JP2015060877A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】温度センサの汚染や損傷に起因する設備の稼働低下を抑止し、稼働効率を向上させる信頼性の高い基板処理装置を提供する。【解決手段】MOVPE装置は、被処理対象である半導体基板が載置されるサセプタ2と、サセプタ2との間に間隙10が形成されるように対向配置されるカバー板3と、カバー板3に配された、サセプタ2の温度を測定するライトパイプ4と、間隙10をサセプタ2の端部からライトパイプ4までの間で遮断する遮断壁11とを備える。【選択図】図2
Description
本発明は、基板処理装置に関する。
窒化物半導体は、高い飽和電子速度及びワイドバンドギャップ等の特徴を利用し、高耐圧及び高出力の半導体デバイスへの適用が検討されている。窒化物半導体の素子は、GaNやAlGaN、AlN等の各種の窒化物半導体層が積層されて構成されている。これらの窒化物半導体層は、例えば有機金属気相成長(MOVPE:Metal Organic Vapor Phase Epitaxy)法により成膜する。
MOVPE法に用いる成膜装置(MOVPE装置)は、反応室内に、被成膜対象である半導体基板が載置固定されるサセプタと、サセプタが回転自在に対向配置されるカバー板とを備える。サセプタは、成膜時には半導体基板が載置固定された状態で回転させる必要があることから、カバー板との間には間隙が形成されている。カバー板には、サセプタの温度を測定・制御するための温度センサであるライトパイプが配されている。反応室内は所定の真空状態に調節され、所期の半導体層を成膜するための原料ガスが反応室内に供給される。
MOVPE装置では、カバー板に配されるライトパイプによりサセプタの裏面の温度を測定することで温度をフィードバックして温度制御が行われる。成膜時において、反応室内に供給された原料ガスがサセプタとカバー板との間隙に流れ込み、ライトパイプの表面が原料ガスで汚染される。ライトパイプが原料ガスで汚れると、温度測定を正確に行うことができなくなり、成膜異常が発生する。そのため、定期的にライトパイプのクリーニングが必要となり、甚だしくは交換を要する場合も想定される。ライトパイプのクリーニングは設備の停止を伴うため、設備の稼働効率を低下させる要因となる。
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、温度センサの汚染や損傷に起因する設備の稼働低下を抑止し、稼働効率を向上させる信頼性の高い基板処理装置を提供することを目的とする。
基板処理装置の一態様は、被処理対象である基板が載置される基板載置部と、前記基板載置部との間に間隙が形成されるように対向配置される遮蔽板と、前記遮蔽板に配された、前記基板載置部の温度を測定する温度センサと、前記間隙を前記基板載置部の端部から前記温度センサまでの間で遮断する遮断壁とを含む。
上記の態様によれば、温度センサの汚染や損傷に起因する設備の稼働低下を抑止し、稼働効率を向上させる信頼性の高い基板処理装置が実現する。
以下、基板処理装置の好適な諸実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
(第1の実施形態)
本実施形態では、基板処理装置として、成膜装置であるMOVPE装置を例示する。
図1は、本実施形態によるMOVPE装置の概略構成を示す模式図である。図2は、MOVPE装置の一部を拡大して示す概略断面図である。図3は、MOVPE装置における遮断壁を示す概略斜視図、図4はサセプタ及びカバー板を示す概略斜視図である。
本実施形態では、基板処理装置として、成膜装置であるMOVPE装置を例示する。
図1は、本実施形態によるMOVPE装置の概略構成を示す模式図である。図2は、MOVPE装置の一部を拡大して示す概略断面図である。図3は、MOVPE装置における遮断壁を示す概略斜視図、図4はサセプタ及びカバー板を示す概略斜視図である。
本実施形態によるMOVPE装置は、反応室1内に、被成膜対象である半導体基板12が載置固定されるサセプタ2と、サセプタ2が回転自在に対向配置されるカバー板3とを備える。カバー板3下には、加熱機構、ここでは加熱用コイル13が配置されている。なお、加熱用コイル13は、図2以降では図示を省略する。
サセプタ2は、成膜時には半導体基板12が載置固定された状態で回転させる必要があることから、カバー板3との間には間隙10が形成されている。カバー板3には、サセプタ2の温度を測定・制御するための温度センサであるライトパイプ4が配されている。ライトパイプ4は、カバー板3に形成された開口3aから先端が露出するように配されており、サセプタ2の温度をサセプタ2と被接触状態で測定する。ライトパイプ4及び加熱用コイル13と接続された温度制御部5が設けられている。温度制御部5は、ライトパイプ4によりサセプタ2の裏面の温度を測定することで、当該測定温度を加熱用コイル13にフィードバックして温度制御が行われる。反応室1には排気配管6が設けられており、反応室1内が排気されて所定の真空状態に調節される。反応室1にはガス供給設備7が設けられており、複数の原料(図1では、原料7a,7bのみ例示する。)の各原料ガスが反応室1内に適宜供給される。
本実施形態では、図2に示すように、カバー板3上において、サセプタ2の端部からライトパイプ4までの間に、遮断壁11が設けられている。遮断壁11は、図3及び図4に示すように、カバー板3上に配された凸状の円弧状部材であり、サセプタ2と対向配置される。遮断壁11は、成膜時の高温に対する耐性の強い材料、例えば石英又はSiC等から形成される。サセプタ2には、遮断壁11に対応して遮断壁11が嵌合する凹部2aが形成されている。成膜時において、遮断壁11が凹部2aに嵌合することにより、サセプタ2とカバー板3との間の間隙10が遮断壁11により遮断される。
上記のMOVPE装置では、例えば窒化物半導体であるGaN、AlGaN、AlN等を半導体基板上に成長する。GaNの成長には、原料ガスとしてGa源であるトリメチルガリウム(TMGa)ガス及びアンモニア(NH3)ガスの混合ガスを用いる。AlGaNの成長には、原料ガスとしてTMAlガス、TMGaガス及びNH3ガスの混合ガスを用いる。AlNの成長には、原料ガスとしてTMAlガス及びNH3ガスの混合ガスを用いる。
成長する化合物半導体層に応じて、ガス供給設備7により、TMAlガス、TMGaガスの供給の有無及び流量を適宜設定する。共通原料であるNH3ガスの流量は、100sccm〜10slm程度とする。また、成長圧力は50Torr〜300Torr程度とする。温度制御部5により、1000℃〜1200℃程度の成長温度に制御される。
本実施形態によるMOVPE装置の奏する作用効果について、比較例との比較に基づいて説明する。図5は、成膜時における原料ガスの流れを模式的に示す概略断面図であり、(a)が比較例を、(b)が本実施形態をそれぞれ示す。比較例では、遮断壁11を有しない従来のMOVPE装置を例示しており、他の構成部材については(b)の本実施形態と同様の符号を付している。
比較例の場合について説明する。図5(a)のように、ガス供給設備7により反応室1内に供給された原料ガスは、矢印A1に沿ってサセプタ2上の半導体基板12の表面を通って排気配管6から外部へ排気される。ここで上述のように、サセプタ2は、成膜時には半導体基板が載置固定された状態で回転させる必要があることから、カバー板3との間に間隙10が形成されている。そのため、原料ガスの一部が矢印A2のように間隙10に流れ込み、ライトパイプ4に付着する。ライトパイプ4が原料ガスで汚れると、温度測定を正確に行うことができなくなり、成膜異常が発生する。そのため、定期的にライトパイプ4のクリーニングが必要となる。
本実施形態の場合について説明する。図5(b)のように、比較例と同様に矢印A1で示す原料ガスの一部が矢印A2のように間隙10に流れ込む。サセプタ2とカバー板3との間の間隙10を遮断する遮断壁11が設けられていることから、間隙10に流れ込んだ原料ガスが遮断壁11で遮断され、ライトパイプ4に到達し難くなり、ライトパイプ4の原料ガスによる汚染が防止される。この構成により、原料ガスに起因するライトパイプ4のクリーニングが不要となり、MOVPE装置の設備の稼働低下を抑止し、稼働効率が向上する。
本実施形態によるMOVPE装置では、図2において、遮断壁11は、サセプタ2の凹部2aに嵌合した際に、当該遮断壁11の先端がサセプタ2の厚み方向で当該厚みの1/3から1/2までの範囲内に位置する。遮断壁11の高さが、その先端が当該厚みの1/3に満たない程度であると、間隙10が十分に遮断されず、原料ガスの流入の実効的な抑止が困難となる。遮断壁11の高さが、その先端が当該厚みの1/2を越える程度であると、サセプタ2に他の機構を組み込むことが阻害される虞れがある。遮断壁11をその先端が当該厚みの1/3から1/2までの範囲内に位置する高さとすることにより、サセプタ2に組み込む必要のある他の機構を阻害することなく、間隙10を確実に遮断して原料ガスの流入の実効的な抑止が実現する。
以上説明したように、本実施形態によれば、ライトパイプ4の汚染や損傷に起因する設備の稼働低下を抑止し、稼働効率を向上させる信頼性の高いMOVPE装置が実現する。
(変形例)
以下、第1の実施形態の変形例について説明する。本例では、第1の実施形態と同様にMOVPE装置を開示するが、遮断壁の構成が異なる点で第1の実施形態と相違する。
図6は、第1の実施形態の変形例によるMOVPE装置の一部を拡大して示す概略断面図である。第1の実施形態によるMOVPE装置と同様の構成部材等については、同符号を付して詳しい説明を省略する。
以下、第1の実施形態の変形例について説明する。本例では、第1の実施形態と同様にMOVPE装置を開示するが、遮断壁の構成が異なる点で第1の実施形態と相違する。
図6は、第1の実施形態の変形例によるMOVPE装置の一部を拡大して示す概略断面図である。第1の実施形態によるMOVPE装置と同様の構成部材等については、同符号を付して詳しい説明を省略する。
本例では、図6に示すように、カバー板3上において、サセプタ2の端部からライトパイプ4までの間に、複数、ここでは3つの遮断壁11a,11b,11cが並列して設けられている。遮断壁11a,11b,11cは、第1の実施形態の遮断壁11と同様に、それぞれカバー板3上に配された凸状の円弧状部材であり、サセプタ2と対向配置される。遮断壁11a,11b,11cは、この順に径が小さくなる同心円弧状にカバー板3上に配されている。遮断壁11a,11b,11cは、成膜時の高温に対する耐性の強い材料、例えば石英又はSiC等から形成される。サセプタ2には、遮断壁11a,11b,11cに対応して遮断壁11が嵌合する凹部2a,2b,2cが形成されている。成膜時において、遮断壁11a,11b,11cが凹部2a,2b,2cに嵌合することにより、サセプタ2とカバー板3との間の間隙10が遮断壁11a,11b,11cにより遮断される。
サセプタ2とカバー板3との間の間隙10を遮断する複数の遮断壁11a,11b,11cが並列して配されることにより、間隙10に流れ込んだ原料ガスが遮断壁11a,11b,11cで確実に遮断され、ライトパイプ4への到達が抑止される。この構成により、ライトパイプ4の原料ガスによる汚染がより確実に防止され、原料ガスに起因するライトパイプ4のクリーニングが不要となる。これにより、MOVPE装置の設備の稼働低下を抑止し、稼働効率が向上する。
本例によるMOVPE装置では、図6において、遮断壁11a,11b,11cは、サセプタ2の凹部2a,2b,2cに嵌合した際に、当該遮断壁11a,11b,11cの各先端がサセプタ2の厚み方向で当該厚みの1/3から1/2までの範囲内に位置する。遮断壁11a,11b,11cの高さが、その先端が当該厚みの1/3に満たない程度であると、間隙10が十分に遮断されず、原料ガスの流入の実効的な抑止が困難となる。遮断壁11a,11b,11cの高さが、その先端が当該厚みの1/2を越える程度であると、サセプタ2に他の機構を組み込むことが阻害される虞れがある。遮断壁11a,11b,11cをその先端が当該厚みの1/3から1/2までの範囲内に位置する高さとすることにより、サセプタ2に組み込む必要のある他の機構を阻害することなく、間隙10を確実に遮断して原料ガスの流入の実効的な抑止が実現する。
以上説明したように、本例によれば、ライトパイプ4の汚染や損傷に起因する設備の稼働低下を抑止し、稼働効率を向上させる信頼性の高いMOVPE装置が実現する。
(第2の実施形態)
以下、第2の実施形態について説明する。本実施形態では、第1の実施形態と同様にMOVPE装置を開示するが、遮断壁の設置態様が異なる点で第1の実施形態と相違する。
図7は、第2の実施形態によるMOVPE装置の一部を拡大して示す概略断面図である。第1の実施形態によるMOVPE装置と同様の構成部材等については、同符号を付して詳しい説明を省略する。
以下、第2の実施形態について説明する。本実施形態では、第1の実施形態と同様にMOVPE装置を開示するが、遮断壁の設置態様が異なる点で第1の実施形態と相違する。
図7は、第2の実施形態によるMOVPE装置の一部を拡大して示す概略断面図である。第1の実施形態によるMOVPE装置と同様の構成部材等については、同符号を付して詳しい説明を省略する。
本実施形態によるMOVPE装置は、図7に示すように、反応室内に、被成膜対象である半導体基板が載置固定されるサセプタ21と、サセプタ21が回転自在に対向配置されるカバー板22とを備える。サセプタ21は、成膜時には半導体基板が載置固定された状態で回転させる必要があることから、カバー板22との間には間隙10が形成されている。カバー板212には、サセプタ21の温度を測定・制御するための温度センサであるライトパイプ4が配されている。ライトパイプ4は、カバー板22に形成された開口22aから先端が露出するように配されており、サセプタ21の温度をサセプタ21と被接触状態で測定する。
本実施形態では、サセプタ21において、サセプタ21の端部からライトパイプ4までの間に、遮断壁23が設けられている。遮断壁23は、サセプタ21に配された凸状の円弧状部材であり、カバー板22と対向配置される。遮断壁23は、成膜時の高温に対する耐性の強い材料、例えば石英又はSiC等から形成される。カバー板22には、遮断壁23に対応して遮断壁23が嵌合する凹部22bが形成されている。成膜時において、遮断壁23が凹部22bに嵌合することにより、サセプタ21とカバー板22との間の間隙10が遮断壁23により遮断される。
サセプタ21とカバー板22との間の間隙10を遮断する遮断壁23が並列して配されることにより、間隙10に流れ込んだ原料ガスが遮断壁23で遮断され、ライトパイプ4への到達が抑止される。この構成により、ライトパイプ4の原料ガスによる汚染が防止され、原料ガスに起因するライトパイプ4のクリーニングが不要となる。これにより、MOVPE装置の設備の稼働低下を抑止し、稼働効率が向上する。
本実施形態によるMOVPE装置では、図7において、遮断壁23は、カバー板22の凹部22bに嵌合した際に、当該遮断壁23の先端がカバー板22の厚み方向で当該厚みの1/3から1/2までの範囲内に位置する。遮断壁23の高さが、その先端が当該厚みの1/3に満たない程度であると、間隙10が十分に遮断されず、原料ガスの流入の実効的な抑止が困難となる。遮断壁23の高さが、その先端が当該厚みの1/2を越える程度であると、カバー板22としての機能が阻害される虞れがある。遮断壁23をその先端が当該厚みの1/3から1/2までの範囲内に位置する高さとすることにより、カバー板22の機能を阻害することなく、間隙10を確実に遮断して原料ガスの流入の実効的な抑止が実現する。
以上説明したように、本実施形態によれば、ライトパイプ4の汚染や損傷に起因する設備の稼働低下を抑止し、稼働効率を向上させる信頼性の高いMOVPE装置が実現する。
(変形例)
以下、第2の実施形態の変形例について説明する。本例では、第2の実施形態と同様にMOVPE装置を開示するが、遮断壁の構成が異なる点で第2の実施形態と相違する。
図8は、第2の実施形態の変形例によるMOVPE装置の一部を拡大して示す概略断面図である。第2の実施形態によるMOVPE装置と同様の構成部材等については、同符号を付して詳しい説明を省略する。
以下、第2の実施形態の変形例について説明する。本例では、第2の実施形態と同様にMOVPE装置を開示するが、遮断壁の構成が異なる点で第2の実施形態と相違する。
図8は、第2の実施形態の変形例によるMOVPE装置の一部を拡大して示す概略断面図である。第2の実施形態によるMOVPE装置と同様の構成部材等については、同符号を付して詳しい説明を省略する。
本例では、図8に示すように、サセプタ21において、サセプタ21の端部からライトパイプ4までの間に、複数、ここでは3つの遮断壁23a,23b,23cが並列して設けられている。遮断壁23a,23b,23cは、第2の実施形態の遮断壁23と同様に、それぞれサセプタ21に配された凸状の円弧状部材であり、カバー板22と対向配置される。遮断壁23a,23b,23cは、この順に径が小さくなる同心円弧状にサセプタ21に配されている。遮断壁23a,23b,23cは、成膜時の高温に対する耐性の強い材料、例えば石英又はSiC等から形成される。カバー板22には、遮断壁23a,23b,23cに対応して遮断壁23a,23b,23cが嵌合する凹部22b,22c,22dが形成されている。成膜時において、遮断壁23a,23b,23cが凹部22b,22c,22dに嵌合することにより、サセプタ21とカバー板22との間の間隙10が遮断壁23a,23b,23により遮断される。
サセプタ21とカバー板22との間の間隙10を遮断する複数の遮断壁23a,23b,23cが並列して配されることにより、間隙10に流れ込んだ原料ガスが遮断壁23a,23b,23cで確実に遮断され、ライトパイプ4への到達が抑止される。この構成により、ライトパイプ4の原料ガスによる汚染がより確実に防止され、原料ガスに起因するライトパイプ4のクリーニングが不要となる。これにより、MOVPE装置の設備の稼働低下を抑止し、稼働効率が向上する。
本例によるMOVPE装置では、図8において、遮断壁23a,23b,23cは、カバー板22の凹部22b,22c,22dに嵌合した際に、当該遮断壁23a,23b,23cの各先端がカバー板22の厚み方向で当該厚みの1/3から1/2までの範囲内に位置する。遮断壁23a,23b,23cの高さが、その先端が当該厚みの1/3に満たない程度であると、間隙10が十分に遮断されず、原料ガスの流入の実効的な抑止が困難となる。遮断壁23a,23b,23cの高さが、その先端が当該厚みの1/2を越える程度であると、カバー板22としての機能が阻害される虞れがある。遮断壁23a,23b,23cをその先端が当該厚みの1/3から1/2までの範囲内に位置する高さとすることにより、カバー板22の機能を阻害することなく、間隙10を確実に遮断して原料ガスの流入の実効的な抑止が実現する。
以上説明したように、本例によれば、ライトパイプ4の汚染や損傷に起因する設備の稼働低下を抑止し、稼働効率を向上させる信頼性の高いMOVPE装置が実現する。
第1及び第2の実施形態並びにこれらの変形例では、基板処理装置として成膜装置であるMOVPE装置を例示したが、これに限定されることなく、他の基板処理装置にも適用することができる。好適な基板処理装置として、例えばエッチング装置が挙げられる。エッチング装置では、基板載置部と遮蔽板との間隙にエッチングガスの一部が流れ込み、温度センサがエッチングガスで損傷を受けることがある。このエッチング装置において、第1及び第2の実施形態や変形例と同様に、間隙を基板載置部の端部から温度センサまでの間で遮断する遮断壁を設ける。
上記の構成により、間隙に流れ込んだ原料ガスが遮断壁で確実に遮断され、温度センサへのエッチングガスの到達が抑止される。これにより、温度センサのエッチングガスによる損傷が防止され、エッチングガスに起因する温度センサのケアが不要となる。これにより、エッチング装置の設備の稼働低下を抑止し、稼働効率が向上する。
以下、基板処理装置の諸態様を付記としてまとめて記載する。
(付記1)被処理対象である基板が載置される基板載置部と、
前記基板載置部との間に間隙が形成されるように対向配置される遮蔽板と、
前記遮蔽板に配された、前記基板載置部の温度を測定する温度センサと、
前記間隙を前記基板載置部の端部から前記温度センサまでの間で遮断する遮断壁と
を含むことを特徴とする基板処理装置。
前記基板載置部との間に間隙が形成されるように対向配置される遮蔽板と、
前記遮蔽板に配された、前記基板載置部の温度を測定する温度センサと、
前記間隙を前記基板載置部の端部から前記温度センサまでの間で遮断する遮断壁と
を含むことを特徴とする基板処理装置。
(付記2)前記間隙を前記基板載置部の端部から前記温度センサまでの間に、複数の前記遮断壁が並列して設けられていることを特徴とする付記1に記載の基板処理装置。
(付記3)前記遮断壁は、前記遮蔽板に配された凸状部材であり、
前記基板載置部は、前記遮断壁が嵌合する凹部を有していることを特徴とする付記1又は2に記載の基板処理装置。
前記基板載置部は、前記遮断壁が嵌合する凹部を有していることを特徴とする付記1又は2に記載の基板処理装置。
(付記4)前記遮断壁は、前記凹部に嵌合した際に、当該遮断壁の先端が前記基板載置部の厚み方向で当該厚みの1/3から1/2までの範囲内に位置することを特徴とする付記3に記載の基板処理装置。
(付記5)前記遮断壁は、前記基板載置部に配された凸状部材であり、
前記遮蔽板は、前記遮断壁が嵌合する凹部を有していることを特徴とする付記1又は2に記載の基板処理装置。
前記遮蔽板は、前記遮断壁が嵌合する凹部を有していることを特徴とする付記1又は2に記載の基板処理装置。
(付記6)前記遮断壁は、前記凹部に嵌合した際に、当該遮断壁の先端が前記遮蔽板の厚み方向で当該厚みの1/3から1/2までの範囲内に位置することを特徴とする付記5に記載の基板処理装置。
1 反応室
2,21 サセプタ
2a,2b,2c,22b,22c,22d 凹部
3,22 カバー板
3a,22a 開口
4 ライトパイプ
5 温度制御部
6 排気配管
7 ガス供給設備
7a,7b 原料
10 間隙
11,11a,11b,11c,23,23a,23b,23c 遮断壁
12 半導体基板
13 加熱用コイル
2,21 サセプタ
2a,2b,2c,22b,22c,22d 凹部
3,22 カバー板
3a,22a 開口
4 ライトパイプ
5 温度制御部
6 排気配管
7 ガス供給設備
7a,7b 原料
10 間隙
11,11a,11b,11c,23,23a,23b,23c 遮断壁
12 半導体基板
13 加熱用コイル
Claims (4)
- 被処理対象である基板が載置される基板載置部と、
前記基板載置部との間に間隙が形成されるように対向配置される遮蔽板と、
前記遮蔽板に配された、前記基板載置部の温度を測定する温度センサと、
前記間隙を前記基板載置部の端部から前記温度センサまでの間で遮断する遮断壁と
を含むことを特徴とする基板処理装置。 - 前記間隙を前記基板載置部の端部から前記温度センサまでの間に、複数の前記遮断壁が並列して設けられていることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記遮断壁は、前記遮蔽板に配された凸状部材であり、
前記基板載置部は、前記遮断壁が嵌合する凹部を有していることを特徴とする請求項1又は2に記載の基板処理装置。 - 前記遮断壁は、前記基板載置部に配された凸状部材であり、
前記遮蔽板は、前記遮断壁が嵌合する凹部を有していることを特徴とする請求項1又は2に記載の基板処理装置。
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