JP2015106673A - 実装モジュールの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】シリコーン層を所定の形状に形成することができる実装モジュールの製造方法を提供する。【解決手段】本発明に実装モジュール100の製造方法では、基板10上にシリコーン層を成膜する工程と、シリコーン層上にレジスト層50を形成する工程と、シリコーン層を冷却によって硬くした状態で、レジスト層50をマスクとしてシリコーン層をエッチングする工程と、エッチングされたシリコーン層20上に素子40を載置する工程と、を含む。【選択図】図8
Description
本発明は、実装モジュールの製造方法に関する。
光学素子やセンサーなどの素子を基板に実装して、実装モジュールを形成する技術が知られている。シリコーン層を接着剤として用いた実装技術は、高価な装置や材料を使用する必要がなく、低コスト化を図ることができる。例えば特許文献1には、マスターパターンを用いてシリコーン層をパターニングし、パターニングされたシリコーン層を基板に貼り付ける技術が記載されている。
しかしながら、特許文献1の技術では、パターニングされたシリコーン層を基板に転写しており、パターニングされたシリコーン層と基板との合わせ精度が問題となることがあった。
そこで、基板上に直接シリコーン層を成膜し、成膜されたシリコーン層をパターニングする技術が考えられる。しかしながら、シリコーン層は軟らかいために、シリコーン層をパターニングして所定の形状に形成することが困難であった。所定の形状から変形したシリコーン層を接着剤として用いると、実装する素子の位置精度が低くなることがある。特に、半導体発光素子を実装する場合は、光を所定の方向に射出させるために、高い位置精度で実装する必要がある。
本発明のいくつかの態様に係る目的の1つは、シリコーン層を所定の形状に形成することができる実装モジュールの製造方法を提供することにある。
本発明に係る実装モジュールの製造方法は、
基板上にシリコーン層を成膜する工程と、
前記シリコーン層上にレジスト層を形成する工程と、
前記シリコーン層を冷却によって硬くした状態で、前記レジスト層をマスクとして前記シリコーン層をエッチングする工程と、
エッチングされた前記シリコーン層上に素子を載置する工程と、
を含む。
基板上にシリコーン層を成膜する工程と、
前記シリコーン層上にレジスト層を形成する工程と、
前記シリコーン層を冷却によって硬くした状態で、前記レジスト層をマスクとして前記シリコーン層をエッチングする工程と、
エッチングされた前記シリコーン層上に素子を載置する工程と、
を含む。
このような実装モジュールの製造方法では、シリコーン層を所定の形状に形成することができる。
本発明に係る実装モジュールの製造方法において、
前記シリコーン層をエッチングする工程では、
前記シリコーン層を−50℃以下に冷却してエッチングしてもよい。
前記シリコーン層をエッチングする工程では、
前記シリコーン層を−50℃以下に冷却してエッチングしてもよい。
このような実装モジュールの製造方法では、より確実に、シリコーン層を硬くすること
ができる。
ができる。
本発明に係る実装モジュールの製造方法において、
前記シリコーン層をエッチングする工程では、
前記シリコーン層をクライオジェニックに冷却してエッチングしてもよい。
前記シリコーン層をエッチングする工程では、
前記シリコーン層をクライオジェニックに冷却してエッチングしてもよい。
このような実装モジュールの製造方法では、さらにより確実に、シリコーン層を硬くすることができる。
本発明に係る実装モジュールの製造方法において、
前記シリコーン層をエッチングする工程と、前記素子を載置する工程と、の間に、
前記シリコーン層を水に浸して温める工程を含んでもよい。
前記シリコーン層をエッチングする工程と、前記素子を載置する工程と、の間に、
前記シリコーン層を水に浸して温める工程を含んでもよい。
このような実装モジュールの製造方法では、シリコーン層が結露してシリコーン層に結露の跡(ウォーターマーク)が形成されることを防ぐことができる。
本発明に係る実装モジュールの製造方法において、
前記素子は、半導体発光素子であってもよい。
前記素子は、半導体発光素子であってもよい。
このような実装モジュールの製造方法では、高い位置精度が求められる半導体発光素子においても、問題なく実装することができる。
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
1. 実装モジュール
まず、本実施形態に係る実装モジュールについて、図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る実装モジュール100を模式的に示す断面図である。
まず、本実施形態に係る実装モジュールについて、図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る実装モジュール100を模式的に示す断面図である。
実装モジュール100は、図1に示すように、基板10と、シリコーン層20と、配線層30と、導電ペースト32と、素子40と、を含む。
基板10には、シリコーン層20、配線層30、および導電ペースト32を介して、素
子40が実装されている。基板10は、例えば、板状の部材である。基板10は、支持基板12と、絶縁層14と、を有している。
子40が実装されている。基板10は、例えば、板状の部材である。基板10は、支持基板12と、絶縁層14と、を有している。
支持基板12の材質は、例えば、Cu、Al、Mo、W、Si、C、Be、Auや、これらの化合物、またはこれらの合金である。支持基板12は、素子40で熱が発生した場合に、該熱を放射させることができる。
絶縁層14は、支持基板12上に設けられている。絶縁層14の材質は、例えば、酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウムなどである。絶縁層14は、絶縁層14上に設けられている複数の配線層30間を電気的に分離することができる。さらに、絶縁層14は、シリコーン層20aをエッチングする際に、エッチングストッパー層として機能することができる(後述する図8参照)。
シリコーン層20は、基板10上に(具体的には絶縁層14上に)設けられている。シリコーン層20の厚さは、例えば、1μm以上10μm以下である。シリコーン層20の材質は、シロキサン結合による主骨格を持つ高分子化合物であり、具体的には、ポリジメチルシロキサン、ポリシルセスキオキサンなどである。シリコーン層20は、接着剤として機能することができ、基板10と素子40とを接着させることができる。
配線層30は、基板10上に(具体的には絶縁層14上に)設けられている。配線層30は、例えば、素子40の電極の数に対応して複数設けられている。複数の配線層30は、互いに離間して(島状に)設けられ、隣り合う配線層30の間には、シリコーン層20が設けられている。配線層30の材質は、例えば、Cu、Al、Auや、これらの合金である。配線層30は、素子40の電極と導電ペースト32を介して接合されている。配線層30は、素子40の電極に電流を注入するための配線である。
導電ペースト32は、配線層30上に設けられている。導電ペースト32としては、例えば、銀ペーストを用いる。配線層30と導電ペースト32との厚さの合計は、シリコーン層20の厚さと同じであることが好ましい。これにより、素子40を基板10に対して傾くことなく(具体的には基板10の上面と素子40の下面とが平行な状態で)、素子40を実装することができる。
素子40は、シリコーン層20上および導電ペースト32上に設けられている。素子40は、シリコーン層20、配線層30、および導電ペースト32を介して、基板10に実装されている。素子40は、例えば、側面から光を射出する端面発光型の半導体発光素子である。より具体的には、素子40は、スーパールミネッセントダイオード(Super
Luminescent Diode:SLD)、半導体レーザーなどである。
Luminescent Diode:SLD)、半導体レーザーなどである。
2. 実装モジュールの製造方法
次に、本実施形態に係る実装モジュール100の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図2は、本実施形態に係る実装モジュール100の製造方法を説明するためのフローチャートである。図3〜図9は、本実施形態に係る実装モジュール100の製造工程を模式的に示す断面図である。
次に、本実施形態に係る実装モジュール100の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図2は、本実施形態に係る実装モジュール100の製造方法を説明するためのフローチャートである。図3〜図9は、本実施形態に係る実装モジュール100の製造工程を模式的に示す断面図である。
実装モジュール100の製造方法は、図2に示すように、絶縁層14を成膜する工程(S1)と、配線層30を形成する工程(S2)と、シリコーン層20aを成膜する工程(S3)と、レジスト層50aを成膜する工程(S4)と、所定形状のレジスト層50を形成する工程(S5)と、シリコーン層20aをエッチングする工程(S6)と、シリコーン層20を水に浸す工程(S7)と、レジスト層50を除去する工程(S8)と、導電ペースト32を形成する工程(S9)と、素子40を載置する工程(S10)と、を含む。
以下、具体的に説明する。
以下、具体的に説明する。
図3に示すように、支持基板12上に絶縁層14を成膜する(S1)。絶縁層14は、例えば、CVD(Chemical Vapor Deposition)法、スパッタ法などにより成膜される。本工程により、基板10を得ることができる。
図4に示すように、基板10上に配線層30を形成する(S2)。配線層30は、例えば、スパッタ法や真空蒸着法などによって導電層(図示せず)を形成し、該導電層をパターニングすることにより形成される。パターニングは、例えば、フォトリソグラフィーおよびエッチングによって行われる。
図5に示すように、基板10上および配線層30上にシリコーン層20aを成膜する(S3)。具体的には、まず、シリコーン材を、ベンゼンなどの希釈剤を使用して希釈する。次に、希釈されたシリコーン材を、スピンコート法により基板10上および配線層30上に塗布する。以上により、シリコーン層20aを成膜することができる。スピンコート法を用いることにより、基板10上に厚さの均一性が高いシリコーン層20aを成膜することができる。さらに、スピンコート法を用いることにより、表面積の大きな基板10に対しても、シリコーン層20aの成膜が可能となる。
図6に示すように、シリコーン層20a上にレジスト層50aを成膜する(S4)。レジスト層50aは、例えば、ローラーにより成膜される。レジスト層50aは、例えば、アクリルモノマー系を使用した感光性樹脂層であり、より具体的には、ドライフィルムレンジスト層である。ドライフィルムレジスト層であるレジスト層50aは、ポリエチレン製のカバーフィルムと、ポリエステル製のベースフィルムと、カバーフィルムとベースフィルムとに挟まれた感光層と、を有している。レジスト層50aとして、ドライフィルムレンジスト層を用いることにより、ベークの温度変化にともなうシリコーン層20aの伸縮を抑える(小さくする)ことができる。
なお、レジスト層50aを成膜する前に、シリコーン層20aの表面(上面)を、シランカップリング剤で処理してもよいし、水酸基と反応する状態になるように処理してもよい。これにより、シリコーン層20aとレジスト層50aとの密着性を高くすることができる。
図7に示すように、レジスト層50aに対して、露光、現像、ベークを行い、シリコーン層20a上に所定形状のレジスト層50を形成する(S5)。
図8に示すように、シリコーン層20aを冷却によって硬くした状態で、レジスト層50をマスクとしてシリコーン層20aをエッチングし、シリコーン層20を形成する(S6)。シリコーン層20aのエッチングは、シリコーン層20aを構成しているSiと反応する反応性ガスを用いたドライエッチングである。反応性ガスとしては、例えば、CF系ガスやSF6系ガスを用いる。
シリコーン層20aのドライエッチングは、例えば、プラズマエッチング装置を用いて行われる。プラズマエッチング装置では、プラズマ中のイオン種やラジカル種と、上記反応性ガスと、によって微細加工が可能となる。具体的には、シリコーン層20の幅を10μm以下にすることができる。
シリコーン層20aのドライエッチングは、シリコーン層20aを冷却しながら行われる。具体的には、本エッチング工程では、シリコーン層20aを−50℃以下に冷却してエッチングする。好ましくは、シリコーン層20aをクライオジェニックに冷却してエッ
チングする。より好ましくは、シリコーン層20aを極低温に冷却してエッチングする。ここで、クライオジェニックとは、液化天然ガスの温度(−162℃)から液体ヘリウムの温度(−269℃)にわたる温度域のことをいう。極低温とは、液体ヘリウムの温度(−269℃)以下の温度域のことをいう。すなわち、本エッチング工程では、好ましくは、シリコーン層20aを−269℃以上−162℃以下に冷却してエッチングする。より好ましくは、シリコーン層20aを−269℃以下に冷却してエッチングする。
チングする。より好ましくは、シリコーン層20aを極低温に冷却してエッチングする。ここで、クライオジェニックとは、液化天然ガスの温度(−162℃)から液体ヘリウムの温度(−269℃)にわたる温度域のことをいう。極低温とは、液体ヘリウムの温度(−269℃)以下の温度域のことをいう。すなわち、本エッチング工程では、好ましくは、シリコーン層20aを−269℃以上−162℃以下に冷却してエッチングする。より好ましくは、シリコーン層20aを−269℃以下に冷却してエッチングする。
シリコーン層20aの冷却は、例えば、ドライエッチング装置のステージ(基板10を支持するステージ)60内に管62を設置し、管62内に冷却剤2を循環させることによって行われる。冷却剤2としては、例えば、液体ヘリウムや液化天然ガスを用いる。ステージ60および管62は、熱伝導率のよい金属などで構成されている。
シリコーン層20aを冷却することにより、シリコーン層20aを硬くすることができることができる。言い換えると、例えば、靱性材料であるシリコーン層20aを、脆性材料にすることができる。シリコーン層20aを冷却して硬くすることにより、シリコーン層20aの分子の変動を抑制することができる。本工程では、このようにシリコーン層20aを冷却によって硬くした状態で、シリコーン層20aをドライエッチングする。
次に、シリコーン層20を水に浸して温める(S7)。具体的には、シリコーン層20、配線層30、およびレジスト層50が形成された基板10(以下、「基板10等」ともいう)を水に浸し、−50℃以下に冷却された基板10等を温める(解凍する)。本工程により、基板10等の温度を、例えば常温にすることができ、シリコーン層20を軟らかくすることができる。これにより、素子40が載置された場合に、シリコーン層20を接着剤として機能させることができる。その後、基板10等を、水から取り出し、乾燥させる。
次に、レジスト層50を除去する(S8)。具体的には、ウェット剥離によって、レジスト層50を除去する。
図9に示すように、配線層30上に導電ペースト32を形成する(S9)。導電ペースト32は、例えば、所定形状の基板に導電ペーストを塗布し、導電ペーストが塗布された基板を配線層30に押し当てることによって形成される。
図1に示すように、エッチングされたシリコーン層20上に素子40を載置する(S10)。具体的には、シリコーン層20上および導電ペースト32上に素子40を載置する。シリコーン層20は、素子40の実装面(シリコーン層20と接触する面)の水酸基と反応して硬化し、接着剤として機能する。本工程により、シリコーン層20、配線層30、および導電ペースト32を介して、基板10に素子40を実装することができる。
なお、素子40を載置する前に、素子40の実装面をUV(Ultraviolet)照射またはプラズマ照射を行い、その後、加熱処理することが好ましい。これにより、シリコーン層20を、より確実に素子40の実装面の水酸基と反応させ、より強固に素子40を基板10に接着させることができる。実装モジュール100の製造方法では、UV照射またはプラズマ照射、および加熱処理を行うことにより、任意のタイミングで、素子40の接着強度を高くすることができる。これにより、実装モジュール100の設計範囲を広げ、さらに低コスト化を図ることができる。
以上の工程により、実装モジュール100を製造することができる。
実装モジュール100の製造方法は、例えば、以下の特徴を有する。
実装モジュール100の製造方法では、シリコーン層20aを冷却によって硬くした状態で、レジスト層50をマスクとしてシリコーン層20aをエッチングする工程を含む。そのため、実装モジュール100の製造方法では、シリコーン層20を所定の(所望の)形状に形成することができる。
例えばシリコーン層を冷却せずにエッチングした場合は、シリコーン層は軟らかいので、レジスト層によるシリコーン層への応力によって、図10および図11に示すように、シリコーン層の端部の形状が変形する(図中に示す破線の円を参照)。これにより、シリコーン層の上面の平坦性が低くなり、シリコーン層と素子との接触面積が小さくなる。その結果、素子の実装強度が低下する場合がある。実装モジュール100の製造方法は、シリコーン層20aを冷却によって硬くした状態でエッチングすることにより、上記のような問題を回避することができ、素子40の実装強度を高くすることができる。
なお、図10および図11は、シリコーン層を冷却せずにドライエッチングした状態を示すSEM写真である。図10は、パターン開口(隣り合うシリコーン層の距離)が大きいところのSEM写真であり、図11は、パターン開口が小さいところのSEM写真である。パターン開口の大きさによってシリコーン層の端部の形状が異なるのは、パターン開口によって、レジスト層によるシリコーン層への応力やエッチング状況が変わるためであると推定される。
実装モジュール100の製造方法では、シリコーン層20aをエッチングする工程では、シリコーン層20aを−50℃以下に冷却してエッチングする。シリコーン層の柔らかさは、−50℃より高く200℃より低い温度では、ほとんど変わらない。そのため、−50℃以下に冷却することにより、より確実に、シリコーン層20aを硬くすることができる。
実装モジュール100の製造方法では、シリコーン層20aをエッチングする工程では、シリコーン層20aをクライオジェニックに冷却してエッチングする。これにより、さらにより確実に、シリコーン層20aを硬くすることができる。
実装モジュール100の製造方法では、シリコーン層20aをエッチングする工程と、素子40を載置する工程と、の間に、シリコーン層20を水に浸して温める工程を含む。これにより、シリコーン層20が結露してシリコーン層20に結露の跡(ウォーターマーク)が形成されることを防ぐことができる。
実装モジュール100の製造方法では、素子40は、半導体発光素子である。半導体発光素子は、光を所定の方向に射出させるために、高い位置精度が求められる。例えば図10および図11に示す平坦性の低いシリコーン層を用いて半導体発光素子を実装すると、半導体発光素子が傾いてしまい(具体的には、基板10の上面と素子40の下面とが平行ではなくなり)、半導体発光素子から射出される光を、所定の方向に照射させることができないという問題が生じる。実装モジュール100の製造方法では、シリコーン層20aを冷却によって硬くした状態でエッチングすることにより、高い位置精度が求められる半導体発光素子においても、問題なく実装することができる。
なお、上記では、シリコーン層20aをエッチングする際に、シリコーン層20aを冷却する例について説明したが、シリコーン層20a上にレジスト層50aを成膜する工程(S4)から、レジスト層50を除去する工程(S8)までの間、シリコーン層20aを冷却してもよい。これにより、レジスト層50,50aによるシリコーン層20,20aへの応力によってシリコーン層20,20aが変形することを、より確実に、防ぐことが
できる。
できる。
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成(例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
2…冷却剤、10…基板、12…支持基板、14…絶縁層、20,20a…シリコーン層、30…配線層、32…導電ペースト、40…素子、50,50a…レジスト層、52…カバーフィルム、54…ベースフィルム、56…感光層、60…ステージ、62…管、100…実装モジュール
Claims (5)
- 基板上にシリコーン層を成膜する工程と、
前記シリコーン層上にレジスト層を形成する工程と、
前記シリコーン層を冷却によって硬くした状態で、前記レジスト層をマスクとして前記シリコーン層をエッチングする工程と、
エッチングされた前記シリコーン層上に素子を載置する工程と、
を含む、実装モジュールの製造方法。 - 請求項1において、
前記シリコーン層をエッチングする工程では、
前記シリコーン層を−50℃以下に冷却してエッチングする、実装モジュールの製造方法。 - 請求項1または2において、
前記シリコーン層をエッチングする工程では、
前記シリコーン層をクライオジェニックに冷却してエッチングする、実装モジュールの製造方法。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記シリコーン層をエッチングする工程と、前記素子を載置する工程と、の間に、
前記シリコーン層を水に浸して温める工程を含む、実装モジュールの製造方法。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記素子は、半導体発光素子である、実装モジュールの製造方法。
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