JP2015128743A - 霧化器及び霧化器における周波数の掃引方法 - Google Patents

Abstract

【課題】液体を効率的に霧化することができる霧化器を提供する。
【解決手段】霧化器は、振動板３１及び振動板を振動させる圧電素子３２を有する振動体３と、振動板の表面に液体を供給する液体供給部２１と、圧電素子に供給する交流電圧の周波数を掃引する駆動制御部と、を備え、駆動制御部は、振動体３の共振周波数を含む周波数帯において交流電圧を掃引し、予め設定された単位時間（例えば、１秒）における掃引回数が所定回数（例えば、２回）以上である。
【選択図】図３

Description

この発明は、振動板を圧電素子によって振動させて、前記振動板の表面に供給された液体を霧化する霧化器及び霧化器における周波数の掃引方法に関する。

従来、薬剤、香料等を含む液体を霧化して空気中に放出する霧化器では、例えば、振動板に液体を供給し、この振動板に接合された圧電素子を振動駆動することによって液体を霧化している。具体的には、例えば、圧電素子の駆動周波数を所定範囲の周波数域内で掃引（スイープ）させて圧電素子を駆動することが開示されている（特許文献１参照）。特許文献１に記載の霧化装置では、前記所定範囲の周波数域における中心周波数が、前記圧電素子の共振周波数に略等しく設定されている。

特許文献１に記載の霧化装置によれば、圧電素子の駆動周波数を所定範囲の周波数域内でスイープさせて駆動するため、圧電素子に印加する電圧の周波数を個々の圧電素子の共振周波数に調整する工程を不要とすることができると共に、前記所定範囲の周波数域における中心周波数が、圧電素子の共振周波数に略等しいため、一定以上の噴霧量を確保することができる、と記載されている。

しかしながら、特許文献１に記載の霧化装置においては、周波数が適正にスイープされていないときに、振動板上に供給された液体を充分効率的に霧化できない場合があった。この場合には、特許文献１に記載の霧化装置では、所望する霧化量を達成することができないことがある。

特開２００８−３６４５０号公報

本発明は上記の課題を解決するためのものであり、液体を効率的に霧化することができる霧化器及び霧化器における周波数の掃引方法を提供することを目的としている。

この目的を達成するために、本発明に係る第１の霧化器は、振動板、及び、当該振動板を振動させる圧電素子を有する振動体と、前記振動板の表面に液体を供給する液体供給手段と、前記圧電素子に供給する交流電圧の周波数を掃引する掃引制御手段と、を備える霧化器であって、前記掃引制御手段が、前記振動体の共振周波数を含む周波数帯において前記交流電圧を掃引し、予め設定された単位時間における掃引回数が所定回数以上であることを特徴としている。

この構成によれば、液体供給手段によって振動板の表面に液体が供給され、当該振動板が圧電素子によって振動される。また、掃引制御手段によって、前記圧電素子に供給する交流電圧の周波数が掃引される。更に、この掃引制御手段によって、前記振動体の共振周波数を含む周波数帯において前記交流電圧が掃引され、予め設定された単位時間（例えば、１秒間）における掃引回数が所定回数（例えば、２回）以上であるため、前記圧電素子に供給する交流電圧の周波数が前記振動体の共振周波数と略一致する単位時間当たりの回数を所定回数以上とすることができる。よって、振動板の表面に供給された液体が霧化する時間間隔ΔＴを短くすることができる。したがって、この時間間隔ΔＴにおいて供給された液体が振動板の表面に滞留する量を削減することができるため、振動板の表面に供給された液体を効率的に霧化することができる。また、前記振動体の共振周波数のバラツキに伴う霧化量のバラツキを低減することができる。

本発明に係る第２の霧化器は、第１の霧化器において、前記掃引制御手段が、１秒間に２回以上の頻度で掃引することを特徴としている。

この構成によれば、前記掃引制御手段によって、１秒間に２回以上の頻度で掃引されるため、振動板の表面に供給された液体が霧化する時間間隔ΔＴを約０．２５秒以下とすることができる。したがって、供給された液体が振動板の表面に滞留する量を更に削減することができるため、振動板の表面に供給された液体を更に効率的に霧化することができる。

本発明に係る第３の霧化器は、第１又は第２の霧化器において、前記掃引制御手段は、前記交流電圧をバースト波として掃引することを特徴としている。

この構成によれば、前記掃引制御手段によって、前記交流電圧がバースト波として掃引されるため、簡素な構成で（例えば、安価なマイクロコンピュータで）前記掃引制御手段を実現することができる。

本発明に係る第４の霧化器は、第１から第３のいずれか１つの霧化器において、前記振動板が、その表面が略水平に配設され、前記液体供給手段が、前記振動板の上面に液体を供給することを特徴としている。

この構成によれば、前記振動板の表面が略水平に配設され、前記液体供給手段によって、前記振動板の上面に液体が供給されるため、振動板の表面に供給された液体を更に効率的に霧化することができる。

本発明に係る霧化器における周波数の掃引方法は、振動板、及び、当該振動板を振動させる圧電素子を有する振動体と、前記振動板の表面に液体を供給する液体供給手段と、を備える霧化器において、前記圧電素子に供給する交流電圧の周波数の掃引方法であって、前記振動体の共振周波数を含む周波数帯において前記交流電圧を掃引し、予め設定された単位時間における掃引回数が所定回数以上であることを特徴としている。

この方法によれば、液体供給手段によって振動板の表面に液体が供給され、当該振動板が圧電素子によって振動される。また、前記圧電素子に供給する交流電圧の周波数が掃引される。更に、前記振動体の共振周波数を含む周波数帯において前記交流電圧が掃引され、予め設定された単位時間（例えば、１秒間）における掃引回数が所定回数（例えば、２回）以上であるため、前記圧電素子に供給する交流電圧の周波数が前記振動体の共振周波数と略一致する単位時間当たりの回数を所定回数以上とすることができる。よって、振動板の表面に供給された液体が霧化する時間間隔ΔＴを短くすることができる。したがって、この時間間隔ΔＴにおいて供給された液体が振動板の表面に滞留する量を削減することができるため、振動板の表面に供給された液体を効率的に霧化することができる。また、前記振動体の共振周波数のバラツキに伴う霧化量のバラツキを低減することができる。

本発明に係る霧化器及び霧化器における周波数の掃引方法によれば、振動板の表面に供給された液体を効率的に霧化することができる。また、前記振動体の共振周波数のバラツキに伴う霧化量のバラツキを低減することができる。

本発明に係る霧化器の一例を示す構成図である。 図１に示す霧化器の振動体の一例を示す図であって、（ａ）は、斜視図であり、（ｂ）は、断面図である。 図１に示す霧化器の液体供給部の一例を示す図であって、（ａ）はペン方式の図であり、（ｂ）は、滴下方式の図である。 図１に示す霧化器の液体供給部の他の一例を示す図であって、（ａ）は、毛細管方式の図であり、（ｂ）は、給液芯方式の図であり、（ｃ）は、スプレー方式の図である。 図１に示す駆動制御部の出力周波数の一例を示すグラフであって、（ａ）は、周期が約１秒の場合であって、（ｂ）は、周期が約１／３秒の場合である。 図１に示す駆動制御部の出力周波数の他の一例を示すグラフであって、（ａ）は、周期が約１／４秒の場合であって、（ｂ）は、周期が約１／５秒の場合である。 本発明に係る霧化器の効果の一例を示す図表であって、（ａ）は、詳細な実験データであり、（ｂ）は、整理された実験データである。

以下に、この発明の一実施の形態に係る霧化器１００について、図１から図７を参照しながら説明する。まず、図１を参照して、霧化器１００の全体構成について説明する。図１は、本発明に係る霧化器１００の一例を示す構成図である。霧化器１００は、液体を霧化し、外部に（大気中に）放出する霧化器であって、タンク１、液体供給部２、振動体３、及び、駆動制御部４を備えている。

ここで、霧化器１００は、樹脂製、又は、金属製（例えば、ステンレス製）の筐体（図示省略）を備え、タンク１、液体供給部２、振動体３、及び、駆動制御部４は、この筐体内に収納されている。また、この筐体には、振動体３において発生された霧化した液体を外部に（大気中に）放出する開口が形成されている。

タンク１は、樹脂製、又は、金属製（例えば、ステンレス製）のタンクであって、霧化する液体を貯留する。ここで、タンク１に貯留される液体は、例えば、衛生用又は化粧用等の薬効成分、及び、芳香成分の少なくとも一方を含む液体である。ただし、図７の図表に示す実験では、便宜上、液体として水を使用している。

液体供給部２は、タンク１に貯留されている液体を、振動体３（具体的には、図２に示す振動板３１の霧化面３１１）に供給する。ここで、液体供給部２は、本発明に係る「液体供給手段」の一具体例に相当する。また、液体供給部２から振動体３に供給する液体の量は、振動体３において霧化される量（以下、霧化量という。）に概ね一致するべく設定されている。更に、液体供給部２の構造は、図３及び図４を用いて後述するように種々の構造が適用可能であるが、例えば、図３（ａ）に示すペン方式等の供給量を概ね一定に設定できる方式が好ましい。

振動体３は、液体供給部２によって供給された液体を霧化するものであって、ここでは、図２に示すように、いわゆる「ムーニー（Moonie）型」に構成されており、振動板３１、及び、振動板３１を振動させる圧電素子３２を有している。図２（ａ）は、振動体３の斜視図であって、図２（ｂ）は、振動体３のＡ−Ａ断面図である。圧電素子３２は、図２に示すように、略円板状に形成され、駆動制御部４から供給される駆動電圧に応じて振動する。また、振動板３１は、ステンレス等の金属製（ここでは、例えば、厚みが０．５ｍｍのＳＵＳ３０４製）であって、圧電素子３２の外周面に当接し、圧電素子３２の上面側には空間を形成するべくドーム状に形成されている。更に、振動板３１は、圧電素子３２の外周面（側面）と、例えば接着剤等によって固定されている。振動板３１は、圧電素子３２からの振動が伝達されて振動し、振動板３１の上面（霧化面３１１）に供給された液体を霧化する。

このように、振動板３１が、厚み０．５ｍｍのＳＵＳ３０４製であるため、防錆性を有すると共に、強度も確保することができる。本実施形態では、振動板３１が、ＳＵＳ３０４製である場合について説明するが、その他の種類のステンレス（例えば、ＳＵＳ４３０等）であっても良いし、他の種類の金属（例えば、アルミニウム等）である形態でも良いし、セラミックスである形態でも良い。

また、振動体３が、いわゆる「ムーニー（Moonie）型」に構成されているため、簡素な構成で効率的に液体を霧化することができる。本実施形態では、振動体３が、「ムーニー（Moonie）型」に構成されている場合について説明するが、振動体３が、その他の方式（例えば、「単板型」、「積層型」、「シンバル（Cymbal）型」等）に構成されている形態でも良い。

駆動制御部４は、振動体３の圧電素子３２を駆動制御するものであって、信号発生部４１及び信号増幅部４２を備えている。ここで、駆動制御部４は、本発明に係る「掃引制御手段」の一具体例に相当する。また、信号発生部４１は、圧電素子３２に供給する交流電圧の周波数を掃引するものである。具体的には、信号発生部４１は、振動体３の共振周波数Ｆ０（例えば、１１８．９６ｋＨｚ）を含む周波数帯（例えば、１１４．３ｋＨｚ〜１３５．６ｋＨｚ）において交流電圧を掃引し、予め設定された単位時間（例えば、１秒間）における掃引回数Ｎが所定回数（例えば、２回）以上（例えば、図５（ｂ）では掃引回数Ｎ＝３回、図６（ａ）では掃引回数Ｎ＝４回、図６（ｂ）では掃引回数Ｎ＝５回）のバースト波（周波数がステップ的に変化する信号）を生成する。なお、信号発生部４１の生成するバースト波の詳細については、図５、図６を用いて後述する。信号増幅部４２は、信号発生部４１によって生成されたバースト波を、圧電素子３２の駆動に適した電圧に増幅するものである。

電源部５は、駆動制御部４に対して予め設定された所定周波数（例えば、５０Ｈｚ又は６０Ｈｚ）の交流電圧の電力（例えば、商用電力）を供給するもの、もしくは、電池などの直流電源を直流電圧に変換し、かつ電圧を変換して（たとえば、３．３Ｖや５Ｖ程度）電力を供給するものである。

ここで、図１に示す霧化器１００の動作を説明する。タンク１に貯留されている液体が、液体供給部２によって、振動体３の振動板３１の霧化面３１１に供給される。一方、電源部５からの電力が駆動制御部４に供給され、駆動制御部４の信号発生部４１において、振動体３の共振周波数Ｆ０を含む周波数帯において交流電圧が掃引され、バースト波が生成される。そして、生成されたバースト波が駆動制御部４の信号増幅部４２によって増幅されて、振動体３の圧電素子３２に供給され、圧電素子３２が供給されたバースト波に応じて振動する。圧電素子３２の振動が振動体３の振動板３１に伝達されて、振動板３１が振動し、振動板３１の霧化面３１１に供給された液体が霧化される。

次に、図３、図４を参照して、液体供給部２の実施形態について説明する。図３（ａ）はペン方式の図であり、図３（ｂ）は、滴下方式の図であり、図４（ａ）は、毛細管方式の図であり、図４（ｂ）は、給液芯方式の図であり、図４（ｃ）は、スプレー方式の図である。図３（ａ）に示すように、ペン方式の液体供給部２１は、鉛筆のような形状に形成されており、先端（ここでは、下端）が円錐状に形成されている。そして、円錐状に形成された先端（ここでは、下端）から振動板３１の霧化面３１１にタンク１内の液体が供給される。また、図３（ｂ）に示すように、滴下方式の液体供給部２２は、タンク１の側面に接続された給液管として構成されており、タンク１内の液体が、この給液管内を通って、その先端（ここでは、左端）から振動板３１の霧化面３１１に滴下することによって供給される。

図４（ａ）に示すように、毛細管方式の液体供給部２３は、一方側端部がタンク１に接続された毛細管として構成されており、タンク１内の液体が、この毛細管内を通って、他方側端部（ここでは、左下側端部）から振動板３１の霧化面３１１に流下することによって供給される。図４（ｂ）に示すように、給液芯方式の液体供給部２４は、一方側端部（ここでは、上側端部）がタンク１に接続された給液芯として構成されており、タンク１内の液体が、この給液芯に含浸され、他方側端部（ここでは、下側端部）から振動板３１の霧化面３１１に浸み出すことによって供給される。図４（ｃ）に示すように、スプレー方式の液体供給部２５は、一方側端部（ここでは、左側端部）がタンク１に接続されたノズル２５１を有するスプレーガンとして構成されており、タンク１内の液体が、このノズル２５１から噴出されて、振動板３１の霧化面３１１に供給される。

図３、図４に示す液体供給部２の実施形態では、振動板３１の霧化面３１１が振動板３１の上側面であるため、液体供給部２によって、振動板３１の上面に液体が供給され、振動板３１の表面に供給された液体を更に効率的に霧化することができる。図３、図４に示す液体供給部２の実施形態では、振動板３１の霧化面３１１が振動板３１の上側面である場合について説明したが、振動板３１の霧化面３１１がその他の方向を向いている面である形態でも良い。例えば、振動板３１の霧化面３１１が、振動板３１の下側面である形態でも良い。この場合には、振動体３の霧化面３１１が下側を向いた状態で、霧化器１００に配設される。また、例えば、振動板３１の右側面（又は、左側面）である形態でも良い。この場合には、振動体３の霧化面３１１が右側（又は、左側）を向いた状態で、霧化器１００に配設される。

ここで、図５、図６を参照して、駆動制御部４（信号発生部４１）が生成する信号について説明する。図５、図６に示すグラフＧ１〜Ｇ４は、横軸が時間（ｍｓｅｃ）であって縦軸が周波数（ｋＨｚ）であって、信号発生部４１が生成する信号の周波数の変化を示すグラフである。図５、図６に示すように、信号発生部４１は、振動体３の共振周波数Ｆ０（ここでは、１１８．９６ｋＨｚ）を含む周波数帯（ここでは、１１４．３ｋＨｚ〜１３５．６ｋＨｚ）において交流電圧を掃引する。また、信号発生部４１は、周波数を、予め設定された所定周波数ΔＦ（ここでは、２ｋＨｚ）ずつステップ的に変化させるバースト波の形態で周波数を掃引する。

図５（ａ）では、信号発生部４１が生成する信号の周期Ｔ１は、約１秒であるため、１秒間に約２回の頻度で、振動体３の共振周波数Ｆ０に略一致する周波数となる。図５（ｂ）では、信号発生部４１が生成する信号の周期Ｔ２は、約１／３秒であるため、１秒間に約６回の頻度で、振動体３の共振周波数Ｆ０に略一致する周波数となる。図６（ａ）では、信号発生部４１が生成する信号の周期Ｔ３は、約１／４秒であるため、１秒間に約８回の頻度で、振動体３の共振周波数Ｆ０に略一致する周波数となる。図６（ｂ）では、信号発生部４１が生成する信号の周期Ｔ３は、約１／５秒であるため、１秒間に約１０回の頻度で、振動体３の共振周波数Ｆ０に略一致する周波数となる。

このように、予め設定された所定周波数ΔＦ（ここでは、約２ｋＨｚ）ずつステップ的に変化させるバースト波として掃引する場合には、簡素な構成で（例えば、安価なマイクロコンピュータで）信号発生部４１を実現することができる。本実施形態では、予め設定された所定周波数ΔＦ（ここでは、約２ｋＨｚ）ずつステップ的に変化させるバースト波として掃引する場合について説明したが、より小さい所定周波数ΔＦ１（例えば、０．５ｋＨｚ）ずつステップ的に変化させるバースト波として掃引する形態でも良いし、連続的に周波数を変化させて掃引する形態でも良い。

図７は、本発明に係る霧化器１００の効果の一例を示す図表であって、（ａ）は、詳細な実験データであり、（ｂ）は、整理された実験データである。左端の記号Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄは、信号発生部４１が生成する信号が、それぞれ、図５（ａ）のグラフＧ１、図５（ｂ）のグラフＧ２、図６（ａ）のグラフＧ３、及び、図６（ｂ）のグラフＧ４であることを示している。すなわち、記号Ａ〜記号Ｄにおいては、信号発生部４１は、振動体３の共振周波数Ｆ０（ここでは、１１８．９６ｋＨｚ）を含む周波数帯（ここでは、１１４．３ｋＨｚ〜１３５．６ｋＨｚ）において交流電圧を掃引する。また、信号発生部４１は、周波数を、予め設定された所定周波数ΔＦ（ここでは、２ｋＨｚ）ずつステップ的に変化させるバースト波の形態で周波数を掃引する。また、記号Ａ、記号Ｂ、記号Ｃ、及び、記号Ｄにおいては、それぞれ、図５（ａ）、図５（ｂ）、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、信号発生部４１が生成する信号の周期Ｔ１は、約１秒、約１／３秒、約１／４秒、及び、約１／５秒である。

また、図７（ａ）の「素子Ｎｏ．」の欄に示すように、ここでは、「素子Ｎｏ．」が「１２」、「１７」、及び、「２５」である３個の振動体３を用いて実験を行っている。図７（ａ）の「共振周波数」の欄に示すように、「素子Ｎｏ．」が「１２」である振動体３の共振周波数は「１１９．７６ｋＨｚ」であり、「素子Ｎｏ．」が「１７」である振動体３の共振周波数は「１１９．０５ｋＨｚ」であり、「素子Ｎｏ．」が「２５」である振動体３の共振周波数は「１１８．０６ｋＨｚ」である。

ここで、振動体３の共振周波数について説明する。振動体３の共振周波数とは、本実施形態においては、振動体３の振動板３１の霧化面３１１において、単位時間（ここでは、１分間）に液体が霧化される量（ここでは、質量（ｇ）であり、以下「霧化量Ｑ」という。）が最大（又は、極大）となる周波数である。

上述のように、「素子Ｎｏ．」が「１２」、「１７」、及び、「２５」である３個の振動体３は、それぞれ、共振周波数が相違するため、霧化量Ｑも相違している。図７（ａ）の右端欄には、平均霧化量との差の百分率を示しているが、記号Ａの場合には、「−３３％〜１９％」の範囲で大きくバラツいているのに対して、記号Ｂでは、「−１１％〜１１％」、記号Ｃでは、「−２％〜３％」、記号Ｄでは、「−９％〜７％」となっており、信号発生部４１が生成するバースト信号の周期Ｔが短い程、振動体３の共振周波数等のバラツキに伴う、霧化量のバラツキが概ね減少している。すなわち、予め設定された単位時間（ここでは、１秒間）における掃引回数が所定回数（ここでは、２回）以上とし、振動板３１の霧化面３１１に供給された液体が霧化する時間間隔ΔＴを短くすることによって、振動体３の共振周波数のバラツキに伴う霧化量Ｑのバラツキを低減することができるのである。なお、本実施形態では、１周期Ｔにおいて共振周波数Ｆ０の状態となる回数は２回であるため、時間間隔ΔＴは周期Ｔの約半分となる。

図７（ｂ）の右から２番目の欄には、「素子Ｎｏ．」が「１２」、「１７」、及び、「２５」である３個の振動体３における霧化量Ｑの平均値を記載しており、右端の欄には、記号Ａにおける霧化量Ｑ（ここでは、１５．５ｍｇ／ｍｉｎ）を基準として、記号Ｂ、Ｃ、Ｄにおける霧化量Ｑを、それぞれ、百分率で霧化比Ｒとして記載している。記号Ｂ、Ｃ、Ｄにおける霧化比Ｒは、図７（ｂ）に示すように、それぞれ、「１３２％」、「１４４％」、及び、「１５６％」であって、圧電素子３２に供給する交流電圧の周波数Ｆが振動体３の共振周波数Ｆ０と略一致する単位時間当たりの回数Ｎを増加する程、振動板３１の表面（霧化面３１１）に供給された液体を効率的に霧化することができる。すなわち、圧電素子３２に供給する交流電圧の周波数Ｆが振動体３の共振周波数Ｆ０と略一致する単位時間当たりの回数Ｎを増加する程、振動板３１の表面（霧化面３１１）に供給された液体が霧化する時間間隔ΔＴを短くすることができる。したがって、この時間間隔ΔＴにおいて供給された液体が振動板３１の表面（霧化面３１１）に滞留する量を削減することができるため、振動板３１の表面（霧化面３１１）に供給された液体を効率的に霧化することができるのである。

本実施形態では、信号発生部４１が１１４．３ｋＨｚ〜１３５．６ｋＨｚの周波数帯において交流電圧を掃引する場合について説明したが、掃引する周波数帯は、振動体３の共振周波数Ｆ０（ここでは、１１８．９６ｋＨｚ）を含んでいれば、狭い程良い。すなわち、掃引する周波数帯が狭い程、共振周波数Ｆ０近傍の周波数である時間が長く、霧化量Ｑを増大することができるからである。

また、本実施形態では、信号発生部４１が振動体３の共振周波数Ｆ０（ここでは、１１８．９６ｋＨｚ）を含む形態について説明したが、信号発生部４１が振動体３の基本波の共振周波数、又は、高調波の共振周波数のうちの少なくともいずれか一つの共振周波数を含む形態でも良い。

１００ 霧化器
１ タンク
２（２１、２２、２３、２４、２５） 液体供給部（液体供給手段）
３ 振動体
３１ 振動板
３１１ 霧化面
３２ 圧電素子
４ 駆動制御部（掃引制御手段）
４１ 信号発生部
４２ 信号増幅部
５ 電源部

Claims (5)

1. 振動板、及び、当該振動板を振動させる圧電素子を有する振動体と、前記振動板の表面に液体を供給する液体供給手段と、前記圧電素子に供給する交流電圧の周波数を掃引する掃引制御手段と、を備える霧化器であって、
   前記掃引制御手段は、前記振動体の共振周波数を含む周波数帯において前記交流電圧を掃引し、予め設定された単位時間における掃引回数が所定回数以上であることを特徴とする霧化器。
2. 請求項１に記載の霧化器であって、
   前記掃引制御手段は、１秒間に２回以上の頻度で掃引することを特徴とする霧化器。
3. 請求項１又は請求項２に記載の霧化器であって、
   前記掃引制御手段は、前記交流電圧をバースト波として掃引することを特徴とする霧化器。
4. 請求項１から請求項３のいずれか１つに記載の霧化器であって、
   前記振動板は、その表面が略水平に配設され、
   前記液体供給手段は、前記振動板の上面に液体を供給することを特徴とする霧化器。
5. 振動板、及び、当該振動板を振動させる圧電素子を有する振動体と、前記振動板の表面に液体を供給する液体供給手段と、を備える霧化器において、前記圧電素子に供給する交流電圧の周波数の掃引方法であって、
   前記振動体の共振周波数を含む周波数帯において前記交流電圧を掃引し、予め設定された単位時間における掃引回数が所定回数以上であることを特徴とする、圧電素子に供給する交流電圧の周波数の掃引方法。

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