JP2015206786A - 局在表面プラズモン共鳴センサ、ガスセンサ及び製造方法 - Google Patents
局在表面プラズモン共鳴センサ、ガスセンサ及び製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015206786A JP2015206786A JP2015078027A JP2015078027A JP2015206786A JP 2015206786 A JP2015206786 A JP 2015206786A JP 2015078027 A JP2015078027 A JP 2015078027A JP 2015078027 A JP2015078027 A JP 2015078027A JP 2015206786 A JP2015206786 A JP 2015206786A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- surface plasmon
- plasmon resonance
- localized surface
- adsorbent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000002198 surface plasmon resonance spectroscopy Methods 0.000 title claims abstract description 70
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 40
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 claims abstract description 34
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 34
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 34
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 28
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 10
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 9
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 description 17
- 239000002082 metal nanoparticle Substances 0.000 description 15
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 14
- 239000002096 quantum dot Substances 0.000 description 14
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 6
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 5
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 3
- 238000001246 colloidal dispersion Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 3
- 239000013335 mesoporous material Substances 0.000 description 3
- 239000002077 nanosphere Substances 0.000 description 3
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- -1 for example Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000013259 porous coordination polymer Substances 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 206010006326 Breath odour Diseases 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000446313 Lamella Species 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 1
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000000609 electron-beam lithography Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000003306 harvesting Methods 0.000 description 1
- 230000036541 health Effects 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000001127 nanoimprint lithography Methods 0.000 description 1
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 1
- 239000013618 particulate matter Substances 0.000 description 1
- 239000000791 photochemical oxidant Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 description 1
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000002174 soft lithography Methods 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002747 voluntary effect Effects 0.000 description 1
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
・例えば、ナノドットの高さが40nm〜70nm程度である
・例えば、ナノドットの配置間隔がナノドット径の2倍程度である
図4は、実施形態1における局在表面プラズモン共鳴センサ(以下、単にセンサとも称する。)の構造の一例を示す図である。図4に示すセンサは、光透過性基板1上に形成された金属微細構造2を、多孔質光透過性吸着材3で覆う。この多孔質光透過性吸着材3を介して検出対象物(以下、ガスを例にして説明する。)4が吸着すると、透過光5に対して局在表面プラズモン共鳴(LSPR)が誘起され、LSPRを用いて多孔質光透過性吸着材3のガス吸着挙動を計測することができる。この多孔質光透過性吸着材3のガス吸着挙動により、広範囲のガス濃度を計測することが可能となる。本実施形態(後述する各実施形態を含む)におけるセンサは、例えば10,000ppm程度までのガス濃度を計測することが可能である。
次に、実施形態2における局在表面プラズモン共鳴センサについて説明する。実施形態2における局在表面プラズモン共鳴センサは、実施形態1において説明したセンサに対して、気体透過孔を有する遮光板を、多孔質光透過性吸着材3の上に設ける。
次に、実施形態3における局在表面プラズモン共鳴センサについて説明する。実施形態3における局在表面プラズモン共鳴センサは、実施形態1において説明したセンサに対して、気体透過孔を有する光反射板を、多孔質光透過性吸着材3の上に設ける。
次に、実施形態4における局在表面プラズモン共鳴センサについて説明する。実施形態4における局在表面プラズモン共鳴センサは、実施形態1において説明したセンサに対して、気体透過孔を有する光拡散板を、多孔質光透過性吸着材3の上に設ける。
次に、実施形態5における局在表面プラズモン共鳴センサについて説明する。実施形態5における局在表面プラズモン共鳴センサは、実施形態1において説明したセンサと比べて、光源10及び受光器12が、それぞれ光ファイバに接続されている。
次に、実施形態6における局在表面プラズモン共鳴センサについて説明する。実施形態6における局在表面プラズモン共鳴センサは、実施形態5において説明したセンサに対して、気体透過孔を有する遮光板を、多孔質光透過性吸着材3の上に設ける。
次に、実施形態7における局在表面プラズモン共鳴センサについて説明する。実施形態7における局在表面プラズモン共鳴センサは、実施形態5において説明したセンサに対して、気体透過孔を有する光反射板を、多孔質光透過性吸着材3の上に設ける。
次に、実施形態8における局在表面プラズモン共鳴センサについて説明する。実施形態8における局在表面プラズモン共鳴センサは、実施形態5において説明したセンサに対して、気体透過孔を有する光拡散板を、多孔質光透過性吸着材3の上に設ける。
2 金属微細構造
3 多孔質光透過性吸着材
4 検出対象物
5 透過光
6 光
7 散乱光
10 光源
12 受光器
20 遮光板
22 光反射板
24 光拡散版
30、32 光ファイバ
Claims (10)
- 光透過性基板と、
前記光透過性基板上に設けられる、局在表面プラズモン共鳴を生じさせる金属微細構造と、
前記金属微細構造を覆う多孔質光透過性吸着材と、
前記光透過性基板の前記多孔質光透過性吸着材とは異なる側に設けられる光源と、
前記光透過性基板の前記異なる側に設けられる、前記光源からの出射光が前記金属微細構造により後方散乱した散乱光を受光する受光器と、
を備える、局在表面プラズモン共鳴センサ。 - 前記受光器により前記散乱光の光量変化が検出されるように、前記光源の波長と、前記金属微細構造の局在表面プラズモン共鳴波長とがずれている、請求項1に記載の局在表面プラズモン共鳴センサ。
- 前記光透過性基板の表面に対し、前記光源及び前記受光器の光軸が略垂直になるように、前記光源及び前記受光器が設けられる、請求項1又は2に記載の局在表面プラズモン共鳴センサ。
- 前記光源及び受光器は、光軸が略平行になるように並べられて固定される、請求項1乃至3いずれか一項に記載の局在表面プラズモン共鳴センサ。
- 前記光源に接続される第1光ファイバと、前記受光器に接続される第2光ファイバとを備える、請求項1乃至4いずれか一項に記載の局在表面プラズモン共鳴センサ。
- 前記多孔質光透過性吸着材の前記透過性基板と異なる側に気体透過孔を有する遮光版をさらに備える、請求項1乃至5いずれか一項に記載の局在表面プラズモン共鳴センサ。
- 前記多孔質光透過性吸着材の前記透過性基板と異なる側に気体透過孔を有する光反射板をさらに備える、請求項1乃至5いずれか一項に記載の局在表面プラズモン共鳴センサ。
- 前記多孔質光透過性吸着材の前記透過性基板と異なる側に気体透過孔を有する光拡散板をさらに備える、請求項1乃至5いずれか一項に記載の局在表面プラズモン共鳴センサ。
- 請求項1乃至8いずれか一項に記載の局在表面プラズモン共鳴センサを備えるガスセンサ。
- 局在表面プラズモン共鳴センサの製造方法であって、
光透過性基板上に、局在表面プラズモン共鳴を生じさせる金属微細構造を形成し、
前記金属微細構造を覆う多孔質光透過性吸着材を形成し、
前記光透過性基板の前記多孔質光透過性吸着材とは異なる側に光源を設け、
前記光透過性基板の前記異なる側に、前記光源からの出射光が前記金属微細構造により後方散乱した散乱光を受光する受光器を設ける、
製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015078027A JP6634217B2 (ja) | 2014-04-08 | 2015-04-06 | 局在表面プラズモン共鳴センサ、ガスセンサ及び製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014079717 | 2014-04-08 | ||
JP2014079717 | 2014-04-08 | ||
JP2015078027A JP6634217B2 (ja) | 2014-04-08 | 2015-04-06 | 局在表面プラズモン共鳴センサ、ガスセンサ及び製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015206786A true JP2015206786A (ja) | 2015-11-19 |
JP6634217B2 JP6634217B2 (ja) | 2020-01-22 |
Family
ID=54603655
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015078027A Active JP6634217B2 (ja) | 2014-04-08 | 2015-04-06 | 局在表面プラズモン共鳴センサ、ガスセンサ及び製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6634217B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101914240B1 (ko) | 2017-08-30 | 2018-11-01 | 차의과학대학교 산학협력단 | 표면 플라즈몬 공명을 이용한 가스 검출 센서 칩, 및 질병 진단을 위한 정보 제공 방법 |
CN110208220A (zh) * | 2019-06-03 | 2019-09-06 | 天津大学 | 一种多芯少模光纤局域表面等离子体共振传感器 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102532670B1 (ko) * | 2021-05-28 | 2023-05-16 | 주식회사 선반도체 | 결로 온도를 이용한 수분 함량 측정을 동반한 잔류 가스 및 표면 이온 분석 시스템 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0458141A (ja) * | 1990-06-27 | 1992-02-25 | Tdk Corp | 化学物質センサ |
JP2005016963A (ja) * | 2003-06-23 | 2005-01-20 | Canon Inc | 化学センサ、化学センサ装置 |
JP2005181296A (ja) * | 2003-11-28 | 2005-07-07 | Rikogaku Shinkokai | 局在化表面プラズモンセンサ、センシング装置およびセンシング方法 |
US20060269966A1 (en) * | 2005-05-30 | 2006-11-30 | Tetsuro Miyamoto | Optical biosensor for biomolecular interaction analysis |
US20080218761A1 (en) * | 2007-03-05 | 2008-09-11 | Omron Corporation | Surface plasmon resonance sensor and sensor chip |
WO2009022246A1 (en) * | 2007-08-10 | 2009-02-19 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Sensor array for spr-based detection. |
WO2010122776A1 (ja) * | 2009-04-21 | 2010-10-28 | パナソニック株式会社 | プラズモンセンサとその製造方法、およびプラズモンセンサに試料を挿入する方法 |
JP2010256126A (ja) * | 2009-04-23 | 2010-11-11 | Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute | 局在表面プラズモン共鳴測定基板及び局在表面プラズモン共鳴センサ |
JP2012098083A (ja) * | 2010-10-29 | 2012-05-24 | Nokodai Tlo Kk | 水蒸気透過測定装置および水蒸気透過測定方法 |
JP2012198090A (ja) * | 2011-03-22 | 2012-10-18 | Fujifilm Corp | 光電場増強デバイスおよび該デバイスを備えた測定装置 |
WO2012172971A1 (ja) * | 2011-06-13 | 2012-12-20 | 新日鉄住金化学株式会社 | センサー素子、結露センサー、湿度センサー、結露検知方法及び露点計測装置 |
US20140036268A1 (en) * | 2012-07-31 | 2014-02-06 | Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. | Composite substrate, lspr sensor including the same, method of using lspr sensor, and detection method using lspr sensor |
-
2015
- 2015-04-06 JP JP2015078027A patent/JP6634217B2/ja active Active
Patent Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0458141A (ja) * | 1990-06-27 | 1992-02-25 | Tdk Corp | 化学物質センサ |
JP2005016963A (ja) * | 2003-06-23 | 2005-01-20 | Canon Inc | 化学センサ、化学センサ装置 |
US20060108219A1 (en) * | 2003-06-23 | 2006-05-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Chemical sensor and chemical sensor apparatus |
JP2005181296A (ja) * | 2003-11-28 | 2005-07-07 | Rikogaku Shinkokai | 局在化表面プラズモンセンサ、センシング装置およびセンシング方法 |
US20060269966A1 (en) * | 2005-05-30 | 2006-11-30 | Tetsuro Miyamoto | Optical biosensor for biomolecular interaction analysis |
JP2006329900A (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Hitachi Ltd | 生体分子相互作用測定装置及び測定方法 |
US20080218761A1 (en) * | 2007-03-05 | 2008-09-11 | Omron Corporation | Surface plasmon resonance sensor and sensor chip |
JP2008216055A (ja) * | 2007-03-05 | 2008-09-18 | Omron Corp | 表面プラズモン共鳴センサ及び当該センサ用チップ |
WO2009022246A1 (en) * | 2007-08-10 | 2009-02-19 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Sensor array for spr-based detection. |
WO2010122776A1 (ja) * | 2009-04-21 | 2010-10-28 | パナソニック株式会社 | プラズモンセンサとその製造方法、およびプラズモンセンサに試料を挿入する方法 |
JP2010256126A (ja) * | 2009-04-23 | 2010-11-11 | Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute | 局在表面プラズモン共鳴測定基板及び局在表面プラズモン共鳴センサ |
JP2012098083A (ja) * | 2010-10-29 | 2012-05-24 | Nokodai Tlo Kk | 水蒸気透過測定装置および水蒸気透過測定方法 |
JP2012198090A (ja) * | 2011-03-22 | 2012-10-18 | Fujifilm Corp | 光電場増強デバイスおよび該デバイスを備えた測定装置 |
WO2012172971A1 (ja) * | 2011-06-13 | 2012-12-20 | 新日鉄住金化学株式会社 | センサー素子、結露センサー、湿度センサー、結露検知方法及び露点計測装置 |
US20140036268A1 (en) * | 2012-07-31 | 2014-02-06 | Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. | Composite substrate, lspr sensor including the same, method of using lspr sensor, and detection method using lspr sensor |
JP2014029288A (ja) * | 2012-07-31 | 2014-02-13 | Nippon Steel & Sumikin Chemical Co Ltd | 複合基板、局在型表面プラズモン共鳴センサー、その使用方法、及び検知方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101914240B1 (ko) | 2017-08-30 | 2018-11-01 | 차의과학대학교 산학협력단 | 표면 플라즈몬 공명을 이용한 가스 검출 센서 칩, 및 질병 진단을 위한 정보 제공 방법 |
CN110208220A (zh) * | 2019-06-03 | 2019-09-06 | 天津大学 | 一种多芯少模光纤局域表面等离子体共振传感器 |
CN110208220B (zh) * | 2019-06-03 | 2021-11-23 | 天津大学 | 一种多芯少模光纤局域表面等离子体共振传感器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6634217B2 (ja) | 2020-01-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Rao et al. | Review of optical humidity sensors | |
Tao et al. | Hybrid photonic cavity with metal-organic framework coatings for the ultra-sensitive detection of volatile organic compounds with high immunity to humidity | |
Fusco et al. | Nanostructured dielectric fractals on resonant plasmonic metasurfaces for selective and sensitive optical sensing of volatile compounds | |
Canalejas-Tejero et al. | Passivated aluminum nanohole arrays for label-free biosensing applications | |
JP6634217B2 (ja) | 局在表面プラズモン共鳴センサ、ガスセンサ及び製造方法 | |
She et al. | Pd films on soft substrates: a visual, high-contrast and low-cost optical hydrogen sensor | |
JP5939016B2 (ja) | 光学デバイス及び検出装置 | |
US8298495B2 (en) | High sensitivity localized surface plasmon resonance sensor and sensor system using same | |
GB2478829A (en) | Fiber optic hydrogen purity sensor and system | |
CN112881339B (zh) | 基于Fano共振的侧边耦合波导谐振腔的溶液浓度传感器 | |
US20120113424A1 (en) | Hydrogen Detecting Surface Plasmon Resonator, Surface Plasmon Resonance Optical Hydrogen Detector, and Method for Optically Detecting Hydrogen Using Surface Plasmon Resonance | |
JP6673663B2 (ja) | 局在表面プラズモン共鳴センサ | |
WO2014171372A1 (ja) | ガス検出装置、ガス検出方法、及び光学部品 | |
Agarwal et al. | Metamaterial based sucrose detection sensor using transmission spectroscopy | |
CN113945518B (zh) | 一种硅量子点氢气探测器 | |
Pohl et al. | Optical carbon dioxide detection in the visible down to the single digit ppm range using plasmonic perfect absorbers | |
JP2016005279A (ja) | 光マイクロホンおよびその使用方法 | |
JP5460113B2 (ja) | 局在表面プラズモン共鳴測定基板及び局在表面プラズモン共鳴センサ | |
JPWO2006132224A1 (ja) | 反射率変化型センサ、光学式測定装置、反射率変化型センサの製造方法、並びに反射率変化型センサ用自己組織化微粒子単層膜、自己組織化微粒子単層膜及びこれら単層膜の製造方法 | |
JP2007232640A (ja) | 局在プラズモン共鳴センサ及びそれを用いた測定装置 | |
CN112050940A (zh) | 一种小型化强激光功率探测结构 | |
Iwami et al. | Plasmon-resonance dew condensation sensor made of gold-ceramic nanocomposite and its application in condensation prevention | |
CN110596034A (zh) | 一种小型谐振式红外混合气体探测器 | |
KR20180024125A (ko) | 무창축사 환기시스템 | |
JP4293056B2 (ja) | 金属微粒子ー複合体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150427 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180228 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190109 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190125 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190529 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191023 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191113 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191204 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191216 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6634217 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |