JP2015135270A - ガスセンサ用フィルタ及びガスセンサ - Google Patents
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Abstract
Description
10…センサ用フィルタ
11…ケーシング
11a…天板
11b…開口部
12…フィルタ部
12a…第1フィルタ部
12b…第2フィルタ部
13…支持部材
101…発熱抵抗体
102…酸化触媒
103…基板
104…凹部
105…ステム
106…リード端子
107…ワイヤ
D…薄膜ダイアフラム
F1…センサ素子
F2…参照素子
Claims (4)
- 発熱抵抗体に酸化触媒を被膜してなり検知対象ガスの濃度に応じた信号を出力するセンサ素子を少なくとも覆うガスセンサ用フィルタであって、
前記センサ素子が搭載される基台と共に前記センサ素子の外周を覆い、一部に開口部が形成されたケーシングと、
前記ケーシングの前記開口部と前記センサ素子との間に設けられ、前記センサ素子の被毒対象となるシリコーンガス及び硫黄系ガスの双方を吸着するフィルタ部と、を備え、
前記フィルタ部は、活性炭、活性白土、メゾ多孔シリカ、アルミナ及びゼオライトの少なくとも1つからなる第1フィルタ部と、パラジウム又は白金の貴金属単体、並びにパラジウム及び白金の少なくとも一方を担持したセラミック担持体のいずれかからなる第2フィルタ部と、を有する
ことを特徴とするガスセンサ用フィルタ。 - 前記第1フィルタ部の全部又は一部は、前記第2フィルタ部よりも前記開口部側に設けられている
ことを特徴とする請求項1に記載のガスセンサ用フィルタ。 - 前記第1フィルタ部及び第2フィルタ部とは、混合されて1の吸着部材とされている
ことを特徴とする請求項1に記載のガスセンサ用フィルタ。 - 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のガスセンサ用フィルタと、
前記ガスセンサ用フィルタのケーシング内に収納される前記センサ素子と、
を備えることを特徴とするガスセンサ。
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