JP2015080682A - 環境浄化装置及び環境浄化方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空槽11の透過窓12を介して入射される外部からのパルスレーザ光20を真空槽11の内部に配置されたターゲット14に照射させてその表面からプラズマプルーム23を発生させ、ターゲット14に対向するように配置される載置手段である載置台17に載置された環境浄化対象物24にそのプラズマプルーム23が照射されるようにした。なお、プラズマプルーム23は高エネルギーから低エネルギーまでの各種電離層(高電離層23a、中電離層23b、低電離層23c)を有することが知られている。また、ほとんどがラジカル粒子のみの部分も存在していることも知られている。
【選択図】図1
Description
また、前記載置手段は、前記ターゲットと対向する方向において接離自在となるように設けられ、該載置手段の接離動作により、前記環境浄化対象物が前記プラズマプルームのエネルギーの異なる任意の電離層まで移動されることを特徴とする。
また、前記ターゲットは、殺菌効果のある金属で構成されていることを特徴とする。
本発明の環境浄化方法は、真空槽の透過窓を介して入射される外部からのパルスレーザ光を前記真空槽の内部に配置されたターゲットに照射させる工程と、該ターゲットに対向するように配置される載置手段に載置された環境浄化対象物に前記ターゲットの表面から発生するプラズマプルームを照射させる工程とを有することを特徴とする。
また、前記載置手段を前記ターゲットと対向する方向において接離させ、前記環境浄化対象物を前記プラズマプルームのエネルギーの異なる任意の電離層まで移動させる工程を有することを特徴とする。
また、前記ターゲットは、殺菌効果のある金属で構成されていることを特徴とする。
本発明の環境浄化装置及び環境浄化方法では、真空槽の透過窓を介して入射される外部からのパルスレーザ光を真空槽の内部に配置されたターゲットに照射させると、そのターゲットの表面からプラズマプルームが発生する。そして、ターゲットに対向するように配置される載置手段に載置された環境浄化対象物にターゲットの表面から発生したプラズマプルームが照射される。
ここで、パルスレーザ光が照射された直後において、ターゲットの極近傍で発生するプラズマプルームは完全電離状態になっていると考えられ、高いエネルギーを持っていることが知られている。
また、ターゲットの表面から離れるに従い、エネルギーが低くなり、電子やイオンの密度が低くなることも知られている。また、ほとんどがラジカル粒子のみの部分も存在していることも知られている。
そこで、これまでほとんど殺菌できなかったような長寿命であったり、強固であったりする除菌対象菌に対しては、高いエネルギーを有する電離層を利用することで、環境浄化(除菌、殺菌及び減菌などを行うこと)を確実に行うことができる。
また、中間又は低いエネルギーを有する電離層を利用することで、下地となるもの(殺菌してはならないもの)をあまり壊さないようにしつつ、環境浄化(除菌、殺菌及び減菌などを行うこと)を確実に行うことができる。
また、プラズマプルームからはUV(ultraviolet)、VUV(vacuum ltraviolet)も発生するため、これらのUV、VUVが環境浄化対象物に照射されることで、そのUV、VUVによる環境浄化(除菌、殺菌及び減菌などを行うこと)も可能となる。
さらには、上述したように、プラズマプルームにはほとんどがラジカル粒子のみの部分も存在しているため、そのラジカル粒子のみの部分を利用することでの環境浄化(除菌、殺菌及び減菌などを行うこと)を確実に行うことも可能となる。
11 真空槽
12、13 透過窓
14 ターゲット
15 支持アーム
16 可動アーム
17 載置台
20 パルスレーザ光
21 集光レンズ
22 赤外光
23 プラズマプルーム
23a 高電離層
23b 中電離層
23c 低電離層
24 環境浄化対象物
30 パソコン
31 モニター
40 MCT検出器
41〜43 反射鏡
44 受光面
50 ICCDカメラ
Claims (6)
- 透過窓を有する真空槽と、
該真空槽の内部に配置され、前記透過窓を介して外部から入射されるパルスレーザ光が照射されるターゲットと、
該ターゲットに対向するように配置され、環境浄化対象物を載置する載置手段とを備え、
前記ターゲットの表面から発生するプラズマプルームが前記環境浄化対象物に照射される
ことを特徴とする環境浄化装置。 - 前記載置手段は、前記ターゲットと対向する方向において接離自在となるように設けられ、
該載置手段の接離動作により、前記環境浄化対象物が前記プラズマプルームのエネルギーの異なる任意の電離層まで移動される
ことを特徴とする請求項1に記載の環境浄化装置。 - 前記ターゲットは、殺菌効果のある金属で構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の環境浄化装置。
- 真空槽の透過窓を介して入射される外部からのパルスレーザ光を前記真空槽の内部に配置されたターゲットに照射させる工程と、
該ターゲットに対向するように配置される載置手段に載置された環境浄化対象物に前記ターゲットの表面から発生するプラズマプルームを照射させる工程とを有する
ことを特徴とする環境浄化方法。 - 前記載置手段を前記ターゲットと対向する方向において接離させ、前記環境浄化対象物を前記プラズマプルームのエネルギーの異なる任意の電離層まで移動させる工程を有することを特徴とする請求項4に記載の環境浄化方法。
- 前記ターゲットは、殺菌効果のある金属で構成されていることを特徴とする請求項4又は5に記載の環境浄化方法。
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