JP2015197506A - 光導波路素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の光導波路素子21は、基板2上に形成された下部クラッド層22と、下部クラッド層22上に形成された電気光学効果を有する樹脂からなるコア層12と、下部クラッド層22上かつコア層12を挟むように形成された信号電極14及び接地電極15と、コア層12、信号電極14及び接地電極15を覆うように形成された上部クラッド層23とを備え、上部クラッド層23の厚みは10μm以上である。
【選択図】図1
Description
一般に、ポリマー材料を用いた光デバイスでは、シリコン等の基板上に下部クラッド層、コア層及び上部クラッド層が積層されており、光導波路は、リブ型の構造となっている。コア層は電気光学効果を有する樹脂(EOポリマー)により構成されており、このコア層に電圧を印加することにより配向制御がされた構造になっている。
なお、このようなリブ型構造の場合、下部クラッド層および上部クラッド層の厚みは2〜6μm程度、コア層の厚みは0.1〜2μm程度である。
図において、符号1は光導波路素子であり、シリコン等からなる基板2上に、金属メッキ等で形成された導電性材料からなる接地電極3が形成され、この接地電極3上にはドライエッチング等により加工された絶縁性材料からなる下部クラッド層(第1のクラッド層)4が形成され、この下部クラッド層4上にスピンコータ等により電気光学効果を有する樹脂(EOポリマー)からなるコア層5が形成され、このコア層5の一部(図では2箇所)には下に向けて突出するリブ型の光導波路6が形成されている。
このコア層5を構成しているEOポリマーは、ポーリングにより配向制御がなされている。
この光導波路素子11は、上記の光導波路素子1とは、シリコン等からなる基板2上に直接下部クラッド層4が形成され、この下部クラッド層4上に、この下部クラッド層4の長手方向に沿ってスピンコータ等により電気光学効果を有する樹脂(EOポリマー)からなるコア層12、12が形成され、これらのコア層12の一部には、下に向けて突出するリブ型の光導波路13が形成され、下部クラッド層4上かつコア層12を両側から挟むように金属メッキ等で形成された導電性材料からなる信号電極(電極層)14及び接地電極(電極層)15が設けられている点が異なる。
そこで、この問題点を解決するために、変調電極を上下のクラッド層の間に埋め込んだ埋め込みコプレーナ構造(In−plane CPW)を有する光導波路素子が提案されている。
このような光導波路素子は、変調電極がマイクロストリップ構造の場合と比べて、光波が伝搬する光導波路に直接的に電界を掛けることが可能であることから、マクロストリップ構造の変調電極よりも高効率な変調が可能であるという優れた点がある。
前記第1のクラッド層の厚みは10μm以上であることが好ましい。
前記第2のクラッド層の厚みは前記第1のクラッド層の厚みよりも厚いことが好ましい。
前記材料は、樹脂からなることが好ましい。
なお、以下の実施の形態は、発明の趣旨をより良く理解させるために具体的に説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。
図1は、本発明の第1の実施形態の変調電極を埋め込みコプレーナ構造とした光導波路素子21を示す断面図であり、上記の光導波路素子1、11と同様、説明を分かり易くするために、それぞれの構成要素の寸法を実際と異ならせている。2つの光導波路6はマッハツェンダー型光導波路において2分岐した光導波路を示している。
また、上記の光導波路素子1、11と同一の構成要素には同一の符号を付してある。
また、上記ポリマーには、必要に応じて無機微粒子や他の成分などを添加して、ポリマーの屈折率や機械特性等を調整することが可能である。
ここで、上部クラッド層23の厚みt1を10μm以上と限定したのは、厚みt1が10μm未満であると、上部クラッド層23の厚みをサブミクロンの単位で制御することが難しくなり、よって、上部クラッド層23の厚みの精度が低下するので好ましくないからである。
このようにすることで、サブミクロンの高精度な膜厚制御をすることなく駆動電圧性のバラツキが少ない光導波路素子21を作製することが可能となる。
一般に、上部クラッド層23及び下部クラッド層22の厚みは、設計や製造の容易性から同程度の厚みとすることがある。しかしながら、上部クラッド層23の厚みを、下部クラッド層22の厚みより厚くすることで、より駆動電圧を低減することができる。
ここで、より大きな駆動電圧の低減を実現するためには、上部クラッド層23の厚みを10〜20μmとすることが好ましい。
また、上部クラッド層23及び下部クラッド層22それぞれの厚みをサブミクロン程度の厚みで制御する必要がないので、これら上部クラッド層23及び下部クラッド層22を再現性良く作製することが可能である。
また、上部クラッド層23の厚みt1を10μm以上に制御することで、下部クラッド層22の厚みt2のバラツキによって発生する駆動電圧のバラツキを抑制することができる。
図2は、本発明の第2の実施形態の変調電極を埋め込みコプレーナ構造とした光導波路素子31を示す断面図であり、上記の光導波路素子21と同様、説明を分かり易くするために、それぞれの構成要素の寸法を実際と異ならせている。2つの光導波路32はマッハツェンダー型光導波路において2分岐した光導波路を示している。
また、上記の光導波路素子21と同一の構成要素には同一の符号を付してある。
図3は、上部クラッド層23と下部クラッド層22の厚みがそれぞれ4μmの場合の駆動電圧Vπを基準にして規格化(規格化駆動電圧Vπ)した場合の下部クラッド層22の厚みと規格化駆動電圧Vπとの関係を示す図である。
ここでは、光導波路素子21について、上部クラッド層23の厚みを2μm、4μm、5μm、7.5μm、10μm、15μm、20μmの7通りに変化させた場合に、それぞれの厚みの上部クラッド層23に対して下部クラッド層22の厚みを2μm、4μm、5μm、7.5μm、10μm、15μm、20μmの7通りに変化させた場合の、下部クラッド層22の厚みと規格化駆動電圧Vπとの関係を示している。
ここでは、光導波路素子21について、下部クラッド層22の厚みを2μm、4μm、5μm、7.5μm、10μm、15μm、20μmの7通りに変化させた場合に、それぞれの厚みの下部クラッド層22に対して上部クラッド層23の厚みを2μm、4μm、5μm、7.5μm、10μm、15μm、20μmの7通りに変化させた場合の、上部クラッド層23の厚みと規格化駆動電圧Vπとの関係を示している。
特に、下部クラッド層22の厚みが10μm以上では、下部クラッド層22の厚みの変化に対する規格化駆動電圧Vπの変動が非常に小さく、下部クラッド層22の厚みをサブミクロンで制御する必要がなくなり、よって、光導波路素子の作製が容易となることが分かる。
特に、上部クラッド層23の厚みが10μm以上では、上部クラッド層23の厚みの変化に対する規格化駆動電圧Vπの変動が非常に小さく、上部クラッド層23の厚みをサブミクロンで制御する必要がなくなり、よって、光導波路素子の作製が容易となることが分かる。
2 基板
12 コア層
13 下に向けて突出するリブ
14 信号電極(電極層)
15 接地電極(電極層)
22 下部クラッド層(第1のクラッド層)
23 上部クラッド層(第2のクラッド層)
31 光導波路素子
32 上に向けて突出するリブ
Claims (5)
- 基板上に形成された第1のクラッド層と、前記第1のクラッド層上に形成された電気光学効果を有する材料からなるコア層と、前記第1のクラッド層上かつ前記コア層を挟むように形成された電極層と、前記コア層及び前記電極層を覆うように形成された第2のクラッド層とを備えた光導波路素子において、
前記第2のクラッド層の厚みは10μm以上であることを特徴とする光導波路素子。 - 前記第2のクラッド層の厚みは15μm以上であることを特徴とする請求項1記載の光導波路素子。
- 前記第1のクラッド層の厚みは10μm以上であることを特徴とする請求項1または2記載の光導波路素子。
- 前記第2のクラッド層の厚みは前記第1のクラッド層の厚みよりも厚いことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項記載の光導波路素子。
- 前記材料は、樹脂からなることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項記載の光導波路素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014074534A JP2015197506A (ja) | 2014-03-31 | 2014-03-31 | 光導波路素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2018087769A Division JP6705468B2 (ja) | 2018-04-27 | 2018-04-27 | 光導波路素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015197506A true JP2015197506A (ja) | 2015-11-09 |
Family
ID=54547241
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2014074534A Pending JP2015197506A (ja) | 2014-03-31 | 2014-03-31 | 光導波路素子 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2015197506A (ja) |
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