JP2015158013A - 基板をコーティングするための方法およびコータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板をコーティングするためのコータであって、回転湾曲ターゲット20を有するカソード組立体10と、カソード組立体10の回転湾曲ターゲット20内に配置される2つの磁石組立体25と、を備え、コーティングプロセスの間、前記2つの磁石組立体25の間の距離を変えることができる、コータ。
【選択図】図1
Description
Claims (15)
- 基板をコーティングするためのコータであって、
回転湾曲ターゲット(25)を有するカソード組立体(10)と、
前記カソード組立体の前記回転湾曲ターゲット内に配置される2つの磁石組立体(25)と、を備え、
コーティングプロセスの間、前記2つの磁石組立体の間の距離を変えることができる、コータ。 - 前記2つの磁石組立体が第1の磁石組立体および第2の磁石組立体であり、前記回転湾曲ターゲットが前記回転湾曲ターゲットの回転中心を形成する軸(21)を有し、前記基板(100)から前記回転湾曲ターゲットの前記軸に垂直に延びる平面(22)が前記回転湾曲ターゲット内でゼロ角位置を規定する、請求項1に記載のコータ。
- コーティングプロセスの間、前記2つの磁石組立体の間の角度を変えることにより、前記2つの磁石組立体の間の距離を変えることができる、請求項2に記載のコータ。
- 前記第1の磁石組立体が、前記平面に対して非対称に位置合わせされ、前記ゼロ角位置に対して15°と45°の間の絶対値で角度を形成し、前記第2の磁石組立体が、前記平面に対して非対称に位置合わせされ、前記ゼロ角位置に対して15°と45°の間の絶対値で角度を形成する、請求項2または3に記載のコータ。
- 前記第1の磁石組立体および前記第2の磁石組立体が、前記平面の反対側にある、請求項2から4のいずれか一項に記載のコータ。
- 前記ゼロ角位置に対する前記第1の磁石組立体の前記角度の前記絶対値と、前記ゼロ角位置に対する前記第2の磁石組立体の前記角度の前記絶対値とが同一である、請求項2から5のいずれか一項に記載のコータ。
- 前記2つの磁石組立体の間の角度が、30°と90°の間である、請求項1から6のいずれか一項に記載のコータ。
- 前記2つの磁石組立体の間の角度が、45°と75°の間である、請求項1から6のいずれか一項に記載のコータ。
- 前記2つの磁石組立体の間の角度が、55°と65°の間である、請求項1から6のいずれか一項に記載のコータ。
- 前記コーティングプロセス中の1つの段階で、前記2つの磁石組立体の間の角度を15°と45°の間の値に設定することができ、前記コーティングプロセス中の第2の段階で、前記2つの磁石組立体の間の前記角度を変えて、35°と90°の間の値に設定することができる、請求項1から9のいずれか一項に記載のコータ。
- 前記2つの磁石組立体が、前記回転湾曲ターゲットの内周に沿って移動可能である、請求項1から10のいずれか一項に記載のコータ。
- 前記回転湾曲ターゲットが、円筒の形状を有する、請求項1から11のいずれか一項に記載のコータ。
- 2から20のカソード組立体を含む、請求項1から12のいずれか一項に記載のコータ。
- コーティングプロセス中で基板をコーティングするため、請求項1から13のいずれか一項に記載のコータを操作する方法であって、前記方法が、
前記コーティングプロセス中に所定の第1の時間間隔の間、15°と45°の間の値に前記2つの磁石組立体の間の角度を設定することと、
前記2つの磁石組立体の間の角度を変え、前記コーティングプロセス中に所定の第2の時間間隔の間、35°と90°の間の値に前記2つの磁石組立体の間の角度を設定することと、を含む方法。 - 前記所定の第1の時間間隔の間、前記回転湾曲ターゲットに第1の電圧を印加することと、
前記所定の第2の時間間隔の間、前記回転湾曲ターゲットに第2の電圧を印加することと、を含み、
前記第2の電圧が前記第1の電圧より大きい、請求項14に記載の方法。
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