JP2015143628A - 電子部品検査装置 - Google Patents
電子部品検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015143628A JP2015143628A JP2014016477A JP2014016477A JP2015143628A JP 2015143628 A JP2015143628 A JP 2015143628A JP 2014016477 A JP2014016477 A JP 2014016477A JP 2014016477 A JP2014016477 A JP 2014016477A JP 2015143628 A JP2015143628 A JP 2015143628A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- imaging
- focal length
- inspection
- microscope
- optimum focal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1306—Details
- G02F1/1309—Repairing; Testing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
(S)上記顕微鏡部の対物レンズと撮像部位との距離Lを変えながら画像を撮像し、その画像データにもとづいて、上記情報処理手段において最適焦点距離の絞り込みを行い、最適焦点距離が決定するまで上記距離Lの変更および撮像を繰り返すことによって、ピント合わせが行われるようになっており、初回、上記距離Lが予め設定された所定距離に設定され、最適焦点距離が決定するまでその距離の変更と撮像を繰り返し、決定された最適焦点距離が上記情報処理手段に記憶され、次回以降、上記情報処理手段において、前回以前に記憶された最適焦点距離のばらつきから一定の傾向を抽出し、そのばらつきに対応した補正を加えて予測最適焦点距離を導出し、上記対物レンズと撮像部位との距離Lを、まず、上記予測最適焦点距離に設定し、最適焦点距離が決定するまでその距離Lの変更と撮像を繰り返すことによって行われるとともに、その決定された最適焦点距離が、上記情報処理手段に記憶されるようになっている画像基準フォーカス機構。
(1)ICチップとパネルパターンとの圧着状態・ずれ。
(2)FPCとパネルパターンとの圧着状態・ずれ。
(3)導電粒子層のカウント。
(4)圧痕のつぶれ具合。
(5)導電粒子の分布
(6)異物の混入・傷
41 本体部
42 顕微鏡部
43 対物レンズ
46 X方向位置決め手段
49 Z軸調整手段
51 ラインスキャンカメラ
Claims (3)
- 電子部品を載置するための移動ステージと、上記移動ステージ上に載置された電子部品の所定部位を撮像するための撮像手段と、上記撮像手段を上記移動ステージ面に対し平行に移動させ、撮像のための適正位置に位置決めするための位置決め手段と、上記撮像手段によって得られた画像データにもとづいて、その撮像部位の良否を検査するよう設定された情報処理手段とを備えた電子部品検査装置であって、
上記撮像手段が、上記位置決め手段に取り付け固定される本体部と、この本体部に、撮像部位に向かって進退自在に取り付けられる顕微鏡部とを備え、
上記顕微鏡部には、撮像部位の拡大画像を得るための対物レンズが内蔵されており、
上記本体部には、上記対物レンズが撮像部位に対し最適焦点距離となるよう顕微鏡部を進退させてピント合わせを行う顕微鏡部進退手段と、上記顕微鏡部によって得られる拡大画像を取り込んで上記情報処理手段に出力するラインスキャンカメラとが設けられていることを特徴とする電子部品検査装置。 - 上記本体部に、同軸型レーザ変位センサが内蔵されたオートフォーカス部が設けられており、このオートフォーカス部からの指示によって、上記顕微鏡部進退手段によるピント合わせが行われるようになっている請求項1記載の電子部品検査装置。
- 上記情報処理手段に、画像データから最適焦点距離を求め、その値から上記顕微鏡部進退手段に指示を与えてピント合わせを行う下記の画像基準フォーカス機構Sが設けられており、上記オートフォーカス部によるピント合わせと、上記画像基準フォーカス機構Sによるピント合わせとが、スイッチにより選択できるようになっている請求項2記載の電子部品検査装置。
(S)上記顕微鏡部の対物レンズと撮像部位との距離Lを変えながら画像を撮像し、その画像データにもとづいて、上記情報処理手段において最適焦点距離の絞り込みを行い、最適焦点距離が決定するまで上記距離Lの変更および撮像を繰り返すことによって、ピント合わせが行われるようになっており、初回、上記距離Lが予め設定された所定距離に設定され、最適焦点距離が決定するまでその距離の変更と撮像を繰り返し、決定された最適焦点距離が上記情報処理手段に記憶され、次回以降、上記情報処理手段において、前回以前に記憶された最適焦点距離のばらつきから一定の傾向を抽出し、そのばらつきに対応した補正を加えて予測最適焦点距離を導出し、上記対物レンズと撮像部位との距離Lを、まず、上記予測最適焦点距離に設定し、最適焦点距離が決定するまでその距離Lの変更と撮像を繰り返すことによって行われるとともに、その決定された最適焦点距離が、上記情報処理手段に記憶されるようになっている画像基準フォーカス機構。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014016477A JP6176789B2 (ja) | 2014-01-31 | 2014-01-31 | 電子部品検査装置 |
CN201510024613.3A CN104820299A (zh) | 2014-01-31 | 2015-01-16 | 电子部件检查装置 |
TW104102635A TW201530124A (zh) | 2014-01-31 | 2015-01-27 | 電子構件檢查裝置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014016477A JP6176789B2 (ja) | 2014-01-31 | 2014-01-31 | 電子部品検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015143628A true JP2015143628A (ja) | 2015-08-06 |
JP6176789B2 JP6176789B2 (ja) | 2017-08-09 |
Family
ID=53730634
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014016477A Expired - Fee Related JP6176789B2 (ja) | 2014-01-31 | 2014-01-31 | 電子部品検査装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6176789B2 (ja) |
CN (1) | CN104820299A (ja) |
TW (1) | TW201530124A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110445964A (zh) * | 2019-07-22 | 2019-11-12 | 广州供电局有限公司 | 摄像装置及电缆故障解剖系统 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017066635A1 (en) * | 2015-10-16 | 2017-04-20 | Mikroscan Technologies, Inc. | Systems, media, methods, and apparatus for enhanced digital microscopy |
CN105259178B (zh) * | 2015-11-20 | 2019-03-15 | 云南卡索实业有限公司 | 一种剪切类线性痕迹激光检测系统 |
TWI588469B (zh) * | 2016-04-26 | 2017-06-21 | 住華科技股份有限公司 | 自動檢測系統及應用其自動檢測方法 |
CN108872251A (zh) * | 2018-08-02 | 2018-11-23 | 北京兆维科技开发有限公司 | 一种显示屏的图像采集机构和系统 |
CN108897153B (zh) * | 2018-08-10 | 2024-08-23 | 宁波舜宇仪器有限公司 | 液晶面板导电粒子自动视觉检测装置 |
KR20210116777A (ko) * | 2020-03-13 | 2021-09-28 | (주)테크윙 | 전자부품 처리장비용 촬영장치 |
CN114324360A (zh) * | 2021-12-31 | 2022-04-12 | 深圳鼎晶科技有限公司 | 一种aoi压痕检测系统及方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63259521A (ja) * | 1987-04-16 | 1988-10-26 | Olympus Optical Co Ltd | 複合型合焦検出装置 |
JP2002277729A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-09-25 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡用オートフォーカス装置および方法 |
JP2011211035A (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-20 | Lasertec Corp | 検査装置並びに欠陥分類方法及び欠陥検出方法 |
US20120038780A1 (en) * | 2010-08-11 | 2012-02-16 | Jeon Seung-Hwa | Apparatus and method for inspecting display device |
JP5038191B2 (ja) * | 2008-03-04 | 2012-10-03 | 有限会社共同設計企画 | 電子部品検査方法およびそれに用いられる装置 |
JP2013145123A (ja) * | 2012-01-13 | 2013-07-25 | Seiwa Optical Co Ltd | 広角反射同軸照明付光学系 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000100883A (ja) * | 1998-09-21 | 2000-04-07 | Seiko Epson Corp | 半導体検査装置 |
US20040086166A1 (en) * | 2002-11-01 | 2004-05-06 | Photon Dynamics, Inc. | Method and apparatus for flat patterned media inspection |
KR20090131000A (ko) * | 2008-06-17 | 2009-12-28 | 아주하이텍(주) | 플렉시블 인쇄회로기판의 통합 검사 시스템 및 그 방법 |
CN102338755A (zh) * | 2010-07-15 | 2012-02-01 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 电子元件接触点失效分析方法 |
KR20130051796A (ko) * | 2011-11-10 | 2013-05-21 | (주)쎄미시스코 | 기판 검사장치 |
-
2014
- 2014-01-31 JP JP2014016477A patent/JP6176789B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2015
- 2015-01-16 CN CN201510024613.3A patent/CN104820299A/zh active Pending
- 2015-01-27 TW TW104102635A patent/TW201530124A/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63259521A (ja) * | 1987-04-16 | 1988-10-26 | Olympus Optical Co Ltd | 複合型合焦検出装置 |
JP2002277729A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-09-25 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡用オートフォーカス装置および方法 |
JP5038191B2 (ja) * | 2008-03-04 | 2012-10-03 | 有限会社共同設計企画 | 電子部品検査方法およびそれに用いられる装置 |
JP2011211035A (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-20 | Lasertec Corp | 検査装置並びに欠陥分類方法及び欠陥検出方法 |
US20120038780A1 (en) * | 2010-08-11 | 2012-02-16 | Jeon Seung-Hwa | Apparatus and method for inspecting display device |
JP2012037503A (ja) * | 2010-08-11 | 2012-02-23 | Lg Display Co Ltd | 表示装置の検査装置及び検査方法 |
JP2013145123A (ja) * | 2012-01-13 | 2013-07-25 | Seiwa Optical Co Ltd | 広角反射同軸照明付光学系 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110445964A (zh) * | 2019-07-22 | 2019-11-12 | 广州供电局有限公司 | 摄像装置及电缆故障解剖系统 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201530124A (zh) | 2015-08-01 |
CN104820299A (zh) | 2015-08-05 |
JP6176789B2 (ja) | 2017-08-09 |
TWI560440B (ja) | 2016-12-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6176789B2 (ja) | 電子部品検査装置 | |
TWI490477B (zh) | 電子零件檢查方法及用於該方法中之裝置 | |
US11818471B2 (en) | Unscanned optical inspection system using a micro camera array | |
WO2011007651A1 (ja) | 基板検査装置 | |
KR100976802B1 (ko) | 자동 압흔 검사장치 및 방법 | |
KR101074394B1 (ko) | 엘시디 검사장치 | |
WO2017002369A1 (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
JP4767302B2 (ja) | ベアチップ用両面検査設備 | |
WO2015174114A1 (ja) | 基板検査装置 | |
US8275188B2 (en) | System and method for inspecting chips in a tray | |
JP2017015483A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
JP2019011960A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
JP2014001939A (ja) | 部品検査装置 | |
KR100726995B1 (ko) | Lcd 패널의 자동 압흔검사장치 | |
US20100150430A1 (en) | Visual inspection apparatus and visual inspection method for semiconductor laser chip or semiconductor laser bar | |
KR101351000B1 (ko) | 복수 개의 검사 모드를 가지는 인라인 카메라 검사 장치 | |
JP2017015482A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
JP2017015479A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
JP5519313B2 (ja) | ウェーハ欠陥の高速オンライン電気光学的検出のための方法及びシステム | |
KR20160002151A (ko) | 압흔 검사 장치 및 방법 | |
CN114222913B (zh) | 晶片外观检查装置和方法 | |
JP2017015481A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
JP2001228091A (ja) | 欠陥検査方法及びその装置 | |
JP2007292683A (ja) | 試料測定装置および試料測定装置の試料台調節方法 | |
JP2003185596A (ja) | 薄型板状体の撮像処理方法および撮像処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161115 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20170123 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20170308 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170314 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170512 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170620 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170707 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6176789 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |