JP2014054594A - Slit nozzle - Google Patents

Slit nozzle Download PDF

Info

Publication number
JP2014054594A
JP2014054594A JP2012200279A JP2012200279A JP2014054594A JP 2014054594 A JP2014054594 A JP 2014054594A JP 2012200279 A JP2012200279 A JP 2012200279A JP 2012200279 A JP2012200279 A JP 2012200279A JP 2014054594 A JP2014054594 A JP 2014054594A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
intermediate member
slit nozzle
gas
liquid
gas flow
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012200279A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5878445B2 (en
Inventor
Toshihiko Mori
俊彦 森
Masayuki Osaki
雅之 大崎
Hide Ahiko
秀 阿彦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kao Corp
Original Assignee
Kao Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kao Corp filed Critical Kao Corp
Priority to JP2012200279A priority Critical patent/JP5878445B2/en
Publication of JP2014054594A publication Critical patent/JP2014054594A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5878445B2 publication Critical patent/JP5878445B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a slit nozzle capable of spraying a liquid uniformly into a wide range.SOLUTION: A slit nozzle 1 of the invention is configured by putting a stacked body 20 constituted of a first intermediate member 2 and a second intermediate member 3 between a first member 4 and a second member 5 and integrating the stacked body 20 with the first and second members 4 and 5. On a tip end 11, a liquid channel 12 is formed in a gap between the first intermediate member 2 and the second intermediate member 3, a first gas channel 13 is formed in a gap between the first member 4 and the first intermediate member 2, and a second gas channel 14 is formed in a gap between the second member 5 and the second intermediate member 3. In a cross-sectional view of the tip end 11, an extension direction of the first gas channel 13 and an extension direction of the second gas channel 14 cross an extension direction of the liquid channel 12 at sharp angles. In a front view of the tip end 11, a port mouth 12e extends in Y direction, port mouths 13e of the first gas channel and port mouths 14e of the second gas channel are plurally disposed at intervals along both sides of the port mouth 12e, and port mouths 13e and port mouths 14e are alternately disposed.

Description

本発明は、流体を噴霧するスリットノズルに関する。   The present invention relates to a slit nozzle for spraying a fluid.

従来より、製品に対して洗剤や薬液等を均一に噴霧するために、種々のスリットノズルが提案されている。例えば、特許文献1には、ノズル本体に切目状に長い空気噴口と液体噴口とを形成し、液体噴口を形成する板の先端に欠除部を設けたスリットノズルが記載されている。また、特許文献2には、3枚の板状体の積層体に、気体の噴出口と液体の噴出口とを形成し、中央部の板状体の先端部を噴出口よりも前方に延ばし、先端を傾斜させたスリットノズルが記載されている。   Conventionally, various slit nozzles have been proposed in order to uniformly spray detergents, chemicals, and the like on products. For example, Patent Document 1 describes a slit nozzle in which a long nozzle hole and a liquid nozzle are formed in a nozzle body, and a notch is provided at the tip of a plate that forms the liquid nozzle. In Patent Document 2, a gas jet port and a liquid jet port are formed in a laminate of three plate-like bodies, and the tip of the central plate-like body is extended forward from the jet port. A slit nozzle having an inclined tip is described.

しかし、特許文献1に記載のスリットノズルも特許文献2に記載のスリットノズルも、1つの空気噴出口と1つの液体噴出口しか有していないので、液体噴出口から噴出される液体に空気噴出口から噴出される空気を衝突させて広範囲に対し均一に噴霧するには限界があった。   However, since both the slit nozzle described in Patent Document 1 and the slit nozzle described in Patent Document 2 have only one air outlet and one liquid outlet, the air jet is applied to the liquid ejected from the liquid outlet. There was a limit to spraying uniformly over a wide area by colliding with the air ejected from the outlet.

例えば、特許文献3には、2つの気体を噴出する空隙の間に1つの液体を噴出する噴射口を設けた噴霧システムが記載されている。このように、液体を噴出する噴射口が、気体を噴出する2つの空隙で挟まれ、液体を噴出する噴射口の延びる方向に対して、気体を噴出する2つの空隙の延びる方向が鋭角に交差しているので、特許文献1及び2に記載のスリットノズルに比べると、液体を均一に噴霧することができる。   For example, Patent Document 3 describes a spray system in which an injection port for ejecting one liquid is provided between gaps for ejecting two gases. In this way, the ejection port for ejecting liquid is sandwiched between two gaps for ejecting gas, and the extending direction of the two gaps for ejecting gas intersects at an acute angle with respect to the direction in which the ejection port for ejecting liquid extends. Therefore, compared with the slit nozzles described in Patent Documents 1 and 2, the liquid can be sprayed uniformly.

特開昭48−29009号公報JP 48-29009 A 特開2003−1151号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2003-1151 特表2009−517214号公報Special table 2009-517214

しかし、特許文献3には、液体を噴出する噴射口に対して気体を噴出する2つの空隙を如何に配置するかについて記載されておらず、液体を広範囲に均一に噴霧させることについて記載されていない。   However, Patent Document 3 does not describe how to arrange the two gaps for ejecting the gas to the ejection port for ejecting the liquid, but describes spraying the liquid uniformly over a wide range. Absent.

したがって、本発明は、液体を広範囲に均一に噴霧可能なスリットノズルに関する。   Therefore, the present invention relates to a slit nozzle that can spray a liquid uniformly over a wide range.

本発明は、一対の縦長の第1中間部材及び第2中間部材からなる積層体を、該第1中間部材側の第1部材と該第2中間部材側の第2部材とで挟んで一体化されたスリットノズルであって、前記スリットノズルの先端部においては、該第1中間部材と該第2中間部材との隙間に液体流路が形成され、該第1部材と該第1中間部材との隙間に第1気体流路が形成され、該第2部材と該第2中間部材との隙間に第2気体流路が形成されており、前記スリットノズルの先端部を断面視して、前記液体流路の延出方向に対し前記第1気体流路の延出方向及び前記第2気体流路の延出方向が、それぞれ鋭角に交差しており、前記スリットノズルの先端部を正面視して、前記液体流路の噴出口は、長手方向に延びており、該液体流路の噴出口の両側に沿って、前記第1気体流路の噴出口及び前記第2気体流路の噴出口が、それぞれ、長手方向に間隔を空けて複数配され、該第1気体流路の噴出口と該第2気体流路の噴出口とが交互に配されているスリットノズルを提供するものである。   In the present invention, a laminated body composed of a pair of vertically long first intermediate member and second intermediate member is sandwiched between the first member on the first intermediate member side and the second member on the second intermediate member side and integrated. In the slit nozzle, a liquid flow path is formed in the gap between the first intermediate member and the second intermediate member at the tip of the slit nozzle, and the first member and the first intermediate member A first gas flow path is formed in a gap between the second member and the second intermediate member, and a second gas flow path is formed in the gap between the second member and the second intermediate member. The extending direction of the first gas channel and the extending direction of the second gas channel intersect each other at an acute angle with respect to the extending direction of the liquid channel, and the front end of the slit nozzle is viewed from the front. The jet outlet of the liquid channel extends in the longitudinal direction, along both sides of the jet outlet of the liquid channel. A plurality of outlets of the first gas channel and a plurality of outlets of the second gas channel are arranged at intervals in the longitudinal direction, and the outlet of the first gas channel and the second gas channel The nozzle is alternately provided with a slit nozzle.

本発明のスリットノズルによれば、液体を広範囲に、均一に噴霧することができる。   According to the slit nozzle of the present invention, the liquid can be sprayed uniformly over a wide range.

図1は、本発明の一実施形態のスリットノズルの組み立て方を模式的に示す図である。FIG. 1 is a diagram schematically showing how to assemble a slit nozzle according to an embodiment of the present invention. 図2は、図1に示すスリットノズルの有する第1中間部材の内面の平面図である。FIG. 2 is a plan view of the inner surface of the first intermediate member of the slit nozzle shown in FIG. 図3は、図1に示すスリットノズルの有する第2中間部材の内面の平面図である。FIG. 3 is a plan view of the inner surface of the second intermediate member of the slit nozzle shown in FIG. 図4は、図1に示すスリットノズルの有する第1部材の内面の平面図である。FIG. 4 is a plan view of the inner surface of the first member of the slit nozzle shown in FIG. 図5は、図1に示すスリットノズルの有する第2部材の内面の平面図である。FIG. 5 is a plan view of the inner surface of the second member of the slit nozzle shown in FIG. 図6は、本発明の一実施形態スリットノズルの断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of a slit nozzle according to an embodiment of the present invention. 図7は、図6に示すスリットノズルの先端部の断面図である。7 is a cross-sectional view of the tip of the slit nozzle shown in FIG. 図8は、図6に示すスリットノズルの先端部を正面視した際の平面図である。FIG. 8 is a plan view when the front end portion of the slit nozzle shown in FIG. 6 is viewed from the front. 図9は、図6に示すスリットノズルの備える位置調整手段の説明図である。FIG. 9 is an explanatory view of the position adjusting means provided in the slit nozzle shown in FIG. 図10は、位置調整手段により位置を変更した後にスリットノズルの先端部を正面視した際の平面図である。FIG. 10 is a plan view when the front end portion of the slit nozzle is viewed from the front after the position is changed by the position adjusting means. 図11は、噴霧された液体の均一性の評価方法を説明する図である。FIG. 11 is a diagram for explaining a method for evaluating the uniformity of the sprayed liquid. 図12は、図11に示す測定具の備えるマス目プレートを説明する図である。FIG. 12 is a diagram illustrating a grid plate included in the measuring tool shown in FIG. 図13は、実施例1のスリットノズルによる液体噴霧量の分布を示す等高線マップである。FIG. 13 is a contour map showing the distribution of the liquid spray amount by the slit nozzle of the first embodiment. 図14は、比較例1のスリットノズルによる液体噴霧量の分布を示す等高線マップである。FIG. 14 is a contour map showing the distribution of the amount of liquid sprayed by the slit nozzle of Comparative Example 1. 図15(a)は図13に示すA−A’線断面及び図14に示すA−A’線断面における升の位置と液体収集量との関係を示す折れ線グラフであり、図15(b)は図13に示すB−B’線断面及び図14に示すB−B’線断面における升の位置と液体収集量との関係を示す折れ線グラフである。FIG. 15A is a line graph showing the relationship between the position of the wrinkles and the liquid collection amount in the cross section taken along the line AA ′ shown in FIG. 13 and the cross section taken along the line AA ′ shown in FIG. FIG. 15 is a line graph showing the relationship between the position of the ridge and the liquid collection amount in the cross section taken along the line BB ′ shown in FIG.

以下、本発明のスリットノズルをその好ましい実施態様に基づき、図1〜図10を参照しながら説明する。
本実施形態のスリットノズル1は、図1に示すように、一対の縦長の第1中間部材2及び第2中間部材3からなる積層体20を、第1中間部材2側の第1部材4と第2中間部材3側の第2部材5とで挟んで一体化されている。具体的には、スリットノズル1は、積層体20を、第1中間部材2側から第1部材4及び第2中間部材3側から第2部材5で挟んで一体化して形成されている。更に具体的には、スリットノズル1は、4枚の板状体である第1中間部材2、第2中間部材3、第1部材4及び第2部材5を重ねて一体化して形成されている。図中のY方向は、縦長の第1中間部材2及び第2中間部材3の長手方向と同じ方向であり、図中のX方向は、長手方向(Y方向)に直交する短手方向と同じ方向である。また、図中のZ方向は、厚み方向である。
Hereinafter, the slit nozzle of the present invention will be described based on its preferred embodiments with reference to FIGS.
As shown in FIG. 1, the slit nozzle 1 of the present embodiment includes a laminated body 20 composed of a pair of vertically long first intermediate member 2 and second intermediate member 3 and a first member 4 on the first intermediate member 2 side. It is integrated with the second member 5 on the second intermediate member 3 side. Specifically, the slit nozzle 1 is integrally formed by sandwiching the laminate 20 between the first member 4 from the first intermediate member 2 side and the second member 5 from the second intermediate member 3 side. More specifically, the slit nozzle 1 is formed by superimposing the first intermediate member 2, the second intermediate member 3, the first member 4, and the second member 5 that are four plate-like bodies. . The Y direction in the figure is the same as the longitudinal direction of the vertically long first intermediate member 2 and the second intermediate member 3, and the X direction in the figure is the same as the short direction perpendicular to the longitudinal direction (Y direction). Direction. The Z direction in the figure is the thickness direction.

第1中間部材2は、図2に示すように、第2中間部材3に対向する面側から平面視して、Y方向に長い矩形状であり、Z方向に断面視して、先端部21を有する台形状に形成されている。先端部21は、第1部材4に対向する面側から第2中間部材3に対向する面側に向けて平滑に傾斜する傾斜面22を有している。傾斜面22と、第2中間部材3に対向する面とのなす角θ1(図1参照)は、広範囲への均一噴霧とノズル先端部の強度、ノズルへの噴霧液付着の観点から、15°以上であり、好ましくは20°以上、更に好ましくは22.5°以上である。そして、75°以下であり、好ましくは60°以下、更に好ましくは45°以下である。より具体的には、15°以上75°以下であり、好ましくは20°以上60°以下、更に好ましくは22.5°以上45°以下である。   As shown in FIG. 2, the first intermediate member 2 has a rectangular shape that is long in the Y direction when viewed from the surface facing the second intermediate member 3, and has a distal end portion 21 as viewed in cross section in the Z direction. It is formed in the trapezoid shape which has. The distal end portion 21 has an inclined surface 22 that smoothly inclines from the surface side facing the first member 4 toward the surface side facing the second intermediate member 3. The angle θ1 (see FIG. 1) formed by the inclined surface 22 and the surface facing the second intermediate member 3 is 15 ° from the viewpoint of uniform spraying over a wide area, the strength of the nozzle tip, and adhesion of the spray liquid to the nozzle. It is above, Preferably it is 20 degrees or more, More preferably, it is 22.5 degrees or more. And it is 75 degrees or less, Preferably it is 60 degrees or less, More preferably, it is 45 degrees or less. More specifically, the angle is 15 ° to 75 °, preferably 20 ° to 60 °, and more preferably 22.5 ° to 45 °.

第1中間部材2は、スリットノズル1においては、第2中間部材3に対向する面、及び第1部材4に対向する面それぞれが平面に形成されており、図1,図2に示すように、先端部21を除く外周に沿って、厚み方向(Z方向)に貫通する貫通孔23が複数形成されている。貫通孔23は、長手方向(Y方向)に沿う非先端部側の辺に沿って、長手方向(Y方向)に間隔を空けて複数形成されており、長手方向(Y方向)の両端部それぞれに、X方向に間隔を空けて複数形成されている。各貫通孔23は、スリットノズル1においては、Y方向に長い円形扁平型形状に形成されている。また、後述する第2中間部材3の各隆起部342aと略一致する位置の裏側(第2中間部材3に対向する面の裏側)には貫通しないボルト用締め付け穴25が形成されており、その内面には螺旋状にネジ切りされている。また、第1中間部材2は、図1,図2に示すように、長手方向(Y方向)に沿う非先端部側の端部の中央に位置する部分に、厚み方向(Z方向)に貫通する液体を供給する円形状の液体供給口24が形成されている。   In the slit nozzle 1, the first intermediate member 2 has a plane facing the second intermediate member 3 and a plane facing the first member 4, as shown in FIGS. 1 and 2. A plurality of through holes 23 penetrating in the thickness direction (Z direction) are formed along the outer periphery excluding the tip 21. A plurality of through holes 23 are formed at intervals in the longitudinal direction (Y direction) along the side on the non-tip end side along the longitudinal direction (Y direction), and both end portions in the longitudinal direction (Y direction) respectively. In addition, a plurality are formed at intervals in the X direction. In the slit nozzle 1, each through-hole 23 is formed in a circular flat shape that is long in the Y direction. Further, a bolt tightening hole 25 that does not penetrate is formed on the back side (the back side of the surface facing the second intermediate member 3) at a position substantially coincident with each raised portion 342 a of the second intermediate member 3 described later, The inner surface is threaded in a spiral. As shown in FIGS. 1 and 2, the first intermediate member 2 penetrates in the thickness direction (Z direction) at the center of the end portion on the non-tip end side along the longitudinal direction (Y direction). A circular liquid supply port 24 for supplying the liquid to be formed is formed.

第2中間部材3は、図3に示すように、第1中間部材2に対向する面側から平面視して、Y方向に長い矩形状であり、Z方向に断面視して、先端部31を有する台形状に形成されている。スリットノズル1においては、第2中間部材3の第1中間部材2に対向する面側から平面視した外形の輪郭と、第1中間部材2の第2中間部材3に対向する面側から平面視した外形の輪郭とが一致している。先端部31は、第2部材5に対向する面側から第1中間部材2に対向する面側に向けて平滑に傾斜する傾斜面32を有している。傾斜面32と、第1中間部材2に対向する面とのなす角θ2(図1参照)は、広範囲への均一噴霧とノズル先端部の強度、ノズルへの噴霧液付着の観点から、15°以上であり、好ましくは20°以上、更に好ましくは22.5°以上である。そして、75°以下であり、好ましくは60°以下、更に好ましくは45°以下である。より具体的には、15°以上75°以下であり、好ましくは20°以上60°以下、更に好ましくは22.5°以上45°以下である。スリットノズル1においては、なす角θ2はなす角θ1と同じに形成されている。   As shown in FIG. 3, the second intermediate member 3 has a rectangular shape that is long in the Y direction when viewed from the side facing the first intermediate member 2, and has a distal end portion 31 as viewed in cross section in the Z direction. It is formed in the trapezoid shape which has. In the slit nozzle 1, the outline of the outer shape of the second intermediate member 3 viewed in plan from the surface facing the first intermediate member 2 and the plan view from the surface of the first intermediate member 2 facing the second intermediate member 3. The contour of the contour is the same. The distal end portion 31 has an inclined surface 32 that smoothly inclines from the surface side facing the second member 5 toward the surface side facing the first intermediate member 2. The angle θ2 (see FIG. 1) formed by the inclined surface 32 and the surface facing the first intermediate member 2 is 15 ° from the viewpoint of uniform spraying over a wide range, the strength of the nozzle tip, and adhesion of the spray liquid to the nozzle. It is above, Preferably it is 20 degrees or more, More preferably, it is 22.5 degrees or more. And it is 75 degrees or less, Preferably it is 60 degrees or less, More preferably, it is 45 degrees or less. More specifically, the angle is 15 ° to 75 °, preferably 20 ° to 60 °, and more preferably 22.5 ° to 45 °. In the slit nozzle 1, the formed angle θ2 is formed to be the same as the formed angle θ1.

第2中間部材3は、スリットノズル1においては、第2部材5に対向する面が平面に形成されており、第1中間部材2に対向する面の中央領域から先端部31に亘って第2部材5側に凹んだ凹部34が形成されている。このように、第1中間部材2に対向する面は、凹部34を有し、凹部34を除く領域が平面に形成されている。第2中間部材3は、第1中間部材2と同様に、図1,図3に示すように、先端部31を除く外周に沿って、厚み方向(Z方向)に貫通するボルト締め用の貫通孔33が複数形成されている。貫通孔33は第1中間部材2の貫通孔23と略一致する位置に、複数形成されている。各貫通孔33の形状は、スリットノズル1においては、貫通孔23の形状とは異なり、真円形状に形成されている。   In the slit nozzle 1, the second intermediate member 3 has a flat surface facing the second member 5, and the second intermediate member 3 extends from the central region of the surface facing the first intermediate member 2 to the tip 31. A recessed portion 34 that is recessed toward the member 5 is formed. Thus, the surface facing the first intermediate member 2 has the recess 34, and the region excluding the recess 34 is formed as a flat surface. As shown in FIGS. 1 and 3, the second intermediate member 3 is penetrated in the thickness direction (Z direction) along the outer periphery excluding the front end portion 31 as in the first intermediate member 2. A plurality of holes 33 are formed. A plurality of through holes 33 are formed at positions substantially coincident with the through holes 23 of the first intermediate member 2. The shape of each through-hole 33 is different from the shape of the through-hole 23 in the slit nozzle 1 and is formed in a perfect circle shape.

第2中間部材3の凹部34は、図1,図3に示すように、第1中間部材2の液体供給口24に対応する位置から先端部31に向かって、段階的に底の深さが浅くなるように、第1深底凹部341、第2深底凹部342、第3深底凹部343を連続して有しており、そして底の深さが極めて浅い浅底凹部344を連続して有している。第1深底凹部341は、凹部34の中で最も深く、第1中間部材2に対向する面側から平面視して、T字形状に形成されている。T字形状の横棒部分341aは、長手方向(Y方向)に平行に延在しており、T字形状の縦棒部分341bは、第1中間部材2の液体供給口24に対応する位置に形成されている。第2深底凹部342は、第1中間部材2に対向する面側から平面視して、長手方向(Y方向)に平行に延在している。第1深底凹部341は、その底面が平滑に形成されている。また、スリットノズル1においては、第2深底凹部342には、その底面から第1中間部材2に向かって隆起する円柱状の隆起部342aが形成されている。隆起部342aは、長手方向(Y方向)に間隔を空けて複数形成されている。各隆起部342aは、第2深底凹部342の底面から、第2中間部材3における凹部34を除く領域の高さと一致する高さまで隆起している。各隆起部342aの内部には裏側(第2部材5に対向する面側)から窪んだ貫通しないボルト用締め付け孔35が形成されており、その内面には螺旋状にネジ切りされている。第3深底凹部343は、第1中間部材2に対向する面側から平面視して、長手方向(Y方向)に平行に延在しており、第1深底凹部341及び第2深底凹部342の深さに比べて、浅く形成されている。第3深底凹部343は、その底面が平滑に形成されている。   As shown in FIGS. 1 and 3, the concave portion 34 of the second intermediate member 3 has a bottom depth that gradually increases from a position corresponding to the liquid supply port 24 of the first intermediate member 2 toward the distal end portion 31. The first deep bottom concave portion 341, the second deep bottom concave portion 342, and the third deep bottom concave portion 343 are continuously provided so as to be shallow, and the shallow concave portion 344 having a very shallow bottom is continuously provided. Have. The first deep bottom concave portion 341 is deepest in the concave portion 34 and is formed in a T shape in plan view from the surface facing the first intermediate member 2. The T-shaped horizontal bar portion 341 a extends in parallel with the longitudinal direction (Y direction), and the T-shaped vertical bar portion 341 b is located at a position corresponding to the liquid supply port 24 of the first intermediate member 2. Is formed. The second deep bottom recess 342 extends in parallel to the longitudinal direction (Y direction) when viewed from the surface facing the first intermediate member 2. The first deep bottom recess 341 has a smooth bottom surface. In the slit nozzle 1, the second deep bottom recess 342 is formed with a columnar raised portion 342 a that rises from the bottom surface toward the first intermediate member 2. A plurality of raised portions 342a are formed at intervals in the longitudinal direction (Y direction). Each raised portion 342a is raised from the bottom surface of the second deep bottom concave portion 342 to a height that coincides with the height of the second intermediate member 3 excluding the concave portion 34. A bolt tightening hole 35 that does not penetrate from the back side (the surface facing the second member 5) is formed inside each raised portion 342a, and the inner surface is threaded in a spiral manner. The third deep bottom recess 343 extends in parallel to the longitudinal direction (Y direction) in a plan view from the surface facing the first intermediate member 2, and includes the first deep bottom recess 341 and the second deep bottom. It is formed shallower than the depth of the recess 342. The third deep bottom recess 343 has a smooth bottom surface.

第2中間部材3の浅底凹部344は、図1,図3に示すように、第1中間部材2に対向する面側から平面視して、長手方向(Y方向)に平行に延在しており、凹部34の中で最も浅く形成されている。浅底凹部344は、図1,図6に示すように、先端部31の一部に形成されている。浅底凹部344は、その底面が平滑に形成されている。   As shown in FIGS. 1 and 3, the shallow concave portion 344 of the second intermediate member 3 extends in parallel with the longitudinal direction (Y direction) when viewed from the surface facing the first intermediate member 2. It is the shallowest of the recesses 34. As shown in FIGS. 1 and 6, the shallow bottom recess 344 is formed in a part of the tip 31. The shallow bottom recess 344 has a smooth bottom surface.

スリットノズル1は、図6に示すように、その先端部11においては、第1中間部材2と第2中間部材3との隙間に液体流路12が形成されている。具体的に説明すると、第1中間部材2と第2中間部材3とを重ね合わせた積層体20には、第1中間部材2における第2中間部材3に対向する平面と、第2中間部材3の第1深底凹部341、第2深底凹部342及び第3深底凹部343とが組み合わされてなる液体溜室6が形成されるようになる。そして、積層体20の先端部には、第1中間部材2における第2中間部材3に対向する平面と、第2中間部材3の浅底凹部344とが組み合わされてなるスリット状の液体流路12が形成されるようになる。図6に示すように、液体溜室6は第1中間部材2の液体供給口24に連通して形成されており、液体流路12は液体溜室6に連通して形成されている。尚、第1中間部材2の液体供給口24は、図6に示すように、後述する第1部材4の液体導入口45に液体供給路46を介して連通するようになる。   As shown in FIG. 6, the slit nozzle 1 has a liquid flow path 12 formed in the gap between the first intermediate member 2 and the second intermediate member 3 at the tip portion 11. More specifically, the laminated body 20 in which the first intermediate member 2 and the second intermediate member 3 are superposed on each other includes a plane facing the second intermediate member 3 in the first intermediate member 2, and the second intermediate member 3. The liquid reservoir 6 is formed by combining the first deep bottom recess 341, the second deep bottom recess 342, and the third deep bottom recess 343. A slit-like liquid flow path formed by combining the flat surface of the first intermediate member 2 facing the second intermediate member 3 and the shallow concave portion 344 of the second intermediate member 3 at the tip of the stacked body 20. 12 is formed. As shown in FIG. 6, the liquid reservoir 6 is formed in communication with the liquid supply port 24 of the first intermediate member 2, and the liquid flow path 12 is formed in communication with the liquid reservoir 6. As shown in FIG. 6, the liquid supply port 24 of the first intermediate member 2 communicates with a liquid introduction port 45 of the first member 4 to be described later via a liquid supply path 46.

第1部材4は、図4に示すように、第1中間部材2に対向する面側から平面視して、Y方向に長い矩形状であり、Z方向に断面視して、積層体20の先端部(第1中間部材2の先端部21)を覆い、液体流路12に向かって尖鋭な尖鋭部41を備えている。尖鋭部41は、第1中間部材2の先端部21の傾斜面22に対応して均一に傾斜する傾斜面42を有している。傾斜面42と平面部444が形成する角度θ3(図1参照)は、広範囲への均一噴霧とノズル先端部の強度、ノズルへの噴霧液付着の観点から、105°以上、好ましくは120°以上、更に好ましくは135°以上である。そして、165°以下、好ましくは160°以下、更に好ましくは157.5°以下である。より具体的には、105°以上165°以下であり、好ましくは120°以上160°以下、更に好ましくは135°以上157.5°以下であることが好ましい。スリットノズル1においては、傾斜角度θ3(図1参照)は、180°から第1中間部材2のなす角θ1(図1参照)を減算した角度と同じに形成されている。   As shown in FIG. 4, the first member 4 has a rectangular shape that is long in the Y direction when viewed from the surface facing the first intermediate member 2, and is a cross-sectional view in the Z direction. The tip portion (tip portion 21 of the first intermediate member 2) is covered, and a sharp portion 41 that is sharp toward the liquid flow path 12 is provided. The sharpened portion 41 has an inclined surface 42 that uniformly inclines corresponding to the inclined surface 22 of the distal end portion 21 of the first intermediate member 2. The angle θ3 (see FIG. 1) formed by the inclined surface 42 and the flat surface portion 444 is 105 ° or more, preferably 120 ° or more, from the viewpoint of uniform spraying over a wide range, the strength of the nozzle tip, and the spray liquid adhesion to the nozzle More preferably, it is 135 ° or more. And it is 165 degrees or less, Preferably it is 160 degrees or less, More preferably, it is 157.5 degrees or less. More specifically, it is 105 ° to 165 °, preferably 120 ° to 160 °, more preferably 135 ° to 157.5 °. In the slit nozzle 1, the inclination angle θ3 (see FIG. 1) is formed to be the same as the angle obtained by subtracting the angle θ1 (see FIG. 1) formed by the first intermediate member 2 from 180 °.

第1部材4は、スリットノズル1においては、外面(第1中間部材2に非対向な面)が平面に形成されており、第1中間部材2に対向する面の中央領域に、外面側に凹んだ凹部44が形成されている。即ち、第1中間部材2に対向する面は、凹部44を有し、凹部44を除く領域が平面に形成されている。第1部材4は、第1中間部材2と同様に、図1,図4に示すように、尖鋭部41を除く外周に沿って、厚み方向(Z方向)に貫通するボルト締め用の貫通孔43が複数形成されている。貫通孔43は第1中間部材2の貫通孔23と一致する位置に、複数形成されている。各貫通孔43の形状は、スリットノズル1においては、貫通孔23の形状と同じく、Y方向に長い円形扁平型形状に形成されている。   In the slit nozzle 1, the first member 4 has an outer surface (a surface that is not opposed to the first intermediate member 2) formed in a flat surface, and in the central region of the surface that faces the first intermediate member 2, on the outer surface side. A recessed portion 44 is formed. That is, the surface facing the first intermediate member 2 has a recess 44, and a region excluding the recess 44 is formed as a flat surface. As shown in FIGS. 1 and 4, the first member 4 is a through hole for bolt tightening that penetrates in the thickness direction (Z direction) along the outer periphery excluding the sharp portion 41, as in the first intermediate member 2. A plurality of 43 are formed. A plurality of through holes 43 are formed at positions corresponding to the through holes 23 of the first intermediate member 2. The shape of each through-hole 43 is formed in a circular flat shape that is long in the Y direction in the slit nozzle 1, similarly to the shape of the through-hole 23.

第1部材4は、図1に示すように、背面(尖鋭部41側と反対側の面)に、円形状の液体導入口45が形成されており、液体導入口45に連通する液体供給路46が、図6に示すように、逆L字状に屈曲して、図4に示すように、第1中間部材2に対向する面に貫通して形成されている。この液体供給路46は、第1中間部材2の液体供給口24と連通するようになる。第1中間部材2に対向する面に形成される液体供給路46の出口は、図4に示すように、長手方向(Y方向)に沿う非尖鋭部側の側部の中央に位置する部分に形成されている。   As shown in FIG. 1, the first member 4 has a circular liquid introduction port 45 formed on the back surface (a surface opposite to the sharpened portion 41 side), and a liquid supply path communicating with the liquid introduction port 45. As shown in FIG. 6, 46 is bent into an inverted L shape and is formed so as to penetrate through the surface facing the first intermediate member 2 as shown in FIG. 4. The liquid supply path 46 communicates with the liquid supply port 24 of the first intermediate member 2. As shown in FIG. 4, the outlet of the liquid supply passage 46 formed on the surface facing the first intermediate member 2 is located at the center of the side portion on the non-sharp side along the longitudinal direction (Y direction). Is formed.

第1部材4の凹部44は、図1,図4に示すように、液体供給路46の出口に対応する位置から尖鋭部41に向かって、凹みの深さが最も深い第1凹部441と、凹みの深さが最も浅い第2凹部442と、凹みの深さが深い第3凹部443を連続して有している。第1凹部441は、その底面が平滑に形成されており、第1中間部材2に対向する面側から平面視して、長手方向(Y方向)に平行に延在している。第1凹部441の底面には、図4に示すように、長手方向(Y方向)の中央に位置する部分に、外面(第1中間部材2に非対向な面)に貫通する円形状の気体導入口47が形成されている。また、第2凹部442は、第1中間部材2に対向する面側から平面視して、長手方向(Y方向)に平行に延在している。第2凹部442の底面から第1中間部材2に向かって隆起する円柱状の隆起部442aが形成されている。隆起部442aは、長手方向(Y方向)に間隔を空けて複数形成されている。各隆起部442aは、第2凹部442の底面から、平面部444の高さと一致する高さまで隆起している。スリットノズル1においては、各隆起部442aには、外面(第1中間部材2に非対向な面)に貫通するボルト用貫通孔48が複数形成されている。ボルト用貫通孔48は、第1中間部材2のボルト用締め付け孔25と略一致する位置に形成されている。第3凹部443は、第1中間部材2に対向する面側から平面視して、長手方向(Y方向)に平行に延在しており、第1凹部441の深さに比べて、浅く形成されている。第3凹部443は、その底面が平滑に形成されている。   As shown in FIGS. 1 and 4, the concave portion 44 of the first member 4 includes a first concave portion 441 having a deepest concave portion from the position corresponding to the outlet of the liquid supply path 46 toward the sharpened portion 41, A second recess 442 having the shallowest recess and a third recess 443 having a deep recess are continuously provided. The bottom surface of the first recess 441 is formed smoothly, and extends in parallel with the longitudinal direction (Y direction) when seen in a plan view from the side facing the first intermediate member 2. On the bottom surface of the first recess 441, as shown in FIG. 4, a circular gas penetrating the outer surface (a surface not facing the first intermediate member 2) in a portion located in the center in the longitudinal direction (Y direction). An introduction port 47 is formed. Further, the second recess 442 extends in parallel to the longitudinal direction (Y direction) when seen in a plan view from the side facing the first intermediate member 2. A columnar raised portion 442 a that rises from the bottom surface of the second recess 442 toward the first intermediate member 2 is formed. A plurality of raised portions 442a are formed at intervals in the longitudinal direction (Y direction). Each raised portion 442 a is raised from the bottom surface of the second recess 442 to a height that matches the height of the flat portion 444. In the slit nozzle 1, a plurality of bolt through holes 48 penetrating the outer surface (surface not facing the first intermediate member 2) are formed in each raised portion 442 a. The bolt through hole 48 is formed at a position substantially coincident with the bolt fastening hole 25 of the first intermediate member 2. The third recess 443 extends in parallel to the longitudinal direction (Y direction) in plan view from the surface facing the first intermediate member 2 and is formed shallower than the depth of the first recess 441. Has been. The bottom surface of the third recess 443 is formed smoothly.

第1部材4の尖鋭部41の傾斜面42には、図4に示すように、凹部44から尖鋭部41の先端に亘ってX方向に平行な溝部421が形成されている。溝部421は、長手方向(Y方向)に間隔を空けて複数形成されている。   On the inclined surface 42 of the sharp part 41 of the first member 4, a groove part 421 parallel to the X direction is formed from the concave part 44 to the tip of the sharp part 41 as shown in FIG. 4. A plurality of groove portions 421 are formed at intervals in the longitudinal direction (Y direction).

第2部材5は、図5に示すように、第2中間部材3に対向する面側から平面視して、Y方向に長い矩形状であり、Z方向に断面視して、積層体20の先端部(第2中間部材3の先端部31)を覆い、液体流路12に向かって尖鋭な尖鋭部51を備えている。スリットノズル1においては、第2部材5の第2中間部材3に対向する面側から平面視した外形の輪郭と、第1部材4の第1中間部材2に対向する面側から平面視した外形の輪郭とが一致している。尖鋭部51は、第2中間部材3の先端部31の傾斜面32に対応して均一に傾斜する傾斜面52を有している。傾斜面52と平面部544が形成する角度θ4(図1参照)は、広範囲への均一噴霧とノズル先端部の強度、ノズルへの噴霧液付着の観点から、105°以上、好ましくは120°以上、更に好ましくは135°以上である。そして、165°以下、好ましくは160°以下、更に好ましくは157.5°以下である。より具体的には、105°以上165°以下であり、好ましくは120°以上160°以下、更に好ましくは135°以上157.5°以下であることが好ましい。スリットノズル1においては、傾斜角度θ4(図1参照)は、180°から第2中間部材3のなす角θ2(図1参照)を減算した角度と同じに形成されている。   As shown in FIG. 5, the second member 5 is a rectangular shape that is long in the Y direction in a plan view from the side facing the second intermediate member 3, and is a cross-sectional view in the Z direction. The tip portion (tip portion 31 of the second intermediate member 3) is covered, and a sharp portion 51 that is sharp toward the liquid flow path 12 is provided. In the slit nozzle 1, the outline of the second member 5 in plan view from the surface facing the second intermediate member 3 and the outer shape of the first member 4 in plan view from the surface facing the first intermediate member 2. Is consistent with the outline. The sharpened portion 51 has an inclined surface 52 that uniformly inclines corresponding to the inclined surface 32 of the distal end portion 31 of the second intermediate member 3. The angle θ4 (see FIG. 1) formed by the inclined surface 52 and the flat surface portion 544 is 105 ° or more, preferably 120 ° or more, from the viewpoint of uniform spraying over a wide range, the strength of the nozzle tip, and adhesion of the spray liquid to the nozzle. More preferably, it is 135 ° or more. And it is 165 degrees or less, Preferably it is 160 degrees or less, More preferably, it is 157.5 degrees or less. More specifically, it is 105 ° to 165 °, preferably 120 ° to 160 °, more preferably 135 ° to 157.5 °. In the slit nozzle 1, the inclination angle θ4 (see FIG. 1) is formed to be the same as the angle obtained by subtracting the angle θ2 (see FIG. 1) formed by the second intermediate member 3 from 180 °.

第2部材5は、スリットノズル1においては、外面(第2中間部材3に非対向な面)が平面に形成されており、第2中間部材3に対向する面の中央領域に、外面側に凹んだ凹部54が形成されている。即ち、第2中間部材3に対向する面は、凹部54を有し、凹部54を除く領域が平面に形成されている。第2部材5は、第2中間部材3と同様に、図1,図5に示すように、尖鋭部51を除く外周に沿って、厚み方向(Z方向)に貫通するボルト締め用の貫通孔53が複数形成されている。貫通孔53は第2中間部材3の貫通孔33と一致する位置に、複数形成されている。各貫通孔53の形状は、スリットノズル1においては、貫通孔33の形状と同じく、真円形状に形成されている。   In the slit nozzle 1, the second member 5 has an outer surface (a surface that is not opposed to the second intermediate member 3) formed in a flat surface, and in the central region of the surface that faces the second intermediate member 3, on the outer surface side. A recessed portion 54 is formed. That is, the surface facing the second intermediate member 3 has a recess 54, and a region excluding the recess 54 is formed as a flat surface. As in the second intermediate member 3, the second member 5 is a bolt-tightening through-hole that penetrates in the thickness direction (Z direction) along the outer periphery excluding the sharp portion 51, as shown in FIGS. 1 and 5. A plurality of 53 are formed. A plurality of through holes 53 are formed at positions corresponding to the through holes 33 of the second intermediate member 3. The shape of each through-hole 53 is formed in a perfect circle shape in the slit nozzle 1 like the shape of the through-hole 33.

第2部材5の凹部54は、図1,図5に示すように、尖鋭部51に向かって、凹みの深さが最も深い第1凹部541と、凹みの深さが最も浅い第2凹部542と、凹みの深さが深い第3凹部543を連続して有している。第2部材5の第1凹部541、第2凹部542及び第3凹部543は、それぞれ、図6に示すように、第1部材4の第1凹部441、第2凹部442及び第3凹部443それぞれの形成位置に対応して設けられている。第1凹部541は、その底面が平滑に形成されており、第2中間部材3に対向する面側から平面視して、長手方向(Y方向)に平行に延在している。第1凹部541の底面には、図5に示すように、長手方向(Y方向)の中央に位置する部分に、外面(第2中間部材3に非対向な面)に貫通する円形状の気体導入口57が形成されている。また、第2凹部542は、その底面が平滑に形成されており、第2中間部材3に対向する面側から平面視して、長手方向(Y方向)に平行に延在している。その底面から第2中間部材3に向かって隆起する円柱状の隆起部542aが形成されている。隆起部542aは、長手方向(Y方向)に間隔を空けて複数形成されている。各隆起部542aは、第2凹部542の底面から、平面部544の高さと一致する高さまで隆起している。スリットノズル1においては、各隆起部542aには、その底面に外面(第2中間部材3に非対向な面)に貫通するボルト用貫通孔58が複数形成されている。ボルト用貫通孔58は、第2中間部材3のボルト用締め付け孔35と略一致する位置に形成されている。第3凹部543は、第2中間部材3に対向する面側から平面視して、長手方向(Y方向)に平行に延在しており、第1凹部541の深さに比べて、浅く形成されている。第3凹部543は、その底面が平滑に形成されている。   As shown in FIGS. 1 and 5, the concave portion 54 of the second member 5 has a first concave portion 541 having the deepest concave portion and a second concave portion 542 having the shallowest concave portion toward the sharpened portion 51. And a third recess 543 having a deep recess is continuously provided. As shown in FIG. 6, the first recess 541, the second recess 542, and the third recess 543 of the second member 5 are respectively the first recess 441, the second recess 442, and the third recess 443 of the first member 4. It is provided corresponding to the formation position. The bottom surface of the first recess 541 is formed smoothly, and extends in parallel to the longitudinal direction (Y direction) when seen in a plan view from the side facing the second intermediate member 3. On the bottom surface of the first recess 541, as shown in FIG. 5, a circular gas penetrating the outer surface (a surface not facing the second intermediate member 3) in a portion located in the center of the longitudinal direction (Y direction). An introduction port 57 is formed. Further, the bottom surface of the second recess 542 is formed smoothly, and extends in parallel with the longitudinal direction (Y direction) when seen in a plan view from the surface facing the second intermediate member 3. A columnar raised portion 542a that protrudes from the bottom surface toward the second intermediate member 3 is formed. A plurality of raised portions 542a are formed at intervals in the longitudinal direction (Y direction). Each raised portion 542 a is raised from the bottom surface of the second recess 542 to a height that matches the height of the flat portion 544. In the slit nozzle 1, each raised portion 542 a is formed with a plurality of bolt through holes 58 penetrating the outer surface (surface not facing the second intermediate member 3) on the bottom surface. The bolt through hole 58 is formed at a position substantially coincident with the bolt fastening hole 35 of the second intermediate member 3. The third recess 543 extends in parallel with the longitudinal direction (Y direction) in a plan view from the side facing the second intermediate member 3 and is shallower than the depth of the first recess 541. Has been. The bottom surface of the third recess 543 is formed smoothly.

第2部材5の尖鋭部51の傾斜面52には、図5に示すように、凹部54から尖鋭部51の先端に亘ってX方向に平行な溝部521が形成されている。溝部521は、長手方向(Y方向)に間隔を空けて複数形成されている。   As shown in FIG. 5, a groove 521 parallel to the X direction is formed on the inclined surface 52 of the sharp portion 51 of the second member 5 from the concave portion 54 to the tip of the sharp portion 51. A plurality of groove portions 521 are formed at intervals in the longitudinal direction (Y direction).

スリットノズル1は、上述したように、その先端部11においては、第1中間部材2と第2中間部材3との隙間に液体流路12が形成されており、また、図6に示すように、第1部材4と第1中間部材2との隙間に第1気体流路13が形成され、第2部材5と第2中間部材3との隙間に第2気体流路14が形成されている。具体的に説明すると、スリットノズル1は、図1に示すように、第1部材4と第1中間部材2とを重ね合わせ、それを、第2部材5と第2中間部材3とを重ね合わせたものに重ね合わせ、複数の貫通口43,23,33,53にボルト(不図示)を通して、該ボルト(不図示)とナット(不図示)によりボルト締めすることにより一体化して形成される。スリットノズル1には、第1中間部材2における第1部材4に対向する平面と、第1部材4の第1凹部441、第2凹部442及び第3凹部443とがそれぞれ組み合わされて、上流側から先端部に向かって、第1気体溜部71、気体流路72及び第2気体溜部73が形成されるようになる。そして、スリットノズル1の先端部には、第1中間部材2における先端部21の傾斜面22と、第1部材4の尖鋭部41における傾斜面42の複数の溝部421とが組み合わされてスリット状の複数の第1気体流路13が形成されるようになる。図6に示すように、第1気体溜部71は第1部材4の気体導入口47に連通して形成されており、第2気体溜部73は、第2気体溜部73及び第1気体溜部71の間隔よりも狭い気体流路72を介して第1気体溜部71と連通しており、複数の第1気体流路13は第2気体溜部73に連通して形成されている。   As described above, the slit nozzle 1 has the liquid flow path 12 formed in the gap between the first intermediate member 2 and the second intermediate member 3 at the tip portion 11, and as shown in FIG. The first gas flow path 13 is formed in the gap between the first member 4 and the first intermediate member 2, and the second gas flow path 14 is formed in the gap between the second member 5 and the second intermediate member 3. . Specifically, as shown in FIG. 1, the slit nozzle 1 overlaps the first member 4 and the first intermediate member 2, and overlaps the second member 5 and the second intermediate member 3. The bolts are overlapped with each other, and bolts (not shown) are passed through the plurality of through holes 43, 23, 33, 53, and bolted with the bolts (not shown) and nuts (not shown). In the slit nozzle 1, the plane facing the first member 4 in the first intermediate member 2 and the first concave portion 441, the second concave portion 442, and the third concave portion 443 of the first member 4 are combined, and the upstream side The first gas reservoir 71, the gas flow path 72, and the second gas reservoir 73 are formed from the tip toward the tip. The slit nozzle 1 is combined with the inclined surface 22 of the distal end portion 21 of the first intermediate member 2 and the plurality of groove portions 421 of the inclined surface 42 of the sharpened portion 41 of the first member 4 in the slit shape. A plurality of first gas flow paths 13 are formed. As shown in FIG. 6, the first gas reservoir 71 is formed to communicate with the gas inlet 47 of the first member 4, and the second gas reservoir 73 includes the second gas reservoir 73 and the first gas. The first gas reservoir 71 communicates with the first gas reservoir 71 through a gas channel 72 narrower than the interval between the reservoirs 71, and the plurality of first gas channels 13 are formed to communicate with the second gas reservoir 73. .

また、図1に示すように、ボルト(不図示)とナット(不図示)によりボルト締めすることにより一体化して形成されるスリットノズル1には、第2中間部材3における第2部材5に対向する平面と、第2部材5の第1凹部541、第2凹部542及び第3凹部543とがそれぞれ組み合わされて、上流側から先端部に向かって、第1気体溜部81、気体流路82及び第2気体溜部83が形成されるようになる。そして、スリットノズル1の先端部には、第2中間部材3における先端部31の傾斜面32と、第2部材5の尖鋭部51における傾斜面52の複数の溝部521とが組み合わされてスリット状の複数の第2気体流路14が形成されるようになる。図6に示すように、第1気体溜部81は第2部材5の気体導入口57に連通して形成されており、第2気体溜部83は、第2気体溜部83及び第1気体溜部81の間隔よりも狭い気体流路82を介して第1気体溜部81と連通しており、複数の第2気体流路14は第2気体溜部83に連通して形成されている。第2部材5側に形成される第1気体溜部81、気体流路82及び第2気体溜部83と、第1部材4側に形成される第1気体溜部71、気体流路72及び第2気体溜部73とは、それぞれ、図6に示すように、スリットノズル1の先端部の液体流路12の延出方向に延びる仮想線ILに対して対称に形成されている。   Further, as shown in FIG. 1, the slit nozzle 1 formed integrally by bolting with a bolt (not shown) and a nut (not shown) is opposed to the second member 5 in the second intermediate member 3. The first concave portion 541, the second concave portion 542, and the third concave portion 543 of the second member 5 are combined with each other, and the first gas reservoir 81 and the gas flow path 82 are directed from the upstream side toward the tip portion. And the 2nd gas reservoir 83 comes to be formed. The slit nozzle 1 is combined with the inclined surface 32 of the distal end portion 31 of the second intermediate member 3 and the plurality of groove portions 521 of the inclined surface 52 of the sharpened portion 51 of the second member 5 at the distal end portion of the slit nozzle 1. A plurality of second gas flow paths 14 are formed. As shown in FIG. 6, the first gas reservoir 81 is formed to communicate with the gas inlet 57 of the second member 5, and the second gas reservoir 83 includes the second gas reservoir 83 and the first gas. The first gas reservoir 81 communicates with the first gas reservoir 81 via a gas channel 82 narrower than the interval between the reservoirs 81, and the plurality of second gas channels 14 are formed to communicate with the second gas reservoir 83. . The first gas reservoir 81, the gas flow path 82 and the second gas reservoir 83 formed on the second member 5 side, the first gas reservoir 71, the gas flow path 72 formed on the first member 4 side, and As shown in FIG. 6, each of the second gas reservoirs 73 is formed symmetrically with respect to an imaginary line IL extending in the extending direction of the liquid flow path 12 at the tip of the slit nozzle 1.

以上のように構成されたスリットノズル1について、詳述すると、図7に示すように、スリットノズル1の先端部11を断面視して、液体流路12の延出方向に対し第1気体流路13の延出方向及び第2気体流路14の延出方向が、それぞれ鋭角に交差している。具体的には、第1中間部材2の先端部21がなす角θ1で形成されているので、図7に示すように、液体流路12の延出方向と第1気体流路13の延出方向との交差角度がθ1となって液体流と気体流とが合流するようになっており、第2中間部材3の先端部31がなす角θ2で形成されているので、液体流路12の延出方向と第2気体流路14の延出方向との交差角度がθ2となって液体流と気体流とが合流するようになっている。   The slit nozzle 1 configured as described above will be described in detail. As shown in FIG. 7, the first gas flow in the extending direction of the liquid flow path 12 is shown in a sectional view of the tip portion 11 of the slit nozzle 1. The extending direction of the channel 13 and the extending direction of the second gas channel 14 intersect each other at an acute angle. Specifically, since the first intermediate member 2 is formed at an angle θ1 formed by the distal end portion 21, as shown in FIG. 7, the extending direction of the liquid flow path 12 and the extending of the first gas flow path 13 are provided. The crossing angle with the direction is θ1, so that the liquid flow and the gas flow are merged, and is formed at an angle θ2 formed by the distal end portion 31 of the second intermediate member 3. The crossing angle between the extending direction and the extending direction of the second gas channel 14 is θ2, so that the liquid flow and the gas flow are merged.

また、図8に示すように、スリットノズル1の先端部11を正面視して、液体流路12の噴出口12eは、長手方向(Y方向)に延びており、液体流路12の噴出口12eの両側に沿って、第1気体流路13の噴出口13e及び第2気体流路14の噴出口14eが、それぞれ、長手方向(Y方向)に間隔を空けて複数配され、第1気体流路13の噴出口13eと第2気体流路14の噴出口14eとが交互に配されている。   Further, as shown in FIG. 8, when the front end portion 11 of the slit nozzle 1 is viewed from the front, the ejection port 12 e of the liquid channel 12 extends in the longitudinal direction (Y direction), and the ejection port of the liquid channel 12 A plurality of jet outlets 13e of the first gas channel 13 and jet nozzles 14e of the second gas channel 14 are arranged along the both sides of the first gas channel 13 at intervals in the longitudinal direction (Y direction). The outlet 13e of the flow path 13 and the outlet 14e of the second gas flow path 14 are alternately arranged.

スリットノズル1においては、各第1気体流路13の噴出口13eは、長手方向(Y方向)に長い矩形状に形成されており、各第2気体流路14の噴出口14eも同じく、長手方向(Y方向)に長い矩形状に形成されている。そして、各第1気体流路13の噴出口13eの長手方向(Y方向)の長さと各第2気体流路14の噴出口14eの長手方向(Y方向)の長さとが同じである。各第1気体流路13の噴出口13e(各第2気体流路14の噴出口14e)のY方向の長さは、0.1mm以上、好ましくは0.5mm以上更に好ましくは0.8mm以上である。そして、2mm以下、好ましくは1.5mm以下、更に好ましくは1.2mm以下である。より具体的には、0.1mm以上2mm以下であり、好ましくは0.5mm以上1.5mm以下、更に好ましくは0.8mm以上1.2mm以下であることが好ましい。また、各第1気体流路13の噴出口13e(各第2気体流路14の噴出口14e)の間隔は、0.01mm以上、好ましくは0.03mm以上、そして、1mm以下、好ましくは0.5mm以下、より具体的には、0.01mm以上1mm以下であることが好ましく、0.03mm以上0.5mm以下であることが更に好ましい。   In the slit nozzle 1, the ejection port 13 e of each first gas channel 13 is formed in a rectangular shape that is long in the longitudinal direction (Y direction), and the ejection port 14 e of each second gas channel 14 is also elongated in the same manner. It is formed in a rectangular shape that is long in the direction (Y direction). And the length of the longitudinal direction (Y direction) of the jet nozzle 13e of each 1st gas flow path 13 and the length of the longitudinal direction (Y direction) of the jet nozzle 14e of each 2nd gas flow path 14 are the same. The length in the Y direction of the outlet 13e of each first gas channel 13 (the outlet 14e of each second gas channel 14) is 0.1 mm or more, preferably 0.5 mm or more, more preferably 0.8 mm or more. It is. And it is 2 mm or less, Preferably it is 1.5 mm or less, More preferably, it is 1.2 mm or less. More specifically, it is 0.1 mm or more and 2 mm or less, preferably 0.5 mm or more and 1.5 mm or less, and more preferably 0.8 mm or more and 1.2 mm or less. The interval between the ejection openings 13e of the first gas flow paths 13 (ejection openings 14e of the second gas flow paths 14) is 0.01 mm or more, preferably 0.03 mm or more, and 1 mm or less, preferably 0. 0.5 mm or less, more specifically 0.01 mm or more and 1 mm or less, and more preferably 0.03 mm or more and 0.5 mm or less.

スリットノズル1においては、長手方向(Y方向)に隣り合う第1気体流路13の噴出口13eの間隔と、各第2気体流路14の噴出口14eの長さが一致している。言い換えれば、長手方向(Y方向)に隣り合う第2気体流路14の噴出口14eの間隔と、各第1気体流路13の噴出口13eの長さが一致している。   In the slit nozzle 1, the interval between the ejection ports 13 e of the first gas flow paths 13 adjacent in the longitudinal direction (Y direction) and the length of the ejection openings 14 e of the second gas flow paths 14 are the same. In other words, the interval between the ejection openings 14e of the second gas flow paths 14 adjacent in the longitudinal direction (Y direction) and the length of the ejection openings 13e of the first gas flow paths 13 are the same.

スリットノズル1は、第1部材4と第1中間部材2との隙間に形成された複数の第1気体流路13の噴出口13eの位置と、第2部材5と第2中間部材3との隙間に形成された複数の第2気体流路14の噴出口14eの位置とを、長手方向(Y方向)に調整可能な手段を有している。具体的には、上述したように、第2部材5は真円形状の複数の貫通孔53を有し、第2中間部材3は真円形状の複数の貫通孔33を有しており、各貫通孔53と各貫通孔33とは形成位置と形状が一致している。それに対し、第1部材4はY方向に長い円形扁平型形状の複数の貫通孔43を有し、第1中間部材2はY方向に長い円形扁平型形状の複数の貫通孔23を有しており、各貫通孔43と各貫通孔23とは形成位置と形状が一致している。このように、各貫通孔43と各貫通孔23とは、挿入されたボルト(不図示)がY方向に移動可能となっている。従って、第1部材4と第1中間部材2とを重ね合わせ、それを、第2部材5と第2中間部材3とを重ね合わせたものに重ね合わせ、複数の貫通口43,23,33,53にボルト(不図示)を通して、該ボルト(不図示)とナット(不図示)によりボルト締めすることにより一体化してスリットノズル1を形成する際に、図9に示すように、ボルト(不図示)とナット(不図示)によりボルト締めする位置を調整して、第2部材5と第2中間部材3とを重ね合わせたものに対して、第1部材4と第1中間部材2とを重ね合わせたものをY方向に進退動可能となっている。   The slit nozzle 1 includes the positions of the ejection ports 13e of the plurality of first gas flow paths 13 formed in the gap between the first member 4 and the first intermediate member 2, and the second member 5 and the second intermediate member 3. Means that can adjust the positions of the jet outlets 14e of the plurality of second gas flow paths 14 formed in the gap in the longitudinal direction (Y direction) are provided. Specifically, as described above, the second member 5 has a plurality of perfect circular through holes 53, and the second intermediate member 3 has a plurality of perfect circular through holes 33. The through hole 53 and each through hole 33 have the same formation position and shape. On the other hand, the first member 4 has a plurality of through holes 43 having a circular flat shape that is long in the Y direction, and the first intermediate member 2 has a plurality of through holes 23 having a circular flat shape that is long in the Y direction. The through holes 43 and the through holes 23 have the same formation positions and shapes. Thus, the inserted bolts (not shown) can move in the Y direction between the through holes 43 and the through holes 23. Therefore, the first member 4 and the first intermediate member 2 are overlapped, and the second member 5 and the second intermediate member 3 are overlapped, and a plurality of through holes 43, 23, 33, When the slit nozzle 1 is formed integrally by passing a bolt (not shown) through 53 and tightening the bolt with a bolt (not shown) and a nut (not shown), as shown in FIG. ) And a nut (not shown) to adjust the bolting position, and the first member 4 and the first intermediate member 2 are overlapped with the second member 5 and the second intermediate member 3 overlapped with each other. The combined items can be moved back and forth in the Y direction.

スリットノズル1は、上述したように、第1気体流路13の噴出口13eの位置と第2気体流路14の噴出口14eの位置とを長手方向(Y方向)に調整可能な手段を有しているので、図8に示すように、長手方向(Y方向)に隣り合う第1気体流路13の噴出口13eの間の位置に各第2気体流路14の噴出口14eが配され、長手方向(Y方向)に隣り合う第2気体流路14の噴出口14eの間の位置に各第1気体流路13の噴出口13eが配されるように調整できる。このように複数の第1気体流路13の噴出口13eと複数の第2気体流路14の噴出口14eとを配することにより、スリットノズル1の先端部11を図8に示すように正面視して、複数の第1気体流路13の噴出口13eと複数の第2気体流路14の噴出口14eとの間に隙間が生じず、一直線状に配することができる。   As described above, the slit nozzle 1 has means capable of adjusting the position of the jet outlet 13e of the first gas flow path 13 and the position of the jet outlet 14e of the second gas flow path 14 in the longitudinal direction (Y direction). Therefore, as shown in FIG. 8, the outlets 14e of the second gas passages 14 are arranged at positions between the outlets 13e of the first gas passages 13 adjacent in the longitudinal direction (Y direction). It can be adjusted so that the jet outlets 13e of the first gas passages 13 are arranged at positions between the jet outlets 14e of the second gas passages 14 adjacent in the longitudinal direction (Y direction). In this way, by arranging the outlets 13e of the plurality of first gas passages 13 and the outlets 14e of the plurality of second gas passages 14, the front end portion 11 of the slit nozzle 1 is front as shown in FIG. As seen, no gap is formed between the jet outlets 13e of the plurality of first gas flow paths 13 and the jet outlets 14e of the plurality of second gas flow paths 14, and the first gas flow paths 13 can be arranged in a straight line.

また、上述したように、第1気体流路13の噴出口13eの位置と第2気体流路14の噴出口14eの位置とを長手方向(Y方向)に調整可能な手段を有しているので、図10に示すように、スリットノズル1の先端部11を正面視して、各第1気体流路13の噴出口13eの一方の末端部13e1と各第2気体流路14の噴出口14eの一方の末端部14e1とが重なるように調整できる。このように重なるように調整した場合、スリットノズル1においては、スリットノズル1の先端部11を図9に示すように正面視して、複数の第1気体流路13の噴出口13eの他方の末端部と複数の第2気体流路14の噴出口14eの他方の末端部との間には、隙間が生じるようになる。末端部13e1と末端部14e1との重なり幅Wは、噴霧液滴径の微粒化、広範囲均一噴霧への効果の観点から、気体噴出口(第1気体流路13の噴出口13e又は第2気体流路14の噴出口14e)の長手方向(Y方向)の0%以上、50%以下の長さであることが好ましい。   Further, as described above, there is a means capable of adjusting the position of the jet outlet 13e of the first gas flow path 13 and the position of the jet outlet 14e of the second gas flow path 14 in the longitudinal direction (Y direction). Therefore, as shown in FIG. 10, when the front end portion 11 of the slit nozzle 1 is viewed from the front, one end portion 13 e 1 of the ejection port 13 e of each first gas channel 13 and the ejection port of each second gas channel 14. It can adjust so that one terminal part 14e1 of 14e may overlap. When adjusted to overlap in this way, in the slit nozzle 1, the front end portion 11 of the slit nozzle 1 is viewed from the front as shown in FIG. 9, and the other of the outlets 13 e of the plurality of first gas flow paths 13. A gap is formed between the end portion and the other end portion of the ejection ports 14 e of the plurality of second gas flow paths 14. The overlapping width W between the end portion 13e1 and the end portion 14e1 is determined from the viewpoint of atomization of the spray droplet diameter and the effect on the uniform spray over a wide range (gas outlet (the outlet 13e of the first gas channel 13 or the second gas). The length is preferably 0% or more and 50% or less in the longitudinal direction (Y direction) of the jet outlet 14e) of the flow path 14.

スリットノズル1を構成する第1中間部材2、第2中間部材3、第1部材4及び第2部材5それぞれの材質としては、アルミニウム合金、ステンレス綱、鉄鋼、チタン等の金属のほか、セラミック、耐熱性樹脂等が挙げられ、用途に応じて適宜選択して用いることができる。
スリットノズル1により噴霧する液体としては、用途に応じて様々な液体を用いることができる。スリットノズル1により液体を噴霧する際に用いる気体としては、該液体に応じて様々な気体を用いることができる。
As materials of the first intermediate member 2, the second intermediate member 3, the first member 4 and the second member 5 constituting the slit nozzle 1, in addition to metals such as aluminum alloy, stainless steel, steel and titanium, ceramic, Examples thereof include heat-resistant resins, which can be appropriately selected depending on the application.
As a liquid sprayed by the slit nozzle 1, various liquids can be used according to a use. Various gases can be used as the gas used when the liquid is sprayed by the slit nozzle 1 depending on the liquid.

次に、スリットノズル1の作用を、図6〜図10を参照しながら説明する。
先ず、スリットノズル1の液体導入口45に液体供給管(不図示)を連結し、気体導入口47及び気体導入口57それぞれに気体供給管(不図示)を連結する。
液体導入口45から供給された液体は、図6に示すように、上流側から下流側(先端部11側)に向かって、液体供給路46、液体供給口24、液体溜室6、そして液体流路12の順に流れ液体流路12の噴出口12eから液体が噴出する。
気体導入口47から供給された気体は、図6に示すように、上流側から下流側(先端部11側)に向かって、第1気体溜部71、気体流路72、第2気体溜部73、そして複数の第1気体流路13の順に流れ第1気体流路13の噴出口13eから気体が噴出する。
また、気体導入口57から供給された気体は、図6に示すように、上流側から下流側(先端部11側)に向かって、第1気体溜部81、気体流路82、第2気体溜部83、そして複数の第2気体流路14の順に流れ第2気体流路14の噴出口14eから気体が噴出する。
Next, the operation of the slit nozzle 1 will be described with reference to FIGS.
First, a liquid supply pipe (not shown) is connected to the liquid inlet 45 of the slit nozzle 1, and a gas supply pipe (not shown) is connected to each of the gas inlet 47 and the gas inlet 57.
As shown in FIG. 6, the liquid supplied from the liquid introduction port 45 flows from the upstream side toward the downstream side (front end portion 11 side), the liquid supply path 46, the liquid supply port 24, the liquid reservoir chamber 6, and the liquid The liquid flows in the order of the flow path 12 and the liquid is ejected from the ejection port 12e of the liquid flow path 12.
As shown in FIG. 6, the gas supplied from the gas introduction port 47 flows from the upstream side toward the downstream side (tip portion 11 side), the first gas reservoir 71, the gas flow path 72, and the second gas reservoir. 73 and flows in the order of the plurality of first gas flow paths 13, and gas is ejected from the outlet 13 e of the first gas flow path 13.
Further, as shown in FIG. 6, the gas supplied from the gas introduction port 57 flows from the upstream side toward the downstream side (tip portion 11 side), the first gas reservoir 81, the gas flow path 82, and the second gas. Gas flows in the order of the reservoir 83 and the plurality of second gas passages 14, and then jets out from the outlet 14 e of the second gas passage 14.

スリットノズル1においては、図7に示すように、先端部11を断面視して、液体流路12の延出方向に対し第1気体流路13の延出方向が鋭角(交差角度θ1)に交差しており、さらに、液体流路12の延出方向に対し第2気体流路14の延出方向が鋭角(交差角度θ2)に交差している。また、図8,図10に示すように、先端部11を正面視して、液体流路12の噴出口12eは、長手方向(Y方向)に延びており、噴出口12eの両側に沿って、第1気体流路13の噴出口13e及び第2気体流路14の噴出口14eが、それぞれ、長手方向(Y方向)に間隔を空けて複数配されている。従って、液体流路12の噴出口12eから噴出する液体に対して、その両側部から、第1気体流路13の噴出口13eから噴出する気体及び第2気体流路14の噴出口14eから噴出する気体が衝突するようになっている。また、図8,図10に示すように、先端部11を正面視して、第1気体流路13の噴出口13eと第2気体流路14の噴出口14eとが交互に配されているので、噴出口12eから噴出する液体が噴出口13eから噴出する気体と衝突して液体流路12の延出方向と交差する方向に液体が噴霧されると共に、噴出口12eから噴出する液体が噴出口14eから噴出する気体と衝突して液体流路12の延出方向と交差する方向に液体が噴霧され、広い範囲に均一に液体が噴霧されるようになる。   In the slit nozzle 1, as shown in FIG. 7, when the tip end portion 11 is viewed in cross section, the extending direction of the first gas flow path 13 is an acute angle (intersection angle θ 1) with respect to the extending direction of the liquid flow path 12. Furthermore, the extending direction of the second gas channel 14 intersects the extending direction of the liquid channel 12 at an acute angle (intersecting angle θ2). As shown in FIGS. 8 and 10, the front end portion 11 is viewed from the front, and the jet outlet 12e of the liquid flow path 12 extends in the longitudinal direction (Y direction), along both sides of the jet outlet 12e. A plurality of jet outlets 13e of the first gas channel 13 and jet nozzles 14e of the second gas channel 14 are arranged at intervals in the longitudinal direction (Y direction). Therefore, with respect to the liquid ejected from the ejection port 12e of the liquid channel 12, the gas ejected from the ejection port 13e of the first gas channel 13 and the ejection from the ejection port 14e of the second gas channel 14 from both sides thereof. Gas to collide. Further, as shown in FIGS. 8 and 10, the front end portion 11 is viewed from the front, and the jet outlets 13e of the first gas flow path 13 and the jet outlets 14e of the second gas flow path 14 are alternately arranged. Therefore, the liquid ejected from the ejection port 12e collides with the gas ejected from the ejection port 13e, and the liquid is sprayed in a direction crossing the extending direction of the liquid flow path 12, and the liquid ejected from the ejection port 12e is ejected. The liquid collides with the gas ejected from the outlet 14e and is sprayed in the direction crossing the extending direction of the liquid flow path 12, and the liquid is sprayed uniformly over a wide range.

特に、スリットノズル1においては、図8,図10に示すように、第1気体流路13の噴出口13eの個数と第2気体流路14の噴出口14eの個数とが一致しており、各第1気体流路13の噴出口13e及び各第2気体流路14の噴出口14eは、その形状が同じであり、大きさも同じに形成されている。従って、各噴出口13eから噴出する気体の流速と各噴出口14eから噴出する気体の流速が略同じであり、噴出口12eから噴出する液体に対して、その両側部から、略同じ力で、噴出口13eから噴出する気体及び噴出口14eから噴出する気体がそれぞれ衝突するようになる。よって、液体流路12の延出方向に対して略均等な範囲に液体が広がって均一に噴霧されるようになる。   In particular, in the slit nozzle 1, as shown in FIGS. 8 and 10, the number of the ejection ports 13 e of the first gas channel 13 and the number of the ejection ports 14 e of the second gas channel 14 are the same, The outlet 13e of each first gas channel 13 and the outlet 14e of each second gas channel 14 have the same shape and the same size. Therefore, the flow velocity of the gas ejected from each ejection port 13e and the flow velocity of the gas ejected from each ejection port 14e are substantially the same, and the liquid ejected from the ejection port 12e is substantially the same force from both sides thereof. The gas ejected from the ejection port 13e and the gas ejected from the ejection port 14e collide with each other. Therefore, the liquid spreads in a substantially uniform range with respect to the extending direction of the liquid flow path 12 and is uniformly sprayed.

また、スリットノズル1は、図9に示すように、複数の第1気体流路13の噴出口13eの位置と複数の第2気体流路14の噴出口14eの位置とを、図8,図10に示すように、長手方向(Y方向)に調整可能な手段を有している。このように、末端部13e1と末端部14e1との重なり幅Wを調整できるので、液体を挟み込んで衝突する気体の流量を調整することが可能であり、噴霧条件の変更によって噴霧が2方向に分離した場合にでも均一に液体が噴霧される範囲を調整することができる。   Further, as shown in FIG. 9, the slit nozzle 1 determines the positions of the outlets 13 e of the plurality of first gas passages 13 and the positions of the outlets 14 e of the plurality of second gas passages 14, FIG. As shown in FIG. 10, it has means that can be adjusted in the longitudinal direction (Y direction). As described above, since the overlap width W between the end portion 13e1 and the end portion 14e1 can be adjusted, it is possible to adjust the flow rate of the gas that squeezes the liquid and collides, and the spray is separated in two directions by changing the spray conditions. Even in this case, the range in which the liquid is sprayed uniformly can be adjusted.

本発明のスリットノズルは、上述の実施形態のスリットノズル1に何ら制限されるものではなく、適宜変更可能である。   The slit nozzle of this invention is not restrict | limited to the slit nozzle 1 of the above-mentioned embodiment at all, and can be changed suitably.

例えば、上述の実施形態のスリットノズル1においては、図7に示すように、液体流路12の延出方向と第1気体流路13の延出方向との交差角度θ1が、液体流路12の延出方向と第2気体流路14の延出方向との交差角度θ2と一致しているが、一致していなくてもよい。   For example, in the slit nozzle 1 of the above-described embodiment, as shown in FIG. 7, the intersection angle θ1 between the extending direction of the liquid flow path 12 and the extending direction of the first gas flow path 13 is the liquid flow path 12. Although the crossing angle θ2 between the extending direction of the second gas channel 14 and the extending direction of the second gas flow path 14 coincides, it does not need to coincide.

また、上述の実施形態のスリットノズル1においては、図8,図10に示すように、第1気体流路13の噴出口13eの個数と第2気体流路14の噴出口14eの個数とが一致しているが、一致していなくてもよい。また、各第1気体流路13の噴出口13e及び各第2気体流路14の噴出口14eは、その形状が同じであり、大きさも同じに形成されているが、同じでなくてもよい。   Moreover, in the slit nozzle 1 of the above-mentioned embodiment, as shown in FIG. 8, FIG. 10, the number of the ejection openings 13e of the 1st gas flow path 13 and the number of the ejection openings 14e of the 2nd gas flow path 14 are. It matches, but it does not need to match. Moreover, although the jet outlet 13e of each 1st gas flow path 13 and the jet outlet 14e of each 2nd gas flow path 14 are the same in shape and the magnitude | size is formed, it is not necessary to be the same. .

また、上述の実施形態のスリットノズル1においては、図6に示すように、液体導入口45が第1部材4は背面(尖鋭部41側と反対側の面)に形成されているが、スリットノズル1の大きさに応じて別の場所に形成されていてもよい。   Moreover, in the slit nozzle 1 of the above-mentioned embodiment, as shown in FIG. 6, although the liquid introduction port 45 is formed in the 1st member 4 in the back surface (surface on the opposite side to the sharp part 41 side), it is a slit. Depending on the size of the nozzle 1, it may be formed in another location.

また、上述の実施形態のスリットノズル1においては、図6に示すように、液体溜室6が、第1中間部材2における第2中間部材3に対向する平面と、第2中間部材3の第1深底凹部341、第2深底凹部342及び第3深底凹部343とが組み合わされて形成されているが、第1中間部材2における第2中間部材3に対向する面に凹部を設け、第2中間部材3の第1中間部材2に対向する面を平面として形成してもよく、互いに対向する面それぞれに凹部を設けて形成していてもよい。また、液体溜室6が無くてもよい。   Further, in the slit nozzle 1 of the above-described embodiment, as shown in FIG. 6, the liquid reservoir chamber 6 has a plane facing the second intermediate member 3 in the first intermediate member 2 and the second intermediate member 3. 1 deep bottom concave portion 341, second deep bottom concave portion 342 and third deep bottom concave portion 343 are formed in combination, but the first intermediate member 2 is provided with a concave portion on the surface facing the second intermediate member 3, The surface of the second intermediate member 3 facing the first intermediate member 2 may be formed as a flat surface, or may be formed by providing a recess on each of the surfaces facing each other. Further, the liquid reservoir 6 may be omitted.

また、上述の実施形態のスリットノズル1においては、図6に示すように、第1気体溜部71、気体流路72及び第2気体溜部73が、第1中間部材2における第1部材4に対向する平面と、第1部材4の第1凹部441、第2凹部442及び第3凹部443とがそれぞれ組み合わされて形成されているが、第1中間部材2における第1部材4に対向する面に3つの凹部を設け、第1部材4の第1中間部材2に対向する面を平面として形成してもよく、互いに対向する面それぞれに凹部を設けて形成していてもよい。また、第1気体溜部71、気体流路72及び第2気体溜部73が無くてもよい。第1気体溜部81、気体流路82及び第2気体溜部83についても、第1気体溜部71、気体流路72及び第2気体溜部73と同様である。   Moreover, in the slit nozzle 1 of the above-mentioned embodiment, as shown in FIG. 6, the 1st gas reservoir 71, the gas flow path 72, and the 2nd gas reservoir 73 are the 1st member 4 in the 1st intermediate member 2. As shown in FIG. The first concave portion 441, the second concave portion 442, and the third concave portion 443 are formed in combination with each other, but are opposed to the first member 4 in the first intermediate member 2. Three concave portions may be provided on the surface, and the surface facing the first intermediate member 2 of the first member 4 may be formed as a flat surface, or the concave portions may be provided on the surfaces facing each other. Further, the first gas reservoir 71, the gas flow path 72, and the second gas reservoir 73 may be omitted. The first gas reservoir 81, the gas channel 82, and the second gas reservoir 83 are the same as the first gas reservoir 71, the gas channel 72, and the second gas reservoir 73.

本発明のスリットノズルは、例えば、水や薬品,塗料等の散布に用いることができる。   The slit nozzle of the present invention can be used, for example, for spraying water, chemicals, paints and the like.

上述した実施形態に関し、さらに以下のスリットノズルを開示する。   The following slit nozzle is further disclosed regarding the embodiment mentioned above.

<1>一対の縦長の第1中間部材及び第2中間部材からなる積層体を、該第1中間部材側の第1部材と該第2中間部材側の第2部材とで挟んで一体化されたスリットノズルであって、
前記スリットノズルの先端部においては、該第1中間部材と該第2中間部材との隙間に液体流路が形成され、該第1部材と該第1中間部材との隙間に第1気体流路が形成され、該第2部材と該第2中間部材との隙間に第2気体流路が形成されており、
前記スリットノズルの先端部を断面視して、前記液体流路の延出方向に対し前記第1気体流路の延出方向及び前記第2気体流路の延出方向が、それぞれ鋭角に交差しており、
前記スリットノズルの先端部を正面視して、前記液体流路の噴出口は、長手方向に延びており、該液体流路の噴出口の両側に沿って、前記第1気体流路の噴出口及び前記第2気体流路の噴出口が、それぞれ、長手方向に間隔を空けて複数配され、該第1気体流路の噴出口と該第2気体流路の噴出口とが交互に配されているスリットノズル。
<1> A laminated body composed of a pair of vertically long first intermediate member and second intermediate member is sandwiched and integrated between the first member on the first intermediate member side and the second member on the second intermediate member side. Slit nozzle,
At the tip of the slit nozzle, a liquid flow path is formed in the gap between the first intermediate member and the second intermediate member, and the first gas flow path is formed in the gap between the first member and the first intermediate member. And a second gas flow path is formed in the gap between the second member and the second intermediate member,
In a sectional view of the tip of the slit nozzle, the extending direction of the first gas channel and the extending direction of the second gas channel intersect each other at an acute angle with respect to the extending direction of the liquid channel. And
When the front end portion of the slit nozzle is viewed from the front, the jet port of the liquid channel extends in the longitudinal direction, and the jet port of the first gas channel extends along both sides of the jet port of the liquid channel. And a plurality of outlets of the second gas flow path are arranged at intervals in the longitudinal direction, and the outlets of the first gas flow path and the outlets of the second gas flow path are alternately arranged. Slit nozzle.

<2>前記スリットノズルには、前記第1中間部材における前記第2中間部材に対向する平面と、前記第2中間部材の第1深底凹部、第2深底凹部及び第3深底凹部とが組み合わされてなる液体溜室が形成されている前記<1>記載のスリットノズル。
<3>前記第2中間部材の凹部は、前記第1中間部材の液体供給口に対応する位置から先端部に向かって、段階的に底の深さが浅くなるように、第1深底凹部、第2深底凹部、第3深底凹部を連続して有しており、底の深さが極めて浅い浅底凹部を連続して有している前記<1>又は<2>記載のスリットノズル。
<4>前記第2深底凹部には、その底面から前記第1中間部材に向かって隆起する円柱状の隆起部が形成されている前記<3>記載のスリットノズル。
<5>前記第1部材は、Z方向に断面視して、前記液体流路に向かって尖鋭な尖鋭部及び液体供給路を備えており、前記第1部材の凹部は、該液体供給路の出口に対応する位置から該尖鋭部に向かって、凹みの深さが最も深い第1凹部と、凹みの深さが最も浅い第2凹部と、凹みの深さが深い第3凹部を連続して有している前記<1>〜<4>のいずれか1に記載のスリットノズル。
<6>前記第1部材の第2凹部の底面から前記第1中間部材に向かって隆起する円柱状の隆起部が形成されており、前記隆起部は、長手方向(Y方向)に間隔を空けて複数形成されており、前記各隆起部は、前記第2凹部の底面から、平面部の高さと一致する高さまで隆起している前記<5>記載のスリットノズル。
<7>前記第2部材は、前記液体流路に向かって尖鋭な尖鋭部を備えており、前記第2部材の凹部は、該尖鋭部に向かって、凹みの深さが最も深い第1凹部と、凹みの深さが最も浅い第2凹部と、凹みの深さが深い第3凹部を連続して有している前記<1>〜<6>のいずれか1に記載のスリットノズル。
<8>前記第2部材の第2凹部の底面から前記第2中間部材に向かって隆起する円柱状の隆起部が形成されており、前記隆起部は、長手方向(Y方向)に間隔を空けて複数形成されており、前記各隆起部は、前記第2凹部の底面から、平面部の高さと一致する高さまで隆起している前記<7>記載のスリットノズル。
<9>前記スリットノズルには、前記第1中間部材における前記第1部材に対向する平面と、該第1部材の前記第1凹部、前記第2凹部及び前記第3凹部とがそれぞれ組み合わされて、上流側から先端部に向かって、第1気体溜部、気体流路及び第2気体溜部が形成され、
前記第1気体溜部は前記第1部材の気体導入口に連通して形成されており、前記第2気体溜部は、前記第2気体溜部及び前記第1気体溜部の間隔よりも狭い前記気体流路を介して前記第1気体溜部と連通しており、前記第1気体流路は前記第2気体溜部に連通して形成されている前記<5>〜<8>のいずれか1に記載のスリットノズル。
<2> The slit nozzle includes a plane of the first intermediate member that faces the second intermediate member, a first deep bottom recess, a second deep bottom recess, and a third deep bottom recess of the second intermediate member. The slit nozzle according to <1>, wherein a liquid reservoir chamber is formed by combining the two.
<3> The concave portion of the second intermediate member is a first deep concave portion so that the bottom depth gradually decreases from the position corresponding to the liquid supply port of the first intermediate member toward the tip portion. The slit according to <1> or <2>, wherein the slit has the second deep bottom recess and the third deep bottom recess continuously, and the shallow bottom recess having a very shallow bottom. nozzle.
<4> The slit nozzle according to <3>, wherein the second deep-bottom concave portion is formed with a columnar protruding portion that protrudes from the bottom surface toward the first intermediate member.
<5> The first member includes a sharpened portion and a liquid supply path that are pointed toward the liquid flow path in a cross-sectional view in the Z direction, and the concave portion of the first member is formed on the liquid supply path. From the position corresponding to the outlet toward the sharp portion, the first recess having the deepest recess, the second recess having the shallowest recess, and the third recess having the deep recess are continuously provided. The slit nozzle according to any one of <1> to <4>.
<6> A columnar ridge is formed to protrude from the bottom surface of the second recess of the first member toward the first intermediate member, and the ridge is spaced apart in the longitudinal direction (Y direction). The slit nozzle according to <5>, wherein a plurality of the raised portions are raised from the bottom surface of the second recess to a height that matches the height of the flat portion.
<7> The second member includes a sharp portion that is sharp toward the liquid flow path, and the concave portion of the second member is a first concave portion that has the deepest recess toward the sharp portion. The slit nozzle according to any one of <1> to <6>, further including a second recess having the shallowest recess and a third recess having a deep recess.
<8> A columnar ridge is formed to protrude from the bottom surface of the second recess of the second member toward the second intermediate member, and the ridge is spaced apart in the longitudinal direction (Y direction). The slit nozzle according to <7>, wherein a plurality of the raised portions are raised from the bottom surface of the second recess to a height that matches the height of the flat portion.
<9> In the slit nozzle, a plane of the first intermediate member that faces the first member is combined with the first concave portion, the second concave portion, and the third concave portion of the first member. The first gas reservoir, the gas flow path, and the second gas reservoir are formed from the upstream side toward the tip,
The first gas reservoir is formed in communication with the gas inlet of the first member, and the second gas reservoir is narrower than the interval between the second gas reservoir and the first gas reservoir. Any of <5> to <8>, wherein the first gas reservoir is in communication with the first gas reservoir via the gas channel, and the first gas channel is formed in communication with the second gas reservoir. Or a slit nozzle according to claim 1.

<10>前記第1中間部材は、Z方向に断面視して、先端部を有する台形状に形成されており、該先端部は、前記第1部材に対向する面側から前記第2中間部材に対向する面側に向けて平滑に傾斜する傾斜面を有しており、該傾斜面22と、前記第2中間部材に対向する面とのなす角θ1は、15°以上であり、好ましくは20°以上、更に好ましくは22.5°以上であり、そして、75°以下であり、好ましくは60°以下、更に好ましくは45°以下であり、より具体的には、15°以上75°以下であり、好ましくは20°以上60°以下、更に好ましくは22.5°以上45°以下である前記<1>〜<9>のいずれか1に記載のスリットノズル。
<11>前記第2中間部材は、Z方向に断面視して、先端部を有する台形状に形成されており、該先端部は、前記第2部材に対向する面側から前記第1中間部材に対向する面側に向けて平滑に傾斜する傾斜面を有しており、該傾斜面と、前記第1中間部材に対向する面とのなす角θ2は、15°以上であり、好ましくは20°以上、更に好ましくは22.5°以上であり、そして、75°以下であり、好ましくは60°以下、更に好ましくは45°以下であり、より具体的には、15°以上75°以下であり、好ましくは20°以上60°以下、更に好ましくは22.5°以上45°以下である前記<1>〜<10>の何れか1に記載のスリットノズル。
<12>前記第1部材は、Z方向に断面視して、前記液体流路に向かって尖鋭な尖鋭部を備えており、該尖鋭部は、前記第1中間部材の先端部の傾斜面に対応して均一に傾斜する傾斜面を有しており、該傾斜面と平面部が形成する角度θ3は、105°以上、好ましくは120°以上、更に好ましくは135°以上であり、そして、165°以下、好ましくは160°以下、更に好ましくは157.5°以下であり、より具体的には、105°以上165°以下であり、好ましくは120°以上160°以下、更に好ましくは135°以上157.5°以下である前記<10>又は<11>に記載のスリットノズル。
<13>前記第2部材は、Z方向に断面視して、前記液体流路に向かって尖鋭な尖鋭部を備えており、該尖鋭部は、前記第2中間部材の先端部の傾斜面に対応して均一に傾斜する傾斜面を有しており、該傾斜面と平面部が形成する角度θ4(図1参照)は、105°以上、好ましくは120°以上、更に好ましくは135°以上であり、そして、165°以下、好ましくは160°以下、更に好ましくは157.5°以下であり、より具体的には、105°以上165°以下であり、好ましくは120°以上160°以下、更に好ましくは135°以上157.5°以下である前記<11>又は<12>に記載のスリットノズル。
<14>前記スリットノズルの先端部を正面視して、各前記第1気体流路の噴出口の長手方向の長さと各前記第2気体流路の噴出口の長手方向の長さとが同じである前記<1>〜<13>の何れか1に記載のスリットノズル。
<15>各前記第1気体流路の噴出口又は各前記第2気体流路の噴出口のY方向の長さは、0.1mm以上、好ましくは0.5mm以上更に好ましくは0.8mm以上、そして、2mm以下、好ましくは1.5mm以下、更に好ましくは1.2mm以下、より具体的には、0.1mm以上2mm以下であり、好ましくは0.5mm以上1.5mm以下、更に好ましくは0.8mm以上1.2mm以下であることが好ましい前記<1>〜<14>の何れか1に記載のスリットノズル。
<16>各前記第1気体流路の噴出口又は各前記第2気体流路の噴出口の間隔は、0.01mm以上、好ましくは0.03mm以上、そして、1mm以下、好ましくは0.5mm以下、より具体的には、0.01mm以上1mm以下であることが好ましく、0.03mm以上0.5mm以下であることが更に好ましい前記<1>〜<15>の何れか1に記載のスリットノズル。
<10> The first intermediate member is formed in a trapezoidal shape having a tip when viewed in a cross-section in the Z direction, and the tip is formed on the second intermediate member from the surface facing the first member. The angle θ1 formed by the inclined surface 22 and the surface facing the second intermediate member is 15 ° or more, preferably 20 ° or more, more preferably 22.5 ° or more, and 75 ° or less, preferably 60 ° or less, more preferably 45 ° or less, and more specifically 15 ° or more and 75 ° or less. The slit nozzle according to any one of <1> to <9>, preferably 20 ° to 60 °, more preferably 22.5 ° to 45 °.
<11> The second intermediate member is formed in a trapezoidal shape having a tip when viewed in a cross-section in the Z direction, and the tip is formed on the first intermediate member from the surface facing the second member. An angle θ2 formed by the inclined surface and the surface facing the first intermediate member is 15 ° or more, preferably 20 Or more, more preferably 22.5 ° or more, and 75 ° or less, preferably 60 ° or less, more preferably 45 ° or less, and more specifically 15 ° or more and 75 ° or less. The slit nozzle according to any one of <1> to <10>, which is preferably 20 ° to 60 °, and more preferably 22.5 ° to 45 °.
<12> The first member includes a sharp portion that is pointed toward the liquid channel in a cross-sectional view in the Z direction, and the sharp portion is formed on an inclined surface of a tip portion of the first intermediate member. The angle θ3 formed by the inclined surface and the flat portion is 105 ° or more, preferably 120 ° or more, more preferably 135 ° or more, and 165. Or less, preferably 160 ° or less, more preferably 157.5 ° or less, more specifically 105 ° or more and 165 ° or less, preferably 120 ° or more and 160 ° or less, and more preferably 135 ° or more. The slit nozzle according to <10> or <11>, which is 157.5 ° or less.
<13> The second member includes a sharp portion that is pointed toward the liquid channel in a cross-sectional view in the Z direction, and the sharp portion is formed on an inclined surface of a tip portion of the second intermediate member. Correspondingly, it has an inclined surface that is uniformly inclined, and an angle θ4 (see FIG. 1) formed by the inclined surface and the plane portion is 105 ° or more, preferably 120 ° or more, more preferably 135 ° or more. And not more than 165 °, preferably not more than 160 °, more preferably not more than 157.5 °, more specifically not less than 105 ° and not more than 165 °, preferably not less than 120 ° and not more than 160 °, The slit nozzle according to <11> or <12>, which is preferably 135 ° or more and 157.5 ° or less.
<14> When the front end portion of the slit nozzle is viewed from the front, the length in the longitudinal direction of the ejection port of each of the first gas channels is the same as the length in the longitudinal direction of the ejection port of each of the second gas channels. The slit nozzle according to any one of <1> to <13>.
<15> The length in the Y direction of the ejection port of each first gas channel or the ejection port of each second gas channel is 0.1 mm or more, preferably 0.5 mm or more, more preferably 0.8 mm or more. 2 mm or less, preferably 1.5 mm or less, more preferably 1.2 mm or less, more specifically 0.1 mm or more and 2 mm or less, preferably 0.5 mm or more and 1.5 mm or less, more preferably The slit nozzle according to any one of <1> to <14>, preferably 0.8 mm or more and 1.2 mm or less.
<16> The interval between the outlet of each first gas channel or the outlet of each second gas channel is 0.01 mm or more, preferably 0.03 mm or more, and 1 mm or less, preferably 0.5 mm. Hereinafter, more specifically, it is preferably 0.01 mm or more and 1 mm or less, and more preferably 0.03 mm or more and 0.5 mm or less, and the slit according to any one of the above items <1> to <15>. nozzle.

<17>前記スリットノズルの先端部を正面視して、長手方向に隣り合う前記第1気体流路の噴出口の間隔と、各前記第2気体流路の噴出口の長さが一致している前記<1>〜<16>の何れか1に記載のスリットノズル。
<18>前記スリットノズルの先端部を正面視して、各前記第1気体流路の噴出口の一方の末端部と各前記第2気体流路の噴出口の一方の末端部とが重なっている前記<1>〜<17>の何れか1に記載のスリットノズル。
<19>重なるように調整した場合、前記スリットノズルの先端部を正面視して、各前記第1気体流路の噴出口の他方の末端部と各前記第2気体流路の噴出口の他方の末端部との間には、隙間が生じるようになり、各前記第1気体流路の該末端部と各前記第2気体流路の末端部との重なり幅Wは、気体噴出口の長手方向の0%以上、50%以下の長さである前記<18>に記載のスリットノズル。
<20>前記第1部材と前記第1中間部材との隙間に形成された複数の前記第1気体流路の噴出口の位置と、前記第2部材と前記第2中間部材との隙間に形成された複数の前記第2気体流路の噴出口の位置とを、長手方向に調整可能な手段を有する前記<1>〜<19>の何れか1に記載のスリットノズル。
<21>前記第1部材は長手方向(Y方向)に長い円形扁平型形状の複数の貫通孔を有し、前記第1中間部材は長手方向(Y方向)に長い円形扁平型形状の複数の貫通孔を有しており、前記第1部材の各貫通孔と前記第1中間部材の各貫通孔とは形成位置と形状が一致している前記<1>〜<10>の何れか1に記載のスリットノズル。
<22>長手方向(Y方向)に調整可能な前記手段は、前記第2部材と前記第2中間部材とを重ね合わせたものに対して、前記第1部材と前記第1中間部材とを重ね合わせたものを長手方向(Y方向)に進退動可能となっている前記<20>記載のスリットノズル。
<17> When the front end portion of the slit nozzle is viewed from the front, the interval between the ejection ports of the first gas flow paths adjacent in the longitudinal direction matches the length of the ejection holes of the second gas flow paths. The slit nozzle according to any one of <1> to <16>.
<18> When the front end portion of the slit nozzle is viewed from the front, one end portion of the ejection port of each of the first gas passages overlaps with one end portion of the ejection port of each of the second gas passages. The slit nozzle according to any one of <1> to <17>.
<19> When adjusted so as to overlap, the front end portion of the slit nozzle is viewed from the front, the other end of the outlet of each first gas channel and the other outlet of each second gas channel A gap is generated between the end of each of the first gas flow paths, and the overlap width W between the end of each of the first gas flow paths and the end of each of the second gas flow paths is the length of the gas outlet. The slit nozzle according to <18>, wherein the length is 0% or more and 50% or less of the direction.
<20> Formed in gaps between the second member and the second intermediate member, and positions of the outlets of the plurality of first gas flow paths formed in the gap between the first member and the first intermediate member. The slit nozzle according to any one of <1> to <19>, further including means capable of adjusting the positions of the ejection ports of the plurality of second gas flow paths in the longitudinal direction.
<21> The first member has a plurality of through holes having a circular flat shape that is long in the longitudinal direction (Y direction), and the first intermediate member has a plurality of circular flat shapes that are long in the longitudinal direction (Y direction). It has a through hole, and each through hole of the first member and each through hole of the first intermediate member have the same formation position and shape, and any one of <1> to <10> The slit nozzle as described.
<22> The means that can be adjusted in the longitudinal direction (Y direction) is formed by superimposing the first member and the first intermediate member on the superposition of the second member and the second intermediate member. The slit nozzle according to the above <20>, wherein the combined product can be moved back and forth in the longitudinal direction (Y direction).

以下、実施例により本発明を更に詳細に説明する。しかしながら本発明の範囲はかかる実施例によって何ら制限されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the scope of the present invention is not limited by the examples.

〔実施例1〕
図1〜図10に示す上記実施形態のスリットノズル1と同様の構成を有するスリットノズルを用いた。スリットノズルについて詳述すると、第1中間部材2の先端部のなす角θ1は45°であり、第2中間部材3の先端部のなす角θ2も45°であった。また、第1部材4の傾斜面の傾斜角度θ3は135°であり、第2部材5の傾斜面の傾斜角度θ4も135°であった。液体流路12の噴出口12eは、Y方向の長さが100mm、間隔が0.1mmであった。次に、第1気体流路13の噴出口13e及び第2気体流路14の噴出口14eは、それぞれ、50個であり、長手方向(Y方向)に長い矩形状であった。各第1気体流路13の噴出口13e(各第2気体流路14の噴出口14e)は、Y方向の長さが1mm、間隔が0.1mmであった。長手方向(Y方向)に隣り合う第1気体流路13の噴出口13eの間隔、及び長手方向(Y方向)に隣り合う第2気体流路14の噴出口14eの間隔も1mmであった。そして、末端部13e1と末端部14e1との重なり幅Wは0.3mmであった。
[Example 1]
The slit nozzle which has the structure similar to the slit nozzle 1 of the said embodiment shown in FIGS. 1-10 was used. The slit nozzle will be described in detail. The angle θ1 formed by the tip of the first intermediate member 2 is 45 °, and the angle θ2 formed by the tip of the second intermediate member 3 is also 45 °. The inclination angle θ3 of the inclined surface of the first member 4 was 135 °, and the inclination angle θ4 of the inclined surface of the second member 5 was also 135 °. The jet outlet 12e of the liquid flow path 12 had a length in the Y direction of 100 mm and an interval of 0.1 mm. Next, the number of the jet outlets 13e of the first gas flow path 13 and the number of the jet outlets 14e of the second gas flow path 14 were 50, and each had a rectangular shape that was long in the longitudinal direction (Y direction). The outlet 13e of each first gas channel 13 (the outlet 14e of each second gas channel 14) had a length in the Y direction of 1 mm and an interval of 0.1 mm. The interval between the jet ports 13e of the first gas flow paths 13 adjacent in the longitudinal direction (Y direction) and the interval between the jet ports 14e of the second gas flow paths 14 adjacent in the longitudinal direction (Y direction) were also 1 mm. And the overlap width W of the terminal part 13e1 and the terminal part 14e1 was 0.3 mm.

〔比較例1〕
第1気体流路の噴出口及び第2気体流路の噴出口が、液体流路の噴出口と同様に、長手方向(Y方向)に連続して延びている以外は、実施例1のスリットノズルと同様の条件にしたスリットノズルを用いた。比較例1のスリットノズルは、上述した特許文献3に記載のスリットノズルと同様に、2本の気体を噴出する噴出口の間に1本の液体を噴出する噴射口を設けたスリットノズルである。比較例1のスリットノズルについて詳述すると、液体流路の噴出口、第1気体流路の噴出口及び第2気体流路の噴出口それぞれは、Y方向の長さが100mm、間隔が0.1mmであった。
[Comparative Example 1]
The slit of Example 1 except that the outlet of the first gas channel and the outlet of the second gas channel extend continuously in the longitudinal direction (Y direction), like the outlet of the liquid channel. A slit nozzle having the same conditions as the nozzle was used. The slit nozzle of the comparative example 1 is a slit nozzle which provided the injection port which ejects one liquid between the ejection ports which eject two gas similarly to the slit nozzle of the patent document 3 mentioned above. . The slit nozzle of Comparative Example 1 will be described in detail. Each of the liquid channel ejection port, the first gas channel ejection port, and the second gas channel ejection port has a length in the Y direction of 100 mm and an interval of 0. 0. It was 1 mm.

〔性能評価〕
実施例1、比較例1のスリットノズルに関し、下記方法に従って、噴霧範囲、及び噴霧された液体の均一性をそれぞれ評価した。使用する液体は水であり、使用する気体は空気であった。噴霧範囲の結果を下記表1に示し、噴霧された液体の均一性の結果を下記表1及び図13〜図15に示す。
[Performance evaluation]
Regarding the slit nozzles of Example 1 and Comparative Example 1, the spray range and the uniformity of the sprayed liquid were evaluated according to the following methods. The liquid used was water and the gas used was air. The results of the spray range are shown in the following Table 1, and the results of the uniformity of the sprayed liquid are shown in the following Table 1 and FIGS.

〔噴霧範囲〕
実施例1、比較例1のスリットノズルを、先端部が水平方向となるように設置し、液体流の流量を457mL/min、第1気体流路の噴出口からの気体流の流量及び第2気体流路の噴出口からの気体流の流量を250NL/minとなるように設定して、液体を噴霧した。尚、実施例1のスリットノズルにおいては、各第1気体流路13の噴出口13eからの流量及び各第2気体流路14の噴出口14eからの流量を上記値になるように設定した。そして、実施例1、比較例1のスリットノズルから液体が噴霧されている状態を、デジタルカメラを用いて、側面から写真撮影し、その画像又は印刷した写真に対して、目視にて最大噴霧角度を測定した。実施例1、比較例1のスリットノズルにつき、3回測定を行い、平均値を各スリットノズルの噴霧範囲とした。
[Spraying range]
The slit nozzles of Example 1 and Comparative Example 1 are installed so that the tip portion is in the horizontal direction, the flow rate of the liquid flow is 457 mL / min, the flow rate of the gas flow from the outlet of the first gas flow path, and the second The flow rate of the gas flow from the gas channel outlet was set to 250 NL / min, and the liquid was sprayed. In the slit nozzle of Example 1, the flow rate from the ejection port 13e of each first gas channel 13 and the flow rate from the ejection port 14e of each second gas channel 14 were set to the above values. The state in which the liquid is sprayed from the slit nozzle of Example 1 and Comparative Example 1 is photographed from the side using a digital camera, and the maximum spray angle is visually observed with respect to the image or the printed photograph. Was measured. The slit nozzles of Example 1 and Comparative Example 1 were measured three times, and the average value was taken as the spray range of each slit nozzle.

〔均一性〕
噴霧された液体の均一性を評価するために、図11に示す測定具100を作製した。測定具100は、縦方向(Y方向と同方向)に360mm、横方向(X方向と同方向)に230mmそして高さ方向に325mmの直方体状のものである。測定具100は、図11に示すように、天面にマス目プレート110が配され、マス目プレート110の下方にプレート120が配され、プレート120の下方に、天面に向かって開口した試験管130が複数本配されて形成されている。マス目プレート110には、図11,図12に示すように、Y方向に20mmX方向に20mmに開口した升111が、Y方向に15個並んだ群がX方向に10列隙間無く配されている。各升111の底には、図12に示すように、円形状の直径16mmの開孔112が形成されている。プレート120には、図11に示すように、マス目プレート110の各升111の開孔112に対応する位置に貫通口121が形成されている。そして、複数の試験管130が、マス目プレート110の各升111の開孔112に対応する位置で且つプレート120の貫通口121に対応する位置に配されている。
[Uniformity]
In order to evaluate the uniformity of the sprayed liquid, the measuring tool 100 shown in FIG. 11 was produced. The measuring tool 100 has a rectangular parallelepiped shape of 360 mm in the vertical direction (the same direction as the Y direction), 230 mm in the horizontal direction (the same direction as the X direction), and 325 mm in the height direction. As shown in FIG. 11, the measuring tool 100 is a test in which a square plate 110 is arranged on the top surface, a plate 120 is arranged below the square plate 110, and an opening is formed below the plate 120 toward the top surface. A plurality of tubes 130 are formed. As shown in FIGS. 11 and 12, the grid plate 110 has a group of 15 ridges 111 that are 20 mm in the Y direction and 20 mm in the X direction, arranged in the Y direction with 10 rows in the X direction without any gaps. Yes. As shown in FIG. 12, a circular opening 112 having a diameter of 16 mm is formed at the bottom of each ridge 111. As shown in FIG. 11, through holes 121 are formed in the plate 120 at positions corresponding to the openings 112 of the ribs 111 of the grid plate 110. A plurality of test tubes 130 are arranged at positions corresponding to the openings 112 of the ridges 111 of the grid plate 110 and at positions corresponding to the through holes 121 of the plate 120.

次に、実施例1、比較例1のスリットノズルを、図11に示すように、その先端部が測定具100のY方向に延びる二等分線上(図11に示す左から5列目のY方向に延びる升111の群上)に位置するように、測定具100に向けて設置した。スリットノズルの先端部と測定具までの距離は155mmである。そして、液体流の流量を457mL/min、第1気体流路の噴出口からの気体流の流量及び第2気体流路の噴出口からの気体流の流量を250NL/minとなるように設定して、液体を1分間噴霧した。そして各スリットノズルによって1分間液体を噴霧した後の各試験管130に溜まった液体の収集量を測定し、液体噴霧量の分布を示す等高線マップを作成した。尚、各試験管130には、Y方向の番号及びX方向の番号が付されている。例えば図11に示す試験管130aはY方向の位置が15番でX方向の位置が1番の試験管であり、試験管130bはY方向の位置が1番でX方向の位置が1番の試験管であり、試験管130cはY方向の位置が15番でX方向の位置が10番の試験管である。   Next, as shown in FIG. 11, the slit nozzles of Example 1 and Comparative Example 1 are on a bisector whose tip extends in the Y direction of the measuring tool 100 (Y in the fifth column from the left shown in FIG. 11). It was installed toward the measuring tool 100 so as to be positioned on the group of ridges 111 extending in the direction. The distance between the tip of the slit nozzle and the measuring tool is 155 mm. Then, the flow rate of the liquid flow is set to 457 mL / min, the flow rate of the gas flow from the jet port of the first gas channel and the flow rate of the gas flow from the jet port of the second gas channel are set to 250 NL / min. The liquid was sprayed for 1 minute. Then, the amount of liquid collected in each test tube 130 after the liquid was sprayed for 1 minute by each slit nozzle was measured, and a contour map showing the distribution of the liquid spray amount was created. Each test tube 130 is assigned a Y-direction number and an X-direction number. For example, the test tube 130a shown in FIG. 11 is a test tube whose position in the Y direction is No. 15 and whose position in the X direction is No. 1, and that of the test tube 130b is No. 1 in the Y direction and No. 1 in the X direction. The test tube 130c is a test tube whose position in the Y direction is number 15 and whose position in the X direction is number 10.

図13は、実施例1のスリットノズルによる液体噴霧量の分布を示す等高線マップであり、図14は、比較例1のスリットノズルによる液体噴霧量の分布を示す等高線マップである。図15(a)は図13に示すA−A’線断面及び図14に示すA−A’線断面での折れ線グラフであり、図15(b)は図13に示すB−B’線断面及び図14に示すB−B’線断面での折れ線グラフである。   FIG. 13 is a contour map showing the distribution of the liquid spray amount by the slit nozzle of Example 1, and FIG. 14 is a contour map showing the distribution of the liquid spray amount by the slit nozzle of Comparative Example 1. 15A is a line graph taken along the line AA ′ shown in FIG. 13 and the line AA ′ line shown in FIG. 14, and FIG. 15B is a cross section taken along the line BB ′ shown in FIG. It is a line graph in the BB 'line cross section shown in FIG.

表1に示す結果から明らかなように、実施例1のスリットノズルは、比較例1のスリットノズルに比べ、噴霧範囲が広いことが分かった。
また、表1に示す結果、図13〜図15に示す結果から明らかなように、実施例1のスリットノズルは、比較例1のスリットノズルに比べ、噴霧面積が広く、更に噴霧された液体の均一性が高いことが分かった。
As is clear from the results shown in Table 1, the slit nozzle of Example 1 was found to have a wider spray range than the slit nozzle of Comparative Example 1.
Moreover, as is clear from the results shown in Table 1 and the results shown in FIGS. 13 to 15, the slit nozzle of Example 1 has a larger spray area than the slit nozzle of Comparative Example 1, and further the liquid sprayed. It was found that the uniformity was high.

1 スリットノズル
11 先端部
12 液体流路
12e 噴出口
13 第1気体流路
13e 噴出口
14 第2気体流路
14e 噴出口
20 積層体
2 第1中間部材
21 先端部
22 傾斜面
23 貫通孔
24 液体供給口
25 ボルト用締め付け孔
3 第2中間部材
31 先端部
32 傾斜面
33 貫通孔
34 凹部
341 第1深底凹部
341a T字形状の横棒部分、341b T字形状の縦棒部分
342 第2深底凹部
342a 隆起部
343 第3深底凹部
344 浅底凹部
35 ボルト用締め付け孔
4 第1部材
41 尖鋭部
42 傾斜面
421 溝部
43 貫通孔
44 凹部
441 第1凹部
442 第2凹部
442a 隆起部
443 第3凹部
444 平面部
45 液体導入口
46 液体供給路
47 気体導入口
48 ボルト用貫通孔
5 第2部材
51 尖鋭部
52 傾斜面
521 溝部
53 貫通孔
54 凹部
541 第1凹部
542 第2凹部
542a 隆起部
543 第3凹部
544 平面部
57 気体導入口
58 ボルト用貫通孔
6 液体溜室
71 第1気体溜部、72 気体流路、73 第2気体溜部
81 第1気体溜部、82 気体流路、83 第2気体溜部
91,92 ボルト
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Slit nozzle 11 Front-end | tip part 12 Liquid flow path 12e Spout 13 First gas flow path 13e Spout 14 Second gas flow path 14e Spout 20 Laminate 2 1st intermediate member 21 Front-end | tip part 22 Inclined surface 23 Through-hole 24 Liquid Supply port 25 Bolt tightening hole 3 Second intermediate member 31 Tip portion 32 Inclined surface 33 Through hole 34 Recess 341 First deep bottom recess 341a T-shaped horizontal bar portion, 341b T-shaped vertical bar portion 342 Second depth Bottom recessed portion 342a Raised portion 343 Third deep bottom recessed portion 344 Shallow bottom recessed portion 35 Bolt tightening hole 4 First member 41 Sharp portion 42 Inclined surface 421 Groove portion 43 Through hole 44 Recessed portion 441 First recessed portion 442 Second recessed portion 442a Raised portion 443 3 concave portion 444 flat portion 45 liquid inlet 46 liquid supply passage 47 gas inlet 48 bolt through hole 5 second member 51 pointed portion 52 inclined surface 521 groove 53 through hole 54 recess 541 first recess 542 second recess 542a raised portion 543 third recess 544 flat portion 57 gas inlet 58 bolt through hole 6 liquid reservoir 71 first gas reservoir, 72 gas Channel, 73 second gas reservoir 81 first gas reservoir, 82 gas channel, 83 second gas reservoir 91, 92 volts

Claims (5)

一対の縦長の第1中間部材及び第2中間部材からなる積層体を、該第1中間部材側の第1部材と該第2中間部材側の第2部材とで挟んで一体化されたスリットノズルであって、
前記スリットノズルの先端部においては、該第1中間部材と該第2中間部材との隙間に液体流路が形成され、該第1部材と該第1中間部材との隙間に第1気体流路が形成され、該第2部材と該第2中間部材との隙間に第2気体流路が形成されており、
前記スリットノズルの先端部を断面視して、前記液体流路の延出方向に対し前記第1気体流路の延出方向及び前記第2気体流路の延出方向が、それぞれ鋭角に交差しており、
前記スリットノズルの先端部を正面視して、前記液体流路の噴出口は、長手方向に延びており、該液体流路の噴出口の両側に沿って、前記第1気体流路の噴出口及び前記第2気体流路の噴出口が、それぞれ、長手方向に間隔を空けて複数配され、該第1気体流路の噴出口と該第2気体流路の噴出口とが交互に配されているスリットノズル。
A slit nozzle integrated by sandwiching a laminate composed of a pair of vertically long first intermediate member and second intermediate member between the first member on the first intermediate member side and the second member on the second intermediate member side Because
At the tip of the slit nozzle, a liquid flow path is formed in the gap between the first intermediate member and the second intermediate member, and the first gas flow path is formed in the gap between the first member and the first intermediate member. And a second gas flow path is formed in the gap between the second member and the second intermediate member,
In a sectional view of the tip of the slit nozzle, the extending direction of the first gas channel and the extending direction of the second gas channel intersect each other at an acute angle with respect to the extending direction of the liquid channel. And
When the front end portion of the slit nozzle is viewed from the front, the jet port of the liquid channel extends in the longitudinal direction, and the jet port of the first gas channel extends along both sides of the jet port of the liquid channel. And a plurality of outlets of the second gas flow path are arranged at intervals in the longitudinal direction, and the outlets of the first gas flow path and the outlets of the second gas flow path are alternately arranged. Slit nozzle.
前記スリットノズルの先端部を正面視して、各前記第1気体流路の噴出口の長手方向の長さと各前記第2気体流路の噴出口の長手方向の長さとが同じである請求項1に記載のスリットノズル。   The length in the longitudinal direction of the ejection port of each of the first gas flow paths is the same as the length in the longitudinal direction of the ejection port of each of the second gas flow paths when the front end portion of the slit nozzle is viewed from the front. The slit nozzle according to 1. 前記スリットノズルの先端部を正面視して、長手方向に隣り合う前記第1気体流路の噴出口の間隔と、各前記第2気体流路の噴出口の長さが一致している請求項1又は2に記載のスリットノズル。   The front end portion of the slit nozzle is viewed from the front, and the interval between the ejection ports of the first gas flow paths adjacent in the longitudinal direction matches the length of the ejection holes of the second gas flow paths. The slit nozzle according to 1 or 2. 前記スリットノズルの先端部を正面視して、各前記第1気体流路の噴出口の一方の末端部と各前記第2気体流路の噴出口の一方の末端部とが重なっている請求項1又は2に記載のスリットノズル。   The front end portion of the slit nozzle is viewed from the front, and one end portion of the ejection port of each first gas flow channel and one end portion of the ejection port of each second gas flow channel overlap each other. The slit nozzle according to 1 or 2. 前記第1部材と前記第1中間部材との隙間に形成された複数の前記第1気体流路の噴出口の位置と、前記第2部材と前記第2中間部材との隙間に形成された複数の前記第2気体流路の噴出口の位置とを、長手方向に調整可能な手段を有する請求項1〜4の何れか1項に記載のスリットノズル。   A plurality of positions formed at gaps between the second member and the second intermediate member, and positions of jet ports of the plurality of first gas flow paths formed in the gap between the first member and the first intermediate member. The slit nozzle of any one of Claims 1-4 which has a means which can adjust the position of the jet nozzle of said 2nd gas flow path of a longitudinal direction.
JP2012200279A 2012-09-12 2012-09-12 Slit nozzle Active JP5878445B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012200279A JP5878445B2 (en) 2012-09-12 2012-09-12 Slit nozzle

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012200279A JP5878445B2 (en) 2012-09-12 2012-09-12 Slit nozzle

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014054594A true JP2014054594A (en) 2014-03-27
JP5878445B2 JP5878445B2 (en) 2016-03-08

Family

ID=50612409

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012200279A Active JP5878445B2 (en) 2012-09-12 2012-09-12 Slit nozzle

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5878445B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190093327A (en) * 2018-02-01 2019-08-09 육경식 Prefabricated cleaning nozzle and prefabricated cleaning device

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4829010A (en) * 1971-08-18 1973-04-17
JPH05186240A (en) * 1992-01-14 1993-07-27 Nippon Sheet Glass Co Ltd Nozzle for discharging thermosoftening material and spinning machine equipped with the same nozzle
JP2005193229A (en) * 2003-12-09 2005-07-21 Konica Minolta Photo Imaging Inc Coating apparatus and coating method
US20110114266A1 (en) * 2008-07-14 2011-05-19 Sika Technology Ag Device for applying adhesive

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4829010A (en) * 1971-08-18 1973-04-17
JPH05186240A (en) * 1992-01-14 1993-07-27 Nippon Sheet Glass Co Ltd Nozzle for discharging thermosoftening material and spinning machine equipped with the same nozzle
JP2005193229A (en) * 2003-12-09 2005-07-21 Konica Minolta Photo Imaging Inc Coating apparatus and coating method
US20110114266A1 (en) * 2008-07-14 2011-05-19 Sika Technology Ag Device for applying adhesive

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190093327A (en) * 2018-02-01 2019-08-09 육경식 Prefabricated cleaning nozzle and prefabricated cleaning device
KR102044849B1 (en) * 2018-02-01 2019-11-14 육경식 Prefabricated cleaning nozzle and prefabricated cleaning device

Also Published As

Publication number Publication date
JP5878445B2 (en) 2016-03-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4649214B2 (en) Two-fluid slit nozzle
EP1926559B1 (en) Multiple discharge orifice spray nozzle
JP5875580B2 (en) Nozzle head for spray equipment
KR101696587B1 (en) Secondary cooling method in continuous casting
KR102623646B1 (en) Orifice plates and valves
CA2880592C (en) Nozzle arrangement
JP2014521506A5 (en)
CA2583883C (en) Fluidized catalytic cracking feed nozzle
JP3856210B2 (en) nozzle
JPWO2013094522A1 (en) Liquid atomizer
JP6159711B2 (en) Liquid ejecting apparatus and liquid ejecting method
JP5878445B2 (en) Slit nozzle
JP6148579B2 (en) Slit nozzle
JP6184013B2 (en) Slit nozzle
JP5970202B2 (en) Oblique nozzle
JP5405865B2 (en) Injection nozzle
JPH10174905A (en) Jet nozzle
JP2001269603A (en) Fluid jetting nozzle
JP4766622B2 (en) Gas-liquid mixed flow injection device
JP2006205120A (en) Slit nozzle
JP2004050122A (en) Nozzle
CN111841910A (en) Shower head
JP7282389B2 (en) mist nozzle
JP2003093926A (en) Fluid spray nozzle
JP5477871B2 (en) Nozzle device and cleaning nozzle system

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150611

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20160105

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160108

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160126

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160128

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5878445

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250