JP2015060982A - 圧電アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電圧の印加により変位する圧電アクチュエータ100であって、複数の圧電素子110が直列に接続され、一端が固定された圧電アクチュエータ本体105と、圧電アクチュエータ本体105の変位側の端部に設けられ、圧電アクチュエータ本体105の変位を伝達する伝達体130と、側面に伸縮可能なベローズ部を有し、圧電アクチュエータ本体105および伝達体130を収容する金属製のキャップ160と、を備え、伝達体130は、キャップ160の閉端側に当接して収容され、キャップ160のベローズ部に対向する位置に小径部を有する。
【選択図】図1
Description
(3)また、本発明の圧電アクチュエータは、前記キャップの閉端側は、前記伝達体の変位に応じて変位するダイヤフラムとして形成されていることを特徴としている。これにより、キャップ先端に発生する引張応力を緩和し、十分な耐久性が得られる。
図1は、圧電アクチュエータ100を示す断面図である。圧電アクチュエータ100は、圧電アクチュエータ本体105、伝達体130、座140およびキャップ160により構成され、電圧が印加されることで変位する。
まず、圧電層と内部電極とが交互に積層された圧電素子110を作製する。具体的には、圧電セラミックスのグリーンシートにAgやAg−Pd等の電極ペーストを印刷して積層、圧着し、焼成する。次に、圧電素子110の側面に積層方向に沿って、内部電極に接続された外部電極115を形成する。圧電素子110の側面に電極ペーストを印刷して焼成することで外部電極115を形成できる。
次に、圧電アクチュエータを設計してシミュレーションを行った。実施例として、図1に示す圧電アクチュエータ100を用いた。また、比較例として、以下の通り図2に示す圧電アクチュエータ200を用いた。
105 圧電アクチュエータ本体
110 圧電素子
115 外部電極
120 リード部材
130 伝達体
131 シム板
132 小径部
133 半球
140 座
150 端子
160 キャップ
161 ダイヤフラム
162 ベローズ部
200 圧電アクチュエータ
205 圧電アクチュエータ本体
210 圧電素子
215 外部電極
220 リード部材
230 伝達体
231 シム板
233 半球
240 座
250 端子
260 キャップ
261 ダイヤフラム
Claims (3)
- 電圧の印加により変位する圧電アクチュエータであって、
複数の圧電素子が直列に接続され、一端が固定された圧電アクチュエータ本体と、
前記圧電アクチュエータ本体の変位側の端部に設けられ、前記圧電アクチュエータ本体の変位を伝達する伝達体と、
側面に伸縮可能なベローズ部を有し、前記圧電アクチュエータ本体および前記伝達体を収容する金属製のキャップと、を備え、
前記伝達体は、前記キャップの閉端側に当接して収容され、前記キャップのベローズ部に対向する位置に小径部を有することを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記小径部と前記ベローズ部との間は1mm以上空いていることを特徴とする請求項1記載の圧電アクチュエータ。
- 前記キャップの閉端側は、前記伝達体の変位に応じて変位するダイヤフラムとして形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の圧電アクチュエータ。
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