JP2015183052A - 研磨剤組成物 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の研磨剤組成物は、平均粒径3〜20μmの酸化アルミニウム粒子又は二酸化ケイ素粒子、或いはこれら両粒子から成る砥粒主剤と、平均粒径が0.3〜10μmであり、かつ砥粒主剤より平均粒径が小さい炭化タングステン粒子又は炭化チタン粒子との混合物であって、該炭化タングステン粒子又は炭化チタン粒子の含有量が1.5〜25重量部%である砥粒混合物を含有する。
【選択図】 なし
Description
砥粒混合物(炭化タングステンの含有量) 要する研磨時間
(1) 炭化タングステンなし(比較例) 30〜37 秒
(2) 1 重量% 28〜35 秒
(3) 1.5 重量% 20〜25 秒
(4) 2 重量% 19〜24 秒
(5) 5 重量% 18〜23 秒
(6) 10 重量% 16〜21 秒
(7) 15 重量% 15〜20 秒
(8) 20 重量% 15〜20 秒
(9) 30 重量% (比較例) 21〜26 秒
(10) 40 重量% (比較例) 27〜35 秒
このように、炭化タングステンを1.5重量%以上含有させることで、研磨力は大きく向上するが、25重量%を超えると研磨力はむしろ低下する傾向にあることが分かった。
Claims (3)
- 平均粒径3〜20μmの酸化アルミニウム粒子又は二酸化ケイ素粒子、或いはこれら両粒子から成る砥粒主剤と、平均粒径が0.3〜10μmであり、かつ砥粒主剤より平均粒径が小さい炭化タングステン粒子又は炭化チタン粒子との混合物であって、該炭化タングステン粒子又は炭化チタン粒子の含有量が1.5〜25重量部%である砥粒混合物を含有する研磨剤組成物。
- 前記砥粒混合物を媒体に分散させたことを特徴とする請求項1に記載の研磨剤組成物。
- 前記媒体が、炭化水素系溶剤又は炭化水素系溶剤を含有する媒体であることを特徴とする請求項2に記載の研磨剤組成物。
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WO2013141225A1 (ja) * | 2012-03-19 | 2013-09-26 | 株式会社 フジミインコーポレーテッド | ラッピング加工用研磨材およびそれを用いた基板の製造方法 |
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2014
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