JP2015049241A - 成分分析装置、成分分析方法およびプログラム - Google Patents
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Abstract
Description
(1)装置構成
図1は、実施の一形態による成分分析装置の概略構成を示すブロック図である。図1に示す成分分析装置は、制御コンピュータ17と、ステージ制御部18と、ステージ11と、レーザ光学系12と、分析位置深さ測定ユニット13と、レーザ走査制御ユニット14と、検出ユニット15と、スペクトル処理ユニット16と、分析ユニット21と、表示ユニット19と、を含む。
図1に示す成分分析装置の動作について図2から図11を参照しながら説明する。試料Sの一例として、半導体基板W上に設けられた三次元積層型の半導体メモリを含む構造体を取り上げる。
実施の一形態による成分分析方法について図12を参照しながら説明する。図12は、本実施形態による成分分析方法の概略手順を示すフローチャートである。
上述した実施形態の成分分析方法により、積層体の深さ方向で成分にばらつきが生じた場合には、分析結果を上流の製造プロセスにフィードバックすることにより、例えば金属シリサイドを生成する際の熱条件を変更させるなどの処置を講じることにより、最上層から最下層に至るまで低抵抗の金属シリサイドを生成することが可能になる。また、熱処理が不足したために成分にばらつきが生じた場合には、再度の熱処理によりリカバリが可能である。
上述した成分分析における一連の手順は、プログラムに組み込んでコンピュータに読込ませて実行させても良い。これにより、上述した成分分析における各一連の手順を一般のラマン分光装置に接続された汎用のコンピュータを用いて実現することができる。また、上述した成分分析の一連の手順をコンピュータに実行させるプログラムとしてフレキシブルディスクやCD−ROM等の非一時的記録媒体に収納し、コンピュータに読込ませて実行させても良い。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
Claims (5)
- 分析対象となる第1の層と、前記第1の層よりも表層に位置する第2の層とを含む試料を保持するステージと、
前記第1および第2の層の深さにそれぞれ応じた第1および第2の波長のレーザ光を前記試料に照射する照射ユニットと、
前記レーザ光の照射により前記試料からそれぞれ得られるラマン散乱光を検出して第1および第2のラマン信号を出力する検出ユニットと、
前記第1および第2のラマン信号をスペクトル処理して第1および第2のラマンスペクトルを取得し、前記第1のラマンスペクトルから前記第2のラマンスペクトルを減じた差分スペクトルを取得するスペクトル処理ユニットと、
前記差分スペクトルを解析する分析ユニットと、
を備える成分分析装置。 - 前記分析ユニットは、前記差分スペクトルを、複数種類の成分分布について予め得られた基準スペクトルと比較することにより前記差分スペクトルを解析することを特徴とする請求項1に記載の成分分析装置。
- 前記スペクトル処理ユニットは、前記第1および第2のラマン信号に対して各波長の侵入深さに依存する信号強度変化の寄与分を補正することを特徴とする請求項1または2に記載の成分分析装置。
- 試料構造を分析対象となる第1の層と、前記第1の層よりも表層に位置する第2の層とに少なくとも区分することと、
前記第1および第2の層の深さにそれぞれ応じた第1および第2の波長のレーザ光を前記試料に照射することと、
前記レーザ光の照射により前記試料からそれぞれ得られるラマン散乱光を検出して第1および第2のラマン信号を出力することと、
前記第1および第2のラマン信号をスペクトル処理して第1および第2のラマンスペクトルを取得することと、
前記第1のラマンスペクトルから前記第2のラマンスペクトルを減じた差分スペクトルを取得することと、
前記差分スペクトルを解析すること、
を備える成分分析方法。 - 互いに異なる複数の波長のレーザ光を、分析対象となる層を備える試料に照射する照射ユニットと、前記レーザ光の照射により前記試料から得られるラマン散乱光を検出してラマン信号を出力する検出ユニットと、前記ラマン信号をスペクトル処理して前記分析対象の成分を分析するラマン分光装置に接続されるコンピュータに成分分析を実行させるプログラムであって、
前記成分分析は、
試料の構造を、前記分析対象となる第1の層と、前記第1の層よりも表層に位置する第2の層とに少なくとも区分することと、
前記第1および第2の層の深さにそれぞれ応じた第1および第2の波長のレーザ光が前記第1および第2の層に照射されて得られるラマン散乱光から第1および第2のラマン信号を出力することと、
前記第1および第2のラマン信号をスペクトル処理して第1および第2のラマンスペクトルを取得することと、
前記第1のラマンスペクトルから前記第2のラマンスペクトルを減じた差分スペクトルを取得することと、
前記差分スペクトルを解析することと、
を備える、
プログラム。
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