JP2015155359A - オゾンガス処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】結露が生じることによってオゾン分解触媒のオゾン分解能力が低下することを防止することができるオゾンガス処理装置を提供することを課題とする。【解決手段】オゾンガスをオゾン分解触媒３で酸素に分解して排気する、オゾンガス処理装置１であって、オゾンガスを加温するヒータ５を備え、オゾンガスをヒータ５によって加温してオゾン分解触媒３に流通させるものとし、好ましくは、ヒータ５は、オゾン分解触媒３を加温することができるように構成されるものとする。【選択図】図２

Description

本発明は、オゾンガスをオゾン分解触媒で酸素に分解して排気するオゾンガス処理装置の技術に関する。

従来、排気ファンとオゾン分解触媒とを備え、所定の空間内のオゾン（Ｏ３）ガスを酸素に分解して排気する、オゾンガス処理装置に関する技術は、公知となっている（特許文献１参照）。

前記オゾンガス処理装置は、例えば、オゾン水生成装置に設けられる。
前記オゾンガス処理装置では、オゾンガスを酸素に分解して排気する動作として、まず、排気ファンを作動させることによってオゾン水生成装置の容器内を負圧にする。そして、前記オゾンガス処理装置では、このようにオゾン水生成装置の容器内を負圧にすることによって容器内のオゾンガスを排気ファンで吸引し、オゾン分解触媒でオゾンガスを酸素に分解してオゾン水生成装置の容器外に排気する。

特開平６−９８９２９号公報

しかしながら、前記オゾンガス処理装置では、オゾンガスがオゾン分解触媒を流通したときに、オゾン分解触媒に結露が生じる場合がある。
前記オゾンガス処理装置では、このようにオゾン分解触媒に結露が生じると、オゾン分解触媒のオゾン分解能力が低下して、所望の濃度にオゾンガスを分解することができない場合がある。

本発明は以上の如き状況に鑑みてなされたものであり、結露が生じることによってオゾン分解触媒のオゾン分解能力が低下することを防止することができるオゾンガス処理装置を提供することを課題とする。

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。

即ち、請求項１においては、オゾンガスをオゾン分解触媒で酸素に分解して排気する、オゾンガス処理装置であって、前記オゾンガスを加温するヒータを備え、前記オゾンガスを、前記ヒータによって加温して前記オゾン分解触媒に流通させるものである。

請求項２においては、前記ヒータは、前記オゾン分解触媒を加温することができるように構成されるものである。

請求項３においては、前記オゾンガスの水分を減少させる、ミストセパレータを備え、前記ミストセパレータによって前記オゾンガスの水分を減少させて、前記オゾンガスを前記オゾン分解触媒に流通させるものである。

請求項４においては、ケースを備え、前記ケース内に前記オゾン分解触媒が配置されて構成され、前記ケースは、シート部材を備え、前記シート部材は、前記ケースにおける上流側の開口の縁部に沿って配置され、前記オゾンガスが吸引されると、前記オゾン分解触媒に張り付くように構成されるものである。

請求項５においては、流通管を備え、下方から上方に前記流通管を流通した前記オゾンガスが、前記オゾン分解触媒を流通するように構成されるものである。

請求項６においては、前記ヒータは、前記オゾン分解触媒の周囲に配置される周囲ヒータと、前記オゾン分解触媒の内側に配置される内部側ヒータと、を備えるものである。

請求項７においては、前記オゾン分解触媒は、ペレット状に構成されるオゾン分解触媒を備え、前記ペレット状に構成されるオゾン分解触媒は、複数段に重なり合って敷詰められるように配置されるものである。

請求項８においては、前記オゾン分解触媒は、ハニカム状に構成されるオゾン分解触媒と、ペレット状に構成されるオゾン分解触媒と、を備え、前記ペレット状に構成されるオゾン分解触媒は、前記ハニカム状に構成されるオゾン分解触媒の周囲において複数段に重なり合って敷詰められるように配置されるものである。

本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
即ち、本発明によれば、結露が生じることによってオゾン分解触媒のオゾン分解能力が低下することを防止することができる。

本発明の実施形態に係るオゾンガス処理装置と、オゾン水生成装置と、を示す模式図。 同じくオゾンガス処理装置を示す正面模式図。 同じくオゾンガス処理装置を示す正面模式図。 同じくオゾンガス処理装置を示す正面模式図。 同じくオゾンガス処理装置を示す正面模式図。 同じくオゾンガス処理装置を示す正面模式図。 同じくオゾンガス処理装置を示す底面模式図。 同じくオゾンガス処理装置を示す正面模式図。 同じくオゾンガス処理装置を示す底面模式図。 同じくオゾンガス処理装置を示す正面模式図。 同じくオゾンガス処理装置を示す正面模式図。

次に、図１から図２を用いて、本発明の第一実施形態に係るオゾンガス処理装置１について説明する。なお、以下において、図中に示す矢印は、オゾンガスまたはオゾンガスから分解された酸素の流通方向を示す。

オゾンガス処理装置１は、所定の空間内のオゾン（Ｏ３）ガスを酸素に分解して排気するように構成される。
図１に示すように、オゾンガス処理装置１は、例えば、オゾン水生成装置１１に設けられる。以下において、オゾンガス処理装置１は、オゾン水生成装置１１に設けられるものとして説明する。

オゾン水生成装置１１について説明する。
オゾン水生成装置１１は、オゾンガスを容器１２内に供給して、容器１２内の原水またはオゾン水にオゾンガスを溶解させてオゾン水を生成するように構成される。
ここで、オゾン水とは、水にオゾンが溶解されてなるものである。
オゾン水生成装置１１は、容器１２と、オゾンガス発生装置１３と、供給管１４と、供給器１５と、を具備して構成される。

オゾン水生成装置１１の容器１２は、原水またはオゾン水が溜められるように構成される。容器１２は、例えば４００Ｌの原水またはオゾン水が溜められるように構成される。
容器１２は、槽部材１６と、蓋部材１７と、を備えて構成される。
容器１２の槽部材１６は、開口部１８を有し、原水またはオゾン水が溜められるように構成される。
容器１２の蓋部材１７は、槽部材１６の開口部１８に蓋をするように構成される。
容器１２は、例えば４００Ｌの原水またはオゾン水が槽部材１６に溜められた状態で、その液面と蓋部材１７との間に所定の空間（容器１２内に原水またはオゾン水が溜められていない空間）が形成されるように構成される。

オゾン水生成装置１１のオゾンガス発生装置１３は、濃縮酸素を原料としてオゾンガスを発生するように構成される。
オゾン水生成装置１１の供給管１４は、その一端にオゾンガス発生装置１３が接続され、その他端に供給器１５が接続されて構成される。
オゾン水生成装置１１の供給器１５は、容器１２（容器１２の槽部材１６内の原水またはオゾン水）内に配置され、オゾンガス発生装置１３において発生させて供給管１４を介して供給されるオゾンガスを容器１２（容器１２の槽部材１６内の原水またはオゾン水）内においてバブル状にして供給するように構成される。
そして、オゾン水生成装置１１は、オゾンガス発生装置１３において発生させたオゾンガスを供給管１４および供給器１５を介して容器１２内に供給して、容器１２内の原水またはオゾン水に当該オゾンガスを溶解させてオゾン水を生成する（容器１２内のオゾン水のオゾン濃度を上昇させる）ように構成される。

図２に示すように、オゾンガス処理装置１は、オゾン水生成装置１１の容器１２の蓋部材１７（容器１２の上部）から上方に突出して配置される。
オゾンガス処理装置１は、ケース２と、オゾン分解触媒３と、排気ファン４と、ヒータ５と、を備える。オゾンガス処理装置１は、ケース２内に、オゾン分解触媒３、排気ファン４、および、ヒータ５が配置されて構成される。
ケース２は、上方および下方が開口する箱状に構成される。
排気ファン４は、オゾンガスを、ケース２の下方の開口（上流側）から吸引して上方の開口（下流側）から排気するように構成される。
オゾン分解触媒３は、二酸化マンガンを主とする成分でものであり、オゾンガスをオゾン分解触媒３で酸素に分解するように構成される。オゾン分解触媒３は、ハニカム状に構成される。オゾン分解触媒３は、排気ファン４の下方に配置される。

オゾンガス処理装置１のヒータ５は、コードヒータまたはシースヒータであり、オゾンガスがオゾン分解触媒３を流通したときにオゾン分解触媒３内において結露が生じないように、オゾンガス（オゾンガスの気流）を加温（室内＋４０℃）する。ヒータ５は、例えば、７０℃でオゾンガスを加温する。
ヒータ５は、上流側ヒータ５１と、周囲ヒータ５２と、を備えて構成される。

オゾンガス処理装置１の上流側ヒータ５１は、オゾン分解触媒３の上流側においてオゾンガスを加温する。
上流側ヒータ５１は、オゾン分解触媒３の上流側（オゾンガスの気流の流通方向における上流側）に配置される。上流側ヒータ５１は、オゾン分解触媒３の下方に配置される。

オゾンガス処理装置１の周囲ヒータ５２は、オゾン分解触媒３を流通するオゾンガス（オゾン分解触媒３の内部）を加温する。
周囲ヒータ５２は、オゾン分解触媒３に巻付けられるようにして、オゾン分解触媒３の周囲に配置される。

オゾンガス処理装置１は、排気ファン４を作動させることによってオゾン水生成装置１１の容器１２内（容器１２に溜められたオゾン水の液面と蓋部材１７との間に所定の空間）を負圧にする。
オゾンガス処理装置１は、このようにオゾン水生成装置１１の容器１２内を負圧にすることによって、容器１２内のオゾンガス（容器１２内における原水またはオゾン水に溶解されない前記所定の空間に存在するオゾンガス）を排気ファン４で吸引する。
このとき、オゾンガス処理装置１は、オゾンガスを、ヒータ５（上流側ヒータ５１および周囲ヒータ５２）によって加温してオゾン分解触媒３に流通させる。そして、オゾンガス処理装置１は、前記オゾンガスをオゾン分解触媒３で酸素に分解してオゾン水生成装置１１の容器１２外に排気する。

以上のように、オゾンガスを、ヒータ５によって加温してオゾン分解触媒３に流通させる、オゾンガス処理装置１では、オゾンガスを加温することによって、オゾンガスがオゾン分解触媒３を流通したときに、オゾン分解触媒３に結露が生じることを防止することができる。
したがって、オゾンガス処理装置１によれば、結露が生じることによってオゾン分解触媒３のオゾン分解能力が低下することを防止することができる。

オゾンガス処理装置１のヒータ５（上流側ヒータ５１および／または周囲ヒータ５２）は、オゾン分解触媒３を加温する。
ヒータ５は、オゾン分解触媒３を８０℃〜３００℃で加温することができるように構成される。

以上のように、ヒータ５がオゾン分解触媒３を加温することができる、オゾンガス処理装置１では、例えば、排気ファン４を停止した状態で、ヒータ５によってオゾン分解触媒３を加温して、オゾン分解触媒３の汚れを取ることができる。
したがって、オゾンガス処理装置１によれば、ヒータ５で加温してオゾン分解触媒３の汚れを取ることによって、オゾン分解触媒３の低下したオゾン分解能力を回復することができる。

次に、本発明の第二実施形態に係るオゾンガス処理装置１について、図３を用いて説明する。
なお、第二実施形態に係るオゾンガス処理装置１の説明では、第一実施形態に係るオゾンガス処理装置１と同様の構成の部分については適宜省略し、第一実施形態に係るオゾンガス処理装置１の構成と異なる部分を中心に説明する。

図３に示すように、オゾンガス処理装置１は、ケース２と、オゾン分解触媒３と、排気ファン４と、ヒータ５と、ミストセパレータ６（水分除去装置）と、を備える。オゾンガス処理装置１は、ケース２内に、オゾン分解触媒３、排気ファン４、ヒータ５、および、ミストセパレータ６が配置されて構成される。
ヒータ５は、上流側ヒータ５１と、周囲ヒータ５２と、を備えて構成される。
ミストセパレータ６は、ヒータ５の上流側（下方）に配置される。ミストセパレータ６は、オゾン分解触媒３およびヒータ５の上流側においてオゾンガスの水分を減少させる。
オゾンガス処理装置１は、ミストセパレータ６によってオゾンガスの水分を減少させて、オゾンガスをオゾン分解触媒３に流通させる。

以上のように、ミストセパレータ６によってオゾンガスの水分を減少させて、オゾンガスをオゾン分解触媒３に流通させる、オゾンガス処理装置１では、オゾンガスの水分を減少させることによって、オゾンガスがオゾン分解触媒３を流通したときに、オゾン分解触媒３に結露が生じることを防止することができる。
したがって、オゾンガス処理装置１によれば、結露が生じることによってオゾン分解触媒３のオゾン分解能力が低下することを防止することができる。

次に、本発明の第三実施形態に係るオゾンガス処理装置１について、図４から図５を用いて説明する。
なお、第三実施形態に係るオゾンガス処理装置１の説明では、第一実施形態または第二実施形態に係るオゾンガス処理装置１と同様の構成の部分については適宜省略し、第一実施形態または第二実施形態に係るオゾンガス処理装置１の構成と異なる部分を中心に説明する。

図４または図５に示すように、オゾンガス処理装置１は、ケース２と、オゾン分解触媒３と、排気ファン４と、ヒータ５と、を備える。オゾンガス処理装置１は、ケース２内に、オゾン分解触媒３、排気ファン４、および、ヒータ５、が配置されて構成される。
ヒータ５は、周囲ヒータ５２を備えて構成される。

オゾンガス処理装置１のケース２は、シート部材２１を備える。
ケース２のシート部材２１は、シート状の部材である。ケース２のシート部材２１は、樹脂素材で構成され、可塑性を有する。
ケース２のシート部材２１は、ケース２における下方の開口（上流側の開口）の縁部に沿って配置される。ケース２のシート部材２１は、ケース２の下方の開口の縁部からケース２の内側（ケース２の軸心側）に突出するように配置される。ケース２のシート部材２１は、その上面（上面の一部）がオゾン分解触媒３の下面（下面縁部）に当接するように配置される。ケース２のシート部材２１は、その突出側端部（内側端部）が、オゾン分解触媒３の外側端部よりもケース２の内側に位置するように配置される。
ケース２のシート部材２１は、排気ファン４が作動してオゾンガスがケース２内に吸引されると、変形してオゾン分解触媒３の下面に張り付くように構成される（図５参照）。

以上のように、ケース２のシート部材２１は、ケース２における下方の開口（上流側の開口）の縁部に沿って配置され、オゾンガスがケース２内に吸引されると、オゾン分解触媒３（オゾン分解触媒３の下面）に張り付くように構成される、オゾンガス処理装置１では、オゾンガスがケース２内に吸引されたときに、ケース２のシート部材２１がオゾン分解触媒３に張り付くことによって、ケース２とオゾン分解触媒３との間の気密性を確保することができる。
したがって、オゾンガス処理装置１によれば、ケース２とオゾン分解触媒３との間を、接着（例えば、シリコン樹脂で接着）しているものに比べて、ケース２とオゾン分解触媒３との間の気密性を確保しつつ、ケース２とオゾン分解触媒３との分解作業を容易に行うことができる。

次に、本発明の第四実施形態に係るオゾンガス処理装置１について、図６から図７を用いて説明する。
なお、第四実施形態に係るオゾンガス処理装置１の説明では、第一実施形態、第二実施形態、乃至、第三実施形態に係るオゾンガス処理装置１と同様の構成の部分については適宜省略し、第一実施形態、第二実施形態、乃至、第三実施形態に係るオゾンガス処理装置１の構成と異なる部分を中心に説明する。

図６または図７に示すように、オゾンガス処理装置１は、ケース２と、オゾン分解触媒３と、排気ファン４と、ヒータ５と、複数個（１２個）の流通管７と、を備える。オゾンガス処理装置１は、ケース２内に、オゾン分解触媒３、排気ファン４、ヒータ５、および、流通管７、が配置されて構成される。
オゾンガス処理装置１は、下方から上方に流通管７を流通したオゾンガスが、オゾン分解触媒３を流通するように構成される。

オゾンガス処理装置１のヒータ５は、上流側ヒータ５１と、周囲ヒータ５２と、を備えて構成される。
上流側ヒータ５１は、オゾン分解触媒３の上方に配置される。

オゾンガス処理装置１のケース２は、内ケース２２と外ケース２３とを備え、内ケース２２と外ケース２３とで、二重構造となるように構成される。
オゾンガス処理装置１は、内ケース２２内に、オゾン分解触媒３、および、ヒータ５が配置されて構成される。オゾンガス処理装置１は、外ケース２３内に、内ケース２２、および、排気ファン４が配置されて構成される。排気ファン４は、内ケース２２の上方に配置される。

オゾンガス処理装置１の内ケース２２は、底部の中央部に開口を有する箱状に構成される。内ケース２２は、外ケース２３内に配置可能なように外ケース２３よりも小型に構成される。
内ケース２２は、その底部の開口の周りに、流通管７が嵌装可能な複数個の貫通孔を有する。内ケース２２は、流通管７と同数の貫通孔を有する。
外ケース２３は、上方が開口する箱状に構成される。外ケース２３は、底部に流通管７が嵌装可能な複数個の貫通孔を有する。外ケース２３は、流通管７と同数の貫通孔を有する。

オゾンガス処理装置１の内ケース２２と外ケース２３とは、内ケース２２の外面（内ケース２２の側部および底部）と外ケース２３の内面（外ケース２３の側部および底部）との間に、所定の空間が形成されるように配置される。内ケース２２と外ケース２３とは、外ケース２３の側部と内ケース２２の側部、および、外ケース２３底部と内ケース２２の底部、にそれぞれ所定の空間が形成されるように配置される。
前記所定の空間は、オゾンガスの流路として構成される。

オゾンガス処理装置１の流通管７は、筒状に構成される。
流通管７は、その下部が内ケース２２の貫通孔と外ケース２３貫通孔に嵌装されて、構成される。流通管７は、その下方の開口（上流側の開口）が外ケース２３の外側に突出するように配置される。流通管７は、その上方の開口（下流側の開口）が内ケース２２の天部の近傍に位置するとともに、オゾン分解触媒３の上端よりも上方に位置するように配置される。

オゾンガス処理装置１では、オゾンガス処理装置１の排気ファン４が動作すると、オゾンガスが、流通管７の下方の開口から流通管７内に流入して、流通管７の上方の開口から流出し、内ケース２２内に流入する。
そして、オゾンガス処理装置１では、内ケース２２内に流入したオゾンガスは、上方から下方にオゾン分解触媒３を流通して、内ケース２２の底部の開口から内ケース２２の外側に流出する。
さらに、オゾンガス処理装置１では、内ケース２２の外側に流出したオゾンガスは、内ケース２２の外面と外ケース２３の内面との間の所定の空間を下方から上方に流通して、外ケース２３の上方の開口から排気される。

以上のように、下方から上方に流通管７を流通したオゾンガスが、オゾン分解触媒３を流通するように構成される、オゾンガス処理装置１では、下方から上方に流通管７を流通することによって、比較的粒径の大きい水蒸気が、流通管７内においてオゾンガスから脱落して、流通管７の上方の開口から流出することを防止することができる。
したがって、オゾンガス処理装置１によれば、オゾンガスがオゾン分解触媒３を流通したときに、オゾン分解触媒３に結露が生じることをより確実に防止することができる。

また以上のように、ケース２が、内ケース２２と外ケース２３とで二重構造となるように構成され、ヒータ５が、内ケース２２内に配置される、オゾンガス処理装置１では、内ケース２２と外ケース２３とで二重構造となり、ヒータ５が内ケース２２内に配置されることから、ヒータ５の熱によって外ケース２３の温度が上昇することを抑制することができる。

次に、本発明の第五実施形態に係るオゾンガス処理装置１について、図８から図９を用いて説明する。
なお、第五実施形態に係るオゾンガス処理装置１の説明では、第一実施形態、第二実施形態、第三実施形態、乃至、第四実施形態に係るオゾンガス処理装置１と同様の構成の部分については適宜省略し、第一実施形態、第二実施形態、第三実施形態、乃至、第四実施形態に係るオゾンガス処理装置１の構成と異なる部分を中心に説明する。

図８または図９に示すように、オゾンガス処理装置１は、ケース２と、オゾン分解触媒３と、排気ファン４と、ヒータ５と、を備える。オゾンガス処理装置１は、ケース２内に、オゾン分解触媒３、排気ファン４、および、ヒータ５、が配置されて構成される。
オゾンガス処理装置１は、下方から上方にケース２内に流入したオゾンガスが、上方から下方にオゾン分解触媒３を流通するように構成される。

オゾンガス処理装置１のケース２は、内ケース２２と外ケース２３とを備え、内ケース２２と外ケース２３とで、二重構造となるように構成される。
オゾンガス処理装置１は、内ケース２２内に、オゾン分解触媒３、および、ヒータ５が配置されて構成される。オゾンガス処理装置１は、外ケース２３内に、内ケース２２、および、排気ファン４が配置されて構成される。排気ファン４は、内ケース２２の上方に配置される。

オゾンガス処理装置１の内ケース２２は、下方が開口する箱状に構成される。内ケース２２は、外ケース２３内に配置可能なように外ケース２３よりも小型に構成される。
外ケース２３は、上方が開口するとともに、底部の中央部に開口を有する箱状に構成される。外ケース２３は、突出部２４を有する。外ケース２３の突出部２４は、円筒状に構成される。外ケース２３の突出部２４は、外ケース２３の底部の開口から上方に突出して構成される。外ケース２３の突出部２４は、突出部２４の突出側端部が内ケース２２の天部の近傍に位置するように構成される。

オゾンガス処理装置１の内ケース２２と外ケース２３とは、内ケース２２の外面（内ケース２２の側部および底部）と外ケース２３の内面（外ケース２３の側部および底部）との間に、所定の空間が形成されるように配置される。内ケース２２と外ケース２３とは、外ケース２３の側部と内ケース２２の側部、および、外ケース２３底部と内ケース２２の底部、にそれぞれ所定の空間が形成されるように配置される。
前記所定の空間は、オゾンガスの流路として構成される。

オゾンガス処理装置１のオゾン分解触媒３は、円管状に構成される。オゾン分解触媒３は、円筒状の形成されるものの軸心に沿って円筒状にくり抜いたような形状に構成される。オゾン分解触媒３の円筒状にくり抜いたような部分は、オゾン分解触媒３のくり抜部３１として構成される。オゾン分解触媒３のくり抜部３１は、外ケース２３の突出部２４が貫装されるように構成される。
オゾン分解触媒３は、内ケース２２内に配置される。オゾン分解触媒３は、オゾン分解触媒３の上端部が内ケース２２の天部の近傍に位置するように配置される。

オゾンガス処理装置１のヒータ５は、上流側ヒータ５１と、周囲ヒータ５２と、内部側ヒータ５３と、を備えて構成される。
上流側ヒータ５１は、オゾン分解触媒３の上方に配置される。
内部側ヒータ５３は、オゾン分解触媒３の上流側を加温するとともに、オゾン分解触媒３を内部から加温してオゾン分解触媒３を流通するオゾンガスを加温する。内部側ヒータ５３は、オゾン分解触媒３の上流側（オゾンガスの気流の流通方向における上流側）に配置される。内部側ヒータ５３は、外ケース２３の突出部２４内に突出部２４の軸心に沿うように配置される。内部側ヒータ５３は、オゾン分解触媒３の内側（オゾン分解触媒３のくり抜部３１の内側）に配置される。

オゾンガス処理装置１では、オゾンガス処理装置１の排気ファン４が動作すると、オゾンガスが、外ケース２３の底部の開口から突出部２４内に流入して、突出部２４の上方の開口から流出し、内ケース２２内に流入する。
そして、オゾンガス処理装置１では、内ケース２２内に流入したオゾンガスは、上方から下方にオゾン分解触媒３を流通して、内ケース２２の底部の開口から内ケース２２の外側に流出する。
さらに、オゾンガス処理装置１では、内ケース２２の外側に流出したオゾンガスは、内ケース２２の外面と外ケース２３の内面との間の所定の空間を下方から上方に流通して、外ケース２３の上方の開口から排気される。

以上のように、ヒータ５は、オゾン分解触媒３の周囲に配置される周囲ヒータ５２と、オゾン分解触媒３の内側に配置される内部側ヒータ５３と、を備える、オゾンガス処理装置１では、オゾン分解触媒３の外側からオゾンガスを加温することに加えて、内部側ヒータ５３によってオゾン分解触媒３の内側からオゾンガスを加温して、オゾン分解触媒３の加温ムラを抑制する。
したがって、オゾンガス処理装置１によれば、オゾン分解触媒３の周囲にのみヒータ５が配置されるものに比べて、オゾンガスがオゾン分解触媒３を流通したときにオゾン分解触媒３に結露が生じることをより確実に防止することができる。

次に、本発明の第六実施形態に係るオゾンガス処理装置１について、図１０を用いて説明する。
なお、第六実施形態に係るオゾンガス処理装置１の説明では、第一実施形態、第二実施形態、第三実施形態、第四実施形態、乃至、第五実施形態に係るオゾンガス処理装置１と同様の構成の部分については適宜省略し、第一実施形態、第二実施形態、第三実施形態、第四実施形態、乃至、第五実施形態に係るオゾンガス処理装置１の構成と異なる部分を中心に説明する。

図１０に示すように、オゾンガス処理装置１は、ケース２と、オゾン分解触媒３と、排気ファン４と、ヒータ５と、網部材８と、皿部材９と、を備える。オゾンガス処理装置１は、ケース２内に、オゾン分解触媒３、排気ファン４、ヒータ５、および、網部材８が配置されて構成される。
ケース２は、上方および下方が開口する箱状に構成される。
排気ファン４は、オゾンガスを、ケース２の下方の開口（上流側）から吸引して上方の開口（下流側）から排気するように構成される。
オゾンガス処理装置１のヒータ５は、上流側ヒータ５１を備えて構成される。

オゾンガス処理装置１のオゾン分解触媒３は、ハニカム状に構成されるオゾン分解触媒（以下、「ハニカム触媒」という）３２と、ペレット状に構成されるオゾン分解触媒（以下、「ペレット触媒」という）３３と、を備えて構成される。
ハニカム触媒３２は、排気ファン４の下方に配置される。ハニカム触媒３２は、ペレット触媒３３の上方（下流側）に配置される。
ペレット触媒３３は、複数段に重なり合って、敷詰められるように網部材８上に配置される。ペレット触媒３３は、ケース２の内面に接触するように配置される。

オゾンガス処理装置１の網部材８は、金属製の網状（メッシュ状）の部材であり、上流側ヒータ５１の上方（下流側）に配置される。
網部材８は、ペレット触媒３３が載置可能に構成される。

オゾンガス処理装置１の皿部材９は、皿状の部材であり、ケース２の下方に配置される。
皿部材９は、ペレット触媒３３のクズが、容器１２に溜められるオゾン水に落下することを防止するように構成される。

以上のように、オゾン分解触媒３は、ペレット触媒３３を備え、ペレット触媒３３は、複数段に重なり合って敷詰められるように配置される、オゾンガス処理装置１では、オゾン分解触媒３がペレット状に構成されることから、オゾン分解触媒３とケース２との間の気密性を容易に確保することができる。
したがって、オゾンガス処理装置１によれば、オゾン分解触媒３とケース２との間の気密性を確保することができずにオゾンガスの処理漏れが生じることを防止することができる。

次に、本発明の第七実施形態に係るオゾンガス処理装置１について、図１１を用いて説明する。
なお、第七実施形態に係るオゾンガス処理装置１の説明では、第一実施形態、第二実施形態、第三実施形態、第四実施形態、第五実施形態、乃至、第六実施形態に係るオゾンガス処理装置１と同様の構成の部分については適宜省略し、第一実施形態、第二実施形態、第三実施形態、第四実施形態、第五実施形態、乃至、第六実施形態、に係るオゾンガス処理装置１の構成と異なる部分を中心に説明する。

図１１に示すように、オゾンガス処理装置１は、ケース２と、オゾン分解触媒３と、排気ファン４と、ヒータ５と、網部材８と、皿部材９と、を備える。オゾンガス処理装置１は、ケース２内に、オゾン分解触媒３、排気ファン４、ヒータ５、および、網部材８が配置されて構成される。
オゾンガス処理装置１のヒータ５は、上流側ヒータ５１を備えて構成される。

オゾンガス処理装置１のオゾン分解触媒３は、ハニカム触媒３２と、ペレット触媒３３と、を備えて構成される。
ハニカム触媒３２は、排気ファン４の下方に配置される。ハニカム触媒３２は、網部材８上に配置される。
ペレット触媒３３は、ハニカム触媒３２の周囲に配置される。ペレット触媒３３は、ハニカム触媒３２とケース２の内面との間に配置される。ペレット触媒３３は、ハニカム触媒３２の周囲において、複数段に重なり合って敷詰められるように網部材８上に配置される。

以上のように、オゾン分解触媒３は、ハニカム触媒３２とペレット触媒３３とを備え、ペレット触媒３３は、ハニカム触媒３２の周囲において、複数段に重なり合って敷詰められるように配置される、オゾンガス処理装置１では、オゾン分解触媒３がペレット状に構成されることから、オゾン分解触媒３とケース２との間の気密性を容易に確保することができる。
したがって、オゾンガス処理装置１によれば、オゾン分解触媒３とケース２との間の気密性を確保することができずにオゾンガスの処理漏れが生じることを防止することができる。

１ オゾンガス処理装置
２ ケース
３ オゾン分解触媒
４ 排気ファン
５ ヒータ
１１ オゾン水生成装置
５１ 上流側ヒータ
５２ 周囲ヒータ

Claims (8)

1. オゾンガスをオゾン分解触媒で酸素に分解して排気する、オゾンガス処理装置であって、
   前記オゾンガスを加温するヒータを備え、
   前記オゾンガスを、前記ヒータによって加温して前記オゾン分解触媒に流通させる、
   オゾンガス処理装置。
2. 前記ヒータは、前記オゾン分解触媒を加温することができるように構成される、
   請求項１に記載のオゾンガス処理装置。
3. 前記オゾンガスの水分を減少させる、ミストセパレータを備え、
   前記ミストセパレータによって前記オゾンガスの水分を減少させて、前記オゾンガスを前記オゾン分解触媒に流通させる、
   請求項１または請求項２に記載のオゾンガス処理装置。
4. ケースを備え、前記ケース内に前記オゾン分解触媒が配置されて構成され、
   前記ケースは、シート部材を備え、
   前記シート部材は、前記ケースにおける上流側の開口の縁部に沿って配置され、前記オゾンガスが吸引されると、前記オゾン分解触媒に張り付くように構成される、
   請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のオゾンガス処理装置。
5. 流通管を備え、
   下方から上方に前記流通管を流通した前記オゾンガスが、前記オゾン分解触媒を流通するように構成される、
   請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のオゾンガス処理装置。
6. 前記ヒータは、前記オゾン分解触媒の周囲に配置される周囲ヒータと、前記オゾン分解触媒の内側に配置される内部側ヒータと、を備える、
   請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のオゾンガス処理装置。
7. 前記オゾン分解触媒は、ペレット状に構成されるオゾン分解触媒を備え、前記ペレット状に構成されるオゾン分解触媒は、複数段に重なり合って敷詰められるように配置される、
   請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のオゾンガス処理装置。
8. 前記オゾン分解触媒は、ハニカム状に構成されるオゾン分解触媒と、ペレット状に構成されるオゾン分解触媒と、を備え、前記ペレット状に構成されるオゾン分解触媒は、前記ハニカム状に構成されるオゾン分解触媒の周囲において複数段に重なり合って敷詰められるように配置される、
   請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のオゾンガス処理装置。

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