JP2015170732A - レーザ加熱処理方法、及び、固体撮像装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】対象物の形状変化を抑制しつつ加熱するレーザ加熱処理方法、及び、固体撮像装置の製造方法を提供する。【解決手段】基板の表面に凹凸部が設けられた構造体を覆うように、前記構造体よりも融点の高いSiO2、Si3N4及びSiONの少なくとも1つを含む膜を形成し、レーザ波長に対する透過率が前記構造体よりも前記膜が高いレーザを用いて、前記膜及び前記構造体にレーザを照射して前記構造体を加熱する。【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、レーザ加熱処理方法、及び、固体撮像装置の製造方法に関する。
加熱処理する方法として、対象物にレーザを照射する方法がある。対象物である基板の上に微細パターンの凹凸が設けられている場合もある。このような基板を加熱処理する際に、微細パターンの形状を維持しつつ加熱処理することが望まれる。
本発明の実施形態は、対象物の形状変化を抑制しつつ加熱するレーザ加熱処理方法、及び、固体撮像装置の製造方法を提供する。
本発明の実施形態によれば、基板上に設けられた構造体を覆うように、前記構造体よりも融点の高い膜を形成し、前記膜及び前記構造体にレーザを照射して前記構造体を加熱するレーザ加熱処理方法が提供される。
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態に係るレーザ加熱処理方法を例示するフローチャートである。 図1に表したように、基板を準備する(ステップS110)。基板は、例えば、Si基板である。基板上に構造体が設けられている。基板の表面には、例えば、凹凸部等が形成されている。
図1は、第1の実施形態に係るレーザ加熱処理方法を例示するフローチャートである。 図1に表したように、基板を準備する(ステップS110)。基板は、例えば、Si基板である。基板上に構造体が設けられている。基板の表面には、例えば、凹凸部等が形成されている。
基板の表面に膜を形成する(ステップS120)。基板がSi基板である場合、膜の材料として、Siよりも融点の高い材料が用いられる。構造体を覆うように構造体よりも融点の高い膜が基板上に形成される。膜の材料として、後述するレーザの波長に対して透過率が高い材料が用いられる。例えば、膜のレーザの波長に対する透過率は、構造体のレーザの波長に対する透過率よりも高い。膜の材料として、例えば、SiO2、Si3N4又はSiONが用いられる。
基板の表面をレーザによって照射する(ステップS130)。基板の表面がレーザによって照射され、基板の表面が加熱される。膜及び構造体にレーザを照射して構造体を加熱する。レーザはエキシマレーザ(波長308ナノメートル)等を用いる。
図2は、第1の実施形態に係るレーザ加熱処理方法に用いられる基板を例示する図である。
図3(a)及び図3(b)は、基板を例示する参考図である。
図4は、第1の実施形態に係るレーザ加熱処理方法に用いられる基板を例示する図である。
図3(a)及び図3(b)は、基板を例示する参考図である。
図4は、第1の実施形態に係るレーザ加熱処理方法に用いられる基板を例示する図である。
図2は、レーザが照射される前のSi基板の表面の形状を示している。図3(a)は、照射量が1.3(J/cm2)のレーザをSi基板に照射した後のSi基板の表面の形状を示している。図3(b)は、照射量が2.0(J/cm2)のレーザをSi基板に照射した後のSi基板の表面の形状を表している。図4は、Si基板の表面をSiO2膜で覆い(凹部の内側にSiO2膜を埋め込み)、照射量が2.0(J/cm2)のレーザをSi基板に照射した後のSi基板の表面の形状を示している。図3(a)、図3(b)及び図4において、図2で示した凹凸部を有するSi基板の表面にレーザを照射している。
Si基板の表面の温度がSiの融点(1414℃)以上に上昇した場合、Si基板の表面が溶融する。溶融するときの表面張力によって、Si基板の表面に形成された凹凸部が変形する。
図3(a)及び図3(b)に表したように、レーザの照射量(照射エネルギー)が増加するにつれて、Si基板の表面に形成された凹凸部は大きく変形している。Si基板の表面に凹凸部が形成されている場合に、Siの融点以上にSi基板を加熱すると、Si基板の表面の形状は変化する。Si基板の表面が平坦である場合、Si基板の表面の形状に大きな変化は見られない。
図4において、Si基板をSiO2膜で覆った後にSi基板をレーザで照射しているので、Si基板上の凹凸部の形状は大きく変化していない。
Siよりも融点の高い材料を含む膜(例えば、SiO2膜)で覆った後、レーザでSi基板の表面を照射する。Si基板の表面に形成された凹凸部の形状を大きく変化させることなく、Siの融点以上にSiを加熱できる。
表面をSiO2膜で覆ったSi基板がレーザで照射される。SiO2膜は、308ナノメートルの波長(エキシマレーザの波長)に対して透過性を有するので、レーザ光はSiO2膜を透過する。透過されたレーザ光がSi基板の表面に吸収されてSiが加熱される。
Si基板の表面は、Siよりも融点が高いSiO2膜(融点:1650℃)で覆われているので、Siが溶融されて凹凸部の形状が変化することを抑制できる。その後、SiO2膜は、HF等の薬液で除去できる。
被加熱材料(例えば、Si)よりも融点が高く、レーザ光に対して透過性の高い材料(例えば、SiO2)を、被加熱材料を含む基板の表面に覆う。基板の表面に凹凸部等が設けられている場合、基板の表面の形状に大きな変化が生じることなく、被加熱材料の融点よりも高い温度で被加熱材料を加熱できる。
本実施形態では、Si基板の表面にSiO2膜を形成した後、凹凸部を有するSi基板の表面をエキシマレーザ(波長308ナノメートル)により加熱している。Si基板の表面をMo膜で覆い(凹部の内側にMo膜を埋め込み)、凹凸部を有するSi基板の表面をエキシマレーザにより加熱しても良い。
Moは、308ナノメートルの波長に対して、低い光透過率を有する。Moは、308ナノメートルの波長に対して、高い光反射率を有すると共に光を吸収する。Mo膜がレーザの光で照射されると、Mo膜の表面が加熱される。Moの熱伝導率は高く、Mo膜の表面で吸収した熱をSiまで伝えることができる。Moの融点(2600℃)は高いので、Siの誘電異常が生じる1500℃までSi基板の表面を加熱しても、Si基板の表面の形状が大きく変化することはない。
Siの基板の表面を覆ったMoを除去する場合、濃硫酸と濃硝酸の混合液を用いてMoをエッチングする。
本実施形態に係るレーザ加熱処理方法は、例えば、固体撮像素子の製造方法などに応用できる。例えば、CCD(Charge Coupled Device)やCMOS(Complementary Metal-Oxide Semiconductor)イメージセンサなどの固体撮像素子において、半導体基板上に、光電変換素子を含む微細パターンが形成される。このような基板の表面にレーザを照射して加熱処理することにより、界面準位等によって生じる暗電流を減少させる。画素数の増大化に伴う画素の微細化が進み、このような構造を有する固体撮像素子において、暗電流を減少させると共に感度の向上が望まれる。本実施形態に係るレーザ加熱処理方法を用いることで、基板の微細パターンの形状を維持しつつ、所望の加熱処理を行うことができる。
(第2の実施形態)
図5は、第2の実施形態に係る固体撮像装置を示す模式的断面図である。
固体撮像装置110は、例えば、半導体層10と、半導体層10の第2面10b上に形成された酸化膜20、酸化膜20の上に形成された反射防止膜30と、反射防止膜30の上に形成された平坦化層40と、平坦化層40の上に形成されたカラーフィルタ50と、カラーフィルタ50の上に形成されたマイクロレンズ60と、半導体層10の第1面10a上に形成された配線層70と、を含む。配線層70上には支持基板等が設けられる。
図5は、第2の実施形態に係る固体撮像装置を示す模式的断面図である。
固体撮像装置110は、例えば、半導体層10と、半導体層10の第2面10b上に形成された酸化膜20、酸化膜20の上に形成された反射防止膜30と、反射防止膜30の上に形成された平坦化層40と、平坦化層40の上に形成されたカラーフィルタ50と、カラーフィルタ50の上に形成されたマイクロレンズ60と、半導体層10の第1面10a上に形成された配線層70と、を含む。配線層70上には支持基板等が設けられる。
半導体層10は、第1面10a及び第2面10bを有する。第1面10aは、第2面10bの反対側の面である。本実施形態において、第1面10aが表面であり、第2面10bが裏面である。本実施形態の固体撮像装置110は、例えば、裏面照射型の固体撮像装置である。
酸化膜20は、例えば、シリコン酸化膜である。半導体層10がSiを含む層であり、酸化膜20がシリコン酸化膜である場合、SiとSiO2との界面には、界面準位による暗電流が発生することがある。暗電流の発生を抑制するために、半導体層10と酸化膜20との間にHfO2膜又はHfO2/SiO2の積層膜を設けても良い。
反射防止膜30は、例えば、SiN、SiON、又はTaO等である。633ナノメートルの光の波長に対するSiO2の屈折率は、1.5である。633ナノメートルの光の波長に対するSiN及びSiONの屈折率は、1.8である。光の波長633ナノメートルに対するTaOの屈折率は、2.1である。光の波長633ナノメートルに対するSiN、SiON、及びTaOの屈折率は、SiO2の屈折率より高い。
平坦化層40は、カラーフィルタ50が形成される面を平坦化する層である。
カラーフィルタ50は、それぞれ異なる波長域の光を透過する。カラーフィルタ50は、例えば、赤色の波長域の光を透過するRカラーフィルタと、緑色の波長域の光を透過するGカラーフィルタと、青色の波長域の光を透過するBカラーフィルタと、を含む。
マイクロレンズ60は、光源から入射された光を集光し、半導体層10の第2面10b(裏面)側に光を導く。
配線層70は、絶縁層と、絶縁層内に形成された配線と、を含む。配線層70は、信号を読み出すための回路等を含む。配線層70は、後述する受光部11に蓄積された電荷を読み出す。
半導体層10は、Si基板等の半導体基板上に形成されたエピタキシャル層である。半導体層10内に、受光部11と、中間層12と、遮光膜13とが設けられている。半導体層10の膜厚は、例えば、4マイクロメートル程度である。
受光部11は、フォトダイオードPDを含む画素領域に対応する。受光部11は、例えば、n型のSi層である。受光部11は、マイクロレンズ60から半導体層10に向かう方向に照射された光を信号変換して電荷を蓄積する。
遮光膜13は、受光部11(画素領域)間に形成される。遮光膜13は、隣り合う受光部11を分離する。遮光膜13は、酸化膜20に接触する。受光部11(画素領域)間に開口部(凹部)を形成し、遮光膜13を開口部内に埋め込む構造は、例えば、DTI(Deep Trench Isolation)構造と呼ばれている。開口部内に埋め込まれる遮光膜13は、絶縁膜、又は、タングステン等を含む金属膜である。遮光膜13として、スズ等を含む金属膜を用いても良い。遮光膜13として、SiO2膜、SiN膜又はカーボンを用いても良い。
隣り合う受光部11を分離するために、受光部11間にp型の分離層を設けても良い。受光部11間にp型の分離層を設ける場合、遮光膜13は、分離層に覆われるように分離層内に形成しても良い。分離層が隣り合う受光部11を分離するので、画素領域間での光電子の混色が抑制される。
導電性の金属膜を用いて遮光膜13を形成する場合、受光部11(Si)と遮光膜13との間にシリコン酸化膜等を形成する。シリコン酸化膜は絶縁膜として機能する。シリコン酸化膜等を形成した後、金属膜にグランド又は負の電圧を印加しても良い。受光部11(Si)と遮光膜13との界面でホールが発生し、暗電流が低減する。
材料の光に対する吸収係数は、波長依存性を有する。例えば、波長400ナノメートルの青色の光を用いる場合、Siの吸収係数は、8×104(cm−1)である。例えば、波長700ナノメートルの赤色の光を用いる場合、Siの吸収係数は、2×103(cm−1)である。青色の光と比較して波長が長い赤色の光はSiに対して低い吸収率を有し、青色の光はSiに対して高い吸収率を有する。
隣接する画素領域での混色を考慮すると、青色の画素領域から青色の画素領域に隣接する画素領域への混色は少ない。青色の光と比較して波長が長い赤色の光は、受光する画素領域で低い吸収率を有する。赤色の光は吸収率が低いので、光電変換されない。第2面10bから第1面10aに向かう方向に対して傾斜した角度で受光部11(画素領域)に入射した光は、隣りの受光部11(画素領域)に入射する。光電変換前の光によって、混色が生じる場合がある。
遮光膜13が隣り合う受光部11(画素領域)間に形成されると、第2面10bから第1面10aに向かう方向に対して傾斜した角度で受光部11に入射した光が遮光膜13によって反射される。遮光膜13によって反射された光は、所望の画素領域内に入射される。隣り合う受光部11間に遮光膜13を形成すると、隣り合う画素領域間の遮光性を高くできる。隣り合う画素領域間での混色を抑制できる。
遮光膜13は、反射性を有する材料を含むことが望ましい。反射性を有する材料を遮光膜13に用いることで、画素の感度を高めることができる。
中間層12は、遮光膜13の側面及び底面に形成されている。中間層12を遮光膜13の側面及び底面を囲むように形成すると、暗電流を低減できる。中間層12は、例えば、P層である。受光部11(画素領域)間に開口部が形成された後、イオン注入又はプラズマドーピング等を用いて、開口部の内側面にボロン等が注入され、中間層12が開口部の内側面に形成される。
開口部の内側面に中間層12が形成され、中間層12上に遮光膜13が形成された後、半導体層10の第2面10b(遮光膜13の表面)からレーザアニールが行われる。注入されたボロンが活性化し、ボロンの注入欠陥が修復される。レーザアニールは、例えば、エキシマレーザアニールである。スパイクアニール又はランプアニールを行うと、半導体層10の全体が加熱される。エキシマレーザアニールを用いると、裏面照射型の固体撮像装置110において半導体層10の第2面10bを加熱できる。裏面照射型の固体撮像装置110ではCMOSが設けられている。レーザアニールの使用によって、トランジスタの特性への影響、及び、Al又はCuによって形成される配線層への影響は少ない。
レーザの波長は、例えば、308ナノメートルである。加熱される材料の表層で吸収できれば、レーザの波長は任意に決定できる。308ナノメートルの波長において、Siがレーザ光を吸収する深さは、7ナノメートル程度である。
開口部の内側面に中間層12が形成され、中間層12上に遮光膜13が形成された後、半導体層10の第2面10b(遮光膜13の表面)からレーザを照射する。このような方法で固体撮像装置を製造すると、感度の減少が少なく、暗電流が低減された固体撮像装置が提供される。
以下、上記のような条件を見出す基となった実験結果について説明する。
図6〜図9に示された第1〜第4実験では、固体撮像装置110において、半導体層10内の受光部11間に開口部が形成され、開口部の内側面にボロンがイオン注入される。その後、半導体層10の第2面10bからレーザが照射され、遮光膜13としてSiO2膜が開口部内に埋め込まれる。図6〜図9は、第2の実施形態に係る固体撮像装置110に関する参考図である。
図6〜図9に示された第1〜第4実験では、固体撮像装置110において、半導体層10内の受光部11間に開口部が形成され、開口部の内側面にボロンがイオン注入される。その後、半導体層10の第2面10bからレーザが照射され、遮光膜13としてSiO2膜が開口部内に埋め込まれる。図6〜図9は、第2の実施形態に係る固体撮像装置110に関する参考図である。
図10に示された第5実験では、固体撮像装置110において、半導体層10内の受光部11間に開口部が形成され、開口部の内側面にボロンがイオン注入される。その後、遮光膜13としてSiO2膜が開口部内に埋め込まれ、半導体層10の第2面10b(遮光膜13の表面)からレーザが照射される。図10は、第2の実施形態に係る固体撮像装置110に関する図である。
(第1実験)
図6は、レーザの照射量と暗電流との関係を例示した参考図である。
図6の横軸は、レーザの照射量Ir(J/cm2)である。縦軸は、暗電流Id(任意単位)である。
図6において、レーザの照射量Irと暗電流Idとの関係が表されている。レーザの照射量Irを増加すると、暗電流Idは減少する。
図6は、レーザの照射量と暗電流との関係を例示した参考図である。
図6の横軸は、レーザの照射量Ir(J/cm2)である。縦軸は、暗電流Id(任意単位)である。
図6において、レーザの照射量Irと暗電流Idとの関係が表されている。レーザの照射量Irを増加すると、暗電流Idは減少する。
(第2実験)
図7は、レーザの照射量と感度との関係を例示した参考図である。
図7の横軸は、レーザの照射量Ir(J/cm2)である。縦軸は、感度S(任意単位)である。
図7において、レーザの照射量Irと感度Sとの関係が表されている。レーザの照射量Irが1.2(J/cm2)から1.4(J/cm2)の範囲では、感度Sが減少する割合は少ない。レーザの照射量Irが1.5(J/cm2)以上になると、感度Sが著しく減少する。この著しい減少は、DTI構造の側壁上に形成されたSiが溶融して側壁の形状が変化して、画素領域への光の入射量が減少することに起因すると考えられる。画像領域の形状が変化することによって画素領域への光の入射量が減少する。この著しい減少は、DTI構造の側壁上に形成された中間層12の幅が遮光膜13の表面から底面に向かう方向に広がったことにも起因すると考えられる。
図7は、レーザの照射量と感度との関係を例示した参考図である。
図7の横軸は、レーザの照射量Ir(J/cm2)である。縦軸は、感度S(任意単位)である。
図7において、レーザの照射量Irと感度Sとの関係が表されている。レーザの照射量Irが1.2(J/cm2)から1.4(J/cm2)の範囲では、感度Sが減少する割合は少ない。レーザの照射量Irが1.5(J/cm2)以上になると、感度Sが著しく減少する。この著しい減少は、DTI構造の側壁上に形成されたSiが溶融して側壁の形状が変化して、画素領域への光の入射量が減少することに起因すると考えられる。画像領域の形状が変化することによって画素領域への光の入射量が減少する。この著しい減少は、DTI構造の側壁上に形成された中間層12の幅が遮光膜13の表面から底面に向かう方向に広がったことにも起因すると考えられる。
(第3実験)
図8(a)〜図8(d)は、レーザの照射量とDTI構造との関係を例示した参考図である。
図8(a)は、レーザの照射量Irを1.2(J/cm2)とした場合のDTI構造の側壁の形状を示している。図8(b)は、レーザの照射量Irを1.3(J/cm2)とした場合のDTI構造の側壁の形状を示している。図8(c)は、レーザの照射量Irを1.4(J/cm2)とした場合のDTI構造の側壁の形状を示している。図8(d)は、レーザの照射量Irを1.5(J/cm2)とした場合のDTI構造の側壁の形状を示している。
図8(a)〜図8(d)は、レーザの照射量とDTI構造との関係を例示した参考図である。
図8(a)は、レーザの照射量Irを1.2(J/cm2)とした場合のDTI構造の側壁の形状を示している。図8(b)は、レーザの照射量Irを1.3(J/cm2)とした場合のDTI構造の側壁の形状を示している。図8(c)は、レーザの照射量Irを1.4(J/cm2)とした場合のDTI構造の側壁の形状を示している。図8(d)は、レーザの照射量Irを1.5(J/cm2)とした場合のDTI構造の側壁の形状を示している。
図8(a)〜図8(d)において、レーザの照射量IrとDTI構造の側壁の形状との関係が表されている。レーザが照射される時、溝の内部に遮光膜13は形成されていない。レーザの照射量Irが増加すると、側壁上に形成されたSiが溶融して側壁の形状が変化する。
(第4実験)
図9(a)及び図9(b)は、レーザの照射量とDTI構造との関係を例示した参考図である。
半導体層10内の受光部11間に開口部が形成され、開口部の内側面にボロンがイオン注入される。半導体層10の第2面10bからレーザが照射され、遮光膜13としてSiO2膜が開口部内に埋め込まれる。その後、走査型広がり抵抗顕微鏡法(Scanning Spreading Resistance Microscopy)によってDTI構造の形状を観察している。
図9(a)及び図9(b)は、レーザの照射量とDTI構造との関係を例示した参考図である。
半導体層10内の受光部11間に開口部が形成され、開口部の内側面にボロンがイオン注入される。半導体層10の第2面10bからレーザが照射され、遮光膜13としてSiO2膜が開口部内に埋め込まれる。その後、走査型広がり抵抗顕微鏡法(Scanning Spreading Resistance Microscopy)によってDTI構造の形状を観察している。
レーザが半導体層10の第2面10bに照射されているので、ボロンが活性化する。半導体層10の第2面10bにおける開口部付近の抵抗値が下がる。
図9(a)に表したように、レーザの照射量Irが1.2(J/cm2)である場合、半導体層10の第2面10bにおける開口部の幅は広い。開口部の幅は、半導体層10の第2面10bから第1面10aに向かう方向につれて狭くなる。DTI構造の底面に近い位置ではレーザ光が吸収される量が減少する。
図9(b)に表したように、レーザの照射量Irが1.5(J/cm2)である場合、半導体層10の第2面10bにおける開口部の幅は広い。DTI構造の底面に近い位置においてもボロンが活性化している。Siの溶融によってDTI構造の側壁が凸状を有する。
レーザの照射量Irを増加して、中間層12の幅が、半導体層10の第2面10bから第1面10aに向かう方向に広がると、中間層12はレーザの入射光の光電変換に作用しない。中間層12の幅が広がると、感度が低下する。
(第5実験)
図10は、第2の実施形態におけるレーザの照射量と感度との関係を示す図である。
図10の横軸は、レーザの照射量Ir(J/cm2)である。縦軸は、感度S(任意単位)である。
図10は、第2の実施形態におけるレーザの照射量と感度との関係を示す図である。
図10の横軸は、レーザの照射量Ir(J/cm2)である。縦軸は、感度S(任意単位)である。
図10に表したように、図7と比較して、特定のレーザの照射量Irから感度が著しく減少することはない。レーザの照射量Irの増加とともに徐々に感度は減少する。レーザの光が受光部11のSiに吸収され易いので、DTI構造の側壁のレーザ光の吸収分布が大きい。半導体層10の第2面10bにおける開口部の幅は広くなる。
DTI構造において、遮光膜13の側面及び底面に中間層12を形成し、半導体層10の第2面10bにレーザを照射すると、暗電流が低下する。遮光膜13としてSiO2膜が開口部内に埋め込まれているので、DTI構造の側壁の形状変化による感度低下を抑制できる。
本実施形態では、感度の減少が少なく、暗電流を低減することができるので、表示品質が向上した固体撮像装置を提供できる。
(第3の実施形態)
図11及び図12に示された第6及び第7実験では、固体撮像装置110において、半導体層10内の受光部11間に開口部が形成され、開口部の内側面にボロンがイオン注入される。イオン注入後にシリコン酸化膜が開口部内に形成され、遮光膜13としてタングステンを含む金属膜が埋め込まれる。その後、半導体層10の第2面10bからレーザが照射される。
図11及び図12に示された第6及び第7実験では、固体撮像装置110において、半導体層10内の受光部11間に開口部が形成され、開口部の内側面にボロンがイオン注入される。イオン注入後にシリコン酸化膜が開口部内に形成され、遮光膜13としてタングステンを含む金属膜が埋め込まれる。その後、半導体層10の第2面10bからレーザが照射される。
(第6実験)
図11は、第3の実施形態におけるレーザの照射量とDTI構造との関係を例示した図である。
図11において、遮光膜13の表面にレーザが照射された後、走査型広がり抵抗顕微鏡法によってDTI構造の形状を観察している。レーザの照射量Irは、1.6(J/cm2)である。
図11は、第3の実施形態におけるレーザの照射量とDTI構造との関係を例示した図である。
図11において、遮光膜13の表面にレーザが照射された後、走査型広がり抵抗顕微鏡法によってDTI構造の形状を観察している。レーザの照射量Irは、1.6(J/cm2)である。
タングステンの308ナノメートルの光の波長に対する吸収深さは、10ナノメートル程度である。タングステンによって熱が伝わり、DTI構造の側壁に形成されたボロンが活性化されて注入欠陥の回復が行われる。DTI構造の側壁ではレーザの光が吸収され難いので、DTI構造の側壁での温度分布が緩和される。遮光膜13としてモリブデン、チタン又はタンタルを含む金属膜が埋め込まれても良い。
(第7実験)
図12は、第3の実施形態におけるレーザの照射量と感度との関係を例示した図である。
図12の横軸は、レーザの照射量Ir(J/cm2)である。縦軸は、感度S(任意単位)である。
図12は、第3の実施形態におけるレーザの照射量と感度との関係を例示した図である。
図12の横軸は、レーザの照射量Ir(J/cm2)である。縦軸は、感度S(任意単位)である。
図12に表したように、特定のレーザの照射量Irから感度が著しく減少することはない。レーザの照射量Irの増加とともに徐々に感度は減少する。感度が減少する割合は少ない。DTI構造の側壁の形状が変化しないこと、及び、遮光膜13の側面に形成された中間層12の幅が均一に広がることによって、感度が減少する割合は少ない。
本実施形態では、感度の減少が少なく、暗電流を低減することができるので、表示品質が向上した固体撮像装置を提供できる。
図13(a)〜図13(i)は、固体撮像装置の製造工程の一部のフローチャートである。
図13(a)〜図13(i)において、DTI構造を形成する工程が表されている。
図13(a)〜図13(i)において、DTI構造を形成する工程が表されている。
図13(a)において、半導体層10の第2面10b上に中間膜21及び酸化膜22を順に積層したハードマスクを用いて、画素領域内に溝となる開口部23を形成する。開口部23は、反応性イオンエッチングを含むエッチング法によって形成される。
中間膜21として、例えば、SiN膜が用いられる。酸化膜22として、例えば、SiO2膜が用いられる。SiN膜の厚さは、例えば、50ナノメートル程度である。SiO2膜の厚さは、例えば、200ナノメートル程度である。
図13(b)において、画素領域内に形成された開口部23が形成された後、開口部の内側面にボロン等がイオン注入される。その後、遮光膜13としてSiO2膜等が開口部内に埋め込まれ、半導体層10の第2面10bからレーザが照射される。
遮光膜13が金属膜である場合、絶縁膜としてシリコン酸化膜をALD(Atomic Layer Deposition)法によって形成した後、バリアメタルとしてTiN膜を形成しても良い。シリコン酸化膜の厚さは、例えば、10ナノメートル程度である。TiN膜の厚さは、例えば、5ナノメートル程度である。
図13(c)において、遮光膜13を平坦化する。遮光膜13は、CMP(Chemical Mechanical Polishing)法等によって平坦化される。
図13(d)において、酸化膜20を形成する。酸化膜20は、例えば、SiO2膜である。酸化膜20の厚さは、例えば、300ナノメートル程度である。
図13(e)において、第2面10b上に遮光膜13を露出させる。遮光膜13は、反応性イオンエッチングを含むエッチング法によって酸化膜20をエッチングすることで露出される。
図13(f)において、第2面10b上に半導体層10内に形成された溝24を露出させる。反応性イオンエッチングを含むエッチング法によって酸化膜20をエッチングすることで溝24が露出される。
図13(g)において、酸化膜20の表面、及び、半導体層10の第2面10bの内で露出された部分に、オーバーコート膜25を形成する。オーバーコート膜25は、例えば、Al膜である。
図13(h)において、オーバーコート膜25の一部を除去する。反応性イオンエッチングを含むエッチング法によってオーバーコート膜25の一部は除去される。
図13(i)において、第2面10b上に画素領域を露出させる。ドライエッチングを含むエッチング法によって酸化膜20をエッチングすることで画素領域が露出される。その後、カラーフィルタ50及びマイクロレンズ60が順に積層される。
本発明の実施形態によれば、対象物の形状変化を抑制しつつ加熱するレーザ加熱処理方法、及び、固体撮像装置の製造方法が提供される。
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、基板、半導体層、受光部、中間層、遮光膜などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。
また、各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
また、各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
その他、本発明の実施の形態として上述した液晶光学装置及び画像表示装置を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての液晶光学装置及び画像表示装置も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
10…半導体層、 10a…第1面、 10b…第2面、 11…受光部、 12…中間層、 13…遮光膜、 20、22…酸化膜、 21…中間膜、 23…開口部、 24…溝、 25…オーバーコート膜、 30…反射防止膜、 40…平坦化層、 50…カラーフィルタ、 60…マイクロレンズ、 70…配線層、 110…固体撮像装置、 Id…暗電流、 Ir…レーザの照射量、 S…感度
Claims (10)
- 基板上に設けられた構造体を覆うように、前記構造体よりも融点の高い膜を形成し、
前記膜及び前記構造体にレーザを照射して前記構造体を加熱するレーザ加熱処理方法。 - 前記基板の表面に、凹凸部が設けられている請求項1記載のレーザ加熱処理方法。
- 前記膜の前記レーザの波長に対する透過率は、前記構造体の前記波長に対する透過率よりも高い請求項1または2に記載のレーザ加熱処理方法。
- 前記膜は、SiO2、Si3N4及びSiONの少なくとも1つを含む請求項1〜3のいずれかに記載のレーザ加熱処理方法。
- 前記膜は、Moを含む請求項1〜3のいずれかに記載のレーザ加熱処理方法。
- 第1面と前記第1面の反対側の第2面とを有する半導体層内に複数の受光部を形成し、前記複数の受光部の間に前記第2面から凹部を形成する工程と、
前記凹部の内側面に中間層を形成する工程と、
前記中間層上に遮光膜を形成し、前記第2面からレーザを照射する工程と、
を備えた固体撮像装置の製造方法。 - 前記遮光膜の融点は、前記半導体層の融点よりも高い請求項6記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記遮光膜は、SiO2、Si3N4及びSiONの少なくとも1つを含む請求項6または7に記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記遮光膜は、モリブデン、タングステン、チタン及びタンタルの少なくとも1つを含む請求項6または7に記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記複数の受光部に前記第2面から光が入射する請求項6〜9のいずれかに記載の固体撮像装置の製造方法。
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2015
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