JP2015105346A - Coating composition for adhesive layer, adhesive film for semiconductor and production method of the adhesive film, and method for manufacturing semiconductor device using the adhesive film - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a coating composition for an adhesive layer, which has a good elongation rate at break and good film processability, an adhesive film for a semiconductor and a production method of the adhesive film using the coating composition, and a method for manufacturing a semiconductor device using the adhesive film.SOLUTION: The coating composition for an adhesive layer comprises: (a) 10 to 46 parts by mass of an epoxy resin; (b) 3 to 40 parts by mass of a (meth)acrylate polymer having a weight average molecular weight of 10,000 to 1,000,000; (c) 5 to 35 parts by mass of inorganic fine particles having an average particle diameter of 0.01 to 1.0 μm; and (d) 5 to 35 parts by mass of a curing agent for an epoxy resin, where the (d) curing agent for an epoxy resin comprises (i) 4 to 34 parts by mass of at least one kind of phenolic resin that is solid at 20°C and (ii) 1 to 31 parts by mass of at least one kind of phenolic resin that is liquid at 20°C; and the composition further includes (e) 0.05 to 5 parts by mass of a curing accelerator with respect to 100 parts by mass of the above (a) to (d) components.

Description

本発明は、接着剤層用塗布組成物、半導体用接着フィルムおよびその製造方法、ならびに、これを用いた半導体装置の製造方法に関する。   The present invention relates to a coating composition for an adhesive layer, an adhesive film for a semiconductor, a method for producing the same, and a method for producing a semiconductor device using the same.

現在、メモリ用半導体装置は小型化・高容量化が進んでおり、ＭＣＰ（マルチチップパッケージ）に代表されるように、１つのパッケージに複数のシリコンチップ上に回路を形成した半導体素子を積層する半導体装置構造が一般的となっている。ＭＣＰなどに用いる半導体素子同士および／もしくは半導体素子と半導体実装基板などの接着にはダイボンディングフィルムと称されるフィルム状の接着剤が広く用いられている。   Currently, memory semiconductor devices are being reduced in size and increased in capacity. As represented by MCP (multi-chip package), semiconductor elements in which circuits are formed on a plurality of silicon chips are stacked in one package. Semiconductor device structures are common. A film-like adhesive called a die bonding film is widely used for bonding semiconductor elements used for MCP and / or semiconductor elements and a semiconductor mounting substrate.

フィルム状接着剤の代表的な実装方式としてウェハ裏面貼付け方式がある。まず半導体ウェハの回路面とは反対側の面（裏面）にフィルム状の接着剤層を貼付け、次に該フィルム状接着剤層側から粘着剤層付き基材（ダイシングテープ）を貼り合わせる。次にダイシング工程で半導体ウェハおよびフィルム状接着剤層を切断し、フィルム状接着剤層付き半導体素子を得る。さらに得られた該半導体素子を粘着剤層から剥離し、それをプリント基板などの半導体実装基板に接着する。その後、ワイヤーボンディング、封止工程などを経て半導体装置を製造する。   As a typical mounting method of the film adhesive, there is a wafer back surface pasting method. First, a film-like adhesive layer is affixed to the surface (rear surface) opposite to the circuit surface of the semiconductor wafer, and then a substrate with a pressure-sensitive adhesive layer (dicing tape) is affixed from the film-like adhesive layer side. Next, a semiconductor wafer and a film adhesive layer are cut | disconnected by a dicing process, and a semiconductor element with a film adhesive layer is obtained. Further, the obtained semiconductor element is peeled from the pressure-sensitive adhesive layer and bonded to a semiconductor mounting board such as a printed board. Thereafter, a semiconductor device is manufactured through wire bonding, a sealing process, and the like.

しかし、フィルム状接着剤を用いたウェハ裏面貼付け方式においては、ダイシング工程までに接着剤層を半導体ウェハに貼りつける工程とダイシングテープを接着剤層側から貼りつける工程の２つの貼付け工程を経なければならない。   However, in the wafer back surface attaching method using a film adhesive, two attaching steps, a step of attaching the adhesive layer to the semiconductor wafer and a step of attaching the dicing tape from the adhesive layer side by the dicing step, must be performed. I must.

そこで上記工程を簡略化するために、予めフィルム状接着剤層とダイシングテープ層を貼り合わせ、ダイボンディングフィルムとダイシングテープを積層したフィルムが提案されている（例えば、特許文献１〜２参照）。   Therefore, in order to simplify the above process, a film in which a film adhesive layer and a dicing tape layer are bonded in advance and a die bonding film and a dicing tape are laminated has been proposed (see, for example, Patent Documents 1 and 2).

また、接着剤層を半導体ウェハに貼りつける工程における接着剤層の組成としては、例えば、特許文献３や特許文献４のようなものが開示されている。   Further, as the composition of the adhesive layer in the step of attaching the adhesive layer to the semiconductor wafer, for example, those disclosed in Patent Document 3 and Patent Document 4 are disclosed.

特開２００２−２７５４４４号公報JP 2002-275444 A 特開２００５−３０３２７５号公報JP 2005-303275 A 特開２００８−７４９２８号公報JP 2008-74928 A 特開２０１０−１１８６４０号公報JP 2010-118640 A

しかしながら、特許文献３や特許文献４に開示されているような組成の接着剤層を使用した場合、接着剤層を半導体ウェハに貼りつける工程の前段階における、不要部分の接着剤層を除去する際に、接着剤層が破断してしまったりする問題がある。特に、不要部分の接着剤層の量を少なくしていくと（つまり、歩留まりを高めようとすると）、不要部分の接着剤層が細くなり、除去の際に容易に破断してしまうという問題が顕在化していた。これにより、生産性が低下し、また、破断した破片が製品に混入したりすることにより品質も低下するという問題もあった。   However, when an adhesive layer having a composition as disclosed in Patent Document 3 or Patent Document 4 is used, an unnecessary portion of the adhesive layer is removed in a stage before the process of attaching the adhesive layer to the semiconductor wafer. At this time, there is a problem that the adhesive layer breaks. In particular, if the amount of the adhesive layer in the unnecessary portion is reduced (that is, if the yield is increased), the adhesive layer in the unnecessary portion becomes thin and easily breaks during removal. It was obvious. As a result, there is a problem that the productivity is lowered and the quality is also lowered due to the broken pieces mixed into the product.

そこで、本発明は、破断伸び率が高く、良好なフィルム加工性を有する接着剤層用塗布組成物を提供し、また、それを使った半導体用接着フィルムおよびその製造方法、ならびにこれを用いた半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。   Therefore, the present invention provides a coating composition for an adhesive layer having a high elongation at break and good film processability, and an adhesive film for a semiconductor using the same, a method for producing the same, and the same An object is to provide a method for manufacturing a semiconductor device.

本発明者は、上記の問題を解決すべく、鋭意研究を行った。その結果、（ａ）エポキシ樹脂 １０〜４６質量部と；（ｂ）重量平均分子量１０，０００〜１，０００，０００の（メタ）アクリル酸エステル重合体 ３〜４０質量部と；（ｃ）平均粒径が０．０１μｍを超え、かつ１．０μｍ以下である無機微粒子 ５〜３５質量部と；（ｄ）エポキシ樹脂の硬化剤 ５〜３５質量部と；ただし、（ａ）〜（ｄ）の合計量は１００質量部である、を含み、前記（ｄ）エポキシ樹脂の硬化剤が、（ｉ）２０℃で固形であるフェノール樹脂 ４〜３４質量部を少なくとも一種と；（ｉｉ）２０℃で液状であるフェノール樹脂 １〜３１質量部を少なくとも一種と；を含み、前記（ａ）〜（ｄ）成分１００質量部に対して、（ｅ）硬化促進剤 ０．０５〜５質量部をさらに含む、接着剤層用塗布組成物を提供することによって、上記課題を解決することができることを見出し、本発明の完成に至った。   The present inventor has intensively studied to solve the above problems. As a result, (a) 10 to 46 parts by mass of epoxy resin; (b) 3 to 40 parts by mass of (meth) acrylic acid ester polymer having a weight average molecular weight of 10,000 to 1,000,000; (c) average 5 to 35 parts by mass of inorganic fine particles having a particle size of more than 0.01 μm and 1.0 μm or less; (d) 5 to 35 parts by mass of an epoxy resin curing agent; provided that (a) to (d) The total amount is 100 parts by mass, and (d) the epoxy resin curing agent is (i) at least one phenol resin that is solid at 20 ° C. and 4 to 34 parts by mass; (ii) at 20 ° C. 1 to 31 parts by mass of a phenol resin that is liquid; and 100 parts by mass of the components (a) to (d), and further includes 0.05 to 5 parts by mass of an (e) curing accelerator. To provide a coating composition for an adhesive layer Thus, it found that it is possible to solve the above problems, and have completed the present invention.

本発明によれば、破断伸び率がよく、良好なフィルム加工性を有する接着剤層用塗布組成物を提供し、また、それを使った半導体用接着フィルムおよびその製造方法、ならびにこれを用いた半導体装置の製造方法を提供することができる。   According to the present invention, a coating composition for an adhesive layer having a good elongation at break and good film processability is provided, an adhesive film for a semiconductor using the same, a method for producing the same, and a method for using the same. A method for manufacturing a semiconductor device can be provided.

本発明の好ましい実施形態による半導体用接着フィルムの製造方法の工程（１）を示す、斜視図および断面図（Ａ−Ａ’）である。It is a perspective view and sectional drawing (A-A ') which show process (1) of the manufacturing method of the adhesive film for semiconductors by preferable embodiment of this invention. 本発明の好ましい実施形態による半導体用接着フィルムの製造方法の工程（２）を示す、斜視図および断面図（Ｂ−Ｂ’）である。It is a perspective view and sectional drawing (B-B ') which show process (2) of the manufacturing method of the adhesive film for semiconductors by preferable embodiment of this invention. 本発明の好ましい実施形態による半導体用接着フィルムの製造方法の工程（２）を示す、斜視図および断面図（Ｃ−Ｃ’）である。It is a perspective view and sectional drawing (C-C ') which show process (2) of the manufacturing method of the adhesive film for semiconductors by preferable embodiment of this invention. 本発明の好ましい実施形態による半導体用接着フィルムの製造方法の工程（２）を示す、斜視図および断面図（Ｄ−Ｄ’）である。It is a perspective view and sectional drawing (D-D ') which show process (2) of the manufacturing method of the adhesive film for semiconductors by preferable embodiment of this invention. 本発明の好ましい実施形態による半導体用接着フィルムの製造方法の工程（２）を示す、斜視図および断面図（Ｅ−Ｅ’）である。It is a perspective view and sectional drawing (E-E ') which show process (2) of the manufacturing method of the adhesive film for semiconductors by preferable embodiment of this invention. 本発明の好ましい実施形態による半導体用接着フィルムの製造方法の工程（３）を示す、斜視図および断面図（Ｆ−Ｆ’）である。It is a perspective view and sectional drawing (F-F ') which show process (3) of the manufacturing method of the adhesive film for semiconductors by preferable embodiment of this invention. 本発明の好ましい実施形態による半導体用接着フィルムの製造方法の工程（４）を示す、斜視図および断面図（Ｇ−Ｇ’）である。It is a perspective view and sectional drawing (G-G ') which show process (4) of the manufacturing method of the adhesive film for semiconductors by preferable embodiment of this invention. 本発明の好ましい実施形態による半導体用接着フィルムの製造方法の工程（４）を示す、斜視図および断面図（Ｈ−Ｈ’）である。It is a perspective view and sectional drawing (H-H ') which show process (4) of the manufacturing method of the adhesive film for semiconductors by preferable embodiment of this invention. 本発明の好ましい実施形態による半導体用接着フィルムの製造方法の工程（４）を示す、斜視図および断面図（Ｊ−Ｊ’）である。It is a perspective view and sectional drawing (J-J ') which show process (4) of the manufacturing method of the adhesive film for semiconductors by preferable embodiment of this invention. 本発明の好ましい実施形態による半導体装置の製造方法の工程（５）を示す、斜視図である。It is a perspective view which shows process (5) of the manufacturing method of the semiconductor device by preferable embodiment of this invention. 本発明の好ましい実施形態による半導体装置の製造方法の工程（６）を示す、斜視図である。It is a perspective view which shows process (6) of the manufacturing method of the semiconductor device by preferable embodiment of this invention. 本発明の好ましい実施形態による半導体装置の製造方法の工程（７）を示す、斜視図である。It is a perspective view which shows the process (7) of the manufacturing method of the semiconductor device by preferable embodiment of this invention. 本発明の好ましい実施形態による半導体装置の製造方法の工程（８）を示す、斜視図である。It is a perspective view which shows process (8) of the manufacturing method of the semiconductor device by preferable embodiment of this invention. 本発明の好ましい実施形態による半導体装置の製造方法の工程（９）を示す、斜視図である。It is a perspective view which shows process (9) of the manufacturing method of the semiconductor device by preferable embodiment of this invention. 本発明の好ましい実施形態による半導体装置の製造方法の工程（１０）を示す、斜視図である。It is a perspective view which shows the process (10) of the manufacturing method of the semiconductor device by preferable embodiment of this invention. 本発明の好ましい実施形態による半導体装置の製造方法の工程（１１）を示す、斜視図である。It is a perspective view which shows the process (11) of the manufacturing method of the semiconductor device by preferable embodiment of this invention.

以下、本発明の実施の形態を説明する。なお、本発明は、以下の実施の形態のみには限定されない。また、図面の寸法比率は、説明の都合上誇張されており、実際の比率とは異なる場合がある。また、本明細書において、範囲を示す「Ｘ〜Ｙ」は「Ｘ以上Ｙ以下」を意味し、「重量」と「質量」、「重量％」と「質量％」および「重量部」と「質量部」は同義語として扱う。   Embodiments of the present invention will be described below. In addition, this invention is not limited only to the following embodiment. In addition, the dimensional ratios in the drawings are exaggerated for convenience of explanation, and may differ from the actual ratios. In the present specification, “X to Y” indicating a range means “X or more and Y or less”, and “weight” and “mass”, “wt%” and “mass%”, “part by weight” and “ “Part by mass” is treated as a synonym.

＜本発明の第１＞
本発明の第１は、（ａ）エポキシ樹脂 １０〜４６質量部と；（ｂ）重量平均分子量１０，０００〜１，０００，０００の（メタ）アクリル酸エステル重合体 ３〜４０質量部と；（ｃ）平均粒径が０．０１μｍを超え、かつ１．０μｍ以下である無機微粒子 ５〜３５質量部と；（ｄ）エポキシ樹脂の硬化剤 ５〜３５質量部と；ただし、（ａ）〜（ｄ）の合計量は１００質量部である、を含み、前記（ｄ）エポキシ樹脂の硬化剤が、（ｉ）２０℃で固形であるフェノール樹脂 ４〜３４質量部を少なくとも一種と；（ｉｉ）２０℃で液状であるフェノール樹脂 １〜３１質量部を少なくとも一種と；を含み、前記（ａ）〜（ｄ）成分１００質量部に対して、（ｅ）硬化促進剤 ０．０５〜５質量部をさらに含む、接着剤層用塗布組成物である。 <First of the present invention>
The first of the present invention is (a) 10 to 46 parts by mass of an epoxy resin; (b) 3 to 40 parts by mass of a (meth) acrylic acid ester polymer having a weight average molecular weight of 10,000 to 1,000,000; (C) 5 to 35 parts by mass of inorganic fine particles having an average particle size exceeding 0.01 μm and 1.0 μm or less; and (d) 5 to 35 parts by mass of a curing agent for epoxy resin; The total amount of (d) is 100 parts by mass, and the curing agent for the (d) epoxy resin comprises (i) at least one type of 4-34 parts by mass of a phenol resin that is solid at 20 ° C .; And at least one phenol resin that is liquid at 20 ° C. 1-35 parts by mass, and (e) a curing accelerator 0.05-5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the components (a)-(d). It is the coating composition for adhesive bond layers which further contains a part.

このような組成であると、破断伸び率がよく、良好なフィルム加工性を有する接着剤層を提供することができる。接着剤層の破断伸び率は、１５０％以上であると好ましく、より好ましくは１６０〜６００％、さらに好ましくは１６５〜４５０％である。なお、本発明において破断伸び率は、実施例に記載の方法によって測定された値を言うものとする。   With such a composition, an adhesive layer having good elongation at break and good film processability can be provided. The elongation at break of the adhesive layer is preferably 150% or more, more preferably 160 to 600%, and still more preferably 165 to 450%. In the present invention, the elongation at break is the value measured by the method described in the examples.

以下、各成分について、詳説する。   Hereinafter, each component will be described in detail.

（ａ）エポキシ樹脂
本発明で用いられるエポキシ樹脂（本明細書中、単に、成分（ａ）とも称する）は、成分（ｄ）と反応して硬化する。成分（ａ）は、硬化して接着作用を有するものであれば特に制限されない。具体的な例としては、例えば、ビスフェノールＡ型、ビスフェノールＦ型、ビスフェノールＳ型、臭素化ビスフェノールＡ型、水素添加ビスフェノールＡ型、ビスフェノールＡＦ型、ビフェニル型、ナフタレン型、フルオレン型、トリヒドロキシフェニルメタン型、ジシクロペンタジエン型、トリスヒドロキシフェニルメタン型、テトラフェニロールエタン型等の二官能エポキシ樹脂；フェノールノボラック型エポキシ樹脂やクレゾールノボラック型エポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂；多官能エポキシ樹脂；グリシジルアミン型エポキシ樹脂；複素環含有エポキシ樹脂；脂環式エポキシ樹脂等が挙げられる。これらエポキシ樹脂は単独でも、または２種以上組み合わせて用いてもよい。また、該エポキシ樹脂は合成品を用いてもよいし、市販品を用いてもよい。 (A) Epoxy Resin The epoxy resin used in the present invention (also referred to simply as component (a) in the present specification) reacts with component (d) and cures. The component (a) is not particularly limited as long as it is cured and has an adhesive action. Specific examples include, for example, bisphenol A type, bisphenol F type, bisphenol S type, brominated bisphenol A type, hydrogenated bisphenol A type, bisphenol AF type, biphenyl type, naphthalene type, fluorene type, trihydroxyphenylmethane. Type, dicyclopentadiene type, trishydroxyphenylmethane type, tetraphenylolethane type bifunctional epoxy resin; phenol novolac type epoxy resin and cresol novolak type epoxy resin, etc .; polyfunctional epoxy resin; glycidylamine Type epoxy resin; heterocycle-containing epoxy resin; alicyclic epoxy resin and the like. These epoxy resins may be used alone or in combination of two or more. The epoxy resin may be a synthetic product or a commercial product.

中でも、信頼性確保の観点から、トリヒドロキシフェニルメタン型、ジシクロペンタジエン型であることが好ましい。   Among these, from the viewpoint of ensuring reliability, the trihydroxyphenylmethane type and the dicyclopentadiene type are preferable.

本発明で用いられる好ましいエポキシ樹脂の市販品の例を、以下に列記する。   Examples of preferable commercially available epoxy resins used in the present invention are listed below.

ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂としては、例えば、エピコート（登録商標）シリーズ（エピコート（登録商標）８０７、エピコート（登録商標）８１５、エピコート（登録商標）８２５、エピコート（登録商標）８２７、エピコート（登録商標）８２８、エピコート（登録商標）８３４、エピコート（登録商標）１００１、エピコート（登録商標）１００４、エピコート（登録商標）１００７、エピコート（登録商標）１００９、以上三菱化学株式会社製）、ＤＥＲ−３３０、ＤＥＲ−３０１、ＤＥＲ−３６１（以上、ダウケミカル社製）、ＹＤ８１２５、（以上、新日鉄住金化学株式会社製）等が挙げられる。   Examples of the bisphenol A type epoxy resin include the Epicoat (registered trademark) series (Epicoat (registered trademark) 807, Epicoat (registered trademark) 815, Epicoat (registered trademark) 825, Epicoat (registered trademark) 827, Epicoat (registered trademark). 828, Epicoat (registered trademark) 834, Epicoat (registered trademark) 1001, Epicoat (registered trademark) 1004, Epicoat (registered trademark) 1007, Epicoat (registered trademark) 1009, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), DER-330, DER -301, DER-361 (above, manufactured by Dow Chemical Co., Ltd.), YD8125 (above, manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.) and the like.

トリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂としては、例えば、ＥＰＰＮ５０１Ｈ、ＥＰＰＮ５０１、ＥＰＰＮ５０１ＨＹ、ＥＰＰＮ５０２、ＥＰＰＮ５０２Ｈ（日本化薬株式会社製）等が挙げられる。   Examples of the trihydroxyphenylmethane type epoxy resin include EPPN501H, EPPN501, EPPN501HY, EPPN502, EPPN502H (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and the like.

ジシクロペンタジエン型としては、例えば、ＸＤ−１０００ ２Ｌ、ＸＤ−１０００（以上、日本化薬株式会社製）、ＨＰ−７２００、ＨＰ−７２００Ｈ（以上、ＤＩＣ株式会社製）等が挙げられる。   Examples of the dicyclopentadiene type include XD-1000 2L, XD-1000 (above, Nippon Kayaku Co., Ltd.), HP-7200, HP-7200H (above, DIC Corporation), and the like.

フェノールノボラック型エポキシ樹脂としては、例えば、エピコート（登録商標）１５２、エピコート（登録商標）１５４（以上、三菱化学株式会社製）、ＤＥＮ−４３８（ダウケミカル社製）等が挙げられる。クレゾールノボラック型エポキシ樹脂としては、例えば、ＥＯＣＮ−１０２Ｓ、ＥＯＣＮ−１０３Ｓ、ＥＯＣＮ−１０４Ｓ、ＥＯＣＮ−１０１２、ＥＯＣＮ−１０２５、ＥＯＣＮ−１０２７（以上、日本化薬株式会社製）、ＹＤＣＮ７００−３、ＹＤＣＮ−７００−５、ＹＤＣＮ−７００−１０（以下、新日鉄住金化学株式会社製）、アラルダイト（登録商標）ＥＣＮ１２８０（ハンツマン・ジャパン株式会社製）等が挙げられる。   Examples of the phenol novolac type epoxy resin include Epicoat (registered trademark) 152, Epicoat (registered trademark) 154 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), DEN-438 (manufactured by Dow Chemical Company), and the like. Examples of the cresol novolac type epoxy resin include EOCN-102S, EOCN-103S, EOCN-104S, EOCN-1012, EOCN-1025, EOCN-1027 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), YDCN700-3, YDCN- 700-5, YDCN-700-10 (hereinafter, Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.), Araldite (registered trademark) ECN1280 (manufactured by Huntsman Japan Co., Ltd.) and the like.

多官能エポキシ樹脂としては、例えば、Ｅｐｏｎ １０３１Ｓ（三菱化学株式会社製）、アラルダイト（登録商標）０１６３（チバスペシャルティケミカルズ株式会社製）、デナコール（登録商標）ＥＸ−６１１、ＥＸ−６１４、ＥＸ−６１４Ｂ、ＥＸ−６２２、ＥＸ−５１２、ＥＸ−５２１、ＥＸ−４２１、ＥＸ−４１１、ＥＸ−３２１、ＥＸ−７１１、ＥＸ−７２１、ＥＸ−７３１（以上、ナガセケムテックス株式会社製）等が挙げられる。   Examples of the multifunctional epoxy resin include Epon 1031S (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), Araldite (registered trademark) 0163 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.), Denacol (registered trademark) EX-611, EX-614, EX-614B. , EX-622, EX-512, EX-521, EX-421, EX-411, EX-321, EX-711, EX-721, EX-731 (manufactured by Nagase ChemteX Corporation) and the like. .

グリシジルアミン型エポキシ樹脂としては、例えば、エピコート（登録商標）６０４（ジャパンエポキシレジン株式会社製）、ＹＨ−４３４（新日鉄住金化学株式会社製）、ＴＥＴＲＡＤ（登録商標）−Ｘ、ＴＥＴＲＡＤ（登録商標）−Ｃ（以上、三菱ガス化学株式会社製）、ＥＬＭ−１２０（住友化学株式会社製）等が挙げられる。   Examples of the glycidylamine type epoxy resin include Epicoat (registered trademark) 604 (manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.), YH-434 (manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.), TETRAD (registered trademark) -X, and TETRAD (registered trademark). -C (Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd.), ELM-120 (Sumitomo Chemical Co., Ltd.) and the like.

複素環含有エポキシ樹脂としては、例えば、アラルダイト（登録商標）ＰＴ８１０（チバスペシャルティケミカルズ株式会社製）、ＥＲＬ４２３４、ＥＲＬ４２９９、ＥＲＬ４２２１、ＥＲＬ４２０６（以上、ＵＣＣ社製）等が挙げられる。   Examples of the heterocyclic ring-containing epoxy resin include Araldite (registered trademark) PT810 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.), ERL4234, ERL4299, ERL4221, and ERL4206 (manufactured by UCC).

脂環式エポキシ樹脂としては、エポリード（登録商標）シリーズ、セロキサイド（登録商標）シリーズ（以上、ダイセル化学株式会社製）等が挙げられる。   Examples of the alicyclic epoxy resin include Epolide (registered trademark) series, Celoxide (registered trademark) series (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), and the like.

これらは単独で用いても、２種以上を適宜組み合わせて用いてもよい。   These may be used alone or in appropriate combination of two or more.

成分（ａ）の配合量は、成分（ａ）〜（ｄ）の合計量を１００質量部として、１０〜４６質量部である。なお、成分（ａ）を２種以上使用する場合は、その合計量である。   The compounding quantity of a component (a) is 10-46 mass parts by making the total amount of a component (a)-(d) into 100 mass parts. In addition, when using 2 or more types of components (a), it is the total amount.

成分（ａ）の配合量が１０質量部未満であると、該接着フィルム中のエポキシ樹脂とエポキシ樹脂の硬化剤との反応点が減少し、接着力が低下する傾向となる。一方、４６質量部を超えると、接着フィルムの可撓性が低下し、接着フィルムの破断伸び率が低下する傾向がある。該配合量は、信頼性確保の観点で、好ましくは１５〜４５質量部、より好ましくは２０〜４４．５質量部である。   When the amount of component (a) is less than 10 parts by mass, the reaction point between the epoxy resin in the adhesive film and the curing agent for the epoxy resin decreases, and the adhesive strength tends to decrease. On the other hand, when it exceeds 46 parts by mass, the flexibility of the adhesive film is lowered, and the elongation at break of the adhesive film tends to be lowered. The blending amount is preferably 15 to 45 parts by mass, more preferably 20 to 44.5 parts by mass, from the viewpoint of ensuring reliability.

（ｂ）重量平均分子量１０，０００〜１，０００，０００の（メタ）アクリル酸エステル重合体
本発明で用いられる（メタ）アクリル酸エステル重合体（本明細書中、単に、成分（ｂ）とも称する）は、本発明においては応力緩和材のような作用を有する。つまり、成分（ａ）と成分（ｄ）のみであると硬化反応により接着剤層内部に応力が蓄積するため、成分（ｂ）と併用することによって、応力緩和性を向上させる。成分（ｂ）は特に制限されず、通常用いられている公知のものを使用することができる。 (B) (Meth) acrylic acid ester polymer having a weight average molecular weight of 10,000 to 1,000,000 (meth) acrylic acid ester polymer used in the present invention (in the present specification, simply referred to as component (b)) In the present invention has an action like a stress relieving material. That is, when only the component (a) and the component (d) are used, stress accumulates inside the adhesive layer due to the curing reaction. Therefore, the stress relaxation property is improved by using the component (b) together. The component (b) is not particularly limited, and a commonly known component can be used.

成分（ｂ）を構成するモノマー成分として用いられる例としては、具体的には、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−ブチル（メタ）アクリレート、イソアミル（メタ）アクリレート、ｎ−ヘキシル（メタ）アクリレート、ｎ−ヘプチル（メタ）アクリレート、ｎ−オクチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−オクチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、デシル（メタ）アクリレート、イソデシル（メタ）アクリレート、トリデシル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、イソステアリル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、ドデシル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、４−ｎ−ブチルシクロヘキシル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシルジグリコール（メタ）アクリレート、ブトキシエチル（メタ）アクリレート、ブトキシメチル（メタ）アクリレート、３−メトキシブチル（メタ）アクリレート、２−（２−メトキシエトキシ）エチル（メタ）アクリレート、２−（２−ブトキシエトキシ）エチル（メタ）アクリレート、４−ブチルフェニル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、２，４，５−テトラメチルフェニル（メタ）アクリレート、フェノキシメチル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、ポリエチレンオキシドモノアルキルエーテル（メタ）アクリレート、ポリエチレンオキシドモノアルキルエーテル（メタ）アクリレート、ポリプロピレンオキシドモノアルキルエーテル（メタ）アクリレート、トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、ペンタデカフルオロオキシエチル（メタ）アクリレート、２−クロロエチル（メタ）アクリレート、２，３−ジブロモプロピル（メタ）アクリレート、トリブロモフェニル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸エステルモノマー；２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、Ｎ−２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリルアミド、シクロヘキサンジメタノールモノアクリレート等のヒドロキシ基を有するアクリルモノマー；グリシジル（メタ）アクリレート、メチルグリシジル（メタ）アクリレート等のエポキシ基を有するアクリルモノマー等が挙げられる。さらに（メタ）アクリル酸エステル重合体は、本発明の所期の効果を損なわない範囲内で、他のモノマーとの共重合体でもよく、例えば、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ−ｔｅｒｔ−ブチルアミノエチル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルオキシエチルトリメチルアンモニウムクロライド（メタ）アクリレート等のアミノ基を有するアクリルモノマー；アクリロニトリル、シアノメチルアクリレート、２―シアノエチルアクリレート、シアノプロピルアクリレート、１―シアノメチルエチルアクリレート、２―シアノプロピルアクリレート、１―シアノシクロプロピルアクリレート、１―シアノシクロヘプチルアクリレート、１、１―ジシアノエチルアクリレート、２―シアノフェニルアクリレート、３―シアノフェニルアクリレート、４―シアノフェニルアクリレート、３―シアノベンジルアクリレート、４―シアノベンジルアクリレートなどの等のシアノ基を有するアクリルモノマー；２−メタクリロイルオキシエチルジフェニルホスフェート（メタ）アクリレート、トリメタクリロイルオキシエチルホスフェート（メタ）アクリレート、トリアクリロイルオキシエチルホスフェート（メタ）アクリレート等のリン酸基を有するアクリルモノマー；スルホプロピル（メタ）アクリレートナトリウム、２−スルホエチル（メタ）アクリレートナトリウム、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル（メタ）アクリレート、ｏ−ビフェニル（メタ）アクリレート等のフェニル基を有するアクリルビニルモノマー；２−アセトアセトキシエチル（メタ）アクリレート、ビニルトリメトキシシラン等が挙げられる。   Specific examples of the monomer component constituting component (b) include, for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, and n-butyl. (Meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, tert-butyl (meth) acrylate, isoamyl (meth) acrylate, n-hexyl (meth) acrylate, n-heptyl (meth) acrylate, n-octyl (meth) acrylate, tert -Octyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, decyl (meth) acrylate, isodecyl (meth) acrylate, tridecyl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, isostearyl (meth) acrylate Rate, phenyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, dodecyl (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, 4-n-butylcyclohexyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl diglycol (Meth) acrylate, butoxyethyl (meth) acrylate, butoxymethyl (meth) acrylate, 3-methoxybutyl (meth) acrylate, 2- (2-methoxyethoxy) ethyl (meth) acrylate, 2- (2-butoxyethoxy) Ethyl (meth) acrylate, 4-butylphenyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, 2,4,5-tetramethylphenyl (meth) acrylate, phenoxymethyl (meth) acrylate Phenoxyethyl (meth) acrylate, polyethylene oxide monoalkyl ether (meth) acrylate, polyethylene oxide monoalkyl ether (meth) acrylate, polypropylene oxide monoalkyl ether (meth) acrylate, trifluoroethyl (meth) acrylate, pentadecafluorooxyethyl (Meth) acrylate monomers such as (meth) acrylate, 2-chloroethyl (meth) acrylate, 2,3-dibromopropyl (meth) acrylate, tribromophenyl (meth) acrylate; 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, Hydroxy such as 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, N-2-hydroxyethyl (meth) acrylamide, cyclohexanedimethanol monoacrylate An acrylic monomer having a silyl group; an acryl monomer having an epoxy group such as glycidyl (meth) acrylate and methyl glycidyl (meth) acrylate. Further, the (meth) acrylic acid ester polymer may be a copolymer with other monomers within a range not impairing the intended effect of the present invention. For example, dimethylaminoethyl (meth) acrylate, diethylaminoethyl (meta ) Acrylic monomers having amino groups such as acrylate, N-tert-butylaminoethyl (meth) acrylate, (meth) acryloxyethyltrimethylammonium chloride (meth) acrylate; acrylonitrile, cyanomethyl acrylate, 2-cyanoethyl acrylate, cyanopropyl Acrylate, 1-cyanomethylethyl acrylate, 2-cyanopropyl acrylate, 1-cyanocyclopropyl acrylate, 1-cyanocycloheptyl acrylate, 1, 1-dicyanoethyl acrylate, 2- Acrylic monomers having a cyano group such as anophenyl acrylate, 3-cyanophenyl acrylate, 4-cyanophenyl acrylate, 3-cyanobenzyl acrylate, 4-cyanobenzyl acrylate, etc .; 2-methacryloyloxyethyl diphenyl phosphate (meth) acrylate, Acrylic monomers having phosphoric acid groups such as trimethacryloyloxyethyl phosphate (meth) acrylate and triacryloyloxyethyl phosphate (meth) acrylate; sulfopropyl (meth) acrylate sodium, 2-sulfoethyl (meth) acrylate sodium, p-tert- Acrylic vinyl monomers having a phenyl group such as butylphenyl (meth) acrylate and o-biphenyl (meth) acrylate; Acetoxyethyl (meth) acrylate, and vinyl trimethoxysilane.

これらは、単独でも、または２種以上組み合わせても用いることができる。   These may be used alone or in combination of two or more.

成分（ｂ）は合成品を用いてもよいし、市販品を用いてもよい。合成する場合の合成方法は、特に制限されず、重合開始剤を使用する溶液重合法、乳化重合法、懸濁重合法、逆相懸濁重合法、薄膜重合法、噴霧重合法、など従来公知の方法を用いることができる。重合制御の方法としては、断熱重合法、温度制御重合法、等温重合法などが挙げられる。また、重合開始剤により重合を開始させる方法の他に、放射線、電子線、紫外線等を照射して重合を開始させる方法を採用することもできる。中でも重合開始剤を使用する溶液重合法が、分子量の調節が容易であり、また不純物も少なくできるために好ましい。例えば、溶剤として酢酸エチル、トルエン、メチルエチルケトン等を用い、モノマーの合計量１００質量部に対して、重合開始剤を好ましくは０．０１〜３．００質量部を添加し、窒素雰囲気下で、例えば反応温度６０〜９０℃で、３〜１０時間反応させることで得られる。前記重合開始剤としては、例えば、アゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）、２，２’−アゾビス（２−メチルブチロニトリル）、アゾビスシアノ吉草酸等のアゾ化合物；ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシピバレート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシベンゾエート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、ジ−ｔｅｒｔ−ブチルパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、ｔｅｒｔ−ブチルハイドロパーオキサイド等の有機過酸化物；過酸化水素、過硫酸アンモニウム、過硫酸カリウム、過硫酸ナトリウム等の無機過酸化物が挙げられる。これらは単独でも、または２種以上組み合わせても用いることができる。   Component (b) may be a synthetic product or a commercially available product. The synthesis method in the case of synthesis is not particularly limited, and conventionally known methods such as a solution polymerization method using a polymerization initiator, an emulsion polymerization method, a suspension polymerization method, a reverse phase suspension polymerization method, a thin film polymerization method, and a spray polymerization method. This method can be used. Examples of the polymerization control method include adiabatic polymerization, temperature controlled polymerization, and isothermal polymerization. In addition to the method of initiating polymerization with a polymerization initiator, a method of initiating polymerization by irradiating with radiation, electron beam, ultraviolet rays or the like can also be employed. Among these, the solution polymerization method using a polymerization initiator is preferable because the molecular weight can be easily adjusted and impurities can be reduced. For example, using ethyl acetate, toluene, methyl ethyl ketone or the like as a solvent, and preferably adding 0.01 to 3.00 parts by mass of a polymerization initiator with respect to a total amount of monomers of 100 parts by mass, under a nitrogen atmosphere, for example, It is obtained by reacting at a reaction temperature of 60 to 90 ° C. for 3 to 10 hours. Examples of the polymerization initiator include azo compounds such as azobisisobutyronitrile (AIBN), 2,2′-azobis (2-methylbutyronitrile), azobiscyanovaleric acid; tert-butyl peroxypivalate, organic peroxides such as tert-butylperoxybenzoate, tert-butylperoxy-2-ethylhexanoate, di-tert-butyl peroxide, cumene hydroperoxide, benzoyl peroxide, tert-butyl hydroperoxide; Examples thereof include inorganic peroxides such as hydrogen peroxide, ammonium persulfate, potassium persulfate, and sodium persulfate. These may be used alone or in combination of two or more.

市販品の例としては、例えば、ＳＧＰ−３１２Ｌ、ＳＧ−Ｐ３（共にナガセケムテックス株式会社製アクリル樹脂）等が挙げられる。   Examples of commercially available products include SGP-312L, SG-P3 (both acrylic resin manufactured by Nagase ChemteX Corporation) and the like.

成分（ｂ）の重量平均分子量（Ｍｗ）は、１０，０００〜１，０００，０００であるが、５０，０００〜９５０，０００であることが好ましく、１５０，０００〜９００，０００であることがより好ましい。１０，０００未満であると、接着強度低下の虞があり、また、１，０００，０００を超えると接着剤層用塗布組成物を作製する際に溶剤に溶解しにくく、作業性が低下する虞がある。   Although the weight average molecular weight (Mw) of a component (b) is 10,000-1,000,000, it is preferable that it is 50,000-950,000, and it is 150,000-900,000. More preferred. If it is less than 10,000, the adhesive strength may be reduced, and if it exceeds 1,000,000, it is difficult to dissolve in a solvent when preparing a coating composition for an adhesive layer, and workability may be reduced. There is.

なお、重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィで測定し、標準ポリスチレン検量線を用いて換算した値を示す。なお、測定は、紫外線検出法、赤外線検出法、ＲＩ（放射性同位元素）検出法、光散乱検出法等、公知の測定方法で行うことができる。本発明においてはＲＩ検出法で重量平均分子量を測定した。   The weight average molecular weight is a value measured by gel permeation chromatography and converted using a standard polystyrene calibration curve. The measurement can be performed by a known measurement method such as an ultraviolet detection method, an infrared detection method, an RI (radioisotope) detection method, or a light scattering detection method. In the present invention, the weight average molecular weight was measured by the RI detection method.

成分（ｂ）のガラス転移温度（Ｔｇ）は、−４０℃以上であることが好ましく、−１０℃以上５０℃以下であることがより好ましい。前記範囲内であれば、接着剤層のタック性が適当であり、取り扱い性に問題がほとんど生じない。なお、ガラス転移温度（Ｔｇ）は、ＤＳＣ（示差走査熱量測定）法により測定した値を採用する。   The glass transition temperature (Tg) of the component (b) is preferably −40 ° C. or higher, and more preferably −10 ° C. or higher and 50 ° C. or lower. If it is in the said range, the tack property of an adhesive bond layer is suitable, and a problem will hardly arise in a handleability. As the glass transition temperature (Tg), a value measured by a DSC (differential scanning calorimetry) method is adopted.

成分（ｂ）の配合量は、成分（ａ）〜（ｄ）の合計量を１００質量部として、３〜４０質量部である。成分（ｂ）の配合量が３質量部未満であると、接着フィルムの可撓性が低下し、接着フィルムの破断伸び率が低下する傾向にある。一方、４０質量部を超えると、可撓性が向上するというメリットがあり、破断伸びを向上させることも理論的には可能であるが、そうすると、該接着フィルム中のエポキシ樹脂とエポキシ樹脂の硬化剤との反応点が減少し、接着力が低下する傾向にある。このような絶妙なバランスも本発明においては特徴といえる。なお、該配合量は、応力緩和性確保の観点で、好ましくは７〜３５質量部、より好ましくは１０〜３２質量部である。   The compounding quantity of a component (b) is 3-40 mass parts by making the total amount of a component (a)-(d) into 100 mass parts. When the amount of component (b) is less than 3 parts by mass, the flexibility of the adhesive film is lowered, and the elongation at break of the adhesive film tends to be lowered. On the other hand, when it exceeds 40 parts by mass, there is a merit that flexibility is improved, and it is theoretically possible to improve elongation at break. Then, curing of the epoxy resin and epoxy resin in the adhesive film is possible. The reaction point with the agent tends to decrease and the adhesive strength tends to decrease. Such an exquisite balance is also a feature in the present invention. The blending amount is preferably 7 to 35 parts by mass, more preferably 10 to 32 parts by mass, from the viewpoint of ensuring stress relaxation.

（ｃ）平均粒径が０．０１μｍを超え、かつ１．０μｍ以下である無機微粒子
本発明で用いられる無機微粒子（本明細書中、単に、成分（ｃ）とも称する）は特に制限されず、通常用いられている公知の無機微粒子を使用することができる。具体的には、例えば、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化アルミニウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化チタン、酸化ケイ素（シリカ）、ケイ酸マグネシウム、ケイ酸カルシウム、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、酸化ケイ素等が挙げられる。 (C) Inorganic fine particles having an average particle diameter of more than 0.01 μm and 1.0 μm or less The inorganic fine particles used in the present invention (in the present specification, simply referred to as component (c)) are not particularly limited, Conventional inorganic fine particles that are usually used can be used. Specifically, for example, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, aluminum oxide, calcium oxide, magnesium oxide, titanium oxide, silicon oxide (silica), magnesium silicate, calcium silicate, aluminum nitride, Examples thereof include boron nitride and silicon oxide.

これらは単独でも、または２種以上組み合わせても用いることができる。また、成分（ｃ）は合成品を用いてもよいし、市販品を用いてもよい。   These may be used alone or in combination of two or more. Component (c) may be a synthetic product or a commercially available product.

無機微粒子の平均粒径は、０．０１μｍを超え、かつ１．０μｍ以下であるが、０．１〜０．８μｍであることが好ましい。平均粒径が０．０１μｍ以下であると接着フィルムの流動性が低下し、半導体装置の接続信頼性が低下する傾向がある。一方、１．０μｍを超えると接着フィルム表面に凹凸が発生して平滑性が損なわれるため好ましくない。無機微粒子の最大粒径は、好ましくは０．１〜１０μｍ、より好ましくは０．５〜７．０μｍである。   The average particle diameter of the inorganic fine particles is more than 0.01 μm and 1.0 μm or less, preferably 0.1 to 0.8 μm. When the average particle size is 0.01 μm or less, the fluidity of the adhesive film is lowered, and the connection reliability of the semiconductor device tends to be lowered. On the other hand, if the thickness exceeds 1.0 μm, the surface of the adhesive film is uneven, and the smoothness is impaired. The maximum particle size of the inorganic fine particles is preferably 0.1 to 10 μm, more preferably 0.5 to 7.0 μm.

最大粒径がこのような範囲に収まると、接着剤層表面の凹凸が発生しにくい効果がある。本明細書中において、「平均粒径」とは、粒子の輪郭線上の任意の２点間の距離のうち、最大の距離の平均を意味する。   When the maximum particle size falls within such a range, the surface of the adhesive layer is less likely to be uneven. In the present specification, the “average particle diameter” means the average of the maximum distances among the distances between any two points on the particle outline.

「平均粒径」の値としては、具体的には、実施例の透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）の観察手段を用い、粒子（任意の１０個）の粒径の平均値として算出される値を採用するものとする。また「最大粒径」は、粒子の輪郭線上の任意の２点間の距離のうち、最大の距離を意味する。   Specifically, as the value of “average particle diameter”, a value calculated as an average value of particle diameters of particles (arbitrary 10 particles) using the observation means of the transmission electron microscope (TEM) of the example is used. Shall be adopted. The “maximum particle diameter” means the maximum distance among the distances between any two points on the particle outline.

無機微粒子として市販品を使用する場合、ＳＯ２５Ｈ、ＭＰ−８ＦＳ、ＥＭＩＸ３００（株式会社龍森製）、ＳＥ１０３０（アドマテックス社製）、Ｒ９７２、Ｒ８１２、Ｒ９７４、Ｒ２００（以上、日本アエロジル株式会社製）等が挙げられる。   When using commercially available products as the inorganic fine particles, SO25H, MP-8FS, EMIX300 (manufactured by Tatsumori), SE1030 (manufactured by Admatechs), R972, R812, R974, R200 (manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd.), etc. Is mentioned.

成分（ｃ）の配合量は、成分（ａ）〜（ｄ）の合計量を１００質量部として、５〜３５質量部である。成分（ｃ）の配合量が５質量部未満であると、接着フィルムの流動性が低下し、半導体装置の接続信頼性が低下する傾向がある。一方、４０質量部を超えると、接着フィルムの可撓性が低下し、接着フィルムの破断伸び率が低下する傾向にある。また半導体用接着フィルムの製造方法において良好なフィルム加工性を有する上で、該配合量は、１０〜３０質量部が好ましく、１２〜２７質量部であることがより好ましい。   The compounding quantity of a component (c) is 5-35 mass parts by making the total amount of a component (a)-(d) into 100 mass parts. When the blending amount of the component (c) is less than 5 parts by mass, the fluidity of the adhesive film is lowered, and the connection reliability of the semiconductor device tends to be lowered. On the other hand, when it exceeds 40 parts by mass, the flexibility of the adhesive film is lowered, and the elongation at break of the adhesive film tends to be lowered. Moreover, in order to have favorable film workability in the manufacturing method of the adhesive film for semiconductors, 10-30 mass parts is preferable, and, as for this compounding quantity, it is more preferable that it is 12-27 mass parts.

（ｄ）エポキシ樹脂の硬化剤
本発明で用いられるエポキシ樹脂の硬化剤（本明細書中、単に、成分（ｄ）とも称する）としては、（ｉ）２０℃で固形であるフェノール樹脂（以下、「固形フェノール樹脂」を少なくとも一種と；（ｉｉ）２０℃で液状であるフェノール樹脂（以下、液状フェノール樹脂とも称する）を少なくとも一種と；を含む。本発明では、固形フェノール樹脂だけでなく。液状フェノール樹脂を添加することによって、接着剤層の可撓性向上し、破断伸びが向上するものと考えられる。 (D) Curing Agent for Epoxy Resin As a curing agent for the epoxy resin used in the present invention (hereinafter, also simply referred to as component (d)), (i) a phenol resin that is solid at 20 ° C. And (ii) at least one phenolic resin that is liquid at 20 ° C. (hereinafter also referred to as “liquid phenolic resin”) In the present invention, not only solid phenolic resin but also liquid. By adding a phenol resin, it is considered that the flexibility of the adhesive layer is improved and the elongation at break is improved.

（ｉ）固形フェノール樹脂
固形フェノール樹脂は、常圧、２０℃で、固体状態であることを意味する。 (I) Solid phenol resin Solid phenol resin means that it is a solid state at a normal pressure and 20 degreeC.

本発明の固形フェノール樹脂は、（ａ）エポキシ樹脂と硬化反応をして架橋構造を形成することができる少なくとも２個以上のフェノール性水酸基を有するモノマー、オリゴマー、ポリマー全般であり、例えば、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、フェノールアラルキル（フェニレン、ビフェニレン骨格を含む）樹脂、ナフトールアラルキル樹脂、トリフェノールメタン樹脂、ジシクロペンタジエン型フェノール樹脂等が挙げられ、これらは単独で用いるだけでなく、複数用いてもよい。   The solid phenol resin of the present invention includes (a) monomers, oligomers, and polymers in general having at least two phenolic hydroxyl groups that can form a crosslinked structure by curing reaction with an epoxy resin. For example, phenol novolac Resins, cresol novolac resins, phenol aralkyl (including phenylene and biphenylene skeleton) resins, naphthol aralkyl resins, triphenol methane resins, dicyclopentadiene type phenol resins, and the like. Also good.

具体的には、例えば、ビスフェノールＡ、ビスフェノールＦ、ビスフェノールＳのようなフェノール性水酸基を１分子中に２個以上有するビスフェノール類、フェノールノボラック樹脂、ビスフェノールＡノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、フェノールアラルキル（フェニレンもしくはビフェニレン骨格を含む）樹脂、トリフェノールメタン型フェノール樹脂、ナフタレン型フェノール樹脂、ジシクロペンタジエン型フェノール樹脂等のフェノール系硬化剤が挙げられる。特に、吸湿時の耐電食性に優れる点で、フェノールノボラック樹脂、またはビスフェノールＡノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、トリフェノールメタン型フェノール樹脂、等のフェノール樹脂が好ましい。該エポキシ樹脂の硬化剤は合成品を用いてもよいし、市販品を用いてもよい。   Specifically, for example, bisphenols having two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule such as bisphenol A, bisphenol F, and bisphenol S, phenol novolac resin, bisphenol A novolac resin, cresol novolac resin, phenol aralkyl (phenylene) Or a phenolic curing agent such as a resin having a biphenylene skeleton), a triphenolmethane type phenol resin, a naphthalene type phenol resin, or a dicyclopentadiene type phenol resin. In particular, phenol resins such as phenol novolac resin, bisphenol A novolac resin, cresol novolac resin, triphenolmethane type phenol resin and the like are preferable in terms of excellent electric corrosion resistance at the time of moisture absorption. A synthetic product may be used as the epoxy resin curing agent, or a commercially available product may be used.

本発明で用いられる好ましいエポキシ樹脂の硬化剤の（ｉ）固形フェノール樹脂より具体的な例としては、フェノライト（登録商標）ＬＦ４８７１、フェノライト（登録商標）ＬＦ２８２２、フェノライト（登録商標）ＴＤ−２０９０、フェノライト（登録商標）ＴＤ−２１４９、フェノライト（登録商標）ＶＨ−４１５０、フェノライト（登録商標）ＶＨ４１７０（以上、ＤＩＣ株式会社製）、ＨＦ−１Ｍ、ＨＦ−４、ＨＦ−４Ｍ、ＭＥＨＣ−７８００、ＭＥＨＣ−７８５１（以上、明和化成株式会社製）、エピキュア（登録商標）ＭＰ４０２ＦＰＹ、エピキュア（登録商標）ＹＬ６０６５、エピキュア（登録商標）ＹＬＨ１２９Ｂ６５（以上、三菱化学株式会社製）、ミレックス（登録商標）ＸＬ、ミレックス（登録商標）ＸＬＣ、ミレックス（登録商標）ＲＮ、ミレックス（登録商標）ＲＳ、ミレックス（登録商標）ＶＲ（以上、三井化学株式会社製）等のフェノール樹脂が挙げられる。   Specific examples of (i) solid phenol resin as a preferable epoxy resin curing agent used in the present invention include Phenolite (registered trademark) LF4871, Phenolite (registered trademark) LF2822, Phenolite (registered trademark) TD- 2090, Phenolite (registered trademark) TD-2149, Phenolite (registered trademark) VH-4150, Phenolite (registered trademark) VH4170 (above, manufactured by DIC Corporation), HF-1M, HF-4, HF-4M, MEHC-7800, MEHC-7851 (manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.), EpiCure (registered trademark) MP402FPY, EpiCure (registered trademark) YL6065, EpiCure (registered trademark) YLH129B65 (above, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), Millex (registered) Trademark) XL, Millex (registered trademark) XLC, Mille Box (TM) RN, Mirex (R) RS, Mirex (TM) VR (above, manufactured by Mitsui Chemicals Co., Ltd.) phenolic resin or the like.

（ｉｉ）液状フェノール樹脂
液状フェノール樹脂は、常温、２０℃で、粘度が３０Ｐａ・ｓ（３０，０００ｃｐｓ）以下であるフェノール樹脂を意味するものとする。粘度は、好ましくは、１０Ｐａ・ｓ（１０，０００ｃｐｓ）以下である。ただし、実質的には、０．２Ｐａ・ｓ（２００ｃｐｓ）以上である。なお、本発明において「粘度」は、Ｅ型粘度計を用いて測定した値を言うものとする。 (Ii) Liquid phenol resin The liquid phenol resin means a phenol resin having a viscosity of 30 Pa · s (30,000 cps) or less at room temperature and 20 ° C. The viscosity is preferably 10 Pa · s (10,000 cps) or less. However, it is substantially 0.2 Pa · s (200 cps) or more. In the present invention, “viscosity” refers to a value measured using an E-type viscometer.

液状フェノール樹脂は、具体的には、ビス（モノまたはジ−ｔ−ブチルフェノール）プロパン、メチレンビス（２−プロペニル）フェノール、プロピレンビス（２−プロペニル）フェノール、ビス[（２−プロペニルオキシ）フェニル]メタン、ビス[（２−プロペニルオキシ）フェニル]プロパン、４，４’−（１−メチルエチリデン）ビス[２−−（２−プロペニル）フェノール]、４，４’−（１−メチルエチリデン）ビス[２−（１−フェニルエチル）フェノール]、４，４’−（１−メチルエチリデン）ビス[２−メチルー６−ヒドロキシメチルフェノール]、４，４’−（１−メチルエチリデン）ビス[２−メチル−６−（２−プロペニル）フェノール]、４，４’−（１−メチルテトラデシリデン）ビスフェノールが挙げられる。これらの液状フェノール樹脂粘度は核体数ｎやベンゼン環置換基の種類により制御することができる。   Specific examples of the liquid phenol resin include bis (mono or di-t-butylphenol) propane, methylene bis (2-propenyl) phenol, propylene bis (2-propenyl) phenol, and bis [(2-propenyloxy) phenyl] methane. Bis [(2-propenyloxy) phenyl] propane, 4,4 ′-(1-methylethylidene) bis [2- (2-propenyl) phenol], 4,4 ′-(1-methylethylidene) bis [ 2- (1-phenylethyl) phenol], 4,4 ′-(1-methylethylidene) bis [2-methyl-6-hydroxymethylphenol], 4,4 ′-(1-methylethylidene) bis [2-methyl -6- (2-propenyl) phenol], 4,4 '-(1-methyltetradecylidene) bisphenol. The viscosity of these liquid phenolic resins can be controlled by the number of nuclei n and the type of benzene ring substituent.

市販品の例としては、例えば、ＭＥＨ−８００５（明和化成株式会社製液状フェノール樹脂）等が挙げられる。   As an example of a commercial item, MEH-8005 (Meiwa Kasei Co., Ltd. liquid phenol resin) etc. are mentioned, for example.

成分（ｄ）の配合量（固形フェノール樹脂と、液状フェノール樹脂との合計量）は、成分（ａ）〜（ｄ）の合計量を１００質量部として、５〜３５質量部である。成分（ｄ）の配合量が５質量部未満であると、該接着剤層中のエポキシ樹脂とエポキシ樹脂の硬化剤との反応点が減少し、接着力が低下する傾向にある。一方、３５質量部を超えると、接着剤層の可撓性が低下し、接着剤層破断時の伸び率が低下する傾向にある。   The compounding amount of component (d) (total amount of solid phenol resin and liquid phenol resin) is 5 to 35 parts by mass, with the total amount of components (a) to (d) being 100 parts by mass. When the blending amount of the component (d) is less than 5 parts by mass, the reaction point between the epoxy resin in the adhesive layer and the curing agent for the epoxy resin decreases, and the adhesive strength tends to decrease. On the other hand, when it exceeds 35 parts by mass, the flexibility of the adhesive layer is lowered, and the elongation at breakage of the adhesive layer tends to be lowered.

該配合量は、信頼性確保の観点で、好ましくは１３〜２８質量部、より好ましくは１５〜２６質量部である。   The blending amount is preferably 13 to 28 parts by mass, more preferably 15 to 26 parts by mass, from the viewpoint of ensuring reliability.

また、（ｉ）固形フェノール樹脂の含有量は、４〜３４質量部である。４質量部未満であると、信頼性低下の虞があり、また３４質量部を超えると接着剤層の破断時伸び率低下の虞がある。（ｉ）固形フェノール樹脂の含有量は、接着剤層の破断時伸び率及び信頼性確保の観点から、好ましくは９〜２４質量部であり、より好ましくは１０〜２１質量部である。   Moreover, content of (i) solid phenol resin is 4-34 mass parts. If it is less than 4 parts by mass, the reliability may be lowered, and if it exceeds 34 parts by mass, the elongation at break of the adhesive layer may be lowered. (I) The content of the solid phenol resin is preferably 9 to 24 parts by mass, more preferably 10 to 21 parts by mass, from the viewpoint of securing the elongation at break and reliability of the adhesive layer.

また、（ｉｉ）液状フェノール樹脂の含有量は、１〜３１質量部である。１質量部未満であると、接着剤層の破断時伸び率低下の虞があり、また３１質量部を超えると信頼性低下の虞がある。（ｉｉ）液状フェノール樹脂の含有量は、破断時伸び率及び信頼性確保の観点から、好ましくは４〜１９質量部、より好ましくは５〜１６質量部である。   Moreover, (ii) Content of a liquid phenol resin is 1-31 mass parts. If it is less than 1 part by mass, the adhesive layer may have a reduced elongation at break, and if it exceeds 31 parts by mass, the reliability may be reduced. (Ii) The content of the liquid phenolic resin is preferably 4 to 19 parts by mass, more preferably 5 to 16 parts by mass, from the viewpoints of elongation at break and ensuring reliability.

さらに、固形フェノール樹脂に対する液状フェノール樹脂の配合量は、固形フェノール樹脂１００重量部を基準とした場合、２０質量部以上１００質量部未満であることが好ましく、２８質量部以上９０質量部未満であることがより好ましい。   Furthermore, the blending amount of the liquid phenol resin with respect to the solid phenol resin is preferably 20 parts by mass or more and less than 100 parts by mass, based on 100 parts by mass of the solid phenol resin, and is 28 parts by mass or more and less than 90 parts by mass. It is more preferable.

このように液状フェノールを一部添加することによって、接着剤層の可撓性向上し、破断伸びが向上するものと考えられる。   Thus, it is considered that by adding a part of liquid phenol, the flexibility of the adhesive layer is improved and the elongation at break is improved.

（ｅ）硬化促進剤
本発明で用いられる硬化促進剤（本明細書中、単に、成分（ｅ）とも称する）は、本発明においては、触媒として機能する。成分（ｅ）は、特に制限されず、通常用いられている公知の硬化促進剤を使用することができる。具体的には、例えば、２−メチルイミダゾール、２-フェニル-４-メチルイミダゾール、１，２−トリメチレンベンズイミダゾール、２−フェニル−４−メチル−５−ヒドロキシメチルイミダゾール、１−シアノエチル−２−フェニルイミダゾール、２−ヘプタデシルイミダゾール等のイミダゾール類、トリブチルホスフィン、トリフェニルホスフィン、メチルジフェニルホスフィン、トリス（４−メチルフェニル）ホスフィン等の有機ホスフィン化合物、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、テトラブチルホスフォニウムテトラブチルボレート、テトラフェニルホスホニウムメチルトリフェニルボレート等のテトラボレート系化合物、ベンジルジメチルアミン、トリエタノールアミン、ジメチルアミノエタノール、トリス（ジメチルアミノメチル）フェノール等の３級アミン類等があげられる。 (E) Curing accelerator The curing accelerator used in the present invention (also simply referred to as component (e) in the present specification) functions as a catalyst in the present invention. The component (e) is not particularly limited, and a known curing accelerator that is usually used can be used. Specifically, for example, 2-methylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1,2-trimethylenebenzimidazole, 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 1-cyanoethyl-2- Imidazoles such as phenylimidazole and 2-heptadecylimidazole, organic phosphine compounds such as tributylphosphine, triphenylphosphine, methyldiphenylphosphine and tris (4-methylphenyl) phosphine, tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, tetrabutylphosphonium Tetraborate compounds such as tetrabutylborate, tetraphenylphosphonium methyltriphenylborate, benzyldimethylamine, triethanolamine, dimethylaminoethanol, tris ( Tertiary amines such as methylaminomethyl) phenol, and the like.

これらの硬化促進剤は単独でまたは２種類以上を組み合わせて使用することができる。また、成分（ｅ）は合成品を用いてもよいし、市販品を用いてもよい。   These curing accelerators can be used alone or in combination of two or more. In addition, the component (e) may be a synthetic product or a commercially available product.

市販品としては、キュアゾール（登録商標）（四国化成株式会社製）、２ＭＺ−Ｈ、２ＰＺ−ＣＮ、ＴＢＺ等が挙げられる。   Examples of commercially available products include Curazole (registered trademark) (manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.), 2MZ-H, 2PZ-CN, TBZ and the like.

成分（ｅ）の配合量は、成分（ａ）〜（ｄ）の合計量を１００質量部として、０．０５〜５質量部である。成分（ｅ）の配合量が０．０５質量部未満であると、接着フィルムの反応性が低下し、エポキシ樹脂の硬化反応が十分に進行しない傾向にある。一方、５質量部を超えると、該接着フィルムの保存安定性が低下する傾向にある。該配合量は、信頼性及び該接着剤層の保存安定性確保の観点で、好ましくは０．０５５〜３質量部、より好ましくは０．０６〜２質量部であり、さらに好ましくは０．０６５〜０．２質量部である。   The compounding quantity of a component (e) is 0.05-5 mass parts by making the total amount of a component (a)-(d) into 100 mass parts. When the blending amount of the component (e) is less than 0.05 parts by mass, the reactivity of the adhesive film is lowered and the curing reaction of the epoxy resin does not proceed sufficiently. On the other hand, when it exceeds 5 parts by mass, the storage stability of the adhesive film tends to decrease. The blending amount is preferably 0.055 to 3 parts by mass, more preferably 0.06 to 2 parts by mass, and still more preferably 0.065 from the viewpoint of ensuring reliability and storage stability of the adhesive layer. It is -0.2 mass part.

＜本発明の第２＞
本発明の第２は、本発明の第１の接着剤層用塗布組成物を使った、好ましい実施形態である、半導体用接着フィルム用の接着剤層である。具体的には、図１に示されるように、本発明の第１の接着剤層用塗布組成物が剥離基材２０上に塗布され、乾燥されることによってなる、半導体用接着フィルム用の接着剤層１０である。 <Second of the present invention>
The second of the present invention is an adhesive layer for an adhesive film for a semiconductor, which is a preferred embodiment using the first coating composition for an adhesive layer of the present invention. Specifically, as shown in FIG. 1, the first adhesive layer coating composition of the present invention is applied onto a release substrate 20 and dried, thereby bonding for an adhesive film for a semiconductor. It is the agent layer 10.

塗布を容易に行わせしめるため、接着剤層用塗布組成物は、適当な溶媒等を用いて、調製してもよい。接着剤層用塗布組成物の調製に用いられる溶媒としては、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、テトラヒドロフラン、ジオキサン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、酢酸エチル、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、ジメチルホルムアミド等が挙げられる。   In order to make application | coating easy, you may prepare the coating composition for adhesive bond layers using a suitable solvent. Examples of the solvent used for the preparation of the adhesive layer coating composition include benzene, toluene, xylene, tetrahydrofuran, dioxane, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, ethyl acetate, ethyl cellosolve, ethyl cellosolve acetate, dimethylformamide, and the like.

接着剤層用塗布組成物の調製は、例えば、スターラー、撹拌翼などで均一になるまで加熱・加圧などすることなく通常の環境下で、例えば、２００〜６００ｒｐｍで、１５分〜４時間、攪拌することにより行うことができる。   The preparation of the coating composition for the adhesive layer is performed, for example, at 200 to 600 rpm, for 15 minutes to 4 hours under normal circumstances without heating and pressurizing until uniform with a stirrer, stirring blade, or the like. This can be done by stirring.

接着剤層用塗布組成物の剥離基材２０上への塗布方法としては特に制限されず、例えば、ナチュラルコーター、ナイフベルトコーター、フローティングナイフ、ロールコート、エアーナイフコート、ナイフオーバーロール、ナイフオンブランケット、スプレー、ディップ、キスロール、スクイーズロール、リバースロール、エアブレード、カーテンフローコーター、ドクターブレード、ワイヤーバー、ダイコーター、カンマコーター、ベーカーアプリケーターおよびグラビアコーター等の装置を用いる種々の塗工方法が挙げられる。   The method for applying the adhesive layer coating composition onto the release substrate 20 is not particularly limited. For example, natural coater, knife belt coater, floating knife, roll coat, air knife coat, knife over roll, knife on blanket. Various coating methods using apparatuses such as spray, dip, kiss roll, squeeze roll, reverse roll, air blade, curtain flow coater, doctor blade, wire bar, die coater, comma coater, baker applicator and gravure coater. .

塗布後の乾燥の条件も特に制限されず、例えば５０〜１５０℃の温度範囲で、３〜６０分間乾燥させて乾燥する方法が挙げられる。   The drying conditions after the application are not particularly limited, and examples thereof include a method of drying by drying in a temperature range of 50 to 150 ° C. for 3 to 60 minutes.

乾燥後の接着剤層１０の厚さは、５〜２００μｍであることが好ましい。   The thickness of the adhesive layer 10 after drying is preferably 5 to 200 μm.

剥離基材２０としては、種々の樹脂フィルムを用いることができる。その具体例としては、例えば、ポリオレフィンフィルム（ポリエチレン、ポリプロピレン等）、ポリエステルフィルム（ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等）、ポリ塩化ビニル、３酢酸セルロース、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリスチレン（ＰＳ）、芳香族ポリアミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリイミド、ポリエーテルイミド等の各樹脂フィルム、さらには前記の樹脂フィルムを２層以上積層してなる樹脂フィルム等を挙げることができる。切削くずの飛散を防止する観点から、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリイミドなどが好ましく用いられる。なお、剥離基材は、離型処理を予め行っているものであることが好ましい。   As the peeling substrate 20, various resin films can be used. Specific examples thereof include, for example, polyolefin films (polyethylene, polypropylene, etc.), polyester films (polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, etc.), polyvinyl chloride, cellulose triacetate, polycarbonate, polyarylate, polystyrene (PS), aromatic polyamide. And resin films such as polyetheretherketone, polysulfone, polyethersulfone, polyimide, and polyetherimide, and a resin film obtained by laminating two or more layers of the above resin films. From the viewpoint of preventing scattering of cutting waste, polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polyimide, and the like are preferably used. In addition, it is preferable that the peeling base material has performed the mold release process previously.

剥離基材の厚みは特に制限されず、通常２５〜７５μｍの範囲のものが用いられる。   The thickness in particular of a peeling base material is not restrict | limited, Usually, the thing of the range of 25-75 micrometers is used.

＜本発明の第３＞
本発明の第３は、本発明の第２の接着剤層を使用した、好ましい実施形態である、半導体用接着フィルムであって、具体的には、本発明の第２の接着剤層を含む、半導体用接着フィルムである。 <Third invention>
3rd of this invention is the adhesive film for semiconductors which is preferable embodiment using the 2nd adhesive bond layer of this invention, Comprising: Specifically, the 2nd adhesive bond layer of this invention is included. An adhesive film for semiconductors.

図４Ｂは、好ましい実施形態の半導体用接着フィルムである。図４Ｂに示されるように、半導体用接着フィルム１は、接着剤層１０ｂを含み、かかる接着剤層１０ｂは剥離基材２０上に形成されている。それとは別に、接着剤層１０ｂの剥離基材２０が形成されている面の反対面には、粘着剤層付き基材６０ｂが、粘着剤層５０ｂが接着剤層１０ｂ側となるように貼り付けられている。   FIG. 4B is a semiconductor adhesive film according to a preferred embodiment. As shown in FIG. 4B, the semiconductor adhesive film 1 includes an adhesive layer 10 b, and the adhesive layer 10 b is formed on the release substrate 20. Separately, the base material 60b with the pressure-sensitive adhesive layer is attached to the surface opposite to the surface of the adhesive layer 10b where the peeling base material 20 is formed so that the pressure-sensitive adhesive layer 50b is on the side of the adhesive layer 10b. It has been.

図４Ｂでは、一つの接着剤層１０ｂを覆っている粘着剤層付き基材６０ｂと、別の接着剤層１０ｂを覆っている粘着剤層付き基材６０ｂとが独立しており、それぞれが、半導体用接着フィルム１となっている。   In FIG. 4B, the base material 60b with the adhesive layer covering one adhesive layer 10b and the base material 60b with the adhesive layer covering another adhesive layer 10b are independent. It is the adhesive film 1 for semiconductors.

＜本発明の第４＞
本発明の第４は、本発明の第１の接着剤層用塗布組成物を使った、好ましい実施形態である、半導体用接着フィルムの製造方法であり、具体的には、（１）本発明の第１の接着剤層用塗布組成物を剥離基材上に塗布し、乾燥させて、接着剤層を形成する工程と；（２）前記接着剤層側から前記剥離基材に達するまで該接着剤層を切断し、不要部分の接着剤層を除去する第１の切断工程と；（３）前記剥離基材上に残されている前記接着剤層の少なくとも一部を覆うように、粘着剤層付き基材を、該粘着剤層が前記接着剤層側となるように貼り付けることによって、基材、粘着剤層および接着剤層が積層されてなる積層体を得る第１の貼り付け工程と；（４）前記積層体を残すように、前記基材側から前記剥離基材に達するまで、前記粘着剤層付き基材を切断し、不要部分の粘着剤層付き基材を除去する第２の切断工程と；を含む。 <Fourth aspect of the present invention>
4th of this invention is a manufacturing method of the adhesive film for semiconductors which is preferable embodiment using the coating composition for 1st adhesive bond layers of this invention, Specifically, (1) this invention Applying the first coating composition for an adhesive layer on a release substrate and drying to form an adhesive layer; (2) until reaching the release substrate from the adhesive layer side; A first cutting step of cutting the adhesive layer and removing an unnecessary portion of the adhesive layer; and (3) sticking so as to cover at least a part of the adhesive layer remaining on the release substrate. Affixing a base material with an adhesive layer so that the pressure-sensitive adhesive layer is on the side of the adhesive layer, thereby obtaining a first laminate obtained by laminating the base material, the pressure-sensitive adhesive layer and the adhesive layer And (4) the pressure-sensitive adhesive layer until the release substrate is reached from the substrate side so as to leave the laminate. Including; cutting the can base, a second cutting step of removing the pressure-sensitive adhesive layer-carrying substrate of the unnecessary portion.

以下、各工程を説明する。   Hereinafter, each process will be described.

（１）第１工程
第１工程は、図１に示すように、本発明の第１の接着剤層用塗布組成物を剥離基材２０上に塗布し、乾燥させて、接着剤層１０を形成する工程である。 (1) 1st process 1st process apply | coats the coating composition for 1st adhesive bond layers of this invention on the peeling base material 20, as shown in FIG. It is a process of forming.

第１工程の説明は、本発明の第２の項においてした説明が同様に妥当する。   For the explanation of the first step, the explanation given in the second section of the present invention is also valid.

（２）第２工程
第２工程は、図２Ａ−１、図２Ａ−２および図２Ｂ−１、図２Ｂ−２に示されるように、接着剤層１０側から剥離基材２０に達するまで接着剤層を切断し、不要部分の接着剤層１０ａを除去する第１の切断工程である。 (2) Second Step As shown in FIGS. 2A-1, 2A-2, 2B-1, and 2B-2, the second step is bonding until reaching the peeling substrate 20 from the adhesive layer 10 side. This is a first cutting step of cutting the agent layer and removing the unnecessary adhesive layer 10a.

本工程の一形態によると、図２Ａ−１に示されるように、後に接着する半導体ウェハ７０（図５参照）よりも一回り大きいサイズの（必要部分の）接着剤層１０ｂを準備するため、例えば、半導体ウェハ７０よりも一回り大きいサイズの円周を有する円形刃物３０ａによって、接着剤層１０側から前記剥離基材２０に達するまで打ち抜く。   According to one form of this process, as shown in FIG. 2A-1, in order to prepare an adhesive layer 10b having a size slightly larger than a semiconductor wafer 70 (see FIG. 5) to be bonded later, For example, punching is performed from the adhesive layer 10 side to the release substrate 20 with a circular blade 30a having a circumference that is slightly larger than the semiconductor wafer 70.

本工程の別の形態によると、図２Ａ−２に示されるように、例えば、半導体ウェハ７０よりも一回り大きいサイズの円周を有するピナクル刃３５ａを備えたマグネットロール３４と、アンビルロール３３とで、剥離基材２０上に接着剤層１０が形成されてなるシートを挟持し、かかるシートを搬送しながら、ピナクル刃３５ａを用いて回転させながら、接着剤層１０側から前記剥離基材２０に達するまで打ち抜く。   According to another form of this process, as shown in FIG. 2A-2, for example, a magnet roll 34 having a pinnacle blade 35 a having a circumference slightly larger than the size of the semiconductor wafer 70, an anvil roll 33, Then, the sheet having the adhesive layer 10 formed on the release substrate 20 is sandwiched, and the sheet is conveyed and rotated using the pinnacle blade 35a, while the release substrate 20 is rotated from the adhesive layer 10 side. Punch until it reaches

その後、図２Ｂ−１に示すように、剥離基材２０から不要部分の接着剤層１０ａを剥がすことによって、図２Ｂ−２に示すように、剥離基材２０上に、（必要部分の）接着剤層１０ｂを残す。   Then, as shown to FIG. 2B-1, by peeling the unnecessary part adhesive agent layer 10a from the peeling base material 20, as shown to FIG. 2B-2, it adhere | attaches on the peeling base material 20 (necessary part). The agent layer 10b is left.

本発明の第１の接着剤層用塗布組成物からなる接着剤層は、破断伸び率が、１５０％以上となりうるため、剥離基材２０から不要部分の接着剤層１０ａを剥がす際に、途中で破断することなく、剥がすことができる。特に、不要部分の接着剤層１０ａの量を少なくしようとすると（つまり、歩留まりを高めようとすると）、不要部分の接着剤層１０ａの形成面積が小さくなり、その細さによって容易に破断しまうことがある。これに対し、本発明の第１の接着剤層用塗布組成物からなる接着剤層によれば、可撓性が向上されているので、途中の破断を抑制または防止し、生産効率が向上し、また破片混入を防止でき、品質向上にも寄与しうる。   The adhesive layer made of the first coating composition for an adhesive layer of the present invention can have an elongation at break of 150% or more. Therefore, when the unnecessary part of the adhesive layer 10a is peeled off from the release substrate 20, the adhesive layer 10 Can be peeled off without breaking. In particular, if the amount of the unnecessary portion of the adhesive layer 10a is reduced (that is, if the yield is increased), the formation area of the unnecessary portion of the adhesive layer 10a is reduced, and it is easily broken due to its thinness. There is. On the other hand, according to the adhesive layer comprising the first adhesive layer coating composition of the present invention, since flexibility is improved, it is possible to suppress or prevent breakage in the middle and improve production efficiency. In addition, it is possible to prevent fragmentation and contribute to quality improvement.

本発明の第１の接着剤層用塗布組成物からなる接着剤層の破断伸び率を向上させることができるメカニズムは、（ｄ）エポキシ樹脂の硬化剤が、（ｉ）固形フェノール樹脂と；（ｉｉ）液状フェノール樹脂と；を含んでいるためであり、液状フェノール樹脂を一部含ませることによって、可撓性を向上させ、それにより、破断伸び率を向上させると推測される。無論、このメカニズムに本発明の技術的範囲が制限されることはない。   The mechanism capable of improving the elongation at break of the adhesive layer comprising the first adhesive layer coating composition of the present invention is that (d) the epoxy resin curing agent is (i) a solid phenol resin; ii) liquid phenolic resin; and by including a part of the liquid phenolic resin, it is presumed that flexibility is improved and thereby elongation at break is improved. Of course, the technical scope of the present invention is not limited to this mechanism.

（３）第３工程
第３工程は、図３に示すように、剥離基材２０上に残されている（必要部分の）接着剤層１０ｂの少なくとも一部を覆うように、粘着剤層付き基材６０を、粘着剤層５０が接着剤層１０ｂ側となるように貼り付けることによって、基材４０、粘着剤層５０および接着剤層１０ｂが積層されてなる積層体６５を得る第１の貼り付け工程である。図３においては、接着剤層１０ｂを含めた剥離基材２０の全部を粘着剤層付き基材６０で覆っているが、少なくとも一部を覆うようにしてもよい。また、図３では、基材４０、粘着剤層５０および接着剤層１０ｂが積層されてなる積層体６５が２つ得られているが、実際には、バッチ生産の下で行っているので、さらに多くの積層体６５を得ている。 (3) Third Step As shown in FIG. 3, the third step is provided with an adhesive layer so as to cover at least a part of the adhesive layer 10b (necessary portion) remaining on the peeling substrate 20. By sticking the base material 60 so that the pressure-sensitive adhesive layer 50 is on the adhesive layer 10b side, a first laminate 65 obtained by stacking the base material 40, the pressure-sensitive adhesive layer 50, and the adhesive layer 10b is obtained. It is a pasting process. In FIG. 3, the entire peeling base material 20 including the adhesive layer 10 b is covered with the base material 60 with the pressure-sensitive adhesive layer. However, at least a part of the peeling base material 20 may be covered. Moreover, in FIG. 3, although the two laminated bodies 65 by which the base material 40, the adhesive layer 50, and the adhesive bond layer 10b are laminated | stacked are obtained, since actually performing under batch production, Furthermore, many laminated bodies 65 are obtained.

粘着剤層付き基材（いわゆるダイシングテープ）６０は、基材４０と、高エネルギー線重合性成分を含む粘着剤層５０とから構成されると好ましい。   The base material with a pressure-sensitive adhesive layer (so-called dicing tape) 60 is preferably composed of a base material 40 and a pressure-sensitive adhesive layer 50 containing a high energy ray polymerizable component.

上記基材４０としては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム等のポリエステルフィルム、ポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリビニルアセテートフィルム等のポリオレフィンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリイミドフィルム等のプラスチックフィルム等が挙げられる。   Examples of the substrate 40 include polyester films such as polyethylene terephthalate films, polytetrafluoroethylene films, polyethylene films, polypropylene films, polymethylpentene films, polyolefin films such as polyvinyl acetate films, polyvinyl chloride films, polyimide films, and the like. The plastic film etc. are mentioned.

粘着剤層５０に高エネルギー線重合性成分を含有させることにより、後述の半導体ウェハ７０に接着剤層１０ｂを貼り付けた後、ダイシングを行う前に高エネルギー線を照射して、ダイシング時の粘着力を向上させることや、逆にダイシングを行った後に高エネルギー線を照射して、粘着力を低下させることによりピックアップを容易にすることができる。このような高エネルギー線重合性成分としては、従来高エネルギー線重合性の粘着剤層に使用されていた化合物を、特に制限なく使用することができる。   By including a high energy ray polymerizable component in the pressure sensitive adhesive layer 50, after adhering the adhesive layer 10b to the semiconductor wafer 70 described later, it is irradiated with a high energy ray before dicing, and adhesion during dicing. Picking up can be facilitated by improving the force or conversely irradiating a high energy ray after dicing and reducing the adhesive force. As such a high energy ray polymerizable component, a compound conventionally used in a high energy ray polymerizable pressure-sensitive adhesive layer can be used without particular limitation.

粘着剤層５０に用いられる高エネルギー線重合性成分としては、例えば、放射線重合性成分が挙げられる。放射線重合性成分としては、特に制限されないが、例えば、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、アクリル酸ベンジル、ブトキシトリエチレングリコールアクリレート、ＥＣＨ（エピクロルヒドリン）変性ブチルアクリレート、ジシクロペンタニルアクリレート、ＥＯ（エチレンオキシド）変性ジシクロペンテニルアクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルメタクリレート、エチルジエチレングリコールアクリレート、２−エチルヘキシルアクリレート、グリセロールメタクリレート、ヘプタデカフロロデシルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、カプロラクトン変性−２−ヒドロキシエチルアクリレート、イソボルニルアクリレート、メトキシジプロピレングリコールアクリレート、メトキシ化シクロデカトリエンアクリレート、フェノキシヘキサエチレングリコールアクリレート、ＥＯ変性リン酸アクリレート、カプロラクトン変性テトラヒドロフルフリルアクリレート、ＥＯ変性ビスフェノールＡジアクリレート、ＥＣＨ変性ビスフェノールＡジアクリレート、ビスフェノールＡジメタクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリレート、１，３−ブチレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、グリセロールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、ＥＯ変性リン酸ジアクリレート、ＥＣＨ変性フタル酸ジアクリレート、ポリエチレングリコール４００ジアクリレート、ポリプロピレングリコール４００ジメタクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ＥＣＨ変性１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ＥＯ変性リン酸トリアクリレート、ＥＯ変性トリメチロールプロパントリアクリレート、ＰＯ（プロピレンオキシド）変性トリメチロールプロパントリアクリレート、トリス（メタクリロキシエチル）イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート等のアクリレート、これらに対応するメタクリレートなどが挙げられる。これらの高エネルギー線重合性成分は、単独でもまたは２種以上組み合わせても用いることができる。   Examples of the high energy ray polymerizable component used in the pressure-sensitive adhesive layer 50 include a radiation polymerizable component. Although it does not restrict | limit especially as a radiation polymerizable component, For example, methyl acrylate, ethyl acrylate, butyl acrylate, benzyl acrylate, butoxy triethylene glycol acrylate, ECH (epichlorohydrin) modified butyl acrylate, dicyclopentanyl acrylate, EO (ethylene oxide) modified dicyclopentenyl acrylate, N, N-dimethylaminoethyl methacrylate, ethyl diethylene glycol acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, glycerol methacrylate, heptadecafluorodecyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, caprolactone modified-2-hydroxyethyl Acrylate, isobornyl acrylate, methoxydipropylene glycol acrylate, methoxylation Chlodecatriene acrylate, phenoxyhexaethylene glycol acrylate, EO-modified phosphoric acid acrylate, caprolactone-modified tetrahydrofurfuryl acrylate, EO-modified bisphenol A diacrylate, ECH-modified bisphenol A diacrylate, bisphenol A dimethacrylate, 1,4-butanediol di Acrylate, 1,3-butylene glycol diacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, glycerol dimethacrylate, neopentyl glycol diacrylate, EO-modified phosphoric acid diacrylate, ECH-modified phthalic acid diacrylate, polyethylene glycol 400 diacrylate, polypropylene glycol 400 dimethacrylate , Tetraethylene glycol diacrylate, ECH 1,6-hexanediol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, EO-modified phosphate triacrylate, EO-modified trimethylolpropane triacrylate, PO (propylene oxide) -modified trimethylolpropane triacrylate, tris ( Methacryloxyethyl) isocyanurate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol tetraacrylate, acrylates such as dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, and methacrylates corresponding to these. These high energy ray polymerizable components can be used singly or in combination of two or more.

また、粘着剤層５０には、光重合開始剤（例えば、放射線等の高エネルギー線の照射によって遊離ラジカルを生成する化合物）を添加することもできる。かかる光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ’−テトラメチル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、Ｎ，Ｎ’−テトラエチル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキシ−４’−ジメチルアミノベンゾフェノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−メチル−１−（４−（メチルチオ）フェニル）−２−モルフォリノプロパノン−１、２，４−ジエチルチオキサントン、２−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン等の芳香族ケトン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン、ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−フェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２，４−ジ（ｐ−メトキシフェニル）−５−フェニルイミダゾール二量体、２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体等の２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体、９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９，９’−アクリジニル）ヘプタン等のアクリジン誘導体等が挙げられる。これらは、単独でもまたは２種以上組み合わせても用いることができる。   In addition, a photopolymerization initiator (for example, a compound that generates free radicals upon irradiation with high energy rays such as radiation) can be added to the pressure-sensitive adhesive layer 50. Examples of the photopolymerization initiator include benzophenone, N, N′-tetramethyl-4,4′-diaminobenzophenone (Michler ketone), N, N′-tetraethyl-4,4′-diaminobenzophenone, 4-methoxy- 4′-dimethylaminobenzophenone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1,2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, 1-hydroxy Aromatic ketones such as cyclohexyl phenyl ketone, 2-methyl-1- (4- (methylthio) phenyl) -2-morpholinopropanone-1, 2,4-diethylthioxanthone, 2-ethylanthraquinone, phenanthrenequinone, benzoin methyl ether , Benzoin ethyl ether, benzoin phenyl ether Benzoin ethers such as tereline, benzoins such as methylbenzoin and ethylbenzoin, benzyl derivatives such as benzyldimethyl ketal, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-chlorophenyl) -4 , 5-di (m-methoxyphenyl) imidazole dimer, 2- (o-fluorophenyl) -4,5-phenylimidazole dimer, 2- (o-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer 2-mer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2,4-di (p-methoxyphenyl) -5-phenylimidazole dimer, 2- (2,4-dimethoxy) 2,4,5-triarylimidazole dimer such as phenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 9- Eniruakurijin, 1,7-bis (9,9'-acridinyl) like acridine derivatives heptane, and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

粘着剤層５０の厚さは、１０〜５００μｍであることが好ましく、２５〜２００μｍであることがより好ましく、５０〜１５０μｍであることがさらに好ましい。さらに、粘着剤層は２層以上積層されたものであってもよい。   The thickness of the pressure-sensitive adhesive layer 50 is preferably 10 to 500 μm, more preferably 25 to 200 μm, and still more preferably 50 to 150 μm. Furthermore, the pressure-sensitive adhesive layer may be a laminate of two or more layers.

（４）第４工程
第４工程は、図４Ａ−１、図４Ａ−２〜図４Ｂに示すように、積層体６５を残すように、基材４０側から剥離基材２０に達するまで、粘着剤層付き基材６０を切断し、不要部分の粘着剤層付き基材を除去する第２の切断工程である。かかる切断工程も、第１の切断工程の切断工程と同様に行われる。本工程においては、円形刃物３０ｂやピナクル刃３５ｂの円周は、各積層体６５よりも一回り大きいサイズのものが使用される。このようにして、図４Ｂに示すように、不要部分の粘着剤層付き基材が除去された、半導体用接着フィルム１を製造することができる。 (4) 4th process 4th process is adhesion until it reaches the peeling base material 20 from the base material 40 side so that the laminated body 65 may be left, as shown to FIG. 4A-1 and FIG. 4A-2-FIG. 4B. It is the 2nd cutting process of cutting the base material 60 with an agent layer, and removing the base material with an adhesive layer of an unnecessary part. This cutting step is also performed in the same manner as the cutting step in the first cutting step. In this step, the circular cutter 30b or the pinnacle blade 35b has a circumference that is slightly larger than that of each stacked body 65. Thus, as shown to FIG. 4B, the adhesive film 1 for semiconductors from which the base material with an adhesive layer of the unnecessary part was removed can be manufactured.

＜本発明の第５＞
本発明の第５は、本発明の第４の半導体用接着フィルムを使った、好ましい実施形態である、半導体装置の製造方法であり、具体的には、（５）本発明の第４の製造方法によって製造されてなる半導体用接着フィルムから、前記剥離基材を剥離することによって、接着剤層を露出し、該接着剤層に、半導体ウェハを貼り付けて、接着剤層付きの半導体ウェハを得る第２の貼り付け工程と；（６）前記接着剤層付きの半導体ウェハを、少なくとも前記接着剤層と粘着剤層との界面に達するまでダイシングし、前記半導体ウェハを所定の大きさの半導体素子になるようにするダイシング工程と；（７）前記半導体素子を前記接着剤層と共にピックアップし、接着剤層付き半導体素子を得るピックアップ工程と；（８）前記接着剤層付き半導体素子を、配線が形成された半導体実装基板に前記接着剤層を介して、加熱しながら圧着するダイボンディング工程と；（９）前記半導体実装基板を加熱し、前記接着剤層を硬化せしめるキュア工程と；（１０）前記半導体素子上に接続端子を形成し、また、前記半導体実装基板上に配線端子を形成し、該接続端子と、該配線端子とを、金属ワイヤーで接続するワイヤーボンディング工程と；（１１）前記半導体素子上であって、前記接続端子以外の機能面に、別の接着剤層付き半導体素子を積層してなる工程と；を含む。 <Fifth aspect of the present invention>
5th of this invention is a manufacturing method of the semiconductor device which is preferable embodiment using the adhesive film for semiconductors of 4th of this invention, Specifically, (5) 4th manufacture of this invention By peeling the release substrate from the adhesive film for a semiconductor manufactured by the method, the adhesive layer is exposed, and a semiconductor wafer is attached to the adhesive layer to obtain a semiconductor wafer with the adhesive layer. And (6) dicing the semiconductor wafer with the adhesive layer until it reaches at least the interface between the adhesive layer and the pressure-sensitive adhesive layer, and the semiconductor wafer is a semiconductor having a predetermined size. A dicing step for forming an element; (7) a pickup step for picking up the semiconductor element together with the adhesive layer to obtain a semiconductor element with an adhesive layer; and (8) a semiconductor element with the adhesive layer. A die bonding step in which the semiconductor mounting substrate on which wiring is formed is pressure-bonded while being heated through the adhesive layer; (9) a curing step in which the semiconductor mounting substrate is heated to cure the adhesive layer; (10) A wire bonding step of forming a connection terminal on the semiconductor element, forming a wiring terminal on the semiconductor mounting substrate, and connecting the connection terminal and the wiring terminal with a metal wire; 11) A step of laminating another semiconductor element with an adhesive layer on the semiconductor element and on a functional surface other than the connection terminal.

以下、各工程を説明する。   Hereinafter, each process will be described.

（５）第５工程
第５工程は、図５に示すように、本発明の第４の製造方法によって製造されてなる半導体用接着フィルムから、前記剥離基材２０を剥離することによって、接着剤層１０ｂを露出し、該接着剤層１０ｂに、半導体ウェハ７０を貼り付けて、接着剤層付きの半導体ウェハ７５を得る第２の貼り付け工程である。 (5) Fifth Step As shown in FIG. 5, the fifth step is an adhesive by peeling the release substrate 20 from the adhesive film for semiconductor produced by the fourth production method of the present invention. This is a second attaching step in which the layer 10b is exposed and the semiconductor wafer 70 is attached to the adhesive layer 10b to obtain the semiconductor wafer 75 with the adhesive layer.

本工程では、剥離基材２０（図４Ｂ参照）を剥離することによって、接着剤層１０ｂを露出させながら、接着剤層１０ｂを半導体ウェハ７０表面に貼り付ける。より分かりやすく説明すると、剥離基材２０を剥離する前に、半導体用接着フィルム１の上下を反対にする。すると、基材４０ｂ、粘着剤層５０ｂ、接着剤層１０ｂとがこの順で積層されてなる構造を有する。   In this step, the adhesive layer 10b is attached to the surface of the semiconductor wafer 70 while the adhesive substrate 10b is exposed by peeling the release substrate 20 (see FIG. 4B). If it demonstrates more easily, before peeling the peeling base material 20, the upper and lower sides of the adhesive film 1 for semiconductors are made reverse. Then, it has the structure where the base material 40b, the adhesive layer 50b, and the adhesive bond layer 10b are laminated | stacked in this order.

接着剤層１０ｂを半導体ウェハ７０表面に貼り付ける方法としては、例えば、ラミネータなどを用いて熱圧着する方法が挙げられる。この際の温度も接着剤層の組成等を考慮しながら適宜設定できるが、例えば、２５〜１２０℃、あるいは４５〜９０℃程度が好ましい。   Examples of the method of attaching the adhesive layer 10b to the surface of the semiconductor wafer 70 include a method of thermocompression bonding using a laminator or the like. The temperature at this time can also be appropriately set in consideration of the composition of the adhesive layer and the like, but is preferably about 25 to 120 ° C. or about 45 to 90 ° C.

（６）第６工程
第６工程は、図６に示すように、前記接着剤層付きの半導体ウェハ７５を、少なくとも前記接着剤層１０ｂと粘着剤層５０ｂとの界面に達するまでダイシングし、前記半導体ウェハ７０を所定の大きさの半導体素子７０ｂになるようにするダイシング工程である。 (6) Sixth Step As shown in FIG. 6, in the sixth step, the semiconductor wafer 75 with the adhesive layer is diced until it reaches at least the interface between the adhesive layer 10b and the pressure-sensitive adhesive layer 50b, This is a dicing process in which the semiconductor wafer 70 becomes a semiconductor element 70b having a predetermined size.

ダイシングは、リングフレーム（図示せず）によって保持しながら行うことが好ましい。また、このダイシングは、例えば、ダイシングソー６３を用いて行われる。   Dicing is preferably performed while being held by a ring frame (not shown). The dicing is performed using a dicing saw 63, for example.

（７）第７工程
第７工程は、図７に示すように、前記半導体素子７０ｂを前記接着剤層１０ｂと共にピックアップし、接着剤層付き半導体素子７８を得るピックアップ工程である。 (7) Seventh Step As shown in FIG. 7, the seventh step is a pickup step of picking up the semiconductor element 70b together with the adhesive layer 10b to obtain a semiconductor element 78 with an adhesive layer.

ピックアップの方法としては特に制限されず、従来公知の種々の方法を採用でき、例えば、個片化された接着剤層付き半導体素子７８を、加熱・加圧自在のコレット８０でピックアップし、かかるコレット８０をＸＹＺステージで移動させる。無論、従来公知の別のピックアップ手段を用いて行ってもよい。   The pickup method is not particularly limited, and various conventionally known methods can be employed. For example, the separated semiconductor element 78 with an adhesive layer is picked up by a collet 80 that can be heated and pressed, and the collet is used. 80 is moved on the XYZ stage. Of course, it may be performed using another conventionally known pickup means.

（８）第８工程
第８工程は、図８に示すように、前記接着剤層付き半導体素子７８を、配線が形成された半導体実装基板９０に前記接着剤層１０ｂを介して、加熱しながら圧着するダイボンディング工程である。 (8) Eighth Step In the eighth step, as shown in FIG. 8, the semiconductor element 78 with an adhesive layer is heated on the semiconductor mounting substrate 90 on which wiring is formed via the adhesive layer 10b. This is a die bonding step for pressure bonding.

コレット８０は加熱・加圧自在であり、個片化された接着剤層付き半導体素子７８を加熱しながら圧着することによって、半導体実装基板９０にダイボンディングすることができる。半導体実装基板９０としては、例えば、パターンが形成されたガラスエポキシ基板、パターンが形成されたポリイミド基板等が挙げられる。この際の圧力にも特に制限はなく、適宜調整可能であるが、好ましくは０．００１〜１０ＭＰａ、より好ましくは０．０１〜５ＭＰａである。また、時間も制限されず、０．１〜１０秒、あるいは０．５〜７秒程度で十分である。また、加熱温度も、接着剤層の組成等を考慮しながら、適宜設定することができ、例えば、４０〜２００℃、あるいは５５〜１５０℃程度が好ましい。   The collet 80 can be heated and pressurized freely, and can be die-bonded to the semiconductor mounting substrate 90 by pressing the separated semiconductor element 78 with the adhesive layer while heating. Examples of the semiconductor mounting substrate 90 include a glass epoxy substrate on which a pattern is formed, a polyimide substrate on which a pattern is formed, and the like. There is no restriction | limiting in particular also in the pressure in this case, Although it can adjust suitably, Preferably it is 0.001-10 MPa, More preferably, it is 0.01-5 MPa. Also, the time is not limited, and about 0.1 to 10 seconds, or about 0.5 to 7 seconds is sufficient. Also, the heating temperature can be appropriately set in consideration of the composition of the adhesive layer and the like, and is preferably about 40 to 200 ° C. or about 55 to 150 ° C., for example.

（９）第９工程
第９工程は、図９に示すように、前記半導体実装基板９０を加熱し、前記接着剤層１０ｂを硬化せしめるキュア工程である。 (9) Ninth Step As shown in FIG. 9, the ninth step is a curing step in which the semiconductor mounting substrate 90 is heated to cure the adhesive layer 10b.

半導体実装基板９０の加熱手段に特に制限はないが、例えば、ヒータ１００によって加熱する。このようにして、接着剤層１０ｂを硬化させる。あるいは、オーブン等の公知の加熱手段によって加熱してもよい。加熱温度にも特に制限はなく、接着剤層１０ｂの組成に応じて適宜設定できるが、目安としては、好ましくは８０〜２００℃、より好ましくは１００〜１７５℃であり、また時間は、好ましくは３〜１２０分、より好ましくは５〜６０分である。   Although there is no restriction | limiting in particular in the heating means of the semiconductor mounting board | substrate 90, For example, it heats with the heater 100. FIG. In this way, the adhesive layer 10b is cured. Or you may heat by well-known heating means, such as oven. The heating temperature is not particularly limited and can be appropriately set according to the composition of the adhesive layer 10b. However, as a guideline, it is preferably 80 to 200 ° C, more preferably 100 to 175 ° C, and the time is preferably 3 to 120 minutes, more preferably 5 to 60 minutes.

好ましい形態においては、キュア工程での加熱温度をＡ（℃）、加熱時間をＢ（分）としたときに、下記式：
１，０００≦（Ａ×Ｂ）≦２，５００
１００≦Ａ≦１５０
を満たす。 In a preferred embodiment, when the heating temperature in the curing step is A (° C.) and the heating time is B (minutes), the following formula:
1,000 ≦ (A × B) ≦ 2,500
100 ≦ A ≦ 150
Meet.

本発明の接着剤層によれば、このような有意に小さな熱履歴であるとしても十分に硬化する。   According to the adhesive layer of the present invention, even if it is such a significantly small heat history, it is sufficiently cured.

本発明においては、上記のような式を満たすことによって、半導体装置の生産性向上の効果がある。また、（Ａ×Ｂ）は、生産性確保の観点から、より好ましくは１，０５０〜２，３００であり、さらに好ましくは１，１００〜２，１００である。また、（Ａ）は、接着強度及び信頼性確保の観点の観点から、より好ましくは１０５〜１４５であり、さらに好ましくは１１０〜１４０である。   In the present invention, by satisfying the above formula, there is an effect of improving the productivity of the semiconductor device. Further, (A × B) is more preferably 1,050 to 2,300, and further preferably 1,100 to 2,100, from the viewpoint of securing productivity. Further, (A) is more preferably 105 to 145, and still more preferably 110 to 140, from the viewpoint of securing adhesive strength and reliability.

（１０）第１０工程
第１０工程は、図１０に示すように、前記半導体素子７０ｂ上に接続端子を形成し（図示せず）、また、前記半導体実装基板９０上に配線端子を形成し（図示せず）、該接続端子と、該配線端子とを、金属ワイヤー１１０で接続するワイヤーボンディング工程である。 (10) Tenth Step In the tenth step, as shown in FIG. 10, a connection terminal is formed on the semiconductor element 70b (not shown), and a wiring terminal is formed on the semiconductor mounting substrate 90 ( This is a wire bonding step in which the connection terminal and the wiring terminal are connected by the metal wire 110.

ワイヤーボンディングとは、直径十数マイクロメートルから数十マイクロメートルの金などのワイヤを用いて、ガラスエポキシ基板に形成された電極パターンと、半導体素子の電極とを、電気的に接続する方法である。ボンディングワイヤとしては、金が広く使用されている。   Wire bonding is a method of electrically connecting an electrode pattern formed on a glass epoxy substrate and an electrode of a semiconductor element using a wire such as gold having a diameter of several tens to several tens of micrometers. . Gold is widely used as a bonding wire.

半導体素子７０上に接続端子を形成する方法や、半導体実装基板９０上に配線端子を形成する方法、および該接続端子と、該配線端子とを、金属ワイヤーで接続する方法は従来公知の方法が適用できる。   As a method of forming a connection terminal on the semiconductor element 70, a method of forming a wiring terminal on the semiconductor mounting substrate 90, and a method of connecting the connection terminal and the wiring terminal with a metal wire, a conventionally known method is used. Applicable.

（１１）第１１工程
第１１工程は、図１１に示すように、前記半導体素子７０上であって、前記接続端子以外の機能面に、別の接着剤層付き半導体素子７８を積層してなる工程と；を含む。 (11) Eleventh Step The eleventh step is formed by laminating another semiconductor element 78 with an adhesive layer on the semiconductor element 70 and on the functional surface other than the connection terminals, as shown in FIG. And a process.

かかる積層工程は、通常、半導体素子上に、別の接着剤層付き半導体素子をダイボンディングする。   In this lamination process, another semiconductor element with an adhesive layer is usually die-bonded on the semiconductor element.

なお、本形態においては、発明の理解のために、各々の半導体素子毎にダイボンディングおよびワイヤーボンディングの工程を経ているが、これに限定することなく、例えば、すべての半導体素子をダイボンディングした後に、ワイヤーボンディングすることもできる。   In this embodiment, for the purpose of understanding the invention, each semiconductor element has undergone die bonding and wire bonding processes. However, the present invention is not limited to this. For example, after all the semiconductor elements are die bonded. Wire bonding is also possible.

また、本発明によれば、金属ワイヤーを接着剤層に通すことなく、接続することが特に好ましい。このような形態とすることによって、生産性が向上するとともに、該ワイヤーの接続信頼性向上の効果もある。   Moreover, according to this invention, it is especially preferable to connect, without passing a metal wire through an adhesive bond layer. By adopting such a form, productivity is improved and there is an effect of improving the connection reliability of the wire.

本発明を、以下の実施例および比較例を用いてさらに詳細に説明する。ただし、本発明の技術的範囲が以下の実施例のみに制限されるわけではない。   The present invention will be described in further detail using the following examples and comparative examples. However, the technical scope of the present invention is not limited only to the following examples.

＜実施例１＞
（ａ）エポキシ樹脂としてＥＰＰＮ５０１Ｈ（日本化薬株式会社製、トリヒドロキシフェニルメタン骨格エポキシ樹脂）１８．７質量部、ＸＤ−１０００ ２Ｌ（日本化薬株式会社製、ジシクロペンタジエン骨格エポキシ樹脂）１７．９質量部、
（ｂ）（メタ）アクリル酸エステル重合体としてＳＧＰ−３１２Ｌ（ナガセケムテックス株式会社製アクリル樹脂／重量平均分子量：４５０，０００／エチルアクリレート、ブチルアクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、アクリロニトリルの四元共重合体／ガラス転移温度：１５℃）２９．３質量部、
（ｃ）無機微粒子としてＳＯ２５Ｈ（球状シリカ 株式会社アドマテックス製、平均粒径０．６μｍ、最大粒径３．５μｍ）１２．９質量部、
（ｄ）エポキシ樹脂の硬化剤として、（ｉ）ＨＦ−４Ｍ（明和化成株式会社製、水酸基当量１０７／固形のフェノールノボラック樹脂）１５．０質量部、（ｉｉ）ＭＥＨ−８００５（明和化成株式会社製、水酸基当量１３７／液状であるメチレンビス（２−プロペニル）フェノール）６．２質量部、
（ｅ）硬化促進剤としてキュアゾール（登録商標）２ＭＺ−Ｈ（四国化成株式会社製／２−メチルイミダゾール）０．０７質量部に、
シクロヘキサノンを加えて、２５±５℃の環境下で３時間、撹拌翼を用いて、攪拌混合し、接着剤層用塗布組成物を得た。得られた接着剤層用塗布組成物を、厚さ３８μｍの離型処理を行ったポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム上にベーカーアプリケーターを用いて塗布し、１００℃で１５分間加熱乾燥して、膜厚が２０μｍの塗膜（接着剤層）を形成し、半導体用接着フィルムを作製した。 <Example 1>
(A) EPPN501H (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trihydroxyphenylmethane skeleton epoxy resin) as an epoxy resin, 18.7 parts by mass, XD-1000 2L (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., dicyclopentadiene skeleton epoxy resin) 9 parts by mass,
(B) SGP-312L (acrylic resin manufactured by Nagase ChemteX Corporation / weight average molecular weight: 450,000 / ethyl acrylate, butyl acrylate, glycidyl (meth) acrylate, acrylonitrile) 29.3 parts by mass of polymer / glass transition temperature: 15 ° C.)
(C) SO25H (spherical silica manufactured by Admatechs Co., Ltd., average particle size 0.6 μm, maximum particle size 3.5 μm) 12.9 parts by mass as inorganic fine particles,
(D) As a curing agent for epoxy resin, (i) HF-4M (Maywa Kasei Co., Ltd., hydroxyl equivalent 107 / solid phenol novolac resin) 15.0 parts by mass, (ii) MEH-8005 (Maywa Kasei Co., Ltd.) Manufactured, hydroxyl equivalent 137 / methylene bis (2-propenyl) phenol) 6.2 parts by mass,
(E) 0.07 parts by mass of Curesol (registered trademark) 2MZ-H (Shikoku Kasei Co., Ltd./2-methylimidazole) as a curing accelerator,
Cyclohexanone was added, and the mixture was stirred and mixed using a stirring blade for 3 hours in an environment of 25 ± 5 ° C. to obtain a coating composition for an adhesive layer. The obtained coating composition for an adhesive layer was coated on a polyethylene terephthalate (PET) film having a thickness of 38 μm by using a baker applicator, and dried by heating at 100 ° C. for 15 minutes. Formed a 20 μm coating film (adhesive layer) to produce an adhesive film for a semiconductor.

＜実施例２＞
ＥＰＰＮ５０１Ｈの量を１６．０質量部、ＸＤ−１０００−２Ｌの量を１５．４質量部、ＳＧＰ−３１２Ｌの量を２５．１質量部、ＳＯ２５Ｈの量を２５．３質量部、ＨＦ−４Ｍを１２．９質量部、ＭＥＨ−８００５を５．３質量部に変更した以外は、実施例１と同様の方法により、半導体用接着フィルムを作製した。 <Example 2>
The amount of EPPN501H is 16.0 parts by mass, the amount of XD-1000-2L is 15.4 parts by mass, the amount of SGP-312L is 25.1 parts by mass, the amount of SO25H is 25.3 parts by mass, and HF-4M is An adhesive film for a semiconductor was produced in the same manner as in Example 1 except that 12.9 parts by mass and MEH-8005 were changed to 5.3 parts by mass.

＜実施例３＞
ＨＦ−４Ｍを１１．５質量部、ＭＥＨ−８００５を９．７質量部に変更した以外は、実施例１と同様の方法により、半導体用接着フィルムを作製した。 <Example 3>
An adhesive film for a semiconductor was produced in the same manner as in Example 1 except that HF-4M was changed to 11.5 parts by mass and MEH-8005 was changed to 9.7 parts by mass.

＜実施例４＞
ＥＰＰＮ５０１Ｈの量を２２．５量部、ＸＤ−１０００−２Ｌの量を２１．５質量部、ＳＧＰ−３１２Ｌの量を１５．０質量部、ＳＯ２５Ｈの量を１５．５質量部、ＨＦ−４Ｍを１８．０質量部、ＭＥＨ−８００５を７．５質量部に変更した以外は、実施例１と同様の方法により、半導体用接着フィルムを作製した。 <Example 4>
22.5 parts by weight of EPPN501H, 21.5 parts by weight of XD-1000-2L, 15.0 parts by weight of SGP-312L, 15.5 parts by weight of SO25H, HF-4M A semiconductor adhesive film was produced in the same manner as in Example 1 except that 18.0 parts by mass and MEH-8005 were changed to 7.5 parts by mass.

＜実施例５＞
ＳＯ２５ＨをＭＰ−８ＦＳ（球状シリカ 株式会社龍森製、平均粒径０．５μｍ、最大粒径２．５μｍ）１２．９質量部に変更した以外は、実施例１と同様の方法により、半導体用接着フィルムを作製した。 <Example 5>
Except for changing SO25H to 12.9 parts by mass of MP-8FS (spherical silica manufactured by Tatsumori Co., Ltd., average particle size 0.5 μm, maximum particle size 2.5 μm), the same method as in Example 1 was used for semiconductors. An adhesive film was prepared.

＜実施例６＞
ＳＯ２５ＨをＳＥ１０３０（球状シリカ 株式会社アドマテックス製、平均粒径０．３μｍ、最大粒径５．０μｍ）１２．９質量部に変更した以外は、実施例１と同様の方法により、半導体用接着フィルムを作製した。 <Example 6>
Except for changing SO25H to 12.9 parts by mass of SE1030 (spherical silica manufactured by Admatechs Co., Ltd., average particle size 0.3 μm, maximum particle size 5.0 μm), the same adhesive film for semiconductors as in Example 1 was used. Was made.

＜実施例７＞
ＳＯ２５ＨをＥＭＩＸ３００（シリカ 株式会社龍森製、平均粒径０．１μｍ、最大粒径３．０μｍ）１２．９質量部に変更した以外は、実施例１と同様の方法により、半導体用接着フィルムを作製した。 <Example 7>
Except for changing SO25H to 12.9 parts by mass of EMIX300 (silica manufactured by Tatsumori, average particle size 0.1 μm, maximum particle size 3.0 μm), an adhesive film for a semiconductor was manufactured in the same manner as in Example 1. Produced.

＜比較例１＞
ＨＦ−４Ｍを２１．２質量部とし、ＭＥＨ−８００５を使用しなかったこと以外は、実施例１と同様の方法により、半導体用接着フィルムを作製した。 <Comparative Example 1>
An adhesive film for a semiconductor was produced in the same manner as in Example 1 except that 21.2 parts by mass of HF-4M was used and MEH-8005 was not used.

＜比較例２＞
２ＭＺ−Ｈを０．０４質量部に変更した以外は、実施例１と同様の方法により、半導体用接着フィルムを作製した。 <Comparative Example 2>
A semiconductor adhesive film was produced in the same manner as in Example 1 except that 2MZ-H was changed to 0.04 parts by mass.

＜比較例３＞
ＨＦ−４Ｍを１９．１質量部とし、ＭＥＨ−８００５を２．１質量部に変更した以外は、実施例１と同様の方法により、半導体用接着フィルムを作製した。 <Comparative Example 3>
An adhesive film for a semiconductor was produced in the same manner as in Example 1 except that HF-4M was changed to 19.1 parts by mass and MEH-8005 was changed to 2.1 parts by mass.

＜比較例４＞
ＥＰＰＮ５０１Ｈの量を２１．５質量部、ＸＤ−１０００−２Ｌの量を２０．６質量部、ＳＧＰ−３１２Ｌの量を３３．６質量部、ＨＦ−４Ｍを１７．２質量部、ＭＥＨ−８００５を７．１質量部、ＳＯ２５Ｈを使用しなかったこと以外は、実施例１と同様の方法により、半導体用接着フィルムを作製した。 <Comparative Example 4>
The amount of EPPN501H is 21.5 parts by mass, the amount of XD-1000-2L is 20.6 parts by mass, the amount of SGP-312L is 33.6 parts by mass, HF-4M is 17.2 parts by mass, and MEH-8005 An adhesive film for a semiconductor was produced in the same manner as in Example 1 except that 7.1 parts by mass and SO25H were not used.

＜比較例５＞
ＥＰＰＮ５０１Ｈの量を１３．２質量部、ＸＤ−１０００−２Ｌの量を１２．６質量部、ＳＧＰ−３１２Ｌの量を２０．５質量部、ＳＯ２５Ｈの量を３８．７質量部、ＨＦ−４Ｍを１０．６質量部、ＭＥＨ−８００５を４．４質量部に変更したこと以外は、実施例１と同様の方法により、半導体用接着フィルムを作製した。 <Comparative Example 5>
The amount of EPPN501H is 13.2 parts by mass, the amount of XD-1000-2L is 12.6 parts by mass, the amount of SGP-312L is 20.5 parts by mass, the amount of SO25H is 38.7 parts by mass, and HF-4M is An adhesive film for a semiconductor was produced in the same manner as in Example 1 except that 10.6 parts by mass and MEH-8005 were changed to 4.4 parts by mass.

＜比較例６：特許文献３の実施例６相当＞
（ａ）エポキシ樹脂としてＹＤＦ８１７０Ｃ（ＤＩＣ株式会社製、ビスフェノールＦ骨格エポキシ樹脂）２０．８質量部、ＨＰ−７２００（ＤＩＣ株式会社製、ジシクロペンタジエン骨格エポキシ樹脂）５．２質量部、
（ｂ）（メタ）アクリル酸エステル重合体としてＳＧ−Ｐ３（ナガセケムテックス株式会社製アクリル樹脂／重量平均分子量８００，０００／エチルアクリレート、ブチルアクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、アクリロニトリルの四元共重合体／ガラス転移温度：−７℃）２０．８質量部、
（ｃ）無機微粒子としてＲ９７２（球状シリカ 株式会社アドマテックス製、平均粒径０．０１６μｍ、最大粒径３．５μｍ）２０．８質量部、
（ｄ）エポキシ樹脂の硬化剤としてＸＬＣ−ＬＬ（フェノール・ｐ−キシリレングリコールジメチルエーテル共重合樹脂／三井化学株式会社製、水酸基当量１７４）１１．６質量部、ＴｒｉｓＰ−ＰＡ（α，α−ビス（４−ヒドロキシフェニル）−４−（４−ヒドロキシ−α，α−ジメチルベンジル）−エチルベンゼン／本州化学株式会社製、水酸基当量１４０）２０．８質量部、
（ｅ）硬化促進剤としてキュアゾール（登録商標）２ＰＨＺ−ＰＷ（四国化成株式会社製）０．０７質量部に変更した以外は、実施例１と同様の方法により、半導体用接着フィルムを作製した。 <Comparative Example 6: equivalent to Example 6 of Patent Document 3>
(A) 20.8 parts by mass of YDF8170C (manufactured by DIC Corporation, bisphenol F skeleton epoxy resin) as an epoxy resin, 5.2 parts by mass of HP-7200 (manufactured by DIC Corporation, dicyclopentadiene skeleton epoxy resin),
(B) SG-P3 (acrylic resin manufactured by Nagase ChemteX Corporation / weight average molecular weight 800,000 / ethyl acrylate, butyl acrylate, glycidyl (meth) acrylate, acrylonitrile quaternary copolymer as (meth) acrylic acid ester polymer 20.8 parts by mass of coalescence / glass transition temperature: −7 ° C.
(C) 20.8 parts by mass of inorganic fine particles R972 (spherical silica manufactured by Admatechs Co., Ltd., average particle size 0.016 μm, maximum particle size 3.5 μm),
(D) XLC-LL (phenol / p-xylylene glycol dimethyl ether copolymer resin / manufactured by Mitsui Chemicals, hydroxyl equivalent 174) as a curing agent for epoxy resin, 11.6 parts by mass, TrisP-PA (α, α-bis (4-hydroxyphenyl) -4- (4-hydroxy-α, α-dimethylbenzyl) -ethylbenzene / Honshu Chemical Co., Ltd., hydroxyl equivalent 140) 20.8 parts by mass,
(E) The adhesive film for semiconductors was produced by the method similar to Example 1 except having changed to 0.07 mass part of CURAZOLE (trademark) 2PHZ-PW (made by Shikoku Kasei Co., Ltd.) as a hardening accelerator.

＜比較例７：特許文献４の実施例１相当＞
（ａ）エポキシ樹脂としてＥＯＣＮ−１０２Ｓ−６５（日本化薬株式会社製、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂）１９．０質量部、ＮＣ３０００（日本化薬株式会社製、ビフェニレン骨格含有エポキシ樹脂）２８．２質量部、
（ｂ）（メタ）アクリル酸エステル重合体としてＳＧ−７０８−６（ナガセケムテックス株式会社製アクリル樹脂／重量平均分子量８００，０００／エチルアクリレート、ブチルアクリレート、ヒドロキシ（メタ）アクリレート、アクリロニトリル、アクリル酸の五元共重合体／ガラス転移温度：６℃）１８．０質量部、
（ｃ）無機微粒子としてＳＥ１０３０（球状シリカ 株式会社アドマテックス製、平均粒径０．３μｍ、最大粒径５．０μｍ）１０．１質量部、
（ｄ）エポキシ樹脂の硬化剤としＨ−４（フェノールノボラック樹脂／明和化成株式会社製、水酸基当量１０７）１４．８質量部、ＭＥＨ−８０００Ｈ（メチレンビス（２−プロペニル）フェノール）／明和化成株式会社製、水酸基当量１４１）９．９質量部、
（ｅ）硬化促進剤としてキュアゾール（登録商標）２ＰＨＺ−ＰＷ（四国化成株式会社製）０．１４質量部に変更した以外は、実施例１と同様の方法により、半導体用接着フィルムを作製した。
に変更した以外は、実施例１と同様の方法により、半導体用接着フィルムを作製した。 <Comparative Example 7: equivalent to Example 1 of Patent Document 4>
(A) EOCN-102S-65 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., cresol novolac type epoxy resin) as an epoxy resin, 19.0 parts by mass, NC3000 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., biphenylene skeleton-containing epoxy resin) 28.2 masses Part,
(B) SG-708-6 (acrylic resin manufactured by Nagase ChemteX Corporation / weight average molecular weight 800,000 / ethyl acrylate, butyl acrylate, hydroxy (meth) acrylate, acrylonitrile, acrylic acid as a (meth) acrylic acid ester polymer 18.0 parts by weight of a quaternary copolymer / glass transition temperature: 6 ° C.
(C) 10.10 parts by mass of SE1030 (spherical silica manufactured by Admatechs Co., Ltd., average particle size 0.3 μm, maximum particle size 5.0 μm) as inorganic fine particles,
(D) As a curing agent for epoxy resin, 14.8 parts by mass of H-4 (phenol novolac resin / Maywa Kasei Co., Ltd., hydroxyl equivalent 107), MEH-8000H (methylene bis (2-propenyl) phenol) / Maywa Kasei Co., Ltd. Manufactured, hydroxyl equivalent 141) 9.9 parts by mass,
(E) The adhesive film for semiconductors was produced by the method similar to Example 1 except having changed to 0.14 mass part of CURAZOLE (trademark) 2PHZ-PW (made by Shikoku Kasei Co., Ltd.) as a hardening accelerator.
A semiconductor adhesive film was produced in the same manner as in Example 1 except that the above was changed.

＜半導体用接着フィルムの評価＞
実施例１〜７および比較例１〜７の記載の方法により作製した半導体用接着フィルムを、以下に示す方法により評価した。 <Evaluation of adhesive film for semiconductor>
The adhesive films for semiconductors produced by the methods described in Examples 1 to 7 and Comparative Examples 1 to 7 were evaluated by the methods shown below.

［接着剤層破断伸び率（破断伸び率）の測定］
厚み２０μｍの剥離基材付き接着剤層を、幅１０ｍｍ、長さ３５ｍｍとなるように切り出し、剥離基材を除去した。得られた接着剤層を引っ張り試験機（装置名：ＴＡ−ＸＴ−ｐｌｕｓ、ステーブルマイクロシステムズ社製）にチャック間距離が２０ｍｍとなるように取り付け、ＪＩＳ−Ｋ７１２７：１９９９記載の条件に準拠し、１００ｍｍ／ｍｉｎの引っ張り速度で試験した。その際の破断伸び率は接着剤層が破断した時点での変位量をチャック間距離で割ることにより算出した。測定は同一例毎に３サンプル実施し、その平均値を測定結果とした。 [Measurement of adhesive layer breaking elongation (breaking elongation)]
An adhesive layer with a release substrate having a thickness of 20 μm was cut out to have a width of 10 mm and a length of 35 mm, and the release substrate was removed. The obtained adhesive layer was attached to a tensile tester (device name: TA-XT-plus, manufactured by Stable Micro Systems Co., Ltd.) so that the distance between chucks was 20 mm, and conformed to the conditions described in JIS-K7127: 1999. , And tested at a pulling speed of 100 mm / min. The elongation at break at that time was calculated by dividing the amount of displacement when the adhesive layer broke by the distance between chucks. Three samples were measured for each same example, and the average value was taken as the measurement result.

［信頼性評価］
半導体装置を作製する際、厚み２０μｍの剥離基材付き接着剤層を５ｍｍ四方に切り出し、剥離基材の反対側の面に厚み２００μｍ、５ｍｍ四方の半導体素子を７０℃に加熱、接着して半導体素子付き接着剤層を得た。接着剤層側の剥離基材を除去し、接着剤層面を太陽インキ製造社製ソルダーレジスト：ＡＵＳ−３０８を全面塗布したガラスエポキシからなるプリント基板（厚さ２００μｍ）上に１２０℃に加熱した熱板上で０．１ＭＰａの圧力をかけながら５秒保持して半導体素子付き接着剤層を上記プリント基板上に圧着せしめた。該半導体素子付きプリント基板をオーブン内で１２５℃／１０分加熱し、室温まで冷却した後、ワイヤーボンディング工程に相当する熱履歴：熱板上で１７０℃／５分加熱を施した後、半導体素子を覆うように市販の第一毛織社製半導体封止樹脂で封止し、１７５℃で１時間加熱して上記封止樹脂を硬化せしめ、半導体装置を得た。得られた半導体装置を予め８５℃／相対湿度８５％に設定した恒温恒湿槽に１６８時間保管した。得られた半導体装置を２６５℃に設定したＩＲヒータ上で１５秒間、３回加熱した。その後市販のＳＡＴ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｔｏｍｏｇｒａｐｈ）装置を用いて、半導体装置内部の剥離もしくはチップ破損の有無を観察した。本評価は半導体装置数４ケの内、正常であった半導体装置数を評価結果とした。 [Reliability evaluation]
When manufacturing a semiconductor device, a 20 μm-thick adhesive layer with a release substrate is cut into 5 mm squares, and a semiconductor element with a thickness of 200 μm and 5 mm squares is heated and bonded to 70 ° C. on the opposite side of the release substrate. An adhesive layer with an element was obtained. The heat which heated the adhesive layer side to 120 degreeC on the printed circuit board (thickness 200 micrometers) which removes the peeling base material by the side of an adhesive bond layer, and the adhesive bond layer surface made from the solar ink manufacturing company solder resist: AUS-308 apply | coated the whole surface. The adhesive layer with a semiconductor element was pressure-bonded onto the printed board by holding for 5 seconds while applying a pressure of 0.1 MPa on the plate. The printed circuit board with the semiconductor element is heated in an oven at 125 ° C./10 minutes, cooled to room temperature, and then the heat history corresponding to the wire bonding process: after heating at 170 ° C. for 5 minutes on the hot plate, the semiconductor element Was sealed with a commercially available semiconductor sealing resin manufactured by Daiichi Koryo Co., Ltd., and heated at 175 ° C. for 1 hour to cure the sealing resin, thereby obtaining a semiconductor device. The obtained semiconductor device was stored in a constant temperature and humidity chamber previously set to 85 ° C./85% relative humidity for 168 hours. The obtained semiconductor device was heated three times for 15 seconds on an IR heater set at 265 ° C. Thereafter, using a commercially available SAT (Scanning Acoustic Tomography) apparatus, the presence or absence of peeling or chip breakage inside the semiconductor device was observed. In this evaluation, the number of normal semiconductor devices out of four semiconductor devices was used as the evaluation result.

１…半導体用接着フィルム、
１０…接着剤層、
１０ａ…（不要部分の）接着剤層、
１０ｂ…（必要部分の）接着剤層、
２０…剥離基材、
３０ａ…円形刃物、
３０ｂ…円形刃物、
３３…アンビルロール、
３４…マグネットロール、
３５ａ…ピナクル刃、
３５ｂ…ピナクル刃、
４０…基材、
４０ｂ…（必要部分の）基材、
５０…粘着剤層、
５０ｂ…（必要部分の）粘着剤層、
６０…粘着剤層付き基材、
６０ｂ…（必要部分の）粘着剤層付き基材、
６３…ダイシングソー、
６５…積層体、
７０…半導体ウェハ、
７０ｂ…半導体素子、
７５…接着剤層付きの半導体ウェハ、
７８…接着剤層付き半導体素子、
８０…コレット、
９０…半導体実装基板、
１００…ヒータ、
１１０…金属ワイヤー。 1 ... Semiconductor adhesive film,
10 ... adhesive layer,
10a ... (unnecessary part) adhesive layer,
10b ... (necessary part) adhesive layer,
20 ... peeling substrate,
30a ... Circular blade,
30b ... Circular blade,
33 ... anvil roll,
34 ... Magnet roll,
35a ... Pinnacle blade,
35b ... Pinnacle blade,
40. Base material,
40b ... (necessary part) substrate,
50 ... adhesive layer,
50b ... (necessary part) adhesive layer,
60 ... Base material with adhesive layer,
60b ... (necessary part) base material with adhesive layer,
63 ... dicing saw,
65 ... laminate,
70: Semiconductor wafer,
70b ... semiconductor element,
75 ... Semiconductor wafer with adhesive layer,
78 ... Semiconductor element with adhesive layer,
80 ... Collet,
90 ... Semiconductor mounting substrate,
100 ... heater,
110: Metal wire.

Claims (7)

（ａ）エポキシ樹脂 １０〜４６質量部と；
（ｂ）重量平均分子量１０，０００〜１，０００，０００の（メタ）アクリル酸エステル重合体 ３〜４０質量部と；
（ｃ）平均粒径が０．０１μｍを超え、かつ１．０μｍ以下である無機微粒子 ５〜３５質量部と；
（ｄ）エポキシ樹脂の硬化剤 ５〜３５質量部と；
ただし、（ａ）〜（ｄ）の合計量は１００質量部である、
を含み、
前記（ｄ）エポキシ樹脂の硬化剤が、
（ｉ）２０℃で固形であるフェノール樹脂 ４〜３４質量部を少なくとも一種と；
（ｉｉ）２０℃で液状であるフェノール樹脂 １〜３１質量部を少なくとも一種と；
を含み、
前記（ａ）〜（ｄ）成分１００質量部に対して、
（ｅ）硬化促進剤 ０．０５〜５質量部をさらに含む、接着剤層用塗布組成物。 (A) 10 to 46 parts by mass of epoxy resin;
(B) 3 to 40 parts by weight of a (meth) acrylic acid ester polymer having a weight average molecular weight of 10,000 to 1,000,000;
(C) 5 to 35 parts by mass of inorganic fine particles having an average particle size of more than 0.01 μm and 1.0 μm or less;
(D) 5 to 35 parts by mass of an epoxy resin curing agent;
However, the total amount of (a) to (d) is 100 parts by mass.
Including
(D) a curing agent for epoxy resin,
(I) phenol resin that is solid at 20 ° C.
(Ii) at least one phenol resin that is liquid at 20 ° C.
Including
For 100 parts by mass of the components (a) to (d),
(E) Curing accelerator The coating composition for adhesive layers which further contains 0.05-5 mass parts. 請求項１に記載の接着剤層用塗布組成物が剥離基材上に塗布され、乾燥されることによってなる、半導体用接着フィルム用の接着剤層。   An adhesive layer for an adhesive film for a semiconductor, wherein the coating composition for an adhesive layer according to claim 1 is applied onto a release substrate and dried. 破断伸び率が、１５０％以上である、請求項２に記載の半導体用接着フィルム用の接着剤層。   The adhesive layer for an adhesive film for a semiconductor according to claim 2, wherein the elongation at break is 150% or more. 請求項２または３に記載の接着剤層を含む、半導体用接着フィルム。   The adhesive film for semiconductors containing the adhesive bond layer of Claim 2 or 3. （１）請求項１に記載の接着剤層用塗布組成物を剥離基材上に塗布し、乾燥させて、接着剤層を形成する工程と；
（２）前記接着剤層側から前記剥離基材に達するまで該接着剤層を切断し、不要部分の接着剤層を除去する第１の切断工程と；
（３）前記剥離基材上に残されている前記接着剤層の少なくとも一部を覆うように、粘着剤層付き基材を、該粘着剤層が前記接着剤層側となるように貼り付けることによって、基材、粘着剤層および接着剤層が積層されてなる積層体を得る第１の貼り付け工程と；
（４）前記積層体を残すように、前記基材側から前記剥離基材に達するまで、前記粘着剤層付き基材を切断し、不要部分の粘着剤層付き基材を除去する第２の切断工程と；
を含む、半導体用接着フィルムの製造方法。 (1) A step of applying the adhesive layer coating composition according to claim 1 onto a release substrate and drying to form an adhesive layer;
(2) a first cutting step of cutting the adhesive layer from the adhesive layer side until reaching the release substrate, and removing an unnecessary portion of the adhesive layer;
(3) Paste the substrate with the pressure-sensitive adhesive layer so that the pressure-sensitive adhesive layer is on the side of the adhesive layer so as to cover at least a part of the adhesive layer remaining on the release substrate. A first attaching step of obtaining a laminate in which a substrate, a pressure-sensitive adhesive layer and an adhesive layer are laminated;
(4) The second base material is cut off from the base material side until the release base material is reached so as to leave the laminate, and the unnecessary base material with the pressure sensitive adhesive layer is removed. A cutting step;
The manufacturing method of the adhesive film for semiconductors containing this. （５）請求項４に記載の製造方法によって製造されてなる半導体用接着フィルムから、前記剥離基材を剥離することによって、接着剤層を露出し、該接着剤層に、半導体ウェハを貼り付けて、接着剤層付きの半導体ウェハを得る第２の貼り付け工程と；
（６）前記接着剤層付きの半導体ウェハを、少なくとも前記接着剤層と粘着剤層との界面に達するまでダイシングし、前記半導体ウェハを所定の大きさの半導体素子になるようにするダイシング工程と；
（７）前記半導体素子を前記接着剤層と共にピックアップし、接着剤層付き半導体素子を得るピックアップ工程と；
（８）前記接着剤層付き半導体素子を、配線が形成された半導体実装基板に前記接着剤層を介して、加熱しながら圧着するダイボンディング工程と；
（９）前記半導体実装基板を加熱し、前記接着剤層を硬化せしめるキュア工程と；
（１０）前記半導体素子上に接続端子を形成し、また、前記半導体実装基板上に配線端子を形成し、該接続端子と、該配線端子とを、金属ワイヤーで接続するワイヤーボンディング工程と；
（１１）前記半導体素子上であって、前記接続端子以外の機能面に、別の接着剤層付き半導体素子を積層してなる工程と；
を含む、半導体装置の製造方法。 (5) The adhesive layer is exposed by peeling the release substrate from the semiconductor adhesive film produced by the production method according to claim 4, and a semiconductor wafer is attached to the adhesive layer. A second attaching step for obtaining a semiconductor wafer with an adhesive layer;
(6) a dicing step of dicing the semiconductor wafer with the adhesive layer until at least the interface between the adhesive layer and the pressure-sensitive adhesive layer is reached, so that the semiconductor wafer becomes a semiconductor element of a predetermined size; ;
(7) a pickup step of picking up the semiconductor element together with the adhesive layer to obtain a semiconductor element with an adhesive layer;
(8) a die bonding step in which the semiconductor element with the adhesive layer is pressure-bonded while being heated to the semiconductor mounting substrate on which the wiring is formed via the adhesive layer;
(9) a curing step of heating the semiconductor mounting substrate and curing the adhesive layer;
(10) a wire bonding step of forming a connection terminal on the semiconductor element, forming a wiring terminal on the semiconductor mounting substrate, and connecting the connection terminal and the wiring terminal with a metal wire;
(11) A step of laminating another semiconductor element with an adhesive layer on the semiconductor element and on a functional surface other than the connection terminal;
A method for manufacturing a semiconductor device, comprising: 前記キュア工程での加熱温度をＡ（℃）、加熱時間をＢ（分）としたときに、下記式：
１，０００≦（Ａ×Ｂ）≦２，５００
１００≦Ａ≦１５０
を満たす、請求項６に記載の半導体装置の製造方法。 When the heating temperature in the curing step is A (° C.) and the heating time is B (minutes), the following formula:
1,000 ≦ (A × B) ≦ 2,500
100 ≦ A ≦ 150
The method for manufacturing a semiconductor device according to claim 6, wherein:
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