JP2015184621A - 光装置とその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】光素子と光ファイバ間の光損失を低減する光装置を提供する。【解決手段】光装置２０の製造方法は、光素子２３と光ファイバ２４の間の調芯を行って光ファイバ２４をサブマウント２２上に固定する際の一回目の光ファイバの２４調芯と、サブマウント２２を主マウント２１に固定する際の二回目の光ファイバ２４の調芯の二回に分けて行う。【選択図】図２

Description

本発明は、光装置とその製造方法に関する。

従来の光ファイバ付き半導体レーザ光源１０は、図１のように、半導体レーザ１２と光結合させた光ファイバ１３を、半導体レーザ１２と同一平面上に硬化収縮の小さい接着剤１４で固定するものであった（特許文献１）。半導体レーザ１２は金錫合金等の半田材でヒートシンク１１等に固定する。光ファイバ１３は半導体レーザ１２との光結合が最大となるように、位置を調整して、紫外線硬化樹脂等の硬化収縮の小さい接着剤１４で、半導体レーザ１２と同一平面上に固定する。

光ファイバ１３の調芯には、光ファイバ１３が前後左右上下に移動させるので、最適位置に調芯した光ファイバ１３とヒートシンク１１の間には隙間が生じることになる。このように、調芯で生じる隙間を硬化収縮の小さい接着剤１４で埋めて、半導体レーザ１２と同一平面上に固定する方法は、半田やレーザ溶接に比べ、精度良く光ファイバ１３をヒートシンク１１等のマウントに固定できる。

しかし、半導体レーザ１２の厚みは、例えば８０μｍであり、光ファイバ１３の外径は、例えば１２５μｍである。半導体レーザ１２と光ファイバ１３を、同じヒートシンク１１の面に固定する場合、半導体レーザ１２の出力光の出射位置と、光ファイバ１３の光を入力する位置が一致しない場合もありうる。

例えば、半導体レーザ１２の出力光の出射位置がヒートシンク１１の固定面から８０μｍであり、光ファイバ１３の光を入力する位置が光ファイバ１３の中央だとする。その場合、光ファイバ１３をヒートシンク１１の上に直接固定すると、半導体レーザ１２の出力光の出射位置と光ファイバ１３の光を入力する位置は、１７．５μｍだけ異なる。そのため、光ファイバ１３をヒートシンク１１から１７．５μｍ浮かせた位置で、光ファイバ１３と半導体レーザ１２との光結合が最大となる。

光ファイバ１３と半導体レーザ１２との光結合が最大となる位置で、光ファイバ１３を接着剤１４で固定すると、接着剤１４の硬化収縮に伴う光ファイバ１３の位置ずれが起こる。硬化収縮率が小さい接着剤１４であっても数％程度の収縮はするため、接着剤１４の硬化収縮後には、光ファイバ１３の位置は数μｍ程度ずれることになる。

光ファイバ１３は、例えば先球ファイバが用いられる。先球ファイバは発光素子との結合効率が高いため、先球ファイバを用いると装置の小型化が可能である。そのため、半導体レーザ光源に先球ファイバが用いられている。

先球半径が１０μｍの単一モード先球ファイバでは、結合効率を−３．５ｄＢ以上にするためには、例えば、位置ずれは０．５μｍ以下としなくてはならない。また、先球半径が２０μｍの単一モード先球ファイバの場合には、結合効率を−６ｄＢ以上とするためには、許容される位置ずれは、例えば１．１μｍ以下である。

そのため、接着剤１４の硬化収縮による光ファイバ１３の位置ずれは無視できず、位置ずれによる光結合損の増大が大きな課題であった。そこで、予め位置ずれ分だけ光ファイバ１３を逆方向にずらした後、接着材１４を硬化させるという方法も考えられる。しかし、光ファイバ１３の位置ずれを高い精度で予測するのは困難であり、デバイスごとに光結合損にバラツキが生じ、歩留まりが低下するという問題もあった。

特開１９９２−１２０７８３号公報

前記課題を解決するために、本発明は、光装置での光素子と光ファイバ間の光損失を低減することを目的とする。

上記目的を達成するために、本願発明に係る光装置の製造方法は、主マウントとサブマウントを備え、光ファイバをサブマウントに固定する際の光ファイバの位置ずれを、サブマウントを主マウントに固定する際に補正する。また、本願発明に係る光装置は、本願発明に係る光装置の製造方法で製造した光装置である。

具体的には、本発明に係る光装置は、上段と下段を有し、前記上段に光素子を配置した主マウントと、前記主マウントの前記下段に配置されるサブマウントと、前記主マウントの下段に前記サブマウントを固定するサブマウント固定接着剤と、前記サブマウントの上面に配置され、前記光学素子と光学的に結合する光ファイバと、前記サブマウントの上面に前記光ファイバを固定する光ファイバ固定接着剤と、を備える。

本発明に係る光装置は、光ファイバをサブマウントに光ファイバ固定接着剤を用いて固定し、サブマウントを主マウントにサブマウント固定接着剤を用いて固定する。そのため、光ファイバと光素子の間の光損失を低減することができる。

本発明に係る光装置は、前記主マウントと前記サブマウントが二つの面で接する部分の前記主マウント側又は前記サブマウント側に、窪み又は切り欠きを有してもよい。

本発明に係る光装置は、前記主マウントの上段と下段を接続する接続面又は前記接続面に対向する前記サブマウントの面に、少なくとも一つの突起を有してもよい。

本発明に係る光装置は、前記光ファイバは先球ファイバであってもよい。

具体的には、本願発明に係る光装置の製造方法は、光素子を主マウントに固定する光素子固定手順と、前記光素子と光ファイバを調芯して光結合させ、前記光素子と前記光ファイバの光結合が最大となる位置で光ファイバ固定接着剤を用いて前記光ファイバをサブマウントに固定する光ファイバ固定手順と、前記サブマウントの位置を再調整し、前記光素子と前記光ファイバの光結合が最大となる位置でサブマウント固定接着剤を用いて前記サブマウントを前記主マウントに固定するサブマウント固定手順とを順に有する。

本願発明に係る光装置の製造方法は、光素子固定手順を有するので、光素子を主マウントに固定することができる。また、本願発明に係る光装置の製造方法は、光ファイバ固定手順を有するので、光素子と光ファイバを調芯し、光結合が最大となる位置で固定することができる。また、本願発明に係る光装置の製造方法は、サブマウント固定手順を有するので、光ファイバ固定手順で用いた光ファイバ固定接着剤の硬化収縮を補正して、光素子と光ファイバを光結合させることができる。

本願発明に係る光装置の製造方法は、前記主マウントと前記サブマウントが二つの面で接する部分の前記主マウント側、又は前記サブマウント側に、窪み又は切り欠きを有してもよい。

本願発明に係る光装置の製造方法は、前記主マウントの上段と下段を接続する接続面又は前記接続面に対向する前記サブマウントの面に、少なくとも一つの突起を有し、前記サブマウント固定手順では、前記サブマウントが有する突起を前記接続面に突き当て、又は前記主マウントが有する突起を前記接続面に対向する前記サブマウントの面に突き当ててもよい。

本願発明に係る光装置の製造方法は、前記光ファイバは先球ファイバであってもよい。

なお、上記各発明は、可能な限り組み合わせることができる。

本発明によれば、光装置での光素子と光ファイバ間の光損失を低減することができる光装置及びその製造方法を提供することができる。

本発明に関連する光ファイバ付き半導体レーザ光源の一例を示す。 本発明の第一の実施形態に係る光装置２０の製造工程を示す模式図の一例であり、（ａ）は光ファイバ固定手順における光ファイバ固定接着剤２５の硬化前の光装置２０であり、（ｂ）はサブマウント固定手順における光ファイバ２４の調芯を示し、（ｃ）はサブマウント固定手順終了後の光装置２０を示す。 本発明の第二の実施形態に係る光装置３０の模式図の一例を示す。 本発明の第三の実施形態に係る光装置４０の製造工程を示す模式図の一例であり、（ａ）は光ファイバ固定手順における光ファイバ固定接着剤２５の硬化前の光装置４０であり、（ｂ）はサブマウント固定手順における光ファイバ２４の調芯を示し、（ｃ）はサブマウント固定手順終了後の光装置４０を示す。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、本発明は、以下に示す実施形態に限定されるものではない。これらの実施の例は例示に過ぎず、本発明は当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した形態で実施することができる。なお、本明細書及び図面において符号が同じ構成要素は、相互に同一のものを示すものとする。

（第一の実施形態）
図２（ｃ）に、本発明の第１の実施形態に係る光装置２０の模式図を示す。光装置２０は、主マウント２１と、サブマウント２２と、光素子２３と、光ファイバ２４と、光ファイバ固定接着剤２５と、サブマウント固定接着剤２６とを備える。２３ａは光素子２３の光軸、２４ａは光ファイバ２４の光軸である。

主マウント２１は、上段と下段を有する。光素子２３は、主マウント２１の上段に配置する。サブマウント２２は、主マウント２１の下段に配置する。光ファイバ２４は、サブマウント２２の上面に配置する。光ファイバ固定接着剤２５は、光ファイバ２４をサブマウント２２に固定する。サブマウント固定接着剤２６は、サブマウント２２を主マウント２１に固定する。

光素子２３は、例えば半導体レーザやフォトダイオードである。光素子２３は、アレイ型のレーザダイオードやフォトダイオードであってもよい。光素子２３と光ファイバ２４は光結合する。光ファイバ２４は、例えば先球ファイバである。光ファイバ２４は光導波回路であってもよい。光ファイバ固定接着剤２５とサブマウント固定接着剤２６の種類は任意である。光ファイバ固定接着剤２５及びサブマウント固定接着剤２６は、例えば、紫外線硬化型樹脂でも良いし、熱硬化型樹脂でも良い。

主マウント２１は、例えば窒化アルミニウムで作製する。サブマウント２２は、主マウント２１と熱膨張係数が合致していることが望ましい。そのため、サブマウント２２は、例えば、主マウント２１と同じ窒化アルミニウムで作製する。

光素子２３に、アレイ型のレーザダイオードやフォトダイオードを用いる場合、光ファイバ２４をサブマウント２２の上面に等間隔で並べて配置することによって、アレイ型の光素子２３と光ファイバ２４の光結合を容易に実現することができる。また、光ファイバ２４の代わりに光導波回路の複数の入出力端を配置することで、アレイ型の光素子２３と光導波回路の光結合を容易に実現することができる。本実施形態に係る光装置２０は、アレイ型の光素子２３と、光ファイバ２４又は光導波路の複数の入出力端の光結合を容易に実現できるので、光素子２３や光ファイバ２４を含む光回路の集積化に用いることができる。

本発明の第一の実施形態に係る光装置２０の製造方法について説明する。本発明の第一の実施形態に係る光装置２０の製造方法は光素子固定手順と、光ファイバ固定手順と、サブマウント固定手順とを順に有する。光素子固定手順は、光素子２３を主マウント２１の上段に固定する手順である。光ファイバ固定手順は、光ファイバ２４をサブマウント２２に固定する手順である。サブマウント固定手順は、サブマウント２２を主マウント２１の下段に固定する手順である。

先ず、光素子固定手順について説明する。図２（ａ）のように、光素子２３を主マウント２１の上段に固定する。光素子２３を主マウント２１に固定する際には、例えばハンダを用いる。

次に、光ファイバ固定手順について説明する。先ず、サブマウント２２を主マウント２１の下段に配置する。サブマウント２２は、主マウント２１に少なくとも１面を接触させる。例えば、主マウント２１の下段の上面とサブマウントの下面を接触させる。次に、クランプ２７を用いて、サブマウント２２を主マウント２１の下段に固定する。次に、サブマウント２２に光ファイバ固定接着剤２５を塗布する。次に、光ファイバ固定接着剤２５の上に光ファイバ２４を配置する。光ファイバ２４は、例えば先球ファイバである。

次に、光ファイバ固定接着剤２５の上で光ファイバ２４を調芯する。光ファイバ２４の調芯では、光素子２３と光ファイバ２４の光結合が最大となるように調芯する。例えば、光素子２３が半導体レーザ（ＬＤ）の場合は、ＬＤを発光させ、光ファイバ２４に結合する光強度が最大となるように光ファイバ２４を調芯する。この状態では、光素子２３と光ファイバ２４両者の光軸２３ａと２４ａは一致していることになる。ここで、調芯が終了した時点での、光ファイバ２４とサブマウント２２の上面の隙間の距離をＬとする。図２（ａ）に、調芯が終了した際の光装置２０を示す。図２（ａ）では、光ファイバ固定接着剤２５は硬化していない。

次に、光ファイバ固定接着剤２５を硬化させ、光ファイバ２４をサブマウント２２に固定する。光ファイバ固定接着剤２５の硬化により、光ファイバ固定手順が終了する。

光ファイバ２４のサブマウント２２への固定の際、光ファイバ固定接着剤２５は硬化収縮する。光ファイバ固定接着剤２５の硬化収縮により、光ファイバ２４は数％程度、サブマウント２２の上面に近づく方向に位置が変動する。光ファイバ２４は後述するサブマウント固定手順で再調芯を行う。そのため、光ファイバ固定接着剤２５は、均一に硬化する接着剤が望ましい。光ファイバ固定接着剤２５は、硬化収縮が大きくてもよい。

光ファイバ２４をサブマウント２２の上に固定する際には、サブマウント２２の上面と平行に光ファイバ２４を固定する。光ファイバ２４が、サブマウント２２の上面と平行のまま、サブマウントの上面に近づく又は遠ざかる位置ずれは、後述するサブマウント固定手順での光ファイバ２４の調芯で修正できる。しかし、光ファイバ２４の位置ずれによりサブマウント２２と光ファイバ２４が平行でなくなった場合、後述するサブマウント固定手順での調芯操作による位置ずれの修正が難しくなる。そのため、光素子２３と光ファイバ２４の間の結合損が大きくなる。ここで、サブマウント２２と光ファイバ２４が平行でない場合とは、例えば、光素子２３に近いサブマウント２２の表面と光ファイバ２４の距離と、光素子２３から遠いサブマウント２２の表面と光ファイバ２４の距離が異なる場合である。

また、光素子２３と光ファイバ２４の調芯を行う際には、主マウント２１の下段の上面とサブマウントの下面を接触させるとともに、主マウントの上段と下段を接続する接続面とサブマウント２２の接続面と対向する面を接触させてもよい。この調芯方法を用いると、光軸２４ａ方向に対して光ファイバ２４が最適な位置でサブマウント２２に固定できる。このため、サブマウント２２を主マウント２１に固定する際には、光軸２４ａ方向の調芯は不要となり、調芯作業が容易となる。

次に、サブマウント固定手順について説明する。クランプ２７の固定を解除して、主マウント２１に固定されていたサブマウント２２が動かせるようにする。次に、図２（ｂ）のように、光ファイバ固定接着剤２５の硬化収縮によって下方に移動している光ファイバ２４を、サブマウント２２を移動させることによって再調芯し、光ファイバ２４の光軸２４ａを光素子２３の光軸２３ａと一致させて、ずれた結合を回復させる。

光ファイバ固定接着剤２５の硬化収縮による光ファイバ２４の位置ずれは、概ね数％程度である。そのため、光ファイバ２４とサブマウント２２との隙間の距離Ｌが１７．５μｍの場合では、光ファイバ固定接着剤２５の硬化収縮により、サブμｍ単位の位置ずれが生じる。光ファイバ固定接着剤２５の硬化収縮率をαとすると、隙間の距離ＬはＬ（１−α）へと収縮する。収縮した分の距離Ｌと硬化収縮率αの積αＬが光ファイバ固定接着剤２５の硬化収縮による光ファイバ２４の再調芯での補正距離となる。

次に、光素子２３と光ファイバ２４の再調芯後の位置を保持した状態で、サブマウント２２と主マウント２１の間にサブマウント固定接着剤２６を流し込んで硬化させる。サブマウント固定接着剤２６の硬化により、サブマウント２２は主マウント２１に固定される。

光ファイバ固定接着剤２５の硬化収縮による光ファイバ２４の位置ずれを補正すれば、光ファイバ２４と光素子２３の光結合が最大となる。そのため、光ファイバ固定接着剤２５の硬化収縮による位置ずれ分、すなわちαＬだけ移動させた位置で、サブマウント固定接着剤２６を用いて主マウント２１とサブマウント２２とを固定する。サブマウント固定接着剤２６の種類は任意である。サブマウント固定接着剤２６は、光ファイバ固定接着剤２５と同じ種類であってもよい。ただし、サブマウント固定接着剤２６は、硬化収縮の小さく粘性の低い接着剤が望ましい。粘性が小さければ、サブマウント２２と主マウント２１との隙間にサブマウント固定接着剤２６が充填されやすいからである。

サブマウント固定接着剤２６はサブマウント２２と主マウント２１の間に流し込むのではなく、サブマウント２２の下面又は主マウント２１の下段の上面に塗布してもよい。サブマウント２２を主マウント２１にサブマウント固定接着剤２６で固定することにより、サブマウント固定手順が終了する。図２（ｃ）に、サブマウント固定手順終了後の光装置２０を示す。

サブマウント固定接着剤２６の硬化収縮後の主マウント２１とサブマウント２２の間の距離は、接着剤２６の硬化収縮率をβとしてαＬ（１−β）となる。Ｌとαβの積はサブマウント固定接着剤２６の硬化収縮による光ファイバ２４の位置ずれ量である。サブマウント固定手順でのサブマウント固定接着剤２６の硬化収縮も、光ファイバ固定接着剤２５の硬化収縮と同じように概ね数％である。このため、サブマウント固定接着剤２６でサブマウント２２を固定した後の位置ずれαβＬはサブμｍのさらに数％程度となり、無視できる値となる。

このように、主マウント２１の一部を分離してサブマウント２２とし、光素子２３と、光ファイバ２４の調芯を２回に分けることにより、接着剤の硬化収縮による光ファイバ２４の位置ずれは、無視できる値となる。

（第二の実施形態）
図３に、本発明の第２の実施形態に係る光装置３０の模式図を示す。第２の実施形態に係る光装置３０は、主マウント２１と、サブマウント２２と、光素子２３と、光ファイバ２４と、光ファイバ固定接着剤２５と、サブマウント固定接着剤２６とを備える。

本発明の第二の実施形態に係る光装置３０は、主マウント２１とサブマウント２２が二つの面で接する部分の主マウント２１側又はサブマウント２２側に、窪み又は切り欠き２２ａを備える。窪み又は切り欠き２２ａの形状は任意である。窪み又は切り欠き２２ａの形状は矩形が望ましいが円弧で切除した形状であっても良い。また、窪み又は切り欠き２２ａは穴であってもよい。

主マウント２１及びサブマウント２２は、同じ材質で作製することが望ましい。主マウント２１及びサブマウント２２は、例えば、窒化アルミニウムで作製する。

本発明の第二の実施形態に係る光装置３０の製造方法は、光素子固定手順と、光ファイバ固定手順と、サブマウント固定手順とを順に有する。本発明の第二の実施形態に係る光装置３０の製造方法は、基本的には本発明の第一の実施形態に係る光装置２０の製造方法と同じである。

しかし、第二の実施形態では、光装置３０は窪み又は切り欠き２２ａを有するので、サブマウント固定手順において、サブマウント２２と主マウント２１との間のサブマウント固定接着剤２６の不均一な分布を防止できる。窪み又は切り欠き２２ａがないと接着剤溜りができる場合や、接着剤の分布が不均一となる場合がある。その場合、サブマウント２２の底面が主マウント２１の下段の上面と平行でない状態で固定されるため、光ファイバ２４が傾き、結合損が増大する場合がある。

主マウント２１の上段と下段を接続する接続面又は接続面に対向するサブマウント２２の面にサブマウント固定接着剤２６が回り込むと、回り込んだサブマウント固定接着剤２６の厚みだけ光軸２４ａ方向にずれが生じる。光軸２４ａ方向のずれは、光素子２３と光ファイバ２４の結合損の原因となる。しかし、窪み又は切り欠き２２ａがあれば余分なサブマウント固定接着剤２６が回り込むことを防止できるので、結合損が増大することはない。

（第三の実施形態）
図４（ｃ）に、本発明の第３の実施形態に係る光装置４０の模式図を示す。第３の実施形態に係る光装置４０は、主マウント２１と、サブマウント２２と、光素子２３と、光ファイバ２４と、光ファイバ固定接着剤２５と、サブマウント固定接着剤２６とを備える。

本発明の第三の実施形態に係る光装置４０は、主マウント２１の上段と下段を接続する接続面又は接続面に対向するサブマウント２２の面に突起２２ｂを備える。突起２２ｂの数は複数であってもよい。

主マウント２１及びサブマウント２２の材料の熱膨張係数の相違は±２０％以内であることが望ましく、主マウント２１及びサブマウント２２の材料の熱膨張係数が略等しいことがさらに望ましい。また、主マウント２１及びサブマウント２２の材料の硬度のうち、突起２２ｂを有する側の硬度は、突起２２ｂを有さない側の硬度と同じか高いことが望ましい。サブマウント２２が突起２２ｂを有する場合、サブマウント２２は、例えば窒化アルミニウム、炭化ケイ素、ムライトのいずれかで作製し、主マウント２１は、例えば窒化アルミニウムで作製する。

本発明の第三の実施形態に係る光装置４０の製造方法は、光素子固定手順と、光ファイバ固定手順と、サブマウント固定手順とを順に有する。光素子固定手順と、光ファイバ固定手順は、第一の実施形態及び第二の実施形態と同じである。

本発明の第三の実施形態に係る光装置４０の製造方法では、サブマウント固定手順において、図４（ｃ）のように、サブマウント２２の突起２２ｂを主マウント２１に突き当てて、突き当てた状態でサブマウント２２を固定する。このため、突起２２ｂは欠け難く、鋭利に尖らせてあることが望ましい。

突起２２ｂを主マウント２１に突き当てた点が支点となり、サブマウント固定接着剤２６を充填又は塗布する前の調芯を容易に安定して行うことができる。さらに、サブマウント２２の突起２２ｂの突き当てが、サブマウント２２の位置変動を抑止するため、サブマウント固定接着剤２６の硬化収縮による影響も低減できる。ここで、サブマウント２２の硬度が主マウント２１の硬度よりも高ければ、サブマウントの突起２２ｂを主マウント２１に突き当てた際に、サブマウント２２を主マウント２１に減り込ませることができる。サブマウント２２の主マウント２１への減り込みによって、サブマウント２２の位置変動は、サブマウント２２を主マウント２１に突き当てただけの場合よりも抑止される。

サブマウント２２の突起部２２ｂを主マウント２１に突き当てるため、主マウント２１の接続面の変形に応じて、光素子２３と光ファイバ２４間の光軸方向の距離は短くなる。しかし、光ファイバ２４が光軸２４ａ上を移動して光素子２３と光ファイバ２４間の距離が短くなったとしても、光損失は殆どない。光損失は、主として光軸２４ａに垂直な面での光ファイバ２４の移動により生じる。

本発明の光装置とその製造方法は、光通信の分野に適用することができる。

１０：光ファイバ付き半導体レーザ光源
１１：ヒートシンク
１２：半導体レーザ
１３：光ファイバ
１４：接着剤
２０：光装置
２１：主マウント
２２：サブマウント
２２ａ：窪み又は切り欠き
２２ｂ：突起
２３：光素子
２３ａ：光素子の光軸
２４：光ファイバ
２４ａ：光ファイバの光軸
２５：光ファイバ固定接着剤
２６：サブマウント固定接着剤
２７：クランプ
３０：光装置
４０：光装置

Claims (8)

1. 上段と下段を有し、前記上段に光素子を配置した主マウントと、
   前記主マウントの前記下段に配置されるサブマウントと、
   前記主マウントの下段に前記サブマウントを固定するサブマウント固定接着剤と、
   前記サブマウントの上面に配置され、前記光学素子と光学的に結合する光ファイバと、
   前記サブマウントの上面に前記光ファイバを固定する光ファイバ固定接着剤と、
   を備える、
   光装置。
2. 前記主マウントと前記サブマウントが二つの面で接する部分の前記主マウント側又は前記サブマウント側に、窪み又は切り欠きを有する、
   ことを特徴とする請求項１に記載の光装置。
3. 前記主マウントの上段と下段を接続する接続面又は前記接続面に対向する前記サブマウントの面に、少なくとも一つの突起を有する、
   ことを特徴とする請求項１に記載の光装置。
4. 前記光ファイバは先球ファイバである、
   ことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の光装置。
5. 光素子を主マウントに固定する光素子固定手順と、
   前記光素子と光ファイバを調芯して光結合させ、前記光素子と前記光ファイバの光結合が最大となる位置で光ファイバ固定接着剤を用いて前記光ファイバをサブマウントに固定する光ファイバ固定手順と、
   前記サブマウントの位置を再調整し、前記光素子と前記光ファイバの光結合が最大となる位置でサブマウント固定接着剤を用いて前記サブマウントを前記主マウントに固定するサブマウント固定手順と、
   を順に有する、
   光装置の製造方法。
6. 前記主マウントと前記サブマウントが二つの面で接する部分の前記主マウント側、又は前記サブマウント側に、窪み又は切り欠きを有する、
   ことを特徴とする請求項５に記載の光装置の製造方法。
7. 前記主マウントの上段と下段を接続する接続面又は前記接続面に対向する前記サブマウントの面に、少なくとも一つの突起を有し、
   前記サブマウント固定手順では、前記サブマウントが有する突起を前記接続面に突き当て、
   又は前記主マウントが有する突起を前記接続面に対向する前記サブマウントの面に突き当てる、
   ことを特徴とする請求項５に記載の光装置の製造方法。
8. 前記光ファイバは先球ファイバである、
   ことを特徴とする請求項５から７のいずれかに記載の光装置の製造方法。

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