JP2015193110A - thermal print head - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thermal print head in which an electrostatic breakdown can be suppressed.SOLUTION: A thermal print head A1 comprises a base material 1, a plurality of heat generating portions 211 that are supported by the base material 1 and arrayed in a main scanning direction and a protecting layer 3 that covers the plurality of heat generating portions 211. In the protecting layer 3, sites contacting the plurality of heat generating portions 211 are formed of insulating materials; at least parts of outer surfaces positioned at opposite sides of the plurality of heat generating portions are formed of conductive materials; and the sites formed of conductive materials of the protecting layer 3 are connected to the ground.

Description

本発明は、サーマルプリントヘッドに関する。   The present invention relates to a thermal print head.

サーマルプリントヘッドは、感熱紙などに印刷するサーマルプリンタの主要構成デバイスである。特許文献1には、従来のサーマルプリントヘッドの一例が開示されている。同文献に開示されたサーマルプリントヘッドは、基材上に抵抗体層および電極層が積層されている。これらの抵抗体層および電極層がパターニングされていることにより、前記抵抗体層によって主走査方向に配列された複数の発熱部が構成されている。また、前記抵抗体層および前記電極層は、絶縁性の保護層によって覆われている。前記保護層は、感熱紙などとの摩擦によって前記電極層や前記抵抗体層が損傷することを回避するためのものである。   The thermal print head is a main component device of a thermal printer that prints on thermal paper or the like. Patent Document 1 discloses an example of a conventional thermal print head. In the thermal print head disclosed in this document, a resistor layer and an electrode layer are laminated on a substrate. By patterning these resistor layers and electrode layers, a plurality of heat generating portions arranged in the main scanning direction are constituted by the resistor layers. The resistor layer and the electrode layer are covered with an insulating protective layer. The protective layer is for avoiding damage to the electrode layer and the resistor layer due to friction with thermal paper or the like.

前記サーマルプリントヘッドを用いた印刷を行うと、前記保護層と感熱紙などとが継続的に擦れ合う。この摩擦によって、前記保護層に静電気が帯電する。過大な静電気が帯電すると、前記サーマルプリントヘッドが静電破壊を起こすおそれがある。   When printing using the thermal print head is performed, the protective layer and the thermal paper are rubbed continuously. Due to this friction, static electricity is charged in the protective layer. If excessive static electricity is charged, the thermal print head may cause electrostatic breakdown.

特開2013−248756号公報JP 2013-248756 A

本発明は、上記した事情のもとで考え出されたものであって、静電破壊を抑制することが可能なサーマルプリントヘッドを提供することをその課題とする。   The present invention has been conceived under the above circumstances, and an object thereof is to provide a thermal print head capable of suppressing electrostatic breakdown.

本発明によって提供されるサーマルプリントヘッドは、基材と、前記基材に支持され、かつ主走査方向に配列された複数の発熱部と、前記複数の発熱部を覆う保護層と、を備えたサーマルプリントヘッドであって、前記保護層は、前記複数の発熱部に接する部位が絶縁性材料からなり、かつ厚さ方向において前記複数の発熱部とは反対側に位置する外表面の少なくとも一部が導電性材料からなり、前記保護層のうち前記導電性材料からなる部位がグランド接続されていることを特徴としている。   A thermal print head provided by the present invention includes a base material, a plurality of heat generating parts supported by the base material and arranged in a main scanning direction, and a protective layer covering the plurality of heat generating parts. In the thermal print head, the protective layer is made of an insulating material at a portion in contact with the plurality of heat generating portions, and at least a part of an outer surface located on the opposite side to the plurality of heat generating portions in the thickness direction. Is made of a conductive material, and a portion of the protective layer made of the conductive material is grounded.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記基材に支持され、かつグランド接続されるべきグランド接続部を有する配線層を備えている。   In preferable embodiment of this invention, the wiring layer which has the ground connection part which should be supported by the said base material and should be ground-connected is provided.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記配線層の前記グランド接続部と前記保護層の前記外表面とを接続する導電部材を備える。   In preferable embodiment of this invention, the electrically-conductive member which connects the said ground connection part of the said wiring layer and the said outer surface of the said protective layer is provided.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記導電部材は、Agを含む。   In a preferred embodiment of the present invention, the conductive member contains Ag.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記保護層は、前記複数の発熱部に接する絶縁性材料からなる絶縁層と、この絶縁層上に形成された導電性材料からなる導電層と、を有する。   In a preferred embodiment of the present invention, the protective layer has an insulating layer made of an insulating material in contact with the plurality of heat generating portions, and a conductive layer made of a conductive material formed on the insulating layer. .

本発明の好ましい実施の形態においては、前記導電層が、前記複数の発熱部を覆っている。   In a preferred embodiment of the present invention, the conductive layer covers the plurality of heat generating portions.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記導電層が、前記保護層の全面にわたって形成されている。   In a preferred embodiment of the present invention, the conductive layer is formed over the entire surface of the protective layer.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記絶縁層および前記導電層のそれぞれは、前記導電部材に覆われており、かつ平面視において一致する端縁を有する。   In a preferred embodiment of the present invention, each of the insulating layer and the conductive layer is covered with the conductive member and has an edge that coincides in plan view.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記導電層は、前記絶縁層よりも厚い。   In a preferred embodiment of the present invention, the conductive layer is thicker than the insulating layer.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記絶縁層は、SiO2からなる。 In a preferred embodiment of the present invention, the insulating layer is made of SiO 2.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記導電層は、C/SiC、SiNまたはSiALONからなる。   In a preferred embodiment of the present invention, the conductive layer is made of C / SiC, SiN, or SiALON.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記配線層は、前記基材側に位置する下層と、この下層上に形成された上層とを有する。   In preferable embodiment of this invention, the said wiring layer has a lower layer located in the said base material side, and an upper layer formed on this lower layer.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記導電部材は、前記グランド接続部の前記下層のうち前記上層から延出した延出部に接している。   In a preferred embodiment of the present invention, the conductive member is in contact with an extending portion extending from the upper layer in the lower layer of the ground connection portion.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記導電部材を覆う保護部材を備える。   In preferable embodiment of this invention, the protective member which covers the said electrically-conductive member is provided.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記保護部材は、前記保護層の少なくとも一部を覆っている。   In a preferred embodiment of the present invention, the protective member covers at least a part of the protective layer.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記保護部材は、前記配線層の少なくとも一部を覆っている。   In a preferred embodiment of the present invention, the protective member covers at least a part of the wiring layer.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記保護部材は、前記配線層の前記下層の前記延出部のすべてを覆っている。   In a preferred embodiment of the present invention, the protection member covers all of the extending portions of the lower layer of the wiring layer.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記保護部材は、前記配線層の前記上層の少なくとも一部を覆っている。   In a preferred embodiment of the present invention, the protective member covers at least a part of the upper layer of the wiring layer.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記保護層は、前記複数の発熱部に接する絶縁性材料からなる絶縁層と、この絶縁層上に形成された導電性材料からなる導電層と、を有するとともに、前記グランド接続部の少なくとも一部を覆っており、前記導電層が前記グランド接続部に接している。   In a preferred embodiment of the present invention, the protective layer has an insulating layer made of an insulating material in contact with the plurality of heat generating portions, and a conductive layer made of a conductive material formed on the insulating layer. In addition, at least a part of the ground connection portion is covered, and the conductive layer is in contact with the ground connection portion.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記導電層が、前記複数の発熱部を覆っている。   In a preferred embodiment of the present invention, the conductive layer covers the plurality of heat generating portions.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記導電層が、前記保護層の全面にわたって形成されている。   In a preferred embodiment of the present invention, the conductive layer is formed over the entire surface of the protective layer.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記絶縁層は、前記グランド接続部の少なくとも一部を覆っており、かつ前記導電層を前記グランド接続部に接しさせる開口を有する。   In a preferred embodiment of the present invention, the insulating layer covers at least a part of the ground connection portion, and has an opening for contacting the conductive layer with the ground connection portion.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記絶縁層および前記導電層のそれぞれは、平面視において互いに一致しない端縁を有する。   In a preferred embodiment of the present invention, each of the insulating layer and the conductive layer has edges that do not coincide with each other in plan view.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記導電層は、前記絶縁層よりも厚い。   In a preferred embodiment of the present invention, the conductive layer is thicker than the insulating layer.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記絶縁層は、SiO2からなる。 In a preferred embodiment of the present invention, the insulating layer is made of SiO 2.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記導電層は、C/SiC、SiNまたはSiALONからなる。   In a preferred embodiment of the present invention, the conductive layer is made of C / SiC, SiN, or SiALON.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記配線層は、前記基材側に位置する下層と、この下層上に形成された上層とを有している。   In preferable embodiment of this invention, the said wiring layer has the lower layer located in the said base material side, and the upper layer formed on this lower layer.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記導電層は、前記グランド接続部の前記下層のうち前記上層から延出した延出部に接している。   In a preferred embodiment of the present invention, the conductive layer is in contact with an extending portion extending from the upper layer in the lower layer of the ground connection portion.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記導電部材を覆う保護部材を備える。   In preferable embodiment of this invention, the protective member which covers the said electrically-conductive member is provided.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記保護部材は、前記保護層の少なくとも一部を覆っている。   In a preferred embodiment of the present invention, the protective member covers at least a part of the protective layer.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記保護部材は、前記配線層の少なくとも一部を覆っている。   In a preferred embodiment of the present invention, the protective member covers at least a part of the wiring layer.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記保護部材は、前記配線層の前記下層の前記延出部のすべてを覆っている。   In a preferred embodiment of the present invention, the protection member covers all of the extending portions of the lower layer of the wiring layer.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記保護部材は、前記配線層の前記上層の少なくとも一部を覆っている。   In a preferred embodiment of the present invention, the protective member covers at least a part of the upper layer of the wiring layer.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記配線層の前記下層は、前記複数の発熱部を構成する部分を有する抵抗体層である。   In a preferred embodiment of the present invention, the lower layer of the wiring layer is a resistor layer having portions constituting the plurality of heat generating portions.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記抵抗体層は、TaSiO2またはTaNからなる。 In a preferred embodiment of the present invention, the resistor layer is made of TaSiO 2 or TaN.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記上層は、前記抵抗体層よりも電気抵抗が小さい材質からなる電極層である。   In a preferred embodiment of the present invention, the upper layer is an electrode layer made of a material having an electric resistance smaller than that of the resistor layer.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記電極層は、Alからなる。   In a preferred embodiment of the present invention, the electrode layer is made of Al.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記電極層は、各々が前記複数の発熱部へと延びる複数の個別電極を有する。   In a preferred embodiment of the present invention, the electrode layer has a plurality of individual electrodes each extending to the plurality of heat generating portions.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記電極層は、副走査方向において前記複数の発熱部を挟んで個別電極と対向配置された複数の櫛歯部を具備する共通電極を有する。   In a preferred embodiment of the present invention, the electrode layer has a common electrode having a plurality of comb-tooth portions arranged to face the individual electrodes with the plurality of heat generating portions interposed therebetween in the sub-scanning direction.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記基材に対して副走査方向に隣接して配置された副基板と、前記副基板に搭載され、かつ前記複数の発熱部での発熱を制御するドライバICと、を備える。   In a preferred embodiment of the present invention, a sub-board disposed adjacent to the base material in the sub-scanning direction, and a driver mounted on the sub-board and controlling heat generation in the plurality of heat generating portions IC.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記ドライバICを封止する封止部材を備えている。   In a preferred embodiment of the present invention, a sealing member for sealing the driver IC is provided.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記副基板は、グランドラインを有しており、前記グランド接続部と前記グランドラインとは、ワイヤを介して接続されている。   In a preferred embodiment of the present invention, the sub-board has a ground line, and the ground connection portion and the ground line are connected via a wire.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記封止部材は、前記ワイヤを封止している。   In a preferred embodiment of the present invention, the sealing member seals the wire.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記基材に支持されており、かつ前記複数の発熱部での発熱を制御するドライバICを備える。   In a preferred embodiment of the present invention, a driver IC is provided that is supported by the base material and controls heat generation at the plurality of heat generating portions.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記ドライバICは、前記配線層にフリップチップ実装されている。   In a preferred embodiment of the present invention, the driver IC is flip-chip mounted on the wiring layer.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記配線層に接続されたフレキシブル配線基板を備える。   In preferable embodiment of this invention, the flexible wiring board connected to the said wiring layer is provided.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記基材に対して前記複数の発熱部とは反対側に接合された放熱部材を備える。   In preferable embodiment of this invention, the heat radiating member joined to the opposite side to the said several heat-emitting part with respect to the said base material is provided.

本発明の好ましい実施の形態においては、前記基材は、セラミックスからなる。   In preferable embodiment of this invention, the said base material consists of ceramics.

本発明によれば、前記保護層の前記外表面が導電性材料からなり、この外表面がグランド接続されている。これにより、前記サーマルプリントヘッドが使用される際に、前記保護層と感熱紙などが継続的に擦れ合っても、これによって生じる静電気は、前記保護層の外表面からグランド接続によって排出される。したがって、前記保護層に過大な静電気が帯電することを防止可能であり、前記サーマルプリントヘッドの静電破壊を抑制することができる。   According to the present invention, the outer surface of the protective layer is made of a conductive material, and the outer surface is grounded. Accordingly, even when the protective layer and the thermal paper are continuously rubbed when the thermal print head is used, static electricity generated thereby is discharged from the outer surface of the protective layer by ground connection. Therefore, it is possible to prevent excessive static electricity from being charged in the protective layer, and to suppress electrostatic breakdown of the thermal print head.

本発明のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。   Other features and advantages of the present invention will become more apparent from the detailed description given below with reference to the accompanying drawings.

本発明の第一実施形態に基づくサーマルプリントヘッドを示す平面図である。It is a top view which shows the thermal print head based on 1st embodiment of this invention. 図1のサーマルプリントヘッドを示す要部平面図である。It is a principal part top view which shows the thermal print head of FIG. 図2のIII−III線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the III-III line of FIG. 図2のIV−IV線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the IV-IV line of FIG. 図1のサーマルプリントヘッドを示す要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view which shows the thermal print head of FIG. 図1のサーマルプリントヘッドを示す要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view which shows the thermal print head of FIG. 図1のサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a main part showing an example of a method for manufacturing the thermal print head of FIG. 1. 図1のサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a main part showing an example of a method for manufacturing the thermal print head of FIG. 1. 図1のサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a main part showing an example of a method for manufacturing the thermal print head of FIG. 1. 図1のサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a main part showing an example of a method for manufacturing the thermal print head of FIG. 1. 図1のサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a main part showing an example of a method for manufacturing the thermal print head of FIG. 1. 図1のサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a main part showing an example of a method for manufacturing the thermal print head of FIG. 1. 図1のサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a main part showing an example of a method for manufacturing the thermal print head of FIG. 1. 図1のサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a main part showing an example of a method for manufacturing the thermal print head of FIG. 1. 図1のサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a main part showing an example of a method for manufacturing the thermal print head of FIG. 1. 図1のサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a main part showing an example of a method for manufacturing the thermal print head of FIG. 1. 図1のサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a main part showing an example of a method for manufacturing the thermal print head of FIG. 1. 図1のサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a main part showing an example of a method for manufacturing the thermal print head of FIG. 1. 図1のサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a main part showing an example of a method for manufacturing the thermal print head of FIG. 1. 図1のサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a main part showing an example of a method for manufacturing the thermal print head of FIG. 1. 図1のサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a main part showing an example of a method for manufacturing the thermal print head of FIG. 1. 本発明の第二実施形態に基づくサーマルプリントヘッドを示す平面図である。It is a top view which shows the thermal print head based on 2nd embodiment of this invention. 本発明の第三実施形態に基づくサーマルプリントヘッドを示す平面図である。It is a top view which shows the thermal print head based on 3rd embodiment of this invention. 図23のサーマルプリントヘッドを示す要部拡大平面図である。It is a principal part enlarged plan view which shows the thermal print head of FIG. 本発明の第四実施形態に基づくサーマルプリントヘッドを示す要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view which shows the thermal print head based on 4th embodiment of this invention. 図25のサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部拡大断面図である。It is principal part expanded sectional drawing which shows an example of the manufacturing method of the thermal print head of FIG. 図25のサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部拡大断面図である。It is principal part expanded sectional drawing which shows an example of the manufacturing method of the thermal print head of FIG. 図25のサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部拡大断面図である。It is principal part expanded sectional drawing which shows an example of the manufacturing method of the thermal print head of FIG. 本発明の第五実施形態に基づくサーマルプリントヘッドを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the thermal print head based on 5th embodiment of this invention. 本発明の第五実施形態に基づくサーマルプリントヘッドを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the thermal print head based on 5th embodiment of this invention.

以下、本発明の好ましい実施の形態につき、図面を参照して具体的に説明する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be specifically described with reference to the drawings.

図1〜図6は、本発明の第一実施形態に基づくサーマルプリントヘッドを示している。本実施形態のサーマルプリントヘッドA1は、基材1、配線層2、保護層3、導電部材4、ドライバIC5、副基板6および放熱部材7を備えている。   1 to 6 show a thermal print head according to a first embodiment of the present invention. The thermal print head A1 of the present embodiment includes a base material 1, a wiring layer 2, a protective layer 3, a conductive member 4, a driver IC 5, a sub board 6, and a heat radiating member 7.

図1は、本発明のサーマルプリントヘッドA1を示す平面図である。図2は、サーマルプリントヘッドA1を示す要部平面図である。図3は、図2のIII−III線に沿う断面図である。図4は、図2のIV−IV線に沿う断面図である。図5は、図1のサーマルプリントヘッドを示す要部拡大断面図である。図6は、図1のサーマルプリントヘッドを示す要部拡大断面図である。これらの図において、主走査方向がx方向であり、副走査方向がy方向である。また、図1においては、理解の便宜上、3および導電部材4を省略している。   FIG. 1 is a plan view showing a thermal print head A1 of the present invention. FIG. 2 is a plan view of an essential part showing the thermal print head A1. 3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV in FIG. FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of a main part showing the thermal print head of FIG. FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of a main part showing the thermal print head of FIG. In these drawings, the main scanning direction is the x direction, and the sub scanning direction is the y direction. Moreover, in FIG. 1, 3 and the electrically-conductive member 4 are abbreviate | omitted for convenience of understanding.

基材1は、サーマルプリントヘッドA1の土台となるものであり、好ましくは表面が絶縁性を示す。基材1の材質は特に限定されないが、本実施形態においてはアルミナなどのセラミックスからなる場合を例に説明する。基材1は、x方向に長く延びる長矩形状である。基材1は、z方向において互いに反対側を向く主面11および裏面12を有している。基材1の主面11には、グレーズ層13が形成されている。グレーズ層13は、たとえば非晶質ガラスなどのガラス材料からなる。グレーズ層13は、x方向に長く延びる帯状であり、yz平面における断面がz方向に若干膨出した形状である。なお、グレーズ層13は、基材1の主面11の全面に形成されていてもよい。   The base material 1 serves as a base of the thermal print head A1, and the surface preferably exhibits insulating properties. Although the material of the base material 1 is not specifically limited, In this embodiment, the case where it consists of ceramics, such as an alumina, is demonstrated to an example. The substrate 1 has a long rectangular shape that extends long in the x direction. The substrate 1 has a main surface 11 and a back surface 12 that face opposite sides in the z direction. A glaze layer 13 is formed on the main surface 11 of the substrate 1. The glaze layer 13 is made of a glass material such as amorphous glass. The glaze layer 13 has a strip shape extending long in the x direction, and has a shape in which a cross section in the yz plane slightly bulges in the z direction. Note that the glaze layer 13 may be formed on the entire main surface 11 of the substrate 1.

配線層2は、サーマルプリントヘッドA1において電流が流れる経路を構成するものであり、本実施形態においては、基材1の主面11に形成されている。なお、配線層2は、基材1の主面11以外の部分に形成された部位を有していてもよい。配線層2は、抵抗体層21および電極層22からなる。抵抗体層21は、本発明で言う下層に相当し、電極層22は、本発明で言う上層に相当する。本実施形態においては、抵抗体層21および電極層22は、いずれもが後述するスパッタリングなどの成膜技術によって形成された構成を例に説明するが、これに限定されない。たとえば、金属成分を含むペーストを微細印刷し、これを焼成するなどによって抵抗体層21および電極層22を形成してもよい。また、基材1に対する抵抗体層21および電極層22の位置関係は、適宜設定可能である。配線層2は、図1および図2に示す形状にパターン形成されている。   The wiring layer 2 constitutes a path through which a current flows in the thermal print head A1, and is formed on the main surface 11 of the substrate 1 in this embodiment. The wiring layer 2 may have a portion formed in a portion other than the main surface 11 of the substrate 1. The wiring layer 2 includes a resistor layer 21 and an electrode layer 22. The resistor layer 21 corresponds to the lower layer referred to in the present invention, and the electrode layer 22 corresponds to the upper layer referred to in the present invention. In the present embodiment, the resistor layer 21 and the electrode layer 22 will be described by taking, as an example, a configuration formed by a film forming technique such as sputtering described later, but is not limited thereto. For example, the resistor layer 21 and the electrode layer 22 may be formed by finely printing a paste containing a metal component and firing the paste. Further, the positional relationship between the resistor layer 21 and the electrode layer 22 with respect to the substrate 1 can be set as appropriate. The wiring layer 2 is patterned in the shape shown in FIGS.

抵抗体層21は、基材1の主面11上およびグレーズ層13上に形成されている。抵抗体層21は、複数の発熱部211を有している。複数の発熱部211は、グレーズ層13上においてx方向に一列に配置されている。これらの発熱部211に電流が流れることによって生じる熱が、サーマルプリントヘッドA1による印刷の熱源となる。このような抵抗体層21の材質としては、たとえばたとえば、TaSiO2またはTaNが挙げられる。また、抵抗体層21の厚さは特に限定されないが、その一例を挙げると、たとえば0.05μm〜0.2μm程度である。 The resistor layer 21 is formed on the main surface 11 of the substrate 1 and the glaze layer 13. The resistor layer 21 has a plurality of heat generating portions 211. The plurality of heat generating portions 211 are arranged in a row in the x direction on the glaze layer 13. Heat generated by current flowing through these heat generating portions 211 becomes a heat source for printing by the thermal print head A1. Examples of the material of the resistor layer 21 include TaSiO 2 and TaN. Further, the thickness of the resistor layer 21 is not particularly limited, but an example thereof is, for example, about 0.05 μm to 0.2 μm.

電極層22は、抵抗体層21上に形成されており、抵抗体層21の材質よりも抵抗値が小さい材質からなる。このような電極層22の材質としては、たとえばAlが挙げられるがこれに限定されず、たとえばCuまたはAuなどが用いられてもよい。電極層22の厚さは特に限定されないが、その一例を挙げると、たとえば0.5μm〜2.0μm程度である。   The electrode layer 22 is formed on the resistor layer 21 and is made of a material having a resistance value smaller than that of the resistor layer 21. Examples of such a material of the electrode layer 22 include Al, but are not limited thereto. For example, Cu or Au may be used. The thickness of the electrode layer 22 is not particularly limited, but an example thereof is, for example, about 0.5 μm to 2.0 μm.

本実施形態においては、図1および図2に示す配線層2が形成された領域すべてに抵抗体層21が存在している。一方、電極層22は、抵抗体層21の一部を適宜露出させている。具体的には、電極層22は、複数の個別電極221および共通電極222を有している。複数の個別電極221は、各々がy方向に沿って延びる帯状であり、複数の発熱部211へと延びている。共通電極222は、複数の櫛歯部223と迂回部224とを有している。複数の櫛歯部223は、各々がy方向において発熱部211を挟んで個別電極221と対向配置されている。すなわち、抵抗体層21のうち複数の個別電極221と複数の櫛歯部223との間において電極層22から露出した部分が、複数の発熱部211である。迂回部224は、複数の櫛歯部223が繋がっており、基材1の主面11状をx方向に延びる部分と、この端部からy方向に延びる部分とを有している。   In the present embodiment, the resistor layer 21 exists in the entire region where the wiring layer 2 shown in FIGS. 1 and 2 is formed. On the other hand, the electrode layer 22 exposes part of the resistor layer 21 as appropriate. Specifically, the electrode layer 22 has a plurality of individual electrodes 221 and a common electrode 222. Each of the plurality of individual electrodes 221 has a strip shape extending along the y direction, and extends to the plurality of heat generating portions 211. The common electrode 222 has a plurality of comb-tooth portions 223 and a detour portion 224. Each of the plurality of comb-tooth portions 223 is disposed to face the individual electrode 221 with the heat generating portion 211 interposed therebetween in the y direction. That is, portions of the resistor layer 21 that are exposed from the electrode layer 22 between the plurality of individual electrodes 221 and the plurality of comb-tooth portions 223 are the plurality of heat generating portions 211. The detour portion 224 is connected to a plurality of comb-tooth portions 223, and has a portion extending in the x direction from the main surface 11 of the substrate 1, and a portion extending from the end portion in the y direction.

また、配線層2は、グランド接続部23を有している。グランド接続部23は、グランド接続される部分である。グランド接続部23の形状は特に限定されないが、本実施形態においては、図2に示すように平面視矩形状とされている。また、本実施形態においては、グランド接続部23は、図1および図2に示すように、基材1のx方向一端寄りに配置されている。より具体的には、グランド接続部23は、x方向において複数の個別電極221と共通電極222の迂回部224のy方向に延びる部分との間に配置されている。   Further, the wiring layer 2 has a ground connection portion 23. The ground connection portion 23 is a portion that is grounded. The shape of the ground connection portion 23 is not particularly limited, but in the present embodiment, it is rectangular in plan view as shown in FIG. Moreover, in this embodiment, the ground connection part 23 is arrange | positioned near the x direction one end of the base material 1, as shown in FIG.1 and FIG.2. More specifically, the ground connection portion 23 is disposed between the plurality of individual electrodes 221 and the portion of the detour portion 224 of the common electrode 222 that extends in the y direction in the x direction.

図4および図6に示すように、グランド接続部23は、抵抗体層21および電極層22の一部ずつによって形成されている。後述する製造方法における便宜からこのような構成が好ましいが、グランド接続部23は、抵抗体層21または電極層22のいずれかのみによって形成されてもよい。また、本発明で言うグランド接続部は、配線層2とは別の部材によって構成されてもよい。グランド接続部23においては、抵抗体層21の一部が電極層22から延出している。この部分は、延出部231とされる。延出部231は、抵抗体層21からy方向において複数の発熱部211が存在する側に向けて延出している。   As shown in FIGS. 4 and 6, the ground connection portion 23 is formed by part of the resistor layer 21 and the electrode layer 22. Although such a configuration is preferable for convenience in the manufacturing method described later, the ground connection portion 23 may be formed by only one of the resistor layer 21 and the electrode layer 22. Further, the ground connection portion referred to in the present invention may be configured by a member different from the wiring layer 2. In the ground connection portion 23, a part of the resistor layer 21 extends from the electrode layer 22. This portion is an extended portion 231. The extending portion 231 extends from the resistor layer 21 toward the side where the plurality of heat generating portions 211 exist in the y direction.

保護層3は、抵抗体層21を保護するためのものである。保護層3は、図2に示すように、少なくとも複数の発熱部211を覆っており、本実施形態においては、配線層2のほぼすべてを覆っている。保護層3は、複数の発熱部211に接する部位が絶縁性材料からなり、かつ厚さ方向において複数の発熱部211とは反対側に位置する外表面30の少なくとも一部が導電性材料からなる。このような構成を実現する具体的構成として、本実施形態においては、保護層3は、絶縁層31および導電層32を有する。   The protective layer 3 is for protecting the resistor layer 21. As shown in FIG. 2, the protective layer 3 covers at least the plurality of heat generating portions 211, and covers almost all of the wiring layer 2 in this embodiment. The protective layer 3 is made of an insulating material at a portion in contact with the plurality of heat generating portions 211, and at least a part of the outer surface 30 located on the side opposite to the plurality of heat generating portions 211 in the thickness direction is made of a conductive material. . As a specific configuration for realizing such a configuration, in the present embodiment, the protective layer 3 includes an insulating layer 31 and a conductive layer 32.

絶縁層31は、基材1の主面11上に形成されており、複数の発熱部211に接するそうである。絶縁層31は、絶縁材料からなる。このような絶縁材料は、特に限定されないが、一例としてSiO2が挙げられる。絶縁層31の厚さは特に限定されないが、一例を挙げると0.6μm〜2.0μm程度である。 The insulating layer 31 is formed on the main surface 11 of the substrate 1 and is in contact with the plurality of heat generating portions 211. The insulating layer 31 is made of an insulating material. Such an insulating material is not particularly limited, and an example thereof is SiO 2 . The thickness of the insulating layer 31 is not particularly limited, but an example is about 0.6 μm to 2.0 μm.

導電層32は、絶縁層31上に形成されており、導電性材料からなる。このような導電性材料は特に限定されないが、一例としてC/SiC、SiNまたはSiALONが挙げられる。導電層32の厚さは、特に限定されないが、一例を挙げると4.0〜6.0μm程度である。   The conductive layer 32 is formed on the insulating layer 31 and is made of a conductive material. Such a conductive material is not particularly limited, and examples thereof include C / SiC, SiN, and SiALON. The thickness of the conductive layer 32 is not particularly limited, but an example is about 4.0 to 6.0 μm.

なお、保護層3は、絶縁層31および導電層32のみからなる構成に限定されない。絶縁層31と導電層32との間に介在する他の層などをさらに備える構成であってもよい。また、保護層3は、厚さ方向において組成が徐々に変化する構成であることにより、複数の発熱部211に接する部分が絶縁性を示し、外表面30において導電性を示す構成であってもよい。   In addition, the protective layer 3 is not limited to the structure which consists only of the insulating layer 31 and the conductive layer 32. The structure which further includes the other layer etc. which intervene between the insulating layer 31 and the conductive layer 32 may be sufficient. Further, the protective layer 3 has a configuration in which the composition gradually changes in the thickness direction, so that the portions in contact with the plurality of heat generating portions 211 exhibit insulation and the outer surface 30 exhibits conductivity. Good.

導電層32は、少なくとも複数の発熱部211を覆う、すなわち平面視において複数の発熱部211と重なることが好ましい。さらに、本実施形態においては、導電層32は、絶縁層31の全面に形成されている。図6に示すように、絶縁層31は端縁311を有しており、導電層32は、端縁321を有している。端縁311および端縁321は、x方向に延びており、平面視において互いに一致している。また、本実施形態においては、端縁311および端縁321は、グランド接続部23の延出部231上に位置する部分を有している。   The conductive layer 32 preferably covers at least the plurality of heat generating portions 211, that is, overlaps with the plurality of heat generating portions 211 in a plan view. Further, in the present embodiment, the conductive layer 32 is formed on the entire surface of the insulating layer 31. As shown in FIG. 6, the insulating layer 31 has an edge 311, and the conductive layer 32 has an edge 321. The edge 311 and the edge 321 extend in the x direction and coincide with each other in plan view. In the present embodiment, the end edge 311 and the end edge 321 have a portion located on the extended portion 231 of the ground connection portion 23.

導電部材4は、配線層2のグランド接続部23と保護層3の外表面30とを接続している。導電部材4は、配線層2のグランド接続部23と保護層3の外表面30とを導通させる構成であれば特に限定されないが、本実施形態においては、Agを含むことにより導電性を示すエポキシ樹脂からなる。図6に示すように、本実施形態においては、保護層3が絶縁層31および導電層32からなるため、導電部材4は、絶縁層31に接している。また、導電部材4は、グランド接続部23の延出部231に接しており、グランド接続部23を構成する抵抗体層21には接していない。また、導電部材4は、絶縁層31の端縁311および導電層32の端縁321の一部ずつを覆っている。   The conductive member 4 connects the ground connection portion 23 of the wiring layer 2 and the outer surface 30 of the protective layer 3. The conductive member 4 is not particularly limited as long as it is configured to conduct the ground connection portion 23 of the wiring layer 2 and the outer surface 30 of the protective layer 3, but in the present embodiment, an epoxy that exhibits conductivity by containing Ag. Made of resin. As shown in FIG. 6, in the present embodiment, since the protective layer 3 is composed of the insulating layer 31 and the conductive layer 32, the conductive member 4 is in contact with the insulating layer 31. In addition, the conductive member 4 is in contact with the extending portion 231 of the ground connection portion 23 and is not in contact with the resistor layer 21 constituting the ground connection portion 23. In addition, the conductive member 4 covers each of the edge 311 of the insulating layer 31 and part of the edge 321 of the conductive layer 32.

本実施形態においては、導電部材4は、保護部材41によって覆われている。保護部材41は、一般的にレジスト層と称される絶縁性の層と同様の材質(絶縁性樹脂)からなる。また、保護部材41は、保護層3の少なくとも一部を覆っている。また、保護部材41は、配線層2の少なくとも一部を覆っている。さらに、本実施形態においては、保護部材41は、グランド接続部23の延出部231のすべてを覆っている。   In the present embodiment, the conductive member 4 is covered with a protective member 41. The protective member 41 is made of the same material (insulating resin) as the insulating layer generally called a resist layer. The protective member 41 covers at least a part of the protective layer 3. Further, the protection member 41 covers at least a part of the wiring layer 2. Furthermore, in the present embodiment, the protection member 41 covers all the extending portions 231 of the ground connection portion 23.

副基板6は、基材1に対してy方向に隣接して設けられており、x方向に長く延びる長矩形状である。副基板6は、たとえばガラスエポキシ樹脂からなる基材を有しており、この基材上に配線層61が形成されている。また、副基板6には、2つのコネクタ63が取り付けられている。これらのコネクタ63は、サーマルプリントヘッドA1をサーマルプリンタに接続するために用いられる。   The sub-board 6 is provided adjacent to the base material 1 in the y direction and has a long rectangular shape extending long in the x direction. The sub-board 6 has a base material made of glass epoxy resin, for example, and a wiring layer 61 is formed on the base material. In addition, two connectors 63 are attached to the sub-board 6. These connectors 63 are used to connect the thermal print head A1 to a thermal printer.

図2、図4および図6に示すように、グランド接続部23には、ワイヤ52がボンディングされている。このワイヤ52は、副基板6の配線層61の一部であるグランドライン62にボンディングされている。このグランドライン62は、コネクタ63を介してサーマルプリンタのグランドラインに接続される。   As shown in FIGS. 2, 4, and 6, a wire 52 is bonded to the ground connection portion 23. The wire 52 is bonded to a ground line 62 that is a part of the wiring layer 61 of the sub-board 6. The ground line 62 is connected to the ground line of the thermal printer via the connector 63.

ドライバIC5は、複数の発熱部211に対して選択的に通電することにより、複数の発熱部211における発熱分布や発熱タイミングなどを制御するものである。図1に示すように、本実施形態においては、複数のドライバIC5が、副基板6の基材1寄り部分に配置されている。図2および図3に示すように、ドライバIC5の上面に設けられた複数の電極には、複数のワイヤ52がボンディングされている。これらのワイヤ52の一部は、配線層2の複数の個別電極221に繋がる複数のパッド部にボンディングされている。また、複数のワイヤ52の他の一部は、副基板6の配線層61に適宜ボンディングされている。   The driver IC 5 controls the heat generation distribution and the heat generation timing in the plurality of heat generating portions 211 by selectively energizing the plurality of heat generating portions 211. As shown in FIG. 1, in the present embodiment, a plurality of driver ICs 5 are arranged near the base material 1 of the sub-board 6. As shown in FIGS. 2 and 3, a plurality of wires 52 are bonded to the plurality of electrodes provided on the upper surface of the driver IC 5. Some of these wires 52 are bonded to a plurality of pad portions connected to the plurality of individual electrodes 221 of the wiring layer 2. Further, the other part of the plurality of wires 52 is appropriately bonded to the wiring layer 61 of the sub-board 6.

ドライバIC5は、封止部材51によって覆われている。封止部材51は、たとえば黒色の絶縁性樹脂であり、ドライバIC5を保護するためのものであり、基材1および副基板6にまたがるようにしてドライバIC5を覆っている。図3および図4に示すように、封止部材51は、保護部材41の一部を覆っている。また、封止部材51は、グランド接続部23にボンディングされたワイヤ52を覆っている。   The driver IC 5 is covered with a sealing member 51. The sealing member 51 is, for example, a black insulating resin, and is for protecting the driver IC 5, and covers the driver IC 5 so as to straddle the base material 1 and the sub board 6. As shown in FIGS. 3 and 4, the sealing member 51 covers a part of the protection member 41. The sealing member 51 covers the wire 52 bonded to the ground connection portion 23.

放熱部材7は、基材1の裏面12および副基板6の図中下面に接合層71を介して取り付けられている。放熱部材7は、基材1からの放熱を促進するためのものであり、たとえばAlなどの金属からなるブロックである。   The heat radiating member 7 is attached to the back surface 12 of the base material 1 and the lower surface of the sub-substrate 6 in the figure via a bonding layer 71. The heat radiating member 7 is for accelerating the heat radiation from the base material 1 and is a block made of a metal such as Al.

次に、サーマルプリントヘッドA1の製造方法の一例について、図7〜図21を参照しつつ以下に説明する。   Next, an example of a manufacturing method of the thermal print head A1 will be described below with reference to FIGS.

まず、図7に示す基材1を用意する。なお、図7は、図5に示す部位を示している。基材1は、たとえばアルミナなどのセラミックスからなる板材である。この基材1の主面11にグレーズ層13を形成する。グレーズ層13の形成は、たとえばガラス成分を含むペーストを主面11の所定領域に塗布し、これを焼成するなどして硬化させることによってなされる。   First, the base material 1 shown in FIG. 7 is prepared. In addition, FIG. 7 has shown the site | part shown in FIG. The base material 1 is a plate material made of ceramics such as alumina, for example. A glaze layer 13 is formed on the main surface 11 of the substrate 1. The glaze layer 13 is formed by, for example, applying a paste containing a glass component to a predetermined region of the main surface 11 and curing it by firing.

次いで、図8および図9に示すように、抵抗体層21Aを形成する。なお、図9は、図6に示す部位を示している。抵抗体層21Aの形成は、たとえばTaSiO2またはTaNなどの抵抗体材料を用いたスパッタリングによって行う。これによって形成される抵抗体層21Aは、その厚さがたとえば0.05μm〜0.2μm程度である。抵抗体層21Aは、基材1の主面11全面に形成される。 Next, as shown in FIGS. 8 and 9, a resistor layer 21A is formed. In addition, FIG. 9 has shown the site | part shown in FIG. The resistor layer 21A is formed by sputtering using a resistor material such as TaSiO 2 or TaN. The resistor layer 21A thus formed has a thickness of, for example, about 0.05 μm to 0.2 μm. The resistor layer 21 </ b> A is formed on the entire main surface 11 of the substrate 1.

次いで、図10および図11に示すように、電極層22Aを形成する。電極層22Aの形成は、たとえばAlなどの良導電材料としての金属を用いたスパッタリングによって行う。これによって形成される電極層22Aは、その厚さがたとえば0.5μm〜2.0μm程度である。電極層22Aは、抵抗体層21Aのすべてを覆うように、その全面に形成される。   Next, as shown in FIGS. 10 and 11, an electrode layer 22A is formed. The electrode layer 22A is formed by sputtering using a metal as a highly conductive material such as Al. The electrode layer 22A formed thereby has a thickness of about 0.5 μm to 2.0 μm, for example. The electrode layer 22A is formed on the entire surface so as to cover the entire resistor layer 21A.

次いで、抵抗体層21Aおよび電極層22Aに対して、パターニングを行う。このパターニングは、たとえば所定の形状に微細加工されたマスクを用いたエッチングによって行う。これにより、抵抗体層21Aおよび電極層22Aは、図2に示された配線層2とほぼ同様の平面視形状にパターニングされる。これにより、図12に示すように、抵抗体層21が形成され、抵抗体層21および電極層22Aは、上述したグランド接続部23を形成すべき部位を有する構成となる。   Next, the resistor layer 21A and the electrode layer 22A are patterned. This patterning is performed, for example, by etching using a mask finely processed into a predetermined shape. As a result, the resistor layer 21A and the electrode layer 22A are patterned into a plan view shape substantially the same as that of the wiring layer 2 shown in FIG. As a result, as shown in FIG. 12, the resistor layer 21 is formed, and the resistor layer 21 and the electrode layer 22A have a configuration in which the above-described ground connection portion 23 is to be formed.

次いで、電極層22Aに対して選択的にパターニングを施す。これにより、図13に示すように、複数の個別電極221および共通電極222を有する電極層22を形成する。また、複数の個別電極221および共通電極222が形成されることにより、抵抗体層21は、複数の発熱部211を有する形態となる。また図14に示すように、抵抗体層21の一部を電極層22から延出させることにより、延出部231を有するグランド接続部23を形成する。   Next, the electrode layer 22A is selectively patterned. Thereby, as shown in FIG. 13, an electrode layer 22 having a plurality of individual electrodes 221 and a common electrode 222 is formed. Further, by forming the plurality of individual electrodes 221 and the common electrode 222, the resistor layer 21 has a plurality of heat generating portions 211. Further, as shown in FIG. 14, by extending a part of the resistor layer 21 from the electrode layer 22, the ground connection portion 23 having the extending portion 231 is formed.

次いで、図15および図16に示すように、絶縁層31を形成する。絶縁層31の形成はたとえばSiO2に代表されるガラス材料を用いたスパッタリングによって行う。この際、所望の領域に絶縁層31を形成するためにマスク81を用いる。マスク81は、x方向に延びる端縁を有している。この端縁を、グランド接続部23の延出部231に重なるように位置させる。これにより、延出部231に重なり、x方向に長く延びる端縁311を有する絶縁層31が形成される。絶縁層31の厚さは、たとえば0.6μm〜2.0μm程度である。また、絶縁層31は、複数の発熱部211や複数の個別電極221および共通電極222を覆っている。 Next, as shown in FIGS. 15 and 16, an insulating layer 31 is formed. Formation of the insulating layer 31 is performed by sputtering using a glass material typified by SiO 2, for example. At this time, a mask 81 is used to form the insulating layer 31 in a desired region. The mask 81 has an edge extending in the x direction. This end edge is positioned so as to overlap the extended portion 231 of the ground connection portion 23. Thereby, the insulating layer 31 which has the edge 311 which overlaps with the extension part 231 and extends long in the x direction is formed. The thickness of the insulating layer 31 is, for example, about 0.6 μm to 2.0 μm. The insulating layer 31 covers the plurality of heat generating portions 211, the plurality of individual electrodes 221, and the common electrode 222.

次いで、図17および図18に示すように、導電層32を形成する。導電層32の形成はたとえばC/SiC、SiNまたはSiALONに代表される導電性材料を用いたスパッタリングによって行う。この際、上述したマスク81をそのまま用いる。これにより、導電層32は、絶縁層31とまったく同じ領域に形成される。また、導電層32は、端縁311と平面視において一致する端縁321を有するものとなる。導電層32の厚さは、たとえば4.0〜6.0μm程度である。   Next, as shown in FIGS. 17 and 18, a conductive layer 32 is formed. The conductive layer 32 is formed by sputtering using a conductive material typified by C / SiC, SiN, or SiALON, for example. At this time, the mask 81 described above is used as it is. Thereby, the conductive layer 32 is formed in the same region as the insulating layer 31. The conductive layer 32 has an edge 321 that coincides with the edge 311 in a plan view. The thickness of the conductive layer 32 is, for example, about 4.0 to 6.0 μm.

次いで、図19に示すように、導電部材4を形成する。導電部材4の形成は、たとえばAgを比較的高濃度に含むエポキシ樹脂材料を塗布し、これを硬化させることによって行う。前記塗布に置いては、前記エポキシ樹脂材料を絶縁層31の端縁311および導電層32の端縁321に跨るように行う。そして、導電部材4を絶縁層31(保護層3)の外表面30とグランド接続部23の延出部231とに接しさせる。なお、導電部材4は、グランド接続部23を構成する抵抗体層21には接しさせない。   Next, as shown in FIG. 19, the conductive member 4 is formed. The conductive member 4 is formed, for example, by applying an epoxy resin material containing Ag at a relatively high concentration and curing it. In the application, the epoxy resin material is straddled across the edge 311 of the insulating layer 31 and the edge 321 of the conductive layer 32. Then, the conductive member 4 is brought into contact with the outer surface 30 of the insulating layer 31 (protective layer 3) and the extending portion 231 of the ground connection portion 23. The conductive member 4 is not brought into contact with the resistor layer 21 constituting the ground connection portion 23.

次いで、図20に示すように、保護部材41を形成する。保護部材41の形成は、一般的にレジスト層と称される層を構成する絶縁性樹脂材料を用いて、導電部材4を覆うことによって行う。なお、本実施形態においては、保護部材41は、絶縁層31の一部、グランド接続部23絶縁層31の全部およびグランド接続部23を構成する抵抗体層21の一部を覆う。   Next, as shown in FIG. 20, a protective member 41 is formed. The protective member 41 is formed by covering the conductive member 4 with an insulating resin material that forms a layer generally referred to as a resist layer. In the present embodiment, the protection member 41 covers a part of the insulating layer 31, the whole ground connection part 23, and a part of the resistor layer 21 constituting the ground connection part 23.

次いで、図21に示すように、基材1の裏面12に接合層71を介して放熱部材7を接合する。この際に、放熱部材7に接合層71を介して副基板6を取り付ける。この後は、副基板6へのドライバIC5の実装、複数のワイヤ52のボンディングおよび封止部材51の形成などを経ることにより、上述したサーマルプリントヘッドA1が得られる。   Next, as shown in FIG. 21, the heat radiating member 7 is bonded to the back surface 12 of the substrate 1 via the bonding layer 71. At this time, the sub-board 6 is attached to the heat dissipation member 7 via the bonding layer 71. Thereafter, the above-described thermal print head A1 is obtained by mounting the driver IC 5 on the sub-board 6, bonding a plurality of wires 52, and forming the sealing member 51.

次に、サーマルプリントヘッドA1の作用について説明する。   Next, the operation of the thermal print head A1 will be described.

本実施形態によれば、保護層3の外表面30が導電性材料からなり、この外表面30がグランド接続されている。これにより、サーマルプリントヘッドA1が使用される際に、保護層3と感熱紙などが継続的に擦れ合っても、これによって生じる静電気は、保護層3の外表面30からグランド接続によって排出される。したがって、保護層3に過大な静電気が帯電することを防止可能であり、サーマルプリントヘッドA1の静電破壊を抑制することができる。   According to this embodiment, the outer surface 30 of the protective layer 3 is made of a conductive material, and the outer surface 30 is grounded. Thereby, even when the protective layer 3 and the thermal paper are continuously rubbed when the thermal print head A1 is used, static electricity generated by this is discharged from the outer surface 30 of the protective layer 3 by ground connection. . Therefore, it is possible to prevent excessive static electricity from being charged in the protective layer 3, and to suppress electrostatic breakdown of the thermal print head A1.

基材1の主面11上に形成された配線層2がグランド接続部23を有することにより、保護層3の外表面30とグランド接続部23とを接続させる手段が、不当に長い距離を導通させることを回避することができる。   Since the wiring layer 2 formed on the main surface 11 of the substrate 1 has the ground connection portion 23, the means for connecting the outer surface 30 of the protective layer 3 and the ground connection portion 23 conducts an unreasonably long distance. Can be avoided.

導電部材4を備えることにより、保護層3の外表面30とグランド接続部23とを確実に導通させることができる。   By providing the conductive member 4, the outer surface 30 of the protective layer 3 and the ground connection portion 23 can be reliably conducted.

保護層3が絶縁層31と導電層32とを有することにより、複数の発熱部211を絶縁層31によって確実に絶縁するとともに、導電層32によって保護層3の外表面30が導電性を有する状態を確実に維持することができる。   Since the protective layer 3 includes the insulating layer 31 and the conductive layer 32, the plurality of heat generating portions 211 are reliably insulated by the insulating layer 31, and the outer surface 30 of the protective layer 3 is conductive by the conductive layer 32. Can be reliably maintained.

導電層32が複数の発熱部211を覆っていることにより、感熱紙などが押し付けられる部分に導電層32を位置させることができる。これにより、静電気の排出をより効果的に行うことができる。導電層32が保護層3の全面にわたって形成されていることは、静電気の排出促進に好適である。   Since the conductive layer 32 covers the plurality of heat generating portions 211, the conductive layer 32 can be positioned at a portion to which the thermal paper or the like is pressed. Thereby, discharge of static electricity can be performed more effectively. The formation of the conductive layer 32 over the entire surface of the protective layer 3 is suitable for promoting discharge of static electricity.

導電部材4をグランド接続部23の延出部231と接しさせることにより、導電部材4と抵抗体層21とを接しさせる場合と比較して、導電部材4の剥離防止を図ることができる。   By bringing the conductive member 4 into contact with the extending portion 231 of the ground connection portion 23, it is possible to prevent the conductive member 4 from being peeled as compared with the case where the conductive member 4 and the resistor layer 21 are in contact with each other.

保護部材41を設けることにより、導電部材4の剥離を抑制することができる。また、保護部材41がグランド接続部23の延出部231のすべてとグランド接続部23を構成する抵抗体層21の一部とを覆うことにより、導電部材4の剥離防止をより確実化することができる。   By providing the protective member 41, peeling of the conductive member 4 can be suppressed. Further, the protective member 41 covers all of the extended portions 231 of the ground connection portion 23 and a part of the resistor layer 21 constituting the ground connection portion 23, thereby further ensuring the prevention of peeling of the conductive member 4. Can do.

図22〜図30は、本発明の他の実施形態を示している。なお、これらの図において、上記実施形態と同一または類似の要素には、上記実施形態と同一の符号を付している。   22 to 30 show another embodiment of the present invention. In these drawings, the same or similar elements as those in the above embodiment are denoted by the same reference numerals as those in the above embodiment.

図22は、本発明の第二実施形態に基づくサーマルプリントヘッドを示している。本実施形態のサーマルプリントヘッドA2は、配線層2が2つのグランド接続部23を有している。これらのグランド接続部23は、基材1のx方向両端寄りに離間して配置されている。各グランド接続部23は、図6に示した構成とされており、導電部材4を介して保護層3の外表面30(導電層32)に導通している。   FIG. 22 shows a thermal print head according to the second embodiment of the present invention. In the thermal print head A <b> 2 of the present embodiment, the wiring layer 2 has two ground connection portions 23. These ground connection portions 23 are arranged apart from both ends of the base material 1 in the x direction. Each ground connection portion 23 is configured as shown in FIG. 6, and is electrically connected to the outer surface 30 (conductive layer 32) of the protective layer 3 through the conductive member 4.

このような実施形態によっても、サーマルプリントヘッドA2の静電破壊を抑制することができる。また、保護層3が基材1のx方向両端寄りの2箇所においてグランド接続される構成となる。これにより、静電気の排出をより促進することができる。   Such an embodiment can also suppress the electrostatic breakdown of the thermal print head A2. In addition, the protective layer 3 is configured to be grounded at two locations near the both ends in the x direction of the substrate 1. Thereby, discharge of static electricity can be further promoted.

図23および図24は、本発明の第三実施形態に基づくサーマルプリントヘッドを示している。本実施形態のサーマルプリントヘッドA3は、配線層2が3つのグランド接続部23を有している。2つのグランド接続部23が基材1のx方向両端寄りに配置されており、残りの1つのグランド接続部23が基材1のx方向中央付近に配置されている。図24によく表れているように、1つのグランド接続部23が、x方向において隣り合う2つのドライバIC5の間に配置されている。各グランド接続部23は、図6に示した構成とされており、導電部材4を介して保護層3の外表面30(導電層32)に導通している。   23 and 24 show a thermal print head according to a third embodiment of the present invention. In the thermal print head A3 of the present embodiment, the wiring layer 2 has three ground connection portions 23. Two ground connection portions 23 are disposed near both ends of the base material 1 in the x direction, and the remaining one ground connection portion 23 is disposed near the center of the base material 1 in the x direction. As clearly shown in FIG. 24, one ground connection portion 23 is disposed between two driver ICs 5 adjacent in the x direction. Each ground connection portion 23 is configured as shown in FIG. 6, and is electrically connected to the outer surface 30 (conductive layer 32) of the protective layer 3 through the conductive member 4.

このような実施形態によっても、サーマルプリントヘッドA3の静電破壊を抑制することができる。また、保護層3は、基材1のx方向中央寄りの箇所においてグランド接続されている。これにより、たとえばサーマルプリントヘッドA3のx方向長さが相対的に長い構成である場合に、静電気の排出をより確実に実現することが期待できる。   Such an embodiment can also suppress the electrostatic breakdown of the thermal print head A3. The protective layer 3 is grounded at a location near the center of the base 1 in the x direction. Thereby, for example, when the thermal print head A3 has a relatively long length in the x direction, it can be expected to discharge static electricity more reliably.

図25は、本発明の第四実施形態に基づくサーマルプリントヘッドを示している。本実施形態のサーマルプリントヘッドA4は、保護層3の外表面30をグランド接続するための構成が上述したサーマルプリントヘッドA1〜A3と異なっている。なお、サーマルプリントヘッドA1〜A3に示した配置とされたグランド接続部23に、本実施形態における保護層3の外表面30との導通形態を適用した構成を適宜採用してもよい。   FIG. 25 shows a thermal print head according to the fourth embodiment of the present invention. The thermal print head A4 of this embodiment is different from the above-described thermal print heads A1 to A3 in the configuration for connecting the outer surface 30 of the protective layer 3 to the ground. In addition, you may employ | adopt suitably the structure which applied the conduction | electrical_connection form with the outer surface 30 of the protective layer 3 in this embodiment to the ground connection part 23 made into arrangement | positioning shown to thermal print head A1-A3.

本実施形態においては、絶縁層31に開口312が形成されている。開口312は、絶縁層31に設けられた貫通孔である。開口312を通じて、導電層32とグランド接続部23の延出部231とが接している。これが本実施形態における保護層3の外表面30をグランド接続するための構成である。また、後述する製造方法に関連して、絶縁層31の端縁311と導電層32の端縁321とは必ずしも平面視において一致しない構成である。また、本実施形態においては、絶縁層31がグランド接続部23を構成する抵抗体層21の一部を覆っている。   In the present embodiment, an opening 312 is formed in the insulating layer 31. The opening 312 is a through hole provided in the insulating layer 31. The conductive layer 32 and the extending portion 231 of the ground connection portion 23 are in contact with each other through the opening 312. This is a configuration for grounding the outer surface 30 of the protective layer 3 in the present embodiment. Further, in relation to the manufacturing method described later, the edge 311 of the insulating layer 31 and the edge 321 of the conductive layer 32 do not necessarily match in plan view. In the present embodiment, the insulating layer 31 covers a part of the resistor layer 21 constituting the ground connection portion 23.

次に、サーマルプリントヘッドA4の製造方法の一例について、図26〜図28を参照しつつ、以下に説明する。   Next, an example of a manufacturing method of the thermal print head A4 will be described below with reference to FIGS.

図7〜図16を参照して説明した上述したサーマルプリントヘッドA1の製造方法と同様の処理を経ることにより、図26に示す絶縁層31Aを形成する。次いで、エッチングなどの手法によって、図27に示す開口312を形成する。そして、図28に示すように、導電層32をスパッタリングなどの手法によって形成する。絶縁層31Aを形成する際に使用するマスクと、導電層32を形成する際に使用するマスクが異なるため、絶縁層31の端縁311と導電層32の端縁321とは平面視において必ずしも一致していない。   The insulating layer 31A shown in FIG. 26 is formed by performing the same processing as the manufacturing method of the thermal print head A1 described above with reference to FIGS. Next, an opening 312 shown in FIG. 27 is formed by a technique such as etching. Then, as shown in FIG. 28, the conductive layer 32 is formed by a technique such as sputtering. Since the mask used when forming the insulating layer 31A is different from the mask used when forming the conductive layer 32, the edge 311 of the insulating layer 31 and the edge 321 of the conductive layer 32 are not necessarily identical in plan view. I have not done it.

このような実施形態によっても、サーマルプリントヘッドA4の静電破壊を抑制することができる。   Also according to such an embodiment, electrostatic breakdown of the thermal print head A4 can be suppressed.

図29および図30は、本発明の第五実施形態に基づくサーマルプリントヘッドを示している。本実施形態のサーマルプリントヘッドA5は、ドライバIC5の実装形態が上述したサーマルプリントヘッドA1〜A4と異なっている。ドライバIC5の実装形態以外の構成については、サーマルプリントヘッドA1〜A4の構成を適宜組み合わせてサーマルプリントヘッドA5に適用可能である。図29は、図3に対応する断面図であり、図30は、図4に対応する断面図である。   29 and 30 show a thermal print head according to a fifth embodiment of the present invention. The thermal print head A5 of this embodiment is different from the thermal print heads A1 to A4 described above in the mounting form of the driver IC5. The configuration other than the mounting form of the driver IC 5 can be applied to the thermal print head A5 by appropriately combining the configurations of the thermal print heads A1 to A4. 29 is a cross-sectional view corresponding to FIG. 3, and FIG. 30 is a cross-sectional view corresponding to FIG.

本実施形態においては、ドライバIC5は、基材1に支持されており、配線層2の適所に導通接合されている。このような実装形態は、フリップチップ実装と称される。また、サーマルプリントヘッドA5は、フレキシブル配線基板65を有している。フレキシブル配線基板65は、たとえば導体層651とこの導体層651を挟む2層の絶縁層652とからなる。フレキシブル配線基板65の導体層651は、基材1の配線層2の適所に導通接合されている。フレキシブル配線基板65は、サーマルプリントヘッドA5が搭載されるサーマルプリンタとの接続に用いられる。   In the present embodiment, the driver IC 5 is supported by the base material 1 and is conductively joined to an appropriate place of the wiring layer 2. Such a mounting form is called flip chip mounting. The thermal print head A5 has a flexible wiring board 65. The flexible wiring board 65 includes, for example, a conductor layer 651 and two insulating layers 652 sandwiching the conductor layer 651. The conductor layer 651 of the flexible wiring board 65 is conductively joined to an appropriate place of the wiring layer 2 of the base 1. The flexible wiring board 65 is used for connection with a thermal printer on which the thermal print head A5 is mounted.

このような実施形態によっても、サーマルプリントヘッドA5の静電破壊を抑制することができる。   Such an embodiment can also suppress the electrostatic breakdown of the thermal print head A5.

本発明に係るサーマルプリントヘッドは、上述した実施形態に限定されるものではない。本発明に係るサーマルプリントヘッドの各部の具体的な構成は、種々に設計変更自在である。   The thermal print head according to the present invention is not limited to the above-described embodiment. The specific configuration of each part of the thermal print head according to the present invention can be varied in design in various ways.

A1 サーマルプリントヘッド
A2 サーマルプリントヘッド
A3 サーマルプリントヘッド
A4 サーマルプリントヘッド
A5 サーマルプリントヘッド
1 基材
11 主面
12 裏面
13 グレーズ層
2 配線層
21 抵抗体層
211 発熱部
22 電極層
221 個別電極
222 共通電極
223 櫛歯部
224 迂回部
23 グランド接続部
231 延出部
3 保護層
30 外表面
31 絶縁層
311 端縁
312 開口
32 導電層
321 端縁
4 導電部材
41 保護部材
5 ドライバIC
51 封止部材
52 ワイヤ
6 副基板
61 配線層
62 グランドライン
63 コネクタ
7 放熱部材
71 接合層
65 フレキシブル配線基板
651 導体層
652 絶縁層
81 マスク
21A 抵抗体層
22A 電極層
31A 絶縁層
A1 thermal print head A2 thermal print head A3 thermal print head A4 thermal print head A5 thermal print head 1 base material 11 main surface 12 back surface 13 glaze layer 2 wiring layer 21 resistor layer 211 heating part 22 electrode layer 221 individual electrode 222 common electrode 223 Comb portion 224 Detour portion 23 Ground connection portion 231 Extension portion 3 Protective layer 30 Outer surface 31 Insulating layer 311 Edge 312 Opening 32 Conductive layer 321 Edge 4 Conductive member 41 Protective member 5 Driver IC
51 sealing member 52 wire 6 sub-board 61 wiring layer 62 ground line 63 connector 7 heat dissipation member 71 bonding layer 65 flexible wiring board 651 conductor layer 652 insulating layer 81 mask 21A resistor layer 22A electrode layer 31A insulating layer

Claims (48)

基材と、
前記基材に支持され、かつ主走査方向に配列された複数の発熱部と、
前記複数の発熱部を覆う保護層と、
を備えたサーマルプリントヘッドであって、
前記保護層は、前記複数の発熱部に接する部位が絶縁性材料からなり、かつ厚さ方向において前記複数の発熱部とは反対側に位置する外表面の少なくとも一部が導電性材料からなり、
前記保護層のうち前記導電性材料からなる部位がグランド接続されていることを特徴とする、サーマルプリントヘッド。
A substrate;
A plurality of heat generating parts supported by the base material and arranged in the main scanning direction;
A protective layer covering the plurality of heat generating parts;
A thermal print head comprising:
The protective layer is made of an insulating material at a portion in contact with the plurality of heat generating portions, and at least a part of an outer surface located on the side opposite to the plurality of heat generating portions in the thickness direction is made of a conductive material,
A portion of the protective layer made of the conductive material is ground-connected.
前記基材に支持され、かつグランド接続されるべきグランド接続部を有する配線層を備えている、請求項1に記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head of Claim 1 provided with the wiring layer which has the ground connection part which should be supported by the said base material and should be ground-connected. 前記配線層の前記グランド接続部と前記保護層の前記外表面とを接続する導電部材を備える、請求項2に記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head of Claim 2 provided with the electrically-conductive member which connects the said ground connection part of the said wiring layer, and the said outer surface of the said protective layer. 前記導電部材は、Agを含む、請求項3に記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to claim 3, wherein the conductive member contains Ag. 前記保護層は、前記複数の発熱部に接する絶縁性材料からなる絶縁層と、この絶縁層上に形成された導電性材料からなる導電層と、を有する、請求項3または4に記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal layer according to claim 3 or 4, wherein the protective layer includes an insulating layer made of an insulating material in contact with the plurality of heat generating portions, and a conductive layer made of a conductive material formed on the insulating layer. Print head. 前記導電層が、前記複数の発熱部を覆っている、請求項5に記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to claim 5, wherein the conductive layer covers the plurality of heat generating portions. 前記導電層が、前記保護層の全面にわたって形成されている、請求項5または6に記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to claim 5, wherein the conductive layer is formed over the entire surface of the protective layer. 前記絶縁層および前記導電層のそれぞれは、前記導電部材に覆われており、かつ平面視において一致する端縁を有する、請求項5ないし7のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。   8. The thermal print head according to claim 5, wherein each of the insulating layer and the conductive layer is covered with the conductive member and has an edge that coincides in plan view. 前記導電層は、前記絶縁層よりも厚い、請求項5ないし8のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to claim 5, wherein the conductive layer is thicker than the insulating layer. 前記絶縁層は、SiO2からなる、請求項5ないし9のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。 The thermal print head according to claim 5, wherein the insulating layer is made of SiO 2 . 前記導電層は、C/SiC、SiNまたはSiALONからなる、請求項5ないし10のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to claim 5, wherein the conductive layer is made of C / SiC, SiN, or SiALON. 前記配線層は、前記基材側に位置する下層と、この下層上に形成された上層とを有する、請求項3ないし11のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to any one of claims 3 to 11, wherein the wiring layer has a lower layer located on the substrate side and an upper layer formed on the lower layer. 前記導電部材は、前記グランド接続部の前記下層のうち前記上層から延出した延出部に接している、請求項12に記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to claim 12, wherein the conductive member is in contact with an extension portion extending from the upper layer of the lower layer of the ground connection portion. 前記導電部材を覆う保護部材を備える、請求項13に記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head of Claim 13 provided with the protection member which covers the said electrically-conductive member. 前記保護部材は、前記保護層の少なくとも一部を覆っている、請求項14に記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to claim 14, wherein the protective member covers at least a part of the protective layer. 前記保護部材は、前記配線層の少なくとも一部を覆っている、請求項14または15に記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to claim 14, wherein the protection member covers at least a part of the wiring layer. 前記保護部材は、前記配線層の前記下層の前記延出部のすべてを覆っている、請求項14ないし16のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to any one of claims 14 to 16, wherein the protection member covers all of the extension portions of the lower layer of the wiring layer. 前記保護部材は、前記配線層の前記上層の少なくとも一部を覆っている、請求項14ないし17のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to claim 14, wherein the protective member covers at least a part of the upper layer of the wiring layer. 前記保護層は、前記複数の発熱部に接する絶縁性材料からなる絶縁層と、この絶縁層上に形成された導電性材料からなる導電層と、を有するとともに、前記グランド接続部の少なくとも一部を覆っており、
前記導電層が前記グランド接続部に接している、請求項2に記載のサーマルプリントヘッド。
The protective layer includes an insulating layer made of an insulating material in contact with the plurality of heat generating portions, and a conductive layer made of a conductive material formed on the insulating layer, and at least a part of the ground connection portion Covering
The thermal print head according to claim 2, wherein the conductive layer is in contact with the ground connection portion.
前記導電層が、前記複数の発熱部を覆っている、請求項19に記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to claim 19, wherein the conductive layer covers the plurality of heat generating portions. 前記導電層が、前記保護層の全面にわたって形成されている、請求項19または20に記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to claim 19 or 20, wherein the conductive layer is formed over the entire surface of the protective layer. 前記絶縁層は、前記グランド接続部の少なくとも一部を覆っており、かつ前記導電層を前記グランド接続部に接しさせる開口を有する、請求項19ないし21のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to any one of claims 19 to 21, wherein the insulating layer covers at least a part of the ground connection portion and has an opening for contacting the conductive layer with the ground connection portion. 前記絶縁層および前記導電層のそれぞれは、平面視において互いに一致しない端縁を有する、請求項19ないし22のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to any one of claims 19 to 22, wherein each of the insulating layer and the conductive layer has edges that do not coincide with each other in a plan view. 前記導電層は、前記絶縁層よりも厚い、請求項19ないし23のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to claim 19, wherein the conductive layer is thicker than the insulating layer. 前記絶縁層は、SiO2からなる、請求項19ないし24のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。 The thermal print head according to claim 19, wherein the insulating layer is made of SiO 2 . 前記導電層は、C/SiC、SiNまたはSiALONからなる、請求項19ないし25のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。   26. The thermal print head according to claim 19, wherein the conductive layer is made of C / SiC, SiN, or SiALON. 前記配線層は、前記基材側に位置する下層と、この下層上に形成された上層とを有している、請求項19ないし26のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。   27. The thermal print head according to claim 19, wherein the wiring layer has a lower layer located on the substrate side and an upper layer formed on the lower layer. 前記導電層は、前記グランド接続部の前記下層のうち前記上層から延出した延出部に接している、請求項27に記載のサーマルプリントヘッド。   28. The thermal print head according to claim 27, wherein the conductive layer is in contact with an extension portion extending from the upper layer of the lower layer of the ground connection portion. 前記導電部材を覆う保護部材を備える、請求項28に記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to claim 28, further comprising a protective member that covers the conductive member. 前記保護部材は、前記保護層の少なくとも一部を覆っている、請求項29に記載のサーマルプリントヘッド。   30. The thermal print head according to claim 29, wherein the protective member covers at least a part of the protective layer. 前記保護部材は、前記配線層の少なくとも一部を覆っている、請求項29または30に記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to claim 29 or 30, wherein the protection member covers at least a part of the wiring layer. 前記保護部材は、前記配線層の前記下層の前記延出部のすべてを覆っている、請求項29ないし31のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。   32. The thermal print head according to claim 29, wherein the protection member covers all of the extension portions of the lower layer of the wiring layer. 前記保護部材は、前記配線層の前記上層の少なくとも一部を覆っている、請求項29ないし32のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。   33. The thermal print head according to claim 29, wherein the protection member covers at least a part of the upper layer of the wiring layer. 前記配線層の前記下層は、前記複数の発熱部を構成する部分を有する抵抗体層である、請求項12ないし18および27ないし33のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to any one of claims 12 to 18 and 27 to 33, wherein the lower layer of the wiring layer is a resistor layer having portions constituting the plurality of heat generating portions. 前記抵抗体層は、TaSiO2またはTaNからなる、請求項34に記載のサーマルプリントヘッド。 The thermal print head according to claim 34, wherein the resistor layer is made of TaSiO 2 or TaN. 前記上層は、前記抵抗体層よりも電気抵抗が小さい材質からなる電極層である、請求項請求項12ないし18および27ないし35に記載のサーマルプリントヘッド。   36. The thermal print head according to any one of claims 12 to 18 and 27 to 35, wherein the upper layer is an electrode layer made of a material having an electric resistance smaller than that of the resistor layer. 前記電極層は、Alからなる、請求項36に記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to claim 36, wherein the electrode layer is made of Al. 前記電極層は、各々が前記複数の発熱部へと延びる複数の個別電極を有する、請求項36または37に記載のサーマルプリントヘッド。   38. The thermal print head according to claim 36, wherein the electrode layer has a plurality of individual electrodes each extending to the plurality of heat generating portions. 前記電極層は、副走査方向において前記複数の発熱部を挟んで個別電極と対向配置された複数の櫛歯部を具備する共通電極を有する、請求項38に記載のサーマルプリントヘッド。   39. The thermal print head according to claim 38, wherein the electrode layer has a common electrode including a plurality of comb-tooth portions disposed to face the individual electrodes with the plurality of heat generating portions interposed therebetween in the sub-scanning direction. 前記基材に対して副走査方向に隣接して配置された副基板と、
前記副基板に搭載され、かつ前記複数の発熱部での発熱を制御するドライバICと、を備える、請求項2ないし39のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。
A sub-board disposed adjacent to the base material in the sub-scanning direction;
40. The thermal print head according to claim 2, further comprising: a driver IC mounted on the sub-board and controlling heat generation at the plurality of heat generating portions.
前記ドライバICを封止する封止部材を備えている、請求項40に記載のサーマルプリントヘッド。   41. The thermal print head according to claim 40, further comprising a sealing member that seals the driver IC. 前記副基板は、グランドラインを有しており、
前記グランド接続部と前記グランドラインとは、ワイヤを介して接続されている、請求項40または41に記載のサーマルプリントヘッド。
The sub-board has a ground line,
42. The thermal print head according to claim 40, wherein the ground connection portion and the ground line are connected via a wire.
前記封止部材は、前記ワイヤを封止している、請求項42に記載のサーマルプリントヘッド。   43. The thermal print head according to claim 42, wherein the sealing member seals the wire. 前記基材に支持されており、かつ前記複数の発熱部での発熱を制御するドライバICを備える、請求項2ないし39のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。   40. The thermal print head according to claim 2, further comprising a driver IC that is supported by the base material and controls heat generation at the plurality of heat generating portions. 前記ドライバICは、前記配線層にフリップチップ実装されている、請求項44に記載のサーマルプリントヘッド。   45. The thermal print head according to claim 44, wherein the driver IC is flip-chip mounted on the wiring layer. 前記配線層に接続されたフレキシブル配線基板を備える、請求項44または45に記載のサーマルプリントヘッド。   46. The thermal print head according to claim 44, comprising a flexible wiring board connected to the wiring layer. 前記基材に対して前記複数の発熱部とは反対側に接合された放熱部材を備える、請求項1ないし46のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to any one of claims 1 to 46, further comprising a heat dissipation member bonded to the base opposite to the plurality of heat generating portions. 前記基材は、セラミックスからなる、請求項1ないし47のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。   48. The thermal print head according to claim 1, wherein the base material is made of ceramics.
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