JP2015103552A - プローバ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】導電性の支持面を有するウエハチャックと、ウエハチャックを移動及び回転する移動回転機構と、プローブ保持部を保持するヘッドステージと、支持面に対して平行に形成されると共に支持面に電気的に接続された導電性のステージ面を有し、ウエハチャックと一体的に移動可能なステージ部材と、ステージ部材に対面する位置に固定され、ステージ面に先端が電気的に接触可能な接触子とを備え、ステージ部材は、ウエハチャックとは別体で分離され、ステージ面と支持面は配線部材を介して電気的に接続され、チップの裏面電極はウエハチャック、配線、ステージ部材、及び接触子を介してテスタに電気的に接続される。
【選択図】図1
Description
上述した実施形態では、ステージ部材50は、ウエハチャック18に隣接する位置に固定された構成となっているが、ステージ部材50を折りたたみ可能な構成としてもよい。
上述した実施形態では、図2に示したように、ステージ部材50のステージ面50aは、ウエハチャック18の支持面18aと同形状かつ同面積であるが、少なくともウエハチャック18の移動可能範囲においてスプリングピン52が常に接触可能なステージ面50aを有するものであれば異なる形状または面積であってもよい。例えば、ステージ部材50のステージ面50aは、ウエハチャック18の支持面18aと同じ平面形状(円形状)であって、その支持面18aよりも大きな面積を有する態様でもよい。また、図5に示すように、ステージ部材50のウエハチャック18側の側面が、ウエハチャック18の側面に沿った凹状に形成された態様でもよい。いずれの態様においても、少なくともウエハチャック18の移動可能範囲においてスプリングピン52が常に接触可能なステージ面50aを有するものであり、上述した実施形態と同様の効果を得ることができる。
上述した実施形態では、プローバ10の筐体を構成するヘッドステージ22にスプリングピン52を設けた構成を示したが、スプリングピン52はヘッドステージ22に保持された部材に設けられていてもよく、例えば図6に示すように、プローブカード24にスプリングピン52を設けた構成を採用することができる。この場合、スプリングピン52はコンタクトリング32を介してテスタ本体31に電気的に接続される。これにより、ウエハチャック18が移動してもスプリングピン52とプローブ25との相対的な位置関係は変化しないので、上述した実施形態と同様の効果を得ることができる。
上述した実施形態では、ステージ部材50のステージ面50aに接触可能な接触子(導通ピン)としてスプリングピン52を好ましく用いたが、カンチレバータイプや垂直針タイプなどのプローブカード状の接触子を用いてもよい。
上述した実施形態では、ヘッドステージ22には、互いに近接させた状態で複数のスプリングピン52からなる接触子群を1箇所に設けた構成を示したが、所定の間隔をあけて複数箇所に接触子群を設けた構成としてもよい。例えば図7に示した例では、ヘッドステージ22(一部のみ図示)には所定の間隔をあけて2つの取付位置68A、68Bが設けられ、各取付位置68A、68Bにはそれぞれ8本のスプリングピン52からなる接触子群が配置される。このように接触子群を複数箇所に設けた構成によれば、接触子群を1箇所に設けた構成に比べてステージ部材50を小型化することが可能となる。
上述した実施形態では、プローブカード24を備えた構成を示したが、プローブカード24を備えないプローブヘッド形式のものに適用してもよい。すなわち、ヘッドステージ22に保持されるプローブ保持部は、プローブカード24に限らず、マニピュレータ型のプローブヘッドなどであってもよい。
Claims (8)
- 両面に電極を有するチップが複数形成されたウエハを保持し、前記チップの裏面電極に接触可能な導電性の支持面を有するウエハチャックと、
前記ウエハチャックを移動及び回転する移動回転機構と、
前記チップを電気的に検査するため、前記チップの表面電極に接触して前記表面電極をテスタの端子に接続するプローブを有するプローブ保持部を保持するヘッドステージと、
前記支持面に対して平行に形成されると共に前記支持面に電気的に接続された導電性のステージ面を有し、前記ウエハチャックと一体的に移動可能なステージ部材と、
前記ステージ部材に対面する位置に配置され、前記ステージ面に先端が電気的に接触可能な接触子と、を備え、
前記ステージ部材は、前記ウエハチャックとは別体で分離され、前記ステージ面と前記支持面は配線部材を介して電気的に接続され、
前記チップの裏面電極は、前記ウエハチャック、前記配線部材、前記ステージ部材、及び前記接触子を介して前記テスタに電気的に接続されるプローバ。 - 前記ウエハチャックには、前記ウエハチャックに保持されたウエハを加熱又は冷却する加熱冷却機構が設けられる請求項1に記載のプローバ。
- 前記ステージ部材は、前記ウエハチャックの移動可能範囲において前記プローブが前記チップの表面電極に接触するときには前記接触子が前記ステージ面に常に接触可能に構成される請求項1又は2に記載のプローバ。
- 前記接触子は、スプリングピンによって構成される請求項1〜3のいずれか1項に記載のプローバ。
- 前記接触子は、プローブカード状の接触子によって構成される請求項1〜3のいずれか1項に記載のプローバ。
- 前記接触子は、前記ヘッドステージに固定されることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のプローバ。
- 前記接触子は、前記プローブ保持部に固定されることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のプローバ。
- 前記接触子は互いに近接する複数の接触子からなる接触子群として配置され、前記接触子群は所定の間隔をあけて配置されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載のプローバ。
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