JP5510395B2 - Component mounting apparatus and component mounting method - Google Patents

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本発明は、吸着ツールにより部品を吸着して基板の電極部に装着する部品実装装置及び部品実装方法に関するものである。   The present invention relates to a component mounting apparatus and a component mounting method for sucking a component with a suction tool and mounting the component on an electrode portion of a substrate.

パネル状の基板の周辺部位に設けられた複数の電極部のそれぞれに駆動回路等の部品(電子部品)を装着する液晶パネル製造システムでは、ACF装着装置によって各電極部に貼着されたACF(Anisotropic Conductive Film:異方性導電膜)テープの切片に部品を仮圧着する部品実装装置としての仮圧着装置を備えている。   In a liquid crystal panel manufacturing system in which a component (electronic component) such as a drive circuit is mounted on each of a plurality of electrode portions provided on a peripheral portion of a panel-like substrate, an ACF (ACF) attached to each electrode portion by an ACF mounting device. Anisotropic Conductive Film (Anisotropic Conductive Film) includes a temporary pressure bonding device as a component mounting device for temporarily pressure bonding a component to a piece of tape.

仮圧着装置は、電極部を有した基板を保持する基板保持部、垂直軸回りに回転自在に設けられて部品を吸着する吸着ツール、動力伝達機構を介して吸着ツールを回転させる駆動軸を有し、この駆動軸を最終的に一の方向(第1の方向とする)に回転させることによって吸着ツールの回転を駆動軸の第1の方向への回転に追従させた状態で吸着ツールの回転方向の位置決めを行う回転モータを備えている。そして、撮像視野を上方に向けたカメラによって、吸着ツールに吸着された部品の水平面内方向の回転角度である部品角度を検出した後、基板保持部に保持させた基板の電極部の水平面内方向の回転角度である電極部角度を検出し、得られた結果(検出された部品角度と検出された電極部角度)に基づいて算出される目標回転位置(吸着ツールに吸着させた部品の角度を電極部角度に一致させる場合の吸着ツールの回転位置)に吸着ツールを位置決めしたうえで吸着ツールを基板に対して下降させることにより、部品を基板の電極部に装着させるようになっている(例えば、特許文献1)。   The temporary crimping device has a substrate holding portion for holding a substrate having an electrode portion, a suction tool that is rotatably provided around a vertical axis and sucks components, and a drive shaft that rotates the suction tool via a power transmission mechanism. The rotation of the suction tool in a state where the rotation of the suction tool follows the rotation of the drive shaft in the first direction by finally rotating the drive shaft in one direction (the first direction). A rotating motor is provided for positioning in the direction. Then, after detecting the component angle, which is the rotation angle in the horizontal plane direction of the component sucked by the suction tool, with the camera whose imaging field of view is directed upward, the horizontal plane direction of the electrode portion of the substrate held by the substrate holding portion The rotation angle of the electrode part is detected, and the target rotation position (the angle of the part sucked by the suction tool is calculated based on the obtained result (the detected part angle and the detected electrode part angle)). The component is mounted on the electrode portion of the substrate by positioning the suction tool at the rotation position of the suction tool when matching the electrode portion angle and lowering the suction tool with respect to the substrate (for example, Patent Document 1).

上記の吸着ツールの位置決めを行うにおいては、検出した電極部角度と部品角度の関係等に基づいて、吸着ツールに吸着された部品の角度を検出した電極部角度に一致させるとした場合に、回転モータの駆動軸をそのまま吸着ツールを目標回転位置に位置させる方向に回転させたのでは、動力伝達機構内に存在するバックラッシに起因する回転モータの駆動軸に対する吸着ツールの不追従が生じてしまい、回転モータの駆動軸によって吸着ツールの回転方向の位置制御を行うことができないこととなる場合には、先ず回転モータの駆動軸を第1の方向とは反対の第2の方向に回転させるアンチバックラッシ動作を実行し、その後に回転モータの駆動軸を第1の方向に回転させて吸着ツールを目標回転位置に位置決めする。   When positioning the above suction tool, if the angle of the part sucked by the suction tool is made to match the detected electrode part angle based on the relationship between the detected electrode part angle and the part angle, etc. If the motor drive shaft is rotated as it is in the direction in which the suction tool is positioned at the target rotation position, non-following of the suction tool to the drive shaft of the rotary motor due to backlash existing in the power transmission mechanism occurs. In the case where the position control in the rotation direction of the suction tool cannot be performed by the drive shaft of the rotary motor, first, the anti-backlash that rotates the drive shaft of the rotary motor in the second direction opposite to the first direction. The operation is executed, and then the drive shaft of the rotary motor is rotated in the first direction to position the suction tool at the target rotational position.

特開平10−190294号公報JP-A-10-190294

しかしながら、上述のように、従来の部品実装装置において、吸着ツールを目標回転位置に位置決めする際にアンチバックラッシ動作が必要となるか否かは部品角度と電極部角度との関係に応じて変わるため、アンチバックラッシ動作は必ず電極部角度の検出の後に行われることになり、部品ひとつ当たりに要する電極部への装着時間が長くなって基板の生産性が低下するという問題点があった。   However, as described above, in the conventional component mounting apparatus, whether or not the anti-backlash operation is necessary when positioning the suction tool at the target rotation position depends on the relationship between the component angle and the electrode portion angle. The anti-backlash operation is always performed after the detection of the electrode portion angle, and there is a problem that the mounting time to the electrode portion required for each part becomes long and the productivity of the substrate is lowered.

そこで本発明は、部品ひとつ当たりに要する電極部への装着時間を短縮して基板の生産性を向上させることができる部品実装装置及び部品実装方法を提供することを目的とする。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a component mounting apparatus and a component mounting method capable of improving the productivity of a substrate by shortening the mounting time required for each component.

請求項1に記載の部品実装装置は、電極部を有した基板を保持する基板保持部と、垂直軸回りに回転自在に設けられて部品を吸着する吸着ツールと、動力伝達機構を介して吸着ツールを回転させる駆動軸を有し、この駆動軸を最終的に第1の方向に回転させることによって吸着ツールの回転を駆動軸の前記第1の方向への回転に追従させた状態で吸着ツールの回転方向の位置決めを行う回転モータと、吸着ツールに吸着された部品の水平面内方向の回転角度である部品角度を検出する部品角度検出手段と、部品角度検出手段により部品角度が検出された後、基板保持部に保持された基板の電極部の水平面内方向の角度である電極部角度を検出する電極部角度検出手段と、電極部角度検出手段による電極部角度の検出と並行して電極部角度の仮設定値を設定する電極部角度仮設定値設定手段と、電極部角度仮設定値設定手段により設定された電極部角度の前記仮設定値と部品角度検出手段により検出された部品角度の関係に基づいて、吸着ツールに吸着された部品の角度を電極部角度の前記仮設定値に一致させるとした場合に、回転モータの駆動軸を前記第1の方向に回転させる前に、動力伝達機構内に存在するバックラッシに起因する回転モータの駆動軸に対する吸着ツールの不追従が生じないようにするために回転モータの駆動軸を前記第1の方向とは反対の第2の方向に回転させるアンチバックラッシ動作を実行する必要があるか否かの判断を行う判断手段と、部品角度検出手段により検出された部品角度と電極部角度検出手段により検出された電極部角度とに基づいて、吸着ツールに吸着された部品の角度を電極部角度検出手段により検出された電極部角度に一致させる場合の吸着ツールの回転位置である目標回転位置の算出を行う目標回転位置算出手段と、判断手段によりアンチバックラッシ動作を実行する必要がないと判断された場合には、電極部角度検出手段による電極部角度の検出が行われた後に回転モータの駆動軸を前記第1の方向に回転させて吸着ツールを目標回転位置算出手段により算出された目標回転位置に位置決めし、判断手段によりアンチバックラッシ動作を実行する必要があると判断された場合には、電極部角度検出手段による電極部角度の検出と並行して回転モータの駆動軸を前記第2の方向に回転させるアンチバックラッシ動作を行い、電極部角度検出手段による電極部角度の検出が行われた後に回転モータの駆動軸を前記第1の方向に回転させて吸着ツールを目標回転位置算出手段により算出された目標回転位置に位置決めする吸着ツール位置決め制御手段と、目標回転位置算出手段により算出された目標回転位置に位置決めされた吸着ツールを基板に対して下降させて吸着ツールに吸着された部品を基板の電極部に装着させる装着制御手段とを備え、同一の基板上に一列に並んだ複数の電極部から成る電極部列に対して行う2回目以降の電極部への部品の装着時、電極部角度仮設定値設定手段により設定される電極部角度の前記仮設定値として、前回の部品の装着時に電極部角度検出手段により検出された電極部角度が用いられるThe component mounting apparatus according to claim 1, wherein a substrate holding portion that holds a substrate having an electrode portion, a suction tool that is rotatably provided around a vertical axis and sucks a component, and suction via a power transmission mechanism a drive shaft for rotating the tool, suction tool in a state in which to follow the rotation of the first direction of the drive shaft rotation of the suction tool by rotating the drive shaft to the final first direction A rotation motor that positions the rotation direction of the component, a component angle detection unit that detects a component angle that is a rotation angle in the horizontal plane of the component that is sucked by the suction tool, and after the component angle is detected by the component angle detection unit An electrode portion angle detecting means for detecting an electrode portion angle which is an angle in a horizontal plane direction of the electrode portion of the substrate held by the substrate holding portion, and the electrode portion in parallel with the detection of the electrode portion angle by the electrode portion angle detecting means Temporary angle An electrode portion angle provisional setting value setting means for setting a value, based on the relationship of the detected parts angle by the provisional setpoint and the component angle detection means configured electrode unit angle by the electrode unit angle provisional setting value setting means Te, when a match with the temporary set value of the angle of the electrode portion angle of the component sucked by the suction tool, prior to rotating the drive shaft of the rotary motor in the first direction, in the power transmission mechanism anti-backlash operation of rotating in a second direction opposite the first direction the drive shaft of the rotary motor in order to not follow do not occur in the suction tool relative to the drive shaft of the rotary motor due to the existing backlash Is determined based on the determination means for determining whether or not it is necessary to perform the operation, the component angle detected by the component angle detection means and the electrode angle detected by the electrode angle detection means. A target rotational position calculating means for calculating a target rotational position, which is a rotational position of the suction tool when the angle of the part sucked by the tool is made to coincide with the electrode part angle detected by the electrode part angle detecting means, and a judging means If it is determined that there is no need to perform anti-backlash operation is a driving shaft of the rotary motor is rotated in the first direction after the detection of the electrode unit angle by the electrode unit angle detection unit were made adsorbed by When the tool is positioned at the target rotation position calculated by the target rotation position calculation means and the anti-backlash operation is determined to be executed by the determination means, the detection of the electrode part angle by the electrode part angle detection means in parallel the drive shaft of the rotary motor performs anti backlash operation of rotating in the second direction, performed electrode unit angle of the detection by the electrode unit angle detection means The drive shaft of the rotary motor and the suction tool positioning control means for positioning the target rotational position calculated by the target rotational position calculating means suction tool is rotated in the first direction after being calculated by the target rotational position calculating means And mounting control means for lowering the suction tool positioned at the target rotation position to the board and mounting the parts sucked by the suction tool on the electrode part of the board, arranged in a line on the same board As the temporary setting value of the electrode portion angle set by the electrode portion angle temporary setting value setting means, when the component is mounted on the electrode portion for the second time or later performed on the electrode portion row composed of a plurality of electrode portions, The electrode portion angle detected by the electrode portion angle detecting means when the component is mounted is used .

請求項に記載の部品実装方法は、電極部を有した基板を保持する基板保持部と、垂直軸回りに回転自在に設けられて部品を吸着する吸着ツールと、動力伝達機構を介して吸着ツールを回転させる駆動軸を有し、この駆動軸を最終的に第1の方向に回転させることによって吸着ツールの回転を駆動軸の前記第1の方向への回転に追従させた状態で吸着ツールの回転方向の位置決めを行う回転モータとを備えた部品実装装置による部品実装方法であって、基板保持部に基板を保持させる工程と、吸着ツールに部品を吸着させる工程と、吸着ツールに吸着させた部品の水平面内方向の回転角度である部品角度を検出する工程と、部品角度を検出した後、基板保持部に保持させた基板の電極部の水平面内方向の角度である電極部角度を検出する工程と、電極部角度の検出と並行して電極部角度の仮設定値の設定を行う工程と、設定した電極部角度の前記仮設定値と検出した部品角度の関係に基づいて、吸着ツールに吸着させた部品の角度を電極部角度の前記仮設定値に一致させるとした場合に、回転モータの駆動軸を前記第1の方向に回転させる前に、動力伝達機構内に存在するバックラッシに起因する回転モータの駆動軸に対する吸着ツールの不追従が生じないようにするために回転モータの駆動軸を前記第1の方向とは反対の第2の方向に回転させるアンチバックラッシ動作を実行する必要があるか否かの判断を行う工程と、検出した部品角度と検出した電極部角度とに基づいて、吸着ツールに吸着させた部品の角度を検出した電極部角度に一致させる場合の吸着ツールの回転位置である目標回転位置の算出を行う工程と、アンチバックラッシ動作を実行する必要がないと判断した場合には、電極部角度の検出を行った後に回転モータの駆動軸を前記第1の方向に回転させて吸着ツールを目標回転位置に位置決めし、アンチバックラッシ動作を実行する必要があると判断した場合には、電極部角度の検出と並行して回転モータの駆動軸を前記第2の方向に回転させるアンチバックラッシ動作を行い、電極部角度の検出を行った後に回転モータの駆動軸を前記第1の方向に回転させて吸着ツールを目標回転位置に位置決めする工程と、目標回転位置に位置決めした吸着ツールを基板に対して下降させて吸着ツールに吸着させた部品を基板の電極部に装着させる工程とを含み、同一の基板上に一列に並んだ複数の電極部から成る電極部列に対して行う2回目以降の電極部への部品の装着時、設定する電極部角度の前記仮設定値として、前回の部品の装着時に検出した電極部角度を用いるAccording to a second aspect of the present invention, there is provided a component mounting method comprising: a substrate holding portion that holds a substrate having an electrode portion; a suction tool that is rotatably provided around a vertical axis; a drive shaft for rotating the tool, suction tool in a state in which to follow the rotation of the first direction of the drive shaft rotation of the suction tool by rotating the drive shaft to the final first direction A component mounting method using a component mounting apparatus having a rotation motor for positioning in the rotation direction of the substrate, the step of holding the substrate on the substrate holding part, the step of sucking the component on the suction tool, and the suction tool Detecting the component angle, which is the rotation angle of the component in the horizontal plane, and detecting the component angle, and then detecting the electrode portion angle, which is the angle in the horizontal plane of the electrode portion of the substrate held by the substrate holder Process A step of setting the provisional setpoint in parallel electrode portion angle and the detection electrode unit angle, based on the component angle relationship detected with the temporarily set value of the electrode portion angle set, adsorbed to suction tool in case of a match the angle of the part obtained by the provisionally set value of the electrode unit angle, prior to rotating the drive shaft of the rotary motor in the first direction, due to the backlash present in the power transmission mechanism it is necessary to run the anti-backlash operation of rotating in a second direction opposite to the driving shaft of the rotary motor in order to prevent the occurrence is not follow the suction tool relative to the drive shaft of the rotary motor to the first direction Rotation position of the suction tool when the angle of the part sucked by the suction tool is made to coincide with the detected electrode part angle based on the step of determining whether or not and the detected part angle and the detected electrode part angle so And performing calculation of the target rotational position that, when it is determined that there is no need to run an anti-backlash operation rotates the drive shaft of the rotary motor in the first direction after the detection of the electrode unit angle suction tool positioned at the target rotational position, if it is determined that it is necessary to execute the anti-backlash operation rotates the drive shaft of the rotary motor in the second direction in parallel with the detection electrode unit angle Te perform anti backlash operation, the steps of positioning the drive shaft of the rotary motor is rotated in the first direction suction tool after the detection of the electrode portion angle to the target rotational position, the suction tool has been positioned at the target rotational position only contains a step of mounting the component is lowered by adsorbing the suction tool with respect to the substrate on the electrode portion of the substrate, electrodeposition comprising a plurality of electrode portions arranged in a row on the same substrate When the component is mounted on the electrode portion for the second and subsequent times performed on the pole row, the electrode portion angle detected at the time of the previous component mounting is used as the temporary setting value of the electrode portion angle to be set .

本発明では、電極部角度の検出と並行して電極部角度の仮設定値の設定を行い、その設定した電極部角度の仮設定値と検出した部品角度の関係等に基づいて、吸着ツールに吸着させた部品の角度を電極部角度の仮設定値に一致させるとした場合に、回転モータの駆動軸を第1の方向に回転させる前に、第1の方向とは反対の第2の方向に回転させるアンチバックラッシ動作を実行する必要があるか否かの判断を行い、アンチバックラッシ動作を実行する必要があると判断した場合には、電極部角度の検出と並行してアンチバックラッシ動作を行い、電極部角度の検出を行った後に回転モータの駆動軸を第1の方向に回転させて吸着ツールを目標回転位置に位置決めするようになっていることから、アンチバックラッシ動作が電極部角度の検出の後に行われることはなく、部品ひとつ当たりに要する電極部への装着時間を短縮することができるので、基板の生産性を向上させることができる。   In the present invention, the temporary setting value of the electrode section angle is set in parallel with the detection of the electrode section angle, and the suction tool is set based on the relationship between the set temporary setting value of the electrode section angle and the detected component angle. The second direction opposite to the first direction before rotating the drive shaft of the rotary motor in the first direction when the adsorbed component angle is made to coincide with the temporarily set value of the electrode portion angle. If it is determined that it is necessary to execute the anti-backlash operation, the anti-backlash operation is performed in parallel with the detection of the electrode section angle. After the electrode part angle is detected, the anti-backlash operation detects the electrode part angle by rotating the drive shaft of the rotary motor in the first direction and positioning the suction tool at the target rotational position. Not be performed after, it is possible to shorten the mounting time of the electrode portions required per one part, it is possible to improve the substrate productivity.

本発明の一実施の形態における液晶パネル製造システムの構成図The block diagram of the liquid crystal panel manufacturing system in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における液晶パネル製造システムによる基板に対する部品実装作業の進行手順を示す図The figure which shows the advancing procedure of the component mounting operation | work with respect to the board | substrate by the liquid crystal panel manufacturing system in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における液晶パネル製造システムを構成する仮圧着装置の斜視図The perspective view of the temporary crimping | compression-bonding apparatus which comprises the liquid crystal panel manufacturing system in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における仮圧着装置の平面図The top view of the temporary crimping | compression-bonding apparatus in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における仮圧着装置の側面図The side view of the temporary crimping | compression-bonding apparatus in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における仮圧着装置の部分拡大正面図The partial expanded front view of the temporary crimping | compression-bonding apparatus in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における仮圧着装置の部分拡大斜視図The partial expansion perspective view of the temporary crimping | compression-bonding apparatus in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における仮圧着装置の制御系統を示すブロック図The block diagram which shows the control system of the temporary crimping | compression-bonding apparatus in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における(a)部品の平面図(b)電極部の平面図(A) Plan view of part (b) Plan view of electrode part in one embodiment of the present invention (a)(b)本発明の一実施の形態における吸着ツールの回転方向を説明する図(A) (b) The figure explaining the rotation direction of the adsorption | suction tool in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における仮圧着装置が実行する仮圧着作業の実行手順を示すメインルーチンのフローチャートThe flowchart of the main routine which shows the execution procedure of the temporary crimping operation which the temporary crimping apparatus in one embodiment of this invention performs 本発明の一実施の形態における仮圧着装置が実行する仮圧着作業の実行手順を示すサブルーチンのフローチャートThe flowchart of the subroutine which shows the execution procedure of the temporary crimping operation which the temporary crimping apparatus in one embodiment of this invention performs

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1に示す液晶パネル製造システム1は、長方形形状の透明なガラス材料から成るパネル状の基板2の端部に設けられた複数の電極部2aのそれぞれに駆動回路等の部品(電子部品)3を実装するものであり、ACF貼着装置11、仮圧着装置12、第1の本圧着装置13、第2の本圧着装置14及び検査装置15がこの順で連結されて成る。これらの装置11〜15はホストコンピュータ16によって統合制御されて動作し、ホストコンピュータ16から生産指令が出されているとき、上記装置11〜15の各々は部品実装作業の中における各担当分の作業工程を実行する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. A liquid crystal panel manufacturing system 1 shown in FIG. 1 includes a component (electronic component) 3 such as a drive circuit in each of a plurality of electrode portions 2a provided at an end of a panel-shaped substrate 2 made of a rectangular transparent glass material. The ACF adhering device 11, the temporary pressure bonding device 12, the first main pressure bonding device 13, the second main pressure bonding device 14, and the inspection device 15 are connected in this order. These devices 11 to 15 operate under integrated control by the host computer 16, and when a production command is issued from the host computer 16, each of the devices 11 to 15 is a work for each person in the component mounting work. Execute the process.

ここで、基板2上の複数の電極部2aは、図2に示すように、一の長辺と一の短辺のそれぞれに一列に並んで設けられている。すなわち、基板2の一の長辺と一の短辺のそれぞれには、複数の電極部2aから成る電極部列2Lが形成されている。   Here, as shown in FIG. 2, the plurality of electrode portions 2 a on the substrate 2 are provided in a line on each of one long side and one short side. That is, an electrode portion row 2L composed of a plurality of electrode portions 2a is formed on each of one long side and one short side of the substrate 2.

ACF貼着装置11は、上流工程側から供給された基板2を受け取り、基板2上の各電極部2aに図2に示すようにACFテープの切片4を貼着したうえで、その基板2を下流工程側の仮圧着装置12に搬出する。   The ACF adhering device 11 receives the substrate 2 supplied from the upstream process side, attaches a piece 4 of ACF tape to each electrode portion 2a on the substrate 2 as shown in FIG. It is carried out to the temporary pressure bonding device 12 on the downstream process side.

仮圧着装置12は、ACF貼着装置11から搬出された基板2を受け取り、基板2の各電極部2aに貼着されたACFテープの切片4上に部品3を装着(仮圧着)したうえで、その基板2を下流工程側の第1の本圧着装置13に搬出する。   The temporary crimping device 12 receives the substrate 2 carried out from the ACF sticking device 11, and attaches (temporarily presses) the component 3 onto the slice 4 of the ACF tape stuck to each electrode portion 2 a of the substrate 2. Then, the substrate 2 is carried out to the first final pressure bonding device 13 on the downstream process side.

第1の本圧着装置13は、仮圧着装置12から搬出された基板2を受け取り、基板2の長辺側の各電極部2aに仮圧着された部品3を熱圧着(本圧着)したうえで、その基板2を下流工程側の第2の本圧着装置14に搬出する。   The first final crimping device 13 receives the substrate 2 carried out from the temporary crimping device 12, and after thermocompression bonding (main crimping) the component 3 temporarily crimped to each electrode portion 2 a on the long side of the substrate 2. Then, the substrate 2 is carried out to the second final crimping device 14 on the downstream process side.

第2の本圧着装置14は、第1の本圧着装置13から搬出された基板2を受け取り、基板2の短辺側の各電極部2aに仮圧着された部品3を熱圧着(本圧着)したうえで、その基板2を下流工程側の検査装置15に搬出する。   The second final crimping device 14 receives the substrate 2 carried out from the first final crimping device 13, and thermocompression-bonds the component 3 temporarily crimped to each electrode portion 2 a on the short side of the substrate 2 (final crimping). After that, the substrate 2 is carried out to the inspection apparatus 15 on the downstream process side.

検査装置15は、第2の本圧着装置14から搬出された基板2を受け取り、基板2の各電極部2aに本圧着された部品3の検査及び種々の判定処理を行ったうえで、その基板2を液晶パネル製造システム1の外部に搬出する。   The inspection device 15 receives the substrate 2 carried out from the second final crimping device 14, performs inspection of the component 3 that is finally crimped to each electrode portion 2 a of the substrate 2, and performs various determination processes, and then the substrate. 2 is taken out of the liquid crystal panel manufacturing system 1.

次に、液晶パネル製造システム1における部品実装装置である仮圧着装置12について説明する。図3、図4及び図5において仮圧着装置12は、基台21上に、基板2を保持して移動させる基板保持移動部22、部品3の供給を行う部品供給部23、部品供給部23より供給される複数の部品3を受け取って所定の吸着位置に移送する部品移送部24及び部品移送部24によって吸着位置に移送された部品3を吸着(ピックアップ)して基板保持移動部22に保持させた基板2に装着(仮圧着)する部品装着部25を備えている。   Next, the temporary pressure bonding apparatus 12 which is a component mounting apparatus in the liquid crystal panel manufacturing system 1 will be described. 3, 4, and 5, the provisional pressure bonding apparatus 12 includes a substrate holding / moving unit 22 that holds and moves the substrate 2 on a base 21, a component supply unit 23 that supplies components 3, and a component supply unit 23. The component transfer unit 24 that receives and transfers a plurality of components 3 supplied from the component 3 to a predetermined suction position, and the component 3 transferred to the suction position by the component transfer unit 24 is suctioned (pickup) and held in the substrate holding / moving unit 22. A component mounting portion 25 for mounting (temporary pressure bonding) on the substrate 2 is provided.

以下、説明の便宜上、オペレータOP(図3及び図4)から見て基台21の左右方向をX軸方向、オペレータOPから見て基台21の前後方向をY軸方向、基台21の上下方向をZ軸方向とする。また、オペレータOPから見て基台21の右側を右方、左側を左方とし、オペレータOPから見て基台21の手前側を前方、奥側を後方とする。   Hereinafter, for convenience of explanation, the left-right direction of the base 21 viewed from the operator OP (FIGS. 3 and 4) is the X-axis direction, the front-rear direction of the base 21 viewed from the operator OP is the Y-axis direction, and the top-bottom of the base 21 Let the direction be the Z-axis direction. Further, the right side of the base 21 viewed from the operator OP is the right side and the left side is the left side, and the front side of the base 21 viewed from the operator OP is the front side and the back side is the rear side.

図4及び図5において、基板保持移動部22は、基台21に対してX軸方向に相対移動自在に設けられたXテーブル31、Xテーブル31に対してY軸方向に移動自在に設けられたYテーブル32、Yテーブル32に対してZ軸回りに回転自在に設けられたθテーブル33及びθテーブル33の上面に設けられた基板保持テーブル34を備えて成る。基板保持テーブル34の上面には基板2が水平姿勢に保持される。   4 and 5, the substrate holding / moving unit 22 is provided so as to be movable in the Y-axis direction with respect to the X table 31 provided relative to the base 21 in the X-axis direction and the X table 31. The Y table 32 includes a θ table 33 provided so as to be rotatable about the Z axis with respect to the Y table 32, and a substrate holding table 34 provided on the upper surface of the θ table 33. The substrate 2 is held in a horizontal posture on the upper surface of the substrate holding table 34.

このように、本実施の形態における仮圧着装置12において、基板保持移動部22は、電極部2aを有した基板2を保持する基板保持部として機能する。   Thus, in the temporary press-bonding device 12 according to the present embodiment, the substrate holding / moving unit 22 functions as a substrate holding unit that holds the substrate 2 having the electrode unit 2a.

図3及び図6において、部品供給部23は、部品3を載せたテープTPを搬送する左右2つのテープ搬送部41と、左右のテープ搬送部41それぞれが搬送するテープTPから部品3を打ち抜く左右2つの部品打ち抜き部42を備えて成る。   3 and 6, the component supply unit 23 includes two left and right tape transport units 41 that transport the tape TP on which the component 3 is placed, and left and right punches the component 3 from the tape TP transported by the left and right tape transport units 41. Two part punching parts 42 are provided.

図3及び図6において、左右のテープ搬送部41はそれぞれ、テープTPの供給(繰出し)を行うテープ供給リール41aと、テープ供給リール41aより供給されるテープTPを巻き取るテープ巻取りリール41bと、テープ供給リール41aより供給されるテープTPよりカバーテープCTを剥がして巻き取るカバーテープ巻取りリール41cから成る。各テープ搬送部41では、テープ供給リール41a、テープ巻き取りリール41b及びカバーテープ巻取りリール41cが同期して回転することにより、テープ供給リール41aからのテープTPの供給、テープ巻き取りリール41bによるテープTPの巻き取り及びカバーテープ巻き取りリール41cによるテープTPからのカバーテープCTの巻き取りが行われ、カバーテープCTが剥がされたテープTPの一部が水平面内方向(X軸方向)に搬送される。   3 and 6, the left and right tape transport units 41 are respectively a tape supply reel 41a for supplying (feeding out) the tape TP, and a tape take-up reel 41b for winding the tape TP supplied from the tape supply reel 41a. The cover tape take-up reel 41c is formed by removing the cover tape CT from the tape TP supplied from the tape supply reel 41a. In each tape transport section 41, the tape supply reel 41a, the tape take-up reel 41b, and the cover tape take-up reel 41c rotate synchronously, thereby supplying the tape TP from the tape supply reel 41a and using the tape take-up reel 41b. The tape TP is taken up and the cover tape CT is taken up from the tape TP by the cover tape take-up reel 41c, and a part of the tape TP from which the cover tape CT is peeled is conveyed in the horizontal plane direction (X-axis direction). Is done.

図5及び図6において、左右の部品打ち抜き部42は、基台21に対して固定された下側金型42aと、下側金型42aの上方を上下動される上側金型42bから成る。下側金型42aと上側金型42bの間には、テープ搬送部41によって水平面内方向に搬送されるテープTPが通っており、上側金型42bを下側金型42aに対して下降させることにより、テープTPから部品3を打ち抜くことができる。   5 and 6, the left and right component punching portions 42 are composed of a lower die 42a fixed to the base 21 and an upper die 42b that is moved up and down above the lower die 42a. Between the lower mold 42a and the upper mold 42b, the tape TP conveyed in the horizontal plane direction by the tape conveying unit 41 passes, and the upper mold 42b is lowered with respect to the lower mold 42a. Thus, the component 3 can be punched from the tape TP.

図3及び図6において、部品移送部24は、基台21上をX軸方向に延びて設けられたX軸ガイド51、X軸ガイド51に対してY軸方向に相対移動自在に設けられた左右のY軸テーブル52、各Y軸テーブル52に対してX軸方向に移動自在に設けられた左右のX軸テーブル53及び各X軸テーブル53上に設けられた左右2つの移送ヘッド54を備えている。   3 and 6, the component transfer section 24 is provided so as to be relatively movable in the Y-axis direction with respect to the X-axis guide 51 provided on the base 21 so as to extend in the X-axis direction. Left and right Y-axis tables 52, left and right X-axis tables 53 provided so as to be movable in the X-axis direction with respect to each Y-axis table 52, and two left and right transfer heads 54 provided on each X-axis table 53 are provided. ing.

各移送ヘッド54はX軸テーブル53に対してZ軸回りに回転自在に設けられており、テーブル駆動モータ55(図5及び図6)によって駆動されて水平面内で回転されるインデックス型のターンテーブル56と、ターンテーブル56から上方に延びて設けられた複数(ここでは7つ)の受け取りノズル57(前述の部品受け取り手段)を備えている。これら複数の受け取りノズル57は、図示しないアクチュエータによって、ターンテーブル56に対して個別に昇降させることができる。   Each transfer head 54 is rotatably provided around the Z axis with respect to the X axis table 53, and is driven by a table drive motor 55 (FIGS. 5 and 6) and rotated in a horizontal plane. 56 and a plurality (seven in this case) of receiving nozzles 57 (the above-described component receiving means) provided extending upward from the turntable 56. The plurality of receiving nozzles 57 can be moved up and down individually with respect to the turntable 56 by an actuator (not shown).

各移送ヘッド54は、ターンテーブル56を一定角度回転させることによって、複数の受け取りノズル57のうちのいずれかひとつを部品打ち抜き部42の下側金型42aの下方の位置(この位置を以下、「部品供給位置」と称する)に位置させる動作、部品供給位置に位置させた受け取りノズル57を上昇させる動作(図5中に破線で示す受け取りノズル57参照)、部品供給位置で上昇させた受け取りノズル57により、部品打ち抜き部42によって打ち抜かれた部品3を下方から支持して受け取った後、その受け取りノズル57を下降させる動作から成る一連の動きを繰り返す。このようにして移送ヘッド54は、テープTPから連続的に打ち抜かれる複数の部品3をそれぞれ異なる受け取りノズル57によって次々と受け取る。   Each transfer head 54 rotates the turntable 56 at a certain angle, so that any one of the plurality of receiving nozzles 57 is positioned below the lower die 42a of the component punching portion 42 (this position is hereinafter referred to as “ (Referred to as a receiving nozzle 57 indicated by a broken line in FIG. 5), and a receiving nozzle 57 raised at the component supplying position. Thus, after receiving and supporting the part 3 punched by the part punching part 42 from below, a series of movements including the operation of lowering the receiving nozzle 57 is repeated. In this way, the transfer head 54 receives the plurality of parts 3 continuously punched from the tape TP one after another by different receiving nozzles 57.

各移送ヘッド54は、複数の受け取りノズル57によって部品打ち抜き部42によって打ち抜かれた複数の部品3を受け取ったら部品装着部25の側の所定の位置へ移動し、部品3を受け取った複数の受け取りノズル57のうちのひとつを所定の位置(この位置を以下、「ノズル移動位置」と称する)に位置させることによって、部品装着部25による部品3の吸着位置(この吸着位置は後述する左右の装着ヘッド63に対応して左右2つある)に部品3を移送する。   Each of the transfer heads 54 moves to a predetermined position on the component mounting unit 25 side when receiving a plurality of components 3 punched by the component punching portion 42 by a plurality of receiving nozzles 57, and receives a plurality of receiving nozzles 3. By positioning one of the components 57 at a predetermined position (hereinafter referred to as “nozzle movement position”), the component 3 is adsorbed by the component mounting unit 25 (this adsorbing position is a left and right mounting head described later). There are two left and right parts corresponding to 63).

左右の移送ヘッド54はそれぞれ、対応する吸着位置(左側の移送ヘッド54には左側の吸着位置が対応し、右側の移送ヘッド54には右側の吸着位置が対応する)に移送した部品3が部品装着部25の吸着ツール63a(後述)によって吸着(ピックアップ)されたら、ターンテーブル56を一定角度回転させて、部品3が吸着された受け取りノズル57の隣に位置する受け取りノズル57によって吸着位置に部品3が新たに移送されるようにする。   The left and right transfer heads 54 are components 3 transferred to corresponding suction positions (the left transfer head 54 corresponds to the left suction position and the right transfer head 54 corresponds to the right suction position). When sucked (pick up) by a suction tool 63a (described later) of the mounting portion 25, the turntable 56 is rotated by a certain angle, and the component is brought to the suction position by the receiving nozzle 57 located next to the receiving nozzle 57 to which the component 3 is sucked. 3 is newly transferred.

図3、図4及び図5において、部品装着部25は、基台21に立設された左右一対の支柱61a及びこれら一対の支柱61aに掛け渡されて基台21の横方向(X軸方向)に延びた横部材61bから成る門型フレーム61と、門型フレーム61の横部材61bに沿ってX軸方向に移動自在に設けられた左右のX軸移動体62と、各X軸移動体62に対してY軸方向に移動自在に設けられた左右2つの装着ヘッド63と、基台21に設けられて装着ヘッド63の下方に位置するバックアップ部64と、バックアップ部64に設けられた2つのカメラ65を有して成る(図7も参照)。   3, 4, and 5, the component mounting portion 25 includes a pair of left and right columns 61 a erected on the base 21, and a horizontal direction (X-axis direction) of the base 21 spanning the pair of columns 61 a. ), A left and right X-axis moving body 62 movably provided in the X-axis direction along the horizontal member 61b of the gate-shaped frame 61, and each X-axis moving body. The left and right mounting heads 63 provided movably in the Y-axis direction with respect to 62, a backup unit 64 provided on the base 21 and positioned below the mounting head 63, and 2 provided on the backup unit 64 It has two cameras 65 (see also FIG. 7).

図3及び図5において、装着ヘッド63は下方に延びたひとつのノズル状の吸着ツール63aを備えている。左右2つの装着ヘッド63が備える各吸着ツール63aは、図示しないエア供給源からの真空圧の供給を受けて部品3の真空吸着及びその解除動作を行う。   3 and 5, the mounting head 63 includes a single nozzle-like suction tool 63a extending downward. The suction tools 63a included in the two left and right mounting heads 63 receive vacuum pressure from an air supply source (not shown) and perform vacuum suction of the component 3 and release operation thereof.

各吸着ツール63aは、X軸移動体62の下方に位置する断面L状のブラケット66に設けられた昇降モータ67によって昇降自在であるとともに、ブラケット66を介して取り付けられた回転モータ68によって垂直軸回りに回転自在である。回転モータ68の駆動軸68aと吸着ツール63aの間にはギヤ式の動力伝達機構から成る減速機69が介装されており、回転モータ68は駆動軸68aの回転動作により減速機69を駆動して吸着ツール63aを垂直軸回りに回転させる。   Each suction tool 63a can be moved up and down by a lifting motor 67 provided on a bracket 66 having an L-shaped cross section located below the X-axis moving body 62, and a vertical axis by a rotary motor 68 attached via the bracket 66. It can rotate freely. A reduction gear 69 comprising a gear type power transmission mechanism is interposed between the drive shaft 68a of the rotation motor 68 and the suction tool 63a. The rotation motor 68 drives the reduction gear 69 by the rotation operation of the drive shaft 68a. The suction tool 63a is rotated around the vertical axis.

このように、本実施の形態における仮圧着装置12において、吸着ツール63aは、垂直軸回りに回転自在に設けられて部品3を吸着するものとなっている。   Thus, in the temporary press-bonding device 12 in the present embodiment, the suction tool 63a is provided so as to be rotatable about the vertical axis and sucks the component 3.

ここで、減速機69を構成するギヤ間にはバックラッシが存在するため、回転モータ68の駆動軸68aを回転させた場合に、回転モータ68の駆動軸68aに対する吸着ツール63aの不追従が生じ得るが、回転モータ68の駆動軸68aを一の方向(第1の方向とする)に回転させることによって回転モータ68の駆動軸68aに対する吸着ツール63aの追従が得られた後は、その後回転モータ68の駆動軸68aを第1の方向に回転させる限りは必ず回転モータ68の駆動軸68aに対する吸着ツール63aの追従が得られるので、最終的に回転モータ68の駆動軸68aを第1の方向に回転させて吸着ツール63aの位置決め(回転方向の位置決め)を行うようにしている。この回転モータ68の駆動軸68aの回転方向(第1の方向)を、本実施の形態では吸着ツール63aを上方から見たときに反時計回りに回転させる方向であるとし、この第1の方向を「順方向」と称する。一方、この順方向とは反対の方向であって、吸着ツール63aを上方から見たときに時計回りに回転させる回転モータ68の駆動軸68aの回転方向(第2の方向とする)を、本実施の形態では「逆方向」と称する。   Here, since there is a backlash between the gears constituting the speed reducer 69, when the drive shaft 68a of the rotary motor 68 is rotated, the suction tool 63a may not follow the drive shaft 68a of the rotary motor 68. However, after the drive shaft 68a of the rotary motor 68 is rotated in one direction (referred to as the first direction), the follow-up of the suction tool 63a with respect to the drive shaft 68a of the rotary motor 68 is obtained. As long as the drive shaft 68a of the rotary motor 68 is rotated in the first direction, the suction tool 63a can always follow the drive shaft 68a of the rotary motor 68, so that the drive shaft 68a of the rotary motor 68 is finally rotated in the first direction. Thus, the suction tool 63a is positioned (positioning in the rotation direction). In this embodiment, the rotation direction (first direction) of the drive shaft 68a of the rotary motor 68 is a direction in which the suction tool 63a is rotated counterclockwise when viewed from above, and this first direction. Is referred to as “forward”. On the other hand, the rotation direction of the drive shaft 68a of the rotary motor 68 that rotates in the clockwise direction when the suction tool 63a is viewed from above (the second direction) is the opposite direction to the forward direction. In the embodiment, this is referred to as “reverse direction”.

このように、本実施の形態における仮圧着装置12において、回転モータ68は、動力伝達機構である減速機69を介して吸着ツール63aを回転させる駆動軸68aを有し、この駆動軸68aを最終的に第1の方向(順方向)に回転させることによって吸着ツール63aの回転方向の位置決めを行うものとなっている。   Thus, in the temporary press-bonding device 12 in the present embodiment, the rotary motor 68 has the drive shaft 68a that rotates the suction tool 63a via the speed reducer 69 that is a power transmission mechanism. In particular, the suction tool 63a is positioned in the rotational direction by rotating in the first direction (forward direction).

図5においてバックアップ部64は、基板保持移動部22と部品供給部23の間をX軸方向に延びて設けられたX軸部材64aと、X軸部材64aに沿って水平移動自在に設けられたスライダ64b(図7も参照)と、スライダ64bの上部からY軸方向前方に張り出して設けられたバックアップステージ64c(図3及び図7も参照)から成る。スライダ64b内の上部には、基板保持テーブル34に保持された基板2の下面の一部を吸着して基板2をバックアップステージ64cに対して固定することによって基板2の平面度を確保する複数の吸着部64dが設けられている。基板保持移動部22は、基板保持テーブル34に保持された基板2上の長辺側又は短辺側に形成された電極部列2Lがバックアップステージ64cの直上に位置するように基板2を保持する(図5に示す状態参照)。   In FIG. 5, the backup unit 64 is provided so as to be horizontally movable along the X-axis member 64a and an X-axis member 64a provided extending in the X-axis direction between the substrate holding / moving unit 22 and the component supply unit 23. The slider 64b (see also FIG. 7) and a backup stage 64c (see also FIGS. 3 and 7) provided so as to project forward from the upper portion of the slider 64b in the Y-axis direction. A plurality of parts that secure the flatness of the substrate 2 by adsorbing a part of the lower surface of the substrate 2 held by the substrate holding table 34 and fixing the substrate 2 to the backup stage 64c are arranged on the upper part in the slider 64b. A suction part 64d is provided. The substrate holding / moving unit 22 holds the substrate 2 so that the electrode portion row 2L formed on the long side or the short side on the substrate 2 held by the substrate holding table 34 is positioned immediately above the backup stage 64c. (See the state shown in FIG. 5).

左右の装着ヘッド63はそれぞれ、部品移送部24の対応する移送ヘッド54によって対応する吸着位置(左側の装着ヘッド63には左側の移送ヘッド54及び左側の吸着位置が対応し、右側の装着ヘッド63には右側の移送ヘッド54及び右側の吸着位置が対応する)に移送された部品3を吸着ツール63aによって真空吸着し、基板保持移動部22に保持された基板2の各電極部2aに部品3を装着する。このとき基板2の電極部2aの下方にはバックアップ部64のバックアップステージ64cが位置され、装着ヘッド63は部品3を電極部2aごとバックアップステージ64cに押し付けるようにする(図5)。なお、基板保持移動部22に保持された基板2の長辺側の各電極部2aと短辺側の各電極部2aには、仮圧着装置12の上流工程側に設置されたACF貼着装置11によってACFテープの切片4が貼着された状態となっている(図4参照)。   The left and right mounting heads 63 are respectively corresponding suction positions by the corresponding transfer heads 54 of the component transfer unit 24 (the left mounting head 63 corresponds to the left transfer head 54 and the left suction position, and the right mounting head 63 The parts 3 transferred to the right transfer head 54 and the right suction position correspond to each other by vacuum suction by the suction tool 63a, and the parts 3 are attached to the electrode parts 2a of the substrate 2 held by the substrate holding and moving part 22. Wear. At this time, the backup stage 64c of the backup unit 64 is positioned below the electrode unit 2a of the substrate 2, and the mounting head 63 presses the component 3 together with the electrode unit 2a against the backup stage 64c (FIG. 5). An ACF adhering device installed on the upstream process side of the temporary crimping device 12 is provided on each of the long-side electrode portions 2a and short-side electrode portions 2a of the substrate 2 held by the substrate holding / moving portion 22. 11, the section 4 of the ACF tape is stuck (see FIG. 4).

図5及び図7において、2つのカメラ65はバックアップ部64が備えるスライダ64bの下部(バックアップステージ64cの下方)に取り付けられたカメラ支持部64eによって撮像視野を上方に向けた状態で支持されている。バックアップステージ64cには各カメラ65の光軸CJに沿って上下方向に延びた2つの貫通孔64fが設けられており、2つのカメラ65は基板保持移動部22に保持された基板2の電極部2aの両端部(電極部列2Lの延びる方向に沿った両端部)に設けられた2つの電極部側マーク2m又は装着ヘッド63の吸着ツール63aに吸着された部品3に設けられた2つの部品側マーク3mを、貫通孔64fを介して下方から視認することができるようになっている。なお、基板2は透明なガラス材料から成るため、基板2の上面に設けられた電極部側マーク2mを基板2の下方からカメラ65によって視認することができる。   5 and 7, the two cameras 65 are supported in a state in which the imaging field of view is directed upward by a camera support portion 64e attached to the lower portion of the slider 64b provided in the backup portion 64 (below the backup stage 64c). . The backup stage 64c is provided with two through holes 64f extending in the vertical direction along the optical axis CJ of each camera 65. The two cameras 65 are electrode portions of the substrate 2 held by the substrate holding / moving portion 22. Two parts provided on the part 3 adsorbed by the two electrode part side marks 2m provided at both ends of the 2a (both ends along the extending direction of the electrode part row 2L) or the adsorption tool 63a of the mounting head 63 The side mark 3m can be viewed from below through the through hole 64f. Since the substrate 2 is made of a transparent glass material, the electrode part side mark 2m provided on the upper surface of the substrate 2 can be visually recognized by the camera 65 from below the substrate 2.

基板保持移動部22に保持された基板2の位置決め動作(基板保持移動部22を構成するXテーブル31の基台21に対するX軸方向への移動動作、Yテーブル32のXテーブル31に対するY軸方向への移動動作及びθテーブル33のYテーブル32に対するZ軸回りの回転動作)は、仮圧着装置12が備える制御装置70(図8)が図示しないアクチュエータ等から成る基板保持部駆動機構71(図8)の作動制御を行うことによってなされる。   Positioning operation of the substrate 2 held by the substrate holding / moving unit 22 (moving operation in the X-axis direction with respect to the base 21 of the X table 31 constituting the substrate holding / moving unit 22, Y-axis direction of the Y table 32 with respect to the X table 31 And the rotation of the θ table 33 about the Y table 32 with respect to the Y table 32) are controlled by the controller 70 (FIG. 8) of the temporary press-bonding device 12 (FIG. 8). This is done by performing the operation control of 8).

部品供給部23を構成する左右のテープ搬送部41によるテープTPの搬送動作は、制御装置70が図示しないアクチュエータ等から成るテープ搬送機構72(図8)の作動制御を行うことによってなされる。部品供給部23を構成する左右の部品打ち抜き部42によるテープTPからの部品3の打ち抜き動作は、制御装置70が図示しないアクチュエータ等から成る部品打ち抜き部駆動機構73(図8)の作動制御を行うことによってなされる。   The transport operation of the tape TP by the left and right tape transport units 41 constituting the component supply unit 23 is performed by the control device 70 controlling the operation of a tape transport mechanism 72 (FIG. 8) including an actuator (not shown). In the punching operation of the part 3 from the tape TP by the left and right part punching parts 42 constituting the part supply part 23, the control device 70 controls the operation of the part punching part drive mechanism 73 (FIG. 8) including an actuator (not shown). Is made by

部品移送部24を構成する左右の移送ヘッド54による部品3の移送動作(X軸ガイド51に対する各Y軸テーブル52のY軸方向への移動動作、各Y軸テーブル52に対するX軸テーブル53のX軸方向への移動動作、各X軸テーブル53に対するターンテーブル56のZ軸回りの回転動作及びターンテーブル56に対する各受け取りノズル57の昇降動作)は、制御装置70が前述のテーブル駆動モータ55を含むアクチュエータ等から成る部品移送部駆動機構74(図8)の作動制御を行うことによってなされる。   Transfer operation of the component 3 by the left and right transfer heads 54 constituting the component transfer unit 24 (movement operation of each Y-axis table 52 in the Y-axis direction with respect to the X-axis guide 51, X of the X-axis table 53 with respect to each Y-axis table 52 The control device 70 includes the table drive motor 55 described above for the movement operation in the axial direction, the rotation operation of the turntable 56 around the Z axis with respect to each X-axis table 53, and the lifting operation of each receiving nozzle 57 with respect to the turntable 56. This is done by controlling the operation of the component transfer unit drive mechanism 74 (FIG. 8) including an actuator or the like.

部品装着部25における左右の装着ヘッド63の移動動作(門型フレーム61の横部材61bに対する各X軸移動体62のX軸方向への移動動作及び各X軸移動体62に対する装着ヘッド63のY軸方向への移動動作)は、制御装置70が図示しないアクチュエータ等から成る装着ヘッド移動機構75(図8)の作動制御を行うことによってなされる。   Movement operation of the left and right mounting heads 63 in the component mounting unit 25 (moving operation of each X-axis moving body 62 in the X-axis direction relative to the lateral member 61b of the portal frame 61 and Y of the mounting head 63 relative to each X-axis moving body 62) The movement operation in the axial direction) is performed when the control device 70 controls the operation of the mounting head moving mechanism 75 (FIG. 8) including an actuator (not shown).

各装着ヘッド63による部品3の吸着及びその解除動作は、制御装置70が前述の図示しないエア供給源と繋がるアクチュエータ等から成る真空吸着動作制御機構76(図8)の作動制御を行って吸着ツール63a内に真空圧を供給し、或いは吸着ツール63a内に正圧を供給して吸着ツール63a内の真空破壊を行うことによってなされる。   The suction and release operation of the component 3 by each mounting head 63 is performed by controlling the operation of a vacuum suction operation control mechanism 76 (FIG. 8) including an actuator connected to the air supply source (not shown). This is done by supplying a vacuum pressure in 63a or by supplying a positive pressure in the suction tool 63a to break the vacuum in the suction tool 63a.

図8に示すように、制御装置70には、画像認識部70a、部品角度算出部70b、電極部角度算出部70c、電極部角度仮設定値設定部70d、判断部70e、目標回転位置算出部70f、吸着ツール位置決め制御部70g及び装着制御部70hが備えられている(図8)。   As shown in FIG. 8, the control device 70 includes an image recognition unit 70a, a component angle calculation unit 70b, an electrode unit angle calculation unit 70c, an electrode unit angle temporary setting value setting unit 70d, a determination unit 70e, and a target rotational position calculation unit. 70f, a suction tool positioning control unit 70g, and a mounting control unit 70h are provided (FIG. 8).

各カメラ65の撮像動作は制御装置70によって制御され(図8)、各カメラ65の撮像動作によって得られた画像データは制御装置70の画像認識部70aに送られて画像認識がなされる。   The imaging operation of each camera 65 is controlled by the control device 70 (FIG. 8), and the image data obtained by the imaging operation of each camera 65 is sent to the image recognition unit 70a of the control device 70 for image recognition.

部品角度算出部70bは、吸着ツール63aに吸着された部品3の水平面内方向の角度である部品角度の検出に用いられ、電極部角度算出部70cは、基板保持移動部22に保持された基板2の電極部2a(バックアップステージ64cの直上に位置された電極部列2Lの中の電極部2a)の水平面内方向の回転角度である電極部角度の検出に用いられる。   The component angle calculation unit 70b is used to detect a component angle that is an angle in the horizontal plane direction of the component 3 sucked by the suction tool 63a, and the electrode portion angle calculation unit 70c is a substrate held by the substrate holding / moving unit 22. 2 is used for detection of an electrode portion angle which is a rotation angle in the horizontal plane direction of the second electrode portion 2a (the electrode portion 2a in the electrode portion row 2L positioned immediately above the backup stage 64c).

部品角度は、図9(a)に示すように、部品3に設けられた2つの部品側マーク3mを結ぶ線S1のX軸から順方向(図9(a),(b)では反時計回り)にとった角度θであり、以下、「部品角度θ」と記す。制御装置70の部品角度算出部70b(図8)は、2つのカメラ65の撮像動作によって得られる2つの部品側マーク3mの画像認識結果に基づいて、その部品側マーク3mを備えた部品3の部品角度θを算出する。   As shown in FIG. 9A, the component angle is the forward direction from the X axis of the line S1 connecting the two component side marks 3m provided on the component 3 (counterclockwise in FIGS. 9A and 9B). ), And hereinafter referred to as “component angle θ”. Based on the image recognition result of the two component side marks 3m obtained by the imaging operation of the two cameras 65, the component angle calculation unit 70b (FIG. 8) of the control device 70 can detect the component 3 having the component side mark 3m. The component angle θ is calculated.

電極部角度は、図9(b)に示すように、電極部2aの両端部に設けられた2つの電極部側マーク2mを結ぶ線S2のX軸から順方向にとった角度φであり、以下、「電極部角度φ」と記す。制御装置70の電極部角度算出部70cは、2つのカメラ65の撮像動作によって得られる2つの電極部側マーク2mの画像認識結果に基づいて、その電極部側マーク2mを備えた電極部2aの電極部角度φを算出する。なお、後述するように、部品3を電極部2aに装着するときの手順上、電極部角度φの検出は部品角度θの検出の後になる。   As shown in FIG. 9B, the electrode part angle is an angle φ taken in the forward direction from the X axis of the line S2 connecting the two electrode part side marks 2m provided at both ends of the electrode part 2a. Hereinafter, it is referred to as “electrode portion angle φ”. The electrode unit angle calculation unit 70c of the control device 70 is based on the image recognition result of the two electrode unit side marks 2m obtained by the imaging operation of the two cameras 65, and the electrode unit 2a including the electrode unit side mark 2m. The electrode portion angle φ is calculated. As will be described later, the electrode portion angle φ is detected after the component angle θ is detected in the procedure when the component 3 is mounted on the electrode portion 2a.

このように、本実施の形態において、2つのカメラ65と制御装置70の部品角度算出部70bは、仮圧着装置12において、吸着ツール63aに吸着された部品3の水平面内方向の回転角度である部品角度θを検出する部品角度検出手段として機能し、2つのカメラ65と制御装置70の電極部角度算出部70cは、部品角度検出手段(2つのカメラ65及び制御装置70の部品角度算出部70b)により部品角度θが検出された後、基板保持移動部22に保持された基板2の電極部2aの水平面内方向の角度である電極部角度φを検出する電極部角度検出手段として機能する。   As described above, in the present embodiment, the two camera 65 and the component angle calculation unit 70b of the control device 70 are rotation angles in the horizontal plane direction of the component 3 sucked by the suction tool 63a in the temporary press-bonding device 12. The two camera 65 and the electrode unit angle calculation unit 70c of the control device 70 function as a component angle detection unit that detects the component angle θ, and the component angle detection unit (two camera 65 and the component angle calculation unit 70b of the control device 70). ), The electrode portion angle detection means for detecting the electrode portion angle φ which is the angle in the horizontal plane direction of the electrode portion 2a of the substrate 2 held by the substrate holding and moving portion 22 is detected.

制御装置70の電極部角度仮設定値設定部70dは、上記電極部角度検出手段(2つのカメラ65と制御装置70の電極部角度算出部70c)による電極部角度φの検出と並行して電極部角度φの仮設定値(以下、電極部角度仮設定値φ1と記す)の設定を行う。ここで電極部角度仮設定値φ1は、同一の基板2上に一列に並んだ複数の電極部2aから成る電極部列2Lに対して行う2回目以降の電極部2aへの部品3の装着時については、前回の部品3の装着時に電極部角度検出手段により検出された電極部角度φが設定される(詳細は後述)。   The electrode part angle temporary setting value setting part 70d of the control device 70 is an electrode in parallel with the detection of the electrode part angle φ by the electrode part angle detection means (two cameras 65 and the electrode part angle calculation part 70c of the control device 70). A temporary setting value of the part angle φ (hereinafter referred to as an electrode part angle temporary setting value φ1) is set. Here, the electrode portion angle temporary setting value φ1 is set when the component 3 is mounted on the electrode portion 2a for the second and subsequent times for the electrode portion row 2L composed of a plurality of electrode portions 2a arranged in a row on the same substrate 2. Is set to the electrode portion angle φ detected by the electrode portion angle detecting means when the component 3 was previously mounted (details will be described later).

制御装置70の判断部70e(判断手段)は、電極部角度仮設定値設定部70dにおいて設定された電極部角度仮設定値φ1と部品角度検出手段(2つのカメラ65及び制御装置70の部品角度算出部70b)により検出された部品角度θ及び回転モータ68の駆動軸68aの直前の回転方向とに基づいて、吸着ツール63aに吸着された部品3の角度を電極部角度仮設定値φ1に一致させるとした場合に、回転モータ68の駆動軸68aを第1の方向(順方向)に回転させる前に、動力伝達機構である減速機69内に存在するバックラッシに起因する回転モータ68の駆動軸68aに対する吸着ツール63aの不追従が生じないようにするために回転モータ68の駆動軸68aを第1の方向とは反対の第2の方向(逆方向)に回転させる動作(アンチバックラッシ動作)を実行する必要があるか否かの判断を行う。   The determination unit 70e (determination unit) of the control device 70 includes the electrode unit angle temporary setting value φ1 set in the electrode unit temporary setting value setting unit 70d and the component angle detection unit (two camera 65 and the component angle of the control unit 70). Based on the component angle θ detected by the calculation unit 70b) and the rotation direction immediately before the drive shaft 68a of the rotary motor 68, the angle of the component 3 sucked by the suction tool 63a matches the electrode portion angle temporary setting value φ1. In this case, before rotating the drive shaft 68a of the rotary motor 68 in the first direction (forward direction), the drive shaft of the rotary motor 68 caused by backlash existing in the speed reducer 69 that is a power transmission mechanism. Operation for rotating the drive shaft 68a of the rotary motor 68 in a second direction (reverse direction) opposite to the first direction in order to prevent the suction tool 63a from following the 68a. And it determines whether it is necessary to execute the anti-backlash operation).

ここで、上記回転モータ68の駆動軸68aの直前の回転とは、吸着ツール63aに吸着させた部品3を基板2の電極部2aに装着した後、回転モータ68の駆動軸68aを所定の原回転位置(駆動軸の回転角が0°となる位置)に復帰させるときの回転をいうが、回転モータ68の駆動軸68aについてアンチバックラッシ動作を行うか否かの判断において、回転モータ68の駆動軸68aの直前の回転が関係するのは、吸着ツール63aは前述のように、回転モータの駆動軸を最終的に順方向(第1の方向)に回転させて位置決めするようになっていることから、回転モータ68の駆動軸68aの直前の回転方向が順方向であったことは、回転モータ68の駆動軸68aを現在の位置からそのまま順方向に回転させたとしてもバックラッシに起因する吸着ツール63aの不追従が生じないことを意味し、回転モータ68の駆動軸68aの直前の回転方向が逆方向(第2の方向)であったことは、回転モータ68の駆動軸68aを現在の位置からそのまま順方向に回転させると、バックラッシに起因する吸着ツール63aの不追従が生じ得ることを意味するからである。   Here, the rotation immediately before the drive shaft 68a of the rotary motor 68 means that after the component 3 sucked by the suction tool 63a is mounted on the electrode portion 2a of the substrate 2, the drive shaft 68a of the rotary motor 68 is moved to a predetermined original position. The rotation when returning to the rotational position (the position where the rotational angle of the drive shaft becomes 0 °) is referred to, but the drive of the rotational motor 68 is determined in determining whether or not the anti-backlash operation is performed on the drive shaft 68a of the rotational motor 68. The rotation immediately before the shaft 68a is related to the fact that the suction tool 63a is positioned by finally rotating the drive shaft of the rotary motor in the forward direction (first direction) as described above. Therefore, the fact that the rotation direction immediately before the drive shaft 68a of the rotary motor 68 is the forward direction means that even if the drive shaft 68a of the rotary motor 68 is directly rotated from the current position in the forward direction, the backlash is reversed. This means that the non-following of the suction tool 63a due to the above does not occur, and the fact that the rotation direction immediately before the drive shaft 68a of the rotary motor 68 is the reverse direction (second direction) indicates that the drive shaft of the rotary motor 68 This is because if the 68a is rotated in the forward direction as it is from the current position, it means that the non-following of the suction tool 63a due to backlash may occur.

制御装置70の目標回転位置算出部70f(目標回転位置算出手段)は、部品角度検出手段により検出された部品角度θと電極部角度検出手段により検出された電極部角度φとに基づいて、吸着ツール63aに吸着された部品3の角度を電極部角度検出手段により検出された電極部角度φに一致させる場合の吸着ツール63aの回転位置(原回転位置からの回転角)である目標回転位置の算出を行う。   The target rotation position calculation unit 70f (target rotation position calculation unit) of the control device 70 is based on the component angle θ detected by the component angle detection unit and the electrode unit angle φ detected by the electrode unit angle detection unit. The target rotational position that is the rotational position (rotational angle from the original rotational position) of the suction tool 63a when the angle of the part 3 sucked by the tool 63a is made to coincide with the electrode part angle φ detected by the electrode part angle detection means. Perform the calculation.

制御装置70の吸着ツール位置決め制御部70g(吸着ツール位置決め制御手段)は、判断部70eによりアンチバックラッシ動作を実行する必要がないと判断された場合には、電極部角度検出手段による電極部角度φの検出が行われた後に回転モータ68の駆動軸68aを順方向(第1の方向)に回転させて吸着ツール63aを目標回転位置算出部70fにより算出された目標回転位置に位置決めし、判断部70eによりアンチバックラッシ動作を実行する必要があると判断された場合には、電極部角度検出手段による電極部角度φの検出と並行して回転モータ68の駆動軸68aを逆方向(第2の方向)に回転させるアンチバックラッシ動作を行い、電極部角度検出手段による電極部角度φの検出が行われた後に回転モータ68の駆動軸68aを順方向に回転させて吸着ツール63aを目標回転位置算出部70fにより算出された目標回転位置に位置決めする。   When the determination unit 70e determines that the anti-backlash operation need not be executed by the determination unit 70e, the suction tool positioning control unit 70g (the suction tool positioning control unit) of the control device 70 has the electrode unit angle φ by the electrode unit angle detection unit. Is detected, the drive shaft 68a of the rotary motor 68 is rotated in the forward direction (first direction) to position the suction tool 63a at the target rotational position calculated by the target rotational position calculation unit 70f, and the determination unit If it is determined that the anti-backlash operation needs to be executed by 70e, the drive shaft 68a of the rotary motor 68 is moved in the reverse direction (second direction) in parallel with the detection of the electrode portion angle φ by the electrode portion angle detecting means. ) Is rotated, and after the electrode portion angle φ is detected by the electrode portion angle detecting means, the drive shaft 6 of the rotary motor 68 is detected. Rotate the a in the forward direction to position the target rotational position calculated suction tool 63a by the target rotational position calculating portion 70f.

制御装置70の装着制御部70h(装着制御手段)は、目標回転位置算出部70fにより算出された目標回転位置に位置決めされた吸着ツール63aを基板2に対して下降させて吸着ツール63aに吸着された部品3を基板2の電極部2aに装着させる。   The mounting control unit 70h (mounting control means) of the control device 70 lowers the suction tool 63a positioned at the target rotation position calculated by the target rotation position calculation unit 70f with respect to the substrate 2 and is sucked by the suction tool 63a. The mounted component 3 is attached to the electrode portion 2 a of the substrate 2.

なお、この装着制御部70hにより部品3が基板2の電極部2aに装着された後、吸着ツール位置決め制御部70gは、回転モータ68の作動制御を行って、回転モータ68の駆動軸68aを原回転位置に復帰させる動作を行う。   After the component 3 is mounted on the electrode portion 2a of the substrate 2 by the mounting control unit 70h, the suction tool positioning control unit 70g controls the operation of the rotary motor 68 and uses the drive shaft 68a of the rotary motor 68 as the original. The operation to return to the rotation position is performed.

図8において、制御装置70には入出力装置としてのタッチパネル77が接続されており、オペレータOPはこのタッチパネル77を介してメッセージを受けることができるとともに、タッチパネル77を介して必要な指令入力を行うことができる。   In FIG. 8, a touch panel 77 as an input / output device is connected to the control device 70, and an operator OP can receive a message via the touch panel 77 and inputs a necessary command via the touch panel 77. be able to.

制御装置70は、前述のように、回転モータ68の駆動軸68aを最終的に順方向に回転させることによって吸着ツール63aの回転モータ68の駆動軸68aの順方向(第1の方向)への回転に追従させた状態で吸着ツール63aの回転方向の位置決めを行う。このため制御装置70の判断部70eは、電極部角度仮設定値設定部70dにおいて設定された電極部角度仮設定値φ1と部品検出手段により検出された部品角度θから得られる角度α1(=φ1−θ)が零(「0」)又は正の値、すなわちα1≧0であり(図10(a))かつ、回転モータ68の駆動軸68aの直前の回転方向が順方向であった場合には、回転モータ68の駆動軸68aをそのまま角度α1(この角度α1は通常、目標回転位置に近い値となる)だけ順方向(第1の方向)に回転させても減速機69内に存在するバックラッシに起因する回転モータ68の駆動軸68aに対する吸着ツール63aの不追従が生じることはないので、部品3の角度を設定した目標回転位置に一致させる場合、アンチバックラッシ動作を実行する必要はないと判断する。   As described above, the control device 70 finally rotates the drive shaft 68a of the rotary motor 68 in the forward direction, thereby moving the suction tool 63a in the forward direction (first direction) of the drive shaft 68a of the rotary motor 68. The suction tool 63a is positioned in the rotational direction while following the rotation. Therefore, the determination unit 70e of the control device 70 obtains an angle α1 (= φ1) obtained from the electrode portion angle temporary setting value φ1 set in the electrode portion angle temporary setting value setting portion 70d and the component angle θ detected by the component detection unit. −θ) is zero (“0”) or a positive value, that is, α1 ≧ 0 (FIG. 10A), and the rotation direction immediately before the drive shaft 68a of the rotary motor 68 is the forward direction. Exists in the speed reducer 69 even if the drive shaft 68a of the rotary motor 68 is rotated in the forward direction (first direction) by the angle α1 (this angle α1 is usually close to the target rotation position) as it is. Since the suction tool 63a does not follow the drive shaft 68a of the rotary motor 68 due to the backlash, the anti-backlash operation needs to be executed when the angle of the component 3 matches the set target rotation position. Judge that there is no.

一方、制御装置70の判断部70eは、電極部角度仮設定値設定部70dにおいて設定された電極部角度仮設定値φ1と部品検出手段により検出された部品角度θから得られる角度α1(=φ1−θ)が零(「0」)又は正の値、すなわちα1≧0であるが(図10(a))、回転モータ68の駆動軸68aの直前の回転方向が逆方向であった場合には、回転モータ68の駆動軸68aをそのまま角度α1だけ順方向(第1の方向)に回転させると、減速機69内に存在するバックラッシに起因する回転モータ68の駆動軸68aに対する吸着ツール63aの不追従が生じてしまうので、部品3の角度を目標回転位置に一致させる場合、最終的に駆動軸68aを順方向に回転させる前に、駆動軸68aを逆方向に回転させる動作(アンチバックラッシ動作)を実行する必要があると判断する。   On the other hand, the determination unit 70e of the control device 70 obtains an angle α1 (= φ1) obtained from the electrode unit angle temporary setting value φ1 set in the electrode unit angle temporary setting value setting unit 70d and the component angle θ detected by the component detection unit. -Θ) is zero (“0”) or a positive value, that is, α1 ≧ 0 (FIG. 10A), but the rotation direction immediately before the drive shaft 68a of the rotary motor 68 is the reverse direction. If the drive shaft 68a of the rotary motor 68 is rotated in the forward direction (first direction) by the angle α1 as it is, the suction tool 63a with respect to the drive shaft 68a of the rotary motor 68 caused by backlash existing in the speed reducer 69 will be described. When the angle of the component 3 is made coincident with the target rotation position, the drive shaft 68a is rotated in the reverse direction before the drive shaft 68a is finally rotated in the forward direction (anti-backlash). It determines that it is necessary to perform the work).

また、制御装置70の判断部70eは、電極部角度仮設定値設定部70dにおいて設定された電極部角度仮設定値φ1と部品検出手段により検出された部品角度θから得られる角度α1(=φ1−θ)が負の値、すなわちα1<0であった場合(図10(b))には、回転モータ68の駆動軸68aをそのまま逆方向(第2の方向)に回転させると、減速機69内に存在するバックラッシに起因する回転モータ68の駆動軸68aに対する吸着ツール63aの不追従が生じてしまうので、部品3の角度を目標回転位置に一致させる場合、最終的に駆動軸68aを順方向に回転させる前に、駆動軸68aを逆方向に回転させる動作(アンチバックラッシ動作)を実行する必要があると判断する。   Further, the determination unit 70e of the control device 70 obtains an angle α1 (= φ1) obtained from the electrode portion angle temporary setting value φ1 set in the electrode portion angle temporary setting value setting portion 70d and the component angle θ detected by the component detection means. -Θ) is a negative value, that is, α1 <0 (FIG. 10B), when the drive shaft 68a of the rotary motor 68 is rotated in the reverse direction (second direction) as it is, the speed reducer 69, the suction tool 63a does not follow the drive shaft 68a of the rotary motor 68 due to the backlash existing in the 69. Therefore, when the angle of the component 3 is made to coincide with the target rotational position, the drive shaft 68a is finally moved forward. Before rotating in the direction, it is determined that it is necessary to execute an operation (anti-backlash operation) for rotating the drive shaft 68a in the reverse direction.

制御装置70の吸着ツール位置決め制御部70gは、判断部70eにおいてアンチバックラッシ動作を実行する必要がないと判断された場合には、電極部角度検出手段による電極部角度φの検出が行われた後に、回転モータ68の駆動軸68aを現在位置からそのまま順方向(第1の方向)に回転させて、吸着ツール63aに吸着された部品3の角度が電極部角度φに一致するように、吸着ツール63aを目標回転位置算出部70fにおいて算出された目標回転位置に位置決めする。   When the determination unit 70e determines that the anti-backlash operation need not be performed by the determination unit 70e, the suction tool positioning control unit 70g of the control device 70 detects the electrode unit angle φ by the electrode unit angle detection means. The suction tool 68a rotates the drive shaft 68a of the rotary motor 68 in the forward direction (first direction) as it is from the current position, so that the angle of the part 3 sucked by the suction tool 63a matches the electrode portion angle φ. 63a is positioned at the target rotational position calculated by the target rotational position calculator 70f.

一方、制御装置70の吸着ツール位置決め制御部70gは、判断部70eにおいてアンチバックラッシ動作を実行する必要があると判断された場合には、電極部角度検出手段による電極部角度の検出と並行して回転モータ68の駆動軸68aを逆方向(第2の方向)に回転させるアンチバックラッシ動作を行う。ここで行うアンチバックラッシ動作では、回転モータ68の駆動軸68aを、アンチバックラッシ動作の後に行う最終的な順方向(第1の方向)への駆動軸68aの回転中に、吸着ツール63aが駆動軸68aに追従するようになる(すなわち、回転モータ68の駆動軸68aの回転位置によって吸着ツール63aの回転位置を制御できるようになる)角度β(図10(b))だけ逆方向(第2の方向)に回転させるようにする。そして、このアンチバックラッシ動作の後、制御装置70の吸着ツール位置決め制御部70gは、電極部角度検出手段による電極部角度φの検出が行われた後に、回転モータ68の駆動軸68aを順方向(第1の方向)に回転させて、吸着ツール63aに吸着された部品3の角度が検出した電極部角度φに一致するように、吸着ツール63aを目標回転位置算出部70fにおいて算出された目標回転位置に位置決めする。   On the other hand, when the determination unit 70e determines that the anti-backlash operation needs to be executed by the determination unit 70e, the suction tool positioning control unit 70g of the control device 70 performs the electrode unit angle detection by the electrode unit angle detection unit. An anti-backlash operation is performed in which the drive shaft 68a of the rotary motor 68 is rotated in the reverse direction (second direction). In the anti-backlash operation performed here, the suction tool 63a is driven by the drive shaft 68a during the rotation of the drive shaft 68a in the final forward direction (first direction) after the anti-backlash operation. 68a (that is, the rotational position of the suction tool 63a can be controlled by the rotational position of the drive shaft 68a of the rotary motor 68) by the angle β (FIG. 10B) in the reverse direction (second Direction). Then, after this anti-backlash operation, the suction tool positioning control unit 70g of the control device 70 moves the drive shaft 68a of the rotary motor 68 forward ( The target rotation calculated by the target rotation position calculation unit 70f so that the angle of the part 3 sucked by the suction tool 63a coincides with the detected electrode angle φ. Position to position.

次に、図11のメインルーチンのフローチャート及び図12のサブルーチンのフローチャートを用いて、仮圧着装置12により基板2上の電極部2aに部品3を仮圧着(装着)する仮圧着作業の実行手順(仮圧着装置12による部品実装方法)について説明する。これには先ず、制御装置70は、上流工程側の装置であるACF貼着装置11より送られてきた基板2(この基板2が備える各電極部2aにはACFテープの切片4が貼着されている)を図示しない基板搬入装置によって仮圧着装置12内に搬入し、その基板2を基板保持移動部22の基板保持テーブル34上に水平姿勢に保持した後(図11に示すステップST1)、基板保持部駆動機構71の作動制御を行って基板2を前述のように位置決めする(図11に示すステップST2)。   Next, using the flowchart of the main routine of FIG. 11 and the flowchart of the subroutine of FIG. 12, the temporary crimping operation procedure for temporarily crimping (mounting) the component 3 to the electrode portion 2a on the substrate 2 by the temporary crimping apparatus 12 ( A component mounting method using the temporary pressure bonding device 12 will be described. To this end, first, the control device 70 sends the substrate 2 sent from the ACF adhering device 11 which is the device on the upstream process side (the section 4 of the ACF tape is adhered to each electrode portion 2a of the substrate 2). Is carried into the temporary press-bonding device 12 by a substrate carry-in device (not shown), and the substrate 2 is held in a horizontal position on the substrate holding table 34 of the substrate holding and moving unit 22 (step ST1 shown in FIG. 11). The operation of the substrate holder drive mechanism 71 is controlled to position the substrate 2 as described above (step ST2 shown in FIG. 11).

このようにステップST1は、仮圧着装置12による部品実装方法において、基板保持部である基板保持移動部22に基板2を保持させる基板保持工程となっている。   Thus, step ST1 is a substrate holding step in which the substrate 2 is held by the substrate holding / moving unit 22 which is a substrate holding unit in the component mounting method using the temporary pressure bonding apparatus 12.

制御装置70は、ステップST1の基板の搬入及びステップST2の基板2の保持及び位置決めと並行して、左右の移送ヘッド54による部品3の受け取りを行う(図11に示すステップST3)。この左右の移送ヘッド54による部品3の受け取りでは、先ず、制御装置70は、左右の移送ヘッド54をそれぞれ部品供給部23の側に移動させ、各移送ヘッド54が備える複数の受け取りノズル57のうち、部品3の受け取りを行っていないものをその移送ヘッド54に対応する部品供給位置(左側の移送ヘッド54であれば左側の部品供給位置、右側の移送ヘッド54であれば右側の部品供給位置)に位置させる。そして、左右のテープ搬送部41を作動させてテープTPの搬送を行いつつ、対応する部品打ち抜き部42(左側のテープ搬送部41に対しては左側の部品打ち抜き部42、右側のテープ搬送部41に対しては右側の部品打ち抜き部42)を作動させてテープTPから部品3を打ち抜くことによって部品供給部23による左右2箇所の部品供給位置への部品3の供給を行い、部品供給部23の左右2箇所の部品供給位置に供給された(部品打ち抜き部42によって打ち抜かれた)部品3が各部品供給位置に位置させた左右の移送ヘッド54それぞれの受け取りノズル57によって受け取られるようにする。   The control device 70 receives the component 3 by the left and right transfer heads 54 in parallel with the loading of the substrate at step ST1 and the holding and positioning of the substrate 2 at step ST2 (step ST3 shown in FIG. 11). In receiving the component 3 by the left and right transfer heads 54, first, the control device 70 moves the left and right transfer heads 54 to the component supply unit 23 side, and among the plurality of receiving nozzles 57 provided in each transfer head 54. A component supply position corresponding to the transfer head 54 that has not received the component 3 (the left component supply position for the left transfer head 54 and the right component supply position for the right transfer head 54) To be located. Then, while operating the left and right tape transport sections 41 to transport the tape TP, the corresponding component punching sections 42 (the left-side component punching section 42 and the right-side tape transport section 41 with respect to the left tape transport section 41). In response to this, by operating the right part punching part 42) and punching out the part 3 from the tape TP, the part supply part 23 supplies the part 3 to the left and right parts supply positions. The component 3 (punched by the component punching unit 42) supplied to the left and right component supply positions is received by the receiving nozzles 57 of the left and right transfer heads 54 positioned at the respective component supply positions.

制御装置70は、左右の移送ヘッド54による部品3の受け取りを行ったら、左右の移送ヘッド54をそれぞれ部品装着部25の側へ移動させて、部品3を受け取った状態の複数の受け取りノズル57のひとつを前述のノズル移動位置に位置させて、部品3の吸着位置への移送を行う(図11に示すステップST4)。   When the control device 70 receives the component 3 by the left and right transfer heads 54, the control device 70 moves the left and right transfer heads 54 toward the component mounting portion 25, and the plurality of receiving nozzles 57 in a state of receiving the component 3. One is located at the aforementioned nozzle movement position, and the component 3 is transferred to the suction position (step ST4 shown in FIG. 11).

制御装置70は、左右の移送ヘッド54により部品3を吸着位置に移送したら、図11に示すステップST5における部品3の装着動作(図12に示すサブルーチン)に入る。   When the control device 70 transfers the component 3 to the suction position by the left and right transfer heads 54, the control device 70 enters the mounting operation (the subroutine shown in FIG. 12) of the component 3 in step ST5 shown in FIG.

部品3の装着動作では先ず、左右の装着ヘッド63をそれぞれ対応する吸着位置の直上に移動させ、吸着ツール63aによって、吸着位置に移送された部品3を吸着(ピックアップ)する(図12に示すステップST11)。   In the mounting operation of the component 3, first, the left and right mounting heads 63 are moved directly above the corresponding suction positions, and the component 3 transferred to the suction position is picked up (pick up) by the suction tool 63a (step shown in FIG. 12). ST11).

このようにステップST11は、仮圧着装置12による部品実装方法において、吸着ツール63aに部品3を吸着させる部品吸着工程となっている。   As described above, step ST11 is a component suction step in which the component 3 is sucked by the suction tool 63a in the component mounting method using the temporary pressure bonding device 12.

制御装置70は、各装着ヘッド63に部品3を吸着させたら、2つのカメラ65の上方に基板2がない状態でカメラ65の上方に部品3を吸着させた吸着ツール63aを(すなわち部品3を)進出させ(図12に示すステップST12)、その部品3に設けられた2つの部品側マーク3mを2つのカメラ65によって撮像し、得られた2つの部品側マーク3mの位置に基づいて、部品角度算出部70bにより(すなわち部品角度検出手段により)、部品角度θを検出する(図12に示すステップST13)。   When the component 3 is attracted to each mounting head 63, the control device 70 uses the suction tool 63 a that sucks the component 3 above the camera 65 without the substrate 2 above the two cameras 65 (ie, the component 3 ) Advance (step ST12 shown in FIG. 12), the two component side marks 3m provided on the component 3 are imaged by the two cameras 65, and based on the obtained position of the two component side marks 3m The component angle θ is detected by the angle calculation unit 70b (that is, by the component angle detection means) (step ST13 shown in FIG. 12).

このようにステップST13は、仮圧着装置12による部品実装方法において、吸着ツール63aに吸着させた部品3の水平面内方向の回転角度である部品角度θを検出する部品角度検出工程となっている。   As described above, step ST13 is a component angle detection step of detecting the component angle θ which is the rotation angle in the horizontal plane direction of the component 3 sucked by the suction tool 63a in the component mounting method by the temporary pressure bonding device 12.

制御装置70は、部品角度θの検出を行ったら、吸着ツール63aを移動させてカメラ65の上方から部品3を退去させるとともに、基板2をカメラ65の上方に進出させる(図12に示すステップST14)。そして、制御装置70は、部品3の装着対象となっている電極部2aの近傍に設けられた2つの電極部側マーク2mを2つのカメラ65で撮像し、得られた2つの電極部側マーク2mの位置に基づいて、電極部角度算出部70cにより、電極部角度φを検出する(図12に示すステップST15)。   After detecting the component angle θ, the control device 70 moves the suction tool 63a to move the component 3 away from the upper side of the camera 65 and advances the substrate 2 above the camera 65 (step ST14 shown in FIG. 12). ). And the control apparatus 70 images the two electrode part side marks 2m provided in the vicinity of the electrode part 2a which is the mounting object of the component 3 with the two cameras 65, and obtained two electrode part side marks. Based on the position of 2 m, the electrode portion angle calculation unit 70c detects the electrode portion angle φ (step ST15 shown in FIG. 12).

このようにステップST15は、仮圧着装置12による部品実装方法において、部品角度θを検出した後、基板保持移動部22に保持させた基板2の電極部2aの水平面内方向の角度である電極部角度φを検出する電極部角度検出工程となっている。   As described above, in step ST15, in the component mounting method using the temporary crimping apparatus 12, the electrode portion that is the angle in the horizontal plane direction of the electrode portion 2a of the substrate 2 held by the substrate holding and moving portion 22 after detecting the component angle θ. This is an electrode part angle detection process for detecting the angle φ.

上記ステップST15において、電極部角度φが検出されたら、制御装置70の目標回転位置算出部70fは、部品角度検出手段により検出された部品角度θと電極部角度検出手段により検出された電極部角度φとに基づいて、吸着ツール63aに吸着された部品3の角度を電極部角度検出手段により検出された電極部角度φに一致させる場合の吸着ツール63aの回転位置である目標回転位置の算出を行う(図12に示すステップST16)。   When the electrode portion angle φ is detected in step ST15, the target rotational position calculation unit 70f of the control device 70 detects the component angle θ detected by the component angle detection unit and the electrode unit angle detected by the electrode unit angle detection unit. Based on φ, calculation of the target rotational position, which is the rotational position of the suction tool 63a when the angle of the component 3 sucked by the suction tool 63a is made to coincide with the electrode portion angle φ detected by the electrode portion angle detection means, is calculated. This is performed (step ST16 shown in FIG. 12).

なお、上記のように、部品角度θを検出してから電極部角度φを検出するようにしているのは、前述のように、基板2をバックアップ部64により支持する際に、電極部2aの近傍位置の下面側を吸着部64dにより吸着して基板の平面度を確保するようにしているため、電極部角度φを検出してから部品角度θを検出するようにすると、吸着部64dによる基板2の吸着を一旦開放しなければならず、吸着部64dによる吸着動作の繰り返しによる煩瑣と再度吸着部64dにより基板2を吸着したときに基板2の位置が最初の状態(電極部角度φを検出したときの状態)からずれてしまうことを避けるためである。   As described above, the electrode angle φ is detected after the component angle θ is detected, as described above, when the substrate 2 is supported by the backup unit 64. Since the flatness of the substrate is secured by attracting the lower surface side of the vicinity position by the attracting portion 64d, if the component angle θ is detected after detecting the electrode portion angle φ, the substrate by the attracting portion 64d is detected. 2 must be released once, the trouble of repeating the adsorption operation by the adsorption unit 64d and the position of the substrate 2 when the substrate 2 is adsorbed again by the adsorption unit 64d (the electrode portion angle φ is detected) This is for avoiding a deviation from the state when the operation is performed.

このようにステップST16は、ステップST13で検出した部品角度θとステップST15で検出した電極部角度φとに基づいて、吸着ツール63aに吸着させた部品3の角度を検出した電極部角度φに一致させる場合の吸着ツール63aの回転位置である目標回転位置の算出を行う目標回転位置算出工程となっている。   In this way, step ST16 matches the detected electrode part angle φ with respect to the part 3 adsorbed by the adsorbing tool 63a based on the part angle θ detected in step ST13 and the electrode part angle φ detected in step ST15. This is a target rotational position calculation step for calculating the target rotational position that is the rotational position of the suction tool 63a when the suction tool 63a is used.

ステップST13の後、制御装置70は、電極部角度仮設定値設定部70dにおいて電極部角度仮設定値φ1を設定する(図12に示すステップST17)。そして、制御装置70は、判断部70eにおいて、ステップST17で設定した電極部角度仮設定値φ1と部品角度算出部70bおいて算出した(部品角度検出手段により検出した)部品角度θ及び回転モータ68の駆動軸68aの直前の回転方向とに基づいて、吸着ツール63aに吸着させた部品3の角度を電極部角度仮設定値φ1に一致させるとした場合に、アンチバックラッシ動作を実行する必要があるか否かの判断を行う(図12に示すステップST18)。   After step ST13, control device 70 sets electrode portion angle temporary setting value φ1 in electrode portion angle temporary setting value setting portion 70d (step ST17 shown in FIG. 12). Then, in the determination unit 70e, the control device 70 uses the electrode angle temporary setting value φ1 set in step ST17, the component angle θ calculated by the component angle calculation unit 70b (detected by the component angle detection means), and the rotary motor 68. The anti-backlash operation needs to be executed when the angle of the component 3 sucked by the suction tool 63a is made to coincide with the electrode portion angle temporary setting value φ1 based on the rotation direction immediately before the drive shaft 68a. (Step ST18 shown in FIG. 12).

このように、上記ステップST17は、電極部角度φの検出と並行して電極部角度仮設定値φ1の設定を行う電極部角度仮設定値設定工程となっており、ステップST18は、設定した電極部角度仮設定値φ1と検出した部品角度θの関係等に基づいて、吸着ツール63aに吸着させた部品3の角度を電極部角度仮設定値φ1に一致させるとした場合に、回転モータ68の駆動軸68aを順方向(第1の方向に)回転させる前に、動力伝達機構である減速機69内に存在するバックラッシに起因する回転モータ68の駆動軸68aに対する吸着ツール63aの不追従が生じないようにするために回転モータ68の駆動軸68aを順方向(第1の方向)とは反対の逆方向(第2の方向)に回転させるアンチバックラッシ動作を実行する必要があるか否かの判断を行う判断工程となっている。   As described above, step ST17 is an electrode part angle temporary setting value setting step for setting the electrode part angle temporary setting value φ1 in parallel with the detection of the electrode part angle φ. When the angle of the part 3 attracted to the suction tool 63a is made to coincide with the electrode part angle temporary set value φ1 based on the relationship between the part angle temporary setting value φ1 and the detected part angle θ, the rotation motor 68 Before the drive shaft 68a is rotated in the forward direction (in the first direction), the suction tool 63a does not follow the drive shaft 68a of the rotary motor 68 due to backlash existing in the speed reducer 69 as a power transmission mechanism. Is it necessary to execute an anti-backlash operation in which the drive shaft 68a of the rotary motor 68 is rotated in the opposite direction (second direction) to the forward direction (first direction) in order to prevent the rotation? This is a determination process for determining whether or not.

制御装置70の電極部角度仮設定値設定部70dが設定する電極部角度仮設定値φ1は、同一の基板2上に一列に並んだ複数の電極部2aから成る電極部列2Lに対して行う最初(1回目)の電極部2aへの部品3の装着時については、想定し得る逆方向の最大値を使用し(このため、最初の部品3の装着時には、必ずアンチバックラッシ動作が実行される)、同一の基板2上に一列に並んだ複数の電極部2aから成る電極部列2Lに対して行う2回目以降の電極部2aへの部品3の装着時については、前回の部品3の装着時に電極部角度検出手段により検出された電極部角度φを使用する。   The electrode part angle temporary setting value φ1 set by the electrode part angle temporary setting value setting part 70d of the control device 70 is applied to the electrode part row 2L composed of a plurality of electrode parts 2a arranged in a line on the same substrate 2. When the component 3 is mounted on the first (first) electrode portion 2a, the maximum value in the reverse direction that can be assumed is used (for this reason, the anti-backlash operation is always executed when the first component 3 is mounted. ) When mounting the component 3 on the electrode portion 2a for the second and subsequent times performed on the electrode portion row 2L composed of a plurality of electrode portions 2a arranged in a row on the same substrate 2, the previous mounting of the component 3 is performed. Sometimes the electrode portion angle φ detected by the electrode portion angle detecting means is used.

なお、2回目以降の電極部2aへの部品3の装着時において、電極部角度仮設定値φ1に、前回の部品3の装着時に電極部角度検出手段により検出された電極部角度φを用いるのは、同一の基板2上に一列に並んだ複数の電極部2aから成る電極部列2Lでは、その電極部列2Lを構成する各電極部2aの電極部角度φは互いにほぼ等しくなるものと予想されるからである。   When the component 3 is mounted on the electrode portion 2a for the second and subsequent times, the electrode portion angle φ detected by the electrode portion angle detecting means when the component 3 was previously mounted is used as the electrode portion angle temporary setting value φ1. In the electrode part row 2L composed of a plurality of electrode parts 2a arranged in a line on the same substrate 2, the electrode part angles φ of the electrode parts 2a constituting the electrode part row 2L are expected to be substantially equal to each other. Because it is done.

ステップST18でアンチバックラッシ動作を行う必要があると判断した場合には、制御装置70の吸着ツール位置決め制御部70gは、吸着ツール63aを逆方向に角度βだけ回転させてアンチバックラッシ動作を実行する(図12に示すステップST19)。   If it is determined in step ST18 that the anti-backlash operation needs to be performed, the suction tool positioning control unit 70g of the control device 70 rotates the suction tool 63a by the angle β in the reverse direction to execute the anti-backlash operation ( Step ST19 shown in FIG.

ここで、制御装置70の吸着ツール位置決め制御部70gは、上記ステップST17〜ステップST19の工程を、ステップST14〜ステップST16の工程が行われている間に(ステップST14〜ステップST16と並行して)行う。   Here, the suction tool positioning control unit 70g of the control device 70 performs the steps ST17 to ST19 while the steps ST14 to ST16 are being performed (in parallel with the steps ST14 to ST16). Do.

制御装置70は、ステップST16とステップST19がともに終了したら、吸着ツール63aを順方向に回転させて、吸着ツール63aをステップST16で算出した目標回転位置に位置決めする(図12に示すステップST20)。これにより、吸着ツール63aに吸着させた部品3の角度がステップST15で検出された電極部角度φに一致する。   When both step ST16 and step ST19 are completed, the controller 70 rotates the suction tool 63a in the forward direction and positions the suction tool 63a at the target rotational position calculated in step ST16 (step ST20 shown in FIG. 12). Thereby, the angle of the component 3 attracted | sucked to the suction tool 63a corresponds with the electrode part angle (phi) detected by step ST15.

ステップST20において吸着ツール63aを目標回転位置に位置決めしたら、制御装置70の装着制御部70hは、昇降モータ67を作動させて吸着ツール63aを下降させ、部品3を電極部2aに押し付けることによって、部品3を電極部2aに装着(仮圧着)する(図12に示すステップST21)。そして、ステップST21において部品3が基板2の電極部2aに装着されたら、制御装置70の吸着ツール位置決め部70gは、回転モータ68の作動制御を行って、回転モータ68の駆動軸68aを原回転位置に復帰させる(図12に示すステップST22)。これにより部品3の装着動作のサブルーチン(メインルーチンのステップST5)が終了し、メインルーチンに戻る。   When the suction tool 63a is positioned at the target rotation position in step ST20, the mounting control unit 70h of the control device 70 operates the lifting motor 67 to lower the suction tool 63a and press the component 3 against the electrode unit 2a, thereby 3 is attached (temporary pressure-bonded) to the electrode portion 2a (step ST21 shown in FIG. 12). When the component 3 is mounted on the electrode part 2a of the substrate 2 in step ST21, the suction tool positioning part 70g of the control device 70 controls the operation of the rotary motor 68 and rotates the drive shaft 68a of the rotary motor 68 to the original rotation. The position is returned (step ST22 shown in FIG. 12). As a result, the subroutine for mounting the component 3 (step ST5 of the main routine) ends, and the process returns to the main routine.

このように本実施の形態において、ステップST19及びステップST20は、ステップST18でアンチバックラッシ動作を実行する必要がないと判断した場合には、ステップST15の電極部角度φの検出を行った後に回転モータ68の駆動軸68aを順方向(第1の方向)に回転させて吸着ツール63aを目標回転位置に位置決めし、ステップST18でアンチバックラッシ動作を実行する必要があると判断した場合には、ステップST15の電極部角度φの検出と並行して回転モータ68の駆動軸68aを逆方向(第2の方向)に回転させるアンチバックラッシ動作を行い(ステップST19)、ステップST15で電極部角度φの検出を行った後に回転モータ68の駆動軸68aを順方向(第1の方向)に回転させて吸着ツール63aを目標回転位置に位置決めする吸着ツール位置決め工程となっている。   As described above, in this embodiment, when it is determined in step ST18 that the anti-backlash operation does not need to be performed in step ST18, the rotation motor is detected after the electrode portion angle φ is detected in step ST15. When it is determined in step ST18 that the anti-backlash operation needs to be executed in step ST18, the 68 drive shafts 68a are rotated in the forward direction (first direction) to position the suction tool 63a at the target rotational position. In parallel with the detection of the electrode portion angle φ, an anti-backlash operation is performed to rotate the drive shaft 68a of the rotary motor 68 in the reverse direction (second direction) (step ST19), and the electrode portion angle φ is detected in step ST15. Then, the suction tool 63 is rotated by rotating the drive shaft 68a of the rotary motor 68 in the forward direction (first direction). And it has a suction tool positioning step of positioning the target rotational position.

また、ステップST21は、ステップST20で目標回転位置に位置決めした吸着ツール63aを基板2に対して下降させて吸着ツール63aに吸着させた部品3を基板2の電極部2aに装着させる部品装着工程となっており、ステップST22は、回転モータ68の駆動軸68aを原回転位置に復帰させる原回転位置復帰工程となっている。   Step ST21 includes a component mounting step in which the suction tool 63a positioned at the target rotation position in Step ST20 is lowered with respect to the substrate 2 and the component 3 sucked by the suction tool 63a is mounted on the electrode portion 2a of the substrate 2. Step ST22 is an original rotation position return step for returning the drive shaft 68a of the rotary motor 68 to the original rotation position.

このように、本実施の形態における部品実装装置としての仮圧着装置12及びこの仮圧着装置12による部品実装方法では、電極部角度φの検出結果を待たずに電極部角度仮設定値φ1を設定(仮定)して回転モータ68の駆動軸68aについてアンチバックラッシ動作の実行の要否を判断し、アンチバックラッシ動作が必要であると判断したときは、電極部角度φの検出を待たずにアンチバックラッシ動作を実行するようになっているので、従来のようにアンチバックラッシ動作が電極部角度φの検出終了後に開始されていた場合よりも基板2上の電極部2aへの部品3の装着タクトが向上する。   Thus, in the temporary crimping device 12 as the component mounting device in this embodiment and the component mounting method using the temporary crimping device 12, the electrode portion angle temporary setting value φ1 is set without waiting for the detection result of the electrode portion angle φ. (Assumption) Then, it is determined whether or not the anti-backlash operation is necessary for the drive shaft 68a of the rotary motor 68, and when it is determined that the anti-backlash operation is necessary, the anti-backlash is not performed without waiting for the detection of the electrode portion angle φ. Since the operation is executed, the mounting tact of the component 3 on the electrode portion 2a on the substrate 2 is improved as compared with the case where the anti-backlash operation is started after the detection of the electrode portion angle φ as in the conventional case. To do.

制御装置70は、メインルーチンのステップST5が終了したら、現在、部品3の装着対象となっている基板2に対する全部品3の装着が終了しているか否かの判断を行う(図11に示すステップST6)。仮圧着装置12は、基板2の長辺側の各電極部2aに部品3を仮圧着した後、次いで基板保持部駆動機構71によって基板2を90度回転させて基板2の短辺側の各電極部2aに部品3を仮圧着するので、現在、部品3の装着対象となっている基板2に対する全部品3の装着が終了したか否かは、基板2の長辺側及び短辺側の電極部2aの全てに部品3が装着されたかどうかによって判断する。   When step ST5 of the main routine is completed, the control device 70 determines whether or not the mounting of all the components 3 on the board 2 to which the components 3 are currently mounted has been completed (step shown in FIG. 11). ST6). The temporary crimping device 12 temporarily crimps the component 3 to each electrode portion 2a on the long side of the substrate 2 and then rotates the substrate 2 by 90 degrees by the substrate holding unit driving mechanism 71 to each of the short sides of the substrate 2. Since the component 3 is temporarily press-bonded to the electrode portion 2a, whether or not the mounting of all the components 3 on the substrate 2 on which the component 3 is currently mounted has been completed is determined on the long side and the short side of the substrate 2. Judgment is made based on whether or not the component 3 is mounted on all of the electrode portions 2a.

制御装置70は、ステップST6において、現在、部品3の装着対象となっている基板2に対する部品3の装着が終了していないと判断した場合にはステップST5に戻って部品3の装着動作を継続する。ここで、基板2の長辺側の電極部列2Lを構成する電極部2aへの部品3の装着動作から短辺側の電極部列2Lを構成する電極部2aへの部品3の装着動作に切り替わった場合であって、短辺側の電極部列2Lを構成する電極部2aについて最初に部品3を装着するときには、仮設定値φ1には想定される逆方向の最大値を用いるようにする。   If the control device 70 determines in step ST6 that the mounting of the component 3 on the board 2 to which the component 3 is currently mounted has not been completed, the control device 70 returns to step ST5 and continues the mounting operation of the component 3. To do. Here, from the mounting operation of the component 3 to the electrode portion 2a constituting the electrode portion row 2L on the long side of the substrate 2 to the mounting operation of the component 3 to the electrode portion 2a constituting the electrode portion row 2L on the short side. In the case of switching, when the component 3 is first mounted on the electrode part 2a constituting the electrode part row 2L on the short side, the assumed maximum value in the reverse direction is used as the temporary setting value φ1. .

一方、制御装置70は、ステップST6において、現在部品3の装着対象となっている基板2に対する部品3の装着が終了していると判断した場合には、仮圧着装置12から基板2を搬出して基板2の一枚当たりの仮圧着作業を終了する(図11に示すステップST7)。   On the other hand, if the control device 70 determines in step ST6 that the mounting of the component 3 on the substrate 2 on which the component 3 is currently mounted has been completed, the control device 70 carries out the substrate 2 from the temporary crimping device 12. Thus, the temporary press-bonding operation for each substrate 2 is completed (step ST7 shown in FIG. 11).

このようにして仮圧着装置12から搬出された基板2は第1の本圧着装置13に搬入され、基板2の長辺側の電極部2aに仮圧着された部品3が本圧着された後、第1の本圧着装置13から搬出されて、第2の本圧着装置14に搬入される。そして、第2の本圧着装置14において基板2の短辺側の電極部2aに仮圧着された部品3が本圧着された後、第2の本圧着装置14から搬出されて検査装置15に搬入され、検査装置15において、基板2の電極部2aに装着された各部品3の検査がなされる。   Thus, after the board | substrate 2 carried out from the temporary crimping | compression-bonding apparatus 12 is carried in into the 1st main crimping | compression-bonding apparatus 13, and the component 3 temporarily crimped | bonded to the electrode part 2a of the long side of the board | substrate 2, this is crimped | bonded, It is carried out from the first main crimping device 13 and carried into the second main crimping device 14. Then, after the component 3 temporarily crimped to the electrode portion 2a on the short side of the substrate 2 in the second final crimping device 14, the component 3 is finally crimped and then unloaded from the second final crimping device 14 and loaded into the inspection device 15. Then, in the inspection apparatus 15, each component 3 mounted on the electrode portion 2a of the substrate 2 is inspected.

以上説明したように、本実施の形態における仮圧着装置12及び仮圧着装置12による部品実装方法では、電極部角度φの検出と並行して電極部角度φの仮設定値(電極部角度仮設定値φ1)の設定を行い、その設定した電極部角度仮設定値φ1と検出した部品角度θ及び回転モータ68の駆動軸68aの直前の回転方向とに基づいて、吸着ツール63aに吸着させた部品3の角度を電極部角度仮設定値φ1に一致させるとした場合に、回転モータ68の駆動軸68aを順方向(第1の方向)に回転させる前に、順方向とは反対の逆方向(第2の方向)に回転させるアンチバックラッシ動作を実行する必要があるか否かの判断を行い、アンチバックラッシ動作を実行する必要があると判断した場合には、電極部角度φの検出と並行してアンチバックラッシ動作を行い、電極部角度φの検出を行った後に回転モータ68の駆動軸68aを順方向に回転させて吸着ツール63aを算出した目標回転位置に位置決めするようになっていることから、アンチバックラッシ動作が電極部角度φの検出の後に行われることはなく、部品ひとつ当たりに要する電極部2aへの装着時間を短縮することができるので、基板2の生産性を向上させることができる。   As described above, in the temporary crimping device 12 and the component mounting method using the temporary crimping device 12 according to the present embodiment, the temporary setting value of the electrode portion angle φ (temporary setting of the electrode portion angle φ) in parallel with the detection of the electrode portion angle φ. Value φ1) is set, and the component sucked by the suction tool 63a based on the set electrode portion angle temporary setting value φ1, the detected component angle θ, and the rotation direction immediately before the drive shaft 68a of the rotary motor 68 is set. 3 is made to coincide with the electrode portion angle temporary setting value φ1, before the drive shaft 68a of the rotary motor 68 is rotated in the forward direction (first direction), the reverse direction opposite to the forward direction ( It is determined whether or not it is necessary to execute an anti-backlash operation that rotates in the second direction. If it is determined that an anti-backlash operation needs to be executed, the detection of the electrode portion angle φ is performed in parallel. Anti bag Since the lashing operation is performed and the electrode portion angle φ is detected, the drive shaft 68a of the rotary motor 68 is rotated in the forward direction to position the suction tool 63a at the calculated target rotational position. The backlash operation is not performed after the detection of the electrode portion angle φ, and the mounting time to the electrode portion 2a required for each component can be shortened, so that the productivity of the substrate 2 can be improved.

また、本実施の形態における仮圧着装置12及び仮圧着装置12による部品実装方法では、同一の基板2上に一列に並んだ複数の電極部2aから成る電極部列2Lに対して行う2回目以降の電極部2aへの部品3の装着時、電極部角度仮設定値設定部70dにより設定される電極部角度仮設定値φ1として、前回の部品3の装着時に電極部角度検出手段(2つのカメラ65及び制御装置70の電極部角度算出部70c)により検出された電極部角度φが用いられるようになっており、設定される電極部角度仮設定値φ1と、その後に実際に検出される電極部角度φとはほぼ一致する可能性が高い(φ1≒φとなる可能性が高い)ことから、電極部角度仮設定値φ1を設定してアンチバックラッシ動作を行った後、実際の電極部角度φを検出した結果に基づいてアンチバックラッシ動作時における回転角度(角度β)が大き過ぎたり小さ過ぎたりするようなことはなく、この面からも部品3のひとつ当たりに要する電極部2aへの装着時間を短縮して基板2の生産性を向上させることができる。   In the temporary crimping device 12 and the component mounting method using the temporary crimping device 12 according to the present embodiment, the second and subsequent times are performed on the electrode portion row 2L including the plurality of electrode portions 2a arranged in a row on the same substrate 2. When the part 3 is mounted on the electrode part 2a, the electrode part angle temporary setting value φ1 set by the electrode part angle temporary setting value setting part 70d is used as the electrode part angle detection means (two cameras 65 and the electrode portion angle φ detected by the electrode portion angle calculation unit 70c) of the control device 70 are used, and the electrode portion angle temporarily set value φ1 to be set and the electrode actually detected thereafter Since it is highly likely that the part angle φ is substantially the same (φ1≈φ is likely to be high), after setting the electrode part angle temporary setting value φ1 and performing the anti-backlash operation, the actual electrode part angle Result of detecting φ Therefore, the rotation angle (angle β) during the anti-backlash operation is not too large or too small. From this aspect, the mounting time to the electrode portion 2a required for one part 3 can be shortened. The productivity of the substrate 2 can be improved.

部品ひとつ当たりに要する電極部への装着時間を短縮して基板の生産性を向上させることができる部品実装装置及び部品実装方法を提供する。   Provided are a component mounting apparatus and a component mounting method capable of improving the productivity of a substrate by shortening the mounting time required for each component.

2 基板
2a 電極部
2L 電極部列
3 部品
12 仮圧着装置(部品実装装置)
22 基板保持移動部(基板保持部)
63a 吸着ツール
65 カメラ(部品角度検出手段、電極部角度検出手段)
68 回転モータ
68a 駆動軸
69 減速機(動力伝達機構)
70b 部品角度算出部(部品角度検出手段)
70c 電極部角度算出部(電極部角度算出手段)
70d 電極部角度仮設定値設定部(電極部角度仮設定値設定手段)
70e 判断部(判断手段)
70f 目標回転位置算出部(目標回転位置算出手段)
70g 吸着ツール位置決め制御部(吸着ツール位置決め制御手段)
70h 装着制御部(装着制御手段)
θ 部品角度
φ 電極部角度
φ1 電極部角度仮設定値(電極部角度の仮設定値)
2 Substrate 2a Electrode unit 2L Electrode unit array 3 Component 12 Temporary crimping device (component mounting device)
22 Substrate holding and moving unit (substrate holding unit)
63a Suction tool 65 Camera (component angle detection means, electrode portion angle detection means)
68 Rotating motor 68a Drive shaft 69 Reducer (power transmission mechanism)
70b Component angle calculation unit (component angle detection means)
70c Electrode angle calculation unit (electrode angle calculation means)
70d electrode part angle temporary set value setting part (electrode part angle temporary set value setting means)
70e Judgment part (judgment means)
70f Target rotation position calculation unit (target rotation position calculation means)
70g Suction tool positioning control unit (Suction tool positioning control means)
70h Wear control unit (wear control means)
θ Component angle φ Electrode angle φ1 Temporary setting value of electrode angle (Temporary setting value of electrode angle)

Claims (2)

電極部を有した基板を保持する基板保持部と、
垂直軸回りに回転自在に設けられて部品を吸着する吸着ツールと、
動力伝達機構を介して吸着ツールを回転させる駆動軸を有し、この駆動軸を最終的に第1の方向に回転させることによって吸着ツールの回転を駆動軸の前記第1の方向への回転に追従させた状態で吸着ツールの回転方向の位置決めを行う回転モータと、
吸着ツールに吸着された部品の水平面内方向の回転角度である部品角度を検出する部品角度検出手段と、
部品角度検出手段により部品角度が検出された後、基板保持部に保持された基板の電極部の水平面内方向の角度である電極部角度を検出する電極部角度検出手段と、
電極部角度検出手段による電極部角度の検出と並行して電極部角度の仮設定値を設定する電極部角度仮設定値設定手段と、
電極部角度仮設定値設定手段により設定された電極部角度の前記仮設定値と部品角度検出手段により検出された部品角度の関係に基づいて、吸着ツールに吸着された部品の角度を電極部角度の前記仮設定値に一致させるとした場合に、回転モータの駆動軸を前記第1の方向に回転させる前に、動力伝達機構内に存在するバックラッシに起因する回転モータの駆動軸に対する吸着ツールの不追従が生じないようにするために回転モータの駆動軸を前記第1の方向とは反対の第2の方向に回転させるアンチバックラッシ動作を実行する必要があるか否かの判断を行う判断手段と、
部品角度検出手段により検出された部品角度と電極部角度検出手段により検出された電極部角度とに基づいて、吸着ツールに吸着された部品の角度を電極部角度検出手段により検出された電極部角度に一致させる場合の吸着ツールの回転位置である目標回転位置の算出を行う目標回転位置算出手段と、
判断手段によりアンチバックラッシ動作を実行する必要がないと判断された場合には、電極部角度検出手段による電極部角度の検出が行われた後に回転モータの駆動軸を前記第1の方向に回転させて吸着ツールを目標回転位置算出手段により算出された目標回転位置に位置決めし、判断手段によりアンチバックラッシ動作を実行する必要があると判断された場合には、電極部角度検出手段による電極部角度の検出と並行して回転モータの駆動軸を前記第2の方向に回転させるアンチバックラッシ動作を行い、電極部角度検出手段による電極部角度の検出が行われた後に回転モータの駆動軸を前記第1の方向に回転させて吸着ツールを目標回転位置算出手段により算出された目標回転位置に位置決めする吸着ツール位置決め制御手段と、
目標回転位置算出手段により算出された目標回転位置に位置決めされた吸着ツールを基板に対して下降させて吸着ツールに吸着された部品を基板の電極部に装着させる装着制御手段とを備え
同一の基板上に一列に並んだ複数の電極部から成る電極部列に対して行う2回目以降の電極部への部品の装着時、電極部角度仮設定値設定手段により設定される電極部角度の前記仮設定値として、前回の部品の装着時に電極部角度検出手段により検出された電極部角度が用いられることを特徴とする部品実装装置。
A substrate holding portion for holding a substrate having an electrode portion;
A suction tool that is rotatably provided around the vertical axis and sucks parts;
A drive shaft for rotating the suction tool via the power transmission mechanism, the rotation of the first direction of the drive shaft rotation of the suction tool by rotating the drive shaft to the final first direction A rotary motor that positions the suction tool in the following state,
A component angle detection means for detecting a component angle which is a rotation angle in a horizontal plane direction of a component sucked by the suction tool;
After the component angle is detected by the component angle detection unit, an electrode unit angle detection unit that detects an electrode unit angle that is an angle in a horizontal plane direction of the electrode unit of the substrate held by the substrate holding unit;
Electrode part angle temporary setting value setting means for setting a temporary setting value of the electrode part angle in parallel with detection of the electrode part angle by the electrode part angle detection means;
Based on the relationship of the detected parts angle by the temporary set value of the electrode portion angle set by the electrode unit angle provisional setting value setting means and the component angle detector, the electrode portion the angle of the component sucked by the suction tool in case of a match on the provisional setting value of the angle, before the rotation of the drive shaft of the rotary motor in the first direction, the suction tool relative to the drive shaft of the rotary motor due to backlash present in the power transmission mechanism judgment for judging whether it is necessary to execute the anti-backlash operation of rotating in a second direction opposite the first direction the drive shaft of the rotary motor in order to not follow does not occur Means,
Based on the component angle detected by the component angle detection unit and the electrode unit angle detected by the electrode unit angle detection unit, the electrode unit angle detected by the electrode unit angle detection unit is detected by the electrode unit angle detection unit. Target rotation position calculation means for calculating a target rotation position that is the rotation position of the suction tool when matching with
If it is determined that there is no need to perform anti-backlash operation by determining means rotates the drive shaft of the rotary motor in the first direction after the detection of the electrode unit angle by the electrode unit angle detection unit has been performed When the suction tool is positioned at the target rotational position calculated by the target rotational position calculating means and the anti-backlash operation is determined to be executed by the determining means, the electrode angle detected by the electrode angle detecting means is determined. to detect and parallel with anti-backlash operation of rotating in the second direction the drive shaft of the rotary motor, the electrode unit angle detecting means and the drive shaft of the rotary motor after the detection of the electrode unit angle were made first by A suction tool positioning control means for positioning the suction tool at the target rotational position calculated by the target rotational position calculating means by rotating in the direction of
A mounting control means for lowering the suction tool positioned at the target rotational position calculated by the target rotational position calculating means with respect to the substrate and mounting the component sucked by the suction tool on the electrode portion of the substrate ;
The electrode portion angle set by the electrode portion angle temporary setting value setting means when the component is mounted on the electrode portion for the second and subsequent times for the electrode portion row formed of a plurality of electrode portions arranged in a line on the same substrate. The component mounting apparatus according to claim 1, wherein an electrode portion angle detected by an electrode portion angle detecting means at the time of previous mounting of the component is used as the temporary setting value .
電極部を有した基板を保持する基板保持部と、垂直軸回りに回転自在に設けられて部品を吸着する吸着ツールと、動力伝達機構を介して吸着ツールを回転させる駆動軸を有し、この駆動軸を最終的に第1の方向に回転させることによって吸着ツールの回転を駆動軸の前記第1の方向への回転に追従させた状態で吸着ツールの回転方向の位置決めを行う回転モータとを備えた部品実装装置による部品実装方法であって、
基板保持部に基板を保持させる工程と、
吸着ツールに部品を吸着させる工程と、
吸着ツールに吸着させた部品の水平面内方向の回転角度である部品角度を検出する工程と、
部品角度を検出した後、基板保持部に保持させた基板の電極部の水平面内方向の角度である電極部角度を検出する工程と、
電極部角度の検出と並行して電極部角度の仮設定値の設定を行う工程と、
設定した電極部角度の前記仮設定値と検出した部品角度の関係に基づいて、吸着ツールに吸着させた部品の角度を電極部角度の前記仮設定値に一致させるとした場合に、回転モータの駆動軸を前記第1の方向に回転させる前に、動力伝達機構内に存在するバックラッシに起因する回転モータの駆動軸に対する吸着ツールの不追従が生じないようにするために回転モータの駆動軸を前記第1の方向とは反対の第2の方向に回転させるアンチバックラッシ動作を実行する必要があるか否かの判断を行う工程と、
検出した部品角度と検出した電極部角度とに基づいて、吸着ツールに吸着させた部品の角度を検出した電極部角度に一致させる場合の吸着ツールの回転位置である目標回転位置の算出を行う工程と、
アンチバックラッシ動作を実行する必要がないと判断した場合には、電極部角度の検出を行った後に回転モータの駆動軸を前記第1の方向に回転させて吸着ツールを目標回転位置に位置決めし、アンチバックラッシ動作を実行する必要があると判断した場合には、電極部角度の検出と並行して回転モータの駆動軸を前記第2の方向に回転させるアンチバックラッシ動作を行い、電極部角度の検出を行った後に回転モータの駆動軸を前記第1の方向に回転させて吸着ツールを目標回転位置に位置決めする工程と、
目標回転位置に位置決めした吸着ツールを基板に対して下降させて吸着ツールに吸着させた部品を基板の電極部に装着させる工程とを含み、
同一の基板上に一列に並んだ複数の電極部から成る電極部列に対して行う2回目以降の電極部への部品の装着時、設定する電極部角度の前記仮設定値として、前回の部品の装着時に検出した電極部角度を用いることを特徴とする部品実装方法。
A substrate holding portion for holding a substrate having an electrode portion; a suction tool that is rotatably provided around a vertical axis and sucks a component; and a drive shaft that rotates the suction tool via a power transmission mechanism. a drive shaft finally by rotating in a first direction and a rotation motor for positioning the rotating direction of the suction tool in a state in which to follow the rotation of the first direction of the drive shaft rotation of the suction tool A component mounting method using the component mounting apparatus provided,
A step of holding the substrate in the substrate holding portion;
A process of adsorbing parts to the adsorption tool;
A step of detecting a component angle that is a rotation angle in a horizontal plane direction of the component sucked by the suction tool;
After detecting the component angle, detecting the electrode part angle which is the angle in the horizontal plane direction of the electrode part of the board held by the board holding part;
A step of setting a temporary setting value of the electrode portion angle in parallel with the detection of the electrode portion angle;
Based on the relationship of the of the set electrode portion angle detected provisional setpoint parts angle, in case of a match on the temporary set value of the angle of the electrode portion angle of the component adsorbed on the suction tool, rotary motor of the drive shaft prior to rotation in the first direction, the drive shaft of the rotary motor in order to prevent the occurrence is not follow the suction tool relative to the drive shaft of the rotary motor due to backlash present in the power transmission mechanism and performing the first determination of whether or not it is necessary to run the anti-backlash operation of rotating in a second direction opposite to the direction,
A step of calculating a target rotation position that is a rotation position of the suction tool when the angle of the part sucked by the suction tool is made to coincide with the detected electrode part angle based on the detected part angle and the detected electrode part angle. When,
If it is determined that there is no need to run an anti-backlash operation, the suction tool is positioned at the target rotational position by the driving shaft of the rotary motor is rotated in the first direction after the detection of the electrode unit angle, If it is determined that it is necessary to execute the anti-backlash operation performs an anti-backlash operation of rotating the drive shaft of the rotary motor in the second direction in parallel with the detection electrode unit angle, the electrode portion angle of detection a step of positioning the drive shaft of the rotary motor to the target rotational position suction tool is rotated in the first direction after the,
The components of the suction tool has been positioned at the target rotational position is lowered by adsorbing the suction tool relative to the substrate viewed contains a step of mounting the electrode portion of the substrate,
The previous part is used as the temporary setting value of the electrode part angle to be set when the part is mounted on the electrode part for the second and subsequent electrode parts, which are performed on the electrode part row composed of a plurality of electrode parts arranged in a line on the same substrate. A component mounting method using an electrode portion angle detected at the time of mounting.
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