JP2015149456A - Method of replacing protective sheets in component mounting apparatus - Google Patents

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PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of replacing protective sheets in a component mounting apparatus capable of easily performing replacement work of protective sheets in a short period of time.SOLUTION: When a state in which a protective sheet 73b disposed between a crimp head 71 and a component 4 is to be replaced is detected, a substrate mounting stage 53 is retracted from a "work position" by substrate mounting stage moving means (a center substrate transfer part 33C or a rightward substrate transfer part 33R), the protective sheet 73b is replaced in a state where the substrate mounting stage 53 is retracted from the "work position".

Description

本発明は、基板に載置された部品を圧着して液晶パネル等の製造を行う部品実装装置における保護シート交換方法に関するものである。   The present invention relates to a method for replacing a protective sheet in a component mounting apparatus for manufacturing a liquid crystal panel or the like by crimping components placed on a substrate.

液晶パネル製造ラインによる液晶パネル製造工程において用いられる部品圧着装置は、基板にACF(Anisotropic Conductive Film)と呼ばれる異方性導電シートを介して載置(仮圧着)されたフィルム状の部品(若しくは半導体デバイス)を圧着ヘッドで圧着(本圧着)する。このような部品圧着装置には、圧着ヘッドの下方に保護シートを水平姿勢に設置し、圧着ヘッドが保護シートを介して部品を押圧(圧着)するようにして圧着ヘッドにACFの粘着材料が付着することを防止している。ここで、保護シートはこれを巻き取り繰り出しする一対のローラ部材とともにカセット内に入れられており、カセットごと圧着ヘッドの下方に設置される。カセット内の保護シートは上記一対のローラ部材の動作によって新しい面を圧着ヘッドの下方に露出させることができ、保護シートの新しい面がなくなった(シート切れを起こした)ときにはオペレータが保護シートの交換を行う。保護シートは使い捨てであるため、オペレータは、保護シートの交換を行うときには、カセット全体を圧着ヘッドの下方から取り外した後、新たなカセットを圧着ヘッドの下方に取り付けることによって、保護シートの交換を行う(例えば、特許文献1)。   A component crimping apparatus used in a liquid crystal panel production process by a liquid crystal panel production line is a film-like component (or semiconductor) placed (temporarily crimped) on a substrate via an anisotropic conductive sheet called an ACF (Anisotropic Conductive Film). The device is crimped (crimped) with a crimping head. In such a component crimping device, a protective sheet is installed in a horizontal position below the crimping head, and the pressure-sensitive adhesive material adheres to the crimping head so that the crimping head presses (crimps) the component through the protective sheet. To prevent it. Here, the protective sheet is placed in a cassette together with a pair of roller members that wind up and feed out the protective sheet, and the entire cassette is placed below the crimping head. The protective sheet in the cassette can expose a new surface under the pressure-bonding head by the operation of the pair of roller members, and the operator replaces the protective sheet when the new surface of the protective sheet disappears (when the sheet is cut). I do. Since the protective sheet is disposable, the operator replaces the protective sheet by removing the entire cassette from below the crimping head and then attaching a new cassette below the crimping head when replacing the protective sheet. (For example, patent document 1).

特許第3757868号公報Japanese Patent No. 3757868

しかしながら、上記保護シートの交換作業において、基板に対する部品の圧着作業が終了していない状態では圧着ヘッドによる基板に対する部品の圧着(本圧着)が行われる位置(すなわち圧着ヘッドの下方の作業位置)に基板が位置したままとなっており、オペレータは基板に触れないように細心の注意を払いながらカセットの取り外し及び取り付けを行う必要があった。このため保護シートの交換作業に多大な時間を要し、部品実装装置による基板の生産性の向上が妨げられるという問題点があった。   However, in the above replacement operation of the protective sheet, when the component crimping operation to the substrate is not completed, the component is crimped to the substrate (main crimping) by the crimping head (that is, the working position below the crimping head). The substrate remained in position, and the operator had to remove and install the cassette while paying close attention not to touch the substrate. For this reason, it took a long time to replace the protective sheet, which hindered improvement of the productivity of the substrate by the component mounting apparatus.

そこで本発明は、保護シートの交換作業を容易にかつ短時間で行うことができるようにした部品実装装置における保護シート交換方法を提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a protective sheet replacement method in a component mounting apparatus that allows a protective sheet replacement operation to be performed easily and in a short time.

本発明の部品実装装置における保護シート交換方法は、上面に部品が搭載された基板を保持する基板載置ステージと、前記基板載置ステージに対して前記基板の移載を行う基板移載手段と、前記基板載置ステージを移動させる基板載置ステージ移動手段と、前記基板載置ステージ移動手段により所定の作業位置に位置決めされた前記基板載置ステージの上方から下降し、前記部品を前記基板に圧着する圧着ヘッドと、前記圧着ヘッドと前記部品の間に配置される保護シートとを備えた部品実装装置における保護シート交換方法であって、前記保護シートを交換すべき状態を検出する検出工程と、前記検出工程において前記保護シートを交換すべき状態が検出された場合に、前記基板載置ステージ移動手段により前記基板載置ステージを前記作業位置から退避させる退避工程と、前記基板載置ステージを前記作業位置から退避させた状態で前記保護シートの交換を行う保護シート交換工程とを含む。   The method for replacing a protective sheet in the component mounting apparatus according to the present invention includes a substrate placement stage for holding a substrate on which a component is mounted on an upper surface, and substrate transfer means for transferring the substrate to the substrate placement stage. A substrate placement stage moving means for moving the substrate placement stage; and the substrate placement stage moving means moves down from above the substrate placement stage positioned at a predetermined work position, and the component is placed on the substrate. A method for replacing a protective sheet in a component mounting apparatus comprising a pressure bonding head for pressure bonding and a protective sheet disposed between the pressure bonding head and the component, wherein the detection step detects a state in which the protection sheet should be replaced; When the state in which the protective sheet is to be replaced is detected in the detection step, the substrate placement stage is moved by the substrate placement stage moving means. Comprising a retraction step of retracting from the position, and a protective sheet exchange step for exchanging the protective sheet in a state of being retracted the substrate mounting stage from the working position.

本発明によれば、保護シートの交換作業を容易にかつ短時間で行うことができる。   According to the present invention, the replacement operation of the protective sheet can be performed easily and in a short time.

本発明の一実施の形態における部品実装装置の平面図The top view of the component mounting apparatus in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における部品実装装置による基板に対する部品実装作業の進行手順を示す図The figure which shows the advancing procedure of the component mounting operation | work with respect to the board | substrate by the component mounting apparatus in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における部品実装装置の制御系統を示すブロック図The block diagram which shows the control system of the component mounting apparatus in one embodiment of this invention (a)(b)本発明の一実施の形態における部品実装装置が備えるACF貼着作業部及び左方基板移送部の斜視図(A) (b) The perspective view of the ACF sticking operation part with which the component mounting apparatus in one embodiment of this invention is equipped, and a left board | substrate transfer part (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるACF貼着作業部によるACFテープの貼着作業の実行手順を示す図(A) (b) (c) The figure which shows the execution procedure of the sticking operation | work of the ACF tape by the ACF sticking operation | work part in one embodiment of this invention. (a)(b)本発明の一実施の形態における部品実装装置が備える部品搭載作業部及び中央基板移送部(右方基板移送部)の斜視図(A) (b) The perspective view of the component mounting operation part with which the component mounting apparatus in one embodiment of this invention is equipped, and a center board | substrate transfer part (right board | substrate transfer part) 本発明の一実施の形態における部品搭載作業部による部品搭載作業の実行手順を示すフローチャートThe flowchart which shows the execution procedure of the component mounting operation | work by the component mounting operation | work part in one embodiment of this invention (a)(b)(c)本発明の一実施の形態における部品搭載作業部による部品搭載作業の実行手順を示す図(A) (b) (c) The figure which shows the execution procedure of the component mounting operation | work by the component mounting operation part in one embodiment of this invention. (a)(b)(c)本発明の一実施の形態における部品搭載作業部による部品搭載作業の実行手順を示す図(A) (b) (c) The figure which shows the execution procedure of the component mounting operation | work by the component mounting operation part in one embodiment of this invention. (a)(b)本発明の一実施の形態における部品実装装置が備える第1の部品圧着作業部(第2の部品圧着作業部)及び中央基板移送部(右方基板移送部)の斜視図(A) (b) The perspective view of the 1st component crimping operation part (2nd component crimping operation part) with which the component mounting apparatus in one embodiment of this invention is equipped, and a center board | substrate transfer part (right board transfer part) (a)(b)(c)本発明の一実施の形態における第1の部品圧着作業部(第2の部品圧着作業部)による部品圧着作業の実行手順を示す図(A) (b) (c) The figure which shows the execution procedure of the component crimping operation | work by the 1st component crimping operation part (2nd component crimping operation part) in one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態における基板移載部の斜視図The perspective view of the board | substrate transfer part in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における部品実装装置の部分平面図The fragmentary top view of the component mounting apparatus in one embodiment of this invention (a)(b)(c)本発明の一実施の形態における部品実装装置による部品実装作業の実行手順を示す図(A) (b) (c) The figure which shows the execution procedure of the component mounting operation | work by the component mounting apparatus in one embodiment of this invention (a)(b)(c)本発明の一実施の形態における部品実装装置による部品実装作業の実行手順を示す図(A) (b) (c) The figure which shows the execution procedure of the component mounting operation | work by the component mounting apparatus in one embodiment of this invention (a)(b)(c)本発明の一実施の形態における部品実装装置による部品実装作業の実行手順を示す図(A) (b) (c) The figure which shows the execution procedure of the component mounting operation | work by the component mounting apparatus in one embodiment of this invention (a)(b)(c)本発明の一実施の形態における部品実装装置による部品実装作業の実行手順を示す図(A) (b) (c) The figure which shows the execution procedure of the component mounting operation | work by the component mounting apparatus in one embodiment of this invention (a)(b)(c)本発明の一実施の形態における部品実装装置による部品実装作業の実行手順を示す図(A) (b) (c) The figure which shows the execution procedure of the component mounting operation | work by the component mounting apparatus in one embodiment of this invention (a)(b)本発明の一実施の形態における部品実装装置による部品実装作業の実行手順を示す図(A) (b) The figure which shows the execution procedure of the component mounting operation | work by the component mounting apparatus in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における部品実装装置の保護シートの交換作業におけるフローチャートThe flowchart in the replacement | exchange operation | work of the protection sheet of the component mounting apparatus in one embodiment of this invention (a)(b)(c)本発明の一実施の形態における部品実装装置の保護シートの交換作業時の動作説明図(A) (b) (c) Operation | movement explanatory drawing at the time of replacement | exchange work of the protection sheet of the component mounting apparatus in one embodiment of this invention (a)(b)(c)本発明の一実施の形態における部品実装装置の保護シートの交換作業時の動作説明図(A) (b) (c) Operation | movement explanatory drawing at the time of replacement | exchange work of the protection sheet of the component mounting apparatus in one embodiment of this invention

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1に示す液晶パネル基板製造用の部品実装装置1は、図2に示す長方形のパネル状の基板2の四辺のうちの一辺の端部の上面に設けられた電極部2aに接着部材としてのACFテープ3を貼着したうえで、その貼着したACFテープ3に部品4を搭載(仮圧着)してその後圧着(本圧着)することにより基板2に部品4を装着する部品実装作業を実行する。ここで用いる部品4はフィルム状部分4aを有する部品、例えばFPC部品であるとする。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. A component mounting apparatus 1 for manufacturing a liquid crystal panel substrate shown in FIG. 1 is used as an adhesive member on an electrode portion 2a provided on the upper surface of one of the four sides of a rectangular panel-like substrate 2 shown in FIG. After attaching the ACF tape 3, the component 4 is mounted on the attached ACF tape 3 (preliminary pressure bonding) and then pressure bonded (main pressure bonding), and then the component mounting operation for mounting the component 4 on the substrate 2 is executed. To do. The component 4 used here is a component having a film-like portion 4a, for example, an FPC component.

図1において、部品実装装置1の基台11は、オペレータOPから見た左右方向(図1における紙面左右方向であり、X軸方向とする)の左方から左方基台11a、中央基台11b及び右方基台11cがこの順で配置され、左方基台11aには基板受け取り部21、中央基台11bには部品実装部22、右方基台11cには基板受け渡し部23がそれぞれ備えられている。上記基板受け取り部21、部品実装部22及び基板受け渡し部23はそれぞれ制御手段としての制御装置24(図3)によってその動作が制御される。基板2はX軸方向を左側から右側に、すなわち基板受け取り部21、部品実装部22、基板受け渡し部23の順に流れて順次作業が施される。基板受け取り部21は上流工程側から送られてくる基板2を受け取り、基板受け渡し部23は受け取った基板2を下流工程側に受け渡す。   In FIG. 1, a base 11 of the component mounting apparatus 1 includes a left base 11 a and a center base from the left in the left-right direction as viewed from the operator OP (the left-right direction in FIG. 1 and the X-axis direction). 11b and the right base 11c are arranged in this order, the left base 11a has a board receiving part 21, the central base 11b has a component mounting part 22, and the right base 11c has a board delivery part 23. Is provided. The operations of the board receiving unit 21, the component mounting unit 22, and the board passing unit 23 are controlled by a control device 24 (FIG. 3) as control means. The board 2 flows in the X-axis direction from the left side to the right side, that is, in order of the board receiving part 21, the component mounting part 22, and the board delivery part 23, and is sequentially processed. The substrate receiving unit 21 receives the substrate 2 sent from the upstream process side, and the substrate transfer unit 23 delivers the received substrate 2 to the downstream process side.

図1において、基板受け取り部21は左側(上流工程側)と右側(下流工程側)の2つの基板受け取りステージ21sを有している。これら2つの基板受け取りステージ21sは左方基台11aに対して昇降自在に設けられており、2つの基板受け取りステージ21sには部品実装装置1の上流工程側から送られてきた2枚の基板2が載置される。   In FIG. 1, the substrate receiving unit 21 has two substrate receiving stages 21s on the left side (upstream process side) and the right side (downstream process side). These two board receiving stages 21s are provided so as to be movable up and down with respect to the left base 11a, and the two boards 2 sent from the upstream process side of the component mounting apparatus 1 to the two board receiving stages 21s. Is placed.

図1において、部品実装部22は、基板2にACFテープ3を貼着する作業を行うACF貼着作業部22a(接着部材貼着作業部)、基板2の上面への部品4の搭載作業を固定位置で行う部品搭載作業部22b、部品搭載作業部22bにおいて部品4の搭載作業が行われた基板2にその搭載された部品4を圧着する2つの部品圧着作業部(第1の部品圧着作業部22c及び第2の部品圧着作業部22d)を有する。   In FIG. 1, the component mounting unit 22 performs an operation of attaching the ACF tape 3 to the substrate 2, an ACF adhering operation unit 22 a (adhesive member adhering operation unit), and an operation of mounting the component 4 on the upper surface of the substrate 2. A component mounting operation unit 22b performed at a fixed position, and two component crimping operation units (first component crimping operation) for crimping the mounted component 4 to the substrate 2 on which the component 4 mounting operation has been performed in the component mounting operation unit 22b. Part 22c and second component crimping work part 22d).

ACF貼着作業部22aは中央基台11bの左部領域に設けられており、部品搭載作業部22bは中央基台11bの中央領域に設けられている。第1の部品圧着作業部22cは中央基台11b上のACF貼着作業部22aと部品搭載作業部22bとの間の領域に設けられており、第2の部品圧着作業部22dは中央基台11b上の部品搭載作業部22bの右側の領域に設けられている。すなわち、本実施の形態の部品実装装置1において、第1の部品圧着作業部22cと第2の部品圧着作業部22dは、部品搭載作業部22bを左右両側方から挟む位置に設けられている。   The ACF attaching work part 22a is provided in the left area of the central base 11b, and the component mounting work part 22b is provided in the central area of the central base 11b. The first component crimping work part 22c is provided in a region between the ACF adhering work part 22a and the component mounting work part 22b on the central base 11b, and the second component crimping work part 22d is the central base. It is provided in the area on the right side of the component mounting work part 22b on 11b. That is, in the component mounting apparatus 1 according to the present embodiment, the first component crimping work part 22c and the second component crimping work part 22d are provided at positions sandwiching the component mounting work part 22b from the left and right sides.

中央基台11b上のACF貼着作業部22aの前方領域(オペレータOPから見た前後方向をY軸方向とする)には第1のベース部31が設けられており、中央基台11b上の部品搭載作業部22b、第1の部品圧着作業部22c及び第2の部品圧着作業部22dの前方領域には第2のベース部32がX軸方向に延びて設けられている。   A first base portion 31 is provided in the front area of the ACF attaching work portion 22a on the central base 11b (the front-rear direction viewed from the operator OP is the Y-axis direction). A second base portion 32 is provided extending in the X-axis direction in the front region of the component mounting operation portion 22b, the first component crimping operation portion 22c, and the second component crimping operation portion 22d.

図1及び図4(a),(b)において、第1のベース部31には左方基板移送部33Lが設けられている。この左方基板移送部33Lは、第1のベース部31上にY軸方向に延びて設けられ、第1のベース部31上をX軸方向に移動自在に設けられたY軸テーブル34と、Y軸テーブル34上をY軸方向に移動自在に設けられた移動ステージ35と、移動ステージ35の上面にX軸方向に並んで設けられた2つの基板保持ステージ36を有する。2つの基板保持ステージ36上には基板受け取り部21の2つの基板受け取りステージ21sから2枚の基板2が移載されて保持される。   1 and FIGS. 4A and 4B, the first base portion 31 is provided with a left substrate transfer portion 33L. The left substrate transfer portion 33L is provided on the first base portion 31 so as to extend in the Y-axis direction, and is provided on the first base portion 31 so as to be movable in the X-axis direction. The moving stage 35 is provided so as to be movable in the Y-axis direction on the Y-axis table 34, and two substrate holding stages 36 are provided on the upper surface of the moving stage 35 so as to be arranged in the X-axis direction. On the two substrate holding stages 36, the two substrates 2 are transferred and held from the two substrate receiving stages 21s of the substrate receiving unit 21.

2つの基板保持ステージ36はそれぞれ移動ステージ35に対して昇降自在であり、制御装置24はY軸テーブル34に対して移動ステージ35をY軸方向に移動させて基板2の移送を行い、2つの基板保持ステージ36を昇降させて、2つの基板保持ステージ36に載置された基板2を上下させる。   Each of the two substrate holding stages 36 is movable up and down with respect to the moving stage 35, and the control device 24 moves the moving stage 35 in the Y-axis direction with respect to the Y-axis table 34 to transfer the substrate 2. The substrate holding stage 36 is moved up and down to move the substrate 2 placed on the two substrate holding stages 36 up and down.

図4(a),(b)において、ACF貼着作業部22aは中央基台11bの上方をX軸方向に並んで設けられた2つの貼着ヘッド41と、各貼着ヘッド41の下方にX軸方向に延びて設けられた2つのACF貼着作業用のバックアップステージ42を有する。2つの貼着ヘッド41はそれぞれACFテープ3を繰り出し供給するとともに、その繰り出したACFテープ3を所定長さに切断してこれを所定の位置で水平姿勢に保持するテープ供給部41aと、テープ供給部41aが水平姿勢に保持したACFテープ3を上方からACF貼着作業用のバックアップステージ42の側に押し付ける貼着ツール41bを備えている。   4 (a) and 4 (b), the ACF adhering work part 22a includes two adhering heads 41 arranged in the X-axis direction above the central base 11b, and below the adhering heads 41. Two backup stages 42 for attaching ACF are provided extending in the X-axis direction. Each of the two sticking heads 41 feeds and feeds the ACF tape 3, cuts the fed ACF tape 3 into a predetermined length, and holds it in a horizontal position at a predetermined position, and a tape supply A sticking tool 41b for pressing the ACF tape 3 held in a horizontal posture by the part 41a from above onto the backup stage 42 side for ACF sticking work is provided.

制御装置24は、左方基板移送部33Lの移動ステージ35をY軸テーブル34上の前方に設定された「基板受け渡し位置」(図4(a))と後方に設定された「作業位置」(図4(b))との間で移動させる。「基板受け渡し位置」は2つの基板保持ステージ36に対して基板2の受け渡しを行うことができる位置であり、「作業位置」は、2つの基板保持ステージ36に載置された2枚の基板2それぞれの電極部2aを2つのACF貼着作業用のバックアップステージ42の上方に位置させることができる位置である。   The control device 24 moves the moving stage 35 of the left substrate transfer part 33L on the Y-axis table 34 to the “substrate delivery position” (FIG. 4A) set to the front and the “work position” set to the rear (see FIG. 4A). 4 (b)). The “substrate delivery position” is a position where the substrate 2 can be delivered to the two substrate holding stages 36, and the “work position” is the two substrates 2 placed on the two substrate holding stages 36. It is a position where each electrode part 2a can be positioned above the backup stage 42 for two ACF attaching operations.

貼着ヘッド41による基板2へのACFテープ3の貼着作業について図5を参照しながら説明する。先ず、図5(a)に示すように、制御装置24が、テープ供給部41aを作動させて所定長さに切断した状態のACFテープ3を基板2(電極部2a)の上方に位置させる。次に、図5(b)に示すように、貼着ツール41bを下降させてACFテープ3を基板2ごとACF貼着作業用のバックアップステージ42に押し付ける。最後に図5(c)に示すように、貼着ツール41bを基板2に対して上昇させる。結果、基板2に対して、所定長さのACFテープ3が貼着される。   An operation of attaching the ACF tape 3 to the substrate 2 by the attaching head 41 will be described with reference to FIG. First, as shown in FIG. 5A, the control device 24 operates the tape supply unit 41a to position the ACF tape 3 in a state cut to a predetermined length above the substrate 2 (electrode unit 2a). Next, as shown in FIG. 5B, the sticking tool 41b is lowered to press the ACF tape 3 together with the substrate 2 against the backup stage 42 for ACF sticking work. Finally, as shown in FIG. 5C, the sticking tool 41 b is raised with respect to the substrate 2. As a result, the ACF tape 3 having a predetermined length is attached to the substrate 2.

図1において、第2のベース部32には中央基板移送部33Cと右方基板移送部33Rが設けられている。中央基板移送部33Cと右方基板移送部33Rは同型であり、中央基板移送部33Cは右方基板移送部33Rの左方に位置している。中央基板移送部33Cは(右方基板移送部33Rも同様)、図6(a),(b)に示すように、第2のベース部32に沿ってX軸方向に移動自在に設けられたY軸テーブル51、Y軸テーブル51の上をY軸方向に移動自在に設けられた移動ステージ52、移動ステージ52の上面にX軸方向に並んで設けられた2つの基板載置ステージ53を有する。移動ステージ52は2つの基板載置ステージ53を個別にZ軸方向へ昇降させる昇降機構を内蔵している。2つの基板載置ステージ53は第2のベース部32に対するY軸テーブル51のX軸方向への移動及びY軸テーブル51に対する移動ステージ52の移動によって水平方向への移動が自在であり、2つの基板載置ステージ53上には左方基板移送部33Lの2つの基板保持ステージ36から、上面に部品4が搭載された2枚の基板2が移載されて保持される。   In FIG. 1, the second base portion 32 is provided with a central substrate transfer portion 33C and a right substrate transfer portion 33R. The central substrate transfer unit 33C and the right substrate transfer unit 33R are the same type, and the central substrate transfer unit 33C is located to the left of the right substrate transfer unit 33R. The central substrate transfer unit 33C (same as the right substrate transfer unit 33R) is provided to be movable in the X-axis direction along the second base portion 32, as shown in FIGS. 6 (a) and 6 (b). A Y-axis table 51, a moving stage 52 provided on the Y-axis table 51 so as to be movable in the Y-axis direction, and two substrate mounting stages 53 provided side by side in the X-axis direction on the upper surface of the moving stage 52 are provided. . The moving stage 52 has a built-in lifting mechanism that individually lifts and lowers the two substrate mounting stages 53 in the Z-axis direction. The two substrate placement stages 53 can move in the horizontal direction by moving the Y-axis table 51 in the X-axis direction with respect to the second base portion 32 and moving the moving stage 52 with respect to the Y-axis table 51. From the two substrate holding stages 36 of the left substrate transfer unit 33L, the two substrates 2 on which the components 4 are mounted are transferred and held on the substrate mounting stage 53.

2つの基板載置ステージ53はそれぞれ第2のベース部32に対するY軸テーブル51のX軸方向への移動及びY軸テーブル51に対する移動ステージ52の移動によって水平方向への移動が自在であり、移動ステージ52に内蔵された上述の昇降機構の駆動によって個別に昇降自在に設けられている。制御装置24は第2のベース部32に対するY軸テーブル51のX軸方向への移動及びY軸テーブル51に対する移動ステージ52のY軸方向への移動を行って2つの基板載置ステージ53を水平面内方向に移動させることで基板2の移送を行い、2つの基板載置ステージ53を下降又は上昇させて、2つの基板載置ステージ53に載置された2枚の基板2をバックアップステージ64の上面に対して着地又は離反させる。   The two substrate mounting stages 53 can move in the horizontal direction by moving the Y-axis table 51 in the X-axis direction relative to the second base portion 32 and moving the moving stage 52 relative to the Y-axis table 51, respectively. It is provided so that it can be raised and lowered individually by driving the above-described lifting mechanism built in the stage 52. The control device 24 moves the Y-axis table 51 in the X-axis direction with respect to the second base portion 32 and moves the moving stage 52 in the Y-axis direction with respect to the Y-axis table 51 to place the two substrate placement stages 53 in a horizontal plane. The substrate 2 is transferred by moving inward, the two substrate placement stages 53 are lowered or raised, and the two substrates 2 placed on the two substrate placement stages 53 are transferred to the backup stage 64. Land or separate from the top surface.

図1、図6(a),(b)において、部品搭載作業部22bは、中央基台11bの後部から後方に張り出して設けられて部品4の供給を行う部品供給部61、中央基台11bの中央後部に設けられた搭載ヘッド移動機構62によって水平面内で移動自在であり、部品供給部61が供給する部品4を上方から吸着する搭載ヘッド63及び第2のベース部32の中央部後方領域にY軸方向に延びて設けられた部品搭載作業用のバックアップステージ64を備える。制御装置24は、部品供給部61による部品4の供給動作制御、搭載ヘッド移動機構62の作動による搭載ヘッド63の水平面内での移動動作、搭載ヘッド63による部品4の吸着動作を制御する。これにより、搭載ヘッド63による部品4の吸着(ピックアップ)から部品4の基板2への搭載までの一連の作業が行われる。   In FIG. 1, FIG. 6 (a), (b), the component mounting operation part 22b is projected from the rear part of the center base 11b to the rear, and the part supply part 61 and the center base 11b which supply the part 4 are provided. A mounting head 63 that is movable in a horizontal plane by a mounting head moving mechanism 62 provided at the center rear of the mounting head 63 and sucks the component 4 supplied by the component supply unit 61 from above, and a central rear region of the second base portion 32. Is provided with a backup stage 64 for component mounting provided extending in the Y-axis direction. The control device 24 controls the supply operation of the component 4 by the component supply unit 61, the movement operation of the mounting head 63 in the horizontal plane by the operation of the mounting head moving mechanism 62, and the suction operation of the component 4 by the mounting head 63. Thereby, a series of operations from adsorption (pickup) of the component 4 by the mounting head 63 to mounting of the component 4 on the substrate 2 is performed.

図6(a)において、部品搭載作業用のバックアップステージ64には撮像視野を上方に向けた2つの位置認識カメラ65がX軸方向に並んで設けられている。これら2つの位置認識カメラ65は制御装置24に制御されて撮像動作を行い、部品搭載用のバックアップステージ64の上部に設けられた石英ガラス等の透明材料部64a(図6(a))を通して部品搭載用のバックアップステージ64の上方に位置する物体を撮像する。   In FIG. 6A, the part mounting work backup stage 64 is provided with two position recognition cameras 65 arranged in the X-axis direction with the imaging visual field facing upward. These two position recognition cameras 65 are controlled by the control device 24 to perform an imaging operation, and the parts are passed through a transparent material part 64a (FIG. 6A) such as quartz glass provided on the upper part of the backup stage 64 for mounting parts. An object located above the mounting backup stage 64 is imaged.

制御装置24の部品搭載作業制御部SR1(図3)は、中央基板移送部33Cの移動ステージ52をY軸テーブル51上の前方に設定された「基板受け渡し位置」(図6(a))と後方に設定された「作業位置」(図6(b))との間で移動させる。「基板受け渡し位置」は2つの基板載置ステージ53に対して基板2の受け渡しを行うことができる位置である。「作業位置」は、2つの基板載置ステージ53に載置された基板2の電極部2aに貼着されたACFテープ3を部品搭載作業用のバックアップステージ64の上方(更には後述する部品圧着作業用のバックアップステージ72の上方)に位置させることができる位置である。   The component mounting operation control unit SR1 (FIG. 3) of the control device 24 has a “substrate delivery position” (FIG. 6A) in which the moving stage 52 of the central substrate transfer unit 33C is set forward on the Y-axis table 51. It is moved between the “working position” set rearward (FIG. 6B). The “substrate delivery position” is a position where the substrate 2 can be delivered to the two substrate placement stages 53. The “working position” indicates that the ACF tape 3 attached to the electrode portion 2a of the substrate 2 placed on the two substrate placement stages 53 is positioned above the backup stage 64 for component placement work (further, component crimping described later). This is a position that can be positioned above the work backup stage 72.

図6(a),(b)に示すように、中央基板移送部33C(右方基板移送部33Rも同じ)が備える2つの基板載置ステージ53のそれぞれには、その基板載置ステージ53の後方をX軸方向に延びる水平部54aを有した枠状の部品支持部材54が設けられている。この部品支持部材54は、後述する部品搭載作業部22bによる基板2への部品4の搭載工程(部品搭載作業)において基板2に搭載された部品4のフィルム状部分4aの基板2からはみ出た部分を下方から支持するものである。   As shown in FIGS. 6A and 6B, each of the two substrate placement stages 53 provided in the central substrate transfer portion 33C (the right substrate transfer portion 33R is the same) is provided with each of the substrate placement stages 53. A frame-shaped component support member 54 having a horizontal portion 54a extending rearward in the X-axis direction is provided. The component support member 54 protrudes from the substrate 2 in the film-like portion 4a of the component 4 mounted on the substrate 2 in the mounting process (component mounting operation) of the component 4 on the substrate 2 by the component mounting operation unit 22b described later. Is supported from below.

次に、部品実装装置1の動作を説明する。部品実装装置1は、部品実装作業を行うときは、先ず、移動ステージ52が「作業位置」に移動して、基板2の電極部2aをバックアップステージ64の上方位置(搭載作業位置)に位置させる(図7のフローチャートに示すステップST1)。そして、2つの位置認識カメラ65が、部品搭載用のバックアップステージ64の上方に位置された基板2が有する2つの位置認識マークm(図2)を撮像・認識し(図8(a))、これにより求められる2つの位置認識マークmの位置情報に基づいて基板2の位置に関する情報を算出(取得)する。その結果は、基板2の基板載置ステージ53に対する位置補正量のデータとして、制御装置24の記憶部24aの第1補正データ記憶領域KR1、第2補正データ記憶領域KR2、第3補正データ記憶領域KR3及び第4補正データ記憶領域KR4(図3)に記憶される(ステップST2)。   Next, the operation of the component mounting apparatus 1 will be described. When the component mounting apparatus 1 performs the component mounting work, first, the moving stage 52 moves to the “working position” and the electrode portion 2a of the substrate 2 is positioned above the backup stage 64 (mounting work position). (Step ST1 shown in the flowchart of FIG. 7). Then, the two position recognition cameras 65 image and recognize two position recognition marks m (FIG. 2) of the substrate 2 positioned above the component mounting backup stage 64 (FIG. 8A). Information on the position of the substrate 2 is calculated (acquired) based on the position information of the two position recognition marks m thus obtained. As a result, the first correction data storage area KR1, the second correction data storage area KR2, and the third correction data storage area of the storage unit 24a of the control device 24 are obtained as position correction amount data of the substrate 2 with respect to the substrate placement stage 53. It is stored in KR3 and the fourth correction data storage area KR4 (FIG. 3) (step ST2).

具体的には、中央基板移送部33Cの左側の基板載置ステージ53に載置された基板2についての位置補正量のデータは第1補正データ記憶領域KR1に記憶され、中央基板移送部33Cの右側の基板載置ステージ53に載置された基板2についての位置補正量のデータは第2補正データ記憶領域KR2に記憶される。また、右方基板移送部33Rの左側の基板載置ステージ53に載置された基板2についての位置補正量のデータは第3補正データ記憶領域KR3に記憶され、右方基板移送部33Rの右側の基板載置ステージ53に載置された基板2についての位置補正データは第4補正データ記憶領域KR4に記憶される。   Specifically, the position correction amount data for the substrate 2 placed on the substrate placement stage 53 on the left side of the central substrate transfer unit 33C is stored in the first correction data storage region KR1, and the central substrate transfer unit 33C The position correction amount data for the substrate 2 placed on the right substrate placement stage 53 is stored in the second correction data storage area KR2. Further, the position correction amount data for the substrate 2 placed on the substrate placement stage 53 on the left side of the right substrate transfer unit 33R is stored in the third correction data storage area KR3, and the right side of the right substrate transfer unit 33R. The position correction data for the substrate 2 placed on the substrate placement stage 53 is stored in the fourth correction data storage area KR4.

上記ステップST2を終えたら、移動ステージ52は一旦前方に移動し、バックアップステージ64の上方位置(搭載作業位置)から基板2の電極部2aを退避させる(図8(b)。ステップST3)。次いで搭載ヘッド63が下降し、部品4をバックアップステージ64に(位置認識カメラ65の側に)近づく方向に(搭載作業位置に)移動させる(ステップST4)。そして、今度は2つの位置認識カメラ65が、部品4に設けられた図示しない位置認識マークを撮像・認識し(図8(c))、部品4の位置に関する情報(搭載ヘッド63に対する部品4の位置情報)を算出(取得)したうえで部品4の位置補正量を求め、その結果を上記記憶部24aに記憶させる(ステップST5)。   When step ST2 is completed, the moving stage 52 once moves forward, and retracts the electrode portion 2a of the substrate 2 from the upper position (mounting work position) of the backup stage 64 (FIG. 8B) (step ST3). Next, the mounting head 63 is lowered, and the component 4 is moved in the direction approaching the backup stage 64 (to the position recognition camera 65 side) (to the mounting work position) (step ST4). Next, the two position recognition cameras 65 capture and recognize a position recognition mark (not shown) provided on the component 4 (FIG. 8C), and information on the position of the component 4 (the component 4 with respect to the mounting head 63). After calculating (acquiring position information), the position correction amount of the component 4 is obtained, and the result is stored in the storage unit 24a (step ST5).

上記のようにして2つの位置認識カメラ65が部品4の位置補正量を求めてその結果を記憶部24aに記憶させたら、搭載ヘッド63が上昇し(図9(a))、移動ステージ52が再度「作業位置」に位置する。そして、中央基板移送部33Cは、記憶部24aに記憶された基板2の位置に関する情報(基板2の位置補正量)と部品4の位置に関する情報(部品4の位置補正量)に基づいて作動し、部品4側の電極部(図示せず)と基板2側の電極部2aが上下に合致するように、部品搭載作業部22bに対する(直接的には部品4に対する)基板2の位置決めを行う(図9(b)。ステップST6)。   When the two position recognition cameras 65 obtain the position correction amount of the component 4 and store the result in the storage unit 24a as described above, the mounting head 63 is raised (FIG. 9A), and the moving stage 52 is moved. It is located at the “working position” again. The central substrate transfer unit 33C operates based on information on the position of the substrate 2 (position correction amount of the substrate 2) and information on the position of the component 4 (position correction amount of the component 4) stored in the storage unit 24a. The substrate 2 is positioned with respect to the component mounting work portion 22b (directly with respect to the component 4) so that the electrode portion (not shown) on the component 4 side and the electrode portion 2a on the substrate 2 side are aligned vertically ( 9B, step ST6).

上記のようにして中央基板移送部33Cが部品搭載作業部22bに対する基板2の位置決めを行ったら、搭載ヘッド63が下降し、吸着した部品4を基板2上のACFテープ3に押し付けて基板2に搭載(仮圧着)する(図9(c)。ステップST7)。このときの搭載ヘッド63の押し付け力は、部品搭載用のバックアップステージ64によって支持される。搭載ヘッド63は、基板2に部品4を搭載したら、上昇する(ステップST8)。   When the central substrate transfer unit 33C positions the substrate 2 with respect to the component mounting operation unit 22b as described above, the mounting head 63 descends and the sucked component 4 is pressed against the ACF tape 3 on the substrate 2 to the substrate 2. Mounting (temporary pressure bonding) is performed (FIG. 9C) Step ST7. The pressing force of the mounting head 63 at this time is supported by the backup stage 64 for mounting components. The mounting head 63 rises when the component 4 is mounted on the substrate 2 (step ST8).

上記ステップST7で搭載ヘッド63が基板2に部品4を搭載すると、部品4のフィルム状部分4aの一部が基板2の外にはみ出すが、そのはみ出しているフィルム状部分4aは、各基板載置ステージ53に設けられた部品支持部材54の水平部54aによって下方から支持される。このため、基板2に搭載された状態の部品4のフィルム状部分4aが基板2の縁から垂れ下がった状態になることが防止される(図10(a),(b))。   When the mounting head 63 mounts the component 4 on the substrate 2 in step ST7, a part of the film-like portion 4a of the component 4 protrudes out of the substrate 2, but the protruding film-like portion 4a is placed on each substrate. It is supported from below by a horizontal portion 54 a of a component support member 54 provided on the stage 53. For this reason, the film-like portion 4a of the component 4 mounted on the substrate 2 is prevented from hanging down from the edge of the substrate 2 (FIGS. 10A and 10B).

図10(a),(b)に示すように、第1の部品圧着作業部22cは(第2の部品圧着作業部22dも同様)は、X軸方向に並んで設けられた2つの圧着ヘッド71と、各圧着ヘッド71の下方にX軸方向に延びて設けられた2つの部品圧着作業用のバックアップステージ72を備える。制御装置24の部品圧着作業制御部SR2(図3)は、第1の部品圧着作業部22cが備える圧着ヘッド71及び第2の部品圧着作業部22dが備える圧着ヘッド71それぞれの昇降動作を制御する(図3)。圧着ヘッド71は、基板載置ステージ53を移動させる基板載置ステージ移動手段である中央基板移送部33C又は右方基板移送部33Rにより所定の作業位置に位置決めされた基板載置ステージ53の上方から下降して部品4を基板2に圧着する。   As shown in FIGS. 10A and 10B, the first component crimping work part 22c (and the second component crimping work part 22d) is provided with two crimping heads arranged side by side in the X-axis direction. 71 and two backup stages 72 for crimping the two components provided in the X-axis direction below each crimping head 71. The component crimping operation control unit SR2 (FIG. 3) of the control device 24 controls the ascending and descending operations of the crimping head 71 provided in the first component crimping operation unit 22c and the crimping head 71 provided in the second component crimping operation unit 22d. (Figure 3). The pressure bonding head 71 is located above the substrate placement stage 53 positioned at a predetermined work position by the central substrate transfer portion 33C or the right substrate transfer portion 33R which is a substrate placement stage moving means for moving the substrate placement stage 53. The component 4 is lowered and pressed onto the substrate 2.

図10(a),(b)及び図11(a),(b),(c)に示すように、第1の部品圧着作業部22c及び第2の部品圧着作業部22dの各圧着ヘッド71の下方には、保護シート供給ユニット73が着脱自在に設置されている。保護シート供給ユニット73は、箱状のカセット73a内にテープ状の保護シート73bを有しており、部品4が仮圧着された基板2がバックアップステージ72に載置されている状態で、圧着ヘッド71と部品4の間に保護シート73bを水平に配置する構成となっている。これにより圧着ヘッド71は保護シート73bを介して部品4を基板2に圧着することになるので(図11(b))、圧着ヘッド71にACFテープ3の粘着材料が付着することが防止される。   As shown in FIGS. 10A and 10B and FIGS. 11A, 11B, and 11C, the respective crimping heads 71 of the first component crimping working portion 22c and the second component crimping working portion 22d. A protective sheet supply unit 73 is detachably installed below the screen. The protective sheet supply unit 73 has a tape-shaped protective sheet 73b in a box-shaped cassette 73a, and the pressure-bonding head in a state where the substrate 2 on which the component 4 is temporarily pressure-bonded is placed on the backup stage 72. The protective sheet 73b is arranged horizontally between 71 and the component 4. As a result, the pressure-bonding head 71 pressure-bonds the component 4 to the substrate 2 via the protective sheet 73b (FIG. 11 (b)), so that the adhesive material of the ACF tape 3 is prevented from adhering to the pressure-bonding head 71. .

保護シート73bはカセット73a内に設けられた一対のローラ部材73cによって巻き取り繰り出しされるようになっており、これら一対のローラ部材73cの動作によって保護シート73bの新しい面を圧着ヘッド71の下方に露出させることができる。保護シート73bの新しい面がなくなった(シート切れを起こした)ときにはオペレータOPが保護シート73bの交換を行う。保護シート73bは使い捨てであるため、オペレータOPは、保護シート73bの交換を行うときには、カセット73aを圧着ヘッド71の下方から取り外した後、新たなカセット73aを圧着ヘッド71の下方に取り付ける。   The protective sheet 73b is taken up and fed out by a pair of roller members 73c provided in the cassette 73a, and the new surface of the protective sheet 73b is moved below the pressure-bonding head 71 by the operation of the pair of roller members 73c. Can be exposed. When the new surface of the protective sheet 73b disappears (the sheet has run out), the operator OP replaces the protective sheet 73b. Since the protective sheet 73b is disposable, when the operator OP replaces the protective sheet 73b, the operator OP removes the cassette 73a from the lower side of the pressure bonding head 71 and then attaches a new cassette 73a to the lower side of the pressure bonding head 71.

中央基板移送部33Cが備える2つの基板載置ステージ53に載置された2枚の基板2について、搭載ヘッド63が上記部品4の搭載作業を行ったら、Y軸テーブル51はそのまま第2のベース部32に沿って左方に(すなわち第1の部品圧着作業部22cの側に水平方向に)移動し、2つの基板載置ステージ53に載置された2枚の基板2の部品4が搭載された部分を2つの部品圧着作業用のバックアップステージ72の上方(圧着ヘッド71の下方)の位置(圧着作業位置)に位置させる。この際、基板載置ステージ53は、記憶部24aに記憶された基板2の位置に関する情報に基づいて移動し、第1の部品圧着作業部22cに対して基板2を位置決めする(図10(a))。   When the mounting head 63 performs the mounting operation of the component 4 on the two substrates 2 placed on the two substrate placement stages 53 provided in the central substrate transfer unit 33C, the Y-axis table 51 remains as it is in the second base. The component 4 of the two substrates 2 mounted on the two substrate mounting stages 53 is mounted by moving to the left along the portion 32 (that is, in the horizontal direction toward the first component crimping operation unit 22c). This portion is positioned above the backup stage 72 for two component crimping operations (below the crimping head 71) (crimping operation position). At this time, the substrate mounting stage 53 moves based on the information regarding the position of the substrate 2 stored in the storage unit 24a, and positions the substrate 2 with respect to the first component crimping operation unit 22c (FIG. 10A). )).

具体的には、Y軸テーブル51は、左側の基板載置ステージ53に載置された基板2については第1補正データ記憶領域KR1に記憶された位置補正量のデータを使用して位置決めを行い、右側の基板載置ステージ53に載置された基板2については第2補正データ記憶領域KR2に記憶された位置補正量のデータを使用して位置決めを行う。そして、上記位置決めが終了したら、第1の部品圧着作業部22cが備える2つの圧着ヘッド71が順次下降し、部品搭載作業部22bが搭載した部品4を2枚の基板2に圧着(本圧着)する(図11(a)→図11(b)→図11(c))。このとき、圧着ヘッド71は保護シート供給ユニット73が供給する保護シート73bを上方から押し付けて部品4を押圧する(図11(b))。   Specifically, the Y-axis table 51 positions the substrate 2 placed on the left substrate placement stage 53 by using the position correction amount data stored in the first correction data storage area KR1. The substrate 2 placed on the right substrate placement stage 53 is positioned using the position correction amount data stored in the second correction data storage area KR2. When the positioning is completed, the two crimping heads 71 included in the first component crimping work unit 22c are sequentially lowered, and the component 4 mounted on the component mounting work unit 22b is crimped to the two substrates 2 (main crimping). (FIG. 11 (a) → FIG. 11 (b) → FIG. 11 (c)). At this time, the crimping head 71 presses the component 4 by pressing the protective sheet 73b supplied from the protective sheet supply unit 73 from above (FIG. 11B).

同様に、右方基板移送部33Rが備える2つの基板載置ステージ53に載置された2枚の基板2について、搭載ヘッド63が部品4の搭載作業を行ったら、Y軸テーブル51はそのまま第2のベース部32に沿って右方(すなわち第2の部品圧着作業部22dの側)に移動し、2つの基板載置ステージ53に載置された2枚の基板2の部品4が搭載された部分を部品圧着作業用のバックアップステージ72の上方(圧着ヘッド71の下方)の位置(圧着作業位置)に位置させる。この際、基板載置ステージ53は、記憶部24aに記憶された基板2の位置に関する情報に基づいて移動し、第2の部品圧着作業部22dに対して基板2を位置決めする(図10(a))。   Similarly, when the mounting head 63 performs the mounting operation of the component 4 on the two substrates 2 placed on the two substrate placement stages 53 included in the right substrate transfer unit 33R, the Y-axis table 51 is left as it is. The two parts 4 of the substrate 2 mounted on the two substrate mounting stages 53 are mounted by moving to the right side (that is, the second component crimping operation unit 22d side) along the two base portions 32. This portion is positioned above the backup stage 72 for component crimping work (below the crimping head 71) (crimping work position). At this time, the substrate mounting stage 53 moves based on the information on the position of the substrate 2 stored in the storage unit 24a, and positions the substrate 2 with respect to the second component crimping operation unit 22d (FIG. 10A). )).

具体的には、Y軸テーブル51は、左側の基板載置ステージ53に載置された基板2については第3補正データ記憶領域KR3に記憶された位置補正量のデータを使用して位置決めを行い、右側の基板載置ステージ53に載置された基板2については第4補正データ記憶領域KR4に記憶された位置補正量のデータを使用して位置決めを行う。そして、上記位置決めが終了したら、第2の部品圧着作業部22dが備える2つの圧着ヘッド71が順次下降し、部品搭載作業部22bが搭載した部品4を2枚の基板2に圧着(本圧着)する(図11(a)→図11(b)→図11(c))。このとき、圧着ヘッド71は保護シート供給ユニット73が供給する保護シート73bを上方から押し付けて部品4を押圧する(図11(b))。   Specifically, the Y-axis table 51 positions the substrate 2 placed on the left substrate placement stage 53 using the position correction amount data stored in the third correction data storage area KR3. The substrate 2 placed on the right substrate placement stage 53 is positioned using the position correction amount data stored in the fourth correction data storage area KR4. When the positioning is completed, the two crimping heads 71 provided in the second component crimping work unit 22d are sequentially lowered, and the component 4 mounted on the component mounting work unit 22b is crimped to the two substrates 2 (main crimping). (FIG. 11 (a) → FIG. 11 (b) → FIG. 11 (c)). At this time, the crimping head 71 presses the component 4 by pressing the protective sheet 73b supplied from the protective sheet supply unit 73 from above (FIG. 11B).

第1の部品圧着作業部22c及び第2の部品圧着作業部22dそれぞれが備える2つの圧着ヘッド71による部品4の圧着作業では、基板載置ステージ53が2つ取り付けられていて2枚の基板2を同時に取り扱う場合、その2つの基板載置ステージ53は1つの移動ステージ52に取り付けられているので、各基板2の対応する圧着ヘッド71に対する位置決めとその後の部品圧着作業は、タイミングをずらして順次行う。   In the crimping operation of the component 4 by the two crimping heads 71 provided in each of the first component crimping operation portion 22c and the second component crimping operation portion 22d, two substrate mounting stages 53 are attached and two substrates 2 are attached. Since the two substrate mounting stages 53 are attached to one moving stage 52, the positioning of each substrate 2 with respect to the corresponding crimping head 71 and the subsequent component crimping operation are sequentially shifted at different timings. Do.

上記の手順によって第1の部品圧着作業部22c又は第2の部品圧着作業部22dが備える2つの圧着ヘッド71が2枚の基板2に対して部品4を圧着したら、移動ステージ52がY軸テーブル51に沿って前方へ移動して「基板受け渡し位置」に復帰する。   When the two crimping heads 71 provided in the first component crimping work part 22c or the second component crimping work unit 22d crimp the component 4 to the two substrates 2 by the above procedure, the moving stage 52 is moved to the Y-axis table. It moves forward along 51 and returns to the “board transfer position”.

なお、2つの基板載置ステージ53に載置された基板2に対する圧着ヘッド71の基板位置決めと圧着ヘッド71による部品4の圧着は、上記したように左右の基板2に対して個別に行うのではなく、同時に行うのであってもよい。すなわち、部品搭載作業において取得した左側の基板載置ステージ53に対する左側の基板2の位置ずれと右側の基板載置ステージ53に対する右側の基板2の位置ずれとの平均値を算出し、左側と右側の基板載置ステージ53をそれぞれの対応する圧着ヘッド71に対して同時に位置決めした後、2つの圧着ヘッド71によって2つの基板2に対して部品4を同時に圧着するようにするようにしてもよい。この場合、個別に位置決めする場合に比べ、若干位置決め精度は下がるが、タクトタイムを短くすることができる。   Note that the substrate positioning of the crimping head 71 with respect to the substrate 2 placed on the two substrate placement stages 53 and the crimping of the component 4 by the crimping head 71 are not performed individually on the left and right substrates 2 as described above. It may be performed simultaneously. That is, the average value of the positional deviation of the left substrate 2 relative to the left substrate placement stage 53 and the positional deviation of the right substrate 2 relative to the right substrate placement stage 53 obtained in the component mounting operation is calculated, and the left and right sides are calculated. The substrate mounting stage 53 may be simultaneously positioned with respect to the corresponding pressure-bonding heads 71, and then the component 4 may be simultaneously pressure-bonded to the two substrates 2 by the two pressure-bonding heads 71. In this case, the tact time can be shortened although the positioning accuracy is slightly lower than in the case of positioning individually.

図1において、基板受け渡し部23は左側(上流工程側)と右側(下流工程側)の2つの基板受け渡しステージ23sを有している。これら左右の2つの基板受け渡しステージ23sは右方基台11cに対して昇降自在に設けられており、2つの基板受け渡しステージ23sには第1の部品圧着作業部22c又は第2の部品圧着作業部22dにおいて部品4の圧着作業が終了した2枚の基板2が載置される。2つの基板受け渡しステージ23sに載置された2枚の基板2は、図示しない基板搬出手段によって、部品実装装置1の下流工程下側に設けられた他の装置に送られる。   In FIG. 1, the substrate transfer section 23 has two substrate transfer stages 23 s on the left side (upstream process side) and the right side (downstream process side). These two left and right substrate transfer stages 23s are provided so as to be movable up and down with respect to the right base 11c. The two substrate transfer stages 23s are either a first component crimping work part 22c or a second component crimping work part. In 22d, the two substrates 2 on which the component 4 is crimped are placed. The two substrates 2 placed on the two substrate delivery stages 23 s are sent to another device provided on the lower side of the component mounting apparatus 1 by a substrate unloading means (not shown).

図1において、基台11の前方領域には左方基台11a、中央基台11b及び右方基台11cにわたってX軸方向に延びた移動ベース81が設けられている。この移動ベース81上には左方から順に3つの基板移載部82(左方基板移載部82a、中央基板移載部82b及び右方基板移載部82c)が設けられている。   In FIG. 1, a moving base 81 extending in the X-axis direction is provided in the front region of the base 11 over the left base 11a, the center base 11b, and the right base 11c. On the moving base 81, three substrate transfer units 82 (a left substrate transfer unit 82a, a central substrate transfer unit 82b, and a right substrate transfer unit 82c) are provided in order from the left.

左方基板移載部82a、中央基板移載部82b及び右方基板移載部82cはそれぞれ、図12に示すように、移動ベース81に対してX軸方向に移動自在に設けられた基部91及び基部91上に設けられた2基のアームユニット92を有する。各アームユニット92は基部91に固定されたアームベース93と、アームベース93から水平後方に延びて設けられた2つのアーム94を備える。各アーム94には吸着面を下方に向けた複数の吸着パッド95が設けられている。各アームユニット92は2つのアーム94に設けられた複数の吸着パッド95(本実施の形態においては4個)を介して1枚の基板2を真空吸着することができる。   As shown in FIG. 12, each of the left substrate transfer portion 82a, the central substrate transfer portion 82b, and the right substrate transfer portion 82c is provided with a base 91 that is movable in the X-axis direction with respect to the movement base 81. And two arm units 92 provided on the base 91. Each arm unit 92 includes an arm base 93 fixed to the base portion 91 and two arms 94 provided to extend horizontally rearward from the arm base 93. Each arm 94 is provided with a plurality of suction pads 95 with suction surfaces facing downward. Each arm unit 92 can vacuum-suck one substrate 2 via a plurality of suction pads 95 (four in the present embodiment) provided on the two arms 94.

左方基板移載部82aは、基板受け取り部21の2つの基板受け取りステージ21sに載置された2枚の基板2を2つのアーム94によってピックアップする。この場合、左方基板移載部82aは、2つの基板受け取りステージ21sの上方に2つのアーム94の吸着パッド95が位置するように移動した状態で、基板2の吸着を行う。この基板2の吸着の際には2つの基板受け取りステージ21sが上昇し、基板2を吸着パッド95に近づける。また、左方基板移載部82aは、上記のようにしてピックアップした2枚の基板2を左方基板移送部33Lの2つの基板保持ステージ36に載置する。この場合、左方基板移載部82aは、ピックアップした2枚の基板2が2つの基板保持ステージ36の上方に位置するように移動した状態で、基板2の吸着解除を行う。この基板2の吸着解除の際には2つの基板保持ステージ36が上昇し、基板2を下方から支持する。   The left substrate transfer unit 82 a picks up the two substrates 2 placed on the two substrate receiving stages 21 s of the substrate receiving unit 21 by the two arms 94. In this case, the left substrate transfer unit 82a sucks the substrate 2 in a state where the suction pads 95 of the two arms 94 are positioned above the two substrate receiving stages 21s. During the suction of the substrate 2, the two substrate receiving stages 21 s are lifted to bring the substrate 2 close to the suction pad 95. Further, the left substrate transfer unit 82a places the two substrates 2 picked up as described above on the two substrate holding stages 36 of the left substrate transfer unit 33L. In this case, the left substrate transfer unit 82 a performs the suction release of the substrate 2 in a state where the two picked up substrates 2 are moved so as to be positioned above the two substrate holding stages 36. When the suction of the substrate 2 is released, the two substrate holding stages 36 are raised to support the substrate 2 from below.

中央基板移載部82bは、左方基板移送部33Lの2つの基板保持ステージ36に載置された2枚の基板2を2つのアーム94によってピックアップする。この場合、中央基板移載部82bは、2つの基板保持ステージ36の上方に2つのアーム94の吸着パッド95が位置するように移動した状態で基板2の吸着を行う。この基板2の吸着の際には2つの基板保持ステージ36が上昇し、基板2を吸着パッド95に近づける。また、中央基板移載部82bは、上記のようにしてピックアップした2枚の基板2を中央基板移送部33Cの2つの基板保持ステージ36又は右方基板移送部33Rの2つの基板保持ステージ36に載置する。この場合、中央基板移載部82bは、ピックアップした2枚の基板2が中央基板移送部33Cの2つの基板保持ステージ36又は右方基板移送部33Rの2つの基板保持ステージ36の上方に位置するように移動したうえで、基板2の吸着解除を行う。この基板2の吸着解除の際には2つの基板保持ステージ36が上昇し、基板2を下方から支持する。   The central substrate transfer part 82b picks up the two substrates 2 placed on the two substrate holding stages 36 of the left substrate transfer part 33L by the two arms 94. In this case, the central substrate transfer unit 82b sucks the substrate 2 in a state where the suction pads 95 of the two arms 94 are positioned above the two substrate holding stages 36. During the suction of the substrate 2, the two substrate holding stages 36 are lifted to bring the substrate 2 close to the suction pad 95. Further, the central substrate transfer unit 82b applies the two substrates 2 picked up as described above to the two substrate holding stages 36 of the central substrate transfer unit 33C or the two substrate holding stages 36 of the right substrate transfer unit 33R. Place. In this case, in the central substrate transfer part 82b, the two substrates 2 picked up are positioned above the two substrate holding stages 36 of the central substrate transfer part 33C or the two substrate holding stages 36 of the right substrate transfer part 33R. Then, the suction of the substrate 2 is released. When the suction of the substrate 2 is released, the two substrate holding stages 36 are raised to support the substrate 2 from below.

右方基板移載部82cは、中央基板移送部33Cの2つの基板保持ステージ36又は右方基板移送部33Rの2つの基板保持ステージ36に載置された2枚の基板2を2つのアーム94によってピックアップする。この場合、右方基板移載部82cは、2つの基板保持ステージ36の上方に2つのアーム94の吸着パッド95が位置するように移動した状態で基板2の吸着を行う。この基板2の吸着の際には2つの基板保持ステージ36が上昇し、基板2を吸着パッド95に近づける。また、右方基板移載部82cは、上記のようにしてピックアップした2枚の基板2を基板受け渡し部23の2つの基板受け渡しステージ23sに載置する。この場合、右方基板移載部82cは、ピックアップした2枚の基板2が2つの基板受け渡すステージ23sの上方に位置するように移動したうえで、基板2の吸着解除を行う。この基板2の吸着解除の際には2つの基板受け渡しステージ23sが上昇し、基板2を下方から支持する。   The right substrate transfer unit 82c is configured to use two arms 94 for the two substrates 2 mounted on the two substrate holding stages 36 of the central substrate transfer unit 33C or the two substrate holding stages 36 of the right substrate transfer unit 33R. Pick up by. In this case, the right-side substrate transfer unit 82c sucks the substrate 2 in a state where the suction pads 95 of the two arms 94 are positioned above the two substrate holding stages 36. During the suction of the substrate 2, the two substrate holding stages 36 are lifted to bring the substrate 2 close to the suction pad 95. The right substrate transfer unit 82c places the two substrates 2 picked up as described above on the two substrate transfer stages 23s of the substrate transfer unit 23. In this case, the right substrate transfer unit 82c moves the picked up two substrates 2 so as to be positioned above the two substrate transfer stages 23s, and then releases the suction of the substrate 2. When the suction of the substrate 2 is released, the two substrate transfer stages 23s are lifted to support the substrate 2 from below.

制御装置24は、左方基板移載部82a、中央基板移載部82b及び右方基板移載部82cそれぞれの移動ベース81に沿ったX軸方向への移動動作、各アームユニット92における吸着パッド95を介した基板2の吸着動作を制御する(図3)。左方基板移載部82aは制御装置24に制御されて、基板受け取り部21から左方基板移送部33Lに基板2を移載する。中央基板移載部82bは制御装置24に制御され、左方基板移送部33Lから中央基板移送部33C又は右方基板移送部33Rに基板2を移載することによって、ACF貼着作業部22aによりACFテープ3が貼着された基板2を、中央基板移送部33Cが備える2つの基板載置ステージ53と、右方基板移送部33Rが備える2つの基板載置ステージ53に振り分けて載置する。また、右方基板移載部82cは制御装置24に制御されて、中央基板移送部33C又は右方基板移送部33Rから基板受け渡し部23に基板2を移載する。   The controller 24 moves the left substrate transfer unit 82a, the central substrate transfer unit 82b, and the right substrate transfer unit 82c in the X-axis direction along the movement base 81, and suction pads in each arm unit 92. The adsorption | suction operation | movement of the board | substrate 2 through 95 is controlled (FIG. 3). The left substrate transfer unit 82a is controlled by the control device 24 to transfer the substrate 2 from the substrate receiving unit 21 to the left substrate transfer unit 33L. The central substrate transfer unit 82b is controlled by the control device 24, and transfers the substrate 2 from the left substrate transfer unit 33L to the central substrate transfer unit 33C or the right substrate transfer unit 33R. The substrate 2 to which the ACF tape 3 is adhered is distributed and placed on the two substrate placement stages 53 provided in the central substrate transfer portion 33C and the two substrate placement stages 53 provided in the right substrate transfer portion 33R. The right substrate transfer unit 82c is controlled by the control device 24 to transfer the substrate 2 from the central substrate transfer unit 33C or the right substrate transfer unit 33R to the substrate transfer unit 23.

次に、部品実装装置1が基板2への部品実装作業を行うときの各部の動作を説明する。制御装置24は、図13に示すように、左方基板移載部82a、中央基板移載部82b及び右方基板移載部82cそれぞれが取り得る位置として、基板受け取り部21の前方位置(第1位置P1)、ACF貼着作業部22aの前方位置(第2位置P2)、部品搭載作業部22bの前方位置(第3位置P3)及び基板受け渡し部23の前方位置(第4位置P4)を定めている。   Next, the operation of each part when the component mounting apparatus 1 performs a component mounting operation on the board 2 will be described. As shown in FIG. 13, the control device 24 sets the front position (first position) of the substrate receiving unit 21 as a position that each of the left substrate transfer unit 82a, the central substrate transfer unit 82b, and the right substrate transfer unit 82c can take. 1 position P1), a front position (second position P2) of the ACF attaching work part 22a, a front position (third position P3) of the component mounting work part 22b, and a front position (fourth position P4) of the board transfer part 23. It has established.

はじめ、左方基板移載部82aは第1位置P1に位置し、中央基板移載部82bは第2位置P2に位置し、右方基板移載部82cは第3位置P3に位置している。また、中央基板移送部33Cは部品搭載作業部22bの前方位置に位置し、右方基板移送部33Rは第2の部品圧着作業部22dの前方位置に位置している。このような状態から、基板受け取り部21は上流工程側の装置から送られてきた2枚の基板2を2つの基板受け取りステージ21sによって受け取り(基板受け取り工程)、左方基板移載部82aは基板受け取り部21が受け取った2枚の基板2を2つのアーム94によってピックアップする(図14(a))。   First, the left substrate transfer part 82a is located at the first position P1, the central substrate transfer part 82b is located at the second position P2, and the right substrate transfer part 82c is located at the third position P3. . Further, the central board transfer section 33C is located at the front position of the component mounting work section 22b, and the right board transfer section 33R is located at the front position of the second component crimping work section 22d. From such a state, the substrate receiving unit 21 receives the two substrates 2 sent from the apparatus on the upstream process side by the two substrate receiving stages 21s (substrate receiving step), and the left substrate transfer unit 82a is the substrate. The two substrates 2 received by the receiving unit 21 are picked up by the two arms 94 (FIG. 14A).

左方基板移載部82aは、基板受け取り部21から2枚の基板2をピックアップしたら第2位置P2に移動し、左方基板移載部82aはピックアップした2枚の基板2を左方基板移送部33Lの2つの基板保持ステージ36に載置して保持させる。このとき中央基板移載部82bは第3位置P3に移動し、右方基板移載部82cは第4位置P4に移動する(図14(b)。基板移載工程)。左方基板移送部33Lは移動ステージ35に基板2を保持したら移動ステージ35を「作業位置」に位置させ、2枚の基板2をACF貼着作業用のバックアップステージ42の上方に位置させる。2枚の基板2がバックアップステージ42の上方に位置したら、その2枚の基板2に対してACF貼着作業部22aがACF貼着作業を実行する(図14(c))。なお、この間、基板受け取り部21の2つの基板受け取りステージ21sには、新たな2枚の基板2が載置される。   The left substrate transfer unit 82a moves to the second position P2 when the two substrates 2 are picked up from the substrate receiving unit 21, and the left substrate transfer unit 82a transfers the picked up two substrates 2 to the left substrate transfer. It is placed and held on the two substrate holding stages 36 of the part 33L. At this time, the central substrate transfer part 82b moves to the third position P3, and the right substrate transfer part 82c moves to the fourth position P4 (FIG. 14B, substrate transfer process). When the substrate transfer unit 33L holds the substrate 2 on the moving stage 35, the moving stage 35 is positioned at the “working position”, and the two substrates 2 are positioned above the backup stage 42 for the ACF attaching operation. When the two substrates 2 are positioned above the backup stage 42, the ACF adhering work unit 22a performs the ACF adhering operation on the two substrates 2 (FIG. 14C). During this period, two new substrates 2 are placed on the two substrate receiving stages 21 s of the substrate receiving unit 21.

ACF貼着作業部22aが2枚の基板2に対してACF貼着作業を実行したら、左方基板移送部33Lは移動ステージ35を「基板受け渡し位置」に位置させ、左方基板移載部82aは第1位置P1に位置し、中央基板移載部82bは第2位置P2に位置し、右方基板移載部82cは第3位置P3に位置する。次いで、左方基板移載部82aが基板受け取り部21の2つの基板受け取りステージ21s上の2枚の基板2をピックアップし、中央基板移載部82bが左方基板移送部33Lから2枚の基板2をピックアップする(図15(a))。   When the ACF adhering operation unit 22a performs the ACF adhering operation on the two substrates 2, the left substrate transfer unit 33L positions the moving stage 35 at the “substrate delivery position”, and the left substrate transfer unit 82a. Is located at the first position P1, the central substrate transfer part 82b is located at the second position P2, and the right substrate transfer part 82c is located at the third position P3. Next, the left substrate transfer unit 82a picks up the two substrates 2 on the two substrate receiving stages 21s of the substrate receiving unit 21, and the central substrate transfer unit 82b receives the two substrates from the left substrate transfer unit 33L. 2 is picked up (FIG. 15A).

左方基板移載部82aが基板受け取り部21の2つの基板受け取りステージ21sから2枚の基板をピックアップし、中央基板移載部82bが左方基板移送部33Lから2枚の基板2をピックアップしたら、左方基板移載部82aは第2位置P2に移動し、中央基板移載部82bは第3位置P3に移動し、右方基板移載部82cは第4位置P4に移動する。そして、左方基板移載部82aは2枚の基板2を左方基板移送部33Lの2つの基板保持ステージ36に載置して保持させ、中央基板移載部82bは2枚の基板2を中央基板移送部33Cの2つの基板載置ステージ53に載置して保持させる(図15(b))。   When the left substrate transfer unit 82a picks up two substrates from the two substrate receiving stages 21s of the substrate receiving unit 21, and the central substrate transfer unit 82b picks up the two substrates 2 from the left substrate transfer unit 33L. The left substrate transfer unit 82a moves to the second position P2, the central substrate transfer unit 82b moves to the third position P3, and the right substrate transfer unit 82c moves to the fourth position P4. The left substrate transfer unit 82a places and holds the two substrates 2 on the two substrate holding stages 36 of the left substrate transfer unit 33L, and the central substrate transfer unit 82b holds the two substrates 2. It is placed and held on the two substrate placement stages 53 of the central substrate transfer part 33C (FIG. 15B).

次いで、左方基板移送部33Lは移動ステージ35を「作業位置」に位置させて、2枚の基板2をACF貼着作業用のバックアップステージ42の上方に位置させる。2枚の基板2がバックアップステージ42の上方に位置したら、その2枚の基板2に対してACF貼着作業部22aがACF貼着作業を実行する。一方、中央基板移送部33Cは移動ステージ52を「作業位置」に位置させたうえで、2つの基板載置ステージ53に載置された2枚の基板2のうちの左方の基板2を部品搭載作業用のバックアップステージ64の上方に位置させる。左方の基板2がバックアップステージ64の上方に位置したら、その基板2に対して部品搭載作業部22bが部品搭載作業を実行する(図15(c))。部品搭載作業部22bが上記部品搭載作業を実行したら、中央基板移送部33Cが左方に移動し、2つの基板載置ステージ53に載置された2枚の基板2のうちの右方の基板2を部品搭載作業用のバックアップステージ64の上方に位置させる。右方の基板2がバックアップステージ64の上方に位置したら、その基板2に対して部品搭載作業部22bが部品搭載作業を実行する(図16(a)。第1の部品搭載工程)。この間、基板受け取り部21の2つの基板受け取りステージ21sには、新たな2枚の基板2が載置される。   Next, the left substrate transfer unit 33L positions the moving stage 35 at the “working position” and positions the two substrates 2 above the backup stage 42 for ACF attachment work. When the two substrates 2 are positioned above the backup stage 42, the ACF adhering operation unit 22a performs the ACF adhering operation on the two substrates 2. On the other hand, the central substrate transfer unit 33C moves the moving stage 52 to the “working position” and then moves the left substrate 2 out of the two substrates 2 placed on the two substrate placement stages 53 to the component. It is positioned above the backup stage 64 for mounting work. When the left substrate 2 is positioned above the backup stage 64, the component mounting operation unit 22b executes the component mounting operation on the substrate 2 (FIG. 15C). When the component mounting operation unit 22b executes the component mounting operation, the central substrate transfer unit 33C moves to the left, and the right substrate of the two substrates 2 mounted on the two substrate mounting stages 53. 2 is positioned above the backup stage 64 for component mounting work. When the right substrate 2 is positioned above the backup stage 64, the component mounting operation unit 22b performs the component mounting operation on the substrate 2 (FIG. 16A, first component mounting step). During this time, two new substrates 2 are placed on the two substrate receiving stages 21 s of the substrate receiving unit 21.

上記のように、2つの基板載置ステージ53に載置された左右の2枚の基板2のうち左側の基板2から右側の基板2の順に部品搭載作業を行うのは、その基板載置ステージ53がその後左側に位置する第1の部品圧着作業部22cへ移動されて部品圧着工程(第1の部品圧着工程)が行われるからである。これにより、基板2に対する部品4の搭載からその搭載された部品4の基板2への圧着までの間に基板2が後戻りするような動きが排除される。   As described above, the component mounting operation is performed in order from the left substrate 2 to the right substrate 2 of the two left and right substrates 2 mounted on the two substrate mounting stages 53. This is because 53 is moved to the first component crimping operation part 22c located on the left side and the component crimping step (first component crimping step) is performed. This eliminates the movement of the substrate 2 returning from the mounting of the component 4 to the substrate 2 to the pressing of the mounted component 4 to the substrate 2.

部品搭載作業部22bが上記部品搭載作業を実行したら、中央基板移送部33Cはそのまま左方(第1の部品圧着作業部22cの側)に移動して2枚の基板2を第1の部品圧着作業部22cに移送し、その2枚の基板2を2つの部品圧着作業用のバックアップステージ72の上方に位置させる。2枚の基板2がバックアップステージ72の上方に位置したら、その2枚の基板2に対して第1の部品圧着作業部22cが部品圧着作業を実行する(図16(b)。第1の部品圧着工程)。また、これと併せて、左方基板移載部82aは第1位置P1に位置して基板受け取り部21から2枚の基板2をピックアップするとともに、左方基板移送部33Lは移動ステージ35を「基板受け渡し位置」に位置させ、中央基板移載部82bが第2位置P2に位置することによって、左方基板移送部33Lから2枚の基板2をピックアップする。また、右方基板移送部33Rが部品搭載作業部22bの前方位置に位置し、右方基板移載部82cが第3位置P3に位置する(図16(b))。   When the component mounting operation unit 22b executes the above component mounting operation, the central substrate transfer unit 33C moves to the left (the first component crimping operation unit 22c side) as it is, and the two substrates 2 are bonded to the first component. The work part 22c is transferred, and the two substrates 2 are positioned above the backup stage 72 for two component crimping operations. When the two substrates 2 are positioned above the backup stage 72, the first component crimping operation unit 22c performs the component crimping operation on the two substrates 2 (FIG. 16B). Crimping process). At the same time, the left substrate transfer unit 82a is positioned at the first position P1 to pick up two substrates 2 from the substrate receiving unit 21, and the left substrate transfer unit 33L moves the moving stage 35 to “ When the central substrate transfer unit 82b is positioned at the second position P2 with the substrate transfer position positioned at the “substrate transfer position”, the two substrates 2 are picked up from the left substrate transfer unit 33L. Further, the right substrate transfer part 33R is located at the front position of the component mounting work part 22b, and the right substrate transfer part 82c is located at the third position P3 (FIG. 16B).

第1の部品圧着作業部22cが上記部品圧着作業を行ったら、右方基板移載部82cが第4位置P4に位置したうえで、中央基板移載部82bが第3位置P3に位置する。そして、中央基板移載部82bは2枚の基板2を右方基板移送部33Rの2つの基板載置ステージ53に載置して保持させ、左方基板移載部82aは第2位置P2に位置して、2枚の基板2を左方基板移送部33Lの2つの基板保持ステージ36に載置して保持させる(図16(c))。   When the first component crimping operation portion 22c performs the component crimping operation, the right substrate transfer portion 82c is positioned at the fourth position P4, and the central substrate transfer portion 82b is positioned at the third position P3. The central substrate transfer part 82b places and holds the two substrates 2 on the two substrate placement stages 53 of the right substrate transfer part 33R, and the left substrate transfer part 82a is at the second position P2. In position, the two substrates 2 are placed and held on the two substrate holding stages 36 of the left substrate transfer section 33L (FIG. 16C).

右方基板移送部33Rと左方基板移送部33Lがそれぞれ基板2を保持したら、左方基板移送部33Lは移動ステージ35を「作業位置」に位置させて2枚の基板2をACF貼着作業用のバックアップステージ42の上方に位置させる。一方、右方基板移送部33Rは移動ステージ52を「作業位置」に位置さたうえで、2枚の基板2のうち右方の基板2を部品搭載作業用のバックアップステージ64の上方に位置させる。左方基板移送部33Lの2枚の基板2がバックアップステージ42の上方に位置したら、その2枚の基板2に対してACF貼着作業部22aがACF貼着作業を実行する。また、右方基板移送部33Rの右方の基板2がバックアップステージ64の上方に位置したら、その基板2に対して部品搭載作業部22bが部品搭載作業を実行する(図17(a))。   When the right-side substrate transfer unit 33R and the left-side substrate transfer unit 33L hold the substrate 2, the left-side substrate transfer unit 33L places the moving stage 35 in the “work position” and attaches the two substrates 2 to the ACF. It is located above the backup stage 42 for use. On the other hand, the right substrate transfer unit 33R positions the moving stage 52 at the “working position” and positions the right substrate 2 out of the two substrates 2 above the backup stage 64 for component mounting work. . When the two substrates 2 of the left substrate transfer unit 33L are positioned above the backup stage 42, the ACF adhering operation unit 22a performs the ACF adhering operation on the two substrates 2. When the right substrate 2 of the right substrate transfer unit 33R is positioned above the backup stage 64, the component mounting operation unit 22b executes the component mounting operation on the substrate 2 (FIG. 17A).

ACF貼着作業部22aがACF貼着作業を実行し、部品搭載作業部22bが部品搭載作業を実行したら、右方基板移送部33Rが右方へ移動して2枚の基板2のうちの左方の基板2を部品搭載作業用のバックアップステージ64の上方に位置させる。左方の基板2がバックアップステージ64の上方に位置したら、その基板2に対して部品搭載作業部22bが部品搭載作業を実行する(図17(b)。第2の部品搭載工程)。この間、基板受け取り部21の2つの基板受け取りステージ21sには、新たな2枚の基板2が載置(搬入)される。   When the ACF adhering operation unit 22a executes the ACF adhering operation and the component mounting operation unit 22b executes the component mounting operation, the right substrate transfer unit 33R moves to the right and moves to the left of the two substrates 2. The other substrate 2 is positioned above the backup stage 64 for component mounting work. When the left substrate 2 is positioned above the backup stage 64, the component mounting operation unit 22b performs a component mounting operation on the substrate 2 (FIG. 17B, second component mounting step). During this time, two new substrates 2 are placed (loaded) on the two substrate receiving stages 21 s of the substrate receiving unit 21.

上記のように、2つの基板載置ステージ53に載置された左右の2枚の基板2のうち右側の基板2から左側の基板2の順に部品搭載作業を行うのは、その基板載置ステージ53がその後右側に位置する第2の部品圧着作業部22dへ移動して部品圧着工程(第2の部品圧着工程)が行われるからである。これにより、基板2に対する部品4の搭載からその搭載された部品4の基板2への圧着までの間に基板2が後戻りするような動きが排除される。   As described above, the component mounting operation is performed in the order from the right substrate 2 to the left substrate 2 of the two left and right substrates 2 mounted on the two substrate mounting stages 53. This is because 53 is then moved to the second component crimping operation part 22d located on the right side and the component crimping step (second component crimping step) is performed. This eliminates the movement of the substrate 2 returning from the mounting of the component 4 to the substrate 2 to the pressing of the mounted component 4 to the substrate 2.

部品搭載作業部22bが上記部品搭載作業を実行したら、右方基板移送部33Rはそのまま右方(第2の部品圧着作業部22dの側)に移動して2枚の基板2を第2の部品圧着作業部22dに移送し、その2枚の基板2を2つの部品圧着作業用のバックアップステージ72の上方に位置させる。2枚の基板2がバックアップステージ72の上方に位置したら、その2枚の基板2に対して第2の部品圧着作業部22dが部品圧着作業を実行する(図17(c)。第2の部品圧着工程)。また、これと併せて、左方基板移載部82aは第1位置P1に位置して基板受け取り部21から2枚の基板2をピックアップするとともに、左方基板移送部33Lは移動ステージ35を「基板受け渡し位置」に位置させ、中央基板移載部82bが第2位置P2に位置することによって、左方基板移送部33Lから2枚の基板2をピックアップする。また、中央基板移送部33Cは移動ステージ52を「基板受け渡し位置」に移動させつつ部品搭載作業部22bの前方位置に移動し、右方基板移載部82cは中央基板移送部33Cから2枚の基板2をピックアップする(図17(c))。   When the component mounting operation unit 22b executes the component mounting operation, the right substrate transfer unit 33R moves to the right (the second component crimping operation unit 22d side) as it is, and the two substrates 2 are moved to the second component. The two substrates 2 are transferred to the crimping work section 22d and positioned above the two component crimping work backup stages 72. When the two substrates 2 are positioned above the backup stage 72, the second component crimping operation unit 22d performs a component crimping operation on the two substrates 2 (FIG. 17C). Crimping process). At the same time, the left substrate transfer unit 82a is positioned at the first position P1 to pick up two substrates 2 from the substrate receiving unit 21, and the left substrate transfer unit 33L moves the moving stage 35 to “ When the central substrate transfer unit 82b is positioned at the second position P2 with the substrate transfer position positioned at the “substrate transfer position”, the two substrates 2 are picked up from the left substrate transfer unit 33L. Further, the central substrate transfer unit 33C moves to the front position of the component mounting work unit 22b while moving the moving stage 52 to the “substrate transfer position”, and the right substrate transfer unit 82c receives two sheets from the central substrate transfer unit 33C. The substrate 2 is picked up (FIG. 17C).

右方基板移載部82cは、2枚の基板2をピックアップしたら第4位置P4に位置し、2枚の基板2を基板受け渡し部23の2つの基板受け渡しステージ23sに載置する。中央基板移載部82bは第3位置P3に位置し、2枚の基板2を中央基板移送部33Cの2つの基板載置ステージ53に載置して保持させる。また、左方基板移載部82aは第2位置P2に位置し、2枚の基板2を左方基板移送部33Lの2つの基板保持ステージ36に載置して保持させる(図18(a))。   When the two substrates 2 are picked up, the right substrate transfer unit 82c is positioned at the fourth position P4, and places the two substrates 2 on the two substrate transfer stages 23s of the substrate transfer unit 23. The central substrate transfer part 82b is located at the third position P3, and places and holds the two substrates 2 on the two substrate placement stages 53 of the central substrate transfer part 33C. Further, the left substrate transfer part 82a is located at the second position P2, and the two substrates 2 are placed and held on the two substrate holding stages 36 of the left substrate transfer part 33L (FIG. 18A). ).

中央基板移送部33Cと左方基板移送部33Lがそれぞれ基板2を保持したら、左方基板移送部33Lは移動ステージ35を「作業位置」に位置させ、2枚の基板2をACF貼着作業用のバックアップステージ42の上方に位置させる。2枚の基板2がバックアップステージ42の上方に位置したら、その2枚の基板2に対してACF貼着作業部22aがACF貼着作業を実行する。一方、中央基板移送部33Cは移動ステージ52を「作業位置」に位置させたうえで、2枚の基板2のうちの左方の基板2を部品搭載作業用のバックアップステージ64の上方に位置させる。左方の基板2がバックアップステージ64の上方に位置したら、その基板2に対して部品搭載作業部22bが部品搭載作業を実行する(図18(b))。   When the central substrate transfer unit 33C and the left substrate transfer unit 33L hold the substrate 2, the left substrate transfer unit 33L positions the moving stage 35 at the “working position” and attaches the two substrates 2 to the ACF attachment work. Is positioned above the backup stage 42. When the two substrates 2 are positioned above the backup stage 42, the ACF adhering operation unit 22a performs the ACF adhering operation on the two substrates 2. On the other hand, the central substrate transfer unit 33C positions the moving stage 52 at the “working position” and then positions the left substrate 2 of the two substrates 2 above the backup stage 64 for component mounting work. . When the left substrate 2 is positioned above the backup stage 64, the component mounting operation unit 22b performs the component mounting operation on the substrate 2 (FIG. 18B).

ACF貼着作業部22aがACF貼着作業を実行し、部品搭載作業部22bが部品搭載作業を実行したら、中央基板移送部33Cは左方へ移動し、2枚の基板2のうちの右方の基板2を部品搭載作業用のバックアップステージ64の上方に位置させる。右方の基板2がバックアップステージ64の上方に位置したら、その基板2に対して部品搭載作業部22bが部品搭載作業を実行する(図18(c)。第1の部品搭載工程)。この間、基板受け取り部21の2つの基板受け取りステージ21sには、新たな2枚の基板2が載置される。   When the ACF adhering unit 22a executes the ACF adhering operation and the component mounting operation unit 22b executes the component mounting operation, the central substrate transfer unit 33C moves to the left and moves to the right of the two substrates 2. The substrate 2 is positioned above the backup stage 64 for component mounting work. When the right substrate 2 is positioned above the backup stage 64, the component mounting operation unit 22b performs the component mounting operation on the substrate 2 (FIG. 18C, first component mounting step). During this time, two new substrates 2 are placed on the two substrate receiving stages 21 s of the substrate receiving unit 21.

部品搭載作業部22bが上記部品搭載作業を実行したら、中央基板移送部33Cがそのまま左方(第1の部品圧着作業部22cの側)に移動して2枚の基板2を第1の部品圧着作業部22cに移送し、その2枚の基板2を2つの部品圧着作業用のバックアップステージ72の上方に位置させる。2枚の基板2がバックアップステージ72の上方に位置したら、その2枚の基板2に対して第1の部品圧着作業部22cが部品圧着作業を実行する(図19(a)。第1の部品圧着工程)。また、これと併せて、左方基板移載部82aは第1の位置P1に位置して基板受け取り部21から2枚の基板2をピックアップするとともに、左方基板移送部33Lは移動ステージ35を「基板受け渡し位置」に位置させ、中央基板移載部82bが第2位置P2に位置することによって、左方基板移送部33Lから2枚の基板2をピックアップする。また、右方基板移送部33Rが移動ステージ52を「基板受け渡し位置」に移動させつつ部品搭載作業部22bの前方に位置し、右方基板移載部82cは右方基板移送部33Rから2枚の基板2をピックアップする(図19(a))。   When the component mounting operation unit 22b performs the component mounting operation, the central substrate transfer unit 33C moves to the left (the first component crimping operation unit 22c side) as it is, and the two substrates 2 are bonded to the first component. The work part 22c is transferred, and the two substrates 2 are positioned above the backup stage 72 for two component crimping operations. When the two substrates 2 are positioned above the backup stage 72, the first component crimping operation unit 22c performs the component crimping operation on the two substrates 2 (FIG. 19A). Crimping process). At the same time, the left substrate transfer unit 82a is located at the first position P1 and picks up two substrates 2 from the substrate receiving unit 21, and the left substrate transfer unit 33L moves the moving stage 35. The two substrates 2 are picked up from the left substrate transfer portion 33L by being positioned at the “substrate transfer position” and the central substrate transfer portion 82b being positioned at the second position P2. In addition, the right substrate transfer unit 33R is positioned in front of the component mounting operation unit 22b while moving the moving stage 52 to the “substrate transfer position”, and two right substrate transfer units 82c from the right substrate transfer unit 33R. The substrate 2 is picked up (FIG. 19A).

第1の部品圧着作業部22cが上記部品圧着作業を行ったら、右方基板移載部82cが第4位置P4に位置して2枚の基板2を基板受け渡し部23の2つの基板受け渡しステージ23sに載置するとともに、中央基板移載部82bが第3位置P3に位置して2枚の基板2を右方基板移送部33Rの2つの基板載置ステージ53に載置して保持させる。また、左方基板移載部82aは第2位置P2に位置して、2枚の基板2を左方基板移送部33Lの2つの基板保持ステージ36に載置して保持させる(図19(b))。   When the first component crimping operation unit 22c performs the component crimping operation, the right substrate transfer unit 82c is positioned at the fourth position P4 and the two substrates 2 are transferred to the two substrate transfer stages 23s of the substrate transfer unit 23. And the central substrate transfer part 82b is positioned at the third position P3 to place and hold the two substrates 2 on the two substrate placement stages 53 of the right substrate transfer part 33R. The left substrate transfer part 82a is positioned at the second position P2, and the two substrates 2 are placed on and held on the two substrate holding stages 36 of the left substrate transfer part 33L (FIG. 19B). )).

この図19(b)の状態は図16(c)の状態と全く同じである。よって、以後、図16(c)〜図19(a)の工程を繰り返すことにより、基板受け取り部21による外部からの基板2の受け取りから基板2への部品4の装着を経て基板受け渡し部23による外部への基板2の受け渡しに至る一連の動作を繰り返し実行して連続的な基板生産を行うことができる。   The state shown in FIG. 19B is exactly the same as the state shown in FIG. Therefore, thereafter, by repeating the steps of FIG. 16C to FIG. 19A, the board delivery unit 23 performs the process of receiving the board 2 from the outside by the board receiving unit 21 and mounting the component 4 on the board 2. Continuous substrate production can be performed by repeatedly executing a series of operations up to delivery of the substrate 2 to the outside.

ところで、上記一連の工程における圧着ヘッド71による基板2への部品4の圧着(本圧着)工程において、保護シート供給ユニット73が供給する保護シート73bの新しい面がなくなってシート切れを起こした場合には、オペレータOPはカセット73aを着脱して保護シート供給ユニット73ごと保護シート73bを交換する必要が生じる。この保護シート73bの交換作業時の実行手順を図20のフローチャートと図21及び図22の動作説明図を用いて説明する。   By the way, when the new surface of the protective sheet 73b supplied by the protective sheet supply unit 73 disappears in the step of pressing the component 4 to the substrate 2 (main pressing) by the pressure-bonding head 71 in the series of steps described above, the sheet is cut. Therefore, the operator OP needs to replace the protective sheet 73b together with the protective sheet supply unit 73 by attaching / detaching the cassette 73a. The execution procedure at the time of the replacement work of the protective sheet 73b will be described with reference to the flowchart of FIG. 20 and the operation explanatory diagrams of FIGS.

制御装置24は保護シート73bがシート切れになったかどうかを、シート切れ検出器100(図3)を用いて常時監視しており(図20に示すステップST11)、シート切れ検出器100がシート切れになった状態を検出した場合には、その情報がシート切れ検知部24S(図3)に入力されてシート切れの状態を検知し得るようになっている。シート切れ検出器100は、例えば、保護シート73bの巻き取り繰り出しを行う前述のローラ部材73cの回転数等によって検出するもの等から成る。   The control device 24 constantly monitors whether or not the protective sheet 73b is out of sheet using the sheet out detector 100 (FIG. 3) (step ST11 shown in FIG. 20), and the sheet out detector 100 is out of sheet. When the state is detected, the information is input to the sheet breakage detection unit 24S (FIG. 3) so that the sheet breakage state can be detected. The sheet break detector 100 includes, for example, a detector that detects the number of rotations of the roller member 73c that performs the winding and unwinding of the protective sheet 73b.

制御装置24は、シート切れ検知部24Sにおいてシート切れの状態を検知(保護シート73bを交換すべき状態を検出)した場合には(検出工程)、各部の動作を全て停止させ(ステップST12)、シート切れを起こした保護シート73bを用いて部品4の圧着が行われていた基板2の位置を記憶部24aに記憶したうえで(ステップST13)、報知制御部24H(図3)よりランプ等の報知器82を通じてオペレータOPにシート切れが発生した旨の報知を行う。そして、基板載置ステージ移動手段である中央基板移送部33C又は右方基板移送部33Rにより基板載置ステージ53を「作業位置」から退避させることによって、ステージ退避工程を実行する。このステージ退避工程では、シート切れを起こした側の部品圧着作業部22c、22d(本実施の形態の場合は部品圧着作業部22d)において部品4の圧着を行っていた基板2を載置している基板載置ステージ53をその移動手段である中央基板移送部33C又は右方基板移送部33R(本実施の形態の場合は右方基板移送部33R)によって「作業位置」から退避させる(図21(a)→図21(b)。ステップST14)。更に、基板載置ステージ53上の基板2を基板移載手段としての中央基板移載部82b又は右方基板移載部82c(本実施の形態の場合は中央基板移載部82b)により、基板載置ステージ53から基板2を退避させる(図21(b)→図21(c)。ステップST15。基板退避工程)。上記ステージ退避工程及び基板退避工程を含む退避工程が実行されたら、オペレータOPは、基板載置ステージ53が「作業位置」から退避された状態(図21(c)の状態)で、保護シート73bの交換作業を行う(ステップST16。保護シート交換工程)。   When the sheet breakage detection unit 24S detects a sheet breakage state (detects a state in which the protective sheet 73b should be replaced) (detection step), the control device 24 stops all the operations of the respective units (step ST12). After storing the position of the substrate 2 on which the component 4 has been pressure-bonded in the storage unit 24a using the protective sheet 73b that has caused the sheet cut (step ST13), the notification control unit 24H (FIG. 3) uses a lamp or the like. The operator OP is notified through the notification device 82 that the sheet has run out. Then, the stage retracting step is executed by retracting the substrate placing stage 53 from the “working position” by the central substrate transporting part 33C or the right substrate transporting part 33R which is the substrate placing stage moving means. In this stage evacuation step, the substrate 2 on which the component 4 has been crimped in the component crimping working portions 22c and 22d (in the present embodiment, the component crimping working portion 22d) on the side where the sheet is cut is placed. The substrate mounting stage 53 is retreated from the “work position” by the central substrate transfer unit 33C or the right substrate transfer unit 33R (in this embodiment, the right substrate transfer unit 33R) as the moving means (FIG. 21). (A)-> Drawing 21 (b) Step ST14). Further, the substrate 2 on the substrate placement stage 53 is transferred to a substrate by a central substrate transfer portion 82b or a right substrate transfer portion 82c (in this embodiment, the central substrate transfer portion 82b) as a substrate transfer means. The substrate 2 is retracted from the mounting stage 53 (FIG. 21 (b) → FIG. 21 (c), step ST15, substrate retracting step). When the evacuation process including the stage evacuation process and the substrate evacuation process is executed, the operator OP is in a state where the substrate placement stage 53 is evacuated from the “working position” (the state shown in FIG. 21C), and the protective sheet 73b. Is replaced (step ST16, protective sheet replacement step).

制御装置24は、上記オペレータOPによる保護シート73bの交換作業が完了したかどうかを、オペレータOPが所定の操作を行ったか否かによって判断し(ステップST17)、その結果、保護シート73bの交換作業が完了していた場合には、シート切れを検知した時点で、シート切れした側の圧着作業部で圧着作業の対象となっていた基板2に対して実装予定の全ての部品4の圧着作業が終了していたかどうかの判断を行う(ステップST18)。その結果、シート切れを検知した時点で、シート切れした側の圧着作業部で圧着作業の対象となっていた基板2に対して実装予定の全ての部品4の圧着作業が終了していなかった場合には、ステップST13で記憶した基板2の位置の情報に基づいて、中央基板移載部82b又は右方基板移載部82c(本実施の形態の場合は中央基板移載部82b)により、基板2を中央基板移送部33C又は右方基板移送部33Rの基板載置ステージ53(本実施の形態の場合は右方基板移送部33R)に戻すとともに、中央基板移送部33C又は右方基板移送部33R(本実施の形態の場合は右方基板移送部33R)により、基板載置ステージ53を「作業位置」に戻す。すなわち基板2を元の位置に復帰させる(ステップST19)。そして、基板2が元の位置に復帰したら、圧着ヘッド71を作動させて基板2への部品4の圧着(本圧着)を再開する(ステップST20)。   The control device 24 determines whether or not the replacement operation of the protective sheet 73b by the operator OP is completed based on whether or not the operator OP has performed a predetermined operation (step ST17). As a result, the replacement operation of the protective sheet 73b is performed. In the case where the sheet cutting is detected, the crimping operation of all the components 4 scheduled to be mounted on the substrate 2 that has been the object of the crimping operation in the crimping operation unit on the side where the sheet has been cut is performed. It is determined whether or not the process has been completed (step ST18). As a result, when the sheet cutting is detected, the crimping operation of all the components 4 scheduled to be mounted on the substrate 2 that has been the object of the crimping operation in the crimping operation unit on the sheet cutting side has not been completed. In step ST13, based on the information on the position of the substrate 2, the central substrate transfer unit 82b or the right substrate transfer unit 82c (in this embodiment, the central substrate transfer unit 82b) 2 is returned to the substrate placement stage 53 of the central substrate transfer unit 33C or the right substrate transfer unit 33R (the right substrate transfer unit 33R in the present embodiment), and the central substrate transfer unit 33C or the right substrate transfer unit The substrate placement stage 53 is returned to the “working position” by 33R (in the case of the present embodiment, the right substrate transfer unit 33R). That is, the substrate 2 is returned to the original position (step ST19). And if the board | substrate 2 returns to the original position, the crimping | compression-bonding head 71 will be operated and the crimping | compression-bonding (main crimping) of the components 4 to the board | substrate 2 will be restarted (step ST20).

一方、ステップST18において、シート切れを検知した時点で、シート切れした側の圧着作業部で圧着作業の対象となっていた基板2に対して実装予定の全ての部品4の圧着作業が終了していた場合には、制御装置24は、中央基板移載部82bにより基板2を右方基板移送部33Rの基板載置ステージ53に戻した後(図21(c)→図22(a))、基板載置ステージ53上の基板2を右方基板移載部82cで吸着し(図22(a)→図22(b))、第4位置P4に移動させて(図22(b)→図22(c))、そのまま基板2を後工程に搬出する(ステップST21)。なお、基板2の基板退避工程を右方基板移載部82cで実行していた場合には、本実施の形態で説明したような基板載置ステージ53を介した中央基板移載部82bから右方基板移載部82cへの基板2の持ち替えを行わずにそのまま第4位置P4から基板2を搬出する。   On the other hand, in step ST18, when the sheet breakage is detected, the crimping operation of all the components 4 scheduled to be mounted on the substrate 2 that has been the object of the crimping operation in the crimping operation unit on the sheet cutting side has been completed. In this case, the control device 24 returns the substrate 2 to the substrate placement stage 53 of the right substrate transfer unit 33R by the central substrate transfer unit 82b (FIG. 21 (c) → FIG. 22 (a)). The substrate 2 on the substrate mounting stage 53 is sucked by the right substrate transfer portion 82c (FIG. 22 (a) → FIG. 22 (b)) and moved to the fourth position P4 (FIG. 22 (b) → FIG. 22 (c)), the substrate 2 is carried out to the subsequent process as it is (step ST21). If the substrate retracting process of the substrate 2 has been executed by the right substrate transfer unit 82c, the right side of the central substrate transfer unit 82b via the substrate mounting stage 53 as described in the present embodiment will be described. The substrate 2 is unloaded from the fourth position P4 without changing the substrate 2 to the side substrate transfer portion 82c.

以上説明したように、本実施の形態における部品実装装置1では、保護シート73bを交換すべき状態が検出された場合には、基板載置ステージ53を「作業位置」から退避させるようにしているので、オペレータOPは保護シート73bの交換作業(カセット73aの取り外し及び取り付け作業)を容易にかつ短時間で行うことができる。このため保護シート73bの交換作業の作業効率が向上し、部品実装装置1による基板の生産性を向上させることができる。また、オペレータOPが保護シート73bの交換作業時に、基板載置ステージ53上の基板2に接触する危険性を低減できるので、結果としてガラスパネル等の基板2の破損の可能性を低減できるという効果も期待できる。   As described above, in the component mounting apparatus 1 according to the present embodiment, when the state in which the protection sheet 73b is to be replaced is detected, the substrate mounting stage 53 is retracted from the “working position”. Therefore, the operator OP can easily and in a short time replace the protective sheet 73b (remove and attach the cassette 73a). For this reason, the work efficiency of the replacement | exchange work of the protection sheet 73b improves, and the productivity of the board | substrate by the component mounting apparatus 1 can be improved. Further, since the risk of the operator OP contacting the substrate 2 on the substrate placement stage 53 during the replacement operation of the protective sheet 73b can be reduced, the possibility that the substrate 2 such as a glass panel is damaged as a result can be reduced. Can also be expected.

また、退避工程は、基板載置ステージ53を「作業位置」から移動させた後、更に、基板移載手段である右方基板移載部82cにより基板載置ステージ53から基板2を移動させて行うようになっているので、オペレータOPはより容易に保護シート73bの交換作業を行うことができる。   In the retreating process, after the substrate placement stage 53 is moved from the “working position”, the substrate 2 is moved from the substrate placement stage 53 by the right substrate transfer portion 82c which is a substrate transfer means. Thus, the operator OP can more easily replace the protective sheet 73b.

また、基板2に対する部品4の圧着作業が終了する前に保護シート73bを交換すべき状態が検出された場合には、予め記憶しておいた退避工程を実行する前の基板2の位置の情報に基づいて、保護シート交換工程の後に、基板2を退避工程の実行前の位置に戻して圧着作業を再開するようになっているので、退避工程の後は基板2が元に戻されて圧着作業を自動で継続できる。一方、基板2に対する部品4の圧着作業が終了したときに保護シート73bを交換すべき状態が検出された場合には、保護シート交換工程の後、基板搬出手段である右方基板移送部33Rにより、基板2を退避工程の実行前の位置に戻すことなく後工程に搬出するようになっている。このため、退避工程の後は基板2が元に戻されて圧着作業を自動で継続できる一方、退避工程の後、基板2を元の位置に戻す必要のない場合にまで基板2を元の位置に戻す無駄な動作がなくなり、効率よく基板2への部品4の圧着作業を行うことができる。   Further, when it is detected that the protective sheet 73b should be replaced before the crimping operation of the component 4 to the substrate 2 is completed, the information on the position of the substrate 2 before executing the pre-stored evacuation process. Therefore, after the protective sheet replacement process, the substrate 2 is returned to the position before the retreat process and the crimping operation is restarted. Work can be continued automatically. On the other hand, when it is detected that the protective sheet 73b is to be replaced when the crimping operation of the component 4 to the substrate 2 is completed, the right substrate transfer unit 33R that is the substrate carry-out means is used after the protective sheet replacement step. The substrate 2 is carried out to the subsequent process without returning to the position before execution of the retracting process. Therefore, after the retracting process, the substrate 2 is returned to the original position and the crimping operation can be automatically continued. On the other hand, after the retracting process, the substrate 2 is moved to the original position until it is not necessary to return the substrate 2 to the original position. The useless operation of returning to (4) is eliminated, and the component 4 can be efficiently crimped to the substrate 2.

なお、部品実装装置1の構成は、本実施の形態において説明した構成に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜選択可能である。例えば、本実施の形態に記載の部品実装装置と異なり、作業部ごとに基板載置ステージを有し、作業部ごとに基板移送部を有するような構成でも同様の効果を有する。   The configuration of the component mounting apparatus 1 is not limited to the configuration described in the present embodiment, and can be selected as appropriate without departing from the spirit of the present invention. For example, unlike the component mounting apparatus described in the present embodiment, a configuration having a substrate placement stage for each working unit and a substrate transfer unit for each working unit has the same effect.

保護シートの交換作業を容易にかつ短時間で行うことができるようにした部品実装装置における保護シート交換方法を提供する。   Provided is a method for replacing a protective sheet in a component mounting apparatus in which the protective sheet can be easily replaced in a short time.

1 部品実装装置
2 基板
4 部品
33C 中央基板移送部(基板載置ステージ移動手段)
33R 右方基板移送部(基板載置ステージ移動手段)
53 基板載置ステージ
71 圧着ヘッド
73b 保護シート
82c 右方基板移載部(基板移載手段)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Component mounting apparatus 2 Board | substrate 4 Components 33C Central board | substrate transfer part (board | substrate mounting stage moving means)
33R Right-side substrate transfer unit (substrate placement stage moving means)
53 Substrate placement stage 71 Crimp head 73b Protective sheet 82c Right side substrate transfer part (substrate transfer means)

Claims (4)

上面に部品が搭載された基板を保持する基板載置ステージと、前記基板載置ステージに対して前記基板の移載を行う基板移載手段と、前記基板載置ステージを移動させる基板載置ステージ移動手段と、前記基板載置ステージ移動手段により所定の作業位置に位置決めされた前記基板載置ステージの上方から下降し、前記部品を前記基板に圧着する圧着ヘッドと、前記圧着ヘッドと前記部品の間に配置される保護シートとを備えた部品実装装置における保護シート交換方法であって、
前記保護シートを交換すべき状態を検出する検出工程と、
前記検出工程において前記保護シートを交換すべき状態が検出された場合に、前記基板載置ステージ移動手段により前記基板載置ステージを前記作業位置から退避させる退避工程と、
前記基板載置ステージを前記作業位置から退避させた状態で前記保護シートの交換を行う保護シート交換工程とを含むことを特徴とする部品実装装置における保護シート交換方法。
A substrate placement stage for holding a substrate having components mounted on the upper surface, substrate transfer means for transferring the substrate to the substrate placement stage, and a substrate placement stage for moving the substrate placement stage Moving means, a pressure-bonding head that descends from above the substrate-loading stage positioned at a predetermined work position by the substrate-loading stage moving means, and pressure-bonds the component to the substrate; and the pressure-bonding head and the component A protective sheet replacement method in a component mounting apparatus provided with a protective sheet disposed between,
A detection step of detecting a state in which the protective sheet is to be replaced;
A retracting step of retracting the substrate mounting stage from the working position by the substrate mounting stage moving means when a state in which the protection sheet should be replaced is detected in the detecting step;
A protection sheet replacement method in a component mounting apparatus, comprising: a protection sheet replacement step of replacing the protection sheet in a state where the substrate placement stage is retracted from the work position.
前記退避工程は、前記基板載置ステージを前記作業位置から移動させた後、更に、前記基板移載手段により前記基板載置ステージから前記基板を移動させて行うことを特徴とする請求項1に記載の部品実装装置における保護シート交換方法。   2. The retracting step is performed by moving the substrate mounting stage from the working position, and further moving the substrate from the substrate mounting stage by the substrate transfer means. A protective sheet replacement method in the component mounting apparatus described. 前記基板に対する前記部品の圧着作業が終了する前に前記保護シートを交換すべき状態が検出された場合には、予め記憶しておいた前記退避工程を実行する前の前記基板の位置の情報に基づいて、前記保護シート交換工程の後に、前記基板を前記退避工程の実行前の位置に戻して前記圧着作業を再開することを特徴とする請求項1又は2に記載の部品実装装置における保護シート交換方法。   If it is detected that the protective sheet should be replaced before the component crimping operation to the substrate is completed, the previously stored information on the position of the substrate before executing the retraction step is detected. The protective sheet in the component mounting apparatus according to claim 1, wherein after the protective sheet replacement step, the crimping operation is resumed by returning the substrate to a position before the retreating step. method of exchange. 前記基板に対する前記部品の圧着作業が終了したときに前記保護シートを交換すべき状態が検出された場合には、前記保護シート交換工程の後、前記基板搬出手段により、前記基板を前記退避工程の実行前の位置に戻すことなく後工程に搬出することを特徴とする請求項3に記載の部品実装装置における保護シート交換方法。   When it is detected that the protective sheet should be replaced when the crimping operation of the component to the substrate is completed, after the protective sheet replacement step, the substrate is removed by the substrate unloading means. 4. The protective sheet replacement method in the component mounting apparatus according to claim 3, wherein the protective sheet is carried out to a subsequent process without returning to a position before execution.
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