JP7116420B2 - 組成分析方法及び組成分析装置、硬度算出方法及び硬度算出装置 - Google Patents
組成分析方法及び組成分析装置、硬度算出方法及び硬度算出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7116420B2 JP7116420B2 JP2018199316A JP2018199316A JP7116420B2 JP 7116420 B2 JP7116420 B2 JP 7116420B2 JP 2018199316 A JP2018199316 A JP 2018199316A JP 2018199316 A JP2018199316 A JP 2018199316A JP 7116420 B2 JP7116420 B2 JP 7116420B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- intensity
- ratio
- composition
- hardness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Description
本発明の組成分析方法は、試料における金属元素に対するホウ素(B)及び酸素(O)の組成比を算出する組成分析方法であって、レーザー誘起ブレークダウン分光法(LIBS)によって前記試料をプラズマ化し、当該プラズマからの発光スペクトルを取得する発光スペクトル取得工程と、前記発光スペクトルにおける、前記金属元素に対応するピークの強度である第1の強度と、208.9nmの波長に対応するホウ素(B)の単一のピークの強度である第2の強度と、酸素(O)の複数のピークが含まれる776.8nm~777.8nmの波長帯の平均強度である第3の強度と、を算出し、前記第2の強度の前記第1の強度の対する比率であるB/M値から前記試料におけるホウ素(B)の前記金属元素に対する組成比を、前記第3の強度の前記第1の強度に対する比率であるO/M値から前記試料における酸素(O)の前記金属元素に対する組成比を、それぞれ算出する分析工程と、を具備することを特徴とする。
本発明の組成分析方法は、前記発光スペクトル取得工程において、1回の測定により、前記金属元素に対応するピーク、前記208.9nmの波長に対応するホウ素(B)の単一のピーク、及び前記酸素(O)の複数のピークが含まれる776.8nm~777.8nmの波長帯、が含まれる波長範囲で前記発光スペクトルを取得することを特徴とする。
本発明の組成分析方法は、前記試料における複数の測定点において前記発光スペクトルを取得し、ホウ素(B)及び酸素(O)の前記金属元素に対する組成比を前記測定点毎に算出することを特徴とする。
本発明の組成分析方法は、前記第1の強度より、前記試料における前記金属元素の組成を算出することを特徴とする。
本発明の硬度算出方法は、前記組成分析方法を用いて前記試料におけるホウ素(B)の前記金属元素に対する組成比、及び前記試料における酸素(O)の前記金属元素に対する組成比、をそれぞれ算出することにより、前記試料の硬度を算出する硬度算出方法であって、前記金属元素、ホウ素(B)及び酸素(O)を含む模擬試料の硬度と、前記模擬試料におけるホウ素(B)の酸素(O)に対する組成比の前記金属元素の組成に対する比率との関係を、当該比率の増加に伴い前記硬度が増大する第1の領域と、当該比率の増加に伴い前記硬度が減少する第2の領域とに区分されるように、予め取得し、前記B/M値又は前記O/M値に基づき、前記試料が前記第1の領域、前記第2の領域のどちらに該当するかを判定し、前記第2の強度の前記第3の強度に対する比率の、前記第1の強度に対する比率である(B/O)/M値を算出し、前記第1の領域、前記第2の領域のうちの前記試料が該当するとされた側における前記 (B/O)/M値より、前記硬度を算出することを特徴とする。
本発明の硬度算出方法において、前記試料は放射性物質を含有することを特徴とする。
本発明の組成分析装置は、試料における金属元素に対するホウ素(B)及び酸素(O)の組成比を前記試料が発する発光の発光スペクトルから算出する組成分析装置であって、前記発光スペクトルにおける、前記金属元素に対応するピークの強度である第1の強度と、208.9nmの波長に対応するホウ素(B)の単一のピークの強度である第2の強度と、酸素(O)の複数のピークが含まれる776.8nm~777.8nmの波長帯の平均強度である第3の強度と、を算出し、前記第2の強度の前記第1の強度の対する比率であるB/M値から前記試料におけるホウ素(B)の前記金属元素に対する組成比を、前記第3の強度の前記第1の強度に対する比率であるO/M値から前記試料における酸素(O)の前記金属元素に対する組成比を、それぞれ算出する解析部を具備することを特徴とする。
本発明の組成分析装置は、レーザー光を前記試料に対して発する光源と、前記レーザー光が照射された前記試料から前記発光スペクトルを入手する光検出器と、を具備し、前記解析部は、単一の前記発光スペクトルから前記試料におけるホウ素(B)の前記金属元素に対する組成比、及び前記試料における酸素(O)の前記金属元素に対する組成比を、それぞれ算出することを特徴とする。
本発明の硬度算出装置は、前記組成分析装置を用いて前記試料におけるホウ素(B)の前記金属元素に対する組成比、及び前記試料における酸素(O)の前記金属元素に対する組成比、をそれぞれ算出することにより、前記試料の硬度を算出する硬度算出装置であって、前記金属元素、ホウ素(B)及び酸素(O)を含む模擬試料の硬度と、前記模擬試料におけるホウ素(B)の酸素(O)に対する組成比の前記金属元素の組成に対する比率との関係を、当該比率の増加に伴い前記硬度が増大する第1の領域と、当該比率の増加に伴い前記硬度が減少する第2の領域とに区分されるように、予め取得されたデータを記憶する記憶部を具備し、前記解析部は、前記B/M値又は前記O/M値に基づき、前記試料が前記第1の領域、前記第2の領域のどちらに該当するかを判定し、前記第2の強度の前記第3の強度に対する比率の、前記第1の強度に対する比率である(B/O)/M値を算出し、前記第1の領域、前記第2の領域のうちの前記試料が該当するとされた側における前記 (B/O)/M値と前記データより、前記硬度を算出することを特徴とする。
本発明の硬度算出装置において、前記解析部は、前記試料における複数の箇所で得られた前記発光スペクトルより、前記複数の箇所における前記硬度を算出することを特徴とする。
10 光源
20 照射光学系
30 検出光学系
40 光検出器
50 解析部
60 記憶部
100 レーザー光
200 プラズマ発光
S 試料
Claims (10)
- 試料における金属元素に対するホウ素(B)及び酸素(O)の組成比を算出する組成分析方法であって、
レーザー誘起ブレークダウン分光法(LIBS)によって前記試料をプラズマ化し、当該プラズマからの発光スペクトルを取得する発光スペクトル取得工程と、
前記発光スペクトルにおける、前記金属元素に対応するピークの強度である第1の強度と、208.9nmの波長に対応するホウ素(B)の単一のピークの強度である第2の強度と、酸素(O)の複数のピークが含まれる776.8nm~777.8nmの波長帯の平均強度である第3の強度と、を算出し、前記第2の強度の前記第1の強度の対する比率であるB/M値から前記試料におけるホウ素(B)の前記金属元素に対する組成比を、前記第3の強度の前記第1の強度に対する比率であるO/M値から前記試料における酸素(O)の前記金属元素に対する組成比を、それぞれ算出する分析工程と、
を具備することを特徴とする組成分析方法。 - 前記発光スペクトル取得工程において、
1回の測定により、前記金属元素に対応するピーク、前記208.9nmの波長に対応するホウ素(B)の単一のピーク、及び前記酸素(O)の複数のピークが含まれる776.8nm~777.8nmの波長帯、が含まれる波長範囲で前記発光スペクトルを取得することを特徴とする請求項1に記載の組成分析方法。 - 前記試料における複数の測定点において前記発光スペクトルを取得し、ホウ素(B)及び酸素(O)の前記金属元素に対する組成比を前記測定点毎に算出することを特徴とする請求項2に記載の組成分析方法。
- 前記第1の強度より、前記試料における前記金属元素の組成を算出することを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載の組成分析方法。
- 請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載の組成分析方法を用いて前記試料におけるホウ素(B)の前記金属元素に対する組成比、及び前記試料における酸素(O)の前記金属元素に対する組成比、をそれぞれ算出することにより、前記試料の硬度を算出する硬度算出方法であって、
前記金属元素、ホウ素(B)及び酸素(O)を含む模擬試料の硬度と、前記模擬試料におけるホウ素(B)の酸素(O)に対する組成比の前記金属元素の組成に対する比率との関係を、当該比率の増加に伴い前記硬度が増大する第1の領域と、当該比率の増加に伴い前記硬度が減少する第2の領域とに区分されるように、予め取得し、
前記B/M値又は前記O/M値に基づき、前記試料が前記第1の領域、前記第2の領域のどちらに該当するかを判定し、
前記第2の強度の前記第3の強度に対する比率の、前記第1の強度に対する比率である(B/O)/M値を算出し、
前記第1の領域、前記第2の領域のうちの前記試料が該当するとされた側における前記 (B/O)/M値より、前記硬度を算出することを特徴とする硬度算出方法。 - 前記試料は放射性物質を含有することを特徴とする請求項5に記載の硬度算出方法。
- 試料における金属元素に対するホウ素(B)及び酸素(O)の組成比を前記試料が発する発光の発光スペクトルから算出する組成分析装置であって、
前記発光スペクトルにおける、前記金属元素に対応するピークの強度である第1の強度と、208.9nmの波長に対応するホウ素(B)の単一のピークの強度である第2の強度と、酸素(O)の複数のピークが含まれる776.8nm~777.8nmの波長帯の平均強度である第3の強度と、を算出し、前記第2の強度の前記第1の強度の対する比率であるB/M値から前記試料におけるホウ素(B)の前記金属元素に対する組成比を、前記第3の強度の前記第1の強度に対する比率であるO/M値から前記試料における酸素(O)の前記金属元素に対する組成比を、それぞれ算出する解析部を具備することを特徴とする組成分析装置。 - レーザー光を前記試料に対して発する光源と、
前記レーザー光が照射された前記試料から前記発光スペクトルを入手する光検出器と、
を具備し、前記解析部は、単一の前記発光スペクトルから前記試料におけるホウ素(B)の前記金属元素に対する組成比、及び前記試料における酸素(O)の前記金属元素に対する組成比を、それぞれ算出することを特徴とする請求項7に記載の組成分析装置。 - 請求項7又は8に記載の組成分析装置を用いて前記試料におけるホウ素(B)の前記金属元素に対する組成比、及び前記試料における酸素(O)の前記金属元素に対する組成比、をそれぞれ算出することにより、前記試料の硬度を算出する硬度算出装置であって、
前記金属元素、ホウ素(B)及び酸素(O)を含む模擬試料の硬度と、前記模擬試料におけるホウ素(B)の酸素(O)に対する組成比の前記金属元素の組成に対する比率との関係を、当該比率の増加に伴い前記硬度が増大する第1の領域と、当該比率の増加に伴い前記硬度が減少する第2の領域とに区分されるように、予め取得されたデータを記憶する記憶部を具備し、
前記解析部は、
前記B/M値又は前記O/M値に基づき、前記試料が前記第1の領域、前記第2の領域のどちらに該当するかを判定し、
前記第2の強度の前記第3の強度に対する比率の、前記第1の強度に対する比率である(B/O)/M値を算出し、
前記第1の領域、前記第2の領域のうちの前記試料が該当するとされた側における前記 (B/O)/M値と前記データより、前記硬度を算出することを特徴とする硬度算出装置。 - 前記解析部は、前記試料における複数の箇所で得られた前記発光スペクトルより、前記複数の箇所における前記硬度を算出することを特徴とする請求項9に記載の硬度算出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018199316A JP7116420B2 (ja) | 2018-10-23 | 2018-10-23 | 組成分析方法及び組成分析装置、硬度算出方法及び硬度算出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018199316A JP7116420B2 (ja) | 2018-10-23 | 2018-10-23 | 組成分析方法及び組成分析装置、硬度算出方法及び硬度算出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020067337A JP2020067337A (ja) | 2020-04-30 |
JP7116420B2 true JP7116420B2 (ja) | 2022-08-10 |
Family
ID=70390043
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018199316A Active JP7116420B2 (ja) | 2018-10-23 | 2018-10-23 | 組成分析方法及び組成分析装置、硬度算出方法及び硬度算出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7116420B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004132919A (ja) | 2002-10-15 | 2004-04-30 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | レーザ光による成分分析方法 |
JP2008116268A (ja) | 2006-11-02 | 2008-05-22 | Honda Motor Co Ltd | Dlc膜の硬度推定装置及び硬度推定方法 |
JP2014119457A (ja) | 2012-12-13 | 2014-06-30 | Gwangju Inst Of Science & Technology | レーザープラズマスペクトルを用いた試料内の測定対象元素の定量分析方法 |
JP2015506484A (ja) | 2012-02-07 | 2015-03-02 | マテリアリティクス,エルエルシー | 試料を分析する方法およびシステム |
US20160116415A1 (en) | 2013-05-30 | 2016-04-28 | Laser Distance Spectrometry | Method of laser-induced breakdown spectroscopy in air |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5751416A (en) * | 1996-08-29 | 1998-05-12 | Mississippi State University | Analytical method using laser-induced breakdown spectroscopy |
-
2018
- 2018-10-23 JP JP2018199316A patent/JP7116420B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004132919A (ja) | 2002-10-15 | 2004-04-30 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | レーザ光による成分分析方法 |
JP2008116268A (ja) | 2006-11-02 | 2008-05-22 | Honda Motor Co Ltd | Dlc膜の硬度推定装置及び硬度推定方法 |
JP2015506484A (ja) | 2012-02-07 | 2015-03-02 | マテリアリティクス,エルエルシー | 試料を分析する方法およびシステム |
JP2014119457A (ja) | 2012-12-13 | 2014-06-30 | Gwangju Inst Of Science & Technology | レーザープラズマスペクトルを用いた試料内の測定対象元素の定量分析方法 |
US20160116415A1 (en) | 2013-05-30 | 2016-04-28 | Laser Distance Spectrometry | Method of laser-induced breakdown spectroscopy in air |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020067337A (ja) | 2020-04-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4247559B2 (ja) | 蛍光x線分析装置およびそれに用いるプログラム | |
KR101423988B1 (ko) | 레이저 플라즈마 스펙트럼을 이용한 시료 내 측정 대상 원소의 정량 분석 방법 | |
KR900018665A (ko) | 금속분석시험장치 및 방법 | |
JP2011099749A (ja) | 濃度計測方法及び蛍光x線分析装置 | |
Ferretti | The investigation of ancient metal artefacts by portable X-ray fluorescence devices | |
JP5975181B2 (ja) | 蛍光x線分析方法及び蛍光x線分析装置 | |
JP6769402B2 (ja) | 電子線マイクロアナライザー及びデータ処理プログラム | |
US10309831B2 (en) | Dynamic calibration method for echelle spectrometer in laser-induced breakdown spectroscopy | |
JP6774896B2 (ja) | 分析装置および分析方法 | |
JPH06174663A (ja) | 汚染元素分析方法 | |
JP6760694B2 (ja) | がいし類の汚損の計測方法、計測装置、及び計測プログラム | |
JP6576751B2 (ja) | 分析方法およびx線光電子分光装置 | |
Campbell et al. | Phase discrimination of uranium oxides using laser-induced breakdown spectroscopy | |
WO2021161631A1 (ja) | 定量分析方法、定量分析プログラム及び蛍光x線分析装置 | |
Latkoczy et al. | Simultaneous LIBS and LA-ICP-MS analysis of industrial samples | |
Pessanha et al. | Comparison of standard‐based and standardless methods of quantification used in X‐ray fluorescence analysis: Application to the exoskeleton of clams | |
US10948435B2 (en) | X-ray fluorescence analysis device, and spectrum display method used in same | |
Lopez-Quintas et al. | Mapping of mechanical specimens by laser induced breakdown spectroscopy method: Application to an engine valve | |
Stern et al. | Ion microprobe (NanoSIMS 50) Pb-isotope geochronology at< 5 μm scale | |
JP7116420B2 (ja) | 組成分析方法及び組成分析装置、硬度算出方法及び硬度算出装置 | |
Haschke et al. | Micro-XRF in scanning electron microscopes | |
JP2007178445A (ja) | 試料分析装置における定量分析方法 | |
JP2928688B2 (ja) | 汚染元素分析方法及び装置 | |
JP3610256B2 (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
JP7153324B2 (ja) | 元素分析方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A80 | Written request to apply exceptions to lack of novelty of invention |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A80 Effective date: 20181114 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210830 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220428 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220517 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220614 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220705 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220719 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7116420 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |