JP2015074796A - 原子層堆積装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板(ウエハー)5を基板保持機構(ステージ)6に供給するロードロック室(ロードロックチャンバー部)1と、ロードロック室1に隣接して、基板5を搭載して上下動する基板保持機構6を有する反応容器(収納部)4と、反応容器4の上方に設けられた原子層堆積のための反応空間(リアクター部)とを有する。基板5を搭載した基板保持機構6が上昇して、反応空間の下部の蓋となる。反応空間の下部と基板保持機構6の端部との間には耐熱Oリング10を配する。反応容器4の内圧は反応空間の内圧より高い。
【選択図】図2
Description
基板(ウエハー)はまず、大気側からロードロック室(ロードロックチャンバー部)に導入され、ロードロック室を真空脱気後、基板搬送機構によりゲートバルブを通じ、反応容器内の基板保持機構(ステージ)に移送される。基板搬送機構をロードロック室に戻したのち、ゲートバルブを閉める。基板保持機構は反応容器(収納部)内で上昇移動し、基板保持フランジ面と反応容器の上フタとの間に反応空間(リアクター部)を狭窄する。この時、基板保持フランジ面外縁部に耐熱Oリングシール構造を設け、ALDサイクルに伴う導入ガス分子を、狭窄した反応空間にのみ供給する。ALDプロセス中の反応空間から耐熱Oリングシールを通過するわずかの内部リークを防ぐために、反応空間に対し基板保持フランジ面の背部から数torrの不活性ガス与圧をかけることで、原料ガスの拡散ロスの極小化とパージ時間の短縮とを可能した。これにより、多元系材料ALDの安定した動作を可能とする。
2 基板搬送機構
3 搬送ゲートバルブ
4 反応容器
5 基板
6 基板保持機構
7 基板ヒータ
8 上下機構ベロー
9 金属ガスケット
10 耐熱Oリング
11 原料・反応ガス導入口
12 反応容器上蓋フランジ
13 反応ガス排気口
14 ターボポンプ排気口
15 耐熱Oリングシール
16 Oリング段間排気口
17 プラズマ吐出口ピンホールバルブ
18 プラズマ室
Claims (2)
- ウエハーをステージに供給するロードロックチャンバー部と、該ロードロックチャンバー部に隣接して、前記ウエハーを搭載して上下動する前記ステージを有する収納部と、該収納部の上方に設けられた原子層堆積のためのリアクター部と、複数のキャリアガス供給部と、複数の原料容器部と、前記リアクター部と各原料容器部とを繋ぐ配管・排気系とを有する原子層堆積装置において、
前記ウエハーを搭載した前記ステージが上昇して、前記リアクター部の下部の蓋となり、前記リアクター部の下部と前記ステージの端部との間には耐熱性Oリングを配し、前記収納部の内圧は前記リアクター部の内圧より高いことを
特徴とする原子層堆積装置。 - 前記リアクター部の上蓋は、二重の耐熱性Oリングを配し、前記二重の耐熱Oリング間は高真空排気もしくは不活性ガス置換されることを特徴とする原子層堆積装置。
Priority Applications (1)
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JP2013210698A JP2015074796A (ja) | 2013-10-08 | 2013-10-08 | 原子層堆積装置 |
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JP2013210698A JP2015074796A (ja) | 2013-10-08 | 2013-10-08 | 原子層堆積装置 |
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210053196A (ko) | 2019-11-01 | 2021-05-11 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치의 기동 또는 메인터넌스 방법 |
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-
2013
- 2013-10-08 JP JP2013210698A patent/JP2015074796A/ja active Pending
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A977 | Report on retrieval |
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