JP2015170625A - 半導体パッケージ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態によれば、トランジスタ回路を形成するチップ3の裏面に連通気孔が形成された多孔質状の多孔質層8を形成し、前記多孔質層8の部分に冷媒を流す冷媒流通手段9を設けた。
【選択図】図1
Description
(構成)
以下、本実施の形態にかかわる半導体パッケージに関して図面を参照して説明する。図1(A),(B)および図2(A),(B)は、第1の実施の形態の半導体パッケージ1の一例であるフリップ・チップボールグリッドアレイパッケージを示す。この半導体パッケージ1は、薄い基板(サブストレート)2の表面に多数のトランジスタで回路を形成したチップ3を載せて樹脂4でモールドした構造になっている。ここで、チップ3は、フリップチップ半田突起5を介して基板(サブストレート)2の表面に連結されている。基板2の裏面は半田ボール6を介して実装する基板7に固定されている。なお、チップ3の半導体形成面3aは、図1中でチップ3の下面(表面)側に配置されている。
次に、上記構成の作用について説明する。本実施の形態の半導体パッケージ1の動作時には、チップ3の表面側の半導体形成面3aの発熱部が発熱する。このとき、同時に冷媒流通手段9が駆動される。この冷媒流通手段9の駆動時には、冷媒供給管13から供給される冷媒が冷媒流入口11を通して第1の溝部10aに導入される。第1の溝部10aに導入された冷媒は、第1の溝部10aの縦溝10a1を通して複数の横溝10a2に流入される。その後、冷媒は、主に第1の溝部10aの複数の横溝10a2と、第2の溝部10bの複数の横溝10a2との間の多孔質層8の壁部の微細な連通気孔を透過して第2の溝部10b側に導入されたのち、第2の溝部10bの冷媒流出口12から冷媒排出管14を通して外部に排出される。
そこで、上記構成の本実施の形態の半導体パッケージ1では、チップ3の上面(裏面)側に、多孔質状の多孔質層8を形成し、この多孔質層8の部分に冷媒を流す冷媒流通手段9を設けている。これにより、次の効果がある。
(1)発熱するチップ3の裏面の多孔質層8に直接冷媒を流すため、パッケージ1のモールド樹脂4の熱伝導による熱抵抗に左右されずに基板2の表面の集積回路の高性能な冷却が可能である。
(構成)
図3(A),(B)は、第2の実施の形態を示す。本実施の形態は、第1の実施の形態(図1(A),(B)および図2(A),(B)参照)の半導体パッケージ1の構成を次の通り変更した変形例である。なお、図3(A),(B)中で、図1(A),(B)および図2(A),(B)と同一部分には同一の符号を付してその説明を省略する。
本実施の形態の半導体パッケージ21の動作時には、第1の実施の形態の半導体パッケージ1と同様に、同時に冷媒流通手段9が駆動される。この冷媒流通手段9の駆動時には、冷媒供給管13から供給される冷媒が冷媒流入口11を通して第1の溝部10aに導入される。第1の溝部10aに導入された冷媒は、第1の溝部10aの縦溝10a1を通して複数の横溝10a2に流入される。その後、冷媒は、主に第1の溝部10aの複数の横溝10a2と、第2の溝部10bの複数の横溝10a2との間の多孔質層8の壁部の微細な連通気孔を透過して第2の溝部10b側に導入される。このとき、高冷却部24を通る冷媒は、多孔質層8の壁部の厚さが小さいので、流れやすく、低冷却部25を通る冷媒は、多孔質層8の壁部の厚さが大きいので、流れにくい。そのため、多孔質層8の高冷却部24では、低冷却部25よりも多量の冷媒が流れるので、チップ3の表面側の高発熱部22は、低発熱部23よりも効率よく冷却することができる。
(構成)
図4(A),(B)は、第3の実施の形態を示す。本実施の形態は、第1の実施の形態(図1(A),(B)および図2(A),(B)参照)の半導体パッケージ1の構成を次の通り変更した変形例である。なお、図4(A),(B)中で、図1(A),(B)および図2(A),(B)と同一部分には同一の符号を付してその説明を省略する。
本実施の形態の半導体パッケージ31の動作時には、第1の実施の形態の半導体パッケージ1と同様に、同時に冷媒流通手段34が駆動される。この冷媒流通手段34の駆動時には、ヒートパイプ32は、(1)多孔質層8の蒸発部33で熱を吸収することで作動液が蒸発する(蒸発潜熱の吸収)。(2)この蒸気は、凝縮部36に移動する。(3)その後、凝縮部36で、蒸気が凝縮する(蒸発潜熱の放出)。このとき、(4)凝縮した液が毛細管現象で蒸発部33に環流される。そして、上記(1)〜(4)の一連の相変化が連続的に生じ、熱が素早く移動する。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
Claims (4)
- トランジスタ回路を形成するチップの裏面に連通気孔が形成された多孔質状の多孔質層を形成し、前記多孔質層の部分に冷媒を流す冷媒流通手段を設けた半導体パッケージ。
- 前記冷媒流通手段は、前記多孔質層に、前記チップの表面側の発熱部の発熱量に応じた冷媒流路を形成し、その流路並びに前記多孔質層の部分に冷媒を流して冷却する構造とした請求項1に記載の半導体パッケージ。
- 前記多孔質層は、SiCの多孔質層によって形成されている請求項1に記載の半導体パッケージ。
- 前記冷媒流通手段は、前記SiCの多孔質層をヒートパイプの蒸発部として使用した請求項3に記載の半導体パッケージ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014042227A JP2015170625A (ja) | 2014-03-05 | 2014-03-05 | 半導体パッケージ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014042227A JP2015170625A (ja) | 2014-03-05 | 2014-03-05 | 半導体パッケージ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2015170625A true JP2015170625A (ja) | 2015-09-28 |
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ID=54203134
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2014042227A Pending JP2015170625A (ja) | 2014-03-05 | 2014-03-05 | 半導体パッケージ |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2015170625A (ja) |
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2014
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