JP2015083313A - Bi基はんだ合金、並びにそれを用いた電子部品のボンディング方法および電子部品実装基板 - Google Patents
Bi基はんだ合金、並びにそれを用いた電子部品のボンディング方法および電子部品実装基板 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015083313A JP2015083313A JP2013221843A JP2013221843A JP2015083313A JP 2015083313 A JP2015083313 A JP 2015083313A JP 2013221843 A JP2013221843 A JP 2013221843A JP 2013221843 A JP2013221843 A JP 2013221843A JP 2015083313 A JP2015083313 A JP 2015083313A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solder alloy
- solder
- mass
- based solder
- content
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L2224/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】AgとAlを含有し、実質的にPbを含まずBiの含有率が80質量%以上、かつ融点の固相線が265℃以上、液相線が390℃以下のBi基はんだ合金であって、Agの含有量が0.6〜18質量%、また、Alの含有量が0.1〜3質量%、かつAgの含有量の1/20〜1/2であり、はんだ合金内にAgとAlとの金属間化合物を含む粒子を分散させてなり、さらにPまたはGeの1種以上を0.001〜0.3質量%含有することを特徴とするBi基はんだ合金などにより提供する。
【選択図】図1
Description
しかしながら、Sn−Ag−Cu等の無鉛はんだの融点は、従来のSn/Pb共晶はんだより高く約220℃前後であり、実装時のリフロー温度は250〜260℃付近となる。このため、リフロー温度260℃で10秒間保持するサイクルを5回程度繰り返した後でも、電子部品内部の接合信頼性等に問題が生じない高温用の無鉛はんだが必要とされる(特許文献1)。
また、本発明の第3の発明によれば、第1または2の発明において、Alの含有量がAgの含有量の1/15〜1/4であることを特徴とすることを特徴とするBi基はんだ合金が提供される。
また、本発明の第4の発明によれば、第1〜3の発明において、さらに、Cuを0.01〜1質量%含有することを特徴とするBi基はんだ合金が提供される。
また、添加元素として上記Ag、Alのほか、さらに、PまたはGeのいずれか一種以上を含んでいるので、はんだの濡れ性を改善し、接合時のボイド発生を低減させることができベアCuフレームに対する接合強度を低下させることがない。
さらに、本発明のBi基はんだ合金を用いた電子部品や、基板への電子部品のボンディング方法により、チップ特性の変化や部材酸化が発生せず、機械的強度が高い電子部品実装基板を提供することができる。
本発明のBi基はんだ合金は、周期表のVa族元素に属し、結晶構造が対称性の低い三方晶(菱面体晶)で非常に脆弱な金属のBiを主成分とする。
以下、本発明のBi基はんだ合金に用いられる各成分、得られるはんだ合金を用いた電子部品のボンディング方法、実装基板等について詳細に説明する。
Agの含有量は、0.6〜18質量%とする。Ag含有量が0.6質量%未満であると、Ag−Al化合物が十分に発生せずBiマトリックスの脆弱な機械的特性が支配的になり、伸びが十分改善されずに接合信頼性、はんだの機械加工性、組立機器による連続供給性を確保することが出来ない。また、Agの含有量が18質量%を超えると液相線が上昇し、390℃での組立時にはんだの濡れ広がりが不良となるため接合信頼性が低下する。
本発明のBi基はんだ合金において、Alは、Bi−Agはんだの固相線温度を上昇させ、さらに、Bi系はんだ特有の脆弱な機械的特性を改善する。
Alの量は、Agの含有量に応じて決まり、すなわち、Ag−Al状態図では、5〜33wt%Alの比率で、中間層ζ相のAg2Al金属間化合物、中間層μ相のAg3Al金属間化合物が存在することから、Agの含有量の1/20〜1/2とする。この範囲を外れると、はんだの濡れ性が不良で接合信頼性がなくなる。好ましいAlの量は、Agの含有量の1/15〜1/4である。
本発明のBi基はんだ合金は、添加元素として上記のほか、さらに、PまたはGeのいずれか一種以上を含んでいる。PまたはGeは、はんだの濡れ性を改善し、接合時のボイド発生を低減させるために添加する。P、Geを添加すると、P、Geが優先的に酸化され、はんだの表面の酸化が抑制されるため、はんだの濡れ性を改善し、接合時のボイド発生を低減できる。
本発明のBi基はんだ合金は、添加元素として上記のほか、さらに任意成分としてCuを含むことができる。CuはベアCuフレームとの反応を促進し、濡れ広がりを改善する効果がある。
はんだ中のベアCuフレームへの拡散元素として、Alが優先的に移動し反応する事が多いが、はんだ中に添加されたCuが存在すると、ベアCuフレーム表面との間でCu原子同士での拡散移動が起こり、結果として濡れ広がりを改善する効果が得られる。
またCuはBi−Ag−Al合金の液相線温度より高い温度で析出する元素のため最初に析出する初晶成分となり、後から析出するAg−Al化合物やマトリックスの結晶粒を微細に析出させる効果があり、全体として凝固組織の粗大化を抑制することができる。その結果、はんだの組織はCuを添加しない場合に比べて微細な凝固組織となり、クラックが発生しにくくなる。
Cuの添加量は0〜1質量%である。Cuの添加量が1質量%を超えると、粗大な初晶成分として、生成されることがある。また、Cuの添加量が0.01質量%を下回ると、凝固組織の微細化に十分に寄与しなくなることがあるため、Cuの含有量は、0.01〜1質量%がより好ましく、0.03〜0.8質量%がさらに好ましい。
不可避不純物を含む場合、固相線温度や濡れ性、接合信頼性への影響を考慮して、総計が100ppm未満であることが望ましい。
本発明のBi基はんだ合金の製造方法は、特に限定されず、上記した各成分を用いて、従来公知の方法により製造することができる。
原料としては、はんだ合金内に粒径50μm未満の粒子(AgとAlとの金属間化合物)を形成するために、ショット形状または個片加工品の直径が5mm以下、特に3mm以下の微細なものを用いることが好ましい。
また、生産性を考慮して連続鋳造法を用いる場合には、連続鋳造してできる鋳塊の断面積が小さくなる形状とすることが好ましい。例えば、内径が30mm以下のダイスを用い、且つ溶湯を短時間で冷却固化させるために、ダイスを水冷ジャケットで覆って50℃/sec以上の冷却速度で冷却することが望ましい。
固相線温度は、示差走査熱量測定装置(DSC)を用いて測定され、好ましくは265℃以上、より好ましくは267℃以上である。また、液相線温度は、示差走査熱量測定装置(DSC)測定及び溶融試験を用いて確認され、好ましくは、390℃以下、より好ましくは380℃以下である。
本発明のBi基はんだ合金は、伸び率が、好ましくは15〜50%、より好ましくは20〜45%である。なお、伸び率及び引張強度は、例えば0.75mmφに押し出し加工を行い、ワイヤー形状のプリフォームはんだを作製した後、引張試験機(テンシロン万能試験機)により測定される。
本発明のBi基はんだ合金は、電子部品のボンディング方法に使用され、電子部品実装基板を容易に製造することができる。
すなわち、本発明の電子部品のボンディング方法では、Bi基はんだ合金を使用して、Cu材表面にAg層やNi層が形成されていないベアCuフレームの実装基板に電子部品をボンディングすることが好ましい。
はんだ付け(ダイボンディング)された半導体チップ1は、基板へ実装される際、リフロー温度の260℃付近に加熱されるが、本発明のBi基はんだ合金の固相線温度が265℃以上なので、電子部品は、チップ特性の変化や部材酸化が発生せず、機械的強度を維持することができる。
(1)固相線温度、液相線温度
示差走査熱量測定装置(DSC)測定及び溶融試験を行い確認した。
(2)引張強度、伸び率
まず、表1に示される各成分組成のBi合金を後述する方法により大気溶解炉を用いて溶製し、0.75mmφに押し出し加工を行い、ワイヤー形状のプリフォームはんだサンプルを作製した。
得られたはんだワイヤー0.75mmφを所定の長さに切断して引張強度測定用の試験サンプルとした。これを引張試験機(装置名:テンシロン万能試験機)にセットし、自動測定で引張強度及び伸び率を測定した。
まず、表1に示される各成分組成のBi合金を用意し大気溶解炉を用いて溶製し、0.75mmφに押し出し加工を行い、ワイヤー形状のプリフォームはんだサンプルを作製した。
得られた0.75mmφワイヤーを樹脂に埋め込み、断面研磨を行った。これを常温の硝酸水溶液(硝酸濃度20%)に5秒間浸漬してエッチングすることにより、断面の合金組織観察を行うための試片とした。
この試片は、主元素のBi母相は腐食して黒く見える一方、金属間化合物等の析出粒子は白く光って見えるため、光学顕微鏡観察によって析出粒子の大きさや分布状態を容易に判別することができる。各試片を200倍の光学顕微鏡で観察し、視野中の全金属間化合物を含む粒子の数を計数すると共に、粒子の断面径を測定し、その測定値を1.12倍したものを粒径とした。この粒径をもとにすべての金属間化合物粒子を真球として各金属間化合物粒子の体積を計算し、全粒子中の粒径50μm未満の粒子割合を体積%で算出した。
ダイボンダー(NECマシナリー製、CPS−400)を窒素雰囲気中・350℃または390℃に設定し、前記(2)で得られた0.75mmφサンプルをセットし、Cu製リードフレームに供給した。その後、シリコンチップのダイボンディング面にAuを蒸着して作成したダミーチップをCu製リードフレームにダイボンディングした。
その際、はんだ濡れ性評価として、チップ辺からのはんだのはみ出しが無かった場合を「不良」、はみ出しがある場合を「良」と評価した。
上記のダミーチップをCu製リードフレームにダイボンディングしたサンプルをさらに、エポキシ樹脂でモールドした。モールドしたものを用いて、まず260℃リフロー試験し、その後−50℃/150℃の温度サイクル試験を500サイクル(あるいは700サイクル)実施した。その後に樹脂を開封してダイボンディングによる接合部の観察を行った。
信頼性評価として、チップおよび接合部に割れの発生がない場合を「良」としてサイクル数を示し、接合不良や割れが発生した場合を「不良」と評価した。
(1)はんだ合金(プリフォームはんだ)の製造
まず、原料として、Bi、Ag、Al、P、Ge、Cu(各元素の純度:99.99重量%以上)を準備した。原料は3mmφ以下のショット形状原料を用い、原料が大きな薄片やバルク状の場合は、溶解後の合金においてサンプリング場所による組成のバラツキがなく均一になるように留意しながら切断、粉砕等を行い、3mm以下の大きさに細かくした。次に、高周波溶解炉用グラファイト坩堝に、これら原料から所定量を秤量して入れた。
次に、原料の入った坩堝を高周波溶解炉に入れ、酸化を抑制するために窒素を原料1kg当たり0.7L/分以上の流量で流した。この状態で溶解炉の内部を500℃まで5℃/secの昇温速度で加熱し、原料を加熱溶融させた。金属が溶融しはじめたら撹拌棒でよく攪拌し、局所的な組成のばらつきが起きないように3分間撹拌を行った。十分溶融したことを確認した後、高周波電源を切り、速やかに坩堝を取り出し、坩堝内の溶湯をはんだ母合金の鋳型に流し込んだ。
鋳型には、内径が30mm以下で肉厚が10mm程度の円筒状の黒鉛製鋳型を使用し、この鋳型の外側に熱伝導性の良い材料(Cuからなり、中空構造として冷却水を通水した冷やし金)を密着させ、この鋳型に溶湯を流し込んだ後、組成にもよるが260℃程度まで5℃/secの冷却速度で速やかに冷却固化させた。
得られた固化物の一部をサンプルとして、はんだ合金内に形成された粒径50μm未満の粒子(AgとAlとの金属間化合物)の量を前記の方法で測定した。
その後、得られた固化物の残りを大気溶解炉に移して、下記条件で直径0.75mmに押出し加工を行いワイヤー形状のプリフォームはんだを製造した。なお、すべての実施例において、ワイヤー形状への加工・巻取りが可能であった。
上記方法で得られたワイヤー形状のプリフォームはんだサンプルを用いて、固相線温度、液相線温度の測定、及び、Ag−Al金属間化合物を含む粒子径の観察及び測定を行った。
また、プリフォームはんだサンプルを、さらに、Cu製リードフレームにダイボンディングして、濡れ性評価をし、エポキシ樹脂でモールド後、温度サイクル試験及びリフロー試験を行い、接合信頼性を評価した。これらの結果を、表1に示す。
原料を表1に示す組成となるように混合した以外は、実施例1と同様にして、はんだ合金を製造した。得られた固化物の一部をサンプルとして、はんだ合金内に形成された粒径50μm未満の粒子(AgとAlとの金属間化合物)の量を前記の方法で測定した。ワイヤー形状のプリフォームはんだを製造した。なお、すべての比較例において、ワイヤー形状への加工・巻取りが可能であった。
また、得られたワイヤー形状のプリフォームはんだサンプルを用いて、固相線温度、液相線温度の測定、及び、Ag−Al金属間化合物を含む粒子径の観察及び測定を行った。
また、プリフォームはんだサンプルを、さらに、リードフレームにダイボンディングして、濡れ性評価をし、エポキシ樹脂でモールド後、温度サイクル試験及びリフロー試験を行い、接合信頼性を評価した。これらの結果を、表1に示す。
実施例1〜13では、Al0.1〜3質量%、Agに対するAlの含有比(X)が、1/20≦X≦1/2の範囲であり、実施例3の図3の場合で代表されるように、それぞれ265℃以上の固相線温度が確認された。また、実施例1〜8については、断面観察により、はんだワイヤー中の添加物や金属間化合物化した粒子の97%以上が、粒径50μm未満になっていることを確認した。さらに、実施例1〜8では、実施例3の図5の場合で代表されるように、伸び率15%以上となり、脆弱性が改善されている事が確認できた。サイクル数の少ない500サイクルでチップおよび接合部に割れが発生せず、接合信頼性の評価結果は、「良」となった。これは、PやGeを含むため濡れ広がりが確保されて、信頼性が向上したためと考えられる。
実施例7〜8および実施例10〜11では、PまたはGeのほかにCuを含むため濡れ広がりが一層確保されて、サイクル数の多い700サイクルの温度サイクル試験によっても、チップおよび接合部に割れが発生せず、接合信頼性の評価結果が「良」となった。
次いで、モールドしたものの一部を基板に260℃で5回実装し、実装後のチップおよび接合部の異常の有無を調べた結果、いずれも異常は見られず、目立ったボイドも確認できなかった。よって、本発明に係るはんだで接合された部位は、リフロ−温度260℃に10秒間保持されることを5回程度経ても、溶融することなく保たれることを確認した。
また、比較例6〜7では、本発明の範囲内でGeを添加することで濡れ性は良好となったが、AgまたはAlが本発明の範囲外であり、信頼性試験時にはんだ層に割れが発生してしまい500サイクルの評価で不合格となった。
比較例8〜9は、本発明の範囲内でBi、Ag、Al、および、PまたはGeを配合したが、比較例8では、Agに対するAlの配合量が1/20未満であり、信頼性試験時にはんだ層に割れが発生してしまい500サイクルの評価で不合格となり、比較例9では、Agに対するAlの配合量が1/2を超えていたため、Alの偏析による濡れ不良が接合部の一部に発生し、接合不足の部位から割れが発生してしまい500サイクルの評価で不合格となった。
比較例10では、比較例6のはんだ合金に、本発明の範囲内でCuを添加したが、はんだ層の割れは改善されず、500サイクルの評価で不合格となった。比較例11では、比較例9のはんだ合金に、本発明の範囲内でCuを添加したが、濡れ不良は改善されず、500サイクルの評価で不合格となった。比較例12では、液相線が400℃であり、390℃の接合温度では一部溶け残っている状態となり、濡れ広がり不足となった。しかも一部接合されていない面があり、500サイクルの評価で不合格となった。
2 電極
3 はんだ
4 リードフレームアイランド部
5 リードフレーム
6 ボンディングワイヤ
7 モールド樹脂
Claims (7)
- AgとAlを含有し、実質的にPbを含まずBiの含有率が80質量%以上、かつ融点の固相線が265℃以上、液相線が390℃以下のBi基はんだ合金であって、
Agの含有量が0.6〜18質量%、また、Alの含有量が0.1〜3質量%、かつAgの含有量の1/20〜1/2であり、はんだ合金内にAgとAlとの金属間化合物を含む粒子を分散させてなり、さらにPまたはGeの1種以上を0.001〜0.3質量%含有することを特徴とするBi基はんだ合金。 - 前記粒子全体の総体積に対して、97体積%以上の粒子が粒径50μm未満であることを特徴とする請求項1に記載のBi基はんだ合金。
- Alの含有量がAgの含有量の1/15〜1/4であることを特徴とする請求項1または2に記載のBi基はんだ合金。
- さらに、Cuを0.01〜1質量%含有することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のBi基はんだ合金。
- はんだ合金の溶湯を鋳型に流し込んだ後、260℃まで3℃/sec以上の冷却速度で速やかに冷却固化させることで、AgとAlとの金属間化合物を含む粒子が合金内で分散されることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のBi基はんだ合金。
- 請求項1〜5のいずれかに記載のBi基はんだ合金を使用して、Cu材表面にメッキによるAg層やNi層が形成されていないベアCuフレーム基板に電子部品をボンディングすることを特徴する電子部品のボンディング方法。
- 請求項1〜5のいずれかに記載のBi基はんだ合金を用いて、リフロー作業ピーク温度を260〜265℃として電子部品を実装した電子部品実装基板。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013221843A JP6136853B2 (ja) | 2013-10-25 | 2013-10-25 | Bi基はんだ合金とその製造方法、並びにそれを用いた電子部品のボンディング方法および電子部品実装基板 |
CN201480050538.1A CN105531075A (zh) | 2013-09-20 | 2014-08-27 | Bi基钎料合金和使用其的电子部件的接合方法以及电子部件安装基板 |
PCT/JP2014/072397 WO2015041018A1 (ja) | 2013-09-20 | 2014-08-27 | Bi基はんだ合金、並びにそれを用いた電子部品のボンディング方法および電子部品実装基板 |
EP14845104.0A EP3047937A4 (en) | 2013-09-20 | 2014-08-27 | Bi GROUP SOLDER ALLOY, METHOD FOR BONDING ELECTRONIC PART USING SAME, AND ELECTRONIC PART MOUNTING SUBSTRATE |
US15/021,794 US20160234945A1 (en) | 2013-09-20 | 2014-08-27 | Bi-BASED SOLDER ALLOY, METHOD OF BONDING ELECTRONIC COMPONENT USING THE SAME, AND ELECTRONIC COMPONENT-MOUNTED BOARD |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013221843A JP6136853B2 (ja) | 2013-10-25 | 2013-10-25 | Bi基はんだ合金とその製造方法、並びにそれを用いた電子部品のボンディング方法および電子部品実装基板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015083313A true JP2015083313A (ja) | 2015-04-30 |
JP6136853B2 JP6136853B2 (ja) | 2017-05-31 |
Family
ID=53047224
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013221843A Expired - Fee Related JP6136853B2 (ja) | 2013-09-20 | 2013-10-25 | Bi基はんだ合金とその製造方法、並びにそれを用いた電子部品のボンディング方法および電子部品実装基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6136853B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010150495A1 (ja) * | 2009-06-22 | 2010-12-29 | パナソニック株式会社 | 接合構造体、接合材料、及び接合材料の製造方法 |
JP2012066270A (ja) * | 2010-09-22 | 2012-04-05 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | Pbフリーはんだ合金 |
JP2013146765A (ja) * | 2012-01-20 | 2013-08-01 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | Mgを含有するPbフリーBi系はんだ合金 |
-
2013
- 2013-10-25 JP JP2013221843A patent/JP6136853B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010150495A1 (ja) * | 2009-06-22 | 2010-12-29 | パナソニック株式会社 | 接合構造体、接合材料、及び接合材料の製造方法 |
JP2012066270A (ja) * | 2010-09-22 | 2012-04-05 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | Pbフリーはんだ合金 |
JP2013146765A (ja) * | 2012-01-20 | 2013-08-01 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | Mgを含有するPbフリーBi系はんだ合金 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6136853B2 (ja) | 2017-05-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6423447B2 (ja) | 亜鉛を主成分として、アルミニウムを合金化金属として含む鉛フリー共晶はんだ合金 | |
WO2015041018A1 (ja) | Bi基はんだ合金、並びにそれを用いた電子部品のボンディング方法および電子部品実装基板 | |
WO2012077415A1 (ja) | Znを主成分とするPbフリーはんだ合金 | |
JP6136878B2 (ja) | Bi基はんだ合金とその製造方法、並びにそれを用いた電子部品のボンディング方法および電子部品実装基板 | |
JP2018047500A (ja) | Bi基はんだ合金及びその製造方法、並びに、そのはんだ合金を用いた電子部品及び電子部品実装基板 | |
JPWO2018168858A1 (ja) | はんだ材 | |
JP2011251332A (ja) | Al粉を用いた高温Pbフリーはんだペースト | |
JP2018047499A (ja) | Bi基はんだ合金及びその製造方法、並びに、そのはんだ合金を用いた電子部品及び電子部品実装基板 | |
JP5699897B2 (ja) | Znを主成分とするPbフリーはんだ合金 | |
JP6136853B2 (ja) | Bi基はんだ合金とその製造方法、並びにそれを用いた電子部品のボンディング方法および電子部品実装基板 | |
JP2017035708A (ja) | Pbを含まないSb−Cu系はんだ合金 | |
JP2017196647A (ja) | Au−Sn−Ag−α系はんだ合金及びそのはんだ材料並びに該はんだ材料を用いて接合又は封止された実装基板 | |
WO2016075983A1 (ja) | Au-Sn-Ag系はんだ合金とはんだ材料並びにこのはんだ合金又ははんだ材料を用いて封止された電子部品及び電子部品搭載装置 | |
JP6136807B2 (ja) | Bi基はんだ合金とその製造方法、並びにそれを用いた電子部品のボンディング方法および電子部品実装基板 | |
JP2018047497A (ja) | Bi基はんだ合金及びその製造方法、並びに、そのはんだ合金を用いた電子部品及び電子部品実装基板 | |
JP5979083B2 (ja) | PbフリーAu−Ge−Sn系はんだ合金 | |
JP2013123741A (ja) | 塑性変形性に優れたPbフリーはんだ合金 | |
JP2016093831A (ja) | Pbを含まないMg−Cu系はんだ合金 | |
JP2015139777A (ja) | Au−Sb系はんだ合金 | |
JP2016059924A (ja) | Au−Sn−Ag系はんだ合金並びにこのAu−Sn−Ag系はんだ合金を用いて封止された電子部品及び電子部品搭載装置 | |
JP2017225979A (ja) | 高温用PbフリーZn系はんだ合金 | |
JP2014024109A (ja) | Bi−Sb系Pbフリーはんだ合金 | |
JP5652001B2 (ja) | Znを主成分とするPbフリーはんだ合金 | |
JP2018047498A (ja) | Bi基はんだ合金及びその製造方法、並びに、そのはんだ合金を用いた電子部品及び電子部品実装基板 | |
JP2016097444A (ja) | Pbを含まないSb−In系はんだ合金 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20150511 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20150608 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151222 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160823 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161005 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161108 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170105 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170404 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170417 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6136853 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |