JP2015199607A - メタルマスクシートハンドリング治具およびメタルマスクシートの搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】矩形のメタルマスクシートを張力の掛かった状態で保持するため、フレーム枠と、メタルマスクシートの所定の位置を吸着して保持する様に配置した吸着手段と、前記メタルマスクシートに張力を掛ける一対のベースプレートと、前記吸着手段がメタルマスクシートを保持した状態で、前記ベースプレートの一方または、両方が前記フレーム枠に沿って、移動させる架張手段と、を有するメタルマスクシートのハンドリング治具であって、前記フレーム枠に前記メタルマスクシート上に設けたアライメントマークを読取る撮像手段を備えることを特徴とするメタルマスクシートのハンドリング治具。
【選択図】図1
Description
して矢印Aの方向に張力が加えられる。これにより、メタルマスクシート3は、歪みや弛みのない平坦に張った状態に保たれる。
フレーム枠と、
メタルマスクシートの所定の位置を吸着して保持する様に配置した吸着手段と、
前記メタルマスクシートに張力を掛ける一対のベースプレートと、
前記吸着手段がメタルマスクシートを保持した状態で、前記ベースプレートの一方または、両方が前記フレーム枠に沿って、移動させる架張手段と、
を有するメタルマスクシートハンドリング治具であって、
前記フレーム枠に前記メタルマスクシート上に設けたアライメントマークを読取る撮像手段を備えることを特徴とするメタルマスクシートハンドリング治具である。
メタルマスクシートを吸着する直前に読取ったアライメントマークの情報から、吸着手段が前記メタルマスクシートを吸着する位置までのズレ量を求め、前記ズレ量から補正値を取得する補正値取得手段と、
前記補正値を元にメタルマスクシートハンドリング治具の位置を移動させる手段を備えることを特徴とするメタルマスクシートの搬送装置である。
本発明の第一の実施の形態について説明する。
以下、図面を参照して本発明のメタルマスクシートハンドリング治具を実施するための形態を検査のためのパレットへの貼付け工程に受け渡す場合を例として説明する。
次に、本発明の第二の実施の形態について説明する。
第一の実施の形態における張架手段は、図1におけるX方向にのみ張力を加えるため、すべてのしわの発生を抑制できていなかった。
図5は本発明の第二の実施の形態におけるメタルマスクシートハンドリング治具30´の概略構成を示す図であり、図5(a)は平面図、図5(b)は側面図である。
また、前記一対のベースプレート38´は、前記吸着手段31´aによりメタルマスクシートを保持した状態で、ベースプレートの一方または、両方がフレーム枠に沿って、移動させる架張することが可能なメタルマスクシートのハンドリング治具であり、さらにフレーム枠40´にメタルマスクシート20´上に設けたアライメントマークを読取る撮像手段32´−1、32´−2、32´−3と図示しない張力測定手段を備えたメタルマスクシートのハンドリング治具である。
´−1〜32´−3で撮像されたアライメントマークの撮像位置(座標)によってメタルマスクシート20´の回転ずれ量を算出する図示しない回転ずれ量算出部と、算出結果に基づいてメタルマスクシートハンドリング治具の回転ずれを補正する図示しない回転補正部で構成されている。
メタルマスクシートハンドリング治具30´がメタルマスクシート20´に達すると、XYステージ37に設置した吸着手段31´bがメタルマスクシート20の端部21´aと21´bを吸着する(図7(b))。この時、その他の吸着手段31´aは吸着を行わない。
2a・・・有機ELメタルマスクの蒸着マスク用シート
3・・・メタルマスクシート
3a・・・メタルマスクシート端部
4・・・メタルマスクフレーム
4a・・・メタルマスクフレームの側面
6・・・外部張力装置
8・・・挟持部
10・・・張力部
12・・・固定部材
14・・・プレート
16・・・台車部
18・・・当接部
20、20´・・・メタルマスクシート
20b−1、20b−2、20b−3、20´b−1、20´b−2、20´b−3・・・アライメントマーク
21a、21b、21´a、21´b・・・メタルマスクシートの対向する2つの端部
30、30´・・・メタルマスクシートハンドリング治具
31a、31b、31´a、31´b・・・吸着手段
32−1、32−2、32−3、32´−1、32´−2、32´−3・・・撮像手段
32a−1、32b−1、32c−1、32´a−1、32´b−1、32´c−1・・・アライメントマークの撮像画像
32a−2、32b−2、32c−2、32´a−2、32´b−2、32´c−2・・・アライメントマークの撮像画像
33、33´・・・治具把持部
34、34´・・・張架手段
34a、34´a・・・ボールネジ
34b、34´b・・・モーター
34c、34´c・・・すべりネジ
36、36´、36´´、36´´´・・・吸着手段の移動方向
36a、36b、36´a、36´b・・・ブラケット
37・・・XYステージ
38、38´・・・ベースプレート
39・・・治具把持部
40、40´・・・フレーム枠
41、41´・・・メタルマスクシートハンドリング治具の下降方向
42、42´・・・載せ台
43、43´・・・メタルマスクシートハンドリング治具の上昇方向
50・・・メタルマスクシートの搬送装置
51・・・台車部
52、52´・・・支柱部
53・・・支柱伸縮機構
54・・・昇降・回転機構
55・・・治具受け部
60・・・メタルマスク製造関連装置(検査装置など)
Claims (3)
- 矩形のメタルマスクシートを張力の掛かった状態で保持するため、
フレーム枠と、
メタルマスクシートの所定の位置を吸着して保持する様に配置した吸着手段と、
前記メタルマスクシートに張力を掛ける一対のベースプレートと、
前記吸着手段がメタルマスクシートを保持した状態で、前記ベースプレートの一方または、両方が前記フレーム枠に沿って、移動させる架張手段と、
を有するメタルマスクシートハンドリング治具であって、
前記フレーム枠に前記メタルマスクシート上に設けたアライメントマークを読取る撮像手段を備えることを特徴とするメタルマスクシートハンドリング治具。 - 請求項1のメタルマスクシートのハンドリング治具の吸着手段のうち、メタルマスクの四隅にあたる位置の吸着手段について、前記ベースプレート平面に対して個別にスライド移動するスライド機構を備えることを特徴とするメタルマスクシートハンドリング治具。
- 請求項1または2に記載のメタルマスクシートハンドリング治具でメタルマスクシートを吸着し、張力を掛けた状態で、前記メタルマスクシートハンドリング治具を移動する手段を備えたメタルマスクシートの搬送装置であって、
メタルマスクシートを吸着する直前に読取ったアライメントマークの情報から、吸着手段が前記メタルマスクシートを吸着する位置までのズレ量を求め、前記ズレ量から補正値を取得する補正値取得手段と、
前記補正値を元にメタルマスクシートハンドリング治具の位置を移動させる手段を備えることを特徴とするメタルマスクシートの搬送装置。
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