JP2015081819A - 分析方法 - Google Patents
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Abstract
Description
次に、本実施の形態における分析方法について図6に基づき説明する。
次に、上記とは異なる内殻準位と取り出し角度を測定条件として設定した場合の例について、図6に基づき説明する。
(付記1)
X線光電子分光法による分析方法において、
分析対象となる試料における2つの異なる内殻準位を選択して、前記試料にX線を照射した際の前記試料からの光電子の脱出深さが略同じとなるように、前記2つの異なる内殻準位における光電子の取り出し角度を各々設定する条件設定工程と、
前記試料にX線を照射し、前記2つの異なる内殻準位のうち一方の内殻準位において、前記一方の内殻準位に対応する光電子の取り出し角度により、光電子の測定を行なう第1の測定工程と、
前記試料にX線を照射し、前記2つの異なる内殻準位のうち他方の内殻準位において、前記他方の内殻準位に対応する光電子の取り出し角度により、光電子の測定を行なう第2の測定工程と、
を有することを特徴とする分析方法。
(付記2)
前記第1の測定工程及び前記第2の測定工程の後、
前記一方の内殻準位において測定により得られた結果及び前記他方の内殻準位において測定により得られた結果に基づき、前記試料におけるピークフィッティングを行なうピークフィッティング工程を有することを特徴とする付記1に記載の分析方法。
(付記3)
前記試料には、2つの異なる物質が含まれており、
前記ピークフィッティング工程は、前記第1の測定工程により得られた結果における前記2つの異なる物質の比率と、第2の測定工程により得られた結果における前記2つの異なる物質の比率とが、略同じとなるように行なうことを特徴とする付記2の記載の分析方法。
(付記4)
前記ピークフィッティング工程は、前記第1の測定工程により得られた結果における前記2つの異なる物質の面積比と、第2の測定工程により得られた結果における前記2つの異なる物質の面積比とが、略同じとなるように行なうことを特徴とする付記3の記載の分析方法。
(付記5)
前記2つの異なる物質は、酸化物と窒化物であることを特徴とする付記3または4に記載の分析方法。
(付記6)
X線光電子分光法による分析方法において、
分析対象となる試料における2以上の異なる内殻準位を選択して、前記試料にX線を照射した際の前記試料からの光電子の脱出深さが略同じとなるように、前記2以上の異なる内殻準位における光電子の取り出し角度を各々設定する条件設定工程と、
前記試料にX線を照射し、各々の前記内殻準位において、各々の前記内殻準位に対応する前記光電子の取り出し角度により、光電子の測定を行なう測定工程と、
を有することを特徴とする分析方法。
(付記7)
前記測定工程の後、
前記測定において得られた結果に基づき、前記試料におけるピークフィッティングを行なうピークフィッティング工程を有することを特徴とする付記6に記載の分析方法。
(付記8)
前記試料には、複数の異なる物質が含まれており、
前記ピークフィッティング工程は、前記測定工程により得られた結果において、前記複数の異なる物質の比率が、略同じとなるよう行なうことを特徴とする付記7の記載の分析方法。
(付記9)
前記ピークフィッティング工程は、前記測定工程により得られた結果において、前記複数の異なる物質における面積比が、略同じとなるように行なうことを特徴とする付記8の記載の分析方法。
(付記10)
前記試料は、Gaを含む材料により形成されていることを特徴とする付記1から9のいずれかに記載の分析方法。
20 アナライザ
20a アナライザ
20b アナライザ
30 ディテクタ
30a ディテクタ
30b ディテクタ
40 試料ステージ
50 試料
60 制御部
Claims (10)
- X線光電子分光法による分析方法において、
分析対象となる試料における2つの異なる内殻準位を選択して、前記試料にX線を照射した際の前記試料からの光電子の脱出深さが略同じとなるように、前記2つの異なる内殻準位における光電子の取り出し角度を各々設定する条件設定工程と、
前記試料にX線を照射し、前記2つの異なる内殻準位のうち一方の内殻準位において、前記一方の内殻準位に対応する光電子の取り出し角度により、光電子の測定を行なう第1の測定工程と、
前記試料にX線を照射し、前記2つの異なる内殻準位のうち他方の内殻準位において、前記他方の内殻準位に対応する光電子の取り出し角度により、光電子の測定を行なう第2の測定工程と、
を有することを特徴とする分析方法。 - 前記第1の測定工程及び前記第2の測定工程の後、
前記一方の内殻準位において測定により得られた結果及び前記他方の内殻準位において測定により得られた結果に基づき、前記試料におけるピークフィッティングを行なうピークフィッティング工程を有することを特徴とする請求項1に記載の分析方法。 - 前記試料には、2つの異なる物質が含まれており、
前記ピークフィッティング工程は、前記第1の測定工程により得られた結果における前記2つの異なる物質の比率と、第2の測定工程により得られた結果における前記2つの異なる物質の比率とが、略同じとなるように行なうことを特徴とする請求項2の記載の分析方法。 - 前記ピークフィッティング工程は、前記第1の測定工程により得られた結果における前記2つの異なる物質の面積比と、第2の測定工程により得られた結果における前記2つの異なる物質の面積比とが、略同じとなるように行なうことを特徴とする請求項3の記載の分析方法。
- 前記2つの異なる物質は、酸化物と窒化物であることを特徴とする請求項3または4に記載の分析方法。
- X線光電子分光法による分析方法において、
分析対象となる試料における2以上の異なる内殻準位を選択して、前記試料にX線を照射した際の前記試料からの光電子の脱出深さが略同じとなるように、前記2以上の異なる内殻準位における光電子の取り出し角度を各々設定する条件設定工程と、
前記試料にX線を照射し、各々の前記内殻準位において、各々の前記内殻準位に対応する前記光電子の取り出し角度により、光電子の測定を行なう測定工程と、
を有することを特徴とする分析方法。 - 前記測定工程の後、
前記測定において得られた結果に基づき、前記試料におけるピークフィッティングを行なうピークフィッティング工程を有することを特徴とする請求項6に記載の分析方法。 - 前記試料には、複数の異なる物質が含まれており、
前記ピークフィッティング工程は、前記測定工程により得られた結果において、前記複数の異なる物質の比率が、略同じとなるよう行なうことを特徴とする請求項7の記載の分析方法。 - 前記ピークフィッティング工程は、前記測定工程により得られた結果において、前記複数の異なる物質における面積比が、略同じとなるように行なうことを特徴とする請求項8の記載の分析方法。
- 前記試料は、Gaを含む材料により形成されていることを特徴とする請求項1から9のいずれかに記載の分析方法。
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JP2013219294A JP6136847B2 (ja) | 2013-10-22 | 2013-10-22 | 分析方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017181254A (ja) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | 古河電気工業株式会社 | Sn被覆材 |
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2013
- 2013-10-22 JP JP2013219294A patent/JP6136847B2/ja active Active
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