JP2015133397A - マグネトインピーダンスを用いた磁気センサー素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のマグネトインピーダンス磁気センサー素子は、磁性アモルファスワイヤ2に卷回するコイル3に高周波電流IACを印加して、コイル3に発生する高周波電圧VACの振幅は外部磁場とともに変化するマグネトインピーダンスを用いた磁気センサー素子であって、磁性アモルファスワイヤ2に電気接続が無いことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明のマグネトインピーダンス磁気センサー素子において、好ましくは、コイル3に印加する直流電流によって、磁性アモルファスワイヤ2に対するバイアス静磁場を印加する構成とするとよい。
本発明のマグネトインピーダンス磁気センサー素子において、好ましくは、単一のコイルが、励起コイル、検知コイルおよびバイアス磁場コイルを兼用するとよい。
なお、本明細書において、『磁気インピーダンス素子』は、アモルファス合金ワイヤなどの高透磁率合金磁性体の磁気インピーダンス効果を基礎に、パルス通電磁気インピーダンス効果をCMOS電子回路で実現した新原理の高感度マイクロ磁気センサーをいう。
『磁気インピーダンス効果』は、広義には、外部磁場の関数として、ある材料の電気的インピーダンスが大きく変化することをいう。なお、狭義の『磁気インピーダンス効果』は、磁性体にMHz帯域の高周波電流を流すと外部磁界により磁性体のインピーダンスが変化し、それによる磁性体両端電圧の振幅が数ガウス程度の微小磁界で数10%変化する現象である(特開平7−181239号、特開平9−127218号)。
信号発生器11が、第1のコンデンサーC1を介してコイル3の他端に接続されている。プリアンプ12は、高周波電圧VACを入力して、復調器13に出力する。そして、復調器13とアンプ14を介して出力電圧Voutが出力される。直流電流IDCはインダクタLを介してコイル3の他端に供給されている。コイル3の電圧は低ノイズのプリアンプ12に送られて、復調器13を経由後、出力電圧Voutを測定することにより外部磁界の変化を測定する。
2: 磁性アモルファスワイヤ
3: コイル
4、5: コンデンサーC1、C2
6: インダクタL
IAC: 高周波電流
IDC: 直流電流
VAC: 高周波電圧
Claims (6)
- 磁性アモルファスワイヤに卷回するコイルに高周波電流を印加して、前記コイルに発生する高周波電圧の振幅は外部磁場とともに変化するマグネトインピーダンスを用いた磁気センサー素子において、
前記磁性アモルファスワイヤに電気接続が無いことを特徴とするマグネトインピーダンス磁気センサー素子。 - 前記磁性アモルファスワイヤの長さが1mm乃至10mmであり、前記磁性アモルファスワイヤの直径が10μm乃至1mmであると共に、
前記コイルの卷数が10乃至200であることを特徴とする請求項1に記載のマグネトインピーダンスを用いた磁気センサー素子。 - 前記コイルに印加する直流電流によって、前記磁性アモルファスワイヤに対するバイアス静磁場を印加することを特徴とする請求項1又は2に記載のマグネトインピーダンスを用いた磁気センサー素子。
- 単一のコイルが、励起コイル、検知コイルおよびバイアス磁場コイルを兼用することを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載のマグネトインピーダンスを用いた磁気センサー素子。
- 前記コイルの一端は接地されており、前記コイルの他端は第1のコンデンサーを介して前記高周波電流が供給されると共に、第2のコンデンサーを介して前記高周波電圧を発生することを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載のマグネトインピーダンスを用いた磁気センサー素子。
- 前記コイルの一端は接地されており、前記コイルの他端は第1のコンデンサーを介して前記高周波電流が供給されると共に、第2のコンデンサーを介して前記高周波電圧を発生し、
さらに、前記コイルの他端と前記第2のコンデンサーの接続点にインダクタが接続されていると共に、このインダクタを介して前記直流電流を印加することを特徴とする請求項3又は4に記載のマグネトインピーダンスを用いた磁気センサー素子。
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2014
- 2014-01-14 JP JP2014003884A patent/JP2015133397A/ja active Pending
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