JP2015092172A - 三次元座標測定機 - Google Patents
三次元座標測定機 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015092172A JP2015092172A JP2014254210A JP2014254210A JP2015092172A JP 2015092172 A JP2015092172 A JP 2015092172A JP 2014254210 A JP2014254210 A JP 2014254210A JP 2014254210 A JP2014254210 A JP 2014254210A JP 2015092172 A JP2015092172 A JP 2015092172A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moving
- dimensional coordinate
- base
- linear guide
- measuring machine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 55
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 9
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000004579 marble Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
Images
Abstract
【解決手段】ベース11と、ベースに設けられたリニアガイド31、60、70とエアーベアリング機構80と、測定プローブ51と、駆動部とを有し、測定プローブ51を用いてベース11上の被測定物を測定する三次元座標測定機において、片側に、機械的なベアリングを用いたリニアガイド70を備え、測定プローブ51を挟んでリニアガイド70と反対側にリニアガイド70と平行に設けられたエアーベアリング機構80とを有し、駆動部はエアーベアリング機構80側にはなく、リニアガイド70側に備えてある。
【選択図】図5
Description
図1は、リニアガイドを示す図であり、(A)が外観を示す斜視図であり、(B)が断面図である。
三次元座標測定機は、合成大理石等の石定盤で作られたベース11と、ベース11の一方の辺に設けられたYコラム21と、Yコラム21上に平行に設けられた2本のY軸レール22Aおよび22Bと、Y軸レール22Aおよび22B上を移動するY移動部31と、Y移動部31上に平行に設けられた2本のX軸レール32Aおよび32Bと、X軸レール32Aおよび32B上を移動するX移動部40と、X移動部40に固定された垂直方向に伸びるZコラム41と、Zコラム41上に平行に設けられた2本のZ軸レール42Aおよび42Bと、Z軸レール42Aおよび42B上を移動するZ移動部50と、を有する。Z移動部50には、変位測定器51が取り付けられ、変位測定器51の測定プローブを被測定物の表面に接触させる。片持ち方式の移動機構は、ベース11上に背面を除く方向からアクセス可能であるため、被測定物の配置や、測定プローブの接触位置の確認等が容易に行えるという利点がある。
図3の三次元座標測定機のL型の移動機構は、Y移動部31の一方の端部を、Yコラム21上に平行に設けられた2本のY軸レール22Aおよび22Bで支持することは、図2の構成と同じであるが、Y移動部31の反対側の端部を支持する支持部材60を設け、支持部材60の下面を、ベース11上に配置したサブガイド61で支持することが、図2の構成と異なる。サブガイド61は、例えばリニアガイドである。
1個のコラムを有するL型の構成では、ベースの一辺に設けられたベース面に平行な載置面を有するコラムを設け、第1の軸移動機構の1本のリニアガイドは、コラムの載置面に設けられ、第1移動部の他方の端部に設けた支持部材にエアー移動部を取り付け、ベースに設けたエアーベアリング摺動案内部で支持する。
21 Yコラム
31 Y移動部
60 支持部材
70 1本のリニアガイド
80 エアーベアリング機構
Claims (3)
- ベースと、
前記ベースに設けられた移動機構と、
前記移動機構により移動される測定プローブと、を備え、前記プローブを用いて前記ベース上の被測定物を測定する三次元座標測定機であって、
前記移動機構は、
片側に、機械的なベアリングを用いたリニアガイドと、
前記プローブを挟んで前記リニアガイドと反対側に、前記リニアガイドと平行に設けられたエアーベアリング機構と、を備え、
前記移動機構をベースに対して移動させる駆動部は、前記リニアガイド側にあって、前記エアーベアリング機構側にはないことを特徴とする三次元座標測定機。 - 前記エアーベアリング機構は、前記ベースに設けられる請求項1に記載の三次元座標測定機。
- 前記ベースに設けられ、前記ベース面に平行な載置面を有するコラムをさらに備え、
前記リニアガイドは、前記コラムの前記載置面に設けられる請求項1に記載の三次元座標測定機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014254210A JP5717914B1 (ja) | 2014-12-16 | 2014-12-16 | 三次元座標測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014254210A JP5717914B1 (ja) | 2014-12-16 | 2014-12-16 | 三次元座標測定機 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014170867A Division JP5676045B2 (ja) | 2014-08-25 | 2014-08-25 | 三次元座標測定機 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015001026A Division JP5730451B2 (ja) | 2015-01-06 | 2015-01-06 | 三次元座標測定機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5717914B1 JP5717914B1 (ja) | 2015-05-13 |
JP2015092172A true JP2015092172A (ja) | 2015-05-14 |
Family
ID=53195386
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014254210A Active JP5717914B1 (ja) | 2014-12-16 | 2014-12-16 | 三次元座標測定機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5717914B1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023077860A1 (zh) * | 2021-11-04 | 2023-05-11 | 苏州天准科技股份有限公司 | 一种复合式坐标测量仪 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4741112A (en) * | 1985-12-04 | 1988-05-03 | Mauser-Werke Oberndorf Gmbh | Measuring machine with thin steel plate cladding |
JPH02266209A (ja) * | 1989-01-28 | 1990-10-31 | Ferranti Plc | 多軸装置のための熱ゆがみによる誤差の測定 |
JPH02296105A (ja) * | 1989-04-21 | 1990-12-06 | Pelt & Hooykaas Bv | 三次元測定装置 |
JPH0651809U (ja) * | 1985-01-24 | 1994-07-15 | ザ・ワーナー・アンド・スウエーシイ・カンパニイ | ブリッジ型座標測定機 |
JPH08210837A (ja) * | 1995-02-07 | 1996-08-20 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 三次元座標測定機の回転角度誤差補正におけるプローブ位置ベクトル算出装置 |
JPH08247756A (ja) * | 1995-03-08 | 1996-09-27 | Mitsutoyo Corp | 三次元測定機の測定誤差補正装置 |
JPH08509292A (ja) * | 1993-04-16 | 1996-10-01 | ブラウン・アンド・シャープ・マニュファクチャリング・カンパニー | 制御軸が取り付けられた座標測定機械用のコンピュータインターフェース |
JPH09145342A (ja) * | 1995-11-27 | 1997-06-06 | Nikon Corp | 直線案内装置のコードガイド装置 |
US6058618A (en) * | 1997-09-09 | 2000-05-09 | Giddings & Lewis, Inc. | Coordinate measuring machine |
US6272760B1 (en) * | 1998-06-12 | 2001-08-14 | Carl-Zeiss-Stiftung Trading As Carl Zeiss | Damping device for a coordinate measuring equipment |
US20010022033A1 (en) * | 1998-06-17 | 2001-09-20 | Mario Schroeder | Coordinate measuring machine having a non-sensing probe |
EP2219010A1 (en) * | 2009-02-11 | 2010-08-18 | Leica Geosystems AG | Coordinate measuring machine (CMM) and method of compensating errors in a CMM |
-
2014
- 2014-12-16 JP JP2014254210A patent/JP5717914B1/ja active Active
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0651809U (ja) * | 1985-01-24 | 1994-07-15 | ザ・ワーナー・アンド・スウエーシイ・カンパニイ | ブリッジ型座標測定機 |
US4741112A (en) * | 1985-12-04 | 1988-05-03 | Mauser-Werke Oberndorf Gmbh | Measuring machine with thin steel plate cladding |
JPH02266209A (ja) * | 1989-01-28 | 1990-10-31 | Ferranti Plc | 多軸装置のための熱ゆがみによる誤差の測定 |
JPH02296105A (ja) * | 1989-04-21 | 1990-12-06 | Pelt & Hooykaas Bv | 三次元測定装置 |
JPH08509292A (ja) * | 1993-04-16 | 1996-10-01 | ブラウン・アンド・シャープ・マニュファクチャリング・カンパニー | 制御軸が取り付けられた座標測定機械用のコンピュータインターフェース |
JPH08210837A (ja) * | 1995-02-07 | 1996-08-20 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 三次元座標測定機の回転角度誤差補正におけるプローブ位置ベクトル算出装置 |
JPH08247756A (ja) * | 1995-03-08 | 1996-09-27 | Mitsutoyo Corp | 三次元測定機の測定誤差補正装置 |
JPH09145342A (ja) * | 1995-11-27 | 1997-06-06 | Nikon Corp | 直線案内装置のコードガイド装置 |
US6058618A (en) * | 1997-09-09 | 2000-05-09 | Giddings & Lewis, Inc. | Coordinate measuring machine |
US6272760B1 (en) * | 1998-06-12 | 2001-08-14 | Carl-Zeiss-Stiftung Trading As Carl Zeiss | Damping device for a coordinate measuring equipment |
US20010022033A1 (en) * | 1998-06-17 | 2001-09-20 | Mario Schroeder | Coordinate measuring machine having a non-sensing probe |
EP2219010A1 (en) * | 2009-02-11 | 2010-08-18 | Leica Geosystems AG | Coordinate measuring machine (CMM) and method of compensating errors in a CMM |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JPN6014032178; 日刊工業新聞2012年4月13日第6面 , 20120413 * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023077860A1 (zh) * | 2021-11-04 | 2023-05-11 | 苏州天准科技股份有限公司 | 一种复合式坐标测量仪 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5717914B1 (ja) | 2015-05-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9464878B1 (en) | Three-dimensional coordinate measuring machine | |
KR101087529B1 (ko) | 스테이지장치 | |
EP2251635B1 (en) | Probe for three-dimensional shape measuring apparatus and three-dimensional shape measuring apparatus. | |
JPH0439011B2 (ja) | ||
JP6168344B2 (ja) | 測定機、及び、測定機の移動ガイド機構 | |
CN102004027B (zh) | 一种激光两坐标装置 | |
CN108534731B (zh) | 升降驱动装置和采用该升降驱动装置的测量机 | |
JP4231486B2 (ja) | X−yステージ装置 | |
KR100919391B1 (ko) | 스테이지장치 | |
JP5717914B1 (ja) | 三次元座標測定機 | |
JP6025905B2 (ja) | 三次元座標測定機 | |
JP5676045B2 (ja) | 三次元座標測定機 | |
JP5677360B2 (ja) | 三次元座標測定機 | |
JP6478961B2 (ja) | 三次元座標測定機 | |
JP4964124B2 (ja) | 検査対象物における座標の計量測定用座標測定装置 | |
JP5730451B2 (ja) | 三次元座標測定機 | |
JP2019082492A (ja) | 三次元座標測定機 | |
KR101218772B1 (ko) | 유연기구를 이용한 회전 오차 보상 스테이지 | |
CN205482795U (zh) | 非球面测量仪 | |
JP2003148581A (ja) | 摩擦駆動装置およびこれを用いた測定機 | |
EP3572764B1 (en) | Shape measuring probe | |
KR101234343B1 (ko) | 틸트 스테이지 장치 | |
JP7096972B2 (ja) | 三次元測定機 | |
JP6653058B2 (ja) | 三次元測定機 | |
JP2016070667A (ja) | 接触式プローブ及び形状測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150217 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150317 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5717914 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |