JP2015122198A - 表示装置 - Google Patents

表示装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2015122198A
JP2015122198A JP2013265316A JP2013265316A JP2015122198A JP 2015122198 A JP2015122198 A JP 2015122198A JP 2013265316 A JP2013265316 A JP 2013265316A JP 2013265316 A JP2013265316 A JP 2013265316A JP 2015122198 A JP2015122198 A JP 2015122198A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
layer
display device
pixel
organic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2013265316A
Other languages
English (en)
Inventor
松浦 利幸
Toshiyuki Matsuura
利幸 松浦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung Display Co Ltd
Original Assignee
Samsung Display Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Display Co Ltd filed Critical Samsung Display Co Ltd
Priority to JP2013265316A priority Critical patent/JP2015122198A/ja
Priority to KR1020140153765A priority patent/KR20150075016A/ko
Publication of JP2015122198A publication Critical patent/JP2015122198A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • H10K50/805Electrodes
    • H10K50/81Anodes
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/122Pixel-defining structures or layers, e.g. banks
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/123Connection of the pixel electrodes to the thin film transistors [TFT]

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

【課題】トップエミッション型表示装置において光が透過する電極の透過率を向上させても、輝度低下および表示ムラを抑制すること。【解決手段】本発明の表示装置は、複数の画素を有する表示装置であって、画素毎に対応して設けられた画素回路と、画素回路上に設けられた絶縁層と、絶縁層上に設けられ、少なくとも複数の画素にわたって電気的に接続されて配置された第1電極と、第1電極上に設けられた発光層と、発光層上に画素毎に設けられ、絶縁層に設けられた開口部を介して画素回路に接続された光透過性を有する第2電極と、を備えることを特徴とする。【選択図】図3

Description

本発明は、表示装置の画質を改善する技術に関する。
近年、有機EL(Organic Electroluminescence)など、供給される電流に応じた強度で発光する素子を用いた表示装置が開発されている。このような表示装置として、トップエミッション型アクティブマトリックス有機ELディスプレイがある。この表示装置によれば、発光素子の発光方向が、薄膜トランジスタ(TFT:Thin Film Transistor)とは逆の方向になる。そこで、発光素子の発光方向側(TFTとは逆側)の電極(以下、上部電極という)に、光透過性を有する程度に薄膜化した金属を用いたり、透明導電性酸化物を用いたりする必要がある。しかし、これらは、光の透過率を維持しようとすると低抵抗化することが困難であり、その結果、電圧降下に伴う画面内の輝度分布が発生する。
この輝度分布は、高電流が必要な高輝度にするほど、また、大画面化するほど顕著になってくる。そのため、補助配線を用いて上部電極と接続することにより、電圧降下を減らす試みがなされている(例えば、特許文献1、2)。
特開2001−230086号公報 特開2005−011810号公報
特許文献1、2においては、補助配線を形成する必要があるため、工程が煩雑になり、量産時の歩留まりを低下させる要因となり得る。また、補助配線の製造方法、補助配線によるレイアウトの制限等により、大型化、高精細化が困難になる。
本発明の目的の一つは、トップエミッション型表示装置において輝度低下および表示ムラを抑制しつつ大型化および高精細化が可能な構成を実現することにある。
本発明の一実施形態によると、複数の画素を有する表示装置であって、前記画素毎に対応して設けられた画素回路と、前記画素回路上に設けられた絶縁層と、前記絶縁層上に設けられ、少なくとも複数の画素にわたって電気的に接続されて配置された第1電極と、前記第1電極上に設けられた有機EL層と、前記有機EL層上に前記画素毎に設けられ、前記絶縁層に設けられた開口部を介して前記画素回路に接続された光透過性を有する第2電極と、を備えることを特徴とする表示装置が提供される。
この表示装置によれば、光を透過する電極を画素毎に電位が制御される電極にすることで、トップエミッション型表示装置において輝度低下および表示ムラを抑制しつつ大型化および高精細化が可能な構成を実現することができる。
また、別の好ましい態様において、前記第1電極のシート抵抗は2Ω/□以下であってもよい。
この表示装置によれば、さらに表示ムラを低減することができる。
また、別の好ましい態様において、前記第1電極は、前記開口部を囲うように形成され、前記開口部を囲う前記第1電極の端部を覆う第1端部、前記第1電極と前記有機EL層とが接続される領域を規定する第2端部、および隣接する前記画素側の第3端部を有する保護層をさらに有し、前記第3端部のテーパ角は、前記第2端部のテーパ角よりも大きくてもよい。
この表示装置によれば、第3端部において第2電極を隣接する画素と分離することができるため、画素の開口率を増加させることができる。
また、別の好ましい態様において、前記第3端部のテーパ角は80度以上であってもよい。
この表示装置によれば、第3端部において第2電極を隣接する画素と分離することができるため、画素の開口率を増加させることができる。
また、別の好ましい態様において、前記第2端部のテーパ角は60度以下であってもよい。
この表示装置によれば、開口部を介した第2電極と画素回路との接続が容易にすることができる。
また、別の好ましい態様において、前記第1電極は、いずれかの前記画素において、前記有機EL層と接続された部分以外において存在しない部分を有していてもよい
この表示装置によれば、第1電極に起因する応力を低減することができる。
本発明によれば、トップエミッション型表示装置において輝度低下および表示ムラを抑制しつつ大型化および高精細化が可能な構成を実現することができる。
本発明の一実施形態における表示装置1の構成を示す概略図である。 本発明の一実施形態における画素のレイアウトを説明する図である。 図2に示すA−A’方向およびB−B’方向にみた断面の模式図である。 本発明の一実施形態における表示装置1の製造方法において、トランジスタ510および絶縁膜520が形成された基板の断面および上面を示す模式図である。 本発明の一実施形態における表示装置1の製造方法において、第1電極110、120が形成された基板の断面および上面を示す模式図である。 本発明の一実施形態における表示装置1の製造方法において、保護層130が形成された基板の断面および上面を示す模式図である。 保護層130を形成するときのフォトマスクを説明する図である。 本発明の一実施形態における表示装置1の製造方法において、有機EL層300が形成された基板の断面および上面を示す模式図である。 本発明の一実施形態における表示装置1の製造方法において、第2電極210が形成された基板の断面および上面を示す模式図である。 本発明の別の実施形態における第1電極110、120のパターンを説明する図である。 従来技術における下部電極のパターンを説明する図である。
以下、本発明の実施形態における表示装置について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態は本発明の実施形態の一例であって、本発明はこれらの実施形態に限定して解釈されるものではなく、種々の変形を行ない実施することが可能である。また、本実施形態で参照する図面において、同一部分または同様な機能を有する部分には同一の符号または類似の符号(数字の後にA、B等を付しただけの符号)を付し、その繰り返しの説明は省略する場合がある。また、図面の寸法比率は説明の都合上実際の比率とは異なったり、構成の一部が図面から省略されたりする場合がある。また、基板上に形成される、とは、基板に接触して形成される場合だけでなく、基板との間に他の構成を挟んで形成される場合を含む。
本発明の一実施形態における表示装置について、図面を参照しながら詳細に説明する。
[全体構成]
図1は、本発明の一実施形態における表示装置1の構成を示す概略図である。表示装置1は、トップエミッション型有機ELディスプレイである。表示装置1は、スマートフォン、携帯電話、パーソナルコンピュータ、テレビなど、画像を表示する電子機器に用いられる。表示領域100、表示領域100の周囲に設けられた駆動回路71、72、73、74が、基板10に備えられている。
表示領域100には、TFTにより有機EL層の発光が制御される複数の画素、複数の画素を制御するための制御線(データ線DL、走査線SL等)が形成されている。駆動回路71、72、73、74は、制御線を介して表示領域100の各画素に設けられた画素回路を制御するためのドライバである。
[画素部分の構成]
図2は、本発明の一実施形態における画素のレイアウトを説明する図である。図2は、表示領域100の各画素の構成を上面図で示したものである。この図においては、第2電極210および分離電極層220のレイアウトを示した図であり、第2電極210より下層の構成の一部については、破線で示している。分離電極層220は、各画素の境界部分に配置されている。分離電極層220に囲まれた領域に第2電極210が配置されている。
図3は、図2に示すA−A’方向およびB−B’方向にみた断面の模式図である。以下、図2、図3を用いて、表示装置1の表示領域100における構成を説明する。
基板10には、トランジスタ510が形成されている。基板10は、ガラス基板等である。トランジスタ510は、低温ポリシリコン、アモルファスシリコン、その他の半導体を用いて形成された薄膜トランジスタ(TFT)であり、上述した画素回路の一部を形成する。以下、トランジスタ510が形成された基板10をTFT基板500という場合がある。
TFT基板500上には、絶縁層520が形成されている。絶縁層520は、例えば、ポリイミド等の有機層により形成されている。絶縁層520には、トランジスタ510の電極512(ソース電極またはドレイン電極)に通じる開口部525が形成されている。絶縁層520上には、第1電極110、120が形成されている。第1電極110は例えばAg合金、第1電極120は例えばITO(Indium Tin Oxide)である。第1電極110は、平面視において絶縁層520の開口部525を端部115が囲うように形成されている。第1電極110は、シート抵抗が2Ω/□以下であることが望ましく、1Ω/□以下であることがさらに望ましい。
保護層130は、例えば、ポリイミド等の有機層であって、端部115を覆う第1端部135、有機EL層300が発光する領域を規定する第2端部137、および隣接する画素側の第3端部133を有するように形成されている。第3端部133は、後述するように第2電極210を他の画素と分離するために、逆テーパ形状であり、テーパ角が鈍角になっている。この例のように第3端部133のテーパ角が鈍角であることが望ましいが、80度以上であればよい。一方、第2端部137が第2電極210の連続性が保たれる(切断されない)ようにする必要があり、テーパ角が40度以下になっている。この例のように第2端部137のテーパ角は40度以下であることが望ましいが、60度以下であればよい。なお、第1端部135についても第2電極210に覆われた場合に、第2電極210の連続性が保たれる角度に保つことが望ましい。少なくとも第2電極210がトランジスタ510の電極512に接続されるようになっていればよい。この例では、開口部525の内部の絶縁層520表面にも保護層130が形成されているが、第1電極110、120の端部115が覆われていれば、開口部525の内部まで保護層130が形成されている必要はない。
有機EL層300は、この例では有機EL素子であって、例えば、ホール輸送層(HTL)310、発光層(EML)320および電子輸送層(ETL)330を備える。有機EL層300は第1電極120と接触し、有機EL層300の端部335は、保護層130上に存在する。
第2電極210は、例えばMgAg合金を含む導電層である。その上層にさらにITO等の透明導電膜が形成されていてもよい。開口部525を介して画素回路を構成するトランジスタ510の電極512に接続されている。また、第2電極210は、保護層130の第3端部133において切断されている。切断された残りの部分は分離電極層220である。
このように第2電極210は、画素毎に分離されて画素回路に接続されている。一方、第1電極110、120は、複数の画素にわたって同電位に制御された共通電極の機能を有する。これにより第1電極110、120と第2電極210との間には、有機EL層300を介して電流が流れる。そして、画素回路によってこの電流が制御される。
この表示装置1は、第2電極210の方向に有機EL層300からの光が放出されるトップエミッション構造であり、第2電極210は光透過性を有する必要がある。MgAg等の導電層を用いた場合には、光透過性を有するようにするために10nmから20nm程度の厚さに形成する必要がある一方、シート抵抗は第1電極110、120に比べ大きな値になってしまう。
従来のように光が透過する部分の電極が共通電極である場合、シート抵抗が高いと電圧降下により表示ムラに与える影響が大きくなってしまう。一方、本発明の一実施形態のように、光が透過する部分の電極である第2電極210が光の透過性を有するほど薄く、シート抵抗が高くなってしまったとしても、各画素において分離されて画素毎に制御される電極であるため1画素の範囲において電流が広がればよく、電圧降下による影響はほとんどない。また、共通電極である第1電極110、120においては、有機EL層300からの光を透過させる必要が無いため、厚膜化してシート抵抗を低くすることができる。そのため、共通電極での電圧降下による表示ムラへの影響を抑えることができる。
なお、上記で説明した図においては記載を省略しているが、有機EL層300が外気に触れないように、別のガラス基板等によって有機EL層300が存在する空間が封止される。
[製造方法]
続いて、表示装置1の製造方法について、図4〜図9を用いて説明する。なお、図4〜6、8、9において、各図の(a)は上面図、各図の(b)は図2に示すA−A’からみた断面の模式図を示している。
図4は、本発明の一実施形態における表示装置1の製造方法において、トランジスタ510および絶縁膜520が形成された基板の断面および上面を示す模式図である。なお、図4(a)においては、トランジスタ510を示す記載は省略し、各画素を示す範囲Pixのみを記載した。図4(b)に示すように、基板10にトランジスタ510を形成する。トランジスタ510は、例えば、低温ポリシリコン等の半導体を用いた活性層、活性層を覆うゲート絶縁膜、ゲート絶縁膜上に形成されたゲート電極および活性層のソースドレイン領域から引き出される電極512を含む。続いて、トランジスタ510を覆うように、ポリイミド等の有機層の絶縁膜520を形成する。
図5は、本発明の一実施形態における表示装置1の製造方法において、第1電極110、120が形成された基板の断面および上面を示す模式図である。絶縁膜520上に、第1電極110、120を形成する。この例において第1電極110を構成するAg合金(例えば100nm)および第1電極120を構成するITO(例えば10nm)をスパッタリング法により成膜し、その後、フォトリソグラフィにより第1電極110、120の一部(開口部525が形成される部分およびその周囲)を除去して端部115を有する開口部を形成し、さらに絶縁膜520に開口部525を形成する。なお、絶縁膜520に開口部525を形成した後に、Ag合金およびITOを成膜して、開口部525が露出するようにして端部115を有する第1電極110、120を形成してもよい。
図6は、本発明の一実施形態における表示装置1の製造方法において、保護層130が形成された基板の断面および上面を示す模式図である。図5のように第1電極110、120が形成された基板に、保護層130を形成する。この例において保護層130を構成するポリイミドを形成し、フォトリソグラフィにより発光領域LA、画素間および電極512が開口部525により露出するように一部を除去した。画素間の境界部分の第3端部133は、上述したとおり逆テーパに形成され、発光領域LAを規定する第2端部137および端部115を覆う第1端部135よりテーパ角が大きくなるようになっている。
図7は、保護層130を形成するときのフォトマスクを説明する図である。保護層130を構成するポリイミドはこの例ではポジ型レジストである。したがって、除去される部分には光が照射されるようになっている。図7に示すように、保護層130が残る部分は遮光部130Mによって遮光され、テーパ角が小さくなる第1端部135および第2端部137に対応する部分は緩やかに遮光率が変わっていくハーフトーン部135M(破線部分)であり、テーパ角が大きくなる第3端部133に対応する部分は急激に遮光率が変わるエッジ部133M(実線部分)になっている。このようなハーフトーンマスクを用いることで、保護層130の各端部におけるテーパ角を異ならせることができる。
図8は、本発明の一実施形態における表示装置1の製造方法において、有機EL層300が形成された基板の断面および上面を示す模式図である。図6のように保護層130が形成された基板に、ホール輸送層(HTL)310、発光層(EML)320および電子輸送層(ETL)330を成膜することにより有機EL層300を形成する。これらは、蒸着法により形成され、マスクすることによって少なくとも開口部525には成膜されないように制御される。この例では、発光領域LA(第1電極120と有機EL層300とが接触する領域)および保護層130の一部に、有機EL層300が形成される。カラー表示を実現する場合には、例えば、赤、緑、青を発光する画素毎に、対応した色を発光する発光層320が形成されてもよい。
図9は、本発明の一実施形態における表示装置1の製造方法において、第2電極210が形成された基板の断面および上面を示す模式図である。図8に示すように有機EL層300が形成された基板に、第2電極210および分離電極層200を形成する。この例においてMgとAgとの体積比が10:1となるように調整した金属(例えば15nm)を成膜した。このとき、保護層130の第3端部133のテーパ角が大きいために、その部分においてMgAg合金が切断される。そのため、開口部525を介して電極512に接続され、画素毎に独立した第2電極210と、第2電極210とは分離された分離電極層220とが形成される。
このようにして、本発明の一実施形態における表示装置1が製造される。上述したとおり、本発明の一実施形態では、光が透過する部分の電極である第2電極210が光の透過性を有するほど薄く、シート抵抗が高くなってしまったとしても、各画素において分離されて画素毎に制御されているため1画素の範囲において電流が広がればよく、電圧降下による影響はほとんどない。また、共通電極である第1電極110、120においては、有機EL層300からの光を透過させる必要が無いため、厚膜化してシート抵抗を低くすることができる。そのため、共通電極での電圧降下による表示ムラへの影響を抑えることができる。
また、従来のように光を透過する上部電極に補助配線を設ける必要が無いため、発光領域LAを大きくすることができる。例えば、図11に示すように補助配線SEが存在すると、発光領域LAに電流を供給するための電極PEの面積が小さくなってしまうが、本願の一実施形態における表示装置1では発光領域LAを大きくすることができる。
なお、別の実施形態として、第1電極110、120には、発光領域LA以外において一部が除去されていてもよい。この一例について、図10を用いて説明する。
図10は、本発明の別の実施形態における第1電極110、120のパターンを説明する図である。図10に示すように、第1電極110、120には、開口部525の周囲が除去されているだけでなく、画素間の一部に除去された部分GPが存在するようになっている。低抵抗化のために第1電極110、120を厚くすると応力が大きくなり、各特性に悪影響を及ぼす場合もある。このような場合に、発光領域LA以外の一部を除去することにより、応力を緩和することができる。なお、このように除去された部分により、第1電極110、120が1画素単独で分離されることはなく、複数画素に広がって形成される。そして、表示領域100の外周から共通電極に印加すべき共通電位が提供されることになる。例えば、図10に示す例では、第1電極110、120はストライプ状に形成され、表示領域100の外側等で共通電位が印加されるようになっていればよい。
また、第2電極210は、保護層130の第3端部133のテーパ角によって画素毎に分離されていたが、マスクを用いたり、フォトリソグラフィを用いたり、レーザー照射を用いたりして画素毎に分離されるようにしてもよい。
1…表示装置、10…基板、71,72,73,74…駆動回路、100…表示領域、110,120…第1電極、130…保護層、210…第2電極、220…分離電極層、300…有機EL層、500…TFT基板、510…トランジスタ、512…電極、520…絶縁膜、525…開口部

Claims (6)

  1. 複数の画素を有する表示装置であって、
    前記画素毎に対応して設けられた画素回路と、
    前記画素回路上に設けられた絶縁層と、
    前記絶縁層上に設けられ、少なくとも複数の画素にわたって電気的に接続されて配置された第1電極と、
    前記第1電極上に設けられた発光層と、
    前記発光層上に前記画素毎に設けられ、前記絶縁層に設けられた開口部を介して前記画素回路に接続された光透過性を有する第2電極と、
    を備えることを特徴とする表示装置。
  2. 前記第1電極のシート抵抗は2Ω/□以下であることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
  3. 前記第1電極は、前記開口部を囲うように形成され、
    前記開口部を囲う前記第1電極の端部を覆う第1端部、前記第1電極と前記発光層とが接続される領域を規定する第2端部、および隣接する前記画素側の第3端部を有する保護層をさらに有し、
    前記第3端部のテーパ角は、前記第2端部のテーパ角よりも大きいことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の表示装置。
  4. 前記第3端部のテーパ角は80度以上であることを特徴とする請求項3に記載の表示装置。
  5. 前記第2端部のテーパ角は60度以下であることを特徴とする請求項3または請求項4に記載の表示装置。
  6. 前記第1電極は、いずれかの前記画素において、前記発光層と接続された部分以外において存在しない部分を有することを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の表示装置。
JP2013265316A 2013-12-24 2013-12-24 表示装置 Pending JP2015122198A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013265316A JP2015122198A (ja) 2013-12-24 2013-12-24 表示装置
KR1020140153765A KR20150075016A (ko) 2013-12-24 2014-11-06 표시 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013265316A JP2015122198A (ja) 2013-12-24 2013-12-24 表示装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2015122198A true JP2015122198A (ja) 2015-07-02

Family

ID=53533660

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013265316A Pending JP2015122198A (ja) 2013-12-24 2013-12-24 表示装置

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP2015122198A (ja)
KR (1) KR20150075016A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP4362641A1 (en) * 2022-10-24 2024-05-01 Samsung Display Co., Ltd. Display panel and method of manufacturing display panel
EP4362638A1 (en) * 2022-10-24 2024-05-01 Samsung Display Co., Ltd. Display panel

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102010803B1 (ko) * 2017-12-29 2019-09-20 엘지디스플레이 주식회사 발광 디스플레이 장치

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP4362641A1 (en) * 2022-10-24 2024-05-01 Samsung Display Co., Ltd. Display panel and method of manufacturing display panel
EP4362638A1 (en) * 2022-10-24 2024-05-01 Samsung Display Co., Ltd. Display panel

Also Published As

Publication number Publication date
KR20150075016A (ko) 2015-07-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI671898B (zh) 有機發光二極體顯示器
JP6458103B2 (ja) 有機発光表示装置
CN109728033B (zh) 显示装置及其制造方法
US9590212B2 (en) Organic EL display device and method for manufacturing the organic EL display device
KR102528294B1 (ko) 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
US9088003B2 (en) Reducing sheet resistance for common electrode in top emission organic light emitting diode display
KR20190079954A (ko) 상부 발광형 유기발광 다이오드 표시장치
WO2019233391A1 (zh) Oled基板及显示面板、显示装置
WO2021093687A1 (zh) 显示基板及其制备方法、显示装置
WO2020253813A1 (zh) 阵列基板及其制备方法、以及显示装置
US20220208910A1 (en) Display panel and fabrication method thereof, and display device
JP2009193797A (ja) 表示装置およびその製造方法
JP2005045242A (ja) 電界発光装置の薄膜トランジスタ、これを利用した電界発光装置及びこれの製造方法
JP6223070B2 (ja) 有機el表示装置及び有機el表示装置の製造方法
KR20160040355A (ko) 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
KR102157689B1 (ko) 평판 표시장치용 박막 트랜지스터 어레이 기판
JP2015122198A (ja) 表示装置
KR20210097248A (ko) 표시 장치
US9117785B2 (en) Display device and method of manufacturing the same
KR20150001068A (ko) 유기전계발광 표시장치
JP2023030049A (ja) 表示パネルとそのリペア方法
KR20160060835A (ko) 유기발광다이오드 표시장치 및 그 제조방법
KR102119572B1 (ko) 박막 트랜지스터 어레이 기판 및 그 제조 방법
JP7312697B2 (ja) 表示装置および電子機器
JP2008218330A (ja) 有機el表示装置