JP2015093265A - Slit nozzle - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a slit nozzle which is inexpensive, has excellent maintainability, can adjust the heating of a liquid stably, can prevent the solidification of the liquid to be atomized, and can atomize and spray the liquid homogeneously.SOLUTION: A slit nozzle 1 is equipped at a first intermediate member 2 or a second intermediate member 3 with heating means 25 and 35, and a first seal member 4 or a second seal member 5 on the side having the heating means 25 and 35 has insulation members 41 and 51. When a leading end part 11 of the slit nozzle 1 is sectionally seen, the extending direction of a first gas passage 13 and the extending direction of a second gas passage 14 intersect at an acute angle with respect to the extending direction of a liquid passage 12. When the leading end 11 is seen in the front, the injection port 12e of the fluid passage 12, the injection port 13e of the first gas passage 13, and the injection port 14e of the second gas passage 14 extend in a Y direction.

Description

本発明は、流体を噴霧するスリットノズルに関する。   The present invention relates to a slit nozzle for spraying a fluid.

従来より、製品に対して洗剤や薬液等を均一に噴霧するために、種々のスリットノズルが提案されている。スリットノズルとして、例えば、特許文献1には、2つの気体を噴出する空隙の間に1つの液体を噴出する噴射口を設けたノズルが記載されている。特許文献1に記載のスリットノズルは、液体を噴出する噴射口が、気体を噴出する2つの空隙で挟まれ、液体を噴出する噴射口の延びる方向に対して、気体を噴出する2つの空隙の延びる方向が鋭角に交差している。その為、液体を均一に噴霧することができる。   Conventionally, various slit nozzles have been proposed in order to uniformly spray detergents, chemicals, and the like on products. As a slit nozzle, for example, Patent Document 1 describes a nozzle provided with an ejection port for ejecting one liquid between gaps ejecting two gases. In the slit nozzle described in Patent Document 1, an ejection port for ejecting liquid is sandwiched between two gaps for ejecting gas, and two gaps for ejecting gas with respect to a direction in which the ejection port for ejecting liquid extends. The extending direction intersects at an acute angle. Therefore, the liquid can be sprayed uniformly.

スリットノズルとは別の技術として、特許文献2,3には、液体がノズル内で固化しないように、ノズルから加熱された液体を噴霧する技術が開示されている。しかし、特許文献2,3に記載のノズルは、スリットノズルではないため、液体を均一に噴霧することができない。   As techniques different from the slit nozzle, Patent Documents 2 and 3 disclose techniques for spraying a liquid heated from a nozzle so that the liquid does not solidify in the nozzle. However, since the nozzles described in Patent Documents 2 and 3 are not slit nozzles, liquid cannot be sprayed uniformly.

特表2009−517214号公報Special table 2009-517214 特開平1-215363号公報JP-A-1-215363 特開平7-16532号公報JP-A-7-16532

特許文献1に記載のようなスリットノズルを加熱する方法として、一般的に、スリットノズルの外側に電気ヒーター或いはジャケット配管を設置する方法が知られている。このようにスリットノズルを加熱できれば、噴霧する液体の固化を防ぎ、液体の固化による噴射口の詰まりや詰まりに起因するスリットノズルの破損のリスクを抑え、液体を均一に微粒化して噴霧することが可能になる。   As a method of heating the slit nozzle as described in Patent Document 1, a method of installing an electric heater or a jacket pipe outside the slit nozzle is generally known. If the slit nozzle can be heated in this way, solidification of the liquid to be sprayed can be prevented, the risk of damage to the slit nozzle due to clogging or clogging of the injection nozzle due to solidification of the liquid can be suppressed, and the liquid can be atomized uniformly and sprayed. It becomes possible.

しかし、スリットノズルの外側に電気ヒーター或いはジャケット配管を設置して、スリットノズルを加熱する方法は、製作コストが上昇し、さらに一度設置した電気ヒーター或いはジャケット配管を着脱することが難しいといった問題があった。また、特許文献1に記載のスリットノズルにおいて、噴出する液体を加熱する場合、スリットノズルの外側に設置された電気ヒーター或いはジャケット配管と、液体を噴出する噴射口との間には、気体を噴出する空隙が存在するため、噴出する液体の加熱の調整が不安定であった。   However, the method of heating the slit nozzle by installing an electric heater or jacket pipe outside the slit nozzle raises the manufacturing cost, and it is difficult to attach and detach the electric heater or jacket pipe once installed. It was. Moreover, in the slit nozzle of patent document 1, when heating the liquid to eject, gas is ejected between the electric heater or jacket piping installed in the outer side of a slit nozzle, and the injection nozzle which ejects a liquid. Because of the presence of voids, the adjustment of heating of the ejected liquid was unstable.

したがって本発明は、前述した従来技術が有する欠点を解消し得るスリットノズルを提供することにある。   Accordingly, it is an object of the present invention to provide a slit nozzle that can eliminate the drawbacks of the prior art described above.

本発明は、一対の縦長の第1中間部材及び第2中間部材からなる積層体を、該第1中間部材側の第1シール部材と該第2中間部材側の第2シール部材とで挟み、それを更に該第1シール部材側の第1部材と該第2シール部材側の第2部材とで覆って一体化されたスリットノズルであって、前記第1中間部材及び前記第2中間部材の少なくとも一方に、加熱手段を有し、前記加熱手段を有する前記第1中間部材側又は前記第2中間部材側の前記第1シール部材又は前記第2シール部材は、断熱部材を有し、前記スリットノズルの先端部においては、前記第1中間部材と前記第2中間部材との隙間に液体流路が形成され、前記第1部材と前記第1中間部材との隙間に第1気体流路が形成され、前記第2部材と前記第2中間部材との隙間に第2気体流路が形成されており、前記スリットノズルの先端部を断面視して、前記液体流路の延出方向に対し前記第1気体流路の延出方向及び前記第2気体流路の延出方向が、それぞれ鋭角に交差しており、前記スリットノズルの先端部を正面視して、前記液体流路の噴出口、該液体流路の噴出口の両側に配された前記第1気体流路の噴出口及び前記第2気体流路の噴出口が、それぞれ、長手方向に延在しているスリットノズルを提供するものである。   The present invention sandwiches a laminate composed of a pair of vertically long first intermediate member and second intermediate member between the first seal member on the first intermediate member side and the second seal member on the second intermediate member side, A slit nozzle integrated with the first member on the first seal member side and the second member on the second seal member side, wherein the slit nozzle is integrated. At least one of the first sealing member or the second sealing member on the first intermediate member side or the second intermediate member side having the heating unit has a heat insulating member, and has a heat insulating member. At the tip of the nozzle, a liquid flow path is formed in the gap between the first intermediate member and the second intermediate member, and a first gas flow path is formed in the gap between the first member and the first intermediate member. And a second gas in the gap between the second member and the second intermediate member. A passage is formed, and when the tip of the slit nozzle is viewed in cross-section, the extending direction of the first gas channel and the extending direction of the second gas channel with respect to the extending direction of the liquid channel Are crossed at an acute angle, and the front end of the slit nozzle is viewed from the front, and the first gas flow path is disposed on both sides of the liquid flow path and the liquid flow path. The jet nozzle and the jet port of the second gas channel each provide a slit nozzle extending in the longitudinal direction.

本発明によれば、安価で、メンテナンス性良く、液体の加熱の調整を安定的に行え、噴霧する液体の固化を防ぎ、液体を均一に微粒化して噴霧することができる。   According to the present invention, it is inexpensive, has good maintainability, can stably adjust the heating of the liquid, can prevent the liquid to be sprayed from solidifying, and can atomize and spray the liquid uniformly.

図1は、本発明の一実施形態のスリットノズルの組み立て方を模式的に示す図である。FIG. 1 is a diagram schematically showing how to assemble a slit nozzle according to an embodiment of the present invention. 図2(a)は、図1に示すスリットノズルの有する第1中間部材の内面の平面図であり、図2(b)は、図1に示すスリットノズルの有する第1中間部材の外面の平面図である。2A is a plan view of the inner surface of the first intermediate member of the slit nozzle shown in FIG. 1, and FIG. 2B is a plan view of the outer surface of the first intermediate member of the slit nozzle shown in FIG. FIG. 図3(a)は、図1に示すスリットノズルの有する第2中間部材の内面の平面図であり、図3(b)は、図1に示すスリットノズルの有する第2中間部材の外面の平面図である。3A is a plan view of the inner surface of the second intermediate member of the slit nozzle shown in FIG. 1, and FIG. 3B is a plan view of the outer surface of the second intermediate member of the slit nozzle shown in FIG. FIG. 図4は、図1に示すスリットノズルの有する第1シール部材の外面の平面図である。FIG. 4 is a plan view of the outer surface of the first seal member of the slit nozzle shown in FIG. 図5は、図1に示すスリットノズルの有する第2シール部材の外面の平面図である。FIG. 5 is a plan view of the outer surface of the second seal member of the slit nozzle shown in FIG. 図6は、図1に示すスリットノズルの有する第1部材の内面の平面図である。FIG. 6 is a plan view of the inner surface of the first member of the slit nozzle shown in FIG. 図7は、図1に示すスリットノズルの有する第2部材の内面の平面図である。FIG. 7 is a plan view of the inner surface of the second member of the slit nozzle shown in FIG. 図8は、本発明の一実施形態スリットノズルの断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view of a slit nozzle according to an embodiment of the present invention. 図9は、図8に示すスリットノズルの先端部の断面図である。9 is a cross-sectional view of the tip of the slit nozzle shown in FIG. 図10は、図8に示すスリットノズルの先端部を正面視した際の平面図である。FIG. 10 is a plan view when the front end portion of the slit nozzle shown in FIG. 8 is viewed from the front. 図11は、図1に示すスリットノズルの有する断熱部材の効果を確認するグラフである。FIG. 11 is a graph for confirming the effect of the heat insulating member of the slit nozzle shown in FIG.

以下、本発明のスリットノズルをその好ましい実施態様に基づき、図1〜図8を参照しながら説明する。
本実施形態のスリットノズル1は、図1に示すように、一対の縦長の第1中間部材2及び第2中間部材3からなる積層体20を、第1中間部材2側の第1シール部材4と第2中間部材3側の第2シール部材5とで挟み、それを更に第1シール部材4側の第1部材6と第2シール部材5側の第2部材7とで覆って一体化されてなる。具体的には、スリットノズル1は、積層体20を、第1中間部材2側から第1シール部材4及び第2中間部材3側から第2シール部材5で挟んで多重構造体30を形成し、該多重構造体30を第1シール部材4側から第1部材6及び第2シール部材5側から第2部材7で覆うように挟んで一体化して形成されている。更に具体的には、スリットノズル1は、6枚の板状体である第1中間部材2、第2中間部材3、第1シール部材4、第2シール部材5、第1部材6及び第2部材7を重ねて一体化して形成されている。図中のY方向は、縦長の第1中間部材2及び第2中間部材3の長手方向と同じ方向であり、図中のX方向は、長手方向(Y方向)に直交する短手方向と同じ方向である。また、図中のZ方向は、厚み方向である。
Hereinafter, the slit nozzle of this invention is demonstrated based on the preferable embodiment, referring FIGS.
As shown in FIG. 1, the slit nozzle 1 of the present embodiment includes a laminated body 20 composed of a pair of vertically long first intermediate member 2 and second intermediate member 3, and a first seal member 4 on the first intermediate member 2 side. And the second seal member 5 on the second intermediate member 3 side, which is further covered and integrated with the first member 6 on the first seal member 4 side and the second member 7 on the second seal member 5 side. It becomes. Specifically, the slit nozzle 1 forms the multiple structure 30 by sandwiching the laminated body 20 between the first seal member 4 from the first intermediate member 2 side and the second seal member 5 from the second intermediate member 3 side. The multiple structure 30 is integrally formed so as to be covered with the first member 6 from the first seal member 4 side and the second member 7 from the second seal member 5 side. More specifically, the slit nozzle 1 includes a first intermediate member 2, a second intermediate member 3, a first seal member 4, a second seal member 5, a first member 6, and a second plate that are six plate-like bodies. The members 7 are integrally formed by overlapping. The Y direction in the figure is the same as the longitudinal direction of the vertically long first intermediate member 2 and the second intermediate member 3, and the X direction in the figure is the same as the short direction perpendicular to the longitudinal direction (Y direction). Direction. The Z direction in the figure is the thickness direction.

第1中間部材2は、図2(a)に示すように、第2中間部材3に対向する面側から平面視して、Y方向に長い矩形状であり、Z方向に断面視して、三角形状の先端部21と長方形状の本体部22とからなる台形状に形成されている。先端部21は、図1に示すように、第1部材6に対向する面側から第2中間部材3に対向する面側に向けて平滑に傾斜する傾斜面211を有している。傾斜面211と、第2中間部材3に対向する面とのなす角θ1(図1参照)は、広範囲への均一噴霧とノズル先端部の強度、ノズルへの噴霧液付着の観点から、15°以上であり、好ましくは20°以上、更に好ましくは22.5°以上である。そして、75°以下であり、好ましくは60°以下、更に好ましくは45°以下である。より具体的には、15°以上75°以下であり、好ましくは20°以上60°以下、更に好ましくは22.5°以上45°以下である。   As shown in FIG. 2A, the first intermediate member 2 is a rectangular shape that is long in the Y direction in a plan view from the side facing the second intermediate member 3, and is a cross-sectional view in the Z direction. It is formed in a trapezoidal shape composed of a triangular tip portion 21 and a rectangular main body portion 22. As shown in FIG. 1, the distal end portion 21 has an inclined surface 211 that smoothly inclines from the surface facing the first member 6 toward the surface facing the second intermediate member 3. The angle θ1 (see FIG. 1) formed by the inclined surface 211 and the surface facing the second intermediate member 3 is 15 ° from the viewpoints of uniform spraying over a wide range, the strength of the nozzle tip, and adhesion of the spray liquid to the nozzle. It is above, Preferably it is 20 degrees or more, More preferably, it is 22.5 degrees or more. And it is 75 degrees or less, Preferably it is 60 degrees or less, More preferably, it is 45 degrees or less. More specifically, the angle is 15 ° to 75 °, preferably 20 ° to 60 °, and more preferably 22.5 ° to 45 °.

第1中間部材2の本体部22には、スリットノズル1においては、図2(a)に示すように、第2中間部材3に対向する面の中央領域に第1シール部材4側に凹んだ凹部24が形成されている。このように、本体部22は、第2中間部材3に対向する面に、凹部24を有し、凹部24を除く領域が平坦な平面に形成されている。第1中間部材2は、図1,図2(a)に示すように、凹部24を除く本体部22の外周に沿って、厚み方向(Z方向)に貫通するボルト締め用の貫通孔23が複数形成されている。貫通孔23は、長手方向(Y方向)に沿う非先端部側の側部に沿って、長手方向(Y方向)に間隔を空けて複数形成されており、長手方向(Y方向)の両端部それぞれに、X方向に間隔を空けて複数形成されている。各貫通孔23は、スリットノズル1においては、真円形状に形成されている。また、第1中間部材2の本体部22には、図1,図2(a)に示すように、長手方向(Y方向)に沿う非先端部側の側部の中央に位置する部分に、厚み方向(Z方向)に貫通する液体を供給する円形状の液体供給口26が形成されている。尚、第1中間部材2の第1シール部材4側の面における液体供給口26の外周には、漏れ防止の観点から、全周に亘ってゴム、プラスチック等からなるパッキング用部材が設けられていてもよい。   The main body portion 22 of the first intermediate member 2 is recessed toward the first seal member 4 in the center region of the surface facing the second intermediate member 3 in the slit nozzle 1 as shown in FIG. A recess 24 is formed. Thus, the main body 22 has the recess 24 on the surface facing the second intermediate member 3, and the region excluding the recess 24 is formed on a flat plane. As shown in FIG. 1 and FIG. 2A, the first intermediate member 2 has a bolt-tightening through-hole 23 that penetrates in the thickness direction (Z direction) along the outer periphery of the main body 22 excluding the recess 24. A plurality are formed. A plurality of through-holes 23 are formed at intervals in the longitudinal direction (Y direction) along the non-tip end side along the longitudinal direction (Y direction), and both end portions in the longitudinal direction (Y direction). A plurality of each is formed with an interval in the X direction. Each through-hole 23 is formed in a perfect circle shape in the slit nozzle 1. Moreover, in the main-body part 22 of the 1st intermediate member 2, as shown to FIG.1, FIG.2 (a), in the part located in the center of the side part by the side of the non-tip part along a longitudinal direction (Y direction), A circular liquid supply port 26 for supplying liquid penetrating in the thickness direction (Z direction) is formed. A packing member made of rubber, plastic or the like is provided on the outer periphery of the liquid supply port 26 on the surface of the first intermediate member 2 on the first seal member 4 side from the viewpoint of preventing leakage. May be.

第1中間部材2の本体部22の凹部24は、図1,図2(a)に示すように、第1中間部材2の液体供給口26の位置から先端部21に向かって、段階的に底の深さが浅くなるように、第1深底凹部241、第2深底凹部242、第3深底凹部243を連続して有している。第1深底凹部241は、凹部24の中で最も深く、第2中間部材3に対向する面側から平面視して、T字形状に形成されている。T字形状の横棒部分241aは、長手方向(Y方向)に平行に延在しており、T字形状の縦棒部分241bは、液体供給口26に対応する位置に形成されている。第1深底凹部241における横棒部分241aは、その底面が平滑に形成されている。第2深底凹部242は、第2中間部材3に対向する面側から平面視して、長手方向(Y方向)に平行に延在している。第2深底凹部242は、その底面が平滑に形成されている。第3深底凹部243は、第2中間部材3に対向する面側から平面視して、長手方向(Y方向)に平行に延在しており、第1深底凹部241及び第2深底凹部242の深さに比べて、浅く形成されている。   As shown in FIGS. 1 and 2A, the recess 24 of the main body portion 22 of the first intermediate member 2 is stepwise from the position of the liquid supply port 26 of the first intermediate member 2 toward the distal end portion 21. The first deep bottom concave portion 241, the second deep bottom concave portion 242, and the third deep bottom concave portion 243 are continuously provided so that the depth of the bottom becomes shallow. The first deep bottom concave portion 241 is deepest in the concave portion 24 and is formed in a T shape when seen in a plan view from the side facing the second intermediate member 3. The T-shaped horizontal bar portion 241 a extends in parallel with the longitudinal direction (Y direction), and the T-shaped vertical bar portion 241 b is formed at a position corresponding to the liquid supply port 26. The horizontal bar portion 241a in the first deep bottom recess 241 has a smooth bottom surface. The second deep bottom recess 242 extends in parallel to the longitudinal direction (Y direction) when seen in a plan view from the side facing the second intermediate member 3. The second deep bottom recess 242 has a smooth bottom surface. The third deep bottom concave portion 243 extends in parallel with the longitudinal direction (Y direction) in a plan view from the surface facing the second intermediate member 3, and includes the first deep bottom concave portion 241 and the second deep bottom. It is formed shallower than the depth of the recess 242.

第1中間部材2の先端部21には、スリットノズル1においては、図1,図2(a)に示すように、長手方向(Y方向)中央領域に、凹部24から先端部21の先端に亘る、凹部24に比べて底の深さが極めて浅い浅底凹部212が形成されている。浅底凹部212は、第2中間部材3に対向する面側から平面視して、長手方向(Y方向)に沿って形成されている。浅底凹部212は、その底面が平滑に形成されている。   As shown in FIG. 1 and FIG. 2A, the first intermediate member 2 has a distal end portion 21 at the center region in the longitudinal direction (Y direction) and from the concave portion 24 to the distal end of the distal end portion 21 as shown in FIGS. A shallow concave portion 212 having a very shallow bottom compared to the concave portion 24 is formed. The shallow bottom recess 212 is formed along the longitudinal direction (Y direction) when seen in a plan view from the side facing the second intermediate member 3. The shallow concave portion 212 has a flat bottom surface.

第1中間部材2は、スリットノズル1においては、図1,図2(b)に示すように、加熱手段25を有している。加熱手段25は、第1中間部材2の第1シール部材4側の面に設けられた流路251を有している。この加熱手段25を構成する流路251は、第1中間部材2と第2中間部材3との間に形成される液体溜室110(図8参照)に対応する位置に配されている。詳述すると、第1中間部材2の本体部22には、スリットノズル1においては、図2(b)に示すように、第1シール部材4に対向する面の中央領域に、第2中間部材3側に凹んだ溝からなる流路251が形成されている。中央領域の流路251は、液体溜室110に対応する位置、即ち、液体溜室110を形成する第1中間部材2における第2中間部材3に対向する面側の凹部24に対応する位置に、一定の溝の深さで形成されている。   As shown in FIGS. 1 and 2B, the first intermediate member 2 has a heating means 25 in the slit nozzle 1. The heating means 25 has a flow path 251 provided on the surface of the first intermediate member 2 on the first seal member 4 side. The flow path 251 constituting the heating means 25 is arranged at a position corresponding to the liquid reservoir chamber 110 (see FIG. 8) formed between the first intermediate member 2 and the second intermediate member 3. Specifically, the main body portion 22 of the first intermediate member 2 includes the second intermediate member in the central region of the surface facing the first seal member 4 in the slit nozzle 1 as shown in FIG. A flow path 251 made of a groove recessed on the 3 side is formed. The flow path 251 in the central region is at a position corresponding to the liquid reservoir chamber 110, that is, at a position corresponding to the concave portion 24 on the surface facing the second intermediate member 3 in the first intermediate member 2 forming the liquid reservoir chamber 110. , Formed with a constant groove depth.

第1中間部材2の加熱手段25を構成する流路251は、スリットノズル1においては、図1,図2(b)に示すように、液体溜室110(図8参照)に対応する領域に、即ち、第1中間部材2の第2中間部材3に対向する面側の凹部24に対応する領域に、複数回折り返されて形成されている。詳述すると、第1中間部材2の流路251は、本体部22の長手方向(Y方向)に沿う非先端部側の側部において、長手方向(Y方向)の両端部それぞれに、始点部251sと終点部251eとを有し、凹部24に対応する領域にて長手方向(Y方向)の両端部間を複数回折り返して直線状に延在しており、始点部251sから終点部251eに亘って一筆書きで形成されている。また、第1中間部材2の本体部22の第1シール部材4に対向する面には、スリットノズル1においては、前述した一筆書き状の流路251の外周全周に沿って、ゴム、プラスチック等からなるパッキング用部材252が配されている。   In the slit nozzle 1, the flow path 251 constituting the heating means 25 of the first intermediate member 2 is located in a region corresponding to the liquid reservoir 110 (see FIG. 8), as shown in FIGS. In other words, the first intermediate member 2 is formed by being folded a plurality of times in a region corresponding to the concave portion 24 on the surface side facing the second intermediate member 3. Specifically, the flow path 251 of the first intermediate member 2 is a starting point portion at each of both end portions in the longitudinal direction (Y direction) on the side portion on the non-tip end side along the longitudinal direction (Y direction) of the main body portion 22. 251 s and an end point 251 e, and in a region corresponding to the recess 24, a plurality of end portions in the longitudinal direction (Y direction) are bent back and extend linearly, and from the start point 251 s to the end point 251 e It is formed with a single stroke. Further, on the surface of the main body portion 22 of the first intermediate member 2 facing the first seal member 4, the slit nozzle 1 has rubber or plastic along the entire outer periphery of the above-described one-stroke channel 251. A packing member 252 made of, for example, is disposed.

ここで、加熱手段25としては、ヒーターにより加熱された流体を流路251に通すことによるもの、或いは、ヒーターにより加熱されるヒーター用加熱線を流路251に配したものが挙げられ、スリットノズル1においては、ヒーターにより加熱された流体を流路251に通すことによるものが用いられている。スリットノズル1においては、パッキング用部材252が流路251の外周全周に沿って配されているので、流路251に通された流体が、一体化されたスリットノズル1における第1中間部材2及び第1シール部材4の間から漏れることを防止することができる。   Here, examples of the heating means 25 include those obtained by passing a fluid heated by a heater through the flow path 251, and those provided with a heater heating wire heated by the heater in the flow path 251. In No. 1, a fluid obtained by passing a fluid heated by a heater through a flow path 251 is used. In the slit nozzle 1, the packing member 252 is arranged along the entire outer periphery of the flow path 251, so that the fluid passed through the flow path 251 is the first intermediate member 2 in the integrated slit nozzle 1. Further, leakage from between the first seal members 4 can be prevented.

次に、第2中間部材3は、図3(a)に示すように、第1中間部材2に対向する面側から平面視して、Y方向に長い矩形状であり、Z方向に断面視して、三角形状の先端部31と長方形状の本体部32とからなる台形状に形成されている。スリットノズル1においては、第2中間部材3の第1中間部材2に対向する面側から平面視した外形の輪郭と、第1中間部材2の第2中間部材3に対向する面側から平面視した外形の輪郭とが一致している。先端部31は、図1に示すように、第2部材7に対向する面側から第1中間部材2に対向する面側に向けて平滑に傾斜する傾斜面311を有している。傾斜面311と、第1中間部材2に対向する面とのなす角θ2(図1参照)は、広範囲への均一噴霧とノズル先端部の強度、ノズルへの噴霧液付着の観点から、15°以上であり、好ましくは20°以上、更に好ましくは22.5°以上である。そして、75°以下であり、好ましくは60°以下、更に好ましくは45°以下である。より具体的には、15°以上75°以下であり、好ましくは20°以上60°以下、更に好ましくは22.5°以上45°以下である。スリットノズル1においては、なす角θ2はなす角θ1と同じに形成されている。   Next, as shown in FIG. 3A, the second intermediate member 3 has a rectangular shape that is long in the Y direction when viewed from the surface facing the first intermediate member 2, and is a cross-sectional view in the Z direction. Then, it is formed in a trapezoidal shape composed of a triangular tip portion 31 and a rectangular main body portion 32. In the slit nozzle 1, the outline of the outer shape of the second intermediate member 3 viewed in plan from the surface facing the first intermediate member 2 and the plan view from the surface of the first intermediate member 2 facing the second intermediate member 3. The contour of the contour is the same. As shown in FIG. 1, the distal end portion 31 has an inclined surface 311 that smoothly inclines from the surface facing the second member 7 toward the surface facing the first intermediate member 2. The angle θ2 (see FIG. 1) formed by the inclined surface 311 and the surface facing the first intermediate member 2 is 15 ° from the viewpoints of uniform spraying over a wide range, the strength of the nozzle tip, and adhesion of the spray liquid to the nozzle. It is above, Preferably it is 20 degrees or more, More preferably, it is 22.5 degrees or more. And it is 75 degrees or less, Preferably it is 60 degrees or less, More preferably, it is 45 degrees or less. More specifically, it is 15 ° to 75 °, preferably 20 ° to 60 °, and more preferably 22.5 ° to 45 °. In the slit nozzle 1, the formed angle θ2 is formed to be the same as the formed angle θ1.

第2中間部材3の本体部32には、スリットノズル1においては、図3(a)に示すように、第1中間部材2に対向する面の中央領域に第2シール部材5側に凹んだ凹部34が形成されている。このように、本体部32は、第1中間部材2に対向する面に、凹部34を有し、凹部34を除く領域が平坦な平面に形成されている。第2中間部材3は、第1中間部材2と同様に、凹部34を除く本体部32の外周に沿って、厚み方向(Z方向)に貫通するボルト締め用の貫通孔33が複数形成されている。貫通孔33は第1中間部材2の貫通孔23と略一致する位置に、複数形成されている。各貫通孔33の形状は、スリットノズル1においては、貫通孔23の形状と同じく、真円形状に形成されている。   In the slit nozzle 1, the main body 32 of the second intermediate member 3 is recessed toward the second seal member 5 in the central region of the surface facing the first intermediate member 2 as shown in FIG. A recess 34 is formed. Thus, the main body 32 has the recess 34 on the surface facing the first intermediate member 2, and the region excluding the recess 34 is formed on a flat plane. Similarly to the first intermediate member 2, the second intermediate member 3 is formed with a plurality of bolting through holes 33 penetrating in the thickness direction (Z direction) along the outer periphery of the main body 32 excluding the recess 34. Yes. A plurality of through holes 33 are formed at positions substantially coincident with the through holes 23 of the first intermediate member 2. The shape of each through-hole 33 is formed in a perfect circle shape in the slit nozzle 1, similar to the shape of the through-hole 23.

第2中間部材3の本体部32の凹部34は、図1,図3(a)に示すように、第1中間部材2の液体供給口26に対応する位置から先端部31に向かって、段階的に底の深さが浅くなるように、第1深底凹部341、第2深底凹部342、第3深底凹部343を連続して有している。第1深底凹部341は、第1中間部材2の第1深底凹部241に対応する位置に形成され、凹部34の中で最も深く、第1中間部材2に対向する面側から平面視して、T字形状に形成されている。T字形状の横棒部分341aは、長手方向(Y方向)に平行に延在しており、T字形状の縦棒部分341bは、第1中間部材2の液体供給口26に対応する位置に形成されている。第1深底凹部341における横棒部分341aは、その底面が平滑に形成されている。第2深底凹部342は、第1中間部材2の第2深底凹部242に対応する位置に形成され、第1中間部材2に対向する面側から平面視して、長手方向(Y方向)に平行に延在している。第2深底凹部342は、その底面が平滑に形成されている。第3深底凹部343は、第1中間部材2の第3深底凹部243に対応する位置に形成され、第1中間部材2に対向する面側から平面視して、長手方向(Y方向)に平行に延在しており、第1深底凹部341及び第2深底凹部342の深さに比べて、浅く形成されている。   The concave portion 34 of the main body 32 of the second intermediate member 3 is stepped from the position corresponding to the liquid supply port 26 of the first intermediate member 2 toward the distal end portion 31 as shown in FIGS. In particular, the first deep bottom concave portion 341, the second deep bottom concave portion 342, and the third deep bottom concave portion 343 are continuously provided so that the bottom depth becomes shallow. The first deep bottom concave portion 341 is formed at a position corresponding to the first deep bottom concave portion 241 of the first intermediate member 2, and is the deepest in the concave portion 34 and is viewed in plan view from the surface side facing the first intermediate member 2. Thus, it is formed in a T shape. The T-shaped horizontal bar portion 341 a extends in parallel with the longitudinal direction (Y direction), and the T-shaped vertical bar portion 341 b is located at a position corresponding to the liquid supply port 26 of the first intermediate member 2. Is formed. The bottom portion of the horizontal bar portion 341a in the first deep bottom recess 341 has a smooth bottom surface. The second deep bottom concave portion 342 is formed at a position corresponding to the second deep bottom concave portion 242 of the first intermediate member 2, and is viewed in a longitudinal direction (Y direction) in plan view from the side facing the first intermediate member 2. It extends parallel to. The second deep bottom recess 342 has a smooth bottom surface. The third deep bottom concave portion 343 is formed at a position corresponding to the third deep bottom concave portion 243 of the first intermediate member 2, and is viewed in a longitudinal direction (Y direction) in plan view from the surface facing the first intermediate member 2. The first deep bottom concave portion 341 and the second deep bottom concave portion 342 are shallower than the first deep bottom concave portion 341 and the second deep bottom concave portion 342.

第2中間部材3の先端部31には、スリットノズル1においては、図1,図3(a)に示すように、長手方向(Y方向)中央領域に、凹部34から先端部31の先端に亘る、凹部34に比べて底の深さが極めて浅い浅底凹部312が形成されている。浅底凹部312は、第1中間部材2に対向する面側から平面視して、長手方向(Y方向)に沿って形成されている。浅底凹部312は、その底面が平滑に形成されている。   As shown in FIG. 1 and FIG. 3A, the slit portion 1 has a distal end portion 31 of the second intermediate member 3 in the central region in the longitudinal direction (Y direction) and from the recess 34 to the distal end of the distal end portion 31. A shallow concave portion 312 having a very shallow bottom compared to the concave portion 34 is formed. The shallow concave portion 312 is formed along the longitudinal direction (Y direction) in plan view from the surface facing the first intermediate member 2. The shallow recess 312 has a smooth bottom surface.

第2中間部材3は、スリットノズル1においては、第1中間部材2と同様に、図1,図3(b)に示すように、加熱手段35を有している。加熱手段35は、第2中間部材3の第2シール部材5側の面に設けられた流路351を有している。この加熱手段35を構成する流路351は、第1中間部材2と第2中間部材3との間に形成される液体溜室110(図8参照)に対応する位置に配されている。詳述すると、第2中間部材3の本体部32には、スリットノズル1においては、図3(b)に示すように、第2シール部材5に対向する面の中央領域に、第1中間部材2側に凹んだ溝からなる流路351が形成されている。中央領域の流路351は、液体溜室110に対応する位置、即ち、液体溜室110を形成する第2中間部材3における第1中間部材2に対向する面側の凹部34に対応する位置に、一定の溝の深さで形成されている。   As shown in FIGS. 1 and 3B, the second intermediate member 3 has a heating unit 35 in the slit nozzle 1 as in the case of the first intermediate member 2. The heating means 35 has a flow path 351 provided on the surface of the second intermediate member 3 on the second seal member 5 side. The flow path 351 constituting the heating means 35 is disposed at a position corresponding to the liquid reservoir chamber 110 (see FIG. 8) formed between the first intermediate member 2 and the second intermediate member 3. More specifically, the main body 32 of the second intermediate member 3 includes a first intermediate member in the slit nozzle 1 in the central region of the surface facing the second seal member 5 as shown in FIG. A flow path 351 made of a groove recessed on the second side is formed. The flow path 351 in the central region is at a position corresponding to the liquid reservoir chamber 110, that is, a position corresponding to the concave portion 34 on the surface side facing the first intermediate member 2 in the second intermediate member 3 forming the liquid reservoir chamber 110. , Formed with a constant groove depth.

第2中間部材3の加熱手段35を構成する流路351は、スリットノズル1においては、図3(b)に示すように、液体溜室110に対応する領域に、即ち、第2中間部材3の第1中間部材2に対向する面側の凹部34に対応する領域に、複数回折り返されて形成されている。詳述すると、第2中間部材3の流路351は、本体部32の長手方向(Y方向)に沿う非先端部側の側部において、長手方向(Y方向)の両端部それぞれに、始点部351sと終点部351eとを有し、凹部34に対応する領域にて長手方向(Y方向)の両端部間を複数回折り返して直線状に延在しており、始点部351sから終点部351eに亘って一筆書きで形成されている。また、第2中間部材3の本体部32の第2シール部材5に対向する面には、スリットノズル1においては、前述した一筆書き状の流路351の外周全周に沿って、ゴム、プラスチック等からなるパッキング用部材352が配されている。   In the slit nozzle 1, the flow path 351 constituting the heating means 35 of the second intermediate member 3 is located in a region corresponding to the liquid reservoir chamber 110, that is, the second intermediate member 3 as shown in FIG. In the region corresponding to the concave portion 34 on the surface side facing the first intermediate member 2, a plurality of folds are formed. Specifically, the flow path 351 of the second intermediate member 3 is a starting point portion at each of both end portions in the longitudinal direction (Y direction) on the non-tip end side along the longitudinal direction (Y direction) of the main body portion 32. 351s and an end point portion 351e, and in a region corresponding to the concave portion 34, a plurality of end portions in the longitudinal direction (Y direction) are bent back to extend linearly, and from the start point portion 351s to the end point portion 351e. It is formed with a single stroke. Further, on the surface of the main body 32 of the second intermediate member 3 facing the second seal member 5, in the slit nozzle 1, along the entire outer periphery of the aforementioned one-stroke-shaped channel 351, rubber or plastic A packing member 352 made of, for example, is disposed.

第2中間部材3の加熱手段35としては、第1中間部材2の加熱手段25と同様に、ヒーターにより加熱された流体を流路351に通すことによるものが用いられている。スリットノズル1においては、パッキング用部材352が流路351の外周全周に沿って配されているので、流路351に通された流体が、一体化されたスリットノズル1における第2中間部材3及び第2シール部材5の間から漏れることを防止することができる。   As the heating means 35 of the second intermediate member 3, as in the case of the heating means 25 of the first intermediate member 2, the one by passing the fluid heated by the heater through the flow path 351 is used. In the slit nozzle 1, the packing member 352 is arranged along the entire outer periphery of the flow path 351, so that the fluid passed through the flow path 351 is the second intermediate member 3 in the integrated slit nozzle 1. And it can prevent leaking from between the 2nd seal members 5.

スリットノズル1においては、図1に示すように、加熱手段25を有する第1中間部材2側の第1シール部材4は断熱部材41を有している。詳述すると、第1シール部材4は、図4に示すように、第1部材6に対向する面側から平面視して、Y方向に長い矩形状であり、Z方向に断面視して、長方形状に形成されている。スリットノズル1においては、第1シール部材4の第1部材6に対向する面側から平面視した外形の輪郭と、第1中間部材2の本体部22における第1シール部材4に対向する面側から平面視した外形の輪郭とが一致している。第1シール部材4には、スリットノズル1においては、第1部材6に対向する面の中央領域に、Y方向に長い長方形状の断熱部材41が配されている。更に詳述すると、第1シール部材4には、第1部材6に対向する面の中央領域において、長方形状の断熱部材41に対応する形状に、第1中間部材2側に凹んだ凹部が形成されており、該凹部に断熱部材41が配されている。断熱部材41は、スリットノズル1においては、長手方向(Y方向)の両端部において、ネジ42によりねじ止めされている。第1シール部材4は、断熱部材41を配設固定した状態において、第1部材6に対向する面及び第1中間部材2に対向する面それぞれが、平坦な平面に形成されている。   In the slit nozzle 1, the first seal member 4 on the first intermediate member 2 side having the heating means 25 has a heat insulating member 41 as shown in FIG. 1. Specifically, as shown in FIG. 4, the first seal member 4 is a rectangular shape that is long in the Y direction when viewed from the surface facing the first member 6, and is a cross-sectional view in the Z direction. It is formed in a rectangular shape. In the slit nozzle 1, the outline of the outer shape of the first seal member 4 as viewed from the surface facing the first member 6 and the surface of the main body 22 of the first intermediate member 2 facing the first seal member 4. The outline of the outer shape in plan view coincides with the above. In the slit nozzle 1, a rectangular heat insulating member 41 that is long in the Y direction is disposed on the first seal member 4 in the central region of the surface facing the first member 6. More specifically, the first seal member 4 is formed with a concave portion recessed toward the first intermediate member 2 in a shape corresponding to the rectangular heat insulating member 41 in the central region of the surface facing the first member 6. The heat insulating member 41 is disposed in the recess. In the slit nozzle 1, the heat insulating member 41 is screwed with screws 42 at both ends in the longitudinal direction (Y direction). In the state where the heat insulating member 41 is disposed and fixed, each of the first seal member 4 and the surface facing the first member 6 and the surface facing the first intermediate member 2 are formed in a flat plane.

第1シール部材4の断熱部材41は、図1,図4に示すように、第1中間部材2の本体部22に形成された加熱手段25の流路251で囲まれた領域に対応する位置に形成されている。断熱部材41は、断熱効果を高める観点から、その面積が、加熱手段25を構成する流路251で囲まれた領域よりも広く、該流路251で囲まれた領域を覆う位置に配されていることが好ましい。   As shown in FIGS. 1 and 4, the heat insulating member 41 of the first seal member 4 is located at a position corresponding to a region surrounded by the flow path 251 of the heating means 25 formed in the main body portion 22 of the first intermediate member 2. Is formed. From the viewpoint of enhancing the heat insulation effect, the heat insulating member 41 has an area larger than the area surrounded by the flow path 251 constituting the heating unit 25 and is disposed at a position covering the area surrounded by the flow path 251. Preferably it is.

断熱部材41としては、熱伝導率が、0.07W/m・K以上0.8W/m・K以下であることが好ましい。断熱部材41としては、ガラス繊維からなる主基材に、ホウ酸塩系バインダ或いはケイ酸系バインダからなる主材料を配した部材を用いることが好ましい。   The heat insulation member 41 preferably has a thermal conductivity of 0.07 W / m · K or more and 0.8 W / m · K or less. As the heat insulating member 41, it is preferable to use a member in which a main material made of a borate binder or a silicate binder is arranged on a main base material made of glass fiber.

第1シール部材4は、図1,図4に示すように、断熱部材41の外周に沿って、厚み方向(Z方向)に貫通するボルト締め用の貫通孔43が複数形成されている。貫通孔43は第1中間部材2の貫通孔23と略一致する位置に、複数形成されている。各貫通孔43の形状は、スリットノズル1においては、貫通孔23の形状と同じく、真円形状に形成されている。   As shown in FIGS. 1 and 4, the first seal member 4 is formed with a plurality of bolting through holes 43 that penetrate in the thickness direction (Z direction) along the outer periphery of the heat insulating member 41. A plurality of through holes 43 are formed at positions substantially coincident with the through holes 23 of the first intermediate member 2. The shape of each through-hole 43 is formed in a perfect circle shape in the slit nozzle 1 like the shape of the through-hole 23.

また、第1シール部材4は、図1,図4に示すように、断熱部材41の外方における、第1中間部材2の加熱手段25を構成する流路251の始点部251sに対応する位置に、厚み方向(Z方向)に貫通する導入口45sと、第1中間部材2の流路251の終点部251eに対応する位置に、厚み方向(Z方向)に貫通する導出口45eとが形成されている。導入口45s及び導出口45eの形状は、スリットノズル1においては、真円形状に形成されている。尚、第1シール部材4の第1部材6側の面における導入口45s及び導出口45eの外周には、それぞれ、漏れ防止の観点から、全周に亘るパッキング用部材が設けられていてもよい。   Further, as shown in FIGS. 1 and 4, the first seal member 4 is located outside the heat insulating member 41 at a position corresponding to the start point 251 s of the flow path 251 constituting the heating means 25 of the first intermediate member 2. In addition, an introduction port 45s penetrating in the thickness direction (Z direction) and a lead-out port 45e penetrating in the thickness direction (Z direction) are formed at positions corresponding to the end point portion 251e of the flow path 251 of the first intermediate member 2. Has been. In the slit nozzle 1, the shapes of the inlet 45s and the outlet 45e are formed in a perfect circle shape. In addition, packing members over the entire circumference may be provided on the outer circumferences of the inlet 45s and the outlet 45e on the first member 6 side surface of the first seal member 4 from the viewpoint of preventing leakage. .

さらに、第1シール部材4は、図1,図4に示すように、断熱部材41の外方における、第1中間部材2の液体供給口26に対応する位置に、厚み方向(Z方向)に貫通する液体供給口46が形成されている。液体供給口46は、第1中間部材2の液体供給口26と同形状の円形状に形成されている。尚、第1シール部材4の第1部材6側の面における液体供給口46の外周には、漏れ防止の観点から、全周に亘るパッキング用部材が設けられていてもよい。   Further, as shown in FIGS. 1 and 4, the first seal member 4 is arranged in the thickness direction (Z direction) at a position corresponding to the liquid supply port 26 of the first intermediate member 2 outside the heat insulating member 41. A penetrating liquid supply port 46 is formed. The liquid supply port 46 is formed in a circular shape having the same shape as the liquid supply port 26 of the first intermediate member 2. In addition, on the outer periphery of the liquid supply port 46 on the surface of the first seal member 4 on the first member 6 side, a packing member may be provided over the entire periphery from the viewpoint of preventing leakage.

次に、スリットノズル1においては、図5に示すように、加熱手段35を有する第2中間部材3側の第2シール部材5も、第1シール部材4と同様に、断熱部材51を有している。詳述すると、第2シール部材5は、第1シール部材4と同様に、図5に示すように、第2部材7に対向する面側から平面視して、Y方向に長い矩形状であり、Z方向に断面視して、長方形状に形成されている。スリットノズル1においては、第2シール部材5の第2部材7に対向する面側から平面視した外形の輪郭と、第2中間部材3の本体部32における第2シール部材5に対向する面側から平面視した外形の輪郭とが一致しており、第1シール部材4の外形の輪郭とも一致している。第2シール部材5には、スリットノズル1においては、第2部材7に対向する面の中央領域に、Y方向に長い長方形状の断熱部材51が配されている。更に詳述すると、第2シール部材5には、第2部材7に対向する面の中央領域において、長方形状の断熱部材51に対応する形状に、第2中間部材3側に凹んだ凹部が形成されており、該凹部に断熱部材51が配されている。断熱部材51は、スリットノズル1においては、長手方向(Y方向)の両端部において、ネジ52によりねじ止めされている。第2シール部材5は、断熱部材51を配設固定した状態において、第2部材7に対向する面及び第2中間部材3に対向する面それぞれが、平坦な平面に形成されている。   Next, in the slit nozzle 1, as shown in FIG. 5, the second seal member 5 on the second intermediate member 3 side having the heating means 35 also has a heat insulating member 51, similarly to the first seal member 4. ing. More specifically, as shown in FIG. 5, the second seal member 5 has a rectangular shape that is long in the Y direction when viewed from the surface facing the second member 7, as in the case of the first seal member 4. , Formed in a rectangular shape when viewed in cross-section in the Z direction. In the slit nozzle 1, the outline of the outer shape of the second seal member 5 in plan view from the surface facing the second member 7 and the surface of the main body 32 of the second intermediate member 3 facing the second seal member 5. The outline of the outline in plan view coincides with the outline of the outline of the first seal member 4. In the slit nozzle 1, a rectangular heat insulating member 51 that is long in the Y direction is disposed on the second seal member 5 in the center region of the surface facing the second member 7. More specifically, the second seal member 5 is formed with a recess recessed toward the second intermediate member 3 in a shape corresponding to the rectangular heat insulating member 51 in the central region of the surface facing the second member 7. The heat insulating member 51 is disposed in the recess. In the slit nozzle 1, the heat insulating member 51 is screwed with screws 52 at both ends in the longitudinal direction (Y direction). In the state where the heat insulating member 51 is disposed and fixed, each of the second seal member 5 and the surface facing the second member 7 and the surface facing the second intermediate member 3 are formed in a flat plane.

第2シール部材5の断熱部材51は、図5に示すように、第2中間部材3の本体部32に形成された加熱手段35の流路351で囲まれた領域に対応する位置に形成されている。断熱部材51は、断熱効果を高める観点から、その面積が、加熱手段35を構成する流路351で囲まれた領域よりも広く、該流路351で囲まれた領域を覆う位置に配されていることが好ましい。断熱部材51としては、第1シール部材4の断熱部材41と同様のものを用いることができる。   As shown in FIG. 5, the heat insulating member 51 of the second seal member 5 is formed at a position corresponding to a region surrounded by the flow path 351 of the heating means 35 formed in the main body portion 32 of the second intermediate member 3. ing. From the viewpoint of enhancing the heat insulation effect, the heat insulating member 51 is arranged at a position where the area is wider than the area surrounded by the flow path 351 constituting the heating means 35 and covers the area surrounded by the flow path 351. Preferably it is. As the heat insulation member 51, the thing similar to the heat insulation member 41 of the 1st seal member 4 can be used.

第2シール部材5は、図1,図5に示すように、断熱部材51の外周に沿って、厚み方向(Z方向)に貫通するボルト締め用の貫通孔53が複数形成されている。貫通孔53は第2中間部材3の貫通孔33と略一致する位置に、複数形成されている。各貫通孔53の形状は、スリットノズル1においては、貫通孔33の形状と同じく、真円形状に形成されている。   As shown in FIGS. 1 and 5, the second seal member 5 has a plurality of through-holes 53 for bolt tightening that penetrates in the thickness direction (Z direction) along the outer periphery of the heat insulating member 51. A plurality of through holes 53 are formed at positions substantially matching the through holes 33 of the second intermediate member 3. The shape of each through-hole 53 is formed in a perfect circle shape in the slit nozzle 1 like the shape of the through-hole 33.

また、第2シール部材5は、図1,図5に示すように、断熱部材51の外方における、第2中間部材3の加熱手段35を構成する流路351の始点部351sに対応する位置に、厚み方向(Z方向)に貫通する導入口55sと、第2中間部材3の流路351の終点部351eに対応する位置に、厚み方向(Z方向)に貫通する導出口55eとが形成されている。導入口55s及び導出口55eの形状は、スリットノズル1においては、真円形状に形成されている。尚、第2シール部材5の第2部材7側の面における導入口55s及び導出口55eの外周には、それぞれ、漏れ防止の観点から、全周に亘るパッキング用部材が設けられていてもよい。   As shown in FIGS. 1 and 5, the second seal member 5 is located outside the heat insulating member 51 at a position corresponding to the start point 351 s of the flow path 351 constituting the heating means 35 of the second intermediate member 3. In addition, an introduction port 55s penetrating in the thickness direction (Z direction) and a lead-out port 55e penetrating in the thickness direction (Z direction) are formed at positions corresponding to the end point portion 351e of the flow path 351 of the second intermediate member 3. Has been. The inlet 55s and the outlet 55e are formed in a perfect circle shape in the slit nozzle 1. In addition, packing members over the entire circumference may be provided on the outer circumferences of the inlet 55s and the outlet 55e on the surface of the second seal member 5 on the second member 7 side from the viewpoint of preventing leakage. .

スリットノズル1は、図8に示すように、その先端部11においては、第1中間部材2と第2中間部材3との隙間に液体流路12が形成されている。具体的に説明すると、多重構造体30における第1中間部材2と第2中間部材3とを重ね合わせた積層体20には、第1中間部材2の第1深底凹部241、第2深底凹部242及び第3深底凹部243それぞれと、第2中間部材3の第1深底凹部341、第2深底凹部342及び第3深底凹部343それぞれとが組み合わされてなる液体溜室110が形成されるようになる。そして、積層体20の先端部には、第1中間部材2の浅底凹部212と、第2中間部材3の浅底凹部312とが組み合わされてなるスリット状の液体流路12が長手方向(Y方向)に延在して形成されるようになる。図8に示すように、液体溜室110は第1中間部材2の液体供給口26に連通して形成されており、液体流路12は液体溜室110に連通して形成されている。尚、第1中間部材2の液体供給口26は、図8に示すように、後述する第1部材6の液体導入口66から第1シール部材4の液体供給口46を介して連通するようになる。   As shown in FIG. 8, the slit nozzle 1 has a liquid flow path 12 formed in the gap between the first intermediate member 2 and the second intermediate member 3 at the tip portion 11. More specifically, the laminated body 20 in which the first intermediate member 2 and the second intermediate member 3 in the multiple structure 30 are overlapped has a first deep bottom recess 241 and a second deep bottom of the first intermediate member 2. There is a liquid reservoir chamber 110 formed by combining the concave portion 242 and the third deep bottom concave portion 243 with each of the first deep bottom concave portion 341, the second deep bottom concave portion 342, and the third deep bottom concave portion 343 of the second intermediate member 3. Will be formed. A slit-like liquid flow path 12 formed by combining the shallow concave portion 212 of the first intermediate member 2 and the shallow concave portion 312 of the second intermediate member 3 is provided in the longitudinal direction (at the front end portion of the stacked body 20). (Y direction). As shown in FIG. 8, the liquid reservoir chamber 110 is formed in communication with the liquid supply port 26 of the first intermediate member 2, and the liquid flow path 12 is formed in communication with the liquid reservoir chamber 110. As shown in FIG. 8, the liquid supply port 26 of the first intermediate member 2 communicates with a liquid introduction port 66 of the first member 6 described later via a liquid supply port 46 of the first seal member 4. Become.

多重構造体30を第1シール部材4側から覆う第1部材6は、図1,図6に示すように、第1中間部材2(第1シール部材4)に対向する面側から平面視して、Y方向に長い矩形状であり、Z方向に断面視して、積層体20の先端部(第1中間部材2の先端部21)を覆い、液体流路12に向かって尖鋭な部分を有する尖鋭部61と長方形状の本体部62とを備えている。尖鋭部61は、本体部62における第1中間部材2(第1シール部材4)に対向する平滑な面から、第1中間部材2(第1シール部材4)に向かってZ方向に平行に隆起し、更に、第1中間部材2の先端部21の傾斜面211に対応して均一に傾斜する傾斜面611を有するように隆起している。尚、尖鋭部61における本体部62からZ方向に平行に隆起する隆起高さは、スリットノズル1においては、第1シール部材4の厚みと略同じである。また、尖鋭部61における本体部62からZ方向に平行に隆起する部分と第1シール部材4との間には隙間が形成されている。   As shown in FIGS. 1 and 6, the first member 6 that covers the multiple structure 30 from the first seal member 4 side is viewed in plan view from the surface facing the first intermediate member 2 (first seal member 4). In addition, the rectangular shape is long in the Y direction, covers the tip of the laminate 20 (tip 21 of the first intermediate member 2) in a cross-sectional view in the Z direction, and a sharp portion toward the liquid channel 12 It has a sharp portion 61 and a rectangular main body portion 62. The sharpened portion 61 protrudes in parallel with the Z direction from the smooth surface of the main body 62 facing the first intermediate member 2 (first seal member 4) toward the first intermediate member 2 (first seal member 4). Furthermore, the first intermediate member 2 protrudes so as to have an inclined surface 611 that uniformly inclines corresponding to the inclined surface 211 of the distal end portion 21. In the slit nozzle 1, the height of the sharpened portion 61 that protrudes in parallel with the Z direction from the main body portion 62 is substantially the same as the thickness of the first seal member 4. Further, a gap is formed between the first seal member 4 and a portion of the sharpened portion 61 that protrudes in parallel with the Z direction from the main body portion 62.

第1部材6の尖鋭部61の傾斜面611と、本体部62における第1中間部材2(第1シール部材4)に対向する面と平行な仮想面IF1とが形成する角度θ3(図1参照)は、広範囲への均一噴霧とノズル先端部の強度、ノズルへの噴霧液付着の観点から、105°以上、好ましくは120°以上、更に好ましくは135°以上である。そして、165°以下、好ましくは160°以下、更に好ましくは157.5°以下である。より具体的には、105°以上165°以下であり、好ましくは120°以上160°以下、更に好ましくは135°以上157.5°以下であることが好ましい。スリットノズル1においては、傾斜角度θ3(図1参照)は、180°から第1中間部材2のなす角θ1(図1参照)を減算した角度と同じに形成されている。   An angle θ3 formed by the inclined surface 611 of the sharpened portion 61 of the first member 6 and the virtual surface IF1 parallel to the surface of the main body 62 facing the first intermediate member 2 (first seal member 4) (see FIG. 1). ) Is 105 ° or more, preferably 120 ° or more, and more preferably 135 ° or more, from the viewpoints of uniform spraying over a wide range, the strength of the nozzle tip, and adhesion of the spray liquid to the nozzle. And it is 165 degrees or less, Preferably it is 160 degrees or less, More preferably, it is 157.5 degrees or less. More specifically, it is 105 ° to 165 °, preferably 120 ° to 160 °, more preferably 135 ° to 157.5 °. In the slit nozzle 1, the inclination angle θ3 (see FIG. 1) is formed to be the same as the angle obtained by subtracting the angle θ1 (see FIG. 1) formed by the first intermediate member 2 from 180 °.

第1部材6の本体部62は、スリットノズル1においては、外面(第1中間部材2に非対向な面)が平坦な平面に形成されており、第1中間部材2(第1シール部材4)に対向する面の中央領域に、外面側に凹んだ凹部64が形成されている。即ち、本体部62の第1中間部材2に対向する面は、凹部64を有し、凹部64を除く領域が平坦な平面に形成されている。第1部材6の本体部62は、第1中間部材2と同様に、図1,図6に示すように、凹部64の外周に沿って、厚み方向(Z方向)に貫通するボルト締め用の貫通孔63が複数形成されている。貫通孔63は第1中間部材2の貫通孔23及び第1シール部材4の貫通孔43と一致する位置に、複数形成されている。各貫通孔63の形状は、スリットノズル1においては、貫通孔23,43の形状と同じく、真円形状に形成されている。   In the slit nozzle 1, the main body 62 of the first member 6 has an outer surface (a surface not facing the first intermediate member 2) formed in a flat plane, and the first intermediate member 2 (the first seal member 4). ) Is formed in the central region of the surface facing the outer surface). That is, the surface of the main body 62 that faces the first intermediate member 2 has a recess 64, and a region excluding the recess 64 is formed on a flat plane. As shown in FIGS. 1 and 6, the main body portion 62 of the first member 6 is for bolt tightening that penetrates in the thickness direction (Z direction) along the outer periphery of the concave portion 64 as shown in FIGS. 1 and 6. A plurality of through holes 63 are formed. A plurality of through holes 63 are formed at positions corresponding to the through holes 23 of the first intermediate member 2 and the through holes 43 of the first seal member 4. The shape of each through-hole 63 is formed in a perfect circle shape in the slit nozzle 1, similar to the shape of the through-holes 23 and 43.

第1部材6の本体部62には、図1,図6に示すように、凹部64の外方における、第1シール部材4の導入口45sに対応する位置に厚み方向(Z方向)に貫通する導入口65sが形成されており、第1シール部材4の導出口45eに対応する位置に厚み方向(Z方向)に貫通する導出口65eが形成されている。導入口65s及び導出口65eの形状は、スリットノズル1においては、第1シール部材4の導入口45s及び導出口45eと同形状の真円形状に形成されている。   As shown in FIGS. 1 and 6, the main body portion 62 of the first member 6 penetrates in the thickness direction (Z direction) at a position corresponding to the introduction port 45 s of the first seal member 4 outside the recess 64. An inlet 65s that penetrates in the thickness direction (Z direction) is formed at a position corresponding to the outlet 45e of the first seal member 4. In the slit nozzle 1, the shape of the introduction port 65 s and the outlet port 65 e is formed in a perfect circle shape that is the same shape as the introduction port 45 s and the outlet port 45 e of the first seal member 4.

また、第1部材6の本体部62には、図1,図6に示すように、凹部64の外方における、第1中間部材2の液体供給口26及び第1シール部材4の液体供給口46に対応する位置に、厚み方向(Z方向)に貫通する液体供給口66が形成されている。液体供給口46は、第1中間部材2の液体供給口26及び第1シール部材4の液体供給口46と同形状の円形状に形成されている。   As shown in FIGS. 1 and 6, the main body 62 of the first member 6 has a liquid supply port 26 of the first intermediate member 2 and a liquid supply port of the first seal member 4 outside the recess 64. A liquid supply port 66 penetrating in the thickness direction (Z direction) is formed at a position corresponding to 46. The liquid supply port 46 is formed in a circular shape having the same shape as the liquid supply port 26 of the first intermediate member 2 and the liquid supply port 46 of the first seal member 4.

第1部材6の凹部64は、図6に示すように、液体供給口66側から尖鋭部61に向かって、凹みの深さが最も深い第1凹部641と、凹みの深さが最も浅い第2凹部642と、凹みの深さが深い第3凹部643を連続して有している。第1凹部641は、その底面が平滑に形成されており、第1中間部材2(第1シール部材4)に対向する面側から平面視して、長手方向(Y方向)に平行に延在している。第1凹部641の底面には、図6に示すように、長手方向(Y方向)の中央に位置する部分に、外面(第1中間部材2に非対向な面)に貫通する円形状の気体導入口67が形成されている。また、第2凹部642は、第1中間部材2に対向する面側から平面視して、長手方向(Y方向)に平行に延在している。また、第3凹部643は、第1中間部材2に対向する面側から平面視して、長手方向(Y方向)に平行に延在しており、第1凹部641の深さに比べて、浅く形成されている。第2凹部642及び第3凹部643は、その底面が平滑に形成されている。   As shown in FIG. 6, the concave portion 64 of the first member 6 includes a first concave portion 641 having the deepest concave portion and a shallowest concave portion from the liquid supply port 66 side toward the sharpened portion 61. 2 recesses 642 and a third recess 643 having a deep recess are continuously provided. The first concave portion 641 has a smooth bottom surface and extends parallel to the longitudinal direction (Y direction) when viewed from the surface facing the first intermediate member 2 (first seal member 4). doing. On the bottom surface of the first recess 641, as shown in FIG. 6, a circular gas penetrating the outer surface (a surface not facing the first intermediate member 2) in a portion located in the center in the longitudinal direction (Y direction). An introduction port 67 is formed. Further, the second recess 642 extends in parallel with the longitudinal direction (Y direction) when seen in a plan view from the side facing the first intermediate member 2. The third recess 643 extends in parallel to the longitudinal direction (Y direction) in a plan view from the surface facing the first intermediate member 2, and compared to the depth of the first recess 641. It is shallow. The bottom surfaces of the second recess 642 and the third recess 643 are formed smoothly.

第1部材6の尖鋭部61の傾斜面611には、図6に示すように、長手方向(Y方向)中央領域に、凹部64から尖鋭部61の先端に亘る、凹部64に比べて底の深さが極めて浅い浅底凹部612が形成されている。浅底凹部612は、長手方向(Y方向)に沿って矩形状に形成されている。浅底凹部612は、第1中間部材2の浅底凹部212の位置に対応して浅底凹部212を包含するように形成されている。浅底凹部612は、その底面が平滑に形成されている。   As shown in FIG. 6, the inclined surface 611 of the sharp portion 61 of the first member 6 has a bottom region as compared with the concave portion 64 extending from the concave portion 64 to the tip of the sharp portion 61 in the longitudinal direction (Y direction) central region. A shallow recess 612 having a very shallow depth is formed. The shallow recess 612 is formed in a rectangular shape along the longitudinal direction (Y direction). The shallow recess 612 is formed so as to include the shallow recess 212 corresponding to the position of the shallow recess 212 of the first intermediate member 2. The shallow recess 612 has a smooth bottom surface.

次に、多重構造体30を第2シール部材5側から覆う第2部材7は、図1,図7に示すように、第2中間部材3(第2シール部材5)に対向する面側から平面視して、Y方向に長い矩形状であり、Z方向に断面視して、積層体20の先端部(第2中間部材3の先端部31)を覆い、液体流路12に向かって尖鋭な部分を有する尖鋭部71と長方形状の本体部72とを備えている。スリットノズル1においては、第2部材7の第2中間部材3に対向する面側から平面視した外形の輪郭と、第1部材6の第1中間部材2に対向する面側から平面視した外形の輪郭とが一致している。尖鋭部71は、本体部72における第2中間部材3(第2シール部材5)に対向する平滑な面から、第2中間部材3(第2シール部材5)に向かってZ方向に平行に隆起し、更に、第2中間部材3の先端部31の傾斜面311に対応して均一に傾斜する傾斜面711を有するように隆起している。尚、尖鋭部71における本体部72からZ方向に平行に隆起する隆起高さは、スリットノズル1においては、第2シール部材5の厚みと略同じである。また、尖鋭部71における本体部72からZ方向に平行に隆起する部分と第2シール部材5との間には隙間が形成されている。   Next, as shown in FIGS. 1 and 7, the second member 7 that covers the multiple structure 30 from the second seal member 5 side is from the side facing the second intermediate member 3 (second seal member 5). In a plan view, the shape is a rectangle that is long in the Y direction, and in a cross-sectional view in the Z direction, covers the distal end portion (the distal end portion 31 of the second intermediate member 3) of the stacked body 20 and sharpens toward the liquid flow path 12. A sharpened portion 71 having a large portion and a rectangular main body 72 are provided. In the slit nozzle 1, the outline of the second member 7 in plan view from the surface facing the second intermediate member 3 and the outer shape of the first member 6 in plan view from the surface facing the first intermediate member 2. Is consistent with the outline. The sharpened portion 71 bulges in parallel to the Z direction from the smooth surface of the main body 72 facing the second intermediate member 3 (second seal member 5) toward the second intermediate member 3 (second seal member 5). Further, the second intermediate member 3 protrudes so as to have an inclined surface 711 that uniformly inclines corresponding to the inclined surface 311 of the distal end portion 31. Note that the protruding height of the sharpened portion 71 that protrudes in parallel with the Z direction from the main body portion 72 is substantially the same as the thickness of the second seal member 5 in the slit nozzle 1. Further, a gap is formed between the second seal member 5 and a portion of the sharpened portion 71 that protrudes in parallel with the Z direction from the main body portion 72.

第2部材7の尖鋭部71の傾斜面711と、本体部72における第2中間部材3(第2シール部材5)に対向する面と平行な仮想面IF2とが形成する角度θ4(図1参照)は、広範囲への均一噴霧とノズル先端部の強度、ノズルへの噴霧液付着の観点から、105°以上、好ましくは120°以上、更に好ましくは135°以上である。そして、165°以下、好ましくは160°以下、更に好ましくは157.5°以下である。より具体的には、105°以上165°以下であり、好ましくは120°以上160°以下、更に好ましくは135°以上157.5°以下であることが好ましい。スリットノズル1においては、傾斜角度θ4(図1参照)は、180°から第2中間部材3のなす角θ2(図1参照)を減算した角度と同じに形成されている。   An angle θ4 formed by the inclined surface 711 of the sharpened portion 71 of the second member 7 and the virtual surface IF2 parallel to the surface of the main body 72 facing the second intermediate member 3 (second seal member 5) (see FIG. 1). ) Is 105 ° or more, preferably 120 ° or more, and more preferably 135 ° or more, from the viewpoints of uniform spraying over a wide range, the strength of the nozzle tip, and adhesion of the spray liquid to the nozzle. And it is 165 degrees or less, Preferably it is 160 degrees or less, More preferably, it is 157.5 degrees or less. More specifically, it is 105 ° to 165 °, preferably 120 ° to 160 °, more preferably 135 ° to 157.5 °. In the slit nozzle 1, the inclination angle θ4 (see FIG. 1) is formed to be the same as the angle obtained by subtracting the angle θ2 (see FIG. 1) formed by the second intermediate member 3 from 180 °.

第2部材7の本体部72は、スリットノズル1においては、外面(第2中間部材3に非対向な面)が平面に形成されており、第2中間部材3(第2シール部材5)に対向する面の中央領域に、外面側に凹んだ凹部74が形成されている。即ち、本体部72の第2中間部材3に対向する面は、凹部74を有し、凹部74を除く領域が平面に形成されている。第2部材7の本体部72は、第2中間部材3と同様に、図1,図7に示すように、凹部74の外周に沿って、厚み方向(Z方向)に貫通するボルト締め用の貫通孔73が複数形成されている。貫通孔73は第2中間部材3の貫通孔33及び第2シール部材5の貫通孔53と一致する位置に、複数形成されている。各貫通孔73の形状は、スリットノズル1においては、貫通孔33,53の形状と同じく、真円形状に形成されている。   The main body 72 of the second member 7 has a flat outer surface (a surface not facing the second intermediate member 3) in the slit nozzle 1, and is formed on the second intermediate member 3 (second seal member 5). A concave portion 74 that is recessed toward the outer surface is formed in the central region of the opposing surface. That is, the surface of the main body 72 facing the second intermediate member 3 has a recess 74, and the region excluding the recess 74 is formed as a flat surface. As shown in FIGS. 1 and 7, the main body portion 72 of the second member 7 is for bolt tightening that penetrates in the thickness direction (Z direction) along the outer periphery of the recess 74, as shown in FIGS. 1 and 7. A plurality of through holes 73 are formed. A plurality of through holes 73 are formed at positions corresponding to the through holes 33 of the second intermediate member 3 and the through holes 53 of the second seal member 5. The shape of each through-hole 73 is formed in a perfect circle shape in the slit nozzle 1 like the shape of the through-holes 33 and 53.

第2部材7の本体部72には、図1,図7に示すように、凹部74の外方における、第2シール部材5の導入口55sに対応する位置に厚み方向(Z方向)に貫通する導入口75sが形成されており、第2シール部材5の導出口55eに対応する位置に厚み方向(Z方向)に貫通する導出口75eが形成されている。導入口75s及び導出口75eの形状は、スリットノズル1においては、第2シール部材5の導入口55s及び導出口55eと同形状の真円形状に形成されている。   As shown in FIGS. 1 and 7, the main body 72 of the second member 7 penetrates in the thickness direction (Z direction) at a position corresponding to the introduction port 55 s of the second seal member 5 outside the recess 74. An introduction port 75s is formed, and a lead-out port 75e penetrating in the thickness direction (Z direction) is formed at a position corresponding to the lead-out port 55e of the second seal member 5. In the slit nozzle 1, the shape of the introduction port 75 s and the lead-out port 75 e is formed in a perfect circle shape that is the same shape as the introduction port 55 s and the lead-out port 55 e of the second seal member 5.

第2部材7の凹部74は、図1,図7に示すように、尖鋭部71に向かって、凹みの深さが最も深い第1凹部741と、凹みの深さが最も浅い第2凹部742と、凹みの深さが深い第3凹部743を連続して有している。第2部材7の第1凹部741、第2凹部742及び第3凹部743は、それぞれ、図7に示すように、第1部材6の第1凹部641、第2凹部642及び第3凹部643それぞれの形成位置に対応して設けられている。第1凹部741は、その底面が平滑に形成されており、第2中間部材3(第2シール部材5)に対向する面側から平面視して、長手方向(Y方向)に平行に延在している。第1凹部741の底面には、図7に示すように、長手方向(Y方向)の中央に位置する部分に、外面(第2中間部材3に非対向な面)に貫通する円形状の気体導入口77が形成されている。また、第2凹部742は、第2中間部材3に対向する面側から平面視して、長手方向(Y方向)に平行に延在している。また、第3凹部743は、第2中間部材3に対向する面側から平面視して、長手方向(Y方向)に平行に延在しており、第1凹部741の深さに比べて、浅く形成されている。第2凹部742及び第3凹部743は、その底面が平滑に形成されている。   As shown in FIGS. 1 and 7, the concave portion 74 of the second member 7 has a first concave portion 741 having the deepest concave portion and a second concave portion 742 having the shallowest concave portion toward the sharpened portion 71. And the third recess 743 having a deep recess is continuously provided. As shown in FIG. 7, the first recess 741, the second recess 742, and the third recess 743 of the second member 7 are respectively the first recess 641, the second recess 642, and the third recess 643 of the first member 6. It is provided corresponding to the formation position. The first recess 741 has a bottom surface that is smooth, and extends in parallel with the longitudinal direction (Y direction) when viewed from the side facing the second intermediate member 3 (second seal member 5). doing. On the bottom surface of the first recess 741, as shown in FIG. 7, a circular gas penetrating the outer surface (a surface not facing the second intermediate member 3) in a portion located in the center of the longitudinal direction (Y direction). An introduction port 77 is formed. Further, the second recess 742 extends in parallel with the longitudinal direction (Y direction) in a plan view from the side facing the second intermediate member 3. The third recess 743 extends in parallel to the longitudinal direction (Y direction) in a plan view from the surface facing the second intermediate member 3, and compared to the depth of the first recess 741, It is shallow. The bottom surfaces of the second recess 742 and the third recess 743 are formed smoothly.

第2部材7の尖鋭部71の傾斜面711には、図7に示すように、長手方向(Y方向)中央領域に、凹部74から尖鋭部71の先端に亘る、凹部74に比べて底の深さが極めて浅い浅底凹部712が形成されている。浅底凹部712は、スリットノズル1においては、長手方向(Y方向)に沿って、第1部材6の浅底凹部612と同形同大の矩形状に形成されている。浅底凹部712は、第2中間部材3の浅底凹部312の位置に対応して浅底凹部312を包含するように形成されている。浅底凹部712は、その底面が平滑に形成されている。   As shown in FIG. 7, the inclined surface 711 of the sharp portion 71 of the second member 7 has a bottom region as compared with the concave portion 74 extending from the concave portion 74 to the tip of the sharp portion 71 in the central region in the longitudinal direction (Y direction). A shallow recess 712 having an extremely shallow depth is formed. In the slit nozzle 1, the shallow recess 712 is formed in a rectangular shape having the same shape and size as the shallow recess 612 of the first member 6 along the longitudinal direction (Y direction). The shallow recess 712 is formed so as to include the shallow recess 312 corresponding to the position of the shallow recess 312 of the second intermediate member 3. The shallow concave portion 712 has a smooth bottom surface.

スリットノズル1は、上述したように、その先端部11においては、第1中間部材2と第2中間部材3との隙間に液体流路12が形成されており、また、図8に示すように、第1部材6と第1中間部材2との隙間に第1気体流路13が形成され、第2部材7と第2中間部材3との隙間に第2気体流路14が形成されている。具体的に説明すると、スリットノズル1は、図1に示すように、第1中間部材2及び第2中間部材3からなる積層体20を、第1中間部材2側から第1シール部材4及び第2中間部材3側から第2シール部材5で挟んで多重構造体30を形成し、該多重構造体30を更に第1シール部材4側から第1部材6及び第2シール部材5側から第2部材7で覆うように重ね合わせ、複数の貫通孔63,43,23,33,53,73にボルト(不図示)を通して、該ボルト(不図示)とナット(不図示)によりボルト締めすることにより一体化して形成される。スリットノズル1には、第1中間部材2の本体部22に重ねられた第1シール部材4における第1部材6に対向する平面と、第1部材6の第1凹部641、第2凹部642及び第3凹部643とがそれぞれ組み合わされて、上流側から尖鋭部61の先端に向かって、第1気体溜部121、第2気体溜部122及び第3気体溜部123が形成されるようになる。更に、第1部材6の尖鋭部61における本体部62からZ方向に平行に隆起する部分と第1シール部材4との間の隙間に気体通路124が形成されるようになる。そして、スリットノズル1の先端部には、第1中間部材2における先端部21の傾斜面211と、第1部材6の尖鋭部61における傾斜面611の浅底凹部612とが組み合わされてスリット状の第1気体流路13が形成されるようになる。図8に示すように、第1気体溜部121は第1部材6の気体導入口67に連通して形成されており、第3気体溜部123は、第1気体溜部121及び第3気体溜部123の間隔よりも狭い第2気体溜部122を介して第1気体溜部121と連通している。そして、第1気体流路13は、気体通路124を介して第3気体溜部123に連通して形成されている。   As described above, the slit nozzle 1 has the liquid flow path 12 formed in the gap between the first intermediate member 2 and the second intermediate member 3 at the tip 11 thereof, and as shown in FIG. The first gas flow path 13 is formed in the gap between the first member 6 and the first intermediate member 2, and the second gas flow path 14 is formed in the gap between the second member 7 and the second intermediate member 3. . Specifically, as shown in FIG. 1, the slit nozzle 1 includes a laminated body 20 composed of a first intermediate member 2 and a second intermediate member 3, and a first seal member 4 and a first intermediate member 2 from the first intermediate member 2 side. (2) A multiple structure 30 is formed by sandwiching the second seal member 5 from the intermediate member 3 side, and the multiple structure 30 is further moved from the first seal member 4 side to the first member 6 and from the second seal member 5 side to the second. By overlapping so as to cover with the member 7, bolts (not shown) are passed through the plurality of through holes 63, 43, 23, 33, 53, 73 and bolted with the bolts (not shown) and nuts (not shown). It is formed integrally. The slit nozzle 1 includes a plane facing the first member 6 in the first seal member 4 overlaid on the main body portion 22 of the first intermediate member 2, a first concave portion 641, a second concave portion 642 of the first member 6, and Each of the third recesses 643 is combined to form the first gas reservoir 121, the second gas reservoir 122, and the third gas reservoir 123 from the upstream side toward the tip of the sharpened portion 61. . Further, the gas passage 124 is formed in the gap between the first seal member 4 and the portion of the sharpened portion 61 of the first member 6 that protrudes in parallel with the Z direction from the main body portion 62. The slit nozzle 1 is combined with the inclined surface 211 of the distal end portion 21 of the first intermediate member 2 and the shallow concave portion 612 of the inclined surface 611 of the sharpened portion 61 of the first member 6 in the slit shape. The first gas flow path 13 is formed. As shown in FIG. 8, the first gas reservoir 121 is formed to communicate with the gas inlet 67 of the first member 6, and the third gas reservoir 123 includes the first gas reservoir 121 and the third gas. The first gas reservoir 121 communicates with the second gas reservoir 122 narrower than the interval between the reservoirs 123. The first gas channel 13 is formed in communication with the third gas reservoir 123 via the gas passage 124.

また、図1に示すように、ボルト(不図示)とナット(不図示)によりボルト締めすることにより一体化して形成されるスリットノズル1には、第2中間部材3の本体部32に重ねられた第2シール部材5における第2部材7に対向する平面と、第2部材7の第1凹部741、第2凹部742及び第3凹部743とがそれぞれ組み合わされて、上流側から先端部に向かって、第1気体溜部131、第2気体溜部132及び第3気体溜部133が形成されるようになる。更に、第2部材7の尖鋭部71における本体部72からZ方向に平行に隆起する部分と第2シール部材5との間の隙間に気体通路134が形成されるようになる。そして、スリットノズル1の先端部には、第2中間部材3における先端部31の傾斜面311と、第2部材7の尖鋭部71における傾斜面711の浅底凹部712とが組み合わされてスリット状の第2気体流路14が形成されるようになる。図8に示すように、第1気体溜部131は第2部材7の気体導入口77に連通して形成されており、第3気体溜部133は、第1気体溜部131及び第3気体溜部133の間隔よりも狭い第2気体溜部132を介して第1気体溜部131と連通している。そして、第2気体流路14は、気体通路134を介して第3気体溜部133に連通して形成されている。第2部材7側に形成される第1気体溜部131、第2気体溜部132及び第3気体溜部133と、第1部材6側に形成される第1気体溜部121、第2気体溜部122及び第3気体溜部123とは、それぞれ、図8に示すように、スリットノズル1の先端部の液体流路12の延出方向に延びる仮想線ILに対して対称に形成されている。   Further, as shown in FIG. 1, the slit nozzle 1 formed integrally by bolting with a bolt (not shown) and a nut (not shown) is overlapped with the main body portion 32 of the second intermediate member 3. In addition, the flat surface of the second seal member 5 that faces the second member 7 and the first recess 741, the second recess 742, and the third recess 743 of the second member 7 are combined, respectively, toward the tip from the upstream side. Thus, the first gas reservoir 131, the second gas reservoir 132, and the third gas reservoir 133 are formed. Further, the gas passage 134 is formed in the gap between the portion of the sharpened portion 71 of the second member 7 that protrudes in parallel with the Z direction from the main body 72 and the second seal member 5. The slit nozzle 1 is combined with the inclined surface 311 of the distal end portion 31 of the second intermediate member 3 and the shallow concave portion 712 of the inclined surface 711 of the sharpened portion 71 of the second member 7 at the distal end portion of the slit nozzle 1. The second gas flow path 14 is formed. As shown in FIG. 8, the first gas reservoir 131 is formed to communicate with the gas inlet 77 of the second member 7, and the third gas reservoir 133 includes the first gas reservoir 131 and the third gas. It communicates with the first gas reservoir 131 via the second gas reservoir 132 that is narrower than the interval between the reservoirs 133. The second gas channel 14 is formed in communication with the third gas reservoir 133 via the gas passage 134. The first gas reservoir 131, the second gas reservoir 132, and the third gas reservoir 133 formed on the second member 7 side, the first gas reservoir 121 formed on the first member 6 side, and the second gas As shown in FIG. 8, the reservoir 122 and the third gas reservoir 123 are formed symmetrically with respect to an imaginary line IL extending in the extending direction of the liquid flow path 12 at the tip of the slit nozzle 1. Yes.

以上のように構成されたスリットノズル1について、詳述すると、図9に示すように、スリットノズル1の先端部11を断面視して、液体流路12の延出方向に対し第1気体流路13の延出方向及び第2気体流路14の延出方向が、それぞれ鋭角に交差している。具体的には、第1中間部材2の先端部21がなす角θ1で形成されているので、図9に示すように、液体流路12の延出方向と第1気体流路13の延出方向との交差角度がθ1となって液体流と気体流とが合流するようになっており、第2中間部材3の先端部31がなす角θ2で形成されているので、液体流路12の延出方向と第2気体流路14の延出方向との交差角度がθ2となって液体流と気体流とが合流するようになっている。   The slit nozzle 1 configured as described above will be described in detail. As shown in FIG. 9, the first gas flow in the extending direction of the liquid flow path 12 is shown in a sectional view of the tip portion 11 of the slit nozzle 1. The extending direction of the channel 13 and the extending direction of the second gas channel 14 intersect each other at an acute angle. Specifically, since the first intermediate member 2 is formed at an angle θ1 formed by the distal end portion 21, as shown in FIG. 9, the extending direction of the liquid flow path 12 and the extending of the first gas flow path 13 are provided. The crossing angle with the direction is θ1, so that the liquid flow and the gas flow are merged, and is formed at an angle θ2 formed by the distal end portion 31 of the second intermediate member 3. The crossing angle between the extending direction and the extending direction of the second gas channel 14 is θ2, so that the liquid flow and the gas flow are merged.

また、図10に示すように、スリットノズル1の先端部11を正面視して、液体流路12の噴出口12e、液体流路12の噴出口12eのY方向に沿う両側に配された第1気体流路13の噴出口13e及び第2気体流路14の噴出口14eが、それぞれ、長手方向(Y方向)に延在している。上述したように、図1〜8に示すように、第1部材6の浅底凹部612及び第2部材7の浅底凹部712は、第1中間部材2の浅底凹部212の位置及び第2中間部材3の浅底凹部312の位置に対応して浅底凹部212,312を包含するように配されている。その為、スリットノズル1の先端部11を正面視して、液体流路12の噴出口12eの長手方向(Y方向)の長さが、第1気体流路13の噴出口13e及び第2気体流路14の噴出口14eの長手方向(Y方向)の長さよりも短く、第1気体流路13の噴出口13eの両末端部と第2気体流路14の噴出口14eの両末端部が、それぞれ、液体流路12の噴出口12eの両末端部よりも長手方向(Y方向)外方に配されるようになる。   Further, as shown in FIG. 10, when the front end portion 11 of the slit nozzle 1 is viewed from the front, the nozzles 12 e of the liquid channel 12 and the nozzles 12 e of the liquid channel 12 are arranged on both sides along the Y direction. The jet outlet 13e of the 1 gas flow path 13 and the jet outlet 14e of the 2nd gas flow path 14 are each extended in the longitudinal direction (Y direction). As described above, as shown in FIGS. 1 to 8, the shallow concave portion 612 of the first member 6 and the shallow concave portion 712 of the second member 7 correspond to the position of the shallow concave portion 212 of the first intermediate member 2 and the second portion. Corresponding to the position of the shallow bottom recess 312 of the intermediate member 3, the shallow bottom recesses 212, 312 are included. Therefore, when the front end portion 11 of the slit nozzle 1 is viewed from the front, the length in the longitudinal direction (Y direction) of the jet port 12e of the liquid channel 12 is the length of the jet port 13e of the first gas channel 13 and the second gas. Both ends of the outlet 13e of the first gas channel 13 and both ends of the outlet 14e of the second gas channel 14 are shorter than the length of the outlet 14e of the channel 14 in the longitudinal direction (Y direction). These are arranged outward in the longitudinal direction (Y direction) from both end portions of the ejection port 12e of the liquid channel 12.

更にまた、スリットノズル1においては、第2部材7の浅底凹部712が、第1部材6の浅底凹部612と同形同大に形成されている。その為、図10に示すように、スリットノズル1の先端部11を正面視して、第1気体流路13の噴出口13eの長手方向(Y方向)の長さと第2気体流路14の噴出口14eの長手方向(Y方向)の長さとが同じとなっている。   Furthermore, in the slit nozzle 1, the shallow recess 712 of the second member 7 is formed in the same shape and size as the shallow recess 612 of the first member 6. Therefore, as shown in FIG. 10, when the front end portion 11 of the slit nozzle 1 is viewed from the front, the length in the longitudinal direction (Y direction) of the ejection port 13 e of the first gas channel 13 and the second gas channel 14 The length of the jet port 14e in the longitudinal direction (Y direction) is the same.

液体流路12の長方形状の噴出口12eの長手方向(Y方向)の長さは、粗大液滴の発生防止、エアー使用量の抑制の観点から、第1気体流路13の長方形状の噴出口13e又は第2気体流路14の長方形状の噴出口14eの長手方向(Y方向)の長さの好ましくは70%以上、更に好ましくは80%以上である。そして、好ましくは95%以下、更に好ましくは90%以下である。より具体的には、好ましくは70%以上95%以下であり、更に好ましくは80%以上90%以下である。   The length in the longitudinal direction (Y direction) of the rectangular ejection port 12e of the liquid channel 12 is the rectangular jet of the first gas channel 13 from the viewpoint of preventing the generation of coarse droplets and suppressing the amount of air used. The length in the longitudinal direction (Y direction) of the outlet 13e or the rectangular jet port 14e of the second gas channel 14 is preferably 70% or more, more preferably 80% or more. And it is preferably 95% or less, more preferably 90% or less. More specifically, it is preferably 70% or more and 95% or less, and more preferably 80% or more and 90% or less.

スリットノズル1を構成する第1中間部材2、第2中間部材3、第1シール部材4,第2シール部材5,第1部材6及び第2部材7それぞれの材質としては、アルミニウム合金、ステンレス綱、鉄鋼、チタン等の金属のほか、セラミック、耐熱性樹脂等が挙げられ、用途に応じて適宜選択して用いることができる。   The materials of the first intermediate member 2, the second intermediate member 3, the first seal member 4, the second seal member 5, the first member 6 and the second member 7 constituting the slit nozzle 1 are aluminum alloy and stainless steel. In addition to metals such as steel and titanium, ceramics, heat-resistant resins and the like can be used, and these can be appropriately selected and used depending on the application.

スリットノズル1により噴霧する液体としては、用途に応じて様々な液体を用いることができ、特にスリットノズル1においては、加熱手段を有しているので、常温で固体となり易い高粘度の液体を用いることもできる。   As the liquid sprayed by the slit nozzle 1, various liquids can be used depending on the application. In particular, since the slit nozzle 1 has a heating means, a high-viscosity liquid that easily becomes solid at room temperature is used. You can also

また、流路251,351に通す流体としては、前記噴霧する液体に応じて様々な流体を用いることができ、具体的には、水、オイル等を用いることができる。尚、流体の加熱温度としては、噴霧する液体に応じて調整することができる。流路251,351に通す流体の流量は、噴霧する液体に応じて調整することができる。また、スリットノズル1により液体を噴霧する際に用いる気体としては、前記噴霧する液体に応じて様々な気体を用いることができる。   In addition, as the fluid passing through the flow paths 251 and 351, various fluids can be used according to the liquid to be sprayed, and specifically, water, oil, or the like can be used. The fluid heating temperature can be adjusted according to the liquid to be sprayed. The flow rate of the fluid passing through the flow paths 251 and 351 can be adjusted according to the liquid to be sprayed. Moreover, as gas used when spraying a liquid with the slit nozzle 1, various gas can be used according to the said liquid to spray.

次に、スリットノズル1の作用を、図8〜図10を参照しながら説明する。
先ず、スリットノズル1の液体供給路66に液体供給管(不図示)を連結し、気体導入口67及び気体導入口77それぞれに気体供給管(不図示)を連結する。
ここで、液体供給路66から供給された液体は、図8に示すように、上流側から下流側(先端部11側)に向かって、液体供給口46、液体供給口26、液体溜室110、そして液体流路12の順に流れ液体流路12の噴出口12eから液体が噴出する。
また、気体導入口67から供給された気体は、図8に示すように、上流側から下流側(先端部11側)に向かって、第1気体溜部121、第2気体溜部122、第3気体溜部123、気体通路124そして第1気体流路13の順に流れ第1気体流路13の噴出口13eから気体が噴出する。
また、気体導入口77から供給された気体は、図8に示すように、上流側から下流側(先端部11側)に向かって、第1気体溜部131、第2気体溜部132、第3気体溜部133、気体通路134そして第2気体流路14の順に流れ第2気体流路14の噴出口14eから気体が噴出する。
Next, the operation of the slit nozzle 1 will be described with reference to FIGS.
First, a liquid supply pipe (not shown) is connected to the liquid supply path 66 of the slit nozzle 1, and a gas supply pipe (not shown) is connected to each of the gas inlet 67 and the gas inlet 77.
Here, as shown in FIG. 8, the liquid supplied from the liquid supply path 66 flows from the upstream side toward the downstream side (the tip portion 11 side), the liquid supply port 46, the liquid supply port 26, and the liquid reservoir 110. Then, the liquid flows in the order of the liquid flow path 12, and the liquid is ejected from the ejection port 12e of the liquid flow path 12.
In addition, as shown in FIG. 8, the gas supplied from the gas introduction port 67 flows from the upstream side toward the downstream side (tip portion 11 side), the first gas reservoir 121, the second gas reservoir 122, The gas flows in the order of the three gas reservoirs 123, the gas passage 124, and the first gas passage 13, and the gas is ejected from the outlet 13 e of the first gas passage 13.
In addition, as shown in FIG. 8, the gas supplied from the gas introduction port 77 flows from the upstream side toward the downstream side (tip portion 11 side), the first gas reservoir 131, the second gas reservoir 132, The gas flows in the order of the 3 gas reservoir 133, the gas passage 134, and the second gas passage 14, and the gas is ejected from the ejection port 14 e of the second gas passage 14.

スリットノズル1においては、図9に示すように、先端部11を断面視して、液体流路12の延出方向に対し第1気体流路13の延出方向が鋭角(交差角度θ1)に交差しており、さらに、液体流路12の延出方向に対し第2気体流路14の延出方向が鋭角(交差角度θ2)に交差している。また、図10に示すように、先端部11を正面視して、液体流路12の長方形状の噴出口12e、液体流路12の噴出口12eの両側に沿って、第1気体流路13の噴出口13e及び第2気体流路14の噴出口14eが、それぞれ、長手方向(Y方向)に延在している。従って、液体流路12の噴出口12eから噴出する液体に対して、その両側部から、第1気体流路13の噴出口13eから噴出する気体及び第2気体流路14の噴出口14eから噴出する気体が衝突し、液体を均一に微粒化して噴霧することができるようになっている。   In the slit nozzle 1, as shown in FIG. 9, the extending direction of the first gas flow path 13 is an acute angle (crossing angle θ <b> 1) with respect to the extending direction of the liquid flow path 12 when the tip end portion 11 is viewed in cross section. Furthermore, the extending direction of the second gas channel 14 intersects the extending direction of the liquid channel 12 at an acute angle (intersecting angle θ2). Further, as shown in FIG. 10, the first gas flow path 13 is formed along both sides of the rectangular ejection port 12 e of the liquid flow channel 12 and the ejection port 12 e of the liquid flow channel 12 when the front end portion 11 is viewed from the front. The jet port 13e and the jet port 14e of the second gas channel 14 each extend in the longitudinal direction (Y direction). Therefore, with respect to the liquid ejected from the ejection port 12e of the liquid channel 12, the gas ejected from the ejection port 13e of the first gas channel 13 and the ejection from the ejection port 14e of the second gas channel 14 from both sides thereof. Gas collides, and the liquid can be atomized uniformly and sprayed.

また、スリットノズル1においては、図8に示すように、スリットノズル1を構成する第1中間部材2及び第2中間部材3それぞれが加熱手段25,35を有している。その為、第1中間部材2と第2中間部材3との間に形成される液体溜室110内に供給された液体を、スリットノズル1に内蔵された加熱手段25,35で加熱することができる。更に、加熱手段25を有する第1中間部材2側に積層された第1シール部材4は断熱部材41を有し、加熱手段35を有する第2中間部材3側に積層された第2シール部材5は断熱部材51を有している。その為、気体導入口67,77から供給された気体が、第1気体溜部121、131、第2気体溜部122,132、第3気体溜部123,133を流れたとしても、加熱手段25,35で加熱された液体溜室110内の液体を、冷やすことなく保温でき、液体の加熱の調整を安定的に行え、噴霧する液体の固化を防ぐことができる。スリットノズル1においては、上述したように、スリットノズル1に、加熱手段25,35及び断熱部材41,51が内蔵されているので、安価に作製でき、加熱手段25,35又は断熱部材41,51を有する部材だけを交換することができるので、メンテナンス性も向上する。   Moreover, in the slit nozzle 1, as shown in FIG. 8, the 1st intermediate member 2 and the 2nd intermediate member 3 which comprise the slit nozzle 1 have the heating means 25 and 35, respectively. Therefore, the liquid supplied into the liquid reservoir 110 formed between the first intermediate member 2 and the second intermediate member 3 can be heated by the heating means 25 and 35 incorporated in the slit nozzle 1. it can. Further, the first seal member 4 laminated on the first intermediate member 2 side having the heating means 25 has a heat insulating member 41, and the second seal member 5 laminated on the second intermediate member 3 side having the heating means 35. Has a heat insulating member 51. Therefore, even if the gas supplied from the gas inlets 67 and 77 flows through the first gas reservoirs 121 and 131, the second gas reservoirs 122 and 132, and the third gas reservoirs 123 and 133, the heating means The liquid in the liquid reservoir chamber 110 heated at 25 and 35 can be kept warm without being cooled, the liquid heating can be adjusted stably, and solidification of the sprayed liquid can be prevented. In the slit nozzle 1, as described above, since the heating means 25 and 35 and the heat insulating members 41 and 51 are built in the slit nozzle 1, the slit nozzle 1 can be manufactured at low cost, and the heating means 25 and 35 or the heat insulating members 41 and 51. Since only the member having the can be replaced, the maintainability is also improved.

また、スリットノズル1においては、図8に示すように、加熱手段25,35が、第1中間部材2の流路251及び第2中間部材3の流路351を有している。スリットノズル1においては、スリットノズル1の導入口65s,75sにヒーターにより加熱された流体を供給する液体供給管(不図示)を連結し、スリットノズル1の導出口65e,75eに流体を排出する液体排出管(不図示)を連結する。従って、導入口65s,75sから供給された加熱された流体は、導入口45s,55sを介して流路251,351の始点部251s,351sから流路251,351の終点部251e,351eまで流路251,351内を流れる。そして、流路251,351内を流れた流体は、その後、導出口45e,55eを介して導出口65e,75eから排出される。このように、常に加熱された流体が流路251,351内を流れるので、安定的に液体溜室110内の液体を加熱することができる。   In the slit nozzle 1, as shown in FIG. 8, the heating means 25, 35 has a flow path 251 of the first intermediate member 2 and a flow path 351 of the second intermediate member 3. In the slit nozzle 1, a liquid supply pipe (not shown) that supplies fluid heated by a heater is connected to the inlets 65s and 75s of the slit nozzle 1, and the fluid is discharged to the outlets 65e and 75e of the slit nozzle 1. A liquid discharge pipe (not shown) is connected. Accordingly, the heated fluid supplied from the introduction ports 65s and 75s flows from the start point portions 251s and 351s of the flow paths 251 and 351 to the end point portions 251e and 351e of the flow paths 251 and 351 through the introduction ports 45s and 55s. It flows in the paths 251 and 351. The fluid that has flowed through the flow paths 251 and 351 is then discharged from the outlets 65e and 75e via the outlets 45e and 55e. As described above, since the fluid that is always heated flows in the flow paths 251 and 351, the liquid in the liquid reservoir 110 can be stably heated.

上述したように、スリットノズル1においては、加熱手段25,35が、第1中間部材2の流路251及び第2中間部材3の流路351を有し、加熱された流体を流路251,351に流しているが、その代わりに、流路251,351と流路251,351に配されてヒーターにより加熱されるヒーター用加熱線とを有していてもよい。   As described above, in the slit nozzle 1, the heating means 25, 35 includes the flow path 251 of the first intermediate member 2 and the flow path 351 of the second intermediate member 3, and the heated fluid is supplied to the flow paths 251, 251. However, instead of this, a flow path 251, 351, and a heater heating wire disposed in the flow path 251, 351 and heated by the heater may be provided.

また、スリットノズル1においては、図8に示すように、加熱手段25,35を構成する流路251,351は、第1中間部材2と第2中間部材3との間に形成される液体溜室110に対応する位置に配されている。その為、液体溜室110内に供給された液体を、スリットノズル1に内蔵された加熱手段25,35で効率的に加熱することができる。   In the slit nozzle 1, as shown in FIG. 8, the flow paths 251 and 351 constituting the heating means 25 and 35 are liquid reservoirs formed between the first intermediate member 2 and the second intermediate member 3. It is arranged at a position corresponding to the chamber 110. Therefore, the liquid supplied into the liquid reservoir 110 can be efficiently heated by the heating means 25 and 35 built in the slit nozzle 1.

また、スリットノズル1においては、図8に示すように、加熱手段25,35を構成する流路251,351は、液体溜室110に対応する領域に複数回折り返されて形成されている。その為、液体溜室110内に供給された液体を、加熱手段25,35で効率的に加熱することができる。   Further, in the slit nozzle 1, as shown in FIG. 8, a plurality of flow paths 251, 351 constituting the heating means 25, 35 are formed by being folded back into a region corresponding to the liquid reservoir chamber 110. Therefore, the liquid supplied into the liquid reservoir 110 can be efficiently heated by the heating means 25 and 35.

本発明のスリットノズルは、上述の実施形態のスリットノズル1に何ら制限されるものではなく、適宜変更可能である。   The slit nozzle of this invention is not restrict | limited to the slit nozzle 1 of the above-mentioned embodiment at all, and can be changed suitably.

例えば、上述の実施形態のスリットノズル1においては、図8に示すように、スリットノズル1を構成する第1中間部材2及び第2中間部材3それぞれが加熱手段25,35を有しているが、第1中間部材2及び第2中間部材3の少なくとも一方が加熱手段を有していればよい。このように第1中間部材2及び第2中間部材3の少なくとも一方が加熱手段を有している場合、加熱手段を有する第1中間部材2側又は第2中間部材3側の第1シール部材4又は第2シール部材5が断熱部材を有していればよい。   For example, in the slit nozzle 1 of the above-described embodiment, as shown in FIG. 8, the first intermediate member 2 and the second intermediate member 3 constituting the slit nozzle 1 have heating means 25 and 35, respectively. It is sufficient that at least one of the first intermediate member 2 and the second intermediate member 3 has a heating means. Thus, when at least one of the 1st intermediate member 2 and the 2nd intermediate member 3 has a heating means, the 1st seal member 4 by the side of the 1st intermediate member 2 which has a heating means, or the 2nd intermediate member 3 side. Or the 2nd seal member 5 should just have a heat insulation member.

また、上述の実施形態のスリットノズル1においては、図8に示すように、加熱手段25,35を構成する流路251,351が、第1中間部材2と第2中間部材3との間に形成される液体溜室110に対応する位置に配されているが、液体溜室110に対応して配されていなくてもよい。   Moreover, in the slit nozzle 1 of the above-mentioned embodiment, as shown in FIG. 8, the flow paths 251 and 351 constituting the heating means 25 and 35 are provided between the first intermediate member 2 and the second intermediate member 3. Although it is arranged at a position corresponding to the liquid reservoir chamber 110 to be formed, it may not be arranged corresponding to the liquid reservoir chamber 110.

また、上述の実施形態のスリットノズル1においては、図9に示すように、液体流路12の延出方向と第1気体流路13の延出方向との交差角度θ1が、液体流路12の延出方向と第2気体流路14の延出方向との交差角度θ2と一致しているが、一致していなくてもよい。また、第1気体流路13の噴出口13e及び第2気体流路14の噴出口14eは、図10に示すように、その形状が同じであり、長手方向(Y方向)の長さも同じに形成されているが、同じでなくてもよい。   Further, in the slit nozzle 1 of the above-described embodiment, as shown in FIG. 9, the intersecting angle θ1 between the extending direction of the liquid flow path 12 and the extending direction of the first gas flow path 13 is the liquid flow path 12. Although the crossing angle θ2 between the extending direction of the second gas channel 14 and the extending direction of the second gas flow path 14 coincides, it does not need to coincide. Further, as shown in FIG. 10, the jet outlet 13e of the first gas flow path 13 and the jet outlet 14e of the second gas flow path 14 have the same shape and the same length in the longitudinal direction (Y direction). Although formed, they need not be the same.

また、上述の実施形態のスリットノズル1においては、図8に示すように、液体溜室110が、第1中間部材2の第1深底凹部241、第2深底凹部242及び第3深底凹部243と、第2中間部材3の第1深底凹部341、第2深底凹部342及び第3深底凹部343とが組み合わされて形成されているが、第1中間部材2における第2中間部材3に対向する面に凹部を設け、第2中間部材3の第1中間部材2に対向する面を平面として形成してもよく、第1中間部材2の第2中間部材3に対向する面を平面とし、第2中間部材3における第1中間部材2に対向する面に凹部を設けて形成してもよい。また、凹部24,34の形状が他の形状であってもよい。   Moreover, in the slit nozzle 1 of the above-described embodiment, as shown in FIG. 8, the liquid reservoir chamber 110 has the first deep bottom concave portion 241, the second deep bottom concave portion 242, and the third deep bottom of the first intermediate member 2. The concave portion 243 is formed by combining the first deep bottom concave portion 341, the second deep bottom concave portion 342, and the third deep bottom concave portion 343 of the second intermediate member 3. A surface facing the member 3 may be provided with a recess, and a surface facing the first intermediate member 2 of the second intermediate member 3 may be formed as a flat surface, or a surface facing the second intermediate member 3 of the first intermediate member 2 May be formed by providing a recess on the surface of the second intermediate member 3 facing the first intermediate member 2. Further, the shape of the recesses 24 and 34 may be other shapes.

また、上述の実施形態のスリットノズル1においては、図6,8に示すように、第1気体溜部121、第2気体溜部122及び第3気体溜部123が、第1シール部材4における第1部材6に対向する平面と、第1部材6の第1凹部641、第2凹部642及び第3凹部643とがそれぞれ組み合わされて形成されているが、第1部材6の凹部64の形状が他の形状であってもよく、また、第1気体溜部121、第2気体溜部122及び第3気体溜部123が無くてもよい。第1気体溜部131、第2気体溜部132及び第3気体溜部133についても、第1気体溜部121、第2気体溜部122及び第3気体溜部123と同様である。   In the slit nozzle 1 of the above-described embodiment, as shown in FIGS. 6 and 8, the first gas reservoir 121, the second gas reservoir 122, and the third gas reservoir 123 are provided in the first seal member 4. The flat surface facing the first member 6 and the first concave portion 641, the second concave portion 642, and the third concave portion 643 of the first member 6 are formed in combination, but the shape of the concave portion 64 of the first member 6 However, the first gas reservoir 121, the second gas reservoir 122, and the third gas reservoir 123 may be omitted. The first gas reservoir 131, the second gas reservoir 132, and the third gas reservoir 133 are the same as the first gas reservoir 121, the second gas reservoir 122, and the third gas reservoir 123.

本発明のスリットノズルは、例えば、水や薬品,塗料等の散布に用いることができる。   The slit nozzle of the present invention can be used, for example, for spraying water, chemicals, paints and the like.

上述した実施形態に関し、さらに以下のスリットノズルを開示する。   The following slit nozzle is further disclosed regarding the embodiment mentioned above.

<1>
一対の縦長の第1中間部材及び第2中間部材からなる積層体を、該第1中間部材側の第1シール部材と該第2中間部材側の第2シール部材とで挟み、それを更に該第1シール部材側の第1部材と該第2シール部材側の第2部材とで覆って一体化されたスリットノズルであって、
前記第1中間部材及び前記第2中間部材の少なくとも一方に、加熱手段を有し、
前記加熱手段を有する前記第1中間部材側又は前記第2中間部材側の前記第1シール部材又は前記第2シール部材は、断熱部材を有し、
前記スリットノズルの先端部においては、前記第1中間部材と前記第2中間部材との隙間に液体流路が形成され、前記第1部材と前記第1中間部材との隙間に第1気体流路が形成され、前記第2部材と前記第2中間部材との隙間に第2気体流路が形成されており、
前記スリットノズルの先端部を断面視して、前記液体流路の延出方向に対し前記第1気体流路の延出方向及び前記第2気体流路の延出方向が、それぞれ鋭角に交差しており、
前記スリットノズルの先端部を正面視して、前記液体流路の噴出口、該液体流路の噴出口の両側に配された前記第1気体流路の噴出口及び前記第2気体流路の噴出口が、それぞれ、長手方向に延在しているスリットノズル。
<2>
第1中間部材と第2中間部材とを重ね合わせた積層体には、第1中間部材の第1深底凹部、第2深底凹部及び第3深底凹部それぞれと、第2中間部材の第1深底凹部、第2深底凹部及び第3深底凹部それぞれとが組み合わされてなる液体溜室が形成され、積層体の先端部には、第1中間部材の浅底凹部と、第2中間部材の浅底凹部とが組み合わされてなるスリット状の液体流路が長手方向(Y方向)に延在して形成される<1>に記載のスリットノズル。
<3>
第1中間部材の凹部は、第1中間部材の液体供給口の位置から先端部に向かって、段階的に底の深さが浅くなるように、第1深底凹部、第2深底凹部、第3深底凹部を連続して有している<1>又は<2>に記載のスリットノズル。
<4>
第2中間部材の凹部は、第1中間部材の液体供給口に対応する位置から先端部に向かって、段階的に底の深さが浅くなるように、第1深底凹部、第2深底凹部、第3深底凹部を連続して有している<1>〜<3>の何れか1に記載のスリットノズル。
<5>
第1中間部材の先端部には、長手方向(Y方向)中央領域に、凹部から先端部の先端に亘る、凹部に比べて底の深さが極めて浅い浅底凹部が形成されており、浅底凹部は、第2中間部材に対向する面側から平面視して、長手方向(Y方向)に沿って形成されている<1>〜<4>の何れか1に記載のスリットノズル。
<6>
第2中間部材の先端部には、長手方向(Y方向)中央領域に、凹部から先端部の先端に亘る、凹部に比べて底の深さが極めて浅い浅底凹部が形成されており、浅底凹部は、第1中間部材に対向する面側から平面視して、長手方向(Y方向)に沿って形成されている<1>〜<5>の何れか1に記載のスリットノズル。
<7>
第1中間部材は、第2中間部材に対向する面側から平面視して、Y方向に長い矩形状であり、Z方向に断面視して、三角形状の先端部と長方形状の本体部とからなる台形状に形成されており、該先端部は、第1部材に対向する面側から第2中間部材に対向する面側に向けて平滑に傾斜する傾斜面を有しており、傾斜面と、第2中間部材に対向する面とのなす角θ1は、15°以上であり、好ましくは20°以上、更に好ましくは22.5°以上であり、そして、75°以下であり、好ましくは60°以下、更に好ましくは45°以下であり、より具体的には、15°以上75°以下であり、好ましくは20°以上60°以下、更に好ましくは22.5°以上45°以下である<1>〜<6>の何れか1に記載のスリットノズル。
<8>
第2中間部材は、第1中間部材に対向する面側から平面視して、Y方向に長い矩形状であり、Z方向に断面視して、三角形状の先端部と長方形状の本体部とからなる台形状に形成されており、該先端部は、第2部材に対向する面側から第1中間部材に対向する面側に向けて平滑に傾斜する傾斜面を有しており、傾斜面と、第1中間部材に対向する面とのなす角θ2は、15°以上であり、好ましくは20°以上、更に好ましくは22.5°以上であり、そして、75°以下であり、好ましくは60°以下、更に好ましくは45°以下であり、より具体的には、15°以上75°以下であり、好ましくは20°以上60°以下、更に好ましくは22.5°以上45°以下である<1>〜<7>の何れか1に記載のスリットノズル。
<9>
第1部材の凹部は、液体供給口側から尖鋭部に向かって、凹みの深さが最も深い第1凹部と、凹みの深さが最も浅い第2凹部と、凹みの深さが深い第3凹部を連続して有している<1>〜<8>の何れか1に記載のスリットノズル。
<10>
第1部材の尖鋭部の傾斜面には、長手方向(Y方向)中央領域に、凹部から尖鋭部の先端に亘る、凹部に比べて底の深さが極めて浅い浅底凹部が形成されており、浅底凹部は、長手方向(Y方向)に沿って矩形状に形成されており、第1中間部材の浅底凹部の位置に対応して浅底凹部を包含するように形成されている<1>〜<9>の何れか1に記載のスリットノズル。
<11>
第2部材の凹部は、尖鋭部に向かって、凹みの深さが最も深い第1凹部と、凹みの深さが最も浅い第2凹部と、凹みの深さが深い第3凹部を連続して有している<1>〜<10>の何れか1に記載のスリットノズル。
<12>
第2部材の尖鋭部の傾斜面には、長手方向(Y方向)中央領域に、凹部から尖鋭部の先端に亘る、凹部に比べて底の深さが極めて浅い浅底凹部が形成されており、浅底凹部は、長手方向(Y方向)に沿って、第1部材の浅底凹部と同形同大の矩形状に形成されており、第2中間部材の浅底凹部の位置に対応して浅底凹部を包含するように形成されている<1>〜<11>の何れか1に記載のスリットノズル。
<13>
第1部材の尖鋭部の傾斜面と、本体部における第1中間部材(第1シール部材)に対向する面と平行な仮想面とが形成する角度θ3は、105°以上、好ましくは120°以上、更に好ましくは135°以上であり、そして、165°以下、好ましくは160°以下、更に好ましくは157.5°以下であり、より具体的には、105°以上165°以下であり、好ましくは120°以上160°以下、更に好ましくは135°以上157.5°以下であり、スリットノズルにおいては、傾斜角度θ3は、180°から第1中間部材のなす角θ1を減算した角度と同じに形成されている<1>〜<12>の何れか1に記載のスリットノズル。
<14>
第2部材の尖鋭部の傾斜面と、本体部における第2中間部材(第2シール部材)に対向する面と平行な仮想面とが形成する角度θ4は、105°以上、好ましくは120°以上、更に好ましくは135°以上であり、そして、165°以下、好ましくは160°以下、更に好ましくは157.5°以下であり、より具体的には、105°以上165°以下であり、好ましくは120°以上160°以下、更に好ましくは135°以上157.5°以下であり、スリットノズルにおいては、傾斜角度θ4は、180°から第2中間部材のなす角θ2を減算した角度と同じに形成されている<1>〜<13>の何れか1に記載のスリットノズル。
<15>
前記加熱手段は、前記第1中間部材の前記第1シール部材側の面又は前記第2中間部材の前記第2シール部材側の面に設けられた流路を有している<1>〜<14>の何れか1に記載のスリットノズル。
<16>
前記加熱手段を構成する前記流路は、前記第1中間部材と前記第2中間部材との間に形成される液体溜室に対応する位置に配されている<15>に記載のスリットノズル。
<17>
前記加熱手段を構成する前記流路は、前記液体溜室に対応する領域に複数回折り返されて形成されている<15>又は<16>に記載のスリットノズル。
<18>
前記断熱部材は、その面積が、前記加熱手段を構成する前記流路で囲まれた領域よりも広く、該流路で囲まれた領域を覆う位置に配されている<1>〜<17>の何れか1に記載のスリットノズル。
<19>
前記断熱部材は、熱伝導率が、0.07W/m・K以上0.8W/m・K以下である<1>〜<18>の何れか1に記載のスリットノズル。
<20>
前記断熱部材は、ガラス繊維からなる主基材に、ホウ酸塩系バインダ或いはケイ酸系バインダからなる主材料を配した部材を用いる<1>〜<19>の何れか1に記載のスリットノズル。
<21>
前記加熱手段は、前記第1中間部材の前記第1シール部材側の面又は前記第2中間部材の前記第2シール部材側の面に設けられた流路と、該流路に配されてヒーターにより加熱されるヒーター用加熱線とを有している<1>〜<20>の何れか1に記載のスリットノズル。
<22>
前記ヒーターは、カートリッジヒーターである<1>〜<21>の何れか1に記載のスリットノズル。
<1>
A laminate composed of a pair of vertically long first intermediate member and second intermediate member is sandwiched between the first seal member on the first intermediate member side and the second seal member on the second intermediate member side, and further, A slit nozzle integrated with a first member on the first seal member side and a second member on the second seal member side,
At least one of the first intermediate member and the second intermediate member has a heating means,
The first seal member or the second seal member on the first intermediate member side or the second intermediate member side having the heating means has a heat insulating member,
At the tip of the slit nozzle, a liquid channel is formed in the gap between the first intermediate member and the second intermediate member, and a first gas channel is formed in the gap between the first member and the first intermediate member. And a second gas flow path is formed in the gap between the second member and the second intermediate member,
In a sectional view of the tip of the slit nozzle, the extending direction of the first gas channel and the extending direction of the second gas channel intersect each other at an acute angle with respect to the extending direction of the liquid channel. And
When the front end of the slit nozzle is viewed from the front, the outlet of the liquid channel, the outlet of the first gas channel disposed on both sides of the outlet of the liquid channel, and the second gas channel Slit nozzles each having a jet port extending in the longitudinal direction.
<2>
In the laminated body in which the first intermediate member and the second intermediate member are overlapped, the first deep bottom concave portion, the second deep bottom concave portion, and the third deep bottom concave portion of the first intermediate member, and the second intermediate member first A liquid reservoir chamber is formed by combining each of the first deep recess, the second deep recess, and the third deep recess, and a shallow recess of the first intermediate member and a second recess are formed at the tip of the laminate. The slit nozzle according to <1>, wherein a slit-like liquid flow path formed by combining the shallow concave portion of the intermediate member extends in the longitudinal direction (Y direction).
<3>
The concave portion of the first intermediate member has a first deep bottom concave portion, a second deep bottom concave portion, so that the depth of the bottom gradually decreases from the position of the liquid supply port of the first intermediate member toward the tip portion. The slit nozzle as described in <1> or <2> which has a 3rd deep bottom recessed part continuously.
<4>
The concave portion of the second intermediate member has a first deep concave portion and a second deep bottom so that the depth of the bottom gradually decreases from the position corresponding to the liquid supply port of the first intermediate member toward the tip portion. The slit nozzle of any one of <1>-<3> which has a recessed part and a 3rd deep bottom recessed part continuously.
<5>
In the front end portion of the first intermediate member, a shallow concave portion is formed in the central region in the longitudinal direction (Y direction) from the concave portion to the front end of the front end portion. The bottom recess is the slit nozzle according to any one of <1> to <4>, which is formed along the longitudinal direction (Y direction) in a plan view from the side facing the second intermediate member.
<6>
In the front end portion of the second intermediate member, a shallow concave portion is formed in the central region in the longitudinal direction (Y direction) from the concave portion to the front end of the front end portion. The bottom recess is the slit nozzle according to any one of <1> to <5>, which is formed along the longitudinal direction (Y direction) in a plan view from the side facing the first intermediate member.
<7>
The first intermediate member has a rectangular shape that is long in the Y direction in plan view from the side facing the second intermediate member, and has a triangular tip and a rectangular main body in cross section in the Z direction. The tip portion has an inclined surface that inclines smoothly from the surface side facing the first member toward the surface side facing the second intermediate member. And an angle θ1 formed with the surface facing the second intermediate member is 15 ° or more, preferably 20 ° or more, more preferably 22.5 ° or more, and 75 ° or less, preferably 60 ° or less, more preferably 45 ° or less, more specifically 15 ° or more and 75 ° or less, preferably 20 ° or more and 60 ° or less, more preferably 22.5 ° or more and 45 ° or less. The slit nozzle according to any one of <1> to <6>.
<8>
The second intermediate member has a rectangular shape that is long in the Y direction when viewed from the side facing the first intermediate member, and has a triangular tip and a rectangular main body when viewed in cross section in the Z direction. The tip has an inclined surface that smoothly inclines from the surface facing the second member toward the surface facing the first intermediate member. And an angle θ2 formed with the surface facing the first intermediate member is 15 ° or more, preferably 20 ° or more, more preferably 22.5 ° or more, and 75 ° or less, preferably 60 ° or less, more preferably 45 ° or less, more specifically 15 ° or more and 75 ° or less, preferably 20 ° or more and 60 ° or less, more preferably 22.5 ° or more and 45 ° or less. The slit nozzle according to any one of <1> to <7>.
<9>
The concave portion of the first member includes a first concave portion having a deepest concave portion, a second concave portion having a shallowest concave portion, and a third concave portion having a deepest concave portion from the liquid supply port side toward the sharp portion. The slit nozzle of any one of <1>-<8> which has a recessed part continuously.
<10>
On the inclined surface of the sharp part of the first member, a shallow concave part is formed in the central region in the longitudinal direction (Y direction), which has a very shallow bottom compared to the concave part from the concave part to the tip of the sharp part. The shallow bottom recess is formed in a rectangular shape along the longitudinal direction (Y direction), and is formed so as to include the shallow bottom recess corresponding to the position of the shallow recess of the first intermediate member < The slit nozzle according to any one of 1> to <9>.
<11>
The concave portion of the second member is formed by continuously connecting the first concave portion having the deepest concave portion, the second concave portion having the shallowest concave portion, and the third concave portion having the deepest concave portion toward the sharpened portion. The slit nozzle according to any one of <1> to <10>.
<12>
On the inclined surface of the sharp part of the second member, a shallow concave part is formed in the central region in the longitudinal direction (Y direction), which has a very shallow bottom compared to the concave part, extending from the concave part to the tip of the sharp part. The shallow recess is formed in a rectangular shape having the same shape and size as the shallow recess of the first member along the longitudinal direction (Y direction), and corresponds to the position of the shallow recess of the second intermediate member. The slit nozzle according to any one of <1> to <11>, which is formed so as to include a shallow concave portion.
<13>
The angle θ3 formed by the inclined surface of the sharp part of the first member and the virtual surface parallel to the surface facing the first intermediate member (first seal member) in the main body is 105 ° or more, preferably 120 ° or more. More preferably 135 ° or more, and 165 ° or less, preferably 160 ° or less, more preferably 157.5 ° or less, more specifically 105 ° or more and 165 ° or less, preferably 120 ° or more and 160 ° or less, more preferably 135 ° or more and 157.5 ° or less. In the slit nozzle, the inclination angle θ3 is formed to be the same as the angle obtained by subtracting the angle θ1 formed by the first intermediate member from 180 °. The slit nozzle according to any one of <1> to <12>.
<14>
The angle θ4 formed by the inclined surface of the sharp part of the second member and the virtual surface parallel to the surface facing the second intermediate member (second seal member) in the main body is 105 ° or more, preferably 120 ° or more. More preferably 135 ° or more, and 165 ° or less, preferably 160 ° or less, more preferably 157.5 ° or less, more specifically 105 ° or more and 165 ° or less, preferably 120 ° or more and 160 ° or less, more preferably 135 ° or more and 157.5 ° or less. In the slit nozzle, the inclination angle θ4 is formed to be the same as the angle obtained by subtracting the angle θ2 formed by the second intermediate member from 180 °. The slit nozzle according to any one of <1> to <13>.
<15>
The heating means includes a flow path provided on a surface of the first intermediate member on the first seal member side or on a surface of the second intermediate member on the second seal member side. The slit nozzle according to any one of 14>.
<16>
The slit nozzle according to <15>, wherein the flow path constituting the heating unit is disposed at a position corresponding to a liquid reservoir chamber formed between the first intermediate member and the second intermediate member.
<17>
<15> or <16> The slit nozzle according to <15> or <16>, wherein the flow path constituting the heating means is formed by being folded back multiple times in a region corresponding to the liquid reservoir chamber.
<18>
The area of the heat insulating member is larger than the area surrounded by the flow path constituting the heating means, and is arranged at a position covering the area surrounded by the flow path <1> to <17>. A slit nozzle according to any one of the above.
<19>
The heat insulating member is the slit nozzle according to any one of <1> to <18>, in which the thermal conductivity is 0.07 W / m · K or more and 0.8 W / m · K or less.
<20>
The slit nozzle according to any one of <1> to <19>, wherein the heat insulating member uses a member in which a main material made of a borate binder or a silicate binder is arranged on a main base material made of glass fiber. .
<21>
The heating means includes a flow path provided on a surface of the first intermediate member on the first seal member side or a surface of the second intermediate member on the second seal member side, and a heater disposed on the flow path. The slit nozzle according to any one of <1> to <20>, which has a heater heating wire heated by.
<22>
The slit nozzle according to any one of <1> to <21>, wherein the heater is a cartridge heater.

以下、実施例により本発明を更に詳細に説明する。しかしながら本発明の範囲はかかる実施例によって何ら制限されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the scope of the present invention is not limited by the examples.

〔実施例1〕
図1〜図10に示す上記実施形態のスリットノズル1と同様の構成を有するスリットノズルを用いた。スリットノズルについて詳述すると、液体流路12の延出方向と第1気体流路13の延出方向との交差角度がθ1となって液体流と気体流とが合流するようになっており、第2中間部材3の先端部31がなす角θ2で形成されているので、液体流路12の延出方向と第2気体流路14の延出方向との交差角度がθ2となって液体流と気体流とが合流するようになっている。第1中間部材2の先端部のなす角θ1は45°であり、第2中間部材3の先端部のなす角θ2も45°であった。また、第1部材6の傾斜面の傾斜角度θ3は135°であり、第2部材7の傾斜面の傾斜角度θ4も135°であった。液体流路12の噴出口12eは、Y方向の長さが90mmであった。次に、第1気体流路13の噴出口13e及び第2気体流路14の噴出口14eは、それぞれ、Y方向の長さが100mmであった。断熱部材41,51としては、熱伝導率が0.08W/m・Kの、ガラス繊維からなる主基材にケイ酸系バインダからなる主材料を配した部材を用いた。また、流路251,351内に流す流体としては60℃に加熱された水を用いた。流路251,351内に流す水の流量は0.3L/minであった。
[Example 1]
The slit nozzle which has the structure similar to the slit nozzle 1 of the said embodiment shown in FIGS. 1-10 was used. The slit nozzle will be described in detail. The crossing angle between the extending direction of the liquid flow path 12 and the extending direction of the first gas flow path 13 is θ1, and the liquid flow and the gas flow are merged. Since the tip end portion 31 of the second intermediate member 3 is formed at an angle θ2, the crossing angle between the extending direction of the liquid channel 12 and the extending direction of the second gas channel 14 is θ2, and the liquid flow And the gas flow merge. The angle θ1 formed by the distal end portion of the first intermediate member 2 was 45 °, and the angle θ2 formed by the distal end portion of the second intermediate member 3 was also 45 °. Further, the inclination angle θ3 of the inclined surface of the first member 6 was 135 °, and the inclination angle θ4 of the inclined surface of the second member 7 was also 135 °. The jet port 12e of the liquid channel 12 had a length in the Y direction of 90 mm. Next, the jet outlet 13e of the first gas flow path 13 and the jet outlet 14e of the second gas flow path 14 each had a length in the Y direction of 100 mm. As the heat insulating members 41 and 51, members having a thermal conductivity of 0.08 W / m · K and a main material made of a silicate binder on a main base material made of glass fiber were used. In addition, water heated to 60 ° C. was used as a fluid flowing in the flow paths 251 and 351. The flow rate of water flowing in the flow paths 251 and 351 was 0.3 L / min.

〔性能評価〕
実施例1の噴霧ノズルに関し、常温で固化する高粘度の液体を用いても、噴霧する液体の固化を防ぐことができるか否かを評価した。噴霧する液体としては、主成分としてラウリル硫酸ナトリウムを70質量%含む水溶液を用いた。尚、該水溶液の60℃での粘度は7,750mPa・sであった。また、使用する気体は空気であった。次に、実施例1のスリットノズルを、先端部が水平方向となるように設置し、液体流路12の噴出口12eから液体を吐出させ、その際の液体の吐出圧力を液体用圧力計を用いて測定した。測定された圧力は、0.37MPaであった。次に、液体溜室110に前記水溶液を1時間放置した後、液体流路12の噴出口12eから液体を吐出させ、その際の液体の吐出圧力を測定した。測定された圧力は、0.37MPaであった。
[Performance evaluation]
Regarding the spray nozzle of Example 1, it was evaluated whether or not solidification of the sprayed liquid could be prevented even when a highly viscous liquid that solidifies at room temperature was used. As the liquid to be sprayed, an aqueous solution containing 70% by mass of sodium lauryl sulfate as a main component was used. The viscosity of the aqueous solution at 60 ° C. was 7,750 mPa · s. The gas used was air. Next, the slit nozzle of Example 1 is installed so that the tip portion is in the horizontal direction, and the liquid is discharged from the ejection port 12e of the liquid flow path 12, and the liquid discharge pressure at that time is measured with a liquid pressure gauge. And measured. The measured pressure was 0.37 MPa. Next, after the aqueous solution was left in the liquid reservoir 110 for 1 hour, the liquid was discharged from the jet 12e of the liquid channel 12, and the liquid discharge pressure at that time was measured. The measured pressure was 0.37 MPa.

以上の測定結果から、実施例1のスリットノズルは、液体溜室110に前記水溶液を1時間放置した後においても、液体溜室110内で前記水溶液が固化せず、液体の吐出圧力も変化しないことが分かった。このような実施例1のスリットノズルを用いれば、常温で固化する高粘度の液体を用いても、加熱された液体溜室110内の液体を、冷やすことなく保温でき、液体の加熱の調整を安定的に行え、噴霧する液体の固化を防ぐことが期待できる。
〔性能評価2〕
実施例1の噴霧ノズルに関し、断熱部材を配置したことによる液体流路の温度低下の抑制効果を評価した。液体を吐出せずに気体の流量を250NL/minに設定した。他の条件は、前記実施例1及び性能評価と同じ条件で液体流路12の噴出口12eから液体を吐出させた。その後、吐出を中止し、液体溜室110を構成する第1中間部材の経時変化による温度変化を測定した。得られた結果をプロットした図が図11である。また、実施例1の噴霧ノズルから断熱部材を取り外し、断熱部材が取り外された噴霧ノズルを用いて、同じ条件で、液体流路の噴出口から液体を吐出させた。その後、吐出を中止し、液体溜室を構成する第1中間部材の経時変化による温度変化を測定し、得られた結果を図11にプロットした。図11の結果から、断熱部材を配置したことにより液体流路での温度の低下が抑制されていることが分かった。
From the above measurement results, in the slit nozzle of Example 1, the aqueous solution does not solidify in the liquid reservoir 110 and the liquid discharge pressure does not change even after the aqueous solution is left in the liquid reservoir 110 for 1 hour. I understood that. By using the slit nozzle of Example 1 as described above, the liquid in the heated liquid reservoir 110 can be kept warm without being cooled even when a high-viscosity liquid that solidifies at room temperature is used. It can be performed stably and can be expected to prevent solidification of the sprayed liquid.
[Performance evaluation 2]
Regarding the spray nozzle of Example 1, the suppression effect of the temperature drop of the liquid flow path by having arrange | positioned the heat insulation member was evaluated. The gas flow rate was set to 250 NL / min without discharging the liquid. The other conditions were that the liquid was ejected from the ejection port 12e of the liquid channel 12 under the same conditions as in Example 1 and performance evaluation. Thereafter, the discharge was stopped, and the temperature change due to the aging of the first intermediate member constituting the liquid reservoir 110 was measured. FIG. 11 is a plot of the obtained results. Moreover, the heat insulation member was removed from the spray nozzle of Example 1, and the liquid was discharged from the jet outlet of the liquid flow path on the same conditions using the spray nozzle from which the heat insulation member was removed. Thereafter, the discharge was stopped, the temperature change due to the change over time of the first intermediate member constituting the liquid reservoir was measured, and the obtained results were plotted in FIG. From the result of FIG. 11, it was found that the temperature decrease in the liquid flow path was suppressed by arranging the heat insulating member.

1 スリットノズル
11 先端部
12 液体流路
12e 噴出口
13 第1気体流路
13e 噴出口
14 第2気体流路
14e 噴出口
20 積層体
30 多重構造体
2 第1中間部材
21 先端部
211 傾斜面
212 浅底凹部
22 本体部
23 貫通孔
24 凹部
241 第1深底凹部
241a T字形状の横棒部分、241b T字形状の縦棒部分
242 第2深底凹部
243 第3深底凹部
25 加熱手段
251 流路
252 パッキング用部材
26 液体供給口
3 第2中間部材
31 先端部
311 傾斜面
312 浅底凹部
32 本体部
33 貫通孔
34 凹部
341 第1深底凹部
341a T字形状の横棒部分、341b T字形状の縦棒部分
342 第2深底凹部
343 第3深底凹部
35 加熱手段
351 流路
352 パッキング用部材
4 第1シール部材
41 断熱部材
42 ネジ
43 貫通孔
45s 導入口、45e 導出口
46 液体供給口
5 第2シール部材
51 断熱部材
52 ネジ
53 貫通孔
55s 導入口、55e 導出口
56 液体供給口
6 第1部材
61 尖鋭部
611 傾斜面
612 浅底凹部
62 本体部
63 貫通孔
64 凹部
641 第1凹部
642 第2凹部
643 第3凹部
65s 導入口、65e 導出口
66 液体導入口
67 気体導入口
7 第2部材
71 尖鋭部
711 傾斜面
712 浅底凹部
72 本体部
73 貫通孔
74 凹部
741 第1凹部
742 第2凹部
743 第3凹部
75s 導入口、75e 導出口
77 気体導入口
110 液体溜室
121 第1気体溜部、122 第2気体溜部、123 第3気体溜部、124 気体通路
131 第1気体溜部、132 第2気体溜部、133 第3気体溜部、135 気体通路
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Slit nozzle 11 Front-end | tip part 12 Liquid flow path 12e Outlet 13 1st gas flow path 13e Outlet 14 Second gas flow path 14e Outlet 20 Laminated body 30 Multiple structure 2 1st intermediate member 21 End part 211 Inclined surface 212 Shallow bottom recess 22 Body portion 23 Through-hole 24 Recess 241 First deep bottom recess 241a T-shaped horizontal bar portion, 241b T-shaped vertical bar portion 242 Second deep bottom recess 243 Third deep bottom recess 25 Heating means 251 Channel 252 Packing member 26 Liquid supply port 3 Second intermediate member 31 Tip 311 Inclined surface 312 Shallow recess 32 Main body 33 Through hole 34 Recess 341 First deep recess 341a T-shaped horizontal bar portion, 341b T Character-shaped vertical bar portion 342 Second deep bottom recess 343 Third deep bottom recess 35 Heating means 351 Flow path 352 Packing member 4 First sheet Member 41 Heat insulating member 42 Screw 43 Through hole 45s Inlet port, 45e Outlet port 46 Liquid supply port 5 Second seal member 51 Heat insulating member 52 Screw 53 Through hole 55s Inlet port, 55e Outlet port 56 Liquid supply port 6 First member 61 Sharp Portion 611 Inclined surface 612 Shallow bottom recess 62 Body portion 63 Through hole 64 Recess 641 First recess 642 Second recess 643 Third recess 65s Inlet, 65e Outlet 66 Liquid inlet 67 Gas inlet 7 Second member 71 Sharp portion 711 Inclined surface 712 Shallow bottom recess 72 Body portion 73 Through hole 74 Recess 741 First recess 742 Second recess 743 Third recess 75s Inlet, 75e Outlet 77 Gas inlet 110 Liquid reservoir 121 First gas reservoir, 122 Second gas reservoir, 123 Third gas reservoir, 124 Gas passage 131 First gas reservoir, 132 Second gas reservoir 133 third gas reservoir, 135 gas passage

Claims (7)

一対の縦長の第1中間部材及び第2中間部材からなる積層体を、該第1中間部材側の第1シール部材と該第2中間部材側の第2シール部材とで挟み、それを更に該第1シール部材側の第1部材と該第2シール部材側の第2部材とで覆って一体化されたスリットノズルであって、
前記第1中間部材及び前記第2中間部材の少なくとも一方に、加熱手段を有し、
前記加熱手段を有する前記第1中間部材側又は前記第2中間部材側の前記第1シール部材又は前記第2シール部材は、断熱部材を有し、
前記スリットノズルの先端部においては、前記第1中間部材と前記第2中間部材との隙間に液体流路が形成され、前記第1部材と前記第1中間部材との隙間に第1気体流路が形成され、前記第2部材と前記第2中間部材との隙間に第2気体流路が形成されており、
前記スリットノズルの先端部を断面視して、前記液体流路の延出方向に対し前記第1気体流路の延出方向及び前記第2気体流路の延出方向が、それぞれ鋭角に交差しており、
前記スリットノズルの先端部を正面視して、前記液体流路の噴出口、該液体流路の噴出口の両側に配された前記第1気体流路の噴出口及び前記第2気体流路の噴出口が、それぞれ、長手方向に延在しているスリットノズル。
A laminate composed of a pair of vertically long first intermediate member and second intermediate member is sandwiched between the first seal member on the first intermediate member side and the second seal member on the second intermediate member side, and further, A slit nozzle integrated with a first member on the first seal member side and a second member on the second seal member side,
At least one of the first intermediate member and the second intermediate member has a heating means,
The first seal member or the second seal member on the first intermediate member side or the second intermediate member side having the heating means has a heat insulating member,
At the tip of the slit nozzle, a liquid channel is formed in the gap between the first intermediate member and the second intermediate member, and a first gas channel is formed in the gap between the first member and the first intermediate member. And a second gas flow path is formed in the gap between the second member and the second intermediate member,
In a sectional view of the tip of the slit nozzle, the extending direction of the first gas channel and the extending direction of the second gas channel intersect each other at an acute angle with respect to the extending direction of the liquid channel. And
When the front end of the slit nozzle is viewed from the front, the outlet of the liquid channel, the outlet of the first gas channel disposed on both sides of the outlet of the liquid channel, and the second gas channel Slit nozzles each having a jet port extending in the longitudinal direction.
前記加熱手段は、前記第1中間部材の前記第1シール部材側の面又は前記第2中間部材の前記第2シール部材側の面に設けられた流路を有している請求項1に記載のスリットノズル。   The said heating means has the flow path provided in the surface by the side of the said 1st seal member of the said 1st intermediate member, or the surface by the side of the said 2nd seal member of the said 2nd intermediate member. Slit nozzle. 前記加熱手段を構成する前記流路は、前記第1中間部材と前記第2中間部材との間に形成される液体溜室に対応する位置に配されている請求項2に記載のスリットノズル。   The slit nozzle according to claim 2, wherein the flow path constituting the heating unit is disposed at a position corresponding to a liquid reservoir chamber formed between the first intermediate member and the second intermediate member. 前記加熱手段を構成する前記流路は、前記液体溜室に対応する領域に複数回折り返されて形成されている請求項3に記載のスリットノズル。   The slit nozzle according to claim 3, wherein the flow path constituting the heating unit is formed by being folded back multiple times in a region corresponding to the liquid reservoir. 前記断熱部材は、その面積が、前記加熱手段を構成する前記流路で囲まれた領域よりも広く、該流路で囲まれた領域を覆う位置に配されている請求項1〜4の何れか1項に記載のスリットノズル。   5. The heat insulating member according to claim 1, wherein an area of the heat insulating member is larger than an area surrounded by the flow path constituting the heating unit, and is disposed at a position covering the area surrounded by the flow path. A slit nozzle according to claim 1. 前記加熱手段は、前記第1中間部材の前記第1シール部材側の面又は前記第2中間部材の前記第2シール部材側の面に設けられた流路と、該流路に配されてヒーターにより加熱されるヒーター用加熱線とを有している請求項1〜5の何れか1項に記載のスリットノズル。   The heating means includes a flow path provided on a surface of the first intermediate member on the first seal member side or a surface of the second intermediate member on the second seal member side, and a heater disposed on the flow path. The slit nozzle of any one of Claims 1-5 which has a heating wire for heaters heated by. 前記ヒーターは、カートリッジヒーターである請求項1〜6の何れか1項に記載のスリットノズル。   The slit nozzle according to any one of claims 1 to 6, wherein the heater is a cartridge heater.
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