JP2015118087A - 試験測定システム及びその利得又は感度制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試験測定システムは、ホスト100、光送信部212、光受信部214及び光電変換部216を有するコントローラ102、アクセサリ・デバイス104及び被測定デバイス106を含む。まず、試験測定システムの利得又は感度の調整が必要か否か判断する。次に利得又は感度の調整量を決定する。決定された利得又は感度の調整量に応じて、光送信部212のレーザの出力パワーを調整する。
【選択図】図2
Description
上記試験測定システムの利得又は感度の調整が必要か判断する処理と、
上記利得又は感度の調整量を決定する処理と、
上記試験測定システムの上記利得又は感度の調整量の決定に応じて、上記光送信部のレーザの出力パワーを調整する処理と
を具えている。
上記試験測定システムの上記利得又は感度の調整が必要か判断する処理が、校正又は補償ルーチンを実行する処理を更に含み、
該校正又は補償ルーチンを実行する処理が、
上記アクセサリ・デバイス中の光学センサに校正又は補償信号を送信する処理と、
上記校正又は補償信号に応じて、上記アクセサリ・デバイス中の上記光学センサからの光出力信号を上記光受信部で受ける処理と、
受信した上記光出力信号を光電変換部によって電気信号に変換する処理と、
変換された上記電気信号を上記ホストに送信する処理と、
変換された上記電気信号を上記ホストで受ける処理と、
受信した上記電気信号に基いて利得又は感度の調整量を決定する処理と
を有している。
より高い感度又は利得が必要な場合に、上記レーザ(光線)の上記出力パワーをより高い値に調整する処理を更に含むことを特徴としている。
ホストと、
被測定デバイスと、
光学センサを有すると共に上記被測定デバイスに接続されるアクセサリ・デバイスと、
上記アクセサリ・デバイス及び上記ホストに接続されるコントローラと
を具え、
該コントローラが
レーザを有する光送信部と、
光受信部と、
光電変換部とを有し、
上記コントローラが上記光送信部の上記レーザの光出力信号を調整することによって、上記被測定デバイスからの測定値の利得又は感度を調整することを特徴としている。
上記コントローラが、上記所望利得又は感度のユーザ入力に応じて、上記光送信部の上記レーザの出力を調整するよう構成されることを特徴としている。
102 コントローラ
104 アクセサリ・デバイス
106 被測定デバイス(DUT)
108 光伝送パス
110 表示画面(表示装置)
200 光学センサ
202 入力信号電極
204 入力信号電極
206 バイアス電極
208 バイアス電極
210 光導波路
212 光送信部
214 光受信部
216 光電変換部
Claims (3)
- ホスト、光送信部、光受信部、光電変換部、アクセサリ・デバイス及び被測定デバイスを含む試験測定システムの利得又は感度を制御する方法であって、
上記試験測定システムの利得又は感度の調整が必要か判断する処理と、
上記利得又は感度の調整量を決定する処理と、
上記試験測定システムの上記利得又は感度の調整量の決定に応じて、上記光送信部のレーザの出力パワーを調整する処理と
を具える試験測定システムの利得又は感度制御方法。 - 上記試験測定システムの上記利得又は感度の調整が必要か判断する処理が、校正又は補償ルーチンを実行する処理を更に含み、
該校正又は補償ルーチンを実行する処理が、
上記アクセサリ・デバイス中の光学センサに校正又は補償信号を送信する処理と、
上記校正又は補償信号に応じて、上記アクセサリ・デバイス中の上記光学センサからの光出力信号を上記光受信部で受ける処理と、
受信した上記光出力信号を光電変換部によって電気信号に変換する処理と、
変換された上記電気信号を上記ホストに送信する処理と、
変換された上記電気信号を上記ホストで受ける処理と、
受信した上記電気信号に基いて利得又は感度の調整量を決定する処理と
を有する請求項1記載の試験測定システムの利得又は感度制御方法。 - ホストと、
被測定デバイスと、
該被測定デバイスに接続された光学センサを有するアクセサリ・デバイスと、
上記アクセサリ・デバイス及び上記ホストに接続されるコントローラと
を具え、
該コントローラが
レーザを有する光送信部と、
光受信部と、
光電変換部とを有し、
上記コントローラが上記光送信部の上記レーザの光出力信号を調整することによって、上記被測定デバイスからの測定値の利得又は感度を調整する試験測定システム。
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CN105181153B (zh) * | 2015-09-23 | 2018-09-11 | 西安工程大学 | 基于波形面积的雪崩光探测器增益测量方法 |
US10234501B2 (en) * | 2016-02-26 | 2019-03-19 | Tektronix, Inc. | Active noise suppression for optical voltage sensor |
US20210063488A1 (en) * | 2019-08-28 | 2021-03-04 | Tektronix, Inc. | Signal path calibration of a hardware setting in a test and measurement instrument |
CN113310400B (zh) * | 2021-05-26 | 2022-03-15 | 桂林电子科技大学 | 一种闭环控制的激光干涉测量同步动态增益补偿方法 |
US20240230718A9 (en) * | 2022-10-24 | 2024-07-11 | Keysight Technologies, Inc. | Voltage probe device with adjustable bias |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07218538A (ja) * | 1994-01-31 | 1995-08-18 | Sony Tektronix Corp | フローティング測定用プローブ |
JPH08116117A (ja) * | 1994-10-17 | 1996-05-07 | Mitsubishi Electric Corp | 光増幅器 |
WO1999040449A1 (fr) * | 1998-02-05 | 1999-08-12 | Advantest Corporation | Circuit d'attaque excite optiquement, detecteur de tension de type a sortie optique et materiel de test de circuits integres utilisant ces dispositifs |
US20080048673A1 (en) * | 2006-08-23 | 2008-02-28 | Kan Tan | Signal analysis system and calibration method for multiple signal probes |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5179565A (en) * | 1990-06-07 | 1993-01-12 | Hamamatsu Photonics, K.K. | Low noise pulsed light source utilizing laser diode and voltage detector device utilizing same low noise pulsed light source |
US6028423A (en) * | 1997-12-11 | 2000-02-22 | Sanchez; Jorge | Isolation instrument for electrical testing |
JP3290618B2 (ja) * | 1997-11-28 | 2002-06-10 | 松下電器産業株式会社 | 光センサ装置およびそれに用いられる信号処理回路 |
US6725170B1 (en) * | 2000-11-22 | 2004-04-20 | Tektronix, Inc. | Smart probe apparatus and method for automatic self-adjustment of an oscilloscope's bandwidth |
US7400411B2 (en) * | 2001-12-06 | 2008-07-15 | Attofemto, Inc. | Method for optically testing semiconductor devices |
CN1301410C (zh) * | 2001-12-28 | 2007-02-21 | 西北核技术研究所 | 宽频带、无源电光式瞬态电磁场测量系统 |
CN1317599C (zh) * | 2002-10-15 | 2007-05-23 | 中兴通讯股份有限公司 | 多泵浦反向分布式拉曼放大器的增益调节方法 |
US7659981B2 (en) * | 2005-08-26 | 2010-02-09 | Dcg Systems, Inc. | Apparatus and method for probing integrated circuits using polarization difference probing |
DE202006019953U1 (de) | 2006-04-13 | 2007-06-21 | Schumann, Mathias, Dipl.-Ing. | Oszilloskoptastkopf mit faseroptischem Sensor zur potentialfreien Erfassung elektrischer Größen |
CN101109771A (zh) * | 2007-08-31 | 2008-01-23 | 清华大学 | 一种用于高电压测量的模拟信号隔离传输系统 |
US20090058422A1 (en) * | 2007-09-04 | 2009-03-05 | Stig Rune Tenghamn | Fiber optic system for electromagnetic surveying |
CN101398379A (zh) * | 2008-01-28 | 2009-04-01 | 国家纳米科学中心 | 一种高灵敏度表面等离子共振的测量方法及其测量系统 |
CN101852915B (zh) * | 2010-04-23 | 2011-08-31 | 中国科学院武汉物理与数学研究所 | 一种微电子机械传感器的被动光学反馈控制方法及装置 |
CN103424177B (zh) * | 2013-09-11 | 2015-06-17 | 南京大学 | 一种提高反射式激光测振系统灵敏度的方法及装置 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07218538A (ja) * | 1994-01-31 | 1995-08-18 | Sony Tektronix Corp | フローティング測定用プローブ |
JPH08116117A (ja) * | 1994-10-17 | 1996-05-07 | Mitsubishi Electric Corp | 光増幅器 |
WO1999040449A1 (fr) * | 1998-02-05 | 1999-08-12 | Advantest Corporation | Circuit d'attaque excite optiquement, detecteur de tension de type a sortie optique et materiel de test de circuits integres utilisant ces dispositifs |
US20080048673A1 (en) * | 2006-08-23 | 2008-02-28 | Kan Tan | Signal analysis system and calibration method for multiple signal probes |
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