JP2015133478A - 磁性多層スタック - Google Patents
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Abstract
【解決手段】磁性多層スタック200は、CoFeBNの第1磁性層110とCoFeBを含む第2磁性層130との間に挟まれた非磁性層120を含む複合軟質層600を含む。第1磁性層110は、垂直磁気異方性を有する。第2磁性層130は、CoFeB、あるいはCoFeBとCoまたはFeとの組み合わせからなり、垂直磁気異方性を有する。非磁性層120はTa、Ti、Hf、Cr、Ru、V、Ag、Au、W、TaN、TiN、RuO、Zrまたはそれらの組み合わせのいずれかを含む。
【選択図】図1
Description
Claims (14)
- 垂直磁気異方性を有し、コバルト−鉄−ボロン−窒化物(CoFeBN)を含む第1磁性層(110)と、
垂直磁気異方性を有し、コバルト−鉄−ボロン(CoFeB)を含む第2磁性層(130)と、
第1磁性層と第2磁性層との間に挟まれ、Ta、Ti、Hf、Cr、Ru、V、Ag、Au、W、TaN、TiN、RuO、Zr、またはそれらの組み合わせのいずれかを含む非磁性層(120)と、を含む複合軟質層(180)を含む磁気抵抗デバイスのための磁性多層スタック(200)。 - 更に、第2磁性層(130)の近くの1つの側面にトンネルバリア層(160)を含み、トンネルバリア層(160)は非磁性金属材料または絶縁体材料を含む請求項1に記載の磁気抵抗デバイスのための磁性多層スタック(200)。
- 更に、第1磁性層(110)の近くにスペーサ層(165)を含み、スペーサ層(165)は非磁性金属材料または絶縁体材料を含む請求項1または2に記載の磁気抵抗デバイスのための磁性多層スタック(200)。
- 絶縁体材料は、マグネシウム酸化物、マグネシウムチタン酸化物、マグネシウムアルミニウム酸化物、またはアルミニウム酸化物からなるグループから選択される酸化物を含む非磁性金属材料または絶縁体材料を含む請求項2または3に記載の磁気抵抗デバイスのための磁性多層スタック(200)。
- 非磁性金属材料は、Cu、Cr、またはRuのいずれかを含む請求項2または3に記載の磁気抵抗デバイスのための磁性多層スタック(200)。
- 更に、トンネルバリア層(160)の近くで、トンネルバリア層(160)の他の側面に、硬質層(1002)を含む請求項1〜5のいずれかに記載の磁気抵抗デバイスのための磁性多層スタック(200)。
- 更に、他の硬質層(1004)を含み、スペーサ層(161)は、他の硬質層(1004)と第1磁性層(110)との間に挟まれ、これにより他のトンネルバリア層(161)を形成する請求項1〜6のいずれかに記載の磁気抵抗デバイスのための磁性多層スタック(200)。
- コバルト−鉄−ボロン−窒化物のボロン濃度が、10〜30原子パーセントの範囲である請求項1〜7のいずれかに記載の磁気抵抗デバイスのための磁性多層スタック(200)。
- 第1磁性層(110)および/または第2磁性層(130)が、0.6〜2nmの範囲の膜厚を有する請求項1〜8のいずれかに記載の磁気抵抗デバイスのための磁性多層スタック(200)。
- 非磁性層(120)が、0.2〜2.5nmの範囲の膜厚を有する請求項1〜9のいずれかに記載の磁気抵抗デバイスのための磁性多層スタック(200)。
- トンネルバリア層(160)が、0.8〜2.5nmの範囲の膜厚を有する請求項2〜10のいずれかに記載の磁気抵抗デバイスのための磁性多層スタック(200)。
- スペーサ層(165)が、0.4〜2.5nmの範囲の膜厚を有する請求項3〜11のいずれかに記載の磁気抵抗デバイスのための磁性多層スタック(200)。
- 上部シード層(1001)を含む底部電極(1000)と、
シード層(1001)の上に有り、軟質層または硬質層である第1磁気構造(600)と、
第1磁気構造(600)の上に有り、非磁性金属材料または絶縁体材料を含むトンネルバリア構造(160)と、
トンネルバリア構造(160)の上に有り、第1磁性構造が軟質層の場合は硬質層であり、または第1磁性構造が硬質層の場合は軟質層である、第2磁性構造(1002)と、
第2磁性構造(1002)の上の上部電極(1003)と、を含み、
第1磁性構造または第2磁性構造の軟質層(600)は、
垂直磁気異方性を有し、コバルト−鉄−ボロン−窒化物(CoFeBN)を含んで垂直磁気異方性を有する第1磁性層(110)と、
垂直磁気異方性を有し、コバルト−鉄−ボロン(CoFeB)を含んで垂直磁気異方性を有する第2磁性層(130)であって、トンネルバリア構造の近くに配置される第2磁性層(130)と、
第1磁性層と第2磁性層との間に挟まれて、Ta、Ti、Hf、Cr、Ru、V、Ag、Au、W、TaN、TiN、RuO、Zr、またはそれらの組み合わせのいずれかを含む非磁性層(120)と、を含む複合構造である磁気抵抗デバイス(900)。 - 更に、シード層(1001)と他のトンネルバリア層(161)との間で、第1磁性層(110)の近くに他の硬質層(1004)を含む請求項13に記載の磁気抵抗デバイス(900)。
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