: 23 g / m 2 , Thickness: 21 μm), Arisawa Seisakusho 1027NS (War density: 75/25 mm, Weft density: 75/25 mm, Fabric (Weight: 19.5 g / m 2 , thickness: 16 μm), Arisawa Seisakusho 1015NS (warp density 95/25 mm, weft density 95/25 mm) , Cloth weight 17.5 g / m 2 , thickness 15 μm), 1000 NS manufactured by Arisawa Manufacturing Co., Ltd. (warp density 85/25 mm, weft density 85/25 mm, cloth weight 11 g / m 2 , thickness 10 μm) Can be mentioned. Examples of the liquid crystal polymer non-woven fabric include vesicles of an aromatic polyester non-woven fabric manufactured by Kuraray Co., Ltd. (weight per unit area: 6 to 15 g / m 2 ) and Vectran.
As a sheet-like fiber substrate, glass cloth is widely used. Glass cloth used for multilayer printed wiring boards is generally manufactured by weaving yarns with several tens to hundreds of glass filaments bundled with an automatic loom, etc., and usually prevents yarn fraying and scuffing when the yarns are bundled. To be twisted. For this reason, in the prepreg, some glass fibers are not evenly arranged, and overlapping places locally exist. The place where the glass fibers overlap is thicker than the other places. In addition, in the prepreg manufacturing process, the glass cloth may exist not in the center of the prepreg but in the vicinity of the surface due to the slack of the glass cloth. In general, the exposure of the sheet-like fiber base material in the insulating resin sheet is particularly at a portion where the thickness of the sheet-like fiber base material is locally large, or where a part of the sheet-like fiber base material is in the vicinity of the surface. Remarkably easy to appear.

シート状繊維基材に含浸させる熱硬化性樹脂組成物としては、多層プリント配線板の絶縁層に適するものであれば、特に制限なく使用できる。かかる熱硬化性樹脂組成物の具体例としては、エポキシ樹脂、シアネートエステル樹脂、フェノール樹脂、ビスマレイミド−トリアジン樹脂、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、ビニルベンジル樹脂等の熱硬化性樹脂とその硬化剤とを、少なくとも含有する組成物が挙げられる。それらの中でも、熱硬化性樹脂としてエポキシ樹脂を含有する組成物が好ましく、例えば、エポキシ樹脂、熱可塑性樹脂及び硬化剤を含有する組成物が好ましい。   The thermosetting resin composition impregnated into the sheet-like fiber base material can be used without particular limitation as long as it is suitable for the insulating layer of the multilayer printed wiring board. Specific examples of such a thermosetting resin composition include an epoxy resin, a cyanate ester resin, a phenol resin, a bismaleimide-triazine resin, a polyimide resin, an acrylic resin, a vinylbenzyl resin, and a curing agent thereof. And a composition containing at least. Among them, a composition containing an epoxy resin as the thermosetting resin is preferable, and for example, a composition containing an epoxy resin, a thermoplastic resin, and a curing agent is preferable.

エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、リン含有エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、脂肪族鎖状エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、ビスフェノールのジグリシジルエーテル化物、ナフタレンジオールのジグリシジルエーテル化物、フェノール類のグリシジルエーテル化物、及びアルコール類のジグリシジルエーテル化物、並びにこれらのエポキシ樹脂のアルキル置換体、ハロゲン化物及び水素添加物等が挙げられる。これらのエポキシ樹脂は、いずれか1種のみを単独で使用してもよく、2種以上を混合して使用してもよい。   Examples of the epoxy resin include bisphenol A type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, phosphorus-containing epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, and alicyclic epoxy resin. , Aliphatic chain epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, bisphenol A novolak type epoxy resin, epoxy resin having butadiene structure, diglycidyl etherified product of bisphenol, diglycidyl etherified product of naphthalenediol, phenol Glycidyl etherified products of alcohols, diglycidyl etherified products of alcohols, and alkyl-substituted products, halides and hydrogenated products of these epoxy resins. It is. These epoxy resins may be used alone or in combination of two or more.

エポキシ樹脂は、これらの中でも、耐熱性、絶縁信頼性、金属膜との密着性の観点から、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂が好ましい。かかるエポキシ樹脂の具体例としては、液状ビスフェノールA型エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン(株)製「エピコート828EL」)、ナフタレン型2官能エポキシ樹脂(大日本インキ化学工業(株)製「HP4032」、「HP4032D])、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂(大日本インキ化学工業(株)製「HP4700」)、ナフトール型エポキシ樹脂(東都化成(株)製「ESN−475V」)、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂(ダイセル化学工業(株)製「PB−3600」)、ビフェニル構造を有するエポキシ樹脂(日本化薬(株)製「NC3000H」、「NC3000L」、ジャパンエポキシレジン(株)製「YX4000」)などが挙げられる。   Among these, the epoxy resin has a bisphenol A type epoxy resin, a naphthol type epoxy resin, a naphthalene type epoxy resin, a biphenyl type epoxy resin, and a butadiene structure from the viewpoint of heat resistance, insulation reliability, and adhesion to a metal film. Epoxy resins are preferred. Specific examples of such an epoxy resin include a liquid bisphenol A type epoxy resin (“Epicoat 828EL” manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.), a naphthalene type bifunctional epoxy resin (“HP4032” manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.), “ HP4032D]), naphthalene type tetrafunctional epoxy resin (“HP4700” manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.), naphthol type epoxy resin (“ESN-475V” manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd.), epoxy resin having a butadiene structure ( "PB-3600" manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), epoxy resins having a biphenyl structure ("NC3000H", "NC3000L" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., "YX4000" manufactured by Japan Epoxy Resins Co., Ltd.), etc.) It is done.

熱硬化性樹脂組成物には、硬化後の樹脂組成物に適度な可撓性を付与すること等を目的として、熱可塑性樹脂を配合することができる。かかる熱可塑性樹脂としては、例えば、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルスルホン、ポリスルホン等が挙げられる。これらの熱可塑性樹脂は、いずれか1種のみを単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。当該熱可塑性樹脂は、熱硬化性樹脂組成物の不揮発成分を100質量%としたとき、0.5〜60質量%の割合で配合するのが好ましく、3〜50質量%の割合で配合するのがより好ましい。   A thermoplastic resin can be blended with the thermosetting resin composition for the purpose of imparting appropriate flexibility to the cured resin composition. Examples of the thermoplastic resin include phenoxy resin, polyvinyl acetal resin, polyimide, polyamideimide, polyethersulfone, polysulfone, and the like. Any one of these thermoplastic resins may be used alone, or two or more thereof may be used in combination. The thermoplastic resin is preferably blended at a rate of 0.5 to 60% by weight, preferably 3 to 50% by weight, when the nonvolatile component of the thermosetting resin composition is 100% by weight. Is more preferable.

フェノキシ樹脂の市販品としては、例えば、東都化成(株)製FX280、FX293、ジャパンエポキシレジン(株)製YX8100、YL6954、YL6974等が挙げられる。   Examples of commercially available phenoxy resins include FX280 and FX293 manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., YX8100, YL6954, and YL6974 manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.

ポリビニルアセタール樹脂としては、ポリビニルブチラール樹脂が好ましく、かかるポリビニルアセタール樹脂の市販品としては、例えば、電気化学工業(株)製、電化ブチラール4000−2、5000−A、6000−C、6000−EP、積水化学工業(株)製エスレックBHシリーズ、BXシリーズ、KSシリーズ、BLシリーズ、BMシリーズ等が挙げられる。   As the polyvinyl acetal resin, a polyvinyl butyral resin is preferable. Examples of commercially available polyvinyl acetal resin include, for example, Denka Butyral 4000-2, 5000-A, 6000-C, 6000-EP, manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd. Sekisui Chemical Co., Ltd. S REC BH series, BX series, KS series, BL series, BM series, etc. are mentioned.

ポリイミドの市販品としては、例えば、新日本理化(株)製のポリイミド「リカコートSN20」及び「リカコートPN20」が挙げられる。また、2官能性ヒドロキシル基末端ポリブタジエン、ジイソシアネート化合物及び四塩基酸無水物を反応させて得られる線状ポリイミド(特開2006−37083号公報に記載のもの)、ポリシロキサン骨格含有ポリイミド(特開2002−12667号公報、特開2000−319386号公報等に記載のもの)等の変性ポリイミドが挙げられる。   As a commercial item of polyimide, for example, polyimide “Rika Coat SN20” and “Rika Coat PN20” manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd. may be mentioned. Also, linear polyimides (described in JP-A-2006-37083) obtained by reacting a bifunctional hydroxyl group-terminated polybutadiene, a diisocyanate compound and a tetrabasic acid anhydride, and polysiloxane skeleton-containing polyimides (JP-A-2002). Modified polyimides such as those described in JP-A No. 12667 and JP-A No. 2000-319386.

ポリアミドイミドの市販品としては、例えば、東洋紡績(株)製のポリアミドイミド「バイロマックスHR11NN」及び「バイロマックスHR16NN」が挙げられる。また、日立化成工業(株)製のポリシロキサン骨格含有ポリアミドイミド「KS9100」、「KS9300」等の変性ポリアミドイミドが挙げられる。   Examples of commercially available polyamideimides include polyamideimides “Vilomax HR11NN” and “Vilomax HR16NN” manufactured by Toyobo Co., Ltd. In addition, modified polyamideimides such as polysiloxane skeleton-containing polyamideimides “KS9100” and “KS9300” manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd. may be mentioned.

ポリエーテルスルホンの市販品としては、例えば、住友化学(株)社製のポリエーテルスルホン「PES5003P」等が挙げられる。   Examples of commercially available products of polyethersulfone include polyethersulfone “PES5003P” manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.

ポリスルホンの市販品としては、例えば、ソルベンアドバンストポリマーズ(株)社製のポリスルホン「P1700」、「P3500」等が挙げられる。   Examples of commercially available products of polysulfone include polysulfone “P1700” and “P3500” manufactured by Solven Advanced Polymers Co., Ltd.

硬化剤としては、例えば、アミン系硬化剤、グアニジン系硬化剤、イミダゾール系硬化剤、フェノール系硬化剤、ナフトール系硬化剤、酸無水物系硬化剤又はこれらのエポキシアダクトやマイクロカプセル化したもの、シアネートエステル樹脂等が挙げられる。それらの中でも、フェノール系硬化剤、ナフトール系硬化剤、シアネートエステル樹脂が好ましい。これらの硬化剤は、いずれか1種のみを単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。   Examples of the curing agent include amine-based curing agents, guanidine-based curing agents, imidazole-based curing agents, phenol-based curing agents, naphthol-based curing agents, acid anhydride-based curing agents, or epoxy adducts and microcapsules thereof. Examples include cyanate ester resins. Among these, a phenol type curing agent, a naphthol type curing agent, and a cyanate ester resin are preferable. These curing agents may be used alone or in combination of two or more.

フェノール系硬化剤、ナフトール系硬化剤の市販品としては、例えば、MEH−7700、MEH−7810、MEH−7851(明和化成(株)製)、NHN、CBN、GPH(日本化薬(株)製)、SN170、SN180、SN190、SN475、SN485、SN495、SN375、SN395(東都化成(株)製)、LA7052、LA7054、LA3018、LA1356(大日本インキ化学工業(株)製)等が挙げられる。   As a commercial item of a phenol type hardening | curing agent and a naphthol type hardening | curing agent, for example, MEH-7700, MEH-7810, MEH-7851 (made by Meiwa Kasei Co., Ltd.), NHN, CBN, GPH (made by Nippon Kayaku Co., Ltd.) ), SN170, SN180, SN190, SN475, SN485, SN495, SN375, SN395 (manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd.), LA7052, LA7054, LA3018, LA1356 (manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.), and the like.

シアネートエステル樹脂としては、例えば、ビスフェノールAジシアネート、ポリフェノールシアネート(オリゴ(3−メチレン−1,5−フェニレンシアネート)、4,4’−メチレンビス(2,6−ジメチルフェニルシアネート)、4,4’−エチリデンジフェニルジシアネート、ヘキサフルオロビスフェノールAジシアネート、2,2−ビス(4−シアネート)フェニルプロパン、1,1−ビス(4−シアネートフェニルメタン)、ビス(4−シアネート−3,5−ジメチルフェニル)メタン、1,3−ビス(4−シアネートフェニル−1−(メチルエチリデン))ベンゼン、ビス(4−シアネートフェニル)チオエーテル、ビス(4−シアネートフェニル)エーテル等の2官能シアネート樹脂、フェノールノボラック、クレゾールノボラック等から誘導される多官能シアネート樹脂、これらシアネート樹脂が一部トリアジン化したプレポリマー等が挙げられる。かかるシアネートエステル樹脂の具体例としては、フェノールノボラック型多官能シアネートエステル樹脂(ロンザジャパン(株)製「PT30」、シアネート当量124)やビスフェノールAジシアネートの一部又は全部がトリアジン化され三量体となったプレポリマー(ロンザジャパン(株)製「BA230」、シアネート当量232)等が挙げられる。   Examples of the cyanate ester resin include bisphenol A dicyanate, polyphenol cyanate (oligo (3-methylene-1,5-phenylene cyanate), 4,4′-methylenebis (2,6-dimethylphenyl cyanate), 4,4′- Ethylidene diphenyl dicyanate, hexafluorobisphenol A dicyanate, 2,2-bis (4-cyanate) phenylpropane, 1,1-bis (4-cyanatephenylmethane), bis (4-cyanate-3,5-dimethylphenyl) Bifunctional cyanate resins such as methane, 1,3-bis (4-cyanatephenyl-1- (methylethylidene)) benzene, bis (4-cyanatephenyl) thioether, bis (4-cyanatephenyl) ether, phenol novolac, cresol No Examples thereof include polyfunctional cyanate resins derived from racks, prepolymers in which these cyanate resins are partially triazines, etc. Specific examples of such cyanate ester resins include phenol novolac type polyfunctional cyanate ester resins (Lonza Japan Ltd.). ) “PT30”, cyanate equivalent 124), or a prepolymer in which a part or all of bisphenol A dicyanate is triazine-modified into a trimer (“BA230” manufactured by Lonza Japan Co., Ltd., cyanate equivalent 232), and the like. .

エポキシ樹脂と硬化剤の配合比率は、フェノール系硬化剤又はナフトール系硬化剤を用いる場合は、エポキシ樹脂のエポキシ当量1に対してこれら硬化剤のフェノール性水酸基当量が0.4〜2.0の範囲となる比率が好ましく、より好ましくは0.5〜1.0の範囲となる比率である。シアネートエステル樹脂を用いる場合は、エポキシ当量1に対してシアネート当量が0.3〜3.3の範囲となる比率が好ましく、0.5〜2.0の範囲となる比率がより好ましい。   The mixing ratio of the epoxy resin and the curing agent is such that when a phenolic curing agent or a naphthol curing agent is used, the phenolic hydroxyl group equivalent of these curing agents is 0.4 to 2.0 with respect to the epoxy equivalent 1 of the epoxy resin. The ratio that is in the range is preferable, and the ratio that is in the range of 0.5 to 1.0 is more preferable. When using a cyanate ester resin, a ratio in which the cyanate equivalent is in the range of 0.3 to 3.3 with respect to the epoxy equivalent 1 is preferable, and a ratio in the range of 0.5 to 2.0 is more preferable.

熱硬化性樹脂組成物には、硬化剤に加え、硬化促進剤をさらに含有させることができる。かかる硬化促進剤としては、例えば、イミダゾール系化合物、有機ホスフィン系化合物等が挙げられ、具体例としては、2−メチルイミダゾール、トリフェニルホスフィン等が挙げられる。硬化促進剤を用いる場合、硬化促進剤はエポキシ樹脂に対して0.1〜3.0質量%の範囲で用いるのが好ましい。なお、エポキシ樹脂硬化剤としてシアネートエステル樹脂を使用する場合には、硬化時間を短縮する目的で、従来からエポキシ樹脂組成物とシアネート化合物とを併用した系において硬化触媒として用いられている有機金属化合物を、添加してもよい。このような有機金属化合物としては、例えば、銅(II)アセチルアセトナート等の有機銅化合物、亜鉛(II)アセチルアセトナート等の有機亜鉛化合物、コバルト(II)アセチルアセトナート、コバルト(III)アセチルアセトナート等の有機コバルト化合物などが挙げられる。これらの有機金属化合物は、いずれか1種のみを単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。有機金属化合物の添加量は、シアネートエステル樹脂に対し、金属換算で通常10〜500ppmの範囲であることが好ましく、25〜200ppmの範囲であることがより好ましい。   The thermosetting resin composition may further contain a curing accelerator in addition to the curing agent. Examples of the curing accelerator include imidazole compounds and organic phosphine compounds, and specific examples include 2-methylimidazole and triphenylphosphine. When using a hardening accelerator, it is preferable to use a hardening accelerator in 0.1-3.0 mass% with respect to an epoxy resin. When using a cyanate ester resin as an epoxy resin curing agent, an organometallic compound conventionally used as a curing catalyst in a system in which an epoxy resin composition and a cyanate compound are used together for the purpose of shortening the curing time. May be added. Examples of such organometallic compounds include organic copper compounds such as copper (II) acetylacetonate, organic zinc compounds such as zinc (II) acetylacetonate, cobalt (II) acetylacetonate, and cobalt (III) acetyl. Examples include organic cobalt compounds such as acetonate. These organic metal compounds may be used alone or in combination of two or more. The amount of the organometallic compound added is usually in the range of 10 to 500 ppm, more preferably in the range of 25 to 200 ppm in terms of metal, relative to the cyanate ester resin.

また、熱硬化性樹脂組成物には、硬化後の樹脂組成物の低熱膨張化のために、無機充填剤を含有させることができる。かかる無機充填剤としては、例えば、シリカ、アルミナ、雲母、マイカ、珪酸塩、硫酸バリウム、水酸化マグネシウム、酸化チタン等が挙げられ、これらの中でも、シリカ、アルミナが好ましく、シリカが特に好ましい。なお、無機充填剤の平均粒径は、絶縁信頼性の観点から、3μm以下が好ましく、1.5μm以下が特に好ましい。無機充填剤の含有量は、熱硬化性樹脂組成物の不揮発成分を100質量%とした時、好ましくは20〜60質量%であり、より好ましくは20〜50質量%である。   Further, the thermosetting resin composition can contain an inorganic filler in order to reduce the thermal expansion of the cured resin composition. Examples of the inorganic filler include silica, alumina, mica, mica, silicate, barium sulfate, magnesium hydroxide, titanium oxide, and the like. Among these, silica and alumina are preferable, and silica is particularly preferable. The average particle size of the inorganic filler is preferably 3 μm or less, and particularly preferably 1.5 μm or less, from the viewpoint of insulation reliability. The content of the inorganic filler is preferably 20 to 60% by mass, and more preferably 20 to 50% by mass when the nonvolatile component of the thermosetting resin composition is 100% by mass.

さらに、熱硬化性樹脂組成物には、必要に応じて他の成分を含有させることができる。他の成分としては、例えば、有機リン系難燃剤、有機系窒素含有リン化合物、窒素化合物、シリコーン系難燃剤、金属水酸化物等の難燃剤;シリコンパウダー、ナイロンパウダー、フッ素パウダー等の有機充填剤;オルベン、ベントン等の増粘剤;シリコーン系、フッ素系等の高分子系消泡剤又はレベリング剤;イミダゾール系、チアゾール系、トリアゾール系、シラン系カップリング剤等の密着性付与剤;フタロシアニン・ブルー、フタロシアニン・グリーン、アイオジン・グリーン、ジスアゾイエロー、カーボンブラック等の着色剤等が挙げられる。   Furthermore, the thermosetting resin composition can contain other components as necessary. Other components include, for example, organic phosphorus flame retardants, organic nitrogen-containing phosphorus compounds, nitrogen compounds, silicone flame retardants, flame retardants such as metal hydroxides; organic filling such as silicon powder, nylon powder, fluorine powder, etc. Agents; thickeners such as olben and benton; silicone-based, fluorine-based and other polymeric antifoaming agents or leveling agents; imidazole-based, thiazole-based, triazole-based, and silane-based coupling agents; phthalocyanine -Coloring agents such as blue, phthalocyanine green, iodin green, disazo yellow, carbon black and the like.

本発明の硬化プリプレグは、自体公知の製造方法により製造された通常のプリプレグを熱硬化することによって得ることができる。   The cured prepreg of the present invention can be obtained by thermosetting an ordinary prepreg produced by a production method known per se.

通常のプリプレグの製造方法としては、例えば、公知のホットメルト法、ソルベント法などを挙げることができる。ホットメルト法とは、熱硬化性樹脂組成物を有機溶剤に溶解することなく、熱硬化性樹脂組成物を該組成物と剥離性の良い離型紙に一旦コーティングし、それをガラスクロスにラミネートする、あるいはダイコータにより直接塗工する等して、プリプレグを製造する方法である。またソルベント法とは、熱硬化性樹脂組成物を有機溶剤に溶解した樹脂組成物ワニスにシート状繊維基材を浸漬することにより、樹脂組成物ワニスをシート状繊維基材に含浸させ、その後乾燥させる方法である。また、プラスチックフィルム上に積層された熱硬化性樹脂組成物からなる接着フィルム(熱硬化性樹脂組成物フィルム)をシート状繊維基材の両面から加熱、加圧条件下、連続的にラミネートすることで調製することもできる。ワニスを調製する場合の有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、カルビトールアセテート等の酢酸エステル類、セロソルブ、ブチルカルビトール等のカルビトール類、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等が挙げられる。これらの有機溶剤は、いずれか1種のみを単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。   Examples of the usual method for producing a prepreg include known hot melt methods and solvent methods. In the hot melt method, the thermosetting resin composition is once coated on a release paper having good peelability from the composition without dissolving the thermosetting resin composition in an organic solvent, and then laminated on a glass cloth. Alternatively, it is a method for producing a prepreg by direct coating with a die coater or the like. The solvent method is to impregnate the sheet-like fiber substrate with the resin composition varnish by immersing the sheet-like fiber substrate in a resin composition varnish obtained by dissolving the thermosetting resin composition in an organic solvent, and then drying. It is a method to make it. Also, an adhesive film (thermosetting resin composition film) made of a thermosetting resin composition laminated on a plastic film is laminated continuously under heating and pressure conditions from both sides of the sheet-like fiber substrate. Can also be prepared. Examples of the organic solvent for preparing the varnish include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone and cyclohexanone, ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, acetates such as carbitol acetate, cellosolve, butyl Examples thereof include carbitols such as carbitol, aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, dimethylformamide, dimethylacetamide, and N-methylpyrrolidone. These organic solvents may be used alone or in combination of two or more.

ソルベント法における乾燥条件は特に限定されないが、プリプレグ内に有機溶剤が多く残留すると、硬化後に膨れが発生する原因となるため、熱硬化性樹脂組成物中への有機溶剤の含有割合が通常5重量%以下、好ましくは2重量%以下となるように乾燥させる。具体的な乾燥条件は、熱硬化性樹脂組成物の硬化性やワニス中の有機溶媒量によっても異なるが、例えば30〜60重量%の有機溶剤を含むワニスにおいては、通常80〜180℃で3〜13分程度乾燥させることができる。回路基板等に用いる通常のプリプレグは、接着能力を保持するため、乾燥時に熱硬化性樹脂組成物の硬化をできる限り進行させないことが重要となる。一方、本発明においては、熱硬化性樹脂組成物を硬化させた硬化プリプレグを用いる。硬化条件としては、特に限定されず、例えば、硬化温度が130〜200℃、硬化時間が15〜60分の範囲で行うことができる。プリプレグは圧力をかけて圧縮硬化してもよい。また複数重ねて圧縮し硬化してもよい。ソルベント法の場合は、乾燥工程と硬化工程を併せて行って硬化プリプレグを調製してもよい。条件は特に限定されないが、例えば30〜60重量%の有機溶剤を含むワニスにおいては、80〜200℃程度の温度にて5〜40分程度乾燥することにより調製することができる。   The drying conditions in the solvent method are not particularly limited, but if a large amount of organic solvent remains in the prepreg, it will cause swelling after curing, so the content of the organic solvent in the thermosetting resin composition is usually 5% by weight. % Or less, preferably 2% by weight or less. The specific drying conditions vary depending on the curability of the thermosetting resin composition and the amount of the organic solvent in the varnish. For example, in a varnish containing 30 to 60% by weight of an organic solvent, it is usually 3 at 80 to 180 ° C. It can be dried for about 13 minutes. Since a normal prepreg used for a circuit board or the like retains adhesive ability, it is important to prevent the thermosetting resin composition from being cured as much as possible during drying. On the other hand, in the present invention, a cured prepreg obtained by curing a thermosetting resin composition is used. It does not specifically limit as hardening conditions, For example, hardening temperature can be performed in 130-200 degreeC and hardening time in the range of 15-60 minutes. The prepreg may be compression cured by applying pressure. A plurality of layers may be compressed and cured. In the case of the solvent method, a cured prepreg may be prepared by performing a drying step and a curing step together. The conditions are not particularly limited. For example, in a varnish containing 30 to 60% by weight of an organic solvent, it can be prepared by drying at a temperature of about 80 to 200 ° C. for about 5 to 40 minutes.

硬化プリプレグ層の厚さは、特に制限されないが通常12〜70μmが好ましく、使用するガラスクロスのコスト及び絶縁樹脂シートとして所望される薄さの観点から、12〜60μmであることがより好ましい。なお、かかる厚さは、熱硬化性樹脂組成物の含浸量を調整することにより、容易にコントロールすることが出来る。   The thickness of the cured prepreg layer is not particularly limited, but is usually preferably 12 to 70 μm, and more preferably 12 to 60 μm from the viewpoint of the cost of the glass cloth used and the desired thinness as an insulating resin sheet. In addition, this thickness can be easily controlled by adjusting the amount of impregnation of the thermosetting resin composition.

硬化プリプレグ層の両面に形成する熱硬化性樹脂組成物層に用いる熱硬化性樹脂としては、上述のプリプレグに用いるものと同様の熱硬化性樹脂組成物を用いることができる。なお、熱硬化性樹脂組成物層に使用する熱硬化性樹脂組成物の種類は、プリプレグ層に使用する熱硬化性樹脂組成物と同じであっても、異なっていてもよい。また、熱硬化性樹脂組成物層に使用する熱硬化性樹脂組成物は、両面とも同じものを用いてもよく、異なる種類のものを用いてよい。   As the thermosetting resin used for the thermosetting resin composition layer formed on both surfaces of the cured prepreg layer, the same thermosetting resin composition as that used for the prepreg described above can be used. In addition, the kind of thermosetting resin composition used for a thermosetting resin composition layer may be the same as that of the thermosetting resin composition used for a prepreg layer, or may differ. Moreover, the thermosetting resin composition used for a thermosetting resin composition layer may use the same thing on both surfaces, and may use a different kind of thing.

硬化プリプレグ層の両面に熱硬化性樹脂組成物層を形成する方法としては、例えば下記の3つの方法が挙げられる。
第1の方法としては、樹脂ワニスに硬化プリプレグを含浸させて、乾燥させることで熱硬化性樹脂層を形成する方法が挙げられる。なお、かかる樹脂ワニスは、前記した熱硬化性樹脂組成物のワニスと同様のものを用いることができる。該樹脂ワニスの粘度は、25℃において10〜10,000cpsの範囲であることが好ましく、特に100cps〜1000cpsの範囲であることが好ましい。該樹脂ワニスの固形分含量としては、10%〜60%の範囲が良く、更には20%〜50%の範囲が良い。上記の乾燥は、60℃〜150℃で10分〜20分の範囲で行うことが好ましい。
また、第2の方法としては、前記樹脂ワニスを保護フィルムにコーティングし、乾燥させて接着フィルム(熱硬化性樹脂組成物フィルム)を得、続いて、それを硬化のプリプレグの両面にラミネートする方法が挙げられる。かかるコーティングは、膜厚を正確にコントロールするためにも、クローズドタイプのダイコータを用いることが好ましく、乾燥は60℃〜150℃で10分〜20分程度行うことが好ましい。
さらに、第3の方法としては、硬化のプリプレグの一方の面に前記樹脂ワニスを直接塗布及び乾燥し、続いて、他方の面に同樹脂ワニスを塗布及び乾燥する方法が挙げられる。なお、かかる塗布は、膜厚を正確にコントロールするために、クローズドタイプのダイコータを用いることが好ましく、乾燥は60℃〜150℃で10分〜20分程度行うことが好ましい。
Examples of the method for forming the thermosetting resin composition layer on both surfaces of the cured prepreg layer include the following three methods.
As a first method, a method of forming a thermosetting resin layer by impregnating a resin varnish with a cured prepreg and drying it can be mentioned. In addition, as this resin varnish, the thing similar to the varnish of an above described thermosetting resin composition can be used. The viscosity of the resin varnish is preferably in the range of 10 to 10,000 cps at 25 ° C., particularly preferably in the range of 100 cps to 1000 cps. The solid content of the resin varnish is preferably in the range of 10% to 60%, and more preferably in the range of 20% to 50%. The drying is preferably performed at 60 to 150 ° C. for 10 to 20 minutes.
As a second method, the resin varnish is coated on a protective film, dried to obtain an adhesive film (thermosetting resin composition film), and then laminated on both sides of the cured prepreg. Is mentioned. In order to accurately control the film thickness, such coating preferably uses a closed type die coater, and drying is preferably performed at 60 ° C. to 150 ° C. for about 10 minutes to 20 minutes.
Further, as a third method, there is a method in which the resin varnish is directly applied and dried on one surface of a cured prepreg, and then the resin varnish is applied and dried on the other surface. In order to accurately control the film thickness, it is preferable to use a closed type die coater, and drying is preferably performed at 60 ° C. to 150 ° C. for about 10 minutes to 20 minutes.

熱硬化性樹脂組成物層の厚さは、内層回路基板に接する方の層(以下、B層と称することもある)が熱硬化性樹脂組成物層の回路への埋め込み性の観点から1〜50μmであることが好ましく、1〜25μmであることがより好ましい。他方の層(以下、A層と称することもある)は、配線形成の観点から1〜30μmであることが好ましく、1〜25μmであることがより好ましい。また、内層回路基板に接触する方の層(B層)は、内層回路基板の配線部分にボイドなくラミネート又は積層可能な流動性を持つことが必要である。その為には、最低溶融粘度が200〜7000poiseの範囲であることが好ましく、400〜3000poiseの範囲であることが特に好ましい。他方の層(A層)においては、銅配線形成が容易に可能であることが必要となるため、セミアディティブ工法により回路形成が可能であることが求められる。   The thickness of the thermosetting resin composition layer is such that the layer in contact with the inner circuit board (hereinafter also referred to as B layer) is 1 to 1 from the viewpoint of embedding the thermosetting resin composition layer in the circuit. It is preferable that it is 50 micrometers, and it is more preferable that it is 1-25 micrometers. The other layer (hereinafter sometimes referred to as A layer) is preferably 1 to 30 μm, more preferably 1 to 25 μm from the viewpoint of wiring formation. In addition, the layer (B layer) in contact with the inner layer circuit board needs to have fluidity that can be laminated or laminated without voids on the wiring portion of the inner layer circuit board. For that purpose, the minimum melt viscosity is preferably in the range of 200 to 7000 poise, and particularly preferably in the range of 400 to 3000 poise. In the other layer (A layer), it is necessary that the copper wiring can be easily formed. Therefore, it is required that the circuit can be formed by the semi-additive method.

絶縁樹脂シートの厚さは、通常、14〜150μmであることが好ましく、より好ましくは14〜110μmである。絶縁樹脂シートの厚さを14μm未満とすることが出来るようなプリプレグは現状で生産が困難であり、また、絶縁樹脂シートの厚さが150μmを超えると、多層プリント配線板の薄型化に不向きとなる。   In general, the thickness of the insulating resin sheet is preferably 14 to 150 μm, more preferably 14 to 110 μm. A prepreg that can make the thickness of the insulating resin sheet less than 14 μm is difficult to produce at present, and if the thickness of the insulating resin sheet exceeds 150 μm, it is not suitable for thinning the multilayer printed wiring board. Become.

絶縁樹脂シートは、表面の凹みや傷の防止、異物の付着防止などの目的で、両側に保護フィルムが形成されているのが好ましい。かかる保護フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンフィルム等のプラスチックフィルムが好ましい。その厚さは、5μm〜100μmの間が好ましい。なお、ラミネート工程及び平滑化工程においては、装置への樹脂の付着防止の観点から、保護フィルム上から加熱及び加圧するのが好ましい。この場合、保護フィルムとしては、コスト面や耐熱性に優れるPETフィルムを用いるのが好ましい。保護フィルムは、熱硬化性樹脂組成物層の被形成面が離型処理された、離型層を有するものを用いてもよい。離型処理に使用する離型剤としては、例えば、シリコーン系離型剤、アルキッド樹脂系離型剤等が挙げられる。なお、市販されている離型層付きプラスチックフィルムを用いてもよく、好ましいものとしては、例えば、アルキッド樹脂系離型剤を主成分とする離型層を有するPETフィルムである、リンテック(株)製のSK−1、AL−5、AL−7などが挙げられる。また、プラスチックフィルムはマット処理、コロナ処理を施してあってもよく、当該処理面上に離型層を形成してもよい。   The insulating resin sheet preferably has a protective film formed on both sides for the purpose of preventing dents and scratches on the surface and preventing foreign matter from adhering. Such a protective film is preferably a plastic film such as a polyethylene terephthalate (PET) film, a polypropylene film, or a polyethylene film. The thickness is preferably between 5 μm and 100 μm. In the laminating step and the smoothing step, it is preferable to heat and pressurize the protective film from the viewpoint of preventing the resin from adhering to the apparatus. In this case, it is preferable to use a PET film having excellent cost and heat resistance as the protective film. As the protective film, a film having a release layer in which a surface on which the thermosetting resin composition layer is formed is subjected to a release treatment may be used. Examples of the release agent used for the release treatment include a silicone release agent and an alkyd resin release agent. A commercially available plastic film with a release layer may be used, and a preferable one is, for example, a PET film having a release layer mainly composed of an alkyd resin release agent, Lintec Corporation. Examples include SK-1, AL-5, and AL-7. Further, the plastic film may be subjected to mat treatment or corona treatment, and a release layer may be formed on the treated surface.

本発明の多層プリント配線板の製造方法は、絶縁樹脂シートを内層回路基板の少なくとも片面に積層(ラミネート)し、絶縁樹脂シートを硬化して絶縁層を形成する工程を含む。ここで、絶縁樹脂シートの内層回路基板への積層は、基本的に絶縁樹脂シート1枚(1層)を用いて行うが、2枚(2層)以上を積み重ねて積層してもよい。なお、絶縁層の厚さは、基本的に絶縁樹脂シートの厚さ(総厚さ)が踏襲される。したがって、絶縁層の厚さは、通常14〜150μmであり、より好ましくは14〜110μmである。   The method for producing a multilayer printed wiring board of the present invention includes a step of laminating (laminating) an insulating resin sheet on at least one side of an inner layer circuit board, and curing the insulating resin sheet to form an insulating layer. Here, lamination of the insulating resin sheet on the inner layer circuit board is basically performed using one insulating resin sheet (one layer), but two or more (two layers) may be stacked and laminated. Note that the thickness of the insulating layer basically follows the thickness (total thickness) of the insulating resin sheet. Therefore, the thickness of the insulating layer is usually 14 to 150 μm, more preferably 14 to 110 μm.

ラミネート工程においては、絶縁樹脂シートを減圧下で加熱及び加圧し、内層回路基板にラミネートする。ラミネート工程における当該加熱及び加圧は、加熱されたSUS鏡板等の金属板を保護フィルム側からプレスすることにより行うことができる。その際、金属板を直接プレスするのではなく、内層回路基板の回路凹凸に絶縁樹脂シートが十分に追随するよう、耐熱ゴム等の弾性材を介してプレスを行うのが好ましい。金属板と弾性材は必ずしも接している必要はなく、金属板と弾性材間に空気を存在させ、圧縮空気により弾性材に圧力をかけてプレスすることでラミネートを行ってもよい。なお、かかるプレスの温度は、好ましくは70〜140℃であり、より好ましくは80〜130℃である。また、かかるプレスの圧力は、1〜11kgf/cm(9.8×10〜107.9×10N/m)の範囲内であることが好ましい。一般に、ラミネート工程は、ボイドが発生することを防ぐために減圧下で行われ、その空気圧は20mmHg(26.7hPa)以下の減圧下であることが好ましい。 In the laminating step, the insulating resin sheet is heated and pressurized under reduced pressure, and laminated on the inner layer circuit board. The heating and pressurization in the laminating step can be performed by pressing a heated metal plate such as a SUS mirror plate from the protective film side. At that time, it is preferable that the metal plate is not pressed directly, but is pressed through an elastic material such as heat-resistant rubber so that the insulating resin sheet sufficiently follows the circuit irregularities of the inner layer circuit board. The metal plate and the elastic material are not necessarily in contact with each other, and lamination may be performed by pressing air while applying pressure to the elastic material with compressed air in the presence of air between the metal plate and the elastic material. In addition, the temperature of this press becomes like this. Preferably it is 70-140 degreeC, More preferably, it is 80-130 degreeC. The pressure of such a press is preferably in the range of 1~11kgf / cm 2 (9.8 × 10 4 ~107.9 × 10 4 N / m 2). In general, the laminating step is performed under reduced pressure in order to prevent generation of voids, and the air pressure is preferably under a reduced pressure of 20 mmHg (26.7 hPa) or less.

ラミネート工程の後、好ましくは金属板又は金属ロールによる熱プレスにより、ラミネートされた絶縁樹脂シートの平滑化を行う。該平滑化工程は、加熱されたSUS鏡板等の金属板又は金属ロールを用いて、絶縁樹脂シートを加熱及び加圧することにより行われる。該平滑化工程は、常圧下(大気圧下)で行うのが好ましい。また平滑化工程は金属板により行うのがより好ましい。かかる加熱及び加圧条件としては、上記ラミネート工程と同様の条件を用いることができる。   After the laminating step, the laminated insulating resin sheet is smoothed, preferably by hot pressing with a metal plate or metal roll. The smoothing step is performed by heating and pressurizing the insulating resin sheet using a heated metal plate such as a SUS mirror plate or a metal roll. The smoothing step is preferably performed under normal pressure (atmospheric pressure). The smoothing step is more preferably performed with a metal plate. As such heating and pressurizing conditions, the same conditions as in the laminating step can be used.

本発明におけるラミネート工程及び平滑化工程は、市販されている真空ラミネーターによって連続的に行うことができる。市販されている真空ラミネーターとしては、例えば、(株)名機製作所製真空加圧式ラミネーター、ニチゴー・モートン(株)製 バキュームアップリケーター等が挙げられる。   The laminating step and the smoothing step in the present invention can be performed continuously by a commercially available vacuum laminator. Examples of the commercially available vacuum laminator include a vacuum pressure laminator manufactured by Meiki Seisakusho, a vacuum applicator manufactured by Nichigo Morton, and the like.

ラミネート工程及び/又は平滑化工程の後、熱硬化工程を行う。熱硬化工程においては、絶縁樹脂シートを熱硬化し、絶縁層を形成する。熱硬化条件は熱硬化性樹脂組成物の種類等によっても異なるが、一般に硬化温度は150〜200℃の範囲内であり、硬化時間は15〜60分の範囲内である。   After the laminating step and / or the smoothing step, a thermosetting step is performed. In the thermosetting step, the insulating resin sheet is thermoset to form an insulating layer. The thermosetting conditions vary depending on the type of the thermosetting resin composition, but generally the curing temperature is in the range of 150 to 200 ° C., and the curing time is in the range of 15 to 60 minutes.

本発明の多層プリント配線板の製造方法においては、絶縁層に穴あけする穴あけ工程、該絶縁層を粗化処理する粗化工程をさらに含んでもよい。なお、これらの工程は、当業者に公知である、多層プリント配線板の製造に用いられている各種方法に従って行うことができる。また、本発明の多層プリント配線板の製造方法においては、ラミネート工程、平滑化工程、熱硬化工程又は穴あけ工程の後で、残存する保護フィルムを剥離する工程をさらに含んでもよい。離型処理された保護フィルムであれば、熱硬化された絶縁樹脂シート(絶縁層)から剥離することも可能である。保護フィルムの剥離は、手動で剥離してもよく、自動剥離装置により機械的に剥離してもよい。   The method for producing a multilayer printed wiring board of the present invention may further include a drilling step for drilling an insulating layer and a roughening step for roughening the insulating layer. In addition, these processes can be performed according to the various methods used for manufacture of a multilayer printed wiring board well-known to those skilled in the art. Moreover, in the manufacturing method of the multilayer printed wiring board of this invention, the process of peeling the remaining protective film may be further included after a lamination process, a smoothing process, a thermosetting process, or a punching process. As long as the protective film has been subjected to a release treatment, it can be peeled off from the thermally cured insulating resin sheet (insulating layer). The protective film may be peeled off manually or mechanically by an automatic peeling device.

穴あけ工程は、例えば、絶縁層に、ドリル、炭酸ガスレーザー、YAGレーザー等のレーザー、プラズマ等によりビアホール、スルーホール等のホールを形成することにより行うことができる。多層プリント配線板においては、貫通孔(スルーホール)の形成は一般にコア基板において行われ、ビルドアップされた絶縁層は一般にはビアホールにより導通が行われる。また貫通孔形成は、一般に機械ドリルが用いられる。   The drilling step can be performed, for example, by forming a hole such as a via hole or a through hole in the insulating layer with a laser such as a drill, a carbon dioxide laser, or a YAG laser, or a plasma. In a multilayer printed wiring board, formation of a through hole (through hole) is generally performed in a core substrate, and a built-up insulating layer is generally conducted by a via hole. Moreover, a mechanical drill is generally used for forming the through hole.

粗化工程は、例えば、絶縁層表面をアルカリ性過マンガン酸水溶液等の酸化剤で処理することにより行うことができる。該粗化工程は、ビアホール、スルーホール等のホールのデスミア工程を兼ねる場合がある。アルカリ性過マンガン酸水溶液に先立って膨潤液による膨潤処理を行うのが好ましい。膨潤液には、例えば、アトテックジャパン株式会社製のスウェリング・ディップ・セキュリガンスP(Swelling Dip Securiganth P)、スウェリング・ディップ・セキュリガンスSBU(Swelling Dip Securiganth SBU)等を挙げることができる。   A roughening process can be performed by processing the insulating layer surface with oxidizing agents, such as alkaline permanganic acid aqueous solution, for example. The roughening process may also serve as a desmear process for holes such as via holes and through holes. Prior to the alkaline permanganate aqueous solution, the swelling treatment with a swelling liquid is preferably performed. Examples of the swelling liquid include Swelling Dip Securiganth P (Swelling Dip Securiganth P) and Swelling Dip Securiganth SBU (ABUTEC Japan Co., Ltd.).

膨潤処理は、通常60〜80℃程度に加熱した膨潤液に絶縁層を5〜10分程度付すことで行われる。アルカリ性過マンガン酸水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウムの水溶液に過マンガン酸カリウムや過マンガン酸ナトリウムを溶解した溶液を挙げることができる。アルカリ性過マンガン酸水溶液による粗化処理は、通常60〜80℃、10〜30分程度付すことで行われる。アルカリ性過マンガン酸水溶液は、市販品としては、アトテックジャパン株式会社製のコンセントレート コンパクトCP、ド−ジングソリューション セキュリガンスP等が挙げられる。   The swelling treatment is usually performed by attaching an insulating layer to the swelling liquid heated to about 60 to 80 ° C. for about 5 to 10 minutes. Examples of the alkaline permanganate aqueous solution include a solution in which potassium permanganate or sodium permanganate is dissolved in an aqueous solution of sodium hydroxide. The roughening treatment with the alkaline permanganic acid aqueous solution is usually performed at 60 to 80 ° C. for about 10 to 30 minutes. Examples of commercially available alkaline permanganate aqueous solutions include Concentrate Compact CP, Dosing Solution Securigans P manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.

本発明の多層プリント配線板の製造方法においては、さらに粗化された絶縁層表面にめっきにより導体層を形成するめっき工程、導体層形成後、加熱により内層回路基板をアニール処理する工程、及び導体層に回路を形成する回路形成工程をさらに含んでもよい。これらの工程は、当業者に公知である、多層プリント配線板の製造に用いられている各種方法に従って行うことができる。   In the method for producing a multilayer printed wiring board of the present invention, a plating step of forming a conductor layer by plating on the surface of the further roughened insulating layer, a step of annealing the inner circuit board by heating after forming the conductor layer, and a conductor A circuit forming step of forming a circuit in the layer may be further included. These steps can be performed according to various methods known to those skilled in the art and used in the production of multilayer printed wiring boards.

めっき工程は、例えば、粗化処理により凸凹のアンカーが形成された絶縁層表面に無電解めっきと電解めっきを組み合わせた方法で導体層を形成することにより行われる。この際、ビアホール内にもめっきが形成される。導体層としては銅めっき層が好ましい。銅めっき層は、無電解銅めっきと電解銅めっきを組み合わせた方法か、導体層とは逆パターンのめっきレジストを形成し、無電解銅めっきのみで導体層を形成する。無電解めっき層の厚さは、好ましくは0.1〜3μm、より好ましくは0.3〜2μmである。一方、電解めっき層の厚さとしては、無電解めっき層の厚さとの合計が3〜35μmとなる厚さが好ましく、5〜20μmとなる厚さがより好ましい。またビアホールはめっきによりフィルドビアを形成することもできる。   A plating process is performed by forming a conductor layer by the method which combined the electroless plating and the electrolytic plating on the insulating layer surface in which the uneven anchor was formed by the roughening process, for example. At this time, plating is also formed in the via hole. A copper plating layer is preferable as the conductor layer. The copper plating layer is a method in which electroless copper plating and electrolytic copper plating are combined, or a plating resist having a pattern opposite to that of the conductor layer is formed, and the conductor layer is formed only by electroless copper plating. The thickness of the electroless plating layer is preferably 0.1 to 3 μm, more preferably 0.3 to 2 μm. On the other hand, the thickness of the electroplating layer is preferably a thickness of 3 to 35 μm, more preferably 5 to 20 μm, with the total thickness of the electroless plating layer. The via hole can be filled via by plating.

アニール処理工程は、例えば、導体層形成後、回路基板を150〜200℃で20〜90分間加熱することにより行うことができる。アニール処理することにより、導体層のピール強度をさらに向上、安定化させることができる。   The annealing treatment step can be performed, for example, by heating the circuit board at 150 to 200 ° C. for 20 to 90 minutes after forming the conductor layer. By performing the annealing treatment, the peel strength of the conductor layer can be further improved and stabilized.

回路形成工程としては、例えば、サブトラクティブ法、セミアディディブ法等を用いることができる。ファインライン形成にはセミアディティブ法が好ましく、無電解めっき層上にパターンレジストを施し、所望の厚さの電解めっき層(パターンめっき層)を形成後、パターンレジストを剥離し、無電解めっき層をフラッシュエッチで除去することにより、回路形成することができる。   As the circuit formation process, for example, a subtractive method, a semi-additive method, or the like can be used. The semi-additive method is preferable for fine line formation. A pattern resist is applied on the electroless plating layer, an electrolytic plating layer (pattern plating layer) having a desired thickness is formed, the pattern resist is peeled off, and the electroless plating layer is formed. A circuit can be formed by removing by flash etching.

本発明でいう「内層回路基板」とは、主として、ガラスエポキシ基板、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等の基板の片面又は両面にパターン加工された(回路形成された)導体層を有するものであって、多層プリント配線板を製造する際に、その片面又は両面に絶縁層及び導体層が更に形成されるべき中間製造物をいう。なお、かかる導体層の表面は、黒化処理等により予め粗化処理が施されていた方が、絶縁層の内層回路基板への密着性の観点から好ましい。   The “inner layer circuit board” in the present invention is mainly patterned on one or both sides of a substrate such as a glass epoxy substrate, a metal substrate, a polyester substrate, a polyimide substrate, a BT resin substrate, a thermosetting polyphenylene ether substrate ( An intermediate product having a conductor layer (with a circuit formed), and when a multilayer printed wiring board is manufactured, an insulating layer and a conductor layer should be further formed on one or both sides thereof. In addition, it is preferable from the viewpoint of the adhesiveness of the insulating layer to the inner circuit board that the surface of the conductor layer has been previously roughened by blackening or the like.

以下、実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明する。
なお、以下の記載において「部」は「質量部」を意味する。
Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples and comparative examples.
In the following description, “part” means “part by mass”.

<実施例1>
(樹脂ワニスの作成)
エタノールとトルエンとを1:1の割合で混合した溶媒に、60℃で、ポリビニルブチラール樹脂(積水化学工業(株)製「KS−1」)を固形分15%になるように溶解させ、ポリビニルブチラール樹脂溶液を得た。次に、液状ビスフェノールA型エポキシ樹脂(エポキシ当量180、ジャパンエポキシレジン(株)製「エピコート828EL」)28部と、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂(エポキシ当量163、大日本インキ化学工業(株)製「HP4700」)28部とを、メチルエチルケトン(以下「MEK」と略称する。)15部、及びシクロヘキサノン15部からなる溶媒に、撹拌しながら加熱溶解させた。そこへ、ナフトール系硬化剤(東都化成(株)製「SN−485」、フェノール性水酸基当量215)の固形分50%のMEK溶液110部、硬化触媒(四国化成工業(株)製、「2E4MZ」)0.1部、球形シリカ(平均粒径0.5μm、「SOC2」アドマテックス社製)70部、及び前記したポリビニルブチラール樹脂溶液30部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを作製した。
<Example 1>
(Create resin varnish)
Polyvinyl butyral resin (“KS-1” manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.) is dissolved in a solvent in which ethanol and toluene are mixed at a ratio of 1: 1 at 60 ° C. so that the solid content is 15%. A butyral resin solution was obtained. Next, 28 parts of liquid bisphenol A type epoxy resin (epoxy equivalent 180, “Epicoat 828EL” manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.) and naphthalene type tetrafunctional epoxy resin (epoxy equivalent 163, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.) 28 parts of “HP4700”) was dissolved by heating in a solvent consisting of 15 parts of methyl ethyl ketone (hereinafter abbreviated as “MEK”) and 15 parts of cyclohexanone with stirring. Thereto, 110 parts of a 50% solid content MEK solution of a naphthol-based curing agent (“SN-485” manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd., phenolic hydroxyl group equivalent 215), a curing catalyst (“2E4MZ” manufactured by Shikoku Chemicals Co., Ltd.) ”) 0.1 part, 70 parts of spherical silica (average particle size 0.5 μm,“ SOC2 ”manufactured by Admatechs) and 30 parts of the polyvinyl butyral resin solution described above were mixed and dispersed uniformly with a high-speed rotary mixer. A resin varnish was prepared.

(熱硬化樹脂組成物フィルムの製造)
前記樹脂ワニスをアルキッド系離型剤で処理されたPETフィルム(38μm)上に、乾燥後の熱硬化性樹脂組成物層の厚さが10μm、13μm、14μm、18μm、22μmになるよう、ダイコータにて均一に塗布し、80〜120℃(平均100℃)で6〜8分間乾燥することにより、厚さが10μmの場合は最低溶融粘度が1000poise、13μmの場合には1300と1820poiseの2種、14μmの場合には1300poise、18μmの場合には1500poise、22μmの場合は1800poiseとなる熱硬化性樹脂組成物フィルムを得た。次いで、この熱硬化性樹脂組成物フィルムの表面に、厚さ15μmのポリプロピレンフィルムを貼り合わせながらロール状に巻き取った。その後、ロール状の熱硬化性樹脂組成物フィルムを幅502mmにスリットし、50巻きの熱硬化性樹脂組成物フィルムを2種得た。
(Manufacture of thermosetting resin composition film)
A die coater is used so that the thickness of the thermosetting resin composition layer after drying is 10 μm, 13 μm, 14 μm, 18 μm, and 22 μm on a PET film (38 μm) treated with the alkyd mold release agent. When the thickness is 10 μm, the minimum melt viscosity is 1000 poise, and when the thickness is 13 μm, two types, 1300 and 1820 poise, are applied uniformly, and dried at 80 to 120 ° C. (average 100 ° C.). A thermosetting resin composition film having 1300 poise in the case of 14 μm, 1500 poise in the case of 18 μm, and 1800 poise in the case of 22 μm was obtained. Next, a 15 μm-thick polypropylene film was wound around the surface of the thermosetting resin composition film in a roll shape. Thereafter, the roll-shaped thermosetting resin composition film was slit into a width of 502 mm, and two types of 50-roll thermosetting resin composition films were obtained.

(硬化プリプレグの製造)
前記熱硬化性樹脂組成物フィルム(熱硬化性樹脂組成物層10μm)のポリプロピレンフィルムを剥離し、(株)有沢製作所製1015NSガラスクロス(厚さ16μm)の両側に熱硬化樹脂組成物層がガラスクロス側になるように配置し、(株)名機製作所製の真空加圧式ラミネーターを使用して、温度120℃にて30秒間真空吸引後温度120℃、圧力7.0kg/cmの条件で、PETフィルム上から、耐熱ゴムを介して30秒間プレスすることによりラミネートした。次に、大気圧下で、SUS鏡板を用いて、温度120℃、圧力5kg/cmの条件で60秒間プレスを行った。得られたプリプレグの厚さは、24μmであった。かかるプリプレグを160℃で10分間硬化させ、ガラス転移温度が90℃である硬化プリプレグを得た。
(Manufacture of cured prepreg)
The polypropylene film of the thermosetting resin composition film (thermosetting resin composition layer 10 μm) is peeled off, and the thermosetting resin composition layer is glass on both sides of Arisawa Seisakusho 1015 NS glass cloth (thickness 16 μm). Using a vacuum pressurizing laminator manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd., vacuum suction at a temperature of 120 ° C. for 30 seconds, a temperature of 120 ° C., and a pressure of 7.0 kg / cm 2 From the PET film, lamination was performed by pressing for 30 seconds through heat-resistant rubber. Next, pressing was performed under atmospheric pressure using a SUS end plate for 60 seconds under conditions of a temperature of 120 ° C. and a pressure of 5 kg / cm 2 . The thickness of the obtained prepreg was 24 μm. This prepreg was cured at 160 ° C. for 10 minutes to obtain a cured prepreg having a glass transition temperature of 90 ° C.

(絶縁樹脂シートの製造)
得られた熱硬化樹脂組成物フィルム(熱硬化性樹脂組成物層13μm)のポリプロピレンフィルムを剥離し、硬化プリプレグの両面に、熱硬化樹脂組成物層が硬化プリプレグ側になるように配置し、(株)名機製作所製の真空加圧式ラミネーターを使用して、温度120℃にて30秒間真空吸引後、温度120℃、圧力7.0kg/cmの条件で、PETフィルム上から、耐熱ゴムを介して30秒間プレスすることによりラミネートした。次に、大気圧下で、SUS鏡板を用いて、温度120℃、圧力5kg/cmの条件で60秒間プレスを行い、絶縁樹脂シートを得た。なお、絶縁樹脂シートの内層回路基板側の硬化樹脂組成物層をB層、反対側の層をA層とした。
(Manufacture of insulating resin sheets)
The polypropylene film of the obtained thermosetting resin composition film (thermosetting resin composition layer 13 μm) is peeled off and placed on both sides of the cured prepreg so that the thermosetting resin composition layer is on the cured prepreg side, Using a vacuum pressurizing laminator manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd., after vacuum suction at a temperature of 120 ° C. for 30 seconds, heat resistant rubber was applied from above the PET film under the conditions of a temperature of 120 ° C. and a pressure of 7.0 kg / cm 2. For 30 seconds. Next, pressing was performed for 60 seconds under atmospheric pressure using a SUS end plate at a temperature of 120 ° C. and a pressure of 5 kg / cm 2 to obtain an insulating resin sheet. The cured resin composition layer on the inner circuit board side of the insulating resin sheet was the B layer, and the opposite layer was the A layer.

(絶縁樹脂シートのラミネート及び平滑化)
得られた絶縁樹脂シートを、内層回路基板(IPC MULTI-PURPOSE TESTBOARD No.IPC-B-25、回路導体厚18μm、0.8mm厚)の両面にラミネートした。かかるラミネートは、(株)名機製作所製の真空加圧式ラミネーターMVLP−500を用い、温度100℃にて30秒間真空吸引後、温度100℃、圧力7.0kg/cmの条件で、PETフィルム上から、耐熱ゴムを介して30秒間プレスすることによりラミネートした。次に、大気圧下で、SUS鏡板を用いて、温度100℃、圧力5kg/cmの条件で60秒間プレスし平滑化を行った。
(Lamination and smoothing of insulating resin sheet)
The obtained insulating resin sheet was laminated on both sides of an inner layer circuit board (IPC MULTI-PURPOSE TESTBOARD No. IPC-B-25, circuit conductor thickness 18 μm, 0.8 mm thickness). Such a laminate uses a vacuum pressurizing laminator MVLP-500 manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd., vacuum suction for 30 seconds at a temperature of 100 ° C., and then a PET film under the conditions of a temperature of 100 ° C. and a pressure of 7.0 kg / cm 2. From above, lamination was performed by pressing through heat-resistant rubber for 30 seconds. Next, smoothing was performed under atmospheric pressure using a SUS end plate for 60 seconds under conditions of a temperature of 100 ° C. and a pressure of 5 kg / cm 2 .

(樹脂組成物の硬化)
ラミネートされた絶縁樹脂シートから、PETフィルムを剥離し、熱風循環炉を用いて、180℃、30分の硬化条件で、樹脂組成物を硬化させて、絶縁層を形成した。これにより、内層回路基板の両面に絶縁層が形成された積層板を得た。
(Curing resin composition)
The PET film was peeled from the laminated insulating resin sheet, and the resin composition was cured under a curing condition of 180 ° C. for 30 minutes using a hot air circulating furnace to form an insulating layer. Thereby, the laminated board in which the insulating layer was formed on both surfaces of the inner circuit board was obtained.

(粗化処理)
得られた積層板に過マンガン酸液による粗化処理を施した。まず、膨潤処理として、アトテックジャパン株式会社製のスウェリング・ディップ・セキュリガントP(Swelling Dip Securiganth P)に60℃にて5分間浸漬し、次に、酸化処理として、アトテックジャパン株式会社製のコンセントレート・コンパクトCPとド−ジングソリューション・セキュリガントPの混合液に80℃にて20分間浸漬し、その後、還元処理として、アトテックジャパン(株)製リダクション・ソリューション・セキュリガントP500(Reduction solution Securiganth P500)溶液に40℃にて5分浸漬した。
(Roughening treatment)
The resulting laminate was subjected to a roughening treatment with a permanganate solution. First, as a swelling treatment, it is immersed in Swelling Dip Securiganth P (Swelling Dip Securiganth P) for 5 minutes at 60 ° C. Then, as an oxidation treatment, an outlet made by Atotech Japan Co., Ltd. Immerse it in a mixed solution of Rate Compact CP and Dosing Solution Securiganth P at 80 ° C. for 20 minutes, and then reduce it to Atotech Japan Co., Ltd. Reduction Solution Securiganth P500 (Reduction solution Securiganth P500) ) It was immersed in the solution at 40 ° C. for 5 minutes.

(めっきによる導体層形成)
得られた積層基板の絶縁層表面に、パラジウム含有のアトテックジャパン社製のアクチベータネオガント834を用いて無電解銅めっきの触媒付与を行なった後、酒石酸塩含有のアトテックジャパン製プリントガントMSK−DKを用いて無電解めっきを行った。次に、硫酸銅を用いて銅厚が約20μmになるように電解めっきを行った。その後、180℃にて30分間硬化を行い、目的とする多層プリント配線板を作成した。
(Conductor layer formation by plating)
After applying an electroless copper plating catalyst to the surface of the insulating layer of the obtained multilayer substrate using an activator neogant 834 made of Atotech Japan, which contains palladium, the print gant MSK-DK made of Atotech containing tartrate Was used for electroless plating. Next, electrolytic plating was performed using copper sulfate so that the copper thickness was about 20 μm. Then, it hardened | cured for 30 minutes at 180 degreeC, and produced the target multilayer printed wiring board.

<実施例2>
硬化プリプレグのガラス転移温度を96℃とした以外は、実施例1と同様にして、目的とする多層プリント配線板を作成した。
<Example 2>
A target multilayer printed wiring board was produced in the same manner as in Example 1 except that the glass transition temperature of the cured prepreg was 96 ° C.

<実施例3>
硬化プリプレグのガラス転移温度を110℃とし、更に、絶縁樹脂シートの内層回路基板へのラミネート及び平滑化工程における温度をいずれも120℃とした以外は、実施例1と同様にして、目的とする多層プリント配線板を作成した。
<Example 3>
The object is the same as in Example 1 except that the glass transition temperature of the cured prepreg is 110 ° C., and the temperature in the lamination and smoothing step of the insulating resin sheet is 120 ° C. A multilayer printed wiring board was created.

<実施例4>
硬化プリプレグのガラス転移温度を120℃とし、更に、絶縁樹脂シートの内層回路基板へのラミネート及び平滑化工程における温度をいずれも120℃とした以外は、実施例1と同様にして、目的とする多層プリント配線板を作成した。
<Example 4>
The objective is the same as in Example 1 except that the glass transition temperature of the cured prepreg is 120 ° C., and the temperature in the lamination and smoothing step of the insulating resin sheet is 120 ° C. A multilayer printed wiring board was created.

<実施例5>
硬化プリプレグのガラス転移温度を120℃とし、絶縁樹脂シートのA層及びB層の厚さをそれぞれ13μm、最低溶融粘度をそれぞれ1300poiseとして、更に、絶縁樹脂シートの内層回路基板へのラミネート及び平滑化工程における温度をいずれも100℃にしたこと以外は、実施例1と同様にして、目的とする多層プリント配線板を作成した。
<Example 5>
The cured prepreg has a glass transition temperature of 120 ° C., the thicknesses of the A and B layers of the insulating resin sheet are 13 μm, the minimum melt viscosity is 1300 poise, and the insulating resin sheet is laminated and smoothed on the inner circuit board. A target multilayer printed wiring board was prepared in the same manner as in Example 1 except that the temperature in the process was 100 ° C.

<実施例6>
硬化プリプレグのガラス転移温度を120℃とし、絶縁樹脂シートのA層及びB層の厚さをそれぞれ18μm、最低溶融粘度をそれぞれ1500poiseとして、更に、絶縁樹脂シートの内層回路基板へのラミネート及び平滑化工程における温度をいずれも100℃にしたこと以外は、実施例1と同様にして、目的とする多層プリント配線板を作成した。
<Example 6>
The cured prepreg has a glass transition temperature of 120 ° C., the thicknesses of the A and B layers of the insulating resin sheet are 18 μm, the minimum melt viscosity is 1500 poise, and the insulating resin sheet is laminated and smoothed on the inner circuit board. A target multilayer printed wiring board was prepared in the same manner as in Example 1 except that the temperature in the process was 100 ° C.

<実施例7>
硬化プリプレグのガラス転移温度を120℃とし、絶縁樹脂シートのA層の厚さを14μm、最低溶融粘度を1300poise、またB層の厚さを22μm、最低溶融粘度を1800poiseとして、更に、絶縁樹脂シートの内層回路基板へのラミネート及び平滑化工程における温度を100℃にしたこと以外は、実施例1と同様にして、目的とする多層プリント配線板を作成した。
<Example 7>
The cured prepreg has a glass transition temperature of 120 ° C., an A layer thickness of the insulating resin sheet of 14 μm, a minimum melt viscosity of 1300 poise, a B layer thickness of 22 μm and a minimum melt viscosity of 1800 poise. A target multilayer printed wiring board was produced in the same manner as in Example 1 except that the temperature in the laminating and smoothing step was set to 100 ° C.

<実施例8>
硬化プリプレグのガラス転移温度を100℃とし、絶縁樹脂シートのA層の厚さを14μm、最低溶融粘度を1300poise、またB層の厚さを22μm、最低溶融粘度を1800poiseとして、更に、絶縁樹脂シートの内層回路基板へのラミネート及び平滑化工程における温度を100℃にしたこと以外は、実施例1と同様にして、目的とする多層プリント配線板を作成した。
<Example 8>
The cured prepreg has a glass transition temperature of 100 ° C., an A layer thickness of the insulating resin sheet of 14 μm, a minimum melt viscosity of 1300 poise, a B layer thickness of 22 μm and a minimum melt viscosity of 1800 poise. A target multilayer printed wiring board was produced in the same manner as in Example 1 except that the temperature in the laminating and smoothing step was set to 100 ° C.

<比較例1>
3層構造の絶縁樹脂シートの代わりに、厚さ45μmのプリプレグ層のみを用いたこと以外は、実施例1と同様にして、目的とする多層プリント配線板を作成した。
なお、かかる厚さ45μmのプリプレグは、実施例1と同様の樹脂ワニスを、(株)有沢製作所製1015NSガラスクロス(厚さ16μm)に、得られるプリプレグの厚さが45μmになるように含浸させて、80〜150℃で10分間乾燥させて得た。
<Comparative Example 1>
A target multilayer printed wiring board was produced in the same manner as in Example 1 except that only a prepreg layer having a thickness of 45 μm was used instead of the insulating resin sheet having a three-layer structure.
The prepreg having a thickness of 45 μm is impregnated with the same resin varnish as in Example 1 in a 1015 NS glass cloth (thickness 16 μm) manufactured by Arisawa Manufacturing Co., Ltd. so that the thickness of the obtained prepreg is 45 μm. And obtained by drying at 80 to 150 ° C. for 10 minutes.

<比較例2>
硬化プリプレグ層に比較例1と同様の方法で作成した未硬化の24μmプリプレグを用いたこと以外は、実施例1と同様にして、目的とする多層プリント配線板を作成した。
<Comparative Example 2>
A target multilayer printed wiring board was produced in the same manner as in Example 1 except that an uncured 24 μm prepreg produced by the same method as in Comparative Example 1 was used for the cured prepreg layer.

<比較例3>
3層構造の絶縁樹脂シートの代わりに、厚さ50μmのプリプレグ層のみを用いたこと以外は、実施例1と同様にして、目的とする多層プリント配線板を作成した。
なお、かかる厚さ50μmのプリプレグは、実施例1と同様の樹脂ワニスを、(株)有沢製作所製1015NSガラスクロス(厚さ16μm)に、得られるプリプレグの厚さが50μmになるように含浸させて、80〜150℃で10分間乾燥させて得た。
<Comparative Example 3>
A target multilayer printed wiring board was produced in the same manner as in Example 1 except that only a prepreg layer having a thickness of 50 μm was used instead of the insulating resin sheet having a three-layer structure.
The prepreg having a thickness of 50 μm is impregnated with the same resin varnish as in Example 1 in a 1015 NS glass cloth (thickness 16 μm) manufactured by Arisawa Manufacturing Co., Ltd. so that the thickness of the obtained prepreg becomes 50 μm. And obtained by drying at 80 to 150 ° C. for 10 minutes.

<比較例4>
3層構造の絶縁樹脂シートの代わりに、厚さ60μmのプリプレグ層のみを用いたこと以外は、実施例1と同様にして、目的とする多層プリント配線板を作成した。
なお、かかる厚さ60μmのプリプレグは、実施例1と同様の樹脂ワニスを、(株)有沢製作所製1015NSガラスクロス(厚さ16μm)に、得られるプリプレグの厚さが60μmになるように含浸させて、80〜150℃で14分間乾燥させて得た。
<Comparative example 4>
A target multilayer printed wiring board was produced in the same manner as in Example 1 except that only a prepreg layer having a thickness of 60 μm was used instead of the insulating resin sheet having a three-layer structure.
The prepreg having a thickness of 60 μm is impregnated with the same resin varnish as in Example 1 in a 1015 NS glass cloth (thickness 16 μm) manufactured by Arisawa Manufacturing Co., Ltd. so that the thickness of the obtained prepreg becomes 60 μm. And then dried at 80 to 150 ° C. for 14 minutes.

<比較例5>
硬化プリプレグ層に比較例1と同様な方法で作成した未硬化の24μmプリプレグを用いたこと以外は、実施例5と同様にして、目的とする多層プリント配線板を作成した。
<Comparative Example 5>
A target multilayer printed wiring board was produced in the same manner as in Example 5 except that an uncured 24 μm prepreg produced by the same method as in Comparative Example 1 was used for the cured prepreg layer.

<参考例1>
プリプレグの硬化を140℃にて15分行うことで、そのガラス転移温度を80℃としたプリプレグ層を用いたこと以外は、実施例8と同様にして、目的とする多層プリント配線板を作成した。
<Reference Example 1>
The target multilayer printed wiring board was prepared in the same manner as in Example 8 except that the prepreg was cured at 140 ° C. for 15 minutes to use a prepreg layer having a glass transition temperature of 80 ° C. .

<参考例2>
硬化プリプレグのガラス転移温度を77℃とした以外は、実施例1と同様にして、目的とする多層プリント配線板を作成した。
<Reference Example 2>
A target multilayer printed wiring board was produced in the same manner as in Example 1 except that the glass transition temperature of the cured prepreg was 77 ° C.

<参考例3>
硬化プリプレグのガラス転移温度を86℃とし、更に、絶縁樹脂シートの内層回路基板へのラミネート及び平滑化工程における温度をいずれも120℃とした以外は、実施例1と同様にして、目的とする多層プリント配線板を作成した。
<Reference Example 3>
The objective is the same as in Example 1 except that the glass transition temperature of the cured prepreg is 86 ° C., and the temperature in the lamination and smoothing step of the insulating resin sheet is 120 ° C. A multilayer printed wiring board was created.

<参考例4>
硬化プリプレグのガラス転移温度を100℃とし、更に、絶縁樹脂シートの内層回路基板へのラミネート及び平滑化工程における温度をいずれも120℃とした以外は、実施例1と同様にして、目的とする多層プリント配線板を作成した。
<Reference Example 4>
The objective is the same as in Example 1 except that the glass transition temperature of the cured prepreg is 100 ° C., and the temperature in the lamination and smoothing step of the insulating resin sheet is 120 ° C. A multilayer printed wiring board was created.

以上の実施例及び比較例で得られた硬化プリプレグ、熱硬化性樹脂組成物、絶縁樹脂シート又は多層プリント配線板についての評価を、下記のとおりに行った。結果を下記表1及び2に示す。   The cured prepregs, thermosetting resin compositions, insulating resin sheets or multilayer printed wiring boards obtained in the above Examples and Comparative Examples were evaluated as follows. The results are shown in Tables 1 and 2 below.

(ガラス転移温度の測定)
実施例、参考例で得られた硬化プリプレグの小片をサンプルとし、熱機械分析装置(DMA)としてセイコーインスツルメンツ株式会社製の型式DMS−6100を用い、「引っ張りモード」にて測定した。かかる測定は、2℃/分の昇温にて、25℃から240℃の範囲で行った。測定で得られた貯蔵弾性率(E’)と損失弾性率(E”)との比で求められる損失正接(tanδ)の最大値の小数点以下を切り捨てた値をガラス転移温度とした。なお、比較例の未硬化のプリプレグはガラス転移温度が測定できないため測定不可とした。
(Measurement of glass transition temperature)
A small piece of the cured prepreg obtained in Examples and Reference Examples was used as a sample, and measurement was performed in “tensile mode” using a model DMS-6100 manufactured by Seiko Instruments Inc. as a thermomechanical analyzer (DMA). This measurement was performed in the range of 25 ° C. to 240 ° C. at a temperature increase of 2 ° C./min. The value obtained by rounding down the decimal point of the maximum value of the loss tangent (tan δ) obtained by the ratio of the storage elastic modulus (E ′) and loss elastic modulus (E ″) obtained by the measurement was defined as the glass transition temperature. The uncured prepreg of the comparative example was not allowed to be measured because the glass transition temperature could not be measured.

(最低溶融粘度の測定)
ユービーエム社製の型式Rheosol-G3000を用い、樹脂量は1gとした。また、直径18mmのパラレルプレートを使用し、測定開始温度60℃、昇温速度5℃/分、振動数1Hz/degにて測定した。最低の粘度値(η)を最低溶融粘度とした。
(Measurement of minimum melt viscosity)
A model Rheosol-G3000 manufactured by UBM was used, and the amount of resin was 1 g. Further, a parallel plate having a diameter of 18 mm was used, and measurement was performed at a measurement start temperature of 60 ° C., a temperature increase rate of 5 ° C./min, and a frequency of 1 Hz / deg. The lowest viscosity value (η) was taken as the lowest melt viscosity.

(プリプレグ層、硬化プリプレグ層、熱硬化性樹脂組成物層及び絶縁樹脂シートの厚さ測定)
接触式膜厚計(ミツトヨ社製、MCD−25MJ)を用いて測定した。
(Measurement of thickness of prepreg layer, cured prepreg layer, thermosetting resin composition layer and insulating resin sheet)
It measured using the contact-type film thickness meter (the Mitutoyo company make, MCD-25MJ).

(ガラスクロス上の樹脂の厚さ及びガラスクロスの厚さの測定)
内層回路基板中のPクーポン部分の段差部分の断面を削りだし、CCD型顕微鏡(キーエンス社製、VH6300)又は、走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて計測した。なお、「Pクーポン部分」とは、絶縁樹脂シートをラミネートした、内層回路基板(IPC MULTI-PURPOSE TESTBOARD No.IPC-B-25、回路導体厚18μm、0.8mm厚)内の導体回路の一部を指す。
(Measurement of resin thickness on glass cloth and thickness of glass cloth)
The cross section of the stepped portion of the P coupon portion in the inner layer circuit board was cut out, and measurement was performed using a CCD type microscope (manufactured by Keyence Corporation, VH6300) or a scanning electron microscope (SEM). The “P coupon part” is a conductor circuit in an inner circuit board (IPC MULTI-PURPOSE TESTBOARD No. IPC-B-25, circuit conductor thickness 18 μm, 0.8 mm thickness) laminated with an insulating resin sheet. Refers to the part.

(ガラスクロスの露出とめっき残り)
内層回路基板のPクーポン上のめっき皮膜を剥がして、CCD型顕微鏡(キーエンス社製、VH6300)を用いて、ガラスクロスの露出の有無を観察した。なお、ガラスクロスが露出していた場合、銅めっき時に、そこにめっき銅が潜り込むため、めっき皮膜剥離後もめっき銅が残存する。
[評価]
○:Pクーポンの樹脂表面へのガラスクロスの露出、及びめっき銅残りなし。
×:Pクーポンの樹脂表面へのガラスクロスの露出、及び/又はめっき銅残りあり。
(Exposed glass cloth and plating residue)
The plating film on the P coupon of the inner layer circuit board was peeled off, and the presence or absence of exposure of the glass cloth was observed using a CCD type microscope (VH6300, manufactured by Keyence Corporation). When the glass cloth is exposed, the plated copper remains in the copper plating, so that the plated copper remains even after the plating film is peeled off.
[Evaluation]
○: No exposure of glass cloth on the resin surface of the P coupon and no plating copper residue.
X: Exposed glass cloth on the resin surface of the P coupon and / or plated copper residue.

(回路への埋め込み性)
内層回路基板中のPクーポン部分の段差部分の断面を削りだした積層板を、走査型電子顕微鏡(SEM)で観察し、回路間に樹脂が埋め込まれているか確認した。
[評価]
○:回路間に樹脂が埋め込まれている。
×:回路間にボイド残りがあり、埋め込みが不十分である。
(Embedment into circuit)
The laminated board which cut out the cross section of the level | step-difference part of the P coupon part in an inner layer circuit board was observed with the scanning electron microscope (SEM), and it was confirmed whether resin was embedded between the circuits.
[Evaluation]
○: Resin is embedded between circuits.
X: There is a void remaining between the circuits, and the embedding is insufficient.

Figure 2009231222
Figure 2009231222

Figure 2009231222
Figure 2009231222

表2において示される結果から明らかなように、実施例1〜8の硬化プリプレグを有する絶縁樹脂シートは、内層回路基板にラミネートし硬化させた後に粗化処理を施しても、ガラスクロスが樹脂表面に露出せず、めっき銅残りもなかった。一方、比較例1〜5の絶縁樹脂シートでは、粗化処理によるガラスクロスの露出が観察された。
また、実施例1〜8に示される硬化プリプレグを有する絶縁樹脂シートのガラスクロス上の樹脂の厚さは、いずれも10μm以上であるのに比べ、比較例1〜3の絶縁樹脂シートは、4〜7μmであった。
As is clear from the results shown in Table 2, the insulating resin sheets having the cured prepregs of Examples 1 to 8 were laminated on the inner circuit board and cured, and then subjected to roughening treatment. There was no plating copper residue. On the other hand, in the insulating resin sheets of Comparative Examples 1 to 5, exposure of the glass cloth due to the roughening treatment was observed.
Moreover, the thickness of the resin on the glass cloth of the insulating resin sheet having the cured prepreg shown in Examples 1 to 8 is 10 μm or more, and the insulating resin sheets of Comparative Examples 1 to 3 are 4 in thickness. ˜7 μm.

本発明の絶縁樹脂シートは、多層プリント配線板の絶縁材料として好適に使用される。   The insulating resin sheet of the present invention is suitably used as an insulating material for multilayer printed wiring boards.

図1は、本発明の絶縁樹脂シートの模式断面図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of an insulating resin sheet of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 硬化プリプレグ層
2 A層
3 B層
1 cured prepreg layer 2 A layer 3 B layer

Claims (12)

硬化プリプレグ層、及び該硬化プリプレグ層の両面に形成された熱硬化性樹脂組成物層からなる絶縁樹脂シート。   An insulating resin sheet comprising a cured prepreg layer and a thermosetting resin composition layer formed on both surfaces of the cured prepreg layer. 前記硬化プリプレグが、シート状繊維基材に熱硬化性樹脂組成物を含浸したプリプレグを熱硬化したものである、請求項1記載の絶縁樹脂シート。   The insulating resin sheet according to claim 1, wherein the cured prepreg is obtained by thermosetting a prepreg obtained by impregnating a sheet-like fiber base material with a thermosetting resin composition. 前記絶縁樹脂シートが、
(1)絶縁樹脂シートを熱硬化性樹脂組成物層が内層回路基板の両面又は片面に接するように内層回路基板に配置し、減圧下で、弾性材を介して加熱及び加圧することにより、内層回路基板上に積層するラミネート工程、
(2)積層された絶縁樹脂シートを、金属板又は金属ロールにより加熱及び加圧することにより、絶縁樹脂シートを平滑化する平滑化工程、及び
(3)平滑化された絶縁樹脂シートを熱硬化することにより、絶縁層を形成する熱硬化工程
を備える多層プリント配線板の製造方法に用いられる、請求項1又は2記載の絶縁樹脂シート。
The insulating resin sheet is
(1) The insulating resin sheet is placed on the inner layer circuit board so that the thermosetting resin composition layer is in contact with both sides or one side of the inner layer circuit board, and heated and pressed through an elastic material under reduced pressure, thereby Laminating process to laminate on circuit board,
(2) A smoothing step of smoothing the insulating resin sheet by heating and pressing the laminated insulating resin sheet with a metal plate or a metal roll, and (3) thermosetting the smoothed insulating resin sheet. The insulating resin sheet of Claim 1 or 2 used for the manufacturing method of a multilayer printed wiring board provided with the thermosetting process which forms an insulating layer by this.
前記ラミネート工程の温度及び平滑化工程の温度の何れか高い方をP℃とした場合、前記硬化プリプレグのガラス転移温度が、(P−18)以上である、請求項3記載の絶縁樹脂シート。   The insulating resin sheet according to claim 3, wherein the glass transition temperature of the cured prepreg is (P-18) or higher when the higher one of the temperature in the laminating step and the temperature in the smoothing step is set to P ° C. 前記ラミネート工程の温度及び平滑化工程の温度の何れか高い方をP℃とした場合、前記硬化プリプレグのガラス転移温度が、(P−12)以上である、請求項3記載の絶縁樹脂シート。   The insulating resin sheet according to claim 3, wherein the glass transition temperature of the cured prepreg is (P-12) or higher when the higher one of the temperature of the laminating step and the temperature of the smoothing step is P ° C. 前記ラミネート工程の温度及び平滑化工程の温度の何れか高い方をP℃とした場合、前記硬化プリプレグのガラス転移温度が、(P−10)以上である、請求項3記載の絶縁樹脂シート。   The insulating resin sheet of Claim 3 whose glass transition temperature of the said hardening prepreg is (P-10) or more, when the higher one of the temperature of the said lamination process and the temperature of the smoothing process is set to P degreeC. 前記熱硬化性樹脂組成物層の片面又は両面に保護フィルムが形成された、請求項1〜6のいずれか1項に記載の絶縁樹脂シート。   The insulating resin sheet according to claim 1, wherein a protective film is formed on one side or both sides of the thermosetting resin composition layer. 前記保護フィルムがポリエチレンテレフタレートフィルムである、請求項7記載の絶縁樹脂シート。   The insulating resin sheet according to claim 7, wherein the protective film is a polyethylene terephthalate film. 請求項1〜8のいずれか1項に記載の絶縁樹脂シートにより絶縁層が形成された、多層プリント配線板。   The multilayer printed wiring board with which the insulating layer was formed with the insulating resin sheet of any one of Claims 1-8. (1)請求項1〜8のいずれか1項に記載の絶縁樹脂シートを、熱硬化性樹脂組成物層が内層回路基板の両面又は片面に接するように内層回路基板に配置し、減圧下で、弾性材を介して加熱及び加圧することにより、内層回路基板上に積層するラミネート工程、(2)積層された絶縁樹脂シートを、金属板又は金属ロールにより加熱及び加圧することにより、絶縁樹脂シートを平滑化する平滑化工程、及び(3)平滑化された絶縁樹脂シートを熱硬化することにより、絶縁層を形成する熱硬化工程を備える、多層プリント配線板の製造方法。   (1) The insulating resin sheet according to any one of claims 1 to 8 is disposed on the inner circuit board so that the thermosetting resin composition layer is in contact with both surfaces or one surface of the inner circuit board, and under reduced pressure. A laminating step of laminating on the inner circuit board by heating and pressing through an elastic material, and (2) an insulating resin sheet by heating and pressing the laminated insulating resin sheet with a metal plate or a metal roll. And (3) a method for producing a multilayer printed wiring board, comprising: a thermosetting step of forming an insulating layer by thermosetting the smoothed insulating resin sheet. 前記ラミネート工程及び平滑化工程における絶縁樹脂シートの加熱及び加圧が保護フィルム上から行われる、請求項10記載の製造方法。   The manufacturing method of Claim 10 with which the heating and pressurization of the insulating resin sheet in the said lamination process and smoothing process are performed from a protective film. 絶縁層に穴あけする穴あけ工程、該絶縁層を粗化処理する粗化工程、粗化された絶縁層表面にめっきにより導体層を形成するめっき工程、及び導体層に回路を形成する回路形成工程をさらに含む、請求項10又は11記載の製造方法。   A drilling step for drilling in the insulating layer, a roughening step for roughening the insulating layer, a plating step for forming a conductor layer by plating on the surface of the roughened insulating layer, and a circuit forming step for forming a circuit in the conductor layer. The manufacturing method according to claim 10 or 11, further comprising:
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