JP2015159234A - 半導体装置 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 121
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 29
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 99
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims description 37
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 28
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 abstract description 27
- 230000010354 integration Effects 0.000 abstract description 9
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 15
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 4
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241001354791 Baliga Species 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004541 SiN Inorganic materials 0.000 description 1
- HIVGXUNKSAJJDN-UHFFFAOYSA-N [Si].[P] Chemical compound [Si].[P] HIVGXUNKSAJJDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/7801—DMOS transistors, i.e. MISFETs with a channel accommodating body or base region adjoining a drain drift region
- H01L29/7802—Vertical DMOS transistors, i.e. VDMOS transistors
- H01L29/7811—Vertical DMOS transistors, i.e. VDMOS transistors with an edge termination structure
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/0603—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions
- H01L29/0607—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions for preventing surface leakage or controlling electric field concentration
- H01L29/0611—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions for preventing surface leakage or controlling electric field concentration for increasing or controlling the breakdown voltage of reverse biased devices
- H01L29/0615—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions for preventing surface leakage or controlling electric field concentration for increasing or controlling the breakdown voltage of reverse biased devices by the doping profile or the shape or the arrangement of the PN junction, or with supplementary regions, e.g. junction termination extension [JTE]
- H01L29/0619—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions for preventing surface leakage or controlling electric field concentration for increasing or controlling the breakdown voltage of reverse biased devices by the doping profile or the shape or the arrangement of the PN junction, or with supplementary regions, e.g. junction termination extension [JTE] with a supplementary region doped oppositely to or in rectifying contact with the semiconductor containing or contacting region, e.g. guard rings with PN or Schottky junction
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- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
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- H01L29/0603—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions
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- H01L29/0638—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions for preventing surface leakage or controlling electric field concentration for preventing surface leakage due to surface inversion layer, e.g. with channel stopper
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- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/7801—DMOS transistors, i.e. MISFETs with a channel accommodating body or base region adjoining a drain drift region
- H01L29/7802—Vertical DMOS transistors, i.e. VDMOS transistors
- H01L29/7813—Vertical DMOS transistors, i.e. VDMOS transistors with trench gate electrode, e.g. UMOS transistors
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- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
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- Computer Hardware Design (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
【課題】ワイドバンドギャップ半導体から構成された半導体装置において、半導体装置の集積度を向上させることが可能な構成を提供する。【解決手段】n型の炭化珪素基板10と、ドリフト層12と、p型のウェル領域14Aと、n型のソース領域16Aと、ゲート絶縁膜22Aと、ゲート電極24Aと、ソース電極28Aと、ドレイン電極33とは、縦型MOSFETのセルを構成する。ゲート電極24Aはゲートパッド電極30に電気的に接続される。上記縦型MOSFETのセルは、半導体装置100の平面視において、ゲートパッド電極30の下方の領域に形成されている。【選択図】図2
Description
本発明は、半導体装置に関する。特に、本発明は、ワイドバンドギャップ半導体装置に関する。
ワイドバンドギャップ半導体は、珪素(Si)に比べて大きなバンドギャップを有する半導体である。たとえば炭化珪素(SiC)、窒化ガリウム(GaN)およびダイヤモンド(C)などのワイドバンドギャップ半導体が、パワー半導体素子の材料として注目されている。
パワー半導体素子においては、従来より、周波数特性が優れ、スイッチング速度が速く、かつ、低電力で駆動できるなどの特徴を有することから、縦型MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)が広く用いられている。たとえば特許第3412332号公報(特許文献1)には、珪素半導体により構成された縦型MOSFETが開示されている。
上記特許文献1に記載される半導体装置は、珪素半導体からなる縦型MOSFETが形成される素子領域と、素子領域を囲む終端領域とを有する。半導体装置の平面視において、素子領域にはソースパッド電極が配置されている。ソースパッド電極は、ゲート電極上に形成された層間絶縁膜を部分的にエッチングして形成された電極接触穴を介して、n+型ソース領域およびp型ベース領域に電気的に接続されている。また、平面視において、終端領域には、ゲートパッド電極が配置されている。ゲートパッド電極は、ゲート電極に電気的に接続されている。ゲートパッド電極の下方の領域には、p型ベース領域が配置されている。
ここで、ワイドバンドギャップ半導体素子は、珪素半導体素子に比べて高耐圧、低オン抵抗および高温環境での安定動作を特徴とする。そのため、縦型MOSFETをワイドバンドギャップ半導体素子によって構成することにより、同じ電流駆動能力を有する珪素半導体素子と比べて、半導体チップの実装面積を縮小することができる。
このため、ワイドバンドギャップ半導体素子に、上記の縦型MOSFETの構造をそのまま採用すると、半導体チップの実装面積が縮小されるのに伴って、半導体チップの実装面積におけるゲートパッド電極の面積が占める割合が大きくなる。ゲートパッド電極の下方の領域は、実質的に素子が形成されない領域である。このため、ワイドバンドギャップ半導体素子においては、半導体チップの実装面積に与えるゲートパッド電極の影響度が大きくなることに起因して、半導体チップの集積度を効果的に上げることが困難となるという課題が生じる。
本発明の目的は、ワイドバンドギャップ半導体から構成された半導体装置において、半導体装置の集積度を向上させることが可能な構成を提供することである。
本発明のある局面に係る半導体装置は、第1の導電型を有するワイドバンドギャップ半導体により構成されて、第1の主面と、第1の主面に対して反対側に位置する第2の主面とを有する、半導体基板と、第1の導電型を有し、半導体基板の第1の主面上に配置されるドリフト層と、ドリフト層に配置されて、第1の導電型とは異なる第2の導電型を有する第1のウェル領域と、第1のウェル領域に配置されて、第1の導電型を有する第1のソース領域と、第1のソース領域とドリフト層とに挟まれた第1のウェル領域の部分の表面に配置された第1のゲート絶縁膜と、第1のゲート絶縁膜上に配置された第1のゲート電極と、第1のソース領域に電気的に接続された第1のソース電極と、半導体基板の第2の主面上に配置されて、半導体基板に電気的に接続されたドレイン電極と、ドリフト層における半導体基板側の主面とは反対側の主面上に、半導体装置の平面視において第1のウェル領域に重なるように配置されて、第1のゲート電極と電気的に接続されたゲートパッド電極とを備える。
本発明によれば、ワイドバンドギャップ半導体から構成された半導体装置において、半導体装置の集積度を向上させることができる。
[本願発明の実施形態の説明]
最初に本発明の実施の形態を列挙して説明する。
最初に本発明の実施の形態を列挙して説明する。
(1)本発明の実施の形態に係る半導体装置は、第1の導電型を有するワイドバンドギャップ半導体により構成されて、第1の主面(10A)と、第1の主面(10A)に対して反対側に位置する第2の主面(10B)とを有する、半導体基板(10)と、第1の導電型を有し、半導体基板(10)の第1の主面(10A)上に配置されるドリフト層(12)と、ドリフト層(12)に配置されて、第1の導電型とは異なる第2の導電型を有する第1のウェル領域(14A)と、第1のウェル領域(14A)に配置されて、第1の導電型を有する第1のソース領域(16A)と、第1のソース領域(16A)とドリフト層(12)とに挟まれた第1のウェル領域(14A)の部分の表面に配置された第1のゲート絶縁膜(22A)と、第1のゲート絶縁膜(22A)上に配置された第1のゲート電極(24A)と、第1のソース領域(16A)に電気的に接続された第1のソース電極(28A)と、半導体基板(10)の第2の主面(10B)上に配置されて、半導体基板(10)に電気的に接続されたドレイン電極(33)と、ドリフト層(12)における半導体基板(10)側の主面とは反対側の主面(12A)上に、半導体装置の平面視において第1のウェル領域(14A)に重なるように配置されて、第1のゲート電極(24A)と電気的に接続されたゲートパッド電極(30)とを備える。
上記の構成によれば、半導体基板(10)、ドリフト層(12)、第1のウェル領域(14A)、第1のソース領域(16A)、第1のゲート絶縁膜(22A)、第1のゲート電極(24A)、第1のソース電極(28A)およびドレイン電極(33)は、縦型半導体スイッチング素子のセルを構成する。そして、この縦型半導体スイッチング素子のセルは、当該セルのゲート電極が電気的に接続されるゲートパッド電極(30)の下方の領域に形成される。このように、従来では素子が形成されていなかったゲートパッド電極(30)の下方の領域に、縦型半導体スイッチング素子のセルを形成することにより、当該領域を有効に活用することができる。これにより、半導体スイッチング素子のセルの集積度を高めることができる。この結果、ワイドバンドギャップ半導体装置の更なる小型化を実現できる。
(2)好ましくは、上記半導体装置は、第1のゲート絶縁膜(22A)および第1のゲート電極(24A)を覆うように配置されて、第1のソース電極(28A)を露出させるための第1のコンタクトホールが形成された第1の層間絶縁膜(26)と、第1の層間絶縁膜(26)上に配置されて、第1のコンタクトホールを通じて第1のソース電極(28A)に電気的に接続されたソース配線層(32a)と、ソース配線層(32a)を覆うように配置されて、ゲートパッド電極(30)と第1のゲート電極(24A)とを電気的に接続させるための第2のコンタクトホールが形成された第2の層間絶縁膜(27)とをさらに備える。
上記の構成によれば、ゲートパッド電極(30)の下方の領域に形成された半導体スイッチング素子のセルに対して、ソース配線層(32a)を介してソース電極(28A)への電気的接続を確保することができる。また、ゲートパッド電極(30)とソース配線層(32a)との間に介在する第2の層間絶縁膜(27)によって、ゲートパッド電極(30)とソース配線層(32a)とを電気的に絶縁できるとともに、ゲートパッド電極(30)にワイヤを接続する際にゲートパッド電極(30)から半導体スイッチング素子のセルに伝わる衝撃を緩和することができる。
(3)好ましくは、第2の層間絶縁膜(27)は、複数の絶縁層を積層した多層構造を有する。上記の構成によれば、第2の層間絶縁膜の厚みを厚く形成することができるため、ゲートパッド電極(30)から伝わる衝撃から半導体スイッチング素子のセルを確実に保護することができる。
(4)好ましくは、ドリフト層(12)には、側壁部(SW)および底部(BT)を含むトレンチ(TR2)が形成される。トレンチ(TR2)において、側壁部(SW)は、ドリフト層(12)の主面(12A)から、第1のソース領域(16A)および第1のウェル領域(14A)を貫通してドリフト層(12)に至っており、底部(BT)は、側壁部(SW)と接し、かつドリフト層(12)に位置している。第1のゲート絶縁膜(22A)は、トレンチ(TR2)の側壁部(SW)および底部(BT)を覆うように配置される。
上記の構成によれば、ゲートパッド電極(30)の下方の領域には、トレンチゲート型の縦型半導体スイッチング素子のセルが形成される。これにより、半導体スイッチング素子のセルの集積度を、より一層高めることができる。
(5)好ましくは、上記半導体装置は、ドリフト層(12)における、半導体装置の平面視においてゲートパッド電極(30)の外側の領域に配置されて、第2の導電型を有する第2のウェル領域(14)と、第2のウェル領域(14)に配置されて、第1の導電型を有する第2のソース領域(16)と、第2のソース領域(16)とドリフト層(12)とに挟まれた第2のウェル領域(14)の部分の表面に配置された第2のゲート絶縁膜(22)と、第2のゲート絶縁膜(22)上に配置され、ゲートパッド電極(30)に電気的に接続された第2のゲート電極(24)と、第2のソース領域(16)に電気的に接続されるとともに、第1のソース電極(28A)に電気的に接続された第2のソース電極(28)とをさらに備える。
上記の構成によれば、ゲートパッド電極(30)の下方の領域およびゲートパッド電極(30)の外側に配置された領域の各々に、縦型半導体スイッチング素子のセルが形成される。これによれば、ドリフト層(12)の領域全体を有効に利用することができるため、半導体スイッチング素子のセルの集積度を高めることができる。
[本願発明の実施形態の詳細]
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照符号を付し、その説明は繰返さない。なお、この明細書において「電気的に接続される」とは、2つの要素が直接的に接続される場合に限定されず、別の要素を介して接続される場合も含み得る。
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照符号を付し、その説明は繰返さない。なお、この明細書において「電気的に接続される」とは、2つの要素が直接的に接続される場合に限定されず、別の要素を介して接続される場合も含み得る。
また、本明細書中の結晶学的記載においては、個別方位を[]、集合方位を<>、個別面を()、集合面を{}でそれぞれ示している。また結晶学上の指数が負であることは、通常、“−”(バー)を数字の上に付すことによって表現されるが、本明細素中では数字の前に負の符号を付している。
図1は、本発明の実施の形態に係る半導体装置100の上面模式図である。図2は、図1のII−IIで本発明の実施の形態に係る半導体装置100を切断した面を示す断面図である。
図1および図2を参照して、半導体装置100は、縦型半導体スイッチング素子を備える。図1および図2では、縦型半導体スイッチング素子の代表例として、縦型MOSFET101が示されている。
半導体装置100は、さらに、ガードリング領域34およびフィールドストップ領域36を含む。ガードリング領域34およびフィールドストップ領域36は、半導体装置100の耐圧を高めるための終端構造を実現する。後に詳細に説明するように、JTE(Junction Termination Extension)領域が終端構造に追加されてもよい。
縦型MOSFET101は、プレーナゲート型の縦型MOSFETである。縦型MOSFET101は、炭化珪素基板10と、ドリフト層12と、ウェル領域14と、ソース領域16と、コンタクト領域18と、ゲート絶縁膜22と、ゲート電極24と、層間絶縁膜26,27と、ソース電極28と、ゲートパッド電極30と、ソースパッド電極32と、ソース配線層32aと、ドレイン電極33とを含む。
縦型MOSFET101は、さらに、ウェル領域14Aと、ソース領域16Aと、コンタクト領域18Aと、ゲート絶縁膜22Aと、ゲート電極24Aと、層間絶縁膜26Aと、ソース電極28Aとを含む。
この実施の形態では、ワイドバンドギャップ半導体として炭化珪素が採用される。炭化珪素基板10は、たとえばポリタイプ4Hを有する六方晶炭化珪素単結晶からなる。炭化珪素基板10の導電型はn型(第1の導電型)である。
炭化珪素基板10は、第1の主面10Aと、第2の主面10Bとを有する。第2の主面10Bは、第1の主面10Aと反対側に位置する。
ドリフト層12は、炭化珪素基板10の第1の主面10A上に配置される炭化珪素の層である。たとえばドリフト層12は、エピタキシャル成長によって炭化珪素基板10の第1の主面10A上に形成される。ドリフト層12の導電型は、n型である。ドリフト層12は、たとえば窒素などの不純物(ドナー)を含む。ドリフト層12の不純物濃度は、炭化珪素基板10の不純物濃度よりも低いことが好ましい。ドリフト層12および炭化珪素基板10は、縦型MOSFET101におけるドレイン領域を構成する。
ウェル領域14は、ドリフト層12の中に配置される。ウェル領域14の表面は、ドリフト層12の主面12Aと共通である。ウェル領域14の導電型は、p型(第2の導電型)であり、n型とは異なる。ウェル領域14は、たとえばアルミニウム、あるいはホウ素などの不純物(アクセプタ)を含む。たとえばウェル領域14の不純物(アクセプタ)濃度は、ドリフト層12の不純物(ドナー)濃度よりも高くてもよい。
ソース領域16は、ウェル領域14の中に配置される。ソース領域16の表面は、ウェル領域14の表面、およびドリフト層12の主面12Aと共通である。ソース領域16の導電型は、n型である。ソース領域16は、たとえばリンなどの不純物を含む。ソース領域16の不純物濃度は、ドリフト層12の不純物濃度よりも高い。
コンタクト領域18は、ウェル領域14の中に配置される。コンタクト領域18の表面は、ソース領域16の表面、ウェル領域14の表面、およびドリフト層12の主面12Aと共通である。コンタクト領域18の導電型は、p型である。コンタクト領域18は、ソース領域16に囲まれるとともに、ウェル領域14と電気的に接続されている。コンタクト領域18は、たとえばアルミニウム、あるいはホウ素などの不純物を含む。コンタクト領域18の不純物濃度は、ウェル領域14の不純物濃度よりも高い。
ゲート絶縁膜22は、ソース領域16とドリフト層12とに挟まれたウェル領域14の部分の表面を覆うように配置される。この表面は、ドリフト層12の主面12Aの一部でもある。
ゲート電極24は、ゲート絶縁膜22上に配置される。より特定的には、ゲート電極24は、ソース領域16とドリフト層12とに挟まれたウェル領域14の部分と対向するように配置される。
層間絶縁膜26は、ゲート電極24およびゲート絶縁膜22を覆うように配置される。層間絶縁膜26は、ゲート電極24とソース電極28とを電気的に絶縁する。さらに、層間絶縁膜26は、ゲート電極24とソース配線層32aとを電気的に絶縁する。層間絶縁膜26は、たとえば二酸化珪素(SiO2)からなる。層間絶縁膜26には、ソース配線層32aをソース電極28,28Aに接続するためのコンタクトホールが形成される。
ソース電極28は、ソース領域16およびコンタクト領域18に接する。ソース電極28は、ソース領域16およびコンタクト領域18に電気的に接続される。好ましくは、ソース電極28は、ソース領域16およびコンタクト領域18の両方とオーミック接合している。
ソース配線層32aは、層間絶縁膜26上に配置されるとともに、ソース電極28,28Aに電気的に接続される。層間絶縁膜27は、ソース配線層32aを覆うように配置される。層間絶縁膜27は、ソース配線層32aとゲートパッド電極30とを電気的に絶縁する。層間絶縁膜27は、たとえば二酸化珪素(SiO2)からなる。
層間絶縁膜27には、複数のコンタクトホールが形成される。複数のコンタクトホールは、ソースパッド電極32をソース配線層32aに接続するためのコンタクトホール、およびゲートパッド電極30をゲート電極24Aに接続するためのコンタクトホールを含む。
ソースパッド電極32は、たとえばアルミニウムからなる導電層である。ソースパッド電極32は、ソース配線層32aによってソース電極28,28Aと電気的に接続される。
ゲートパッド電極30は、たとえばアルミニウムからなる導電層である。ゲートパッド電極30は、ゲート電極24およびゲート電極24Aと電気的に接続される。
ゲートパッド電極30は、ドリフト層12の主面12A上に配置され、ゲート電極24と電気的に接続される。ゲートパッド電極30は、半導体装置100の平面視において、ウェル領域14Aに重なるように配置されている。「平面視」とは、半導体装置100の主面の法線方向に沿って半導体装置100を見ることを意味する。言い換えれば、ドリフト層12におけるゲートパッド電極30の下方の領域には、ウェル領域14Aが配置される。ドリフト層12、ウェル領域14A、ソース領域16A、コンタクト領域18A、ゲート絶縁膜22A、ゲート電極24A、ソース電極28Aおよびドレイン電極33は、縦型MOSFETのセルを構成する。すなわち、ゲートパッド電極30の下方には、縦型MOSFETのセルが形成される。この実施の形態では、平面視においてゲートパッド電極30の外側に配置された領域とゲートパッド電極30の下方の領域との各々において、縦型MOSFETのセルが形成される。これら縦型MOSFETのセルは互いに同じ構成を有している。
具体的には、ウェル領域14Aは、ドリフト層12におけるゲートパッド電極30の下方の部分に配置される。ウェル領域14Aの表面は、ドリフト層12の主面12Aと共通である。ウェル領域14Aの導電型は、p型である。
ソース領域16Aは、ウェル領域14Aの中に配置される。ソース領域16Aの表面は、ウェル領域14Aの表面、およびドリフト層12の主面12Aと共通である。ソース領域16Aの導電型は、n型である。
コンタクト領域18Aは、ウェル領域14Aの中に配置される。コンタクト領域18Aの表面は、ソース領域16Aの表面、ウェル領域14Aの表面、およびドリフト層12の主面12Aと共通である。コンタクト領域18Aの導電型は、p型である。コンタクト領域18Aは、ソース領域16Aに囲まれるとともに、ウェル領域14Aと電気的に接続されている。
ゲート絶縁膜22Aは、ソース領域16Aとドリフト層12とに挟まれたウェル領域14Aの部分を覆うように配置される。この表面は、ドリフト層12の主面12Aの一部である。ゲート電極24Aは、ゲート絶縁膜22A上に配置される。より特定的には、ゲート電極24Aは、ソース領域16Aとドリフト層12とに挟まれたウェル領域14Aの部分と対向するように配置される。
層間絶縁膜26は、ゲート電極24Aおよびゲート絶縁膜22Aを覆うように接するように配置される。層間絶縁膜26は、ゲート電極24Aとソース電極28Aとを電気的に絶縁する。さらに、層間絶縁膜26は、ゲート電極24Aとソース配線層32aとを電気的に絶縁する。
ソース配線層32aは、層間絶縁膜26上に配置されるとともに、層間絶縁膜26に形成されたコンタクトホールを通じてソース電極28Aに電気的に接続される。これにより、ソース電極28Aは、ソース配線層32aを介してソース電極28に電気的に接続される。
この実施の形態では、ゲートパッド電極30の下方の領域に縦型MOSFETセルが形成される。そのため、半導体チップのワイヤボンディング工程において、ゲートパッド電極30にワイヤを接続する際にゲートパッド電極30に衝撃が加わると、この衝撃がゲートパッド電極30の下方の縦型MOSFETのセルに伝わってしまう。ソース配線層32aとゲートパッド電極30との間に設けられる層間絶縁膜27は、縦型MOSFETのセルに伝わる衝撃を緩和する。この層間絶縁膜27の厚みを厚くすることで、ゲートパッド電極30からの衝撃を効果的に緩和することができる。
好ましくは、層間絶縁膜27は1μm程度の厚さを有する。このような層間絶縁膜27は、図3に示すように、複数の絶縁層を積層した多層構造とすることで容易に形成することができる。図3には、一例として、2つの絶縁層27a,27bを積層してなる層間絶縁膜27が示されている。絶縁層の数は2つに限定されず、3つ以上であってもよい。また、複数の絶縁層は、同じ材料の絶縁層であってもよいし、異なる材料の絶縁層であってもよい。たとえばCVD(化学気相成長)法を用いて同じ材料の絶縁層を複数回に分けて成膜することにより、層間絶縁膜27を厚くかつ均一に成膜することができる。あるいは、絶縁層27a,27bの一方を他方よりも相対的に表面平滑性が高い絶縁層とし、他方を一方よよりも相対的に硬度が高い絶縁層とすることにより、層間絶縁膜27全体の厚みを大きく増やすことなく、ゲートパッド電極30からの衝撃を緩和することができる。たとえば、絶縁層27aをCVD法により成膜された、SiO2、SiNまたはSiONからなる絶縁層とし、絶縁層27bをCVD法および熱処理によって成膜されたPSG(Phosphorus Silicon Glass)からなる絶縁層とする。これによれば、層間絶縁膜27を厚くかつ平坦に形成することができる。
図4は、本発明の実施の形態に係る半導体装置の比較例として、一般的に採用されている半導体装置110の構成例を示した断面図である。
図4を参照して、ゲートパッド電極30の下方の位置には、ウェル領域20が配置されている。ウェル領域20の導電型は、p型である。複数のウェル領域14のうち少なくとも1つがウェル領域20と繋がっている。したがって、ウェル領域20は、ウェル領域14と電気的に接続される。ウェル領域20の不純物濃度は、ウェル領域14の不純物濃度と実質的に同じであってもよいし、ウェル領域14の不純物濃度より高くてもよい。
半導体装置110の平面視において、ウェル領域20の内部にゲートパッド電極30が含まれるように、ウェル領域20とゲートパッド電極30とが配置される。
ここで、半導体材料をパワー半導体素子に適用する際の性能指数であるBaliga指数を、珪素と炭化珪素との間で比較した場合、珪素を1とすると、炭化珪素(ポリタイプ4Hを有する六方晶炭化珪素)は470と、珪素よりもはるかに高い値になることが知られている。なお、Baliga指数は、パワー半導体素子の耐圧をVBDとし、オン抵抗をRonとすると、VBD 2/Ronに比例しており、かつ、その値はパワー半導体素子のスケーリングに対して不変である。
上記の結果によれば、たとえば図4に示した縦型MOSFETを、炭化珪素および珪素のそれぞれを材料として作成した場合、耐圧VBDが同等であれば、炭化珪素からなる縦型MOSFETは、珪素からなる縦型MOSFETに比べて、理想的にはオン抵抗Ronを470分の1に小さくすることができる。言い換えれば、炭化珪素からなる縦型MOSFETは、珪素からなる縦型MOSFETと比較して、470分の1の面積で同じ電流を流すことができる。
したがって、炭化珪素を縦型MOSFETの材料に採用することで、素子領域を小型化することができるため、半導体チップの実装面積の低減に有効である。その反面、半導体チップの実装面積において、素子が形成されない領域(ゲートパッド電極30の下方の領域)の面積が占める割合が大きくなる。このため、ゲートパッド電極30の下方の領域は、炭化珪素半導体装置の小型化のボトルネックとなる。
この実施の形態によれば、図2に示されるように、ゲートパッド電極30の下方の領域に縦型MOSFETのセルが形成されるため、ゲートパッド電極30の下方の領域を有効に活用することができる。これにより、縦型MOSFETのセルの集積度を向上させることができる。この結果、ワイドギャップ半導体から構成された半導体装置100のさらなる小型化が実現される。
言い換えれば、この実施の形態は、ワイドバンドギャップ半導体から構成された半導体装置において顕著な効果を奏する。計算では、1辺の長さが2mm以下の半導体チップにおいて、この実施の形態に係る構成が特に有効となることが確認されている。
また、炭化珪素を材料とする半導体装置においては、炭化珪素基板が珪素基板よりも高価であるため、珪素を材料とする半導体装置に比べてチップコストが高くなる傾向がある。この実施の形態によれば、半導体チップを小型化できるため、チップコストの低減が可能となる。
さらに、炭化珪素基板が結晶欠陥を含んでいる場合であっても、チップサイズが小さくなることにより、1つの半導体チップ内に存在する結晶欠陥を減らすことができる。この結果、半導体チップの製造歩留まりが改善されるため、チップコストの低減に有効となる。
<他の構成例>
上記の実施の形態では、縦型MOSFET101は、プレーナゲート型MOSFETである。しかしながら、縦型MOSFET101は、プレーナゲート型に限定されず、たとえばトレンチゲート型であってもよい。トレンチゲート型のMOSFETのセルにより、縦型MOSFETのセルの集積度をさらに高めることができる。
上記の実施の形態では、縦型MOSFET101は、プレーナゲート型MOSFETである。しかしながら、縦型MOSFET101は、プレーナゲート型に限定されず、たとえばトレンチゲート型であってもよい。トレンチゲート型のMOSFETのセルにより、縦型MOSFETのセルの集積度をさらに高めることができる。
図5は、トレンチゲート型の縦型MOSFET101の構造の一例を示した断面図である。図5を参照して、ドリフト層12には、トレンチTR1,TR2が形成される。
トレンチTR1,TR2の各々は、側壁部SWと、側壁部SWに繋がる底部BTとを含む。トレンチTR1の側壁部SWおよび底部BTを覆うようにゲート絶縁膜22が配置される。トレンチTR1は、ドリフト層12の主面12Aから、ソース領域16およびウェル領域14を貫通してドリフト層12の内部に達するように形成される。したがって、側壁部SWは、ソース領域16およびドリフト層12に挟まれたウェル領域14の部分の表面を含む。ゲート電極24は、トレンチTR1に充填されるように配置される。したがって、ゲート電極24は、ゲート絶縁膜22を介して、側壁部SWおよび底部BTに対向する。
トレンチTR2は、トレンチTR1と同じ構成を有する。詳細には、トレンチTR2は、ドリフト層12の主面12Aから、ソース領域16Aおよびウェル領域14Aを貫通してドリフト層12の内部に達するように形成される。トレンチTR2の側壁部SWおよび底部BTを覆うようにゲート絶縁膜22Aが配置される。ゲート電極24Aは、トレンチTR2に充填されるように配置される。
好ましくは、トレンチTR1,TR2の各々において、側壁部SWは、面方位{0−33−8}を有する第1の面を含んでもよい。これにより、側壁部SWにおけるチャネル抵抗を低減することができる。側壁部SWは、上記第1の面を微視的に含み、さらに面方位{0−11−1}を有する第2の面を微視的に含んでもよい。これにより、側壁部SWにおけるチャネル抵抗を、より低減することができる。したがって、炭化珪素からなる縦型MOSFET101のオン抵抗をより低減することができる。
さらに、上記の実施の形態においては、図6に示すように、図2に示された構造に、ウェル領域14Aに電気的に接続されたJTE領域37をさらに追加してもよい。JTE領域37は、p型の領域である。JTE領域37は、複数のウェル領域14Aの少なくとも1つに繋がっている。JTE領域37は、平面視においてゲートパッド電極30の外側に位置する。なお、JTE領域37とウェル領域14Aとは異なる領域であると限定されるものではない。ウェル領域14Aの一部をJTE領域37として機能させてもよい。すなわち、ウェル領域14Aは、平面視においてゲートパッド電極30の外側に配置された(ゲートパッド電極30からはみ出た)部分を有していてもよい。
さらに、本発明の実施の形態では、ワイドバンドギャップ半導体として、炭化珪素が採用される。しかしながら、ワイドバンドギャップ半導体は、炭化珪素に限定されるものではない。他のワイドバンドギャップ半導体として、たとえば窒化ガリウム、ダイヤモンドなどが挙げられる。
さらに、上記の実施の形態では、「第1の導電型」はn型であり、「第2の導電型」はp型である。しかし、逆に、「第1の導電型」はp型であり、「第2の導電型」はn型であってもよい。
今回開示された実施の形態は例示であって、上記内容のみに制限されるものではない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
10 炭化珪素基板、10A 第1の主面、10B 第2の主面、12 ドリフト層、12A 主面、14,14A,20 ウェル領域、16,16A ソース領域、18,18A コンタクト領域、22,22A ゲート絶縁膜、24,24A ゲート電極、26,27 層間絶縁膜、27a,27b 絶縁層、28,28A ソース電極、30 ゲートパッド電極、32 ソースパッド電極、32a ソース配線層、33 ドレイン電極、34 ガードリング領域、36 フィールドストップ領域、37 JTE領域、100,110 半導体装置、101 縦型MOSFET、BT 底部、SW 側壁部、TR1,TR2 トレンチ。
Claims (5)
- 第1の導電型を有するワイドバンドギャップ半導体により構成されて、第1の主面と、前記第1の主面に対して反対側に位置する第2の主面とを有する、半導体基板と、
前記第1の導電型を有し、前記半導体基板の前記第1の主面上に配置されるドリフト層と、
前記ドリフト層に配置されて、前記第1の導電型とは異なる第2の導電型を有する第1のウェル領域と、
前記第1のウェル領域に配置されて、前記第1の導電型を有する第1のソース領域と、
前記第1のソース領域と前記ドリフト層とに挟まれた前記第1のウェル領域の部分の表面に配置された第1のゲート絶縁膜と、
前記第1のゲート絶縁膜上に配置された第1のゲート電極と、
前記第1のソース領域に電気的に接続された第1のソース電極と、
前記半導体基板の前記第2の主面上に配置されて、前記半導体基板に電気的に接続されたドレイン電極と、
前記ドリフト層における前記半導体基板側の主面とは反対側の主面上に、前記半導体装置の平面視において前記第1のウェル領域に重なるように配置されて、前記第1のゲート電極と電気的に接続されたゲートパッド電極とを備える、半導体装置。 - 前記第1のゲート絶縁膜および前記第1のゲート電極を覆うように配置されて、前記第1のソース電極を露出させるための第1のコンタクトホールが形成された第1の層間絶縁膜と、
前記第1の層間絶縁膜上に配置されて、前記第1のコンタクトホールを通じて前記第1のソース電極に電気的に接続されたソース配線層と、
前記ソース配線層を覆うように配置されて、前記ゲートパッド電極と前記第1のゲート電極とを電気的に接続させるための第2のコンタクトホールが形成された第2の層間絶縁膜とをさらに備える、請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第2の層間絶縁膜は、複数の絶縁層を積層した多層構造を有する、請求項2に記載の半導体装置。
- 前記ドリフト層には、側壁部および底部を含むトレンチが形成され、
前記トレンチにおいて、前記側壁部は、前記ドリフト層の主面から、前記第1のソース領域および前記第1のウェル領域を貫通して前記ドリフト層に至っており、前記底部は、前記側壁部と接し、かつ前記ドリフト層に位置しており、
前記第1のゲート絶縁膜は、前記トレンチの前記側壁部および前記底部を覆うように配置される、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記ドリフト層における、前記半導体装置の平面視において前記ゲートパッド電極の外側の領域に配置されて、前記第2の導電型を有する第2のウェル領域と、
前記第2のウェル領域に配置されて、前記第1の導電型を有する第2のソース領域と、
前記第2のソース領域と前記ドリフト層とに挟まれた前記第2のウェル領域の部分の表面に配置された第2のゲート絶縁膜と、
前記第2のゲート絶縁膜上に配置され、前記ゲートパッド電極に電気的に接続された第2のゲート電極と、
前記第2のソース領域に電気的に接続されるとともに、前記第1のソース電極に電気的に接続された第2のソース電極とをさらに備える、請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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---|---|
JP2015159234A true JP2015159234A (ja) | 2015-09-03 |
Family
ID=54183021
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014034076A Pending JP2015159234A (ja) | 2014-02-25 | 2014-02-25 | 半導体装置 |
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-
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