JP2015064250A - 環境試験装置 - Google Patents
環境試験装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015064250A JP2015064250A JP2013197465A JP2013197465A JP2015064250A JP 2015064250 A JP2015064250 A JP 2015064250A JP 2013197465 A JP2013197465 A JP 2013197465A JP 2013197465 A JP2013197465 A JP 2013197465A JP 2015064250 A JP2015064250 A JP 2015064250A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- air
- test chamber
- test apparatus
- blower
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】環境試験装置1は、通電により発熱する被試験物Wを配置する試験室5と、空気を所望の温度に調節可能な温度調節部6を有し、2台の送風機12、13で温度調節部6と試験室5との間で空気を循環させて、試験室5内の雰囲気温度を調節する。代表温度センサー11の温度だけを監視し、二つの送風機12,13を同一の送風量で運転する通常運転と、通風路側温度分布検知手段の検知状況に基づいて送風機12,13の送風量を可変する通風路温度分布優先運転と、試験室側温度分布検知手段の検知状況に基づいて送風機12,13の送風量を可変する試験室温度分布優先運転とを行うことができる。
【選択図】図1
Description
環境試験装置は、試験対象となる被試験物が載置される試験室と、空気を所望の温度に調節する温度調節部と、送風機とを備えている。また温度調節部は、空気が通過する通風路を有し、その内部に、加熱装置、冷却装置(除湿装置を兼ねる)が内蔵されたものである。なお環境試験装置には更に加湿装置を備えたものも多い。ただしバーンイン試験を実施する環境試験装置は、加湿装置を持たないものが多い。
環境試験装置は、温度調節部で温度や湿度を調節し、この空気を、試験室を経由して循環させ、試験室内の雰囲気を所望の環境に調節するものである(例えば特許文献1)。即ち環境試験装置は、送風機を運転して試験室内の空気を温度調節部に導入し、温度調節部で温度調節した空気を試験室側に送る。
環境試験装置は、一定の温度等の環境下に被試験物をさらして性能を調べる試験であるから、試験室内の温度分布のばらつきを小さくする必要がある。
理論上、温度調節部と試験室との間における空気の循環量が多い程、試験室内の温度分布のばらつきが小さくなる。そのため環境試験装置に搭載される送風機は、比較的大容量のものが採用される傾向にある。従来技術においては、温度調節部と試験室との間における空気の循環量を、試験室に要求される温度分布性能が厳しいほど増大させることによって、試験室内の温度分布のばらつきを小さくしている。
二つの送風機の送風能力は同じであり、且つ一方の送風機がフル能力で運転される場合には、他方の送風機もフル能力で運転される。また一方の送風機が50%出力で運転される場合には、他方の送風機も50%出力で運転される。
また可動板を設ける構成は、故障が発生し易く、メンテナンス等の手間が増大する懸念がある。環境試験装置は、極低温環境や高温環境を人工的に作り出す装置であるから、前記した可動板は、当然に極低温環境や高温環境にさらされる。その結果、可動板を駆動させるモータや駆動機構等が傷み、故障が頻発することがある。
そのため、この種の環境試験装置においては、別の手段を用いて、試験室の温度分布の不均一を改善することが望まれていた。
試験室内の温度分布にばらつきが生じる原因は、大きく分けて温度調節部側にある場合と、試験室側にある場合とがある。
試験室内の温度分布にばらつきが生じる原因の一つとして、温度調節部の断面における温度分布のばらつきがあることが判った。
即ち温度調節部は、通風路を有し、その内部に、加熱装置、冷却装置(除湿装置を兼ねる)、加湿装置等が内蔵されたものである。そして送風機によって、温度調節部で一定の温度や湿度に調整された空気を試験室に送り込む。
ところが本発明者らが調査したところによると、通風路の横断面における温度は、必ずしも一定ではなく、温度の高い部位や低い部位があった。そのため、送風機が吐出する送風にも、断面位置における温度ばらつきが存在した。送風機から吐出される空気は、均一に吹き出していたとしても一様の温度とは言えず、温度の高い部位と、温度の低い部位が存在した。そのため試験室にも温度が高い部位と、温度の低い部位ができてしまっていた。
またもう一つの原因は、被試験物に由来するものであった。即ち試験室に配置された被試験物によって風の流れが妨げられたり、被試験物自身が発熱することによって試験室内の温度分布がばらついてしまうのであった。
そのため、送風機に導入される空気の温度にばらつきがあっても、送風量を加減して吐出側の温度ばらつきを小さくし、試験室側に送ることができる。
また複数台数の送風機の送風量を加減し、風速に強弱を付けることにより、試験室の各部に熱的に均等に送風を行き渡らせることができる。
本発明によると、試験室の各部の温度ばらつきを小さくすることができる。
本発明者らの調査によると、特に冷却装置は、その表面の温度が一定ではなく、相当に相違している場合がある。
即ち冷却装置は、一般に冷凍サイクルを構成する冷凍機の蒸発器であり、その内部で冷媒を気化させて熱を奪っている。
ところが、蒸発器における冷媒の蒸発状況は、負荷の大小によって相違する。冷却能力に比べて負荷が小さい場合には、蒸発器の内部は、その全域で液状の冷媒と気体状の冷媒とが混在した状態となり、蒸発器の表面温度はいずれの部位も低温であってばらつきは小さい。これに対して冷却能力に比べて負荷が大きい場合には、蒸発器の冷媒導入口近傍においては、液状の冷媒と気体状の冷媒とが混在した状態であるが、その先の領域においては、全ての冷媒が気化した状態となり、蒸発潜熱を消費してしまった状態となっている。そのため冷媒導入口の近傍の温度が低く、冷媒吐出口近傍の温度が高いものとなっている。
そこで本発明では、冷却装置あるいはその近傍における所定の箇所の温度を検知することとした。
また加熱装置は、一般に冷却装置の下流側にあり、その近傍の温度は、上流側の冷却装置の影響を受ける。そのため加熱装置あるいはその近傍における所定の箇所の温度を検知しても同様の作用効果が期待できる。
なお、ここで言う「試験条件」とは、例えば試験室内を高温状態に制御したり、低温状態に制御する等の条件であり、例えば設定温度や設定湿度、維持時間等である。
本実施形態の環境試験装置1は、2台の送風機12,13を備えたバーンイン試験装置である。
環境試験装置1は、バーンインボード(図示せず)に実装された被試験物Wを、通常の使用温度よりも高い温度にさらし、さらに通常の使用電圧よりも高い電圧に印加するバーンイン試験を行うものである。
Field Effect Transistor )、システムLSI(System Large Scale Integration)、DSP(Digital Signal Processor)に代表されるような通電時の発熱量が極めて大きなものが想定されている。
また試験室5の上段側の領域をC領域とし、下段側の領域をD領域とする。
そして、図3の様な枡目を想定し、AC領域、BC領域、BD領域、AD領域と称する。
また本実施形態では、図1の様に、試験室5内の両脇の領域が、送風路部7及び排気路部8となっている。棚設置領域32は、送風路部7と排気路部8とに挟まれた領域である。
送風路部7は、図1を基準として棚設置領域32の右側の領域であり、温度調節部6から棚設置領域32に対して温度・湿度が調整された空気を供給する空気供給路として機能する。
排気路部8は、図1を基準として棚設置領域32の左側の領域であり、棚設置領域32から温度調節部6に向かって空気を戻す空気回収路として機能する。
このバーンインボードは、複数の被試験物Wを実装することができ、実装された被試験物Wに対して通電することができる。そして、試験室5には、バーンインボードと電気的に接続するための電圧印加ユニット(図示せず)が設けられている。
そして通風路10には、図1,2,3に示すように、空気を加熱するヒータ15と、空気を冷却する冷却装置16と、温度調節部6から試験室5に向けて送風する複数(本実施形態では2台)の送風機12、13が備えられている。
冷却装置16は、例えば公知の冷却装置の一部(蒸発器)であり、図示しない圧縮機、凝縮器、膨張弁等と共に冷凍サイクルを構成するものである。冷却装置16は、内部に相変化する冷媒が流通する熱交換器であり、温度調節部6を通過する気体を冷却するものである。
一方の送風機12は、図2に示す様に吸い込み口から吸い込んだ空気をモータ30側から見て左側に吐出するのに対し、他方の送風機13は、吸い込み口から吸い込んだ空気をモータ30側から見て右側に吐出する。
前記した様に2台の送風機12、13は、同一容量である。また両者の回転数を同一の回転数に制御したり、異なる回転数に制御することが可能である。2台の送風機12、13は、共にモータ30の回転数を変化させて送風量を任意に変更することができる。
なお本実施形態では、送風機1台あたりの能力、具体的には最大送風量を例えば30〜70m3 /min(立法メートル毎分)としたものが2台採用されている。
2台の送風機12、13は同一高さの同一平面上に配置されている。そして送風機12は、後側の領域Bにあり、送風機13は、前側の領域Aにある。
従って、送風機12は、主として通風路10の領域Bを通過する空気を吸い込んで吐出することとなる。
また送風機13は、主として通風路10の領域Aを通過する空気を吸い込んで吐出することとなる。
また2台の送風機12、13の空気吐出口14は、いずれも試験室5の送風路部7側に向かって開口している。各送風機12、13は、空気を送風する空気吐出口14があり、これらはいずれも同一方向(送風路部7が位置する方向)に向けられている。ただし、2台の送風機12、13は、図3の様に空気吐出口14が互いに外側となる様に配置されている。
即ち本実施形態の環境試験装置1では、温度調節部6の通風路10内に4個の温度センサーが内蔵されていて通風路側温度分布検知手段が形成されている。
ここで二つのヒータ側温度センサー25、26は、通風方向に直交する方向に距離を置いて設置されている。
ヒータ側温度センサー25は、通風路10内のB領域に設けられている。またヒータ側温度センサー26は、通風路10内のA領域に設けられている。
さらに本実施形態では、冷却装置16に複数(本実施形態では2つ)の冷却装置側温度センサー27、28が設けられている。
冷却装置側温度センサー27、28は、いずれも冷却装置16たる蒸発器の表面温度を測定するものである。
二つの冷却装置側温度センサー27、28についても、通風方向に直交する方向に距離を置いて設置されている。
冷却装置側温度センサー27は、通風路10内のB領域に設けられている。また冷却装置側温度センサー28は、通風路10内のA領域に設けられている。
さらに本実施形態の環境試験装置1では、試験室5内であって、一方の送風機13の吐出口近傍に代表温度センサー11が設けられている。
なお、以下に説明する試験は、バーンイン試験であり、試験室5に配した被試験物Wに通電し、試験室5の温度を高温の設定温度に昇温させて、その高温状態を一定時間維持させる試験である。
運転初期においては、温度調節部6では、ヒータ15によって空気が加熱され、その加熱された空気が、2台の送風機12、13によって試験室5の送風路部7に向けて送り出され、棚設置領域32を通過して排気路部8に入る。そしてさらに空気は、排気路部8を上昇して温度調節部6に戻る。即ち送風機12,13によって温度調節部6と試験室5との間で空気を循環させ、試験室5内の環境を所望の環境に調節する。
例えば、2台の送風機12、13の送風量の合計が、プラスマイナス10%の範囲に納まる様に制御される。
なお実際には、試験室5内が設定温度に至るまでに冷却装置16が起動される場合も多い。この理由は、急に冷却装置16を起動すると、試験室5内の温度が乱れるためであり、温度の上昇過程で冷却装置16を起動しておくことにより、設定温度近傍に至った際における温度の乱れを防ぐ。
バーンイン試験は、被試験物Wに通電した状態で高温環境に晒す試験である。そのため、被試験物W自身が発熱する。また2台の送風機12、13が常時運転されており、送風機12、13の空気攪拌作用によって熱が発生する。
そのため、バーンイン試験が開始されると、試験室5内の温度は、上昇傾向となるので、バーンイン試験中は、ヒータ15を制御する。
また前記した様に、試験室5は断熱壁20で覆われ、且つ被試験物Wと送風機12、13に起因する発熱があるから、ヒータ15を停止しても、さらに試験室5の温度が上昇傾向となる。
そのためバーンイン試験が開始されて暫くした後は、試験室5内の気温を設定温度に維持するために、冷却装置16が運転され、試験室5内の温度が設定温度に保たれる。
即ち本実施形態の環境試験装置1は、単に代表温度センサー11の温度だけを監視し、二つの送風機12,13を同一の送風量で運転する通常運転と、通風路側温度分布検知手段(温度センサー25〜28)の検知状況に基づいて送風機12,13の送風量を可変する通風路温度分布優先運転と、試験室側温度分布検知手段(複数の温度センサー33)の検知状況に基づいて送風機12,13の送風量を可変する試験室温度分布優先運転とを行うことができる。
通風路温度分布優先運転及び試験室温度分布優先運転は、試験室5の設定温度が高温である場合や、被試験物が発熱するものである場合に実施することが推奨される。
以下、順次説明する。
通常運転は、2台の送風機12、13を同じ送風量で運転する運転モードである。
即ち本実施形態の環境試験装置1では、2台の送風機12、13から同一風量の空気を吐出させて運転することができる。
通常運転を実施する場合は、2台の送風機12、13から同一の風速で空気が送風されるため、各送風機12、13から吐出された気体は、図5に示すように、左右方向(2台の送風機の並列方向)に概ね均等な割合で下流に向けて流れる。図5に示すように、A領域とB領域に均等に吹き出され、図6(a)、(b)の様に送風路部7を下向きに流れる。
そのため図3の様な枡目を想定したとき、AC領域、BC領域、BD領域、AD領域に空気が均等に流れる。
通常運転は、ごく普通の運転モードであり、多くの場合、この運転モードで運転しても、試験室5内の温度ばらつきは小さい。
そのため、温度調節部6の通風路10の断面における温度ばらつきが小さい場合は、二つの送風機12、13から吐出される空気の温度は等しい。一方の送風機12に導入される空気の温度と、他方の送風機13に導入される空気の温度が等しいならば、二つの送風機12、13から吐出される空気の温度は等しいものとなる。
この様な現象は、バーンイン試験を行う環境試験装置1では、頻繁に発生する。バーンイン試験は、被試験物W自身の発熱や、送風機12、13の攪拌熱によって温度上昇傾向となるから、冷却装置16で試験室5内の温度を低下させる必要がある。
しかしながら、環境温度自体が、例えば摂氏125度という様に相当に高い温度であるから、蒸発器(冷却装置16)に導入された液状の冷媒は、早い時期に気化してしまう。そのためバーンイン試験を行う環境試験装置1では、冷却装置16の上流側と下流側との温度差が大きく、上流側の表面温度は、下流側の表面温度に比べて著しく低いものとなる傾向がある。
そのため、送風機13から吐出される空気の温度は、送風機12側から吐出される空気の温度よりも低温となってしまう。
そのため、温度調節部6に設けられた複数の送風機12,13のそれぞれが、同一送風量となるように回転数制御が行われた場合、冷却装置16の温度ムラの影響を受けて、試験室5内においても温度分布のムラが発生してしまう場合がある。即ち領域A(AC領域、AD領域)の温度が、B領域(BC領域、BD領域)の温度よりも低くなり、試験室5内に温度ばらつきが生じてしまう。
本実施形態の環境試験装置1では、通風路温度分布優先運転を実施することが可能であり、通風路温度分布優先運転を実施することによって、二つの送風機12、13から吐出される空気の温度を略一致させることができる。
通風路温度分布優先運転は、通風路側温度分布検知手段(温度センサー25〜28)によって、温度調節部6の通風路10の断面における温度ばらつきを監視し、温度ばらつきに応じて二つの送風機12、13の送風量を相違させ、送風機12、13から吐出される送風の温度を揃える運転モードである。
またヒータ側温度センサー26及び冷却装置側温度センサー28は、共に通風路10内のA領域に設けられており、通風路10のA領域を通過する空気の温度や、冷却装置16の表面温度を検知している。
本実施形態では、図2の様に、領域A側に冷媒導入口35があるから、冷却装置16は、A領域の方がB領域に比べて表面温度が低いものとなる傾向となる。そして冷却装置側温度センサー27,28を比較して、A領域の温度が一定以上、B領域に比べて低くなると、A領域に設置された送風機13の回転数を上げ、B領域に設置された送風機12の回転数を下げる。
即ち冷却能力に応じて、領域を通過する風量を増減し、二つの送風機12,13から吐出される空気の温度を揃える。
また冷却装置側温度センサー27、28に代わって、ヒータ側温度センサー25、26の検知温度を参照し、A領域とB領域を通過する温度を比較して二つの送風機12,13から吐出される空気の温度を揃えてもよい。
以下、風速変更制御機能についてさらに具体的に説明する。
/min)に制御される。これにより、他方の送風機13から吐出される空気量が通常時よりも増大し、一方の送風機12から吐き出される空気量は通常時よりも減少する。換言すれば、他方の送風機13から吐き出される空気の単位体積当たりの冷却装置16との熱交換率を意図的に減少させ、一方の送風機12から吐き出される空気の単位体積当たりの冷却装置16との熱交換率を意図的に増加させている。その結果、双方の送風機12、13から吐き出される空気の温度差が縮まる。また同時に、試験室5内において、他方の送風機13から吐き出される空気の通過する領域が増大する。
なお、送風機12、13の回転数を変化させる際の変化量は、何らかのセンサーの検出値をフィードバックしてもよい。また冷却装置側温度センサー27、28の検知温度差、又は運転パターンに応じた適切な回転数の差を実験によって定めておき、図示しない記憶装置に記憶しておいてもよい。
前記した様に、2台の送風機12、13の合計送風量を常に一定にすることは不可能であり、一定範囲に納まることを目標として制御することとなる。
例えば、2台の送風機12、13の送風量の合計が、プラスマイナス10%の範囲に納まる様に制御される。
また上記した実施形態では、送風機12,13の送風量を一段階だけ変化させたが、より多くの段数に変化させてもよい。さらに、送風機12,13の送風量を無段階に変化させてもよい。
本実施形態の環境試験装置1では、試験室温度分布優先運転を行うこともできる。試験室温度分布優先運転を実施することによって、試験室5内の温度分布のばらつきを解消することができる。
試験室温度分布優先運転は、棚設置領域32の各棚31に設けられた温度センサー33を監視し、図7、図8(a)、(b)に示す様に、温度ばらつきに応じて二つの送風機12、13の送風量を相違させて、温度ばらつきの大きい領域に重点的に送風する運転モードである。
また二つの送風機12,13の送風量を変化させると、各立体領域を通過する風量が変化する。
この変化の状態を予め試験によって調査して図示しない記憶装置に記憶しておく。そして、温度ばらつきが生じた場合には、その領域に重点的に送風を行うように、図示しない制御装置によって送風機12、13が制御される。
例えば、AC領域であって、排気路部8に近い側の領域が、他の領域に比べて一定温度以上高い場合は、例えば送風機13の送風量を増大して、前記領域を通過する送風量を増大させる。
以下、先の実施形態と同様の機能を発揮する部材に同一の番号を付して重複した説明を省略する。
温度調節部6の通風路10には、加湿装置56と、空気を加熱するヒータ15と、空気を冷却する冷却装置16と、温度調節部6から試験室5に向けて送風する複数(本実施形態では2台)の送風機12、13が備えられている。
即ち本実施形態の環境試験装置1では、温度調節部6の通風路10内に4個の温度センサーが内蔵されていて通風路側温度分布検知手段が形成されている。
ヒータ側温度センサー25は、通風路10内のB領域に設けられている。またヒータ側温度センサー26は、通風路10内のA領域に設けられている。
さらに本実施形態では、冷却装置16に2つの冷却装置側温度センサー27、28が設けられている。
冷却装置側温度センサー27、28は、いずれも冷却装置16たる蒸発器の表面温度を測定するものである。
冷却装置側温度センサー27は、通風路10内のB領域に設けられている。また冷却装置側温度センサー28は、通風路10内のA領域に設けられている。
さらに本実施形態の環境試験装置51では、試験室5内であって、一方の送風機12の吐出口近傍に代表温度センサー11が設けられている。
その結果、図11、図12(a)、(b)の様に、空気は、左右方向(2台の送風機の並列方向)から概ね均等な割合で水平方向に吹き出され、試験室5内を巡って温度調節部6に戻る。
また試験室温度分布優先運転を行う場合には、二つの送風機12,13の送風量をアンバランスにして、所望の箇所に重点的に送風を行う。
各送風機12,13の吸込口や、通風路10であって送風機12,13の吸込口側に温度センサーを設け、この検知温度に基づいて、送風機12、13から送風される空気の温度が等しくなる様に送風機12、13の送風量を制御してもよい。
さらに各送風機12、13の吐出口の近傍に温度センサーを設けて、吐出される空気の温度を直接的に測定し、両者から吐出される空気の温度が等しくなるように送風機12、13の送風量を増減してもよい。
この場合においても、各送風機12、13の合計送風量が一定範囲となる様に制御することが望ましい。
図16は、3台の送風機61,62,63を備えた環境試験装置70である。
本実施形態の環境試験装置70では、3台の送風機61,62,63の回転数を個別に変更することができる。
なお本実施形態の環境試験装置70では、送風機61,62,63の吐出口の配置がアンバランスになってしまい、図面左側の領域Gの送風量が、図面右側の領域Hの送風量よりも多くなってしまう傾向がある。
本実施形態の環境試験装置70では、3台の送風機61,62,63の回転数を個別に変更することができるから、左端の送風機61の送風量を落とし、右端の送風機63の送風量を増大することもできる。その結果、各領域に均等に送風が行われることとなる。
さらにこの考えを進めた実施形態として、冷却装置76とヒータ75を図19の様に、領域を分けて設置し、これに対応する送風機72,73を設ける構成も考えられる。
本実施形態では、送風機72は主として冷却装置76を経由する空気を吸引して吐出し、送風機73はヒータ75を経由する空気を吸引して吐出する。
もちろん、冷却装置76又はヒータ75の一方だけが運転され、他方が停止している場合は、停止している方の送風機(72又は73)は、空気循環だけに寄与することとなる。
通風路10内に温度分布が生じるのは、前記した様に例えば冷却能力に比べて負荷が大きい場合である。従って、環境試験を実施する際の設定温度や、現状の温度、冷却装置16の能力によって、通風路10内に温度分布が生じるか否かが予想される。そこで、実験等によって、どの様な運転パターンの際に、通風路10内にどの程度の温度ばらつきが生じるかを検証し、これを制御装置に記憶しておく。また風速変更制御における各送風機12、13の最適な回転数についても、予め実験等によって定め、図示しない記憶装置に記憶しておく、そして温度分布が生じるであろう運転パターンとなった場合に、通風路温度分布優先運転を実施する。
試験室5に温度分布が生じるのは、例えば被試験物が発熱する様な場合である。従って、被試験物の発熱量や個数、配置によって、試験室5内に温度分布が生じるか否かが予想される。そこで、実験等によって、どの様な試験状況の際に、試験室5のどの領域にどの程度の温度ばらつきが生じるかを検証し、これを制御装置に記憶しておく。また風速変更制御における各送風機12、13の最適な回転数についても、予め実験等によって定め、図示しない記憶装置に記憶しておく、そして温度分布が生じるであろう状況となった場合に、試験室温度分布優先運転を実施する。
しかしながら本発明は、この構成に限定されるものではなく、通風路温度分布優先運転だけを実施し得るものであってもよく、試験室温度分布優先運転だけを実施し得るものであってもよい。
また通風路温度分布優先運転と、試験室温度分布優先運転のいずれか一方と、通常運転とを実施できるものであってもよい。
2 恒温槽
5 試験室
6 温度調節部
10 通風路
11 試験室側温度センサー
12、13 送風機
15 ヒータ(熱源)
16 冷却装置(熱源)
25、26 ヒータ側温度センサー(通風路側温度分布検知手段)
27、28 冷却装置側温度センサー(通風路側温度分布検知手段)
33 温度センサー(試験室側温度分布検知手段)
W 被試験物
Claims (11)
- 被試験物を配置する試験室と、空気の温度を調節する温度調節部と、複数台数の送風機とを有し、前記送風機によって前記温度調節部と前記試験室との間で空気を循環させて試験室内の環境を所望の環境に調節する環境試験装置であって、複数台数の送風機の一部または全部は送風量を変更可能であり、前記送風機は個別に制御され、送風機の送風量を個々に又は一部相違させて運転することが可能であることを特徴とする環境試験装置。
- 前記試験室内又は温度調節部内又は前記送風機近傍の少なくともいずれかの温度分布に関する情報を検知可能な温度分布検知手段を有し、温度分布検知手段で検知された情報に基づいて送風機が個別に制御されることを特徴とする請求項1に記載の環境試験装置。
- 温度調節部は通風路を有し、当該通風路に加熱装置及び冷却装置が配され、温度分布検知手段は、前記通風路の横断面方向における温度分布に関する情報を検知するものであることを特徴とする請求項2に記載の環境試験装置。
- 温度分布検知手段は、複数の温度センサーによって構成され、温度調節部は通風路を有し、当該通風路に加熱装置及び冷却装置が配され、さらに通風路の末端近傍に前記送風機があり、前記通風路であって前記送風機の吸込口側に前記温度センサーが設けられていることを特徴とする請求項2又は3に記載の環境試験装置。
- 温度分布検知手段は、複数の温度センサーによって構成され、温度調節部には、加熱装置及び冷却装置が設けられ、前記温度分布検知手段は、加熱装置及び/又は冷却装置あるいはその近傍における所定の箇所の温度を検知するものであることを特徴とする請求項2乃至4のいずれかに記載の環境試験装置。
- 前記温度分布検知手段は、温度センサーによって構成され、送風機の吸込口側又は吐出口側の温度を検知するものであることを特徴とする請求項2乃至5のいずれかに記載の環境試験装置。
- 前記温度分布検知手段は、複数の温度センサーによって構成され、各温度センサーによって、試験室内の温度あるいは試験室に配置された被試験物の温度を検知するものであることを特徴とする請求項2乃至6のいずれかに記載の環境試験装置。
- 前記複数の送風機の合計送風量は、一定範囲の風量となるように設定されており、各送風機の送風量が個別に異なる場合であっても、その合計送風量は、前記一定範囲の風量に維持されることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の環境試験装置。
- 前記複数の送風機の合計送風量は、試験条件ごとに一定範囲の風量となるように設定されており、各送風機の送風量が個別に異なる場合であっても、その合計送風量は、前記一定範囲の風量に維持されることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の環境試験装置。
- 各送風機の吐出側の送風量を周期的に変更させることが可能であることを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載の環境試験装置。
- 各送風機の送風量の変化と、試験室内各部の温度及び/又は湿度の環境のばらつきの変化との関係が予め記憶されており、前記関係を加味して各送風機の送風量が制御されることを特徴とする請求項1乃至10のいずれかに記載の環境試験装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013197465A JP5969968B2 (ja) | 2013-09-24 | 2013-09-24 | 環境試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013197465A JP5969968B2 (ja) | 2013-09-24 | 2013-09-24 | 環境試験装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015064250A true JP2015064250A (ja) | 2015-04-09 |
JP5969968B2 JP5969968B2 (ja) | 2016-08-17 |
Family
ID=52832248
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013197465A Active JP5969968B2 (ja) | 2013-09-24 | 2013-09-24 | 環境試験装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5969968B2 (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6047737B1 (ja) * | 2016-01-28 | 2016-12-21 | スガ試験機株式会社 | 複合サイクル試験機 |
CN106802375A (zh) * | 2015-11-26 | 2017-06-06 | 京元电子股份有限公司 | 老化测试装置以及用于该老化测试装置的负压冷却系统 |
CN107072108A (zh) * | 2016-12-29 | 2017-08-18 | 深圳日海电气技术有限公司 | 机柜 |
CN108562697A (zh) * | 2018-03-30 | 2018-09-21 | 歌尔股份有限公司 | 一种室内有害气体监测装置 |
CN108709902A (zh) * | 2018-05-04 | 2018-10-26 | 吴江市海拓仪器设备有限公司 | 一种风帘式高低温试验机 |
JP2019168435A (ja) * | 2018-03-26 | 2019-10-03 | エスペック株式会社 | 環境形成装置 |
CN112881843A (zh) * | 2021-01-26 | 2021-06-01 | 徐州市创泽优电子科技有限公司 | 一种电力电子器件环境试验装置 |
JP2021135290A (ja) * | 2020-02-26 | 2021-09-13 | エスペック株式会社 | 環境形成装置 |
CN114383809A (zh) * | 2020-10-21 | 2022-04-22 | 苏州旭创科技有限公司 | 光模块高低温环境试验装置及系统 |
KR102457623B1 (ko) * | 2021-04-28 | 2022-10-24 | 한국농수산대학 산학협력단 | 챔버형 화학적 및 물리적 변성시험장치 |
EP4095513A1 (en) * | 2021-05-13 | 2022-11-30 | Espec Corp. | Environment forming apparatus, program, and method for controlling blower fan |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0430042U (ja) * | 1990-07-06 | 1992-03-11 | ||
JPH0465129U (ja) * | 1990-10-12 | 1992-06-05 | ||
JPH0640845U (ja) * | 1992-11-06 | 1994-05-31 | タバイエスペック株式会社 | 温度雰囲気発生装置 |
JPH09276715A (ja) * | 1996-04-11 | 1997-10-28 | Tabai Espec Corp | 温度分布調整式恒温装置 |
JP3232446B2 (ja) * | 1996-10-14 | 2001-11-26 | オリオン機械株式会社 | 温度試験装置 |
JP2011206661A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Espec Corp | 恒温装置 |
-
2013
- 2013-09-24 JP JP2013197465A patent/JP5969968B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0430042U (ja) * | 1990-07-06 | 1992-03-11 | ||
JPH0465129U (ja) * | 1990-10-12 | 1992-06-05 | ||
JPH0640845U (ja) * | 1992-11-06 | 1994-05-31 | タバイエスペック株式会社 | 温度雰囲気発生装置 |
JPH09276715A (ja) * | 1996-04-11 | 1997-10-28 | Tabai Espec Corp | 温度分布調整式恒温装置 |
JP3232446B2 (ja) * | 1996-10-14 | 2001-11-26 | オリオン機械株式会社 | 温度試験装置 |
JP2011206661A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Espec Corp | 恒温装置 |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106802375B (zh) * | 2015-11-26 | 2019-04-09 | 京元电子股份有限公司 | 老化测试装置以及用于该老化测试装置的负压冷却系统 |
CN106802375A (zh) * | 2015-11-26 | 2017-06-06 | 京元电子股份有限公司 | 老化测试装置以及用于该老化测试装置的负压冷却系统 |
JP6047737B1 (ja) * | 2016-01-28 | 2016-12-21 | スガ試験機株式会社 | 複合サイクル試験機 |
CN107072108A (zh) * | 2016-12-29 | 2017-08-18 | 深圳日海电气技术有限公司 | 机柜 |
JP2019168435A (ja) * | 2018-03-26 | 2019-10-03 | エスペック株式会社 | 環境形成装置 |
CN108562697A (zh) * | 2018-03-30 | 2018-09-21 | 歌尔股份有限公司 | 一种室内有害气体监测装置 |
CN108709902A (zh) * | 2018-05-04 | 2018-10-26 | 吴江市海拓仪器设备有限公司 | 一种风帘式高低温试验机 |
JP2021135290A (ja) * | 2020-02-26 | 2021-09-13 | エスペック株式会社 | 環境形成装置 |
JP7299935B2 (ja) | 2020-02-26 | 2023-06-28 | エスペック株式会社 | 環境形成装置 |
CN114383809A (zh) * | 2020-10-21 | 2022-04-22 | 苏州旭创科技有限公司 | 光模块高低温环境试验装置及系统 |
CN114383809B (zh) * | 2020-10-21 | 2024-02-23 | 苏州旭创科技有限公司 | 光模块高低温环境试验装置及系统 |
CN112881843A (zh) * | 2021-01-26 | 2021-06-01 | 徐州市创泽优电子科技有限公司 | 一种电力电子器件环境试验装置 |
KR102457623B1 (ko) * | 2021-04-28 | 2022-10-24 | 한국농수산대학 산학협력단 | 챔버형 화학적 및 물리적 변성시험장치 |
EP4095513A1 (en) * | 2021-05-13 | 2022-11-30 | Espec Corp. | Environment forming apparatus, program, and method for controlling blower fan |
US11762003B2 (en) | 2021-05-13 | 2023-09-19 | Espec Corp. | Environment forming apparatus, program, and method for controlling blower fan |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5969968B2 (ja) | 2016-08-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5969968B2 (ja) | 環境試験装置 | |
JP5197675B2 (ja) | 空調システム | |
JP5279763B2 (ja) | 環境試験装置、並びに、環境試験装置の制御方法 | |
JP2008111588A (ja) | 空調設備およびコンピュータシステム | |
JP5884125B2 (ja) | 異常検知装置及びそれを備えた環境試験装置 | |
JP5456536B2 (ja) | 恒温装置 | |
JP2008511814A (ja) | 再循環指標に基づくcracユニット制御 | |
JPWO2014068767A1 (ja) | モジュール型データセンタとその制御方法 | |
JP3399826B2 (ja) | 環境装置の送風装置 | |
JP5745337B2 (ja) | 空気調和システム | |
JP2013231654A (ja) | 環境試験装置 | |
JP6626368B2 (ja) | 環境試験装置及び空調装置 | |
JP4704074B2 (ja) | 精密温調用空調機 | |
JP2008267818A (ja) | バーンイン試験装置 | |
JP2001124386A (ja) | クリーンルーム | |
JP2017156120A5 (ja) | ||
JP2014127087A (ja) | 空調機運転制御装置および方法 | |
JP2013024453A (ja) | 空気調和装置 | |
JP6673819B2 (ja) | 環境試験装置及び環境試験方法 | |
JP5381739B2 (ja) | 電算機室空調システム、その風量調整装置 | |
JP5439562B2 (ja) | 空調システム | |
JP2012193890A (ja) | 発熱源冷却システム | |
JP2016070560A (ja) | 空調装置 | |
JP2001017868A (ja) | 試験用恒温装置 | |
JP5306969B2 (ja) | 空調システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150525 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151111 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151217 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160129 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160630 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160708 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5969968 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |