JP2015118087A - 試験測定システム及びその利得又は感度制御方法 - Google Patents

試験測定システム及びその利得又は感度制御方法 Download PDF

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Abstract

【課題】帯域幅、周波数応答等を劣化させずに、利得及び感度のレンジを拡大する。
【解決手段】試験測定システムは、ホスト100、光送信部212、光受信部214及び光電変換部216を有するコントローラ102、アクセサリ・デバイス104及び被測定デバイス106を含む。まず、試験測定システムの利得又は感度の調整が必要か否か判断する。次に利得又は感度の調整量を決定する。決定された利得又は感度の調整量に応じて、光送信部212のレーザの出力パワーを調整する。
【選択図】図2

Description

本発明は、大まかに言えば、試験測定システムと、光学センサを用いた信号取込みアクセサリに関する。
オシロスコープ、ロジック・アナライザなどのような試験測定装置に関する電気電子産業では、直流的にアイソレート(絶縁)され、より高い周波数成分を含む電気信号を測定したいというニーズが高まっている。直流的にアイソレートされ、より高い周波数成分を含む電気信号を測定する1つの方法は、電気光学プローブを使用することである。なお、アイソレートとは、例えば、2つ電子回路間が電気的には分離されていながら、光などにより信号のやり取りは可能な状態である(非特許文献1)。
特開平7−49473号公報 特開2006−3619号公報
「絶縁 (電気)」の記事、特に「isolation」について、Wikipedia(日本語版)、[オンライン]、[2014年12月8日検索]、インターネット<http://ja.wikipedia.org/wiki/絶縁 (電気)>
伝統的に、電気光学プローブの利得及び感度は、光電(O/E)変換部の可変利得増幅器を制御することによって制御されている。即ち、試験測定システムに関する利得や感度は、光線を発光し、被測定デバイス(DUT)の測定値を得た後に、光電変換部で調整されている。しかし、光電変換部の可変利得を調整すると、感度は高くなるが、試験測定システム全体の帯域幅及び周波数応答は減少する。
また、通常、電気光学プローブの場合、電気光学プローブの所望の仕様特性(設定諸元:パラメータ)を実現するには、ユーザがASIC(特定用途向けIC)を開発することも必要となる。このとき、可変利得の機能を実現するには、ダイナミック・レンジ、ノイズ、周波数、帯域幅応答、システム全体の複雑さなどの点に関しては、妥協しなければならない。
本発明の実施形態の一例としては、試験測定システムの利得又は感度を制御する方法が含まれる。この試験測定システムは、ホスト、光送信部及び光受信部を有するコントローラ、アクセサリ・デバイス及び被測定デバイスを含む。この方法は、試験測定システムの利得又は感度調整が必要か判断する処理と、利得又は感度調整量を決定する処理と、試験測定システムの利得又は感度調整量の決定に応じて、光送信部のレーザの出力パワーを調整する処理を含んでいる。
本発明の実施形態の別の例としては、被測定デバイスと、ホストと、光学センサを有すると共に被測定デバイスに接続されるアクセサリ・デバイスと、アクセサリ・デバイス及びホストに接続されるコントローラとを含む試験測定システムもある。コントローラには、レーザを有する光送信部と、光受信部と、光電変換部とが含まれる。コントローラは、被測定デバイスの測定値の利得又は感度を調整するために、光送信部のレーザの出力を調整するよう構成される。
本発明の概念1は、ホスト、光送信部、光受信部、光電変換部、アクセサリ・デバイス及び被測定デバイスを含む試験測定システムの利得又は感度を制御する方法であって、
上記試験測定システムの利得又は感度の調整が必要か判断する処理と、
上記利得又は感度の調整量を決定する処理と、
上記試験測定システムの上記利得又は感度の調整量の決定に応じて、上記光送信部のレーザの出力パワーを調整する処理と
を具えている。
本発明の概念2は、上記概念1の方法であって、
上記試験測定システムの上記利得又は感度の調整が必要か判断する処理が、校正又は補償ルーチンを実行する処理を更に含み、
該校正又は補償ルーチンを実行する処理が、
上記アクセサリ・デバイス中の光学センサに校正又は補償信号を送信する処理と、
上記校正又は補償信号に応じて、上記アクセサリ・デバイス中の上記光学センサからの光出力信号を上記光受信部で受ける処理と、
受信した上記光出力信号を光電変換部によって電気信号に変換する処理と、
変換された上記電気信号を上記ホストに送信する処理と、
変換された上記電気信号を上記ホストで受ける処理と、
受信した上記電気信号に基いて利得又は感度の調整量を決定する処理と
を有している。
本発明の概念3は、上記概念1の方法であって、上記試験測定システムの上記利得又は感度の調整が必要か判断する処理が、ユーザが所望利得又は感度調整を入力したか判断する処理を含み、上記利得又は感度の上記調整量を決定する処理が、ユーザによって入力された上記所望利得又は感度調整を判断する処理を含んでいる。
本発明の概念4は、上記概念1の方法であって、
より高い感度又は利得が必要な場合に、上記レーザ(光線)の上記出力パワーをより高い値に調整する処理を更に含むことを特徴としている。
本発明の概念5は、試験測定システムであって、
ホストと、
被測定デバイスと、
光学センサを有すると共に上記被測定デバイスに接続されるアクセサリ・デバイスと、
上記アクセサリ・デバイス及び上記ホストに接続されるコントローラと
を具え、
該コントローラが
レーザを有する光送信部と、
光受信部と、
光電変換部とを有し、
上記コントローラが上記光送信部の上記レーザの光出力信号を調整することによって、上記被測定デバイスからの測定値の利得又は感度を調整することを特徴としている。
本発明の概念6は、上記概念5の試験測定システムであって、このとき、上記光受信部が利得固定の増幅器を含むことを特徴としている。
本発明の概念7は、上記概念5の試験測定システムであって、上記被測定デバイスの測定の所望利得又は感度を入力するユーザ入力部を更に具え、
上記コントローラが、上記所望利得又は感度のユーザ入力に応じて、上記光送信部の上記レーザの出力を調整するよう構成されることを特徴としている。
本発明の概念8は、上記概念5の試験測定システムであって、このとき、上記コントローラが、更に、校正又は補償ルーチンで得られる出力信号に基づいて、上記試験測定システムの上記利得又は感度を調整するよう構成されていることを特徴としている。
本発明の概念9は、上記概念5の試験測定システムであって、このとき、上記試験測定システムが、より高い感度又は利得が必要な場合に、上記コントローラが上記レーザの出力を増加させるように構成されていることを特徴としている。
本発明の概念10は、上記概念5の試験測定システムであって、上記コントローラが試験測定装置内に配置されていることを特徴としている。
図1は、本発明による試験測定システムを示す。 図2は、本発明による試験測定システムのブロック図を示す。
以下に示す複数の図面において、類似又は対応する要素には、同じ符号を付して説明する。なお、これら図面において、各要素の縮尺は、説明の都合上、必ずしも同一ではない。
本発明の試験測定システムは、アクセサリ・デバイス104中の光学センサを用いて、被測定デバイス(DUT)106からの被試験信号の測定値を検出する機能を有する。図1を参照すると、試験測定システムが示され、これは、ホスト100と、コントローラ102と、アクセサリ・デバイス104と、アクセサリ・デバイス104からコントローラ102へと伸びる光伝送パス108とを含んでいる。アクセサリ・デバイス104は、DUT106に接続される。コントローラ102は、光信号をアクセサリ・デバイス104に供給すると共に、戻ってくる光信号を電気信号に変換する信号取込み検査回路を有している。そして、コントローラ102は、得られた検出信号をホスト100へ伝送する。
DUT106から得られる信号を表す電気信号がコントローラ102から出力されると、これは、ホスト100内の信号取込み(アクイジション)回路に供給される。信号取込み回路は、電気信号をデジタル・データ値に変換し、そのデータ値をメモリ(図示せず)に記憶したり、表示画面110上でデータを表示したりする。
図2は、試験測定システムのブロック図である。上述のように、試験測定システムは、ホスト100、コントローラ102、アクセサリ・デバイス104及びDUT106を含んでいる。
アクセサリ・デバイス104は、光学電圧センサのような光学センサ200を含む。この光学センサは、例えば、マッハツェンダ(Mach-Zehnder)光学センサであっても良い。DUT106からの入力信号は、光学センサ200の入力信号電極202及び204に供給される。光学センサ200には、バイアス電極206及び208もあり、これらは、バイアス制御部(図示せず)に接続される。コントローラ102内の光送信部212から放射された光は、往路の光伝送パス108aを介して、光学センサ200中で2つに分岐する光導波路210を通り、続いて分岐された2つの光が1つの光に合波されて出力され、帰路の光伝送パス108bを介して、コントローラ102へと戻る。DUT106からの信号によって入力信号電極202及び204間に生じる電界により、一方(図2では上側)の分岐光導波路を通過する光には位相シフトが生じる。このため、2つの分岐光導波路からの光が合波されたとき、両者の位相差に応じて、合波された光の強度が変化するので、この変化を検出することで、DUT106からの信号の電圧測定値を検出できる。
光送信部212から光伝送パス108aを介して光学センサ200に入力される光入力信号を、2つの分岐光導波路に分配する際には、DUT106からの入力信号がない状態では、2つの分岐される光の特性が全く同一であることが理想的である。更に、2つの分岐光導波路の特性も全く同一であることが理想的である。しかし、現実的には、製造時の個体差や使用時の環境によって、全く同一にするのは困難なので、バイアス電極206及び208に供給する信号によって、予め校正又は補償し、同一となるようにしても良い。
上述のように、コントローラ102は、例えば、レーザ発振器を含む光送信部212を含み、また、光受信部214と、光電(O/E)変換部216も含む。動作においては、コントローラ102中の光送信部212が、光伝送パス108aを介して、光学センサ200の光導波路210へと光線を出射する。光学センサ200は、DUT106からの出力信号に応じて、入力された光線を変化させ、その結果として得られる光を、光伝送パス108bを介して光受信部214へと出力する。光電変換部216は、光受信部214で受けた光信号を振幅変調電気信号に変換するが、これは、DUT16からの被測定信号を表している。
従来、光電変換部216の利得は、試験測定システム全体の感度を変更することで調整していた。例えば、従来、光電変換部216には、高感度及び低感度のための2つの異なる利得設定があった。しかし、上述のように、受信部の大きな利得変化を実現しようとすると、ダイナミック・レンジ、ノイズ、周波数応答、帯域幅、システム全体の複雑さについて犠牲にしていた。
本発明においては、光電変換部216の利得設定を変更するのではなく、光電変換部216の増幅器の利得は固定にして使用する。そして、試験測定システムの利得及び感度を制御するのに、光送信部212のレーザ光線の出力パワーを調整する。光送信部212は、典型的には、フィードバック制御回路(図示せず)を有し、これは、光送信部からの出力パワーを監視し、この出力パワーを所望レベルに維持するように、光送信部の駆動電流を正確に制御する。この駆動電流は、光送信部212の出力パワーの変化に対応して、非常に広いレンジに渡って調整できる。光送信部212のレーザの波長及び線幅も、駆動電流とは独立に制御できる。システム全体の利得が光送信部の出力パワーに直接比例するので、光送信部の駆動レベルの変化を、システム全体の利得の対応する変化に換算できる。従来行われていたような光受信部214の増幅器の調整ではなく、光送信部212の出力パワーを調整するのであれば、帯域幅及び周波数応答を劣化させることなく、10倍を超える利得及び感度の変化を実現できる。
光送信部212の光出力信号は、コントローラ102によって制御される。ユーザは、アクセサリ・デバイス104の所望の利得又は感度をホスト100に入力できる。すると、ホスト100は、その所望の利得又は感度をコントローラ102に送り、これによって、コントローラ102は、光送信部212のレーザの出力パワーを調整する。
アクセサリ・デバイス104が校正又は補償ルーチンに入っている間は、ユーザが所望の利得又は感度を設定するのではなく、測定システムが、利得を可変制御する設定としても良い。光送信部212は、特性が既知の校正信号をアクセサリ・デバイス104に送り、アクセサリ・デバイス104からの光出力信号が光受信部214に戻ってくる。光受信部214からの光出力信号は、光電変換部216によって電気信号に変換され、この変換で得られた電気信号は、ホスト100に送られる。ホスト100に送られた電気信号に基いて、ホスト100は、バイアス制御部がバイアス電極206及び208に供給するバイアス電圧の調整量や、光送信部212のレーザ発振器の調整量を決定できる。必要に応じて、校正又は補償ルーチンを複数回実施し、より高い精度での校正又は補償を実現しても良い。
光送信部212からの光線の強度を上げれば、アクセサリ・デバイス104の光学センサ200によるDUT106の信号を読み取る感度も高くなる。逆に、光線の強度を下げれば、アクセサリ・デバイス104の光学センサ200によるDUT106の信号を読み取る感度も低くなる。従って、もし試験測定システムに必要とされる利得が高ければ、光送信部212の光線の出力パワーをより高く設定すれば良い。
光電変換部216の利得を調整するのではなく、光送信部212でレーザの出力パワーを調整することにより、ダイナミック・レンジ、周波数特性、帯域幅特性を低下させることなく、より高い利得及び感度が可能になる。また、ユーザが所望のパラメータ(仕様、特性)を実現するためのASICを用意したり、受信部に複雑な利得制御回路を設ける必要がないので、測定システム全体が複雑になることがない。更に、光送信部212でシステムの利得及び感度を調整することにより、システム全体のノイズを低減できる。
ホスト100は、オシロスコープ、ロジック・アナライザ、スペクトラム・アナライザなどのようなアクセサリ・デバイスを受けるアクセサリ・デバイス・インタフェースを有する試験測定装置としても良い。
図1では、コントローラ102は、ホスト100から電力供給を受ける独立した構成要素として示しているが、コントローラ102自身が独立した電源を有するコントローラであるとしても良い。更には、コントローラ102が、独立した構成要素ではなく、ホスト100内に配置されるとしても良い。即ち、ホスト100が、光送信部212、光受信部214及び光電変換部216を含んでいるとしても良い。
本発明で用いている用語「コントローラ」及び「プロセッサ」は、マイクロプロセッサ、マイクロコンピュータ、ASIC、専用ハードウェア・コントローラなどを意図している。本発明は、別の観点から見れば、1つ以上のコンピュータ(モニタリング・モジュールを含む)などで実行される1つ以上のプログラム・モジュールのようなコンピョータで利用可能なデータやコンピョータで実行可能な命令の形で実現されてもよい。一般に、プログラム・モジュールには、複数のルーチン、複数のプログラム、複数のオブジェクト、複数のコンポーンネント、複数のデータ構造などが含まれ、これらは、コンピュータなどの装置中のプロセッサで実行されたときに、特定のタスクを実行したり、抽象データ型(abstract data type)を実現する。コンピョータで実行可能な命令は、ハード・ディスク、光ディスク、リムーバブル記録媒体、ソリッド・ステート・メモリ、RAMなどのような非一時的なコンピョータ読み出し可能なメディアに記録しても良い。当業者にとっては当然ながら、複数のプログラム・モジュールの機能は、必要に応じて、種々の実施形態において、組み合わせたり、個別に分けたりしても良い。加えて、これら機能は、その全体又はその一部が、集積回路やFPGA(field programmable gate arrays)などによるファームウェアやハードウェアの形の等価なもので実現されても良い。特性のデータ構造は、本発明のいくつかの観点を実現するのに効率良く利用でき、こうしたデータ構造は、本願で言うコンピョータで利用可能なデータやコンピョータで実行可能な命令の範囲に含まれると考えられる。
本発明の好ましい実施形態において、本発明の原理を説明し、図示してきたが、本発明は、こうした原理から離れることなく、構成や詳細を変更できることは明かであろう。
100 ホスト
102 コントローラ
104 アクセサリ・デバイス
106 被測定デバイス(DUT)
108 光伝送パス
110 表示画面(表示装置)
200 光学センサ
202 入力信号電極
204 入力信号電極
206 バイアス電極
208 バイアス電極
210 光導波路
212 光送信部
214 光受信部
216 光電変換部

Claims (3)

  1. ホスト、光送信部、光受信部、光電変換部、アクセサリ・デバイス及び被測定デバイスを含む試験測定システムの利得又は感度を制御する方法であって、
    上記試験測定システムの利得又は感度の調整が必要か判断する処理と、
    上記利得又は感度の調整量を決定する処理と、
    上記試験測定システムの上記利得又は感度の調整量の決定に応じて、上記光送信部のレーザの出力パワーを調整する処理と
    を具える試験測定システムの利得又は感度制御方法。
  2. 上記試験測定システムの上記利得又は感度の調整が必要か判断する処理が、校正又は補償ルーチンを実行する処理を更に含み、
    該校正又は補償ルーチンを実行する処理が、
    上記アクセサリ・デバイス中の光学センサに校正又は補償信号を送信する処理と、
    上記校正又は補償信号に応じて、上記アクセサリ・デバイス中の上記光学センサからの光出力信号を上記光受信部で受ける処理と、
    受信した上記光出力信号を光電変換部によって電気信号に変換する処理と、
    変換された上記電気信号を上記ホストに送信する処理と、
    変換された上記電気信号を上記ホストで受ける処理と、
    受信した上記電気信号に基いて利得又は感度の調整量を決定する処理と
    を有する請求項1記載の試験測定システムの利得又は感度制御方法。
  3. ホストと、
    被測定デバイスと、
    該被測定デバイスに接続された光学センサを有するアクセサリ・デバイスと、
    上記アクセサリ・デバイス及び上記ホストに接続されるコントローラと
    を具え、
    該コントローラが
    レーザを有する光送信部と、
    光受信部と、
    光電変換部とを有し、
    上記コントローラが上記光送信部の上記レーザの光出力信号を調整することによって、上記被測定デバイスからの測定値の利得又は感度を調整する試験測定システム。
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9331776B2 (en) * 2013-12-18 2016-05-03 Tektronix, Inc. Extended range electro-optic voltage accessory
CN105181153B (zh) * 2015-09-23 2018-09-11 西安工程大学 基于波形面积的雪崩光探测器增益测量方法
US10234501B2 (en) * 2016-02-26 2019-03-19 Tektronix, Inc. Active noise suppression for optical voltage sensor
US20210063488A1 (en) * 2019-08-28 2021-03-04 Tektronix, Inc. Signal path calibration of a hardware setting in a test and measurement instrument
CN113310400B (zh) * 2021-05-26 2022-03-15 桂林电子科技大学 一种闭环控制的激光干涉测量同步动态增益补偿方法
US20240230718A9 (en) * 2022-10-24 2024-07-11 Keysight Technologies, Inc. Voltage probe device with adjustable bias

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07218538A (ja) * 1994-01-31 1995-08-18 Sony Tektronix Corp フローティング測定用プローブ
JPH08116117A (ja) * 1994-10-17 1996-05-07 Mitsubishi Electric Corp 光増幅器
WO1999040449A1 (fr) * 1998-02-05 1999-08-12 Advantest Corporation Circuit d'attaque excite optiquement, detecteur de tension de type a sortie optique et materiel de test de circuits integres utilisant ces dispositifs
US20080048673A1 (en) * 2006-08-23 2008-02-28 Kan Tan Signal analysis system and calibration method for multiple signal probes

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5179565A (en) * 1990-06-07 1993-01-12 Hamamatsu Photonics, K.K. Low noise pulsed light source utilizing laser diode and voltage detector device utilizing same low noise pulsed light source
US6028423A (en) * 1997-12-11 2000-02-22 Sanchez; Jorge Isolation instrument for electrical testing
JP3290618B2 (ja) * 1997-11-28 2002-06-10 松下電器産業株式会社 光センサ装置およびそれに用いられる信号処理回路
US6725170B1 (en) * 2000-11-22 2004-04-20 Tektronix, Inc. Smart probe apparatus and method for automatic self-adjustment of an oscilloscope's bandwidth
US7400411B2 (en) * 2001-12-06 2008-07-15 Attofemto, Inc. Method for optically testing semiconductor devices
CN1301410C (zh) * 2001-12-28 2007-02-21 西北核技术研究所 宽频带、无源电光式瞬态电磁场测量系统
CN1317599C (zh) * 2002-10-15 2007-05-23 中兴通讯股份有限公司 多泵浦反向分布式拉曼放大器的增益调节方法
US7659981B2 (en) * 2005-08-26 2010-02-09 Dcg Systems, Inc. Apparatus and method for probing integrated circuits using polarization difference probing
DE202006019953U1 (de) 2006-04-13 2007-06-21 Schumann, Mathias, Dipl.-Ing. Oszilloskoptastkopf mit faseroptischem Sensor zur potentialfreien Erfassung elektrischer Größen
CN101109771A (zh) * 2007-08-31 2008-01-23 清华大学 一种用于高电压测量的模拟信号隔离传输系统
US20090058422A1 (en) * 2007-09-04 2009-03-05 Stig Rune Tenghamn Fiber optic system for electromagnetic surveying
CN101398379A (zh) * 2008-01-28 2009-04-01 国家纳米科学中心 一种高灵敏度表面等离子共振的测量方法及其测量系统
CN101852915B (zh) * 2010-04-23 2011-08-31 中国科学院武汉物理与数学研究所 一种微电子机械传感器的被动光学反馈控制方法及装置
CN103424177B (zh) * 2013-09-11 2015-06-17 南京大学 一种提高反射式激光测振系统灵敏度的方法及装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07218538A (ja) * 1994-01-31 1995-08-18 Sony Tektronix Corp フローティング測定用プローブ
JPH08116117A (ja) * 1994-10-17 1996-05-07 Mitsubishi Electric Corp 光増幅器
WO1999040449A1 (fr) * 1998-02-05 1999-08-12 Advantest Corporation Circuit d'attaque excite optiquement, detecteur de tension de type a sortie optique et materiel de test de circuits integres utilisant ces dispositifs
US20080048673A1 (en) * 2006-08-23 2008-02-28 Kan Tan Signal analysis system and calibration method for multiple signal probes

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