JP2015170697A - レーザーダイシング装置及びレーザーダイシング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエーハWは、透明のチャックテーブル12に吸着保持され、レーザーヘッド50からのレーザー光が加工ラインに沿って照射される。これによって、加工ラインでウエーハWを分断するための改質領域がウエーハWに形成される。一方、チャックテーブル12の裏面側には、顕微鏡80が配置されており、加工ラインに沿った位置のウエーハWの裏面が顕微鏡80により撮影される。これによって得られた画像に基づいてウエーハWの裏面に改質領域から延びる亀裂が現れているか否か等を判断して、改質領域の形成状態を判断する。
【選択図】図6
Description
Claims (7)
- ウエーハを保持する保持面を有するテーブルであって、光学的に透明な部材で形成されたテーブルと、
前記テーブルに保持された前記ウエーハの内部に集光点を合わせてレーザー光を前記ウエーハに照射し、前記ウエーハの内部に改質領域を形成するレーザー光照射手段と、
前記レーザー光照射手段に対して前記テーブルを相対的に移動させて前記レーザー光照射手段から照射されたレーザー光の集光点を加工ラインに沿って移動させるテーブル移動機構と、
前記テーブルの保持面に対して反対側となる非保持面側に配置され、前記レーザー光照射手段により照射されたレーザー光が入射する前記ウエーハの表面に対して反対側となる前記ウエーハの裏面の画像を前記テーブルを介して撮影する撮影手段であって、前記改質領域の形成状態を検出するための画像を取得する撮影手段と、
を備えたレーザーダイシング装置。 - 前記撮影手段を支持し、かつ、移動させて前記撮影手段の撮影位置を前記ウエーハの加工ラインに沿って移動させる撮影手段移動機構を備えた請求項1に記載のレーザーダイシング装置。
- 前記テーブル移動機構は、
前記テーブルを支持する第1キャリッジであって、前記テーブルの保持面と平行し、かつ、前記加工ラインを沿わせる方向となる第1方向に移動する第1キャリッジと、
前記第1キャリッジを支持する第2キャリッジであって、前記テーブルの保持面と平行し、かつ、前記第1方向と直交する第2方向に移動する第2キャリッジと、
を備え、
前記撮影手段は、前記撮影手段移動機構を介して前記第1キャリッジに設置された請求項2に記載のレーザーダイシング装置。 - 前記撮影手段移動機構は、前記撮影手段を前記第1方向及び第2方向に移動させる移動機構である請求項3に記載のレーザーダイシング装置。
- 前記テーブル移動機構は、
前記テーブルを支持する第1キャリッジであって、前記テーブルの保持面と平行し、かつ、前記加工ラインを沿わせる方向となる第1方向に移動する第1キャリッジと、
前記第1キャリッジを支持する第2キャリッジであって、前記テーブルの保持面と平行し、かつ、前記第1方向と直交する第2方向に移動する第2キャリッジと、
前記撮影手段は、前記撮影手段を前記第2方向に移動させる撮影手段移動機構を介して前記第2キャリッジに設置された請求項1に記載のレーザーダイシング装置。 - ウエーハ内部に集光点を合わせてレーザー光を加工ラインに沿って照射し、当該加工ラインに沿って前記ウエーハ内部に切断の起点となる改質領域を形成するレーザーダイシング装置であって、前記ウエーハを保持する保持面を有するテーブルであって、光学的に透明な部材で形成されたテーブルと、前記テーブルの保持面に対して反対側となる非保持面側に配置され、前記レーザー光が照射される前記ウエーハの表面に対して反対側となる前記ウエーハの裏面の画像を前記テーブルを介して撮影する撮影手段であって、前記改質領域の形成状態を検出するための画像を取得する撮影手段と、を備えたレーザーダイシング装置におけるレーザーダイシング方法であって、
前記レーザー光が照射された後の前記加工ラインに沿って前記ウエーハの裏面の画像を前記撮影手段により順次撮影するレーザーダイシング方法。 - 前記ウエーハは、平行する複数の加工ラインを有し、
前記レーザー光を照射する加工ラインを、一方の端の加工ラインから他方の端の加工ラインまで順に切り替えるとともに、前記撮影手段により撮影する加工ラインを、前記レーザー光を照射している加工ラインに対して所定ライン分前に照射された加工ラインを前記撮影手段により撮影する請求項6に記載のレーザーダイシング方法。
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